JPH1134330A

JPH1134330A - インクジェット記録装置

Info

Publication number: JPH1134330A
Application number: JP20982897A
Authority: JP
Inventors: Ichiro Asai; 市郎浅井; Yasushi Suwabe; 恭史諏訪部
Original assignee: Fuji Xerox Co Ltd
Current assignee: Fujifilm Business Innovation Corp
Priority date: 1997-07-19
Filing date: 1997-07-19
Publication date: 1999-02-09

Abstract

(57)【要約】【課題】ノズルを用いずに小径インクドロップを吐出
でき、発熱などが生じにくく、高解像度化に対応した微
少ドロップを吐出でき、弾性部材の先端近傍に付着した
固化物等を除去することができるインクジェット記録ヘ
ッドを提供すること。【解決手段】画素信号に対応して振動する振動発生手
段と振動発生手段の励振に応じて振動する弾性部材５と
を有し、印字の際に弾性部材５の振動によりインクの表
面にキャピラリ波を発生させ、インクを飛翔させて記録
媒体に付着させて印字を行う印字ヘッド３３と、非印字
時に弾性部材５を洗浄するために印字ヘッド３３のイン
ク吐出方向に配置される洗浄手段５０とを備えるように
構成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はインク飛翔滴を被印
字面に吐出させて印字を行うインクジェット記録装置に
関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、ノズルからインク滴を吐出させて
印字を行なうインクジェット記録方式が知られており、
吐出するインクのドロップ径は主にノズル径によって決
まる。ノズルを用いるインクジェット記録方式におい
て、従来の解像度は３００ドット／インチ程度であった
が、昨今その解像度が６００乃至７２０ドット／インチ
と高解像度化されてきた。それに伴い、高解像度化によ
る効果を有効に発揮するためには解像度に応じて印字す
るドット径を小さくする必要が生じている。従来の方式
において、ドット径を小さくする手段としては、ノズル
径を小さくし吐出ドロップ径を小さくする方法がある
が、ノズル径を小さくするとゴミによるノズル詰まり
や、ノズル内のインク表面の乾燥による同じくノズル詰
まりや、ノズル円周部へのインク残滓の付着によるイン
ク吐出方向の変化が発生しやすくなり、記録紙上の画質
に欠陥が発生する。このため、本来の解像度に対応した
ドット径を印字するために必要なノズル径を採用できな
いという問題があった。

【０００３】一方、ノズルに起因する問題を解決する方
法として、ノズルレスのインクジェット記録方法が提案
されている。ノズルレスのインクジェット記録方式は振
動や音響波などを用いており、吐出ドロップ径がノズル
径によって支配されないという利点がある。

【０００４】ノズルを用いない第１の従来技術の一例と
しては、例えば米国特許４３０８５４７号に開示され
る。これは、凹状にカーブした球面形状の圧電体シェル
をインク中に配置し、この圧電体シェルに電極を通して
電圧を印加するものである。この圧電体シェルからイン
ク中に放射された縦波はインク自由表面の一点に集めら
れ、インク自由表面からドロップが吐出される。さら
に、この種の従来技術の生産性や構造の精密さを向上で
きるものとして特公平６−４５２３３号公報や特開平３
−２００１９９号公報に開示された技術が知られてい
る。このような従来技術においては、振動子で発生した
振動を音響レンズでインク自由表面の一点に集束しドロ
ップを吐出させている。しかし、小さなドロップを吐出
させるためには１００ＭＨｚ前後の高周波数で駆動する
ため、駆動手段が一般に高価になるというコスト上の問
題がある。また、発熱によりインク粘度が上昇しドロッ
プ径が変動したり、印字ヘッド内でインク自体の乾燥・
固化が起こり吐出できなくなるという重大な問題が生じ
やすい。これは、インク中を伝搬する縦波は高周波数で
駆動するほどインク中で減衰しやすく、インク中に吸収
されるエネルギー量が増大する結果、発熱量も増加して
ゆくからある。従って、この問題を解決するためにヘッ
ドに冷却機構を設けるなどの方法もあるが、印字ヘッド
のコストやサイズが大きくなり問題である。

【０００５】さらに第２のノズルを用いないインクジェ
ット記録技術としては、振動子で発生した振動を音響ホ
ーンでインク自由表面の一点に集束しドロップを吐出さ
せる方式がある。米国特許４３０８５４７号では、凹状
レンズのかわりに振動子の上に形成された音響ホーンに
より振動を集束し、音響ホーン先端に接触したベルト上
を搬送されてくるインク薄膜にこの振動が作用しインク
ドロップを吐出させるものが開示される。また、特開平
４−１６８０５０号公報では、集音体を圧電体上に設け
た構成が提案されている。集音体は、圧電体およびこれ
に電圧を印加するための電極からなる振動子の上に形成
され、インクを保持したインクリザーバー中に配置され
ている。集音体は先細りの形状で、集音体の底部から入
射した歪みが集音体内部を伝搬するに伴って集音体の振
幅が増幅される。そして、集音体で集められた大振幅の
波がインクをたたくことで生じた縦波がインク自由表面
を押し上げインクドロップを吐出させる。

