JPH11341838A - 積層型圧電アクチュエータ - Google Patents
積層型圧電アクチュエータInfo
- Publication number
- JPH11341838A JPH11341838A JP10138769A JP13876998A JPH11341838A JP H11341838 A JPH11341838 A JP H11341838A JP 10138769 A JP10138769 A JP 10138769A JP 13876998 A JP13876998 A JP 13876998A JP H11341838 A JPH11341838 A JP H11341838A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- internal electrode
- piezoelectric actuator
- laminated
- electrode layers
- electrode layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims abstract description 16
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 abstract description 4
- 230000006378 damage Effects 0.000 abstract description 2
- 238000010030 laminating Methods 0.000 abstract description 2
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 74
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 5
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 4
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000013508 migration Methods 0.000 description 2
- 230000005012 migration Effects 0.000 description 2
- 229910001252 Pd alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- SWELZOZIOHGSPA-UHFFFAOYSA-N palladium silver Chemical compound [Pd].[Ag] SWELZOZIOHGSPA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 239000007858 starting material Substances 0.000 description 1
- LLZRNZOLAXHGLL-UHFFFAOYSA-J titanic acid Chemical compound O[Ti](O)(O)O LLZRNZOLAXHGLL-UHFFFAOYSA-J 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/87—Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
- H10N30/871—Single-layered electrodes of multilayer piezoelectric or electrostrictive devices, e.g. internal electrodes
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 内部電極層間隔を薄くすることが可能で、且
つ内部応力の発生及び部分的な集中を防止し、変位の拘
束の緩和及び製品の破損を生じることのない積層型圧電
アクチュエータを提供すること。 【解決手段】 圧電セラミック層２と内部電極層１とを
積層した積層体７と、前記積層体７の側面に設けた外部
電極３とを備えた積層型圧電アクチュエータにおいて、
前記内部電極層１が、前記積層体７の隣り合う２面の側
面に露出するように形成し、さらに露出した前記内部電
極層１が露出していない他側面に露出した部分を有した
内部電極層１を交互に積層した。
つ内部応力の発生及び部分的な集中を防止し、変位の拘
束の緩和及び製品の破損を生じることのない積層型圧電
アクチュエータを提供すること。 【解決手段】 圧電セラミック層２と内部電極層１とを
積層した積層体７と、前記積層体７の側面に設けた外部
電極３とを備えた積層型圧電アクチュエータにおいて、
前記内部電極層１が、前記積層体７の隣り合う２面の側
面に露出するように形成し、さらに露出した前記内部電
極層１が露出していない他側面に露出した部分を有した
内部電極層１を交互に積層した。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、積層型圧電アクチ
