JPH11339710A - 静電偏向装置 - Google Patents
静電偏向装置Info
- Publication number
- JPH11339710A JPH11339710A JP10149126A JP14912698A JPH11339710A JP H11339710 A JPH11339710 A JP H11339710A JP 10149126 A JP10149126 A JP 10149126A JP 14912698 A JP14912698 A JP 14912698A JP H11339710 A JPH11339710 A JP H11339710A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 部品点数が少なくて小型化が図れ、組立が短
時間で高精度に行える静電偏向装置を提供する。 【解決手段】 それぞれが３６０／ｎ度に分割された複
数ｎ個の電極要素と、これら電極要素を平面的には３６
０度の分割電極面を形成するように軸方向に沿って絶縁
離間して配列支持する保持部材と、これら電極要素と保
持部材とを固着する絶縁部材とで構成されたことを特徴
とするもの。
時間で高精度に行える静電偏向装置を提供する。 【解決手段】 それぞれが３６０／ｎ度に分割された複
数ｎ個の電極要素と、これら電極要素を平面的には３６
０度の分割電極面を形成するように軸方向に沿って絶縁
離間して配列支持する保持部材と、これら電極要素と保
持部材とを固着する絶縁部材とで構成されたことを特徴
とするもの。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は静電偏向装置に関
し、詳しくは、電子顕微鏡や電子線露光装置等の電子線
応用装置に用いられる静電偏向装置の改善に関するもの
である。
し、詳しくは、電子顕微鏡や電子線露光装置等の電子線
応用装置に用いられる静電偏向装置の改善に関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】電子顕微鏡や電子線露光装置等の電子線
応用装置に用いられる電子線の偏向装置は、電磁偏向装
置と静電偏向装置に大別できる。
応用装置に用いられる電子線の偏向装置は、電磁偏向装
置と静電偏向装置に大別できる。
【０００３】ここで、電磁偏向装置は、偏向効率は優れ
ているもののコイルのインダクタンスや渦電流等の影響
から応答時間が数百マイクロ秒程度と遅くなるという問
題がある。
ているもののコイルのインダクタンスや渦電流等の影響
から応答時間が数百マイクロ秒程度と遅くなるという問
題がある。
【０００４】これに対し、静電偏向装置は、偏向効率は
電磁偏向装置には及ばないものの応答時間が数マイクロ
秒程度と高速になるという利点があり、高速応答性が要
求される電子線応用装置の偏向装置として広く用いられ
ている。
電磁偏向装置には及ばないものの応答時間が数マイクロ
秒程度と高速になるという利点があり、高速応答性が要
求される電子線応用装置の偏向装置として広く用いられ
ている。
【０００５】ところで静電偏向装置は、例えば円筒形状
の部材を分割して複数の電極を形成し、各電極に偏向量
に応じた所定の電圧を印加することにより駆動される。
電子線応用装置では、このような構成の静電偏向装置を
複数組み合わせることが行われているが、個々の静電偏
向装置の電子線の偏向中心がずれると電子線偏向時の歪
みが大きくなる要因になる。
の部材を分割して複数の電極を形成し、各電極に偏向量
に応じた所定の電圧を印加することにより駆動される。
電子線応用装置では、このような構成の静電偏向装置を
複数組み合わせることが行われているが、個々の静電偏
向装置の電子線の偏向中心がずれると電子線偏向時の歪
みが大きくなる要因になる。
【０００６】図７は従来のこのような静電偏向装置の一
例の部分構成図であり、（ａ）は主要部の上面図、
（ｂ）は（ａ）における切断線II−IIにおける断面図で
ある。図において、偏向器、非点補正器、軸補正器など
を構成する分割電極ｄ１，ｄ２はそれぞれのアース電位