【０００６】音響学の分野においては一般に、共振によ
り集音体（もしくは音響ホーン）の先端を大振幅に振動
させて吐出力を得ようとした場合、集音体中を振動波が
伝搬するためには、集音体の垂直断面方向の長さ（高
さ）は振動波の波長の１／２波長の整数倍の大きさを持
つものでなければならないことが知られている。従っ
て、集音体の大きさを小さくし高密度なインクジェット
ヘッドを作製するためには、振動波の波長も小さく、つ
まり振動子を振動させる駆動周波数を大きくしなければ
ならない。従って、このような従来技術においては、イ
ンク中のエネルギー減衰を抑えかつ比較的安価な駆動回
路ですむように低周波数で駆動させようとすると集音体
が著しく大きくなるため、高密度な印字ヘッドを作製で
きないという問題があった。従って、現実的な密度の印
字ヘッドを作製するためには、先の第１の従来技術同様
に数１０Ｍから数１００ＭＨｚという高い周波数で駆動
させる必要があった。また、音響ホーンに接触したベル
トでインク薄膜を安定に搬送することは実際上は困難で
あり、吐出ドロップ径がばらつきやすく問題であった。

【０００７】さらに第３のノズルを用いないインクジェ
ット記録技術としては、吐出力として静電力を用いるい
わゆる静電吸引方式がある。静電吸引方式には、そのイ
ンクメニスカスを形成するために、振動を用いるものが
知られている。例えば、特開昭６２−２２２８５３号公
報では、記録針をインク表面から突出させ、これに軸方
向に伝搬する超音波エネルギーを与えるという技術が開
示される。ここでは、超音波流動（ａｃｏｕｓｔｉｃ
ｓｔｒｅａｍｉｎｇ）現象により、記録針に接するイン
クは記録針の先端方向に移動し、記録針の先端に凸状の
インク隆起（インクメニスカス）を形成する。そこで、
記録針と背面電極との間に静電界を印加し、インクを引
きちぎり、記録針と背面電極との間に配置された記録媒
体上にインク滴を着弾させる。これは、記録針の先端に
インクメニスカスを形成するため、従来の静電吸引方式
に比べ、より小さいインクドロップを形成できるとして
いる。また、特開昭５６−２８８６７号公報でも、針電
極と背面電極との間に静電界を印加しておき、針電極に
画像信号を印加すると同時に、針電極を振動させる静電
吸引方式が提案されている。このようにすると、インク
ジェットの粒子化が安定にできる。しかし、静電吸引方
式では、湿度などによる記録媒体の誘電体厚みの変動や
記録媒体の表面粗さのばらつきなどによって、形成され
るドロップ径が変動しやすい。さらに、このような構成
では、静電界のみならず、超音波も生成する必要がある
ため装置が大きくかつ高価になりやすいという欠点があ
った。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、ノズルを用
いずに小径インクドロップを吐出でき、かつ、発熱など
が生じにくくコストも安価な低周波数駆動でエネルギー
効率の良いインクジェット記録装置を提供することを目
的とする。また、本発明は、高解像度化に対応した微少
ドロップを吐出でき、インク詰まりやドロップ径の変動
などといったインク吐出の不安定さがない高信頼で高画
質な印字が可能である新規なインクジェット記録装置を
提供することを目的とする。さらに、本発明は弾性部材
の先端近傍に付着した固化物あるいはその粘度が上昇し
たインク物を除去するための洗浄手段を有するインクジ
ェット記録装置を提供することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明はキャピラリ波に
よるドロップ吐出現象を用いている。ここでキャピラリ
波と、本発明の基本原理を図９乃至図１１を用いて説明
する。

【００１０】図９を用いて、キャピラリ波による液滴形
成の原理について説明する。キャピラリ波による液滴形
成は、例えば山海堂発行「超音波噴霧」１６８頁（１９
９０）に述べられているように、超音波噴霧などの発生
機構として知られている。図９に示すように、キャピラ
リ（毛細表面）波は振動面上の薄い液膜に見られる現象
であり、液体６の表面張力を復元力とする振動体９上の
薄液層の表面波である。振動体９の振動振幅が十分にあ
れば、徐々に波頭が成長してゆき波頭から液滴が引きち
ぎれる形態をとる。波頭と波頭の間隔はキャピラリ波の
波長λであり次のように求まる。