ュエータの構造に関するものである。
ュエータの構造に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図２は従来技術による積層型圧電アクチ
ュエータの一例を示す図であり、図２（ａ）は従来の積
層型圧電アクチュエータの一例の平面断面図、図２
（ｂ）は図２（ａ）の積層型圧電アクチュエータの正面
断面図である。
ュエータの一例を示す図であり、図２（ａ）は従来の積
層型圧電アクチュエータの一例の平面断面図、図２
（ｂ）は図２（ａ）の積層型圧電アクチュエータの正面
断面図である。
【０００３】図２を参照すると、積層型圧電アクチュエ
ータ５０は、圧電セラミック層５２と内部電極層５１が
交互に積層された積層体５７を形成している。これら内
部電極層５１は、１層おきに対向電極を形成するよう
に、外部電極５３に接続されている。尚、符号５４は、
外部電極５３に電気接続するためのリード線である。
ータ５０は、圧電セラミック層５２と内部電極層５１が
交互に積層された積層体５７を形成している。これら内
部電極層５１は、１層おきに対向電極を形成するよう
に、外部電極５３に接続されている。尚、符号５４は、
外部電極５３に電気接続するためのリード線である。
【０００４】図２（ａ）及び（ｂ）に示す様な構造の積
層型圧電アクチュエータ５０では、内部電極層５１は素
子断面全面に形成され、１層おきに対向内部電極層を形
成する様に、素子の夫々の側面に露出した内部電極層５
１が、両側面で互い違いとなるように、一層おきに絶縁
体５５を形成した後に、両側面の内部電極層５１を上下
方向に横断するように外部電極５３が形成されている。
この様な絶縁体５５の形成方法は、内部電極層５１上に
電気的に絶縁体５５を形成させる方法や印刷により絶縁
体５５を形成させる等の方法が一般的である。
層型圧電アクチュエータ５０では、内部電極層５１は素
子断面全面に形成され、１層おきに対向内部電極層を形
成する様に、素子の夫々の側面に露出した内部電極層５
１が、両側面で互い違いとなるように、一層おきに絶縁
体５５を形成した後に、両側面の内部電極層５１を上下
方向に横断するように外部電極５３が形成されている。
この様な絶縁体５５の形成方法は、内部電極層５１上に
電気的に絶縁体５５を形成させる方法や印刷により絶縁
体５５を形成させる等の方法が一般的である。
【０００５】図３は従来技術による積層型圧電アクチュ
エータの他の例を示す図であり、図３（ａ）及び図３
（ｂ）は従来の積層型圧電アクチュエータの他の例の内
部電極層パターンを示す図、図３（ｃ）は（ａ）及び
（ｂ）の内部電極層の積層構造を示す平面図、図３
（ｄ）は従来の積層型圧電アクチュエータの他の一例を
示す縦断面図である。
エータの他の例を示す図であり、図３（ａ）及び図３
（ｂ）は従来の積層型圧電アクチュエータの他の例の内
部電極層パターンを示す図、図３（ｃ）は（ａ）及び
（ｂ）の内部電極層の積層構造を示す平面図、図３
（ｄ）は従来の積層型圧電アクチュエータの他の一例を
示す縦断面図である。
【０００６】図３を参照すると、積層型圧電アクチュエ
ータ６０は、圧電セラミック層５２と内部電極層５１が
交互に積層された積層体を形成している。これら内部電
極層５１は、１層おきに対向電極を形成するように、外
部電極５３に接続されている。尚、符号５４は、外部電
極５３に電気接続するためのリード線である。
ータ６０は、圧電セラミック層５２と内部電極層５１が
交互に積層された積層体を形成している。これら内部電
極層５１は、１層おきに対向電極を形成するように、外
部電極５３に接続されている。尚、符号５４は、外部電
極５３に電気接続するためのリード線である。
【０００７】また、図３に示す様な構造の積層型圧電ア
クチュエータは、図３（ａ）及び図３（ｂ）に示すよう
な内部電極パターン１及び２を夫々備えた内部電極層５
１を、図３（ｃ）及び図３（ｄ）に示すように、圧電セ
ラミック層５２を介して、交互にアクチュエータの対向
側面に露出させた積層体６７を形成し、更に、対向側面
に上下方向に外部電極５３を形成して、内部電極層５３
を交互に夫々の外部電極と電気的に接続している。
クチュエータは、図３（ａ）及び図３（ｂ）に示すよう
な内部電極パターン１及び２を夫々備えた内部電極層５
１を、図３（ｃ）及び図３（ｄ）に示すように、圧電セ
ラミック層５２を介して、交互にアクチュエータの対向
側面に露出させた積層体６７を形成し、更に、対向側面
に上下方向に外部電極５３を形成して、内部電極層５３
を交互に夫々の外部電極と電気的に接続している。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかし、図２に示した
積層型圧電アクチュエータでは、内部電極層５１の間隔
が６０μｍより薄くなると、絶縁体５５の形成が不可能
となるという欠点を有している。
積層型圧電アクチュエータでは、内部電極層５１の間隔
が６０μｍより薄くなると、絶縁体５５の形成が不可能
となるという欠点を有している。
【０００９】また、図３に示した積層型圧電アクチュエ
ータでは、積層体６７の内部電極層５１の間隔はより薄
くすることが可能であるが、圧電セラミック層５２は内
部電極層５１で挟まれた部分では電界に応じて変位する