に保たれる保持台ｈ１，ｈ２に個別に組み込まれ、分割
電極ユニットｕ１，ｕ２として一体化される。
例の部分構成図であり、（ａ）は主要部の上面図、
（ｂ）は（ａ）における切断線II−IIにおける断面図で
ある。図において、偏向器、非点補正器、軸補正器など
を構成する分割電極ｄ１，ｄ２はそれぞれのアース電位
に保たれる保持台ｈ１，ｈ２に個別に組み込まれ、分割
電極ユニットｕ１，ｕ２として一体化される。
【０００７】そして、これら分割電極ユニットｕ１，ｕ
２相互は、これら保持台ｈ１，ｈ２を含む各保持台の側
面に予め描かれている図示しない位置決め用のけがき線
相互が一致するように各保持台ｈ１，ｈ２を相互に回転
させたり、実際に電子線走査させることにより得られる
画像を観察しながら最良画像が得られる位置まで各保持
台ｈ１，ｈ２を相互に回転させて、隣接する保持台相互
をネジｓ１，ｓ２，ｓ３によりネジ止め固定する。
２相互は、これら保持台ｈ１，ｈ２を含む各保持台の側
面に予め描かれている図示しない位置決め用のけがき線
相互が一致するように各保持台ｈ１，ｈ２を相互に回転
させたり、実際に電子線走査させることにより得られる
画像を観察しながら最良画像が得られる位置まで各保持
台ｈ１，ｈ２を相互に回転させて、隣接する保持台相互
をネジｓ１，ｓ２，ｓ３によりネジ止め固定する。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかしこのような従来
の構成での軸合わせ精度は、保持台の側面に予め描かれ
ている位置決め用のけがき線の加工精度や組立作業時の
精度に左右されることになり、けがき線加工や組立にか
なりの熟練度が要求されるとともに、これらの作業にも
かなりの工数が必要になる。
の構成での軸合わせ精度は、保持台の側面に予め描かれ
ている位置決め用のけがき線の加工精度や組立作業時の
精度に左右されることになり、けがき線加工や組立にか
なりの熟練度が要求されるとともに、これらの作業にも
かなりの工数が必要になる。
【０００９】また、このような従来の構成では、各分割
電極毎に保持台と組み合わせてユニット化しているので
部品点数が多くなり、装置の小型化は困難である。さら
に、各分割電極毎に保持台と組み合わせてユニット化し
た状態では、各電極の位置を再調整することは不可能で
ある。
電極毎に保持台と組み合わせてユニット化しているので
部品点数が多くなり、装置の小型化は困難である。さら
に、各分割電極毎に保持台と組み合わせてユニット化し
た状態では、各電極の位置を再調整することは不可能で
ある。
【００１０】本発明はこのような問題を解決するために
なされたものであって、部品点数が少なくて小型化が図
れ、組立が短時間で高精度に行える静電偏向装置を提供
することを目的とする。
なされたものであって、部品点数が少なくて小型化が図
れ、組立が短時間で高精度に行える静電偏向装置を提供
することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上述の目的を達成する本
発明は、それぞれが３６０／ｎ度に分割された複数ｎ個
の電極要素と、これら電極要素を平面的には３６０度の
分割電極面を形成するように軸方向に沿って絶縁離間し
て配列支持する保持部材と、これら電極要素と保持部材
とを固着する絶縁部材とで構成されたを特徴とするもの
である。
発明は、それぞれが３６０／ｎ度に分割された複数ｎ個
の電極要素と、これら電極要素を平面的には３６０度の
分割電極面を形成するように軸方向に沿って絶縁離間し
て配列支持する保持部材と、これら電極要素と保持部材
とを固着する絶縁部材とで構成されたを特徴とするもの
である。
【００１２】このように構成される静電偏向装置は、従
来のようなネジ止め固定構造でないことから部品点数を
削減できるとともに高精度に組み立てることができ、装
置の小型化も図れて超高真空環境下での作動にも有利で
ある。
来のようなネジ止め固定構造でないことから部品点数を
削減できるとともに高精度に組み立てることができ、装
置の小型化も図れて超高真空環境下での作動にも有利で