【００１１】λ＝（８πσ／ρｆｅ²）^1/3

【００１２】ここでσ、ρは液体の表面張力、および密
度であり、ｆ_eは励振（駆動）周波数である。励振周波
数ｆ_eが高いほど、波長λは小さく、いわゆるキャピラ
リ波は細かくなり、その波頭から分裂する液滴径も小さ
くなる傾向がある。キャピラリ波の作用により飛翔する
液滴はその波長以下の微小滴とすることができる。数ｋ
Ｈｚから数ＭＨｚと比較的駆動周波数が低くても小さな
ドロップを吐出できるため従来から印字ヘッドへの適用
が検討されてきた。しかし、複数滴が発生しやすい、各
滴の直径がばらつくなどの理由から単一滴による印字は
実現されておらず、このため複数滴発生を前提として、
上部に配したノズル孔で印字ドット径を制御する方式が
とられていた。なお、ノズル孔に起因する問題のみなら
ず、複数滴を発生させるため印字ドット径が広がり（大
きくなり）やすく、またドット周辺にも飛沫が飛び画像
を劣化させやすかった。

【００１３】図１０、図１１は本発明のドロップ吐出機
構の概要について説明するものである。図１０は吐出ヘ
ッドの断面図であり、図１１はその正面図である。な
お、図１１では吐出ドロップは図示しない。

【００１４】振動を発生する機構（振動子）９としては
電歪素子、磁歪素子、機械式アクチュエータなどが適用
可能である。図１０では、基板１上に圧電セラミック薄
膜２、およびこれを駆動するための電極３，４を形成し
振動子９として用いる。振動子９の上に、金属薄膜など
からなる弾性部材５を形成する。

【００１５】振動子９は、基板１の剛性や圧電セラミッ
ク薄膜２の厚さなどから決まる固有の共振周波数ｆ０を
持つため、外部駆動手段１２０から振動子９にｆ０と同
じもしくはその整数倍の周波数ｆで電圧を印加して励振
する（以下、外部駆動手段は図示しない）。この時、振
動子９に接続された弾性部材の共振周波数ｆ１がｆ０と
同じになるように弾性部材５の大きさや剛性、インク６
の高さや量などを調整しておくと、振動子９の振動に共
振し、片持ち梁構造の弾性部材５を曲げ振動させること
がきる。ここでは、弾性部材５は、振動子９の主たる振
動方向（ａ−ａ’）と略垂直方向（ｂ−ｂ’）に曲げ振
動させた。片持ち梁構造の弾性部材は、基端部より先端
部の方が、曲げこわさを小さくすることによって、弾性
部材の先端近傍でより効率よく曲げ振動し振幅を得るこ
とができる。曲げこわさは、弾性部材の（断面２次モー
メント）×（ヤング率）で表されるものである。

【００１６】サイン波状の交流電圧を一定期間だけバー
スト波として振動子９に印加して図１０のようにａ−
ａ’方向に振動させ、弾性部材５に曲げ振動させる。な
お、振動子をａ−ａ’方向以外に振動させて弾性部材５
を曲げ振動させてももちろんよい。バースト波とは、振
動子を駆動する際、１個から複数個の波からなる交流電
圧が断続的に振動子に印加される波形をいう。波形はサ
イン波に限らず三角波やノコギリ波等でもよい。

【００１７】なお、弾性部材５の材料としてはシアノア
クリレート系樹脂やエポキシ系樹脂あるいはフッ素系樹
脂やポリイミドなどの各種樹脂を用いることができる。
特にポリイミドなどのように精密に形状を加工できる樹
脂を用いることは重要である。共振を用いて弾性部材先
端に大きな変位を実現したい場合には、その寸法を精密
に形成できる材質と加工方法を選択すべきであり、先の
ポリイミドなどではエキシマレーザやフォトリソグラフ
ィー技術を使ってこれを実現できる。また、ＳｉＯ₂、
ＳｉＯＮあるいはＳｉＮやＡｌＮやＡｌ₂Ｏ₃などといっ
た各種無機材料で弾性部材を形成してもよい。また、Ａ
ｌ、Ｆｅ、Ｔｉ、Ｃｒ、Ａｕ、Ｍｏ、ＴｉＷなど、ある
いはそれらの各種合金で弾性部材を形成してもよい。イ
ンクと接する間に腐食しないようにＳｉＯ₂などの無機
膜でそれらの表面を保護してもよい。樹脂と無機材料と
金属のうち、２つ以上の材料を用いて構成してもよいの
はもちろんである。また、振動エネルギーが効率的に伝
搬できるのなら、弾性部材の先端と基端部を別な材料で
構成してもよい。

【００１８】また、振動子として圧電体を用いる場合に
は、圧電基板で構成しても圧電薄膜で構成してもよい。
また、圧電体として、水晶、ジルコン酸・チタン酸鉛
（ＰＺＴ）やチタン酸バリウムＢａＴｉＯ₃、ニオブ酸
鉛ＰｂＮｂ₂Ｏ₆、Ｂｉ₁₂ＧｅＯ₂₀、ニオブ酸リチウムＬ
ｉＮｂＯ₃、タンタル酸リチウムＬｉＴａＯ₃などの多結
晶体や単結晶体、あるいはＺｎＯやＡｌＮなどの圧電薄
膜、あるいはポリ尿素、ＰＶＤＦ（ポリフッ化ビニリデ
ン）やＰＶＤＦの共重合体などの圧電性高分子またはＰ
ＺＴなどの無機圧電物質と圧電性高分子との複合体など
でもよい。