ものの、その他の内部電極層５１で挟まれていない部分
は変位しない。これにより内部電極層５１の周辺部部分
に応力が集中し、素子の変位を拘束するだけでなく、上
記応力集中部に機械的な破損を生じるという欠点があつ
た。
ータでは、積層体６７の内部電極層５１の間隔はより薄
くすることが可能であるが、圧電セラミック層５２は内
部電極層５１で挟まれた部分では電界に応じて変位する
ものの、その他の内部電極層５１で挟まれていない部分
は変位しない。これにより内部電極層５１の周辺部部分
に応力が集中し、素子の変位を拘束するだけでなく、上
記応力集中部に機械的な破損を生じるという欠点があつ
た。
【００１０】そこで、本発明の技術的課題は、内部電極
層間隔を薄くすることが可能で、且つ内部応力の発生及
び部分的な集中を防止し、変位の拘束の緩和及び製品の
破損を生じることのない積層型圧電アクチュエータを提
供することにある。
層間隔を薄くすることが可能で、且つ内部応力の発生及
び部分的な集中を防止し、変位の拘束の緩和及び製品の
破損を生じることのない積層型圧電アクチュエータを提
供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明は、上述の技術的
課題を解決するためになされたもので、圧電セラミック
層と内部電極層とを積層した積層体と、前記積層体の側
面に設けた外部電極とを備えた積層型圧電アクチュエー
タにおいて、前記内部電極層の内の第１の内部電極層
を、前記積層体の隣り合う２面の側面に露出するように
形成し、前記第１の内部電極層に隣接する第２の内部電
極層を前記第１の内部電極層が露出した２つの側面以外
の前記積層体の２つの側面に露出した部分を有するよう
に、前記第１及び第２の内部電極層を交互に前記圧電セ
ラミック層を介して積層したことを特徴としている。
課題を解決するためになされたもので、圧電セラミック
層と内部電極層とを積層した積層体と、前記積層体の側
面に設けた外部電極とを備えた積層型圧電アクチュエー
タにおいて、前記内部電極層の内の第１の内部電極層
を、前記積層体の隣り合う２面の側面に露出するように
形成し、前記第１の内部電極層に隣接する第２の内部電
極層を前記第１の内部電極層が露出した２つの側面以外
の前記積層体の２つの側面に露出した部分を有するよう
に、前記第１及び第２の内部電極層を交互に前記圧電セ
ラミック層を介して積層したことを特徴としている。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して説明する。
て図面を参照して説明する。
【００１３】図１は本発明の実施の形態による積層型圧
電アクチュエータの構造を示す図で、図１（ａ）及び
（ｂ）は１内部電極層内の電極構造を夫々示し、（ｃ）
は上記２パターンを積層した際の状態を表す投影図、
（ｄ）は積層型圧電アクチュエータの断面図である。
電アクチュエータの構造を示す図で、図１（ａ）及び
（ｂ）は１内部電極層内の電極構造を夫々示し、（ｃ）
は上記２パターンを積層した際の状態を表す投影図、
（ｄ）は積層型圧電アクチュエータの断面図である。
【００１４】図１を参照すると、図１（ａ）及び（ｂ）
に示す内部電極パターン１及び２を夫々備えた内部電極
層１は圧電セラミック層２を介して交互に積層されて積
層体７を形成し、この積層体７の両側面に外部電極３が
設けられている。圧電セラミック層２は、電圧を印加す
ると変位を発生させる。
に示す内部電極パターン１及び２を夫々備えた内部電極
層１は圧電セラミック層２を介して交互に積層されて積
層体７を形成し、この積層体７の両側面に外部電極３が
設けられている。圧電セラミック層２は、電圧を印加す
ると変位を発生させる。
【００１５】図１（ｄ）に示すように、内部電極層１
は、１層おきに積層体７の両側面に上下方向に延在して
設けられた外部電極３に夫々と接続されている。一般
に、外部電極３にはリード線４が接続され、リード線４
に電圧が印加される。
は、１層おきに積層体７の両側面に上下方向に延在して
設けられた外部電極３に夫々と接続されている。一般
に、外部電極３にはリード線４が接続され、リード線４
に電圧が印加される。
【００１６】図１（ａ）及び図１（ｂ）に示すように、
圧電セラミック層２を挟む隣接する２つの内部電極層１
（以下、夫々第１及び第２の内部電極層と呼ぶ）は、夫
々隣接する２辺が外部に露出するとともに、露出した夫
々の２辺は、第１及び第２の内部電極層１，１を積層し
たときに、積層体の水平断面である４角形の向かい合う
対辺をなすように露出する。尚、図面においては、外側
に露出しない部分を符号６にて示している。
圧電セラミック層２を挟む隣接する２つの内部電極層１
（以下、夫々第１及び第２の内部電極層と呼ぶ）は、夫
々隣接する２辺が外部に露出するとともに、露出した夫
々の２辺は、第１及び第２の内部電極層１，１を積層し
たときに、積層体の水平断面である４角形の向かい合う
対辺をなすように露出する。尚、図面においては、外側
に露出しない部分を符号６にて示している。
【００１７】次に、本発明の実施の形態による積層型圧
電アクチュエータの製造の具体例について説明する。
電アクチュエータの製造の具体例について説明する。
【００１８】まず、チタン酸・ジルコン酸・鉛系圧電セ