ある。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下図面を用いて本発明の実施の
形態例を説明する。図１及び図２は本発明に基づく静電
偏向装置の実施の形態例を示す構成説明図である。ここ
で、図１（ａ）は上面図、図１（ｂ）は図１（ａ）中の
切断線I−Iにおける断面図である。また、図２（ａ）は
図１（ｂ）における主要部のＡ−Ａ断面図、図２（ｂ）
は図１（ｂ）における主要部のＢ−Ｂ断面図、図２
（ｃ）は図１（ｂ）における主要部のＣ−Ｃ断面図であ
る。
形態例を説明する。図１及び図２は本発明に基づく静電
偏向装置の実施の形態例を示す構成説明図である。ここ
で、図１（ａ）は上面図、図１（ｂ）は図１（ａ）中の
切断線I−Iにおける断面図である。また、図２（ａ）は
図１（ｂ）における主要部のＡ−Ａ断面図、図２（ｂ）
は図１（ｂ）における主要部のＢ−Ｂ断面図、図２
（ｃ）は図１（ｂ）における主要部のＣ−Ｃ断面図であ
る。
【００１４】これらの図において、保持部材１，２は絶
縁体で板状に形成されている。該保持部材１，２には、
長手方向に沿って所定の間隔で後述の各電極電極等を取
り付けるための切り込み（すり割り）が形成されてい
る。すなわち、保持部材１，２の対向面には、水平方向
の切り込みが、所定の間隔をもって高さ方向に並ぶよう
に、複数形成されている。保持部材１，２における各切
り込みの位置（高さ）は、両保持部材１，２とも同一で
ある。
縁体で板状に形成されている。該保持部材１，２には、
長手方向に沿って所定の間隔で後述の各電極電極等を取
り付けるための切り込み（すり割り）が形成されてい
る。すなわち、保持部材１，２の対向面には、水平方向
の切り込みが、所定の間隔をもって高さ方向に並ぶよう
に、複数形成されている。保持部材１，２における各切
り込みの位置（高さ）は、両保持部材１，２とも同一で
ある。
【００１５】電極要素３〜６は４分割電子線軸合わせ電
極（４極子）を構成するものであり、これら電極要素３
〜６は互いに電位的に独立している。電極要素３〜６
は、３６０／ｎ度に分割された複数ｎ個の電極要素に相
当するもので、ｎ＝４の場合のものである。これら電極
要素３〜６は、平面的には３６０度の分割電極面を形成
するように、保持部材１，２によって、軸方向に沿って
絶縁離間して配列支持されるものである。
極（４極子）を構成するものであり、これら電極要素３
〜６は互いに電位的に独立している。電極要素３〜６
は、３６０／ｎ度に分割された複数ｎ個の電極要素に相
当するもので、ｎ＝４の場合のものである。これら電極
要素３〜６は、平面的には３６０度の分割電極面を形成
するように、保持部材１，２によって、軸方向に沿って
絶縁離間して配列支持されるものである。
【００１６】電極要素３〜６の形状は、それぞれ図３〜
図６に示すようになっている。図３〜図６において、
（ａ）は平面的な形状を示し、（ｂ）は断面を示してい
る。図３〜図６から明らかなように、電極要素３〜６の
中央には、貫通穴３ａ〜６ａが形成されており、各貫通
穴３ａ〜６ａには他の電極要素の電極面形成部３ｂ〜６
ｂが挿通することにより、図２（ｂ）に示す位置関係に
４極子が配置されることになる。これら電極要素３〜６
の上下には、軸合わせ電極の電位の乱れを防止するため
に円盤状のアース電極７，８が配置されている。
図６に示すようになっている。図３〜図６において、
（ａ）は平面的な形状を示し、（ｂ）は断面を示してい
る。図３〜図６から明らかなように、電極要素３〜６の
中央には、貫通穴３ａ〜６ａが形成されており、各貫通
穴３ａ〜６ａには他の電極要素の電極面形成部３ｂ〜６
ｂが挿通することにより、図２（ｂ）に示す位置関係に
４極子が配置されることになる。これら電極要素３〜６
の上下には、軸合わせ電極の電位の乱れを防止するため
に円盤状のアース電極７，８が配置されている。
【００１７】電極要素９〜１２はブランキング電極を構
成するものであり、これら電極要素９〜１２は互いに電
位的に独立している。対をなす電極要素９，１０、並び