【００１９】弾性部材が静止している状態でも、弾性部
材の先端近傍には表面張力によりインクの厚さが薄い部
位がある。静止状態が比較的長時間にわたると、特にこ
の弾性部材先端近傍ではインクの乾きによりインクの物
性に変化が生じやすい。インクの乾きが激しい場合に
は、先端近傍にインクが固化し付着する場合があり、弾
性部材の先端の振動量が変わり、吐出ドロップ径や吐出
方向が著しく変化して画質が劣化したり、インクドロッ
プが吐出できなくなることがある。印字が完了し記録装
置を停止した際には、インク面を弾性部材の先端より上
に配置したり、あるいはインクドロップが吐出する装置
の吐出開口部にキャップ材を押し当ててキャッピングし
インク成分の蒸発を押さえることでこの問題は回避でき
る。しかし、印字中には先の問題が発生しやすい。これ
は、印字中であっても画像信号によってはたまたま比較
的長い間吐出せずに待機状態となるイジェクタが存在す
るためである。

【００２０】従って、本記録装置においては、一連の印
字動作が完了する前に１回もしくは複数回にわたって、
あるいは一連の印字動作が完了した後に、弾性部材の先
端を洗浄し、弾性部材の先端近傍に付着した固化物ある
いはその粘度が上昇したインク物を除去することが望ま
しい。ノズル径によってインク吐出径が支配される従来
の記録装置では、ノズル孔周辺に付着したインクやその
固化物を比較的容易にワイピングなどにより除去でき
る。しかし、本記録装置においては、弾性部材がインク
吐出径を支配しており、この繊細な構造の弾性部材を変
形させたり破損することなしにワイピングするなどして
クリーニングすることはかなり困難である。

【００２１】そこで上記目的は、画素信号に対応して振
動する振動発生手段と、振動発生手段の励振に応じて曲
げ振動する弾性部材とを有し、印字の際に弾性部材の振
動によりインクの表面にキャピラリ波を発生させ、イン
クを飛翔させて記録媒体に付着させて印字を行う印字ヘ
ッドと、非印字時に弾性部材を洗浄する洗浄手段とを備
えたことを特徴とするインクジェット記録装置によって
達成される。

【００２２】この洗浄手段における弾性部材及びこれを
励振するための機構は、印字に用いるものと同一の振動
発生手段および弾性部材からなる。非印字時において、
印字に用いるものと同一の振動発生手段を励振し、その
励振により印字に用いるものと同一の弾性部材を曲げ振
動させるものである。

【００２３】弾性部材を強く振動させると、超音波洗浄
に近い状態となり、弾性部材の先端に付着したインク固
化物あるいは粘度上昇したインク物をインク中に溶解し
除去することができる。この洗浄においては弾性部材を
なるべく大きく曲げ振動させることが有効である。この
洗浄を短時間に完了させたい場合には、印字時に比べて
大きな電圧で振動発生手段を励振することが望ましい。
ただし、弾性部材を大きく曲げ振動させると複数のイン
クドロップが弾性部材から吐出する。そこで、複数のイ
ンクドロップにより装置内を汚すなど問題が生じてしま
う場合には、弾性部材先端をインクに埋没させ振動させ
るか、キャッピングして弾性部材を振動させるとよい。
弾性部材先端をインクに埋没させ振動させる場合は、キ
ャピラリー波の発生と波頭からの飛翔は起こりにくくな
り、流動により弾性部材先端上にインクの盛り上がりが
生じるが、インク中にて弾性部材先端の洗浄が進行す
る。キャッピングして弾性部材を振動させる場合は、装
置内を汚すなどの問題が発生することがない。また、弾
性部材をクリーニング部に移動させ弾性部材を洗浄する
方法も有効である。これによれば、弾性部材を振動させ
複数のインクドロップが弾性部材先端から吐出しても、
吐出したインクをクリーニング部がスポンジなどによっ
て受け取る構造にしてあれば、洗浄のために弾性部材を
振動させるときにキャッピングをしなくても問題が生じ
ない。

【００２４】弾性部材を曲げ振動させてその先端を洗浄
するときには、振動発生手段を印字時において励振する
周波数と略同一もしくはその整数倍の周波数で、振動発
生手段を励振する。このようにすることにより、印字時
と同じ振動発生手段と弾性部材を用いて洗浄を行うこと
ができるため、洗浄手段として特別に記録装置に付加す
る必要がない。従って、記録装置が大型化したりコスト
が余分にかかることがない。なお、整数倍の周波数で、
振動発生手段を励振することは特に効果がある。励振す
る周波数が高いほど、弾性部材先端の振幅は一般には小
さくなるが、加速度が増加するため洗浄力が増大するか
らである。励振する周波数は１ｋＨｚから１０ＭＨｚの
範囲が適している。なお、洗浄するに際し、弾性部材を
振動させうるのであれば印字時とは異なる周波数で振動
発生手段を励振しても構わない。