ラミックスを出発原料として厚膜積層法によって、図１
（ｄ）に示すような素子断面５×５ｍｍ，長さ１０ｍｍ
寸法の積層型圧電アクチュエータ１０を製造した。内部
電極層１の電極材料は，銀−パラジウム合金を用い、内
部電極層１は、図１（ａ）及び（ｂ）に示すように、圧
電セラミック上に４端面のうち２端面には出ないように
形成した。そして、内部電極層１を形成しない部分６を
内部電極層１にそれぞれ０．５×５ｍｍ形成し、内部電
極層を５０μｍ間隔にて１側面部に１層おきに電極が形
成されない部分が対向するように積層した。次に、素子
側面部にて上記内部電極層１を１層おきに対向内部電極
層を形成するように、両側面に外部電極３を形成し、こ
の外部電極３上にそれぞれリード線４を取り付け積層型
圧電アクチュエータとした。
ラミックスを出発原料として厚膜積層法によって、図１
（ｄ）に示すような素子断面５×５ｍｍ，長さ１０ｍｍ
寸法の積層型圧電アクチュエータ１０を製造した。内部
電極層１の電極材料は，銀−パラジウム合金を用い、内
部電極層１は、図１（ａ）及び（ｂ）に示すように、圧
電セラミック上に４端面のうち２端面には出ないように
形成した。そして、内部電極層１を形成しない部分６を
内部電極層１にそれぞれ０．５×５ｍｍ形成し、内部電
極層を５０μｍ間隔にて１側面部に１層おきに電極が形
成されない部分が対向するように積層した。次に、素子
側面部にて上記内部電極層１を１層おきに対向内部電極
層を形成するように、両側面に外部電極３を形成し、こ
の外部電極３上にそれぞれリード線４を取り付け積層型
圧電アクチュエータとした。
【００１９】このようにして得られた積層型圧電アクチ
ュエータ１０に、４０℃，９０％Ｒ．Ｈ．の環境下にて
ＤＣ１５０Ｖを連続印加し、絶縁破壊するまでの時間を
計測し、平均故障時間を算出した。
ュエータ１０に、４０℃，９０％Ｒ．Ｈ．の環境下にて
ＤＣ１５０Ｖを連続印加し、絶縁破壊するまでの時間を
計測し、平均故障時間を算出した。
【００２０】比較用に、図３に示すような従来の内部電
極層構造の積層型圧電アクチュエータ形状の内部電極層
が外部電極面のみに露出しているタイプについても同様
に測定した。その結果を、下記表１に示す。尚、表１に
おいて、試料数は各１０個である。
極層構造の積層型圧電アクチュエータ形状の内部電極層
が外部電極面のみに露出しているタイプについても同様
に測定した。その結果を、下記表１に示す。尚、表１に
おいて、試料数は各１０個である。
【００２１】
【表１】
【００２２】上記表１に示すように、本発明の実施の形
態によるアクチュエータは、従来のアクチュエータに比
べて明らかに耐久性に優れていることが分る。
態によるアクチュエータは、従来のアクチュエータに比
べて明らかに耐久性に優れていることが分る。
【００２３】以上説明したように、本発明の実施の形態
による積層型圧電アクチュエータ１０においては、内部
電極層１の隣り合う２面が側面に露出するように形成
し、さらに露出した内部電極層１が露出していない他側
面と接する側に露出しない部分６を有する内部電極層１
を交互に積層したことにより、電極間距離を容易に薄く
することが可能で、電圧印加時の素子伸長による素子内
の内部応力の集中が大幅に改善される。
による積層型圧電アクチュエータ１０においては、内部
電極層１の隣り合う２面が側面に露出するように形成
し、さらに露出した内部電極層１が露出していない他側
面と接する側に露出しない部分６を有する内部電極層１
を交互に積層したことにより、電極間距離を容易に薄く
することが可能で、電圧印加時の素子伸長による素子内
の内部応力の集中が大幅に改善される。
【００２４】また、本発明の実施の形態によるアクチュ
エータによれば、素子内の内部電極層１構造を全面に近
い状態で形成することが出来き、また、対向する積層面
において内部電極層１の形成面が異なり挟まれる圧電セ
ラミック層１はほぼ全面に近い歪みを発生し、応力集中
が発生しにくい。また、素子側面に露出する内部電極層
１も同一側面に対向する内部電極層が露出する事がない
ため、素子側面上でのマイグレーション等による絶縁破
壊も防ぐことが可能である。
エータによれば、素子内の内部電極層１構造を全面に近
い状態で形成することが出来き、また、対向する積層面
において内部電極層１の形成面が異なり挟まれる圧電セ
ラミック層１はほぼ全面に近い歪みを発生し、応力集中
が発生しにくい。また、素子側面に露出する内部電極層
１も同一側面に対向する内部電極層が露出する事がない
ため、素子側面上でのマイグレーション等による絶縁破
壊も防ぐことが可能である。
【００２５】
【発明の効果】以上、説明したように、本発明による積
層型圧電アクチュエータは、内部電極層間距離が６０μ
ｍ以下の積層型圧電アクチュエータでも製造対応が可能
で、連続の電圧印加の際も素子の同一側面に内部電極層
の露出がないことにより、素子の破損・マイグレーショ
ンの発生等による素子の絶縁破壊の起こりにくい構造を
備えたいる。
層型圧電アクチュエータは、内部電極層間距離が６０μ
ｍ以下の積層型圧電アクチュエータでも製造対応が可能
で、連続の電圧印加の際も素子の同一側面に内部電極層
の露出がないことにより、素子の破損・マイグレーショ
ンの発生等による素子の絶縁破壊の起こりにくい構造を