に、対をなす電極要素１１，１２は、上記電極要素３〜
６とは電極面形成部の形状が大きく異なるものの、電極
要素３〜６と同様に貫通穴と電極面形成部を有し、且
つ、同様な組み合わせ構造を有している。また、電極要
素１０，１１間には、ホルダ１３と、このホルダ１３に
収容される絞り１４と、この絞り１４を押さえる絞り押
さえ１７とが設けられている。なお、１５はベース、１
６は蓋である。
成するものであり、これら電極要素９〜１２は互いに電
位的に独立している。対をなす電極要素９，１０、並び
に、対をなす電極要素１１，１２は、上記電極要素３〜
６とは電極面形成部の形状が大きく異なるものの、電極
要素３〜６と同様に貫通穴と電極面形成部を有し、且
つ、同様な組み合わせ構造を有している。また、電極要
素１０，１１間には、ホルダ１３と、このホルダ１３に
収容される絞り１４と、この絞り１４を押さえる絞り押
さえ１７とが設けられている。なお、１５はベース、１
６は蓋である。
【００１８】このような静電偏向装置の製造組立工程に
ついて説明する。まず、保持部材１，２の所定の切り込
みに、各電極要素３〜６，９〜１２、アース電極７，
８、ホルダ１３、絞り１４、ベース１５をそれぞれはめ
込む。
ついて説明する。まず、保持部材１，２の所定の切り込
みに、各電極要素３〜６，９〜１２、アース電極７，
８、ホルダ１３、絞り１４、ベース１５をそれぞれはめ
込む。
【００１９】そして、各電極の分割精度を得るために、
各電極要素３〜６，９〜１２に設けられている位置決め
用の穴Ｐに図示しない組立治具を挿入貫通させて高精度
の位置決めを行う。これにより、各電極要素３〜６，９
〜１２の中心部の同軸性及び各電極要素３〜６，９〜１
２の軸に対する対称性を同時に合わせ込むことができ
る。
各電極要素３〜６，９〜１２に設けられている位置決め
用の穴Ｐに図示しない組立治具を挿入貫通させて高精度
の位置決めを行う。これにより、各電極要素３〜６，９
〜１２の中心部の同軸性及び各電極要素３〜６，９〜１
２の軸に対する対称性を同時に合わせ込むことができ
る。
【００２０】各電極要素３〜６，９〜１２を保持部材
１，２に固定するのにあたっては、組立治具を挿入貫通
させた状態で、組立治具に対して直角方向の保持部材
１，２と各電極要素３〜６，９〜１２のはめ合わせ部に
高温にして軟化させたガラスを押しつける。ガラスの温
度が冷えると、ガラスが固まって各電極要素３〜６，９
〜１２は保持部材１，２に固定される。
１，２に固定するのにあたっては、組立治具を挿入貫通
させた状態で、組立治具に対して直角方向の保持部材
１，２と各電極要素３〜６，９〜１２のはめ合わせ部に
高温にして軟化させたガラスを押しつける。ガラスの温
度が冷えると、ガラスが固まって各電極要素３〜６，９
〜１２は保持部材１，２に固定される。
【００２１】各電極要素３〜６，９〜１２を保持部材
１，２に固定した後、組立治具を抜き取る。なお、蓋１
６についても、上記作業中にガラスにて接着する。この
ように構成される静電偏向装置は、各電極要素の固定に
あたり、従来のようなネジ固定を行わないので、部品点
数を削減できて電極の小型化が図れ、超高真空での使用
に好適である。
１，２に固定した後、組立治具を抜き取る。なお、蓋１
６についても、上記作業中にガラスにて接着する。この
ように構成される静電偏向装置は、各電極要素の固定に
あたり、従来のようなネジ固定を行わないので、部品点
数を削減できて電極の小型化が図れ、超高真空での使用
に好適である。
【００２２】また、超高真空中で使用することにより、
焼きだしをしてもネジの緩みや固定部分に変形を生じる
ことはない。さらに、複数の電極要素を組立治具上でガ
ラス固定によりユニットとして一体化することから、電
極ユニットとして安定した品質が得られ、電極ユニット
の互換性も向上する。
焼きだしをしてもネジの緩みや固定部分に変形を生じる
ことはない。さらに、複数の電極要素を組立治具上でガ
ラス固定によりユニットとして一体化することから、電
極ユニットとして安定した品質が得られ、電極ユニット
の互換性も向上する。