【００２５】洗浄は原則的には非印字時に行うものであ
る。しかし、洗浄は一連の印字動作の途中で中断して洗
浄を実行する場合や一連の印字動作が完了し記録装置が
停止している場合のみならず、一連の印字動作中にたま
たま非印字な状態にあるイジェクタに対しても行うこと
が可能である。画像信号によって比較的長い間インクド
ロップを吐出せずに待機状態となるイジェクタがわかっ
ている場合に、このイジェクタに対して洗浄を実行する
ことができる。

【００２６】非印字時において、インク室に洗浄液を導
入して洗浄手段を励振する洗浄方法も有効なものであ
る。この場合にも、印字時に励振するときと同一の振動
発生手段と弾性部材を用いて洗浄を行うことが好まし
い。ただし、インク室のインクを一旦回収した後、洗浄
液を導入して洗浄するため、洗浄に時間を要することに
なる。洗浄液は、用紙上に画像を形成するための特性を
有する必要はなく、インク固化物を溶解できる特性を有
していれば十分良好に弾性部材先端の洗浄を遂行するこ
とができる。なお、本発明は、ドロップ径を規定するた
めにいわゆるノズルを用いる必要はない。このため、イ
ンクの乾燥を抑制するなどために吐出ドロップ径より大
きな吐出開口を配置することができる。従って、後ほど
発明の実施の形態で述べるように、ノズルを用いる従来
技術に比べて吐出開口を大きくすることができ、よって
インク室に洗浄液を導入するもしくは排出することが容
易である。このため、インク室への洗浄液の導入・排出
が短時間かつ完全に行うことができる。

【００２７】なお、洗浄を行うために、印字に用いる手
段とは異なる振動発生手段や弾性部材を各イジェクタも
しくは印字ヘッド全体に設けてもかまわない。

【００２８】以上のように、駆動周波数という観点から
は、レンズなどを用い数百ＭＨｚを必要とした従来技術
に比べ、本発明では数百ｋＨｚ前後と大幅に低い周波数
で微小インク滴を吐出でき、高周波駆動のための高価な
駆動系が不要になるとともに、インク中で発生する発熱
量も低減され吐出ドロップ径の変動やヘッド内のインク
固化による信頼性低下といった問題も起こりにくくな
る。さらに、本発明により、安定に印字できるととも
に、小型で安価な印字装置を提供できる。

【００２９】

【発明の実施の形態】以下、図１乃至図８を用いて本発
明の実施の形態を説明する。図１、図２に本発明の第１
の実施の形態によるインクジェット記録装置の印字ヘッ
ドの構成を示す。概略を説明した先の図１０、図１１と
同じ部材には同じ番号が付けてあり、図１は印字ヘッド
の断面図を、図２は正面図（インクドロップは省略され
ている）を示している。インクジェット記録装置の印字
ヘッド部は、主にはインクタンク１０３と印字ヘッド３
３からなっている。

【００３０】１０μｍの厚さのジルコニアからなる振動
板１上に０．５μｍの厚さのＡｇ電極３を堆積後パター
ンニングし、続いて３０μｍの厚さのジルコン酸・チタ
ン酸鉛（ＰＺＴ）からなる圧電セラミック薄膜２を堆積
後パターンニングし、さらに０．０５μｍの厚さのＣｒ
と１μｍの厚さのＡｕの２層からなる電極４を堆積後パ
ターンニングし形成した。ＰＺＴ薄膜は分極処理され、
両電極間に電圧が印加された場合に振動板に対して水平
方向に振動するが、振動板との関係において、結果的に
は圧電セラミック薄膜２および電極３，４からなる振動
子９は振動板に対して垂直方向に振動する。なお、電極
３は各振動子に共通するコモン電極であり、電極４は特
定の振動子のみを振動させるためのアドレス電極であ
る。図では省略されているが、これらの電極配線は振動
板の端部から接続コネクタ１０４を介して図示していな
い外部の駆動電源に接続されている。さらに、振動子９
を１μｍの厚さのＳｉＯ₂などからなる保護膜１０で被
覆した。保護膜を被覆することにより、環境からもたら
されうる水分がＰＺＴ薄膜の分極率に変化を引き起こな
いようにしてある。なお、振動子へのインクからの悪影
響を防止できるのならば、弾性部材５が形成される振動
板の一面と同一の面にこの振動子を形成してももちろん
よい。

【００３１】次に、振動子９が形成された振動板１の一
面をアルミナからなる保持部材２０とその支持部２１を
介して接着した。弾性部材５を持つ各振動子が吐出のた
めの一つのイジェクタを構成するが、印字時に各イジェ
クタが発生する振動が隣接イジェクタに影響を及ぼさな
いように、この支持部２１で各イジェクタの振動をその
部位に限定する。