備えたいる。
【００２６】さらに、本発明によれば、内部電極層構造
をより全面電極構造に近づけることにより、素子の内部
での応力集中による機械的な素子破壊を発生しにくい積
層型圧電アクチュエータを提供することができる。
をより全面電極構造に近づけることにより、素子の内部
での応力集中による機械的な素子破壊を発生しにくい積
層型圧電アクチュエータを提供することができる。
【００２７】以上より、本発明によれば、内部電極層間
距離を容易に薄くすることが可能で、耐久性に優れた積
層型圧電アクチュエータを提供することができる。
距離を容易に薄くすることが可能で、耐久性に優れた積
層型圧電アクチュエータを提供することができる。
【図１】（ａ）は本発明の実施の形態による積層型圧電
アクチュエータの一つの内部電極層パターンを示す図で
ある。（ｂ）は本発明の実施の形態による積層型圧電ア
クチュエータのもう一つの内部電極層パターンを示す図
である。（ｃ）は（ａ）及び（ｂ）に示された内部電極
層パターンの積層状態を示す平面投影図である。（ｄ）
は本発明の実施の形態による積層型圧電アクチュエータ
の縦断面図である。
アクチュエータの一つの内部電極層パターンを示す図で
ある。（ｂ）は本発明の実施の形態による積層型圧電ア
クチュエータのもう一つの内部電極層パターンを示す図
である。（ｃ）は（ａ）及び（ｂ）に示された内部電極
層パターンの積層状態を示す平面投影図である。（ｄ）
は本発明の実施の形態による積層型圧電アクチュエータ
の縦断面図である。
【図２】（ａ）は従来の積層型圧電アクチュエータの一
例を示す水平断面図である。（ｂ）は（ａ）の積層型圧
電アクチュエータの正面断面図である。
例を示す水平断面図である。（ｂ）は（ａ）の積層型圧
電アクチュエータの正面断面図である。
【図３】（ａ）及び（ｂ）は従来の積層型圧電アクチュ
エータの他の一例の内部電極層パターンを夫々示す平面
図である。（ｃ）は（ａ）及び（ｂ）に示された内部電
極層パターンの積層状態を示す平面投影図である。
（ｄ）は（ａ）の積層型圧電アクチュエータの縦断面図
である。
エータの他の一例の内部電極層パターンを夫々示す平面
図である。（ｃ）は（ａ）及び（ｂ）に示された内部電
極層パターンの積層状態を示す平面投影図である。
（ｄ）は（ａ）の積層型圧電アクチュエータの縦断面図
である。
１，５１ 内部電極層 ２，５２ 圧電セラミック層 ３，５３ 外部電極 ４，５４ リード線 ６，５６ 内部電極層を形成しない部分 ７，５７，６７ 積層体 １０，５０，６０ 積層型圧電アクチュエータ ５５ 絶縁体
Claims (1)
- 【請求項１】 圧電セラミック層と内部電極層とを積層
した積層体と、前記積層体の側面に設けた外部電極とを
備えた積層型圧電アクチュエータにおいて、前記内部電
極層の内の第１の内部電極層を、前記積層体の隣り合う
２面の側面に露出するように形成し、前記第１の内部電
極層に隣接する第２の内部電極層を前記第１の内部電極
層が露出した２つの側面以外の前記積層体の２つの側面
に露出した部分を有するように、前記第１及び第２の内
部電極層を交互に前記圧電セラミック層を介して積層し
たことを特徴とする積層型圧電アクチーエータ。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10138769A JPH11341838A (ja) | 1998-05-20 | 1998-05-20 | 積層型圧電アクチュエータ |
| US09/313,018 US6215230B1 (en) | 1998-05-20 | 1999-05-17 | Alternately stacked piezoelectric actuator in which each electrode layer leaves an alternately L-shaped stripe of piezoelectric material uncovered |
| EP99109873A EP0961329B1 (en) | 1998-05-20 | 1999-05-19 | Stacked-type piezoelectric actuator |
| DE69900734T DE69900734T2 (de) | 1998-05-20 | 1999-05-19 | Piezoelektrischer Antrieb des aufgestapelten Typs |
| HK00101727.8A HK1022782B (en) | 1998-05-20 | 2000-03-21 | Stacked-type piezoelectric actuator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10138769A JPH11341838A (ja) | 1998-05-20 | 1998-05-20 | 積層型圧電アクチュエータ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11341838A true JPH11341838A (ja) | 1999-12-10 |
Family
ID=15229776