【００２３】なお、ガラスを用いて各電極要素を固定し
たが、接着力のある絶縁部材であれば、どのようなもの
であってもよい。
たが、接着力のある絶縁部材であれば、どのようなもの
であってもよい。
【００２４】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は、それぞ
れが３６０／ｎ度に分割された複数ｎ個の電極要素と、
これら電極要素を平面的には３６０度の分割電極面を形
成するように軸方向に沿って絶縁離間して配列支持する
保持部材と、これら電極要素と保持部材とを固着する絶
縁部材とで構成されているので、本発明によれば、部品
点数が少なくて小型化が図れ、組立が短時間で高精度に
行える静電偏向装置を提供することができ、電子顕微鏡
や電子線露光装置等の電子線応用装置の静電偏向装置と
して好適である。
れが３６０／ｎ度に分割された複数ｎ個の電極要素と、
これら電極要素を平面的には３６０度の分割電極面を形
成するように軸方向に沿って絶縁離間して配列支持する
保持部材と、これら電極要素と保持部材とを固着する絶
縁部材とで構成されているので、本発明によれば、部品
点数が少なくて小型化が図れ、組立が短時間で高精度に
行える静電偏向装置を提供することができ、電子顕微鏡
や電子線露光装置等の電子線応用装置の静電偏向装置と
して好適である。
【図１】本発明に基づく静電偏向装置の実施の形態例を
示す構成説明図である。
示す構成説明図である。
【図２】図１の実施の形態例の断面を示す構成説明図で
ある。
ある。
【図３】図１の実施の形態例中の電極要素の一つを示す
構成説明図である。
構成説明図である。
【図４】図１の実施の形態例中の他の電極要素を示す構
成説明図である。
成説明図である。
【図５】図１の実施の形態例中の他の電極要素を示す構
成説明図である。
成説明図である。
【図６】図１の実施の形態例中の他の電極要素を示す構
成説明図である。
成説明図である。
【図７】従来の静電偏向装置の一例を示す構成説明図で
ある。
ある。
１，２ 保持部材 ３〜６ 電極要素（電子線軸合わせ電極） ７，８ アース電極 ９〜１２ 電極要素（ブランキング電極） １３ ホルダ １４ 絞り
Claims (1)
- 【請求項１】 それぞれが３６０／ｎ度に分割された複
数ｎ個の電極要素と、これら電極要素を平面的には３６
０度の分割電極面を形成するように軸方向に沿って絶縁
離間して配列支持する保持部材と、これら電極要素と保
持部材とを固着する絶縁部材とで構成されたことを特徴
とする静電偏向装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10149126A JPH11339710A (ja) | 1998-05-29 | 1998-05-29 | 静電偏向装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10149126A JPH11339710A (ja) | 1998-05-29 | 1998-05-29 | 静電偏向装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11339710A true JPH11339710A (ja) | 1999-12-10 |
Family
ID=15468305
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10149126A Withdrawn JPH11339710A (ja) | 1998-05-29 | 1998-05-29 | 静電偏向装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11339710A (ja) |
-
1998
- 1998-05-29 JP JP10149126A patent/JPH11339710A/ja not_active Withdrawn
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20050802 |