【００３２】さらに、各振動子９が形成された振動板１
の面とは異なる他面の上に、厚さ５μｍ、底辺が５０μ
ｍで高さが２５０μｍの図２に示す形状のポリイミドか
らなる弾性部材５を形成した。弾性部材５は、長方形板
において先端から４０μｍまで７０°に先鋭化した。こ
の作製工程は次のようである。長方形のポリイミド・フ
ィルムを８５°に折り曲げ、接着層厚が２μｍとなるよ
うエポキシ系樹脂を台部材上に塗布し、Ｌ字となったフ
ィルムの１面を台部材に接着する。続いて、台部材上に
立った他面をその面に垂直となる方向からエキシマレー
ザを照射し先程の形状に加工した。

【００３３】続いて、吐出開口２７を有するインク室２
５をプラスチック２６により形成した。吐出開口２７は
プラスチック２６にエキシマレーザを照射して形成し
た。さらに、プラスチック２６にはインク供給口２８が
開けられており、異物を除去し供給を安定化するインク
フィルタ１０２を介してインク６が充填されたインクタ
ンク１０３に接続されている。弾性部材５の先端５０μ
ｍがインク面７より突出するように、図示していない外
部のインク供給圧調製器によりインク圧を調整した。ま
た、インク室２５を形成するプラスチック２６には、図
のように、インク面７の高さを固定するようにインク室
２５の底面から約２００μｍの位置にインク面固定部材
２９を取り付けてある。この材質はインクに侵されずイ
ンク面を固定できるものならなんでもよいが、ここでは
インク室を構成する材質と同一のプラスチックを用い安
価に一体形成した。

【００３４】印字時には、図示していない交流電源を用
いて、外部からこの振動子９に振動板１の剛性や形状な
どから決まる固有の共振周波数ｆ₀と同じ、もしくはそ
の整数倍の周波数ｆで、画像信号に応じて電圧を印加し
て励振した。印字時には、複数のイジェクタのうち一つ
もしくは複数のイジェクタに選択的に電圧を印加してい
る。本実施の形態では、一つの画素を形成するために、
選択したイジェクタに対して、２００ｋＨＺで１０Ｖｐ
−ｐ（最高最低振幅）の電圧を印加時間５０μｓｅｃの
間バースト的に印加した（バースト数は１０）。アドレ
ス電極で選択されたイジェクタの弾性部材５の先端のみ
から、弾性部材５にほぼ直角に１５μｍ直径のインクド
ロップが吐出した。インクドロップは１ｍｍ離して配置
された印字紙３６上に達し、画像信号に応じて複数のド
ット（画素）を生成し画像を形成してゆく。

【００３５】この時の本実施の形態によるインクジェッ
ト記録装置全体の概要は以下のようである。図３は本発
明のインクジェット記録装置の主要部の構成図を示す。
インクジェット記録装置３７は、後述する各色に対応し
た数の複数の印字ヘッド３３がキャリッジ３４に固定さ
れ、キャリッジ３４は印字紙３６の紙幅方向に往復移動
し、印字紙３６が移動することにより印字紙全面に文字
および絵を印字できるようになっている。なお、各印字
ヘッド３３内では振動子および弾性部材からなる複数の
イジェクタが振動板上に配置されているが、外部から与
えられる画像信号に応じてその時々で選択されたイジェ
クタのみが駆動されインクドロップを吐出する。

【００３６】さらに、印字紙３６の移動はローラー３５
を回転させることにより行った。キャリッジ３４の送り
速度と印字ヘッド３３内の各振動子の配置間隔は６００
ｄｐｉ（ｄｏｔｐｅｒｉｎｃｈ）に対応するように
した。キャリッジ３４に固定された各印字ヘッド３３
は、黒、イエロー、マゼンタ、シアンのインクタンク３
８のどれかに接続されている。各インクは各印字ヘッド
３３へ供給され、画像信号に対応した振動子に電圧が加
わると、その選択された振動子上のインク面からインク
ドロップが吐出され画像を形成してゆく。なお、図示し
ていないが印字ヘッド３３への電気的信号はキャリッジ
３４を介して外部から送られる。印字ヘッド３３の印字
駆動条件は先に述べた。

【００３７】印字ヘッド３３内の弾性部材先端の洗浄は
以下のように行った。印字ヘッド３３に画像信号が伝達
され、一定期間、インクドロップを吐出したら、図３に
示すクリーニング部４０に印字ヘッド３３を移動し洗浄
手段により洗浄した。洗浄手段は、印字に用いるものと
同一の振動発生手段および弾性部材である。キャリッジ
３４は印字紙３６の紙幅方向に往復移動するが、本実施
の形態では、各色が印字のために１０往復するごとに印
字ヘッド３３をクリーニング部４０に移動した。図４に
本実施の形態によるクリーニング部の詳細を示す。クリ
ーニング部４０は、開口部４３を有するプラスチックか
らなる外部ケース４１とその中に収容されたスポンジ４
２とからなる。洗浄工程において生じうるインクドロッ
プ８は、印字ヘッド３３から吐出されそのままクリーニ
ング部４０に達しスポンジ４２に吸収される。洗浄工程
においては、外部から全イジェクタに信号を入力し、２
００ｋＨＺで３０Ｖｐ−ｐ（最高最低振幅）の電圧を印
加時間５０ｍｓｅｃの間バースト的に印加した。この信
号により、全イジェクタの弾性部材は印字時に比べより
激しく振動し、弾性部材先端にできたインク固化物やあ
るいは粘度上昇したインク物をインク中に溶解し除去す
ることができた。