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10138769A Withdrawn JPH11341838A (ja) | 1998-05-20 | 1998-05-20 | 積層型圧電アクチュエータ |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6215230B1 (ja) |
| EP (1) | EP0961329B1 (ja) |
| JP (1) | JPH11341838A (ja) |
| DE (1) | DE69900734T2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100675329B1 (ko) | 2004-08-17 | 2007-01-26 | 한국기계연구원 | 강성제어를 통한 수평구동형 박막압전 엑츄에이터 |
Families Citing this family (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19928190A1 (de) * | 1999-06-19 | 2001-01-11 | Bosch Gmbh Robert | Piezoaktor |
| JP2002054526A (ja) * | 2000-05-31 | 2002-02-20 | Denso Corp | インジェクタ用圧電体素子 |
| DE10048928A1 (de) * | 2000-10-04 | 2002-04-25 | Bosch Gmbh Robert | Piezoelement |
| JP3506113B2 (ja) * | 2000-11-07 | 2004-03-15 | 株式会社村田製作所 | 電子部品 |
| JP4248777B2 (ja) * | 2000-12-28 | 2009-04-02 | 株式会社デンソー | インジェクタ用圧電体素子及びその製造方法，並びにインジェクタ |
| KR100429116B1 (ko) * | 2001-05-14 | 2004-04-28 | 삼성전자주식회사 | 반도체 ｉｃ 소자의 검사 공정 손실 요인 자동 분석 및관리 시스템과 그 방법 |
| EP1289027A1 (en) * | 2001-08-30 | 2003-03-05 | Océ-Technologies B.V. | Multilayer piezoelectric actuator |
| JP2003086854A (ja) * | 2001-08-30 | 2003-03-20 | Oce Technologies Bv | 多層圧電アクチュエータ |
| US7174792B2 (en) * | 2004-08-09 | 2007-02-13 | Xinetics, Inc. | Multi-axis transducer |
| JP4911066B2 (ja) * | 2007-02-26 | 2012-04-04 | 株式会社デンソー | 積層型圧電素子 |
| DE102010049574A1 (de) * | 2010-07-30 | 2012-02-02 | Epcos Ag | Piezoelektrischer Vielschichtaktor |
| JP2021061336A (ja) * | 2019-10-08 | 2021-04-15 | Tdk株式会社 | 積層型圧電素子 |
| US20230176313A1 (en) * | 2021-12-02 | 2023-06-08 | Plx, Inc. | Self-aligning active retroreflector system and method |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3378704A (en) * | 1966-01-05 | 1968-04-16 | Bourns Inc | Piezoelectric multilayer device |
| EP0094078B1 (en) * | 1982-05-11 | 1988-11-02 | Nec Corporation | Multilayer electrostrictive element which withstands repeated application of pulses |
| US4803763A (en) * | 1986-08-28 | 1989-02-14 | Nippon Soken, Inc. | Method of making a laminated piezoelectric transducer |
| JP2567046B2 (ja) * | 1987-09-25 | 1996-12-25 | 日立金属株式会社 | 積層型変位素子 |
| EP0391419B1 (en) * | 1989-04-07 | 1994-12-14 | Mitsui Petrochemical Industries, Ltd. | Laminated ceramic device and method of manufacturing the same |