【００３８】なお、本実施の形態では、洗浄工程におい
て全イジェクタに洗浄信号を入力したが、洗浄を必要と
しないイジェクタは励振しなくてももちろんよい。ま
た、クリーニング部においては、インクドロップを受け
入れることができるものであれば吸収スポンジに限ら
ず、他の吸収機構、もしくはインク回収機構を設けても
もちろんよい。また、クリーニング部において、スポン
ジの代わりに、キャッピングのできるキャップ材を配置
してもよい。その場合、キャップ材を図１の吐出開口２
７に押し当て、洗浄手段を駆動させ弾性部材先端を振動
させる。吐出開口２７がキャッピングされているため、
洗浄工程において生じたインクドロップが記録装置内を
汚すこともなく洗浄を実施することができる。また、本
実施の形態では、印字のために１０往復するごとに印字
ヘッドをクリーニング部に移動し洗浄したが、この回数
は使用環境（温度、湿度）や使用するインクの物性（粘
度、保湿材成分やその濃度）などにより適宜選択される
べきものである。また、可能であるならば、印字中では
なく印字完了後、もしくは印字前にこの洗浄を実施して
もよい。

【００３９】印字後の印字紙３６上に形成された各ドッ
トは、各色インクともほぼ３０μｍ径の円状に整った均
一小径ドットであった。洗浄手段により洗浄を行ったこ
とにより、洗浄工程前後におけるドット径やドットの着
弾位置精度に各色とも変動はなく、小径ドロップを安定
に吐出することができていた。

【００４０】ノズルをインク表面に配置してしていない
ため、インク・ノズル内およびその周辺へのインク固着
はなく、微少ドロップを安定して吐出ができた。また、
駆動周波数も低いので発熱もなく、発熱によるインクの
粘度変化や固化といった問題も生じなかった。特に、洗
浄手段の導入により、高い解像度に対応する微小ドット
を安定に形成でき高品位な印字が可能であった。また、
印字に用いると同一の振動発生手段および弾性部材で洗
浄手段を構成しているため小型で安価な記録装置を実現
できた。

【００４１】図５、図６に本発明の第２の実施の形態に
よるインクジェット記録装置の印字ヘッドを示す。図５
は印字ヘッドの断面図を、図６は正面図（インクドロッ
プ８は省略されている）を示している。また、第１の実
施の形態と同じ部材には同じ番号が付けてある。本実施
の形態において、第１の実施の形態と異なるのは、洗浄
液を用いた弾性部材の洗浄方法である。

【００４２】１０μｍの厚さのジルコニアからなる振動
板１上に０．５μｍの厚さのＡｇ電極３を堆積後パター
ンニングし、続いて３０μｍの厚さのジルコン酸・チタ
ン酸鉛（ＰＺＴ）からなる圧電セラミック薄膜２を堆積
後パターンニングし、さらに０．０５μｍの厚さのＣｒ
と１μｍの厚さのＡｕの２層からなる電極４を堆積後パ
ターンニングし形成した。ＰＺＴ薄膜は分極処理され、
両電極間に電圧が印加された場合に振動板に対して水平
方向に振動するが、振動板との関係において、結果的に
は圧電セラミック薄膜２および電極３，４からなる振動
子９は振動板に対して垂直方向に振動する。なお、電極
３は各振動子に共通するコモン電極であり、電極４は特
定の振動子のみを振動させるためのアドレス電極であ
る。図では省略されているが、これらの電極配線は振動
板の端部から接続コネクタ１０４を介して図示していな
い外部の駆動電源に接続されている。さらに、振動子９
を１μｍの厚さのＳｉＯ₂などからなる保護膜１０で被
覆した。保護膜を被覆することにより、環境からもたら
されうる水分がＰＺＴ薄膜の分極率に変化を引き起こな
いようにしてある。なお、振動子へのインクからの悪影
響を生じなくできるのならば、弾性部材５が形成される
振動板の一面と同一の面にこの振動子を形成してももち
ろんよい。

【００４３】次に、振動子９が形成された振動板１の一
面をアルミナからなる保持部材２０とその支持部２１を
介して接着した。弾性部材５を持つ各振動子が吐出のた
めの一つのイジェクタを構成するが、印字時に各イジェ
クタが発生する振動が隣接イジェクタに影響を及ぼさな
いように、この支持部２１で各イジェクタの振動をその
部位に限定する。