| EP0427901B1 (en) * | 1989-11-14 | 1996-04-03 | Battelle Memorial Institute | Method of manufacturing a multilayer piezoelectric actuator stack |
| FR2701188B1 (fr) * | 1993-01-29 | 1995-03-03 | Thomson Csf | Procédé de fabrication de composant piézoélectrique. |
| JP3271517B2 (ja) * | 1996-04-05 | 2002-04-02 | 株式会社村田製作所 | 圧電共振子およびそれを用いた電子部品 |
| DE19802302A1 (de) * | 1998-01-22 | 1999-07-29 | Bosch Gmbh Robert | Piezoelektrischer Aktor |
-
1998
- 1998-05-20 JP JP10138769A patent/JPH11341838A/ja not_active Withdrawn
-
1999
- 1999-05-17 US US09/313,018 patent/US6215230B1/en not_active Expired - Fee Related
- 1999-05-19 DE DE69900734T patent/DE69900734T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1999-05-19 EP EP99109873A patent/EP0961329B1/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100675329B1 (ko) | 2004-08-17 | 2007-01-26 | 한국기계연구원 | 강성제어를 통한 수평구동형 박막압전 엑츄에이터 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0961329A1 (en) | 1999-12-01 |
| DE69900734T2 (de) | 2002-10-17 |
| DE69900734D1 (de) | 2002-02-28 |
| EP0961329B1 (en) | 2002-01-02 |
| HK1022782A1 (en) | 2000-08-18 |
| US6215230B1 (en) | 2001-04-10 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH11341838A (ja) | 積層型圧電アクチュエータ | |
| CN103069599A (zh) | 压电元件及层叠式压电结构体 | |
| JP2001102646A (ja) | 積層型圧電セラミックス | |
| JP5048925B2 (ja) | 圧電アクチュエータ | |
| JP2006351602A (ja) | 積層型圧電アクチュエータ素子 | |
| JPH0669063A (ja) | 積層コンデンサ | |
| JP2824116B2 (ja) | 積層型圧電アクチュエータ | |
| JPH10241993A (ja) | 積層セラミック電子部品 | |
| JP2009530799A (ja) | モノリシック多層アクチュエータの製造方法及びモノリシック多層アクチュエータ | |
| JPH055387B2 (ja) | ||
| JPH08138968A (ja) | 積層型コンデンサ | |
| JPH0794796A (ja) | 積層型電歪／圧電素子 | |
| JP2001025268A (ja) | 積層型圧電アクチュエータ | |
| JPH0354876A (ja) | 積層型変位素子 | |
| JP3116176B2 (ja) | 積層型圧電アクチュエータ | |
| JPS62200778A (ja) | 積層型圧電素子 | |
| JP2884378B2 (ja) | 積層型圧電アクチュエータおよびその製造方法 | |
| JP3567330B2 (ja) | 積層型圧電セラミックアクチュエータ | |
| JP3318686B2 (ja) | 積層型圧電アクチュエータ | |
| JP2000261055A (ja) | 圧電アクチュエータ | |
| JP4039091B2 (ja) | 積層コンデンサ | |
| JP2004063886A (ja) | 積層型圧電セラミック素子 | |
| JP3358669B2 (ja) | 積層型圧電セラミックアクチュエータ | |
| US20250259795A1 (en) | Electronic component | |
| JP2505024Y2 (ja) | 積層セラミック電歪素子 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20041019 |
|
| A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20050214 |