【００４４】さらに、各振動子９が形成された振動板１
の面とは異なる他面の上に、厚さ５μｍ、底辺が５０μ
ｍで高さが２５０μｍの図６のような形状のポリイミド
からなる弾性部材５を形成した。弾性部材５は、長方形
板において先端から４０μｍまで７０°に先鋭化した。
この作製工程は次のようである。長方形のポリイミド・
フィルムを８５°に折り曲げ、接着層厚が２μｍとなる
ようエポキシ系樹脂を台部材上に塗布し、Ｌ字となった
フィルムの１面を台部材に接着する。続いて、台部材上
に立った他面をその面に垂直となる方向からエキシマレ
ーザを照射し先程の形状に加工した。

【００４５】続いて、吐出開口２７を有するインク室２
５をプラスチック２６により形成した。吐出開口２７は
その開口形状が吐出ドロップ径になんら関係を有しない
ため、後に述べる洗浄工程において使用する洗浄液をこ
のインク室２５に導入しやすいように先の実施の形態に
比べ大きな開口面積にしてある（図６）。吐出開口２７
はプラスチック２６にエキシマレーザを照射して形成し
た。さらに、プラスチック２６にはインク供給口２８が
開けられており、図示していないインクリザーバからイ
ンク供給ポンプ１１３を用いて適宜、チューブ１１２、
１１４を介しインク室２５にインクが供給される。ま
た、このインク供給ポンプ１１３はその供給圧を調整し
て、インク面７の高さをインク室２５の底面から常に一
定の高さとなるよう固定する機構を行っている。弾性部
材５の先端５０μｍがインク面７より突出するように、
インク供給ポンプ１１３によりインク圧を調整した。ま
た、インク室２５には大気連通口１１１と開閉電磁弁１
１５を介して必要に応じて大気と連通可能となってい
る。なお、インク供給口２８には開閉電磁弁１１０が配
置され、必要により開閉する。インク室２５を形成する
プラスチック２６には、図のように、インク面７の高さ
を固定するようにインク室２５の底面から約２００μｍ
の位置にインク面固定部材２９を取り付けてある。

【００４６】印字時には、図示していない交流電源を用
いて、外部からこの振動子９に振動板１の剛性や形状な
どともから決まる固有の共振周波数ｆ₀と同じ、もしく
はその整数倍の周波数ｆで、画像信号に応じて電圧を印
加して励振した。印字時には、複数のイジェクタのうち
一つもしくは複数のイジェクタに選択的に電圧を印加し
ている。本実施の形態では、一つの画素を形成するため
に、選択したイジェクタに対して、２００ｋＨＺで１０
Ｖｐ−ｐ（最高最低振幅）の電圧を印加時間５０μｓｅ
ｃの間バースト的に印加した（バースト数は１０）。ア
ドレス電極で選択されたイジェクタの弾性部材５の先端
のみから、弾性部材５にほぼ直角に１５μｍ直径のイン
クドロップが吐出した。インクドロップは１ｍｍ離して
配置された印字紙３６上に達し、画像信号に応じて複数
のドット（画素）を生成し画像を形成する。

【００４７】この時の本実施の形態によるインクジェッ
ト記録装置全体の概要は以下のようである。図７は本実
施の形態によるインクジェット記録装置の主要部の構成
図を示す。インクジェット記録装置３７は、後述する各
色に対応した数の複数の印字ヘッド３３がキャリッジ３
４に固定され、キャリッジ３４は印字紙３６の紙幅方向
に往復移動し、印字紙３６が移動することにより印字紙
全面に文字および絵を印字できるようになっている。な
お、各印字ヘッド３３内では振動子および弾性部材５か
らなる複数のイジェクタが振動板上に配置されている
が、外部から与えられる画像信号に応じてその時々で選
択されたイジェクタのみが駆動されインクドロップを吐
出する。

【００４８】さらに、印字紙３６の移動はローラー３５
を回転させることにより行った。記録画像の画素密度が
主走査方向、副走査方向ともに６００ｄｐｉ（ｄｏｔ
ｐｅｒｉｎｃｈ）になるように、ローラー３５の送り
速度およびキャリッジ３４の送り速度と印字のタイミン
グを調整した。キャリッジ３４に固定された各印字ヘッ
ド３３は、黒、イエロー、マゼンタ、シアンのインクタ
ンク３８のどれかに接続されている。各インクは各印字
ヘッド３３へ供給され、画像信号に対応した振動子に電
圧が加わると、その選択された振動子上のインク面から
インクドロップが吐出され画像を形成してゆく。なお、
図示していないが印字ヘッド３３への電気的信号はキャ
リッジ３４を介して外部から送られる。印字ヘッド３３
の印字駆動条件は先に述べた。

【００４９】印字ヘッド３３内の弾性部材先端の洗浄は
以下のように行った。先ず、画像信号に対応して一連の
印字動作が完了したら、印字ヘッド３３は図７において
右端のクリーニング部５０の部分まで移動する。クリー
ニング部５０上で印字ヘッド３３は図示していない回転
機構により９０°矢印Ａのごとく回転することが可能に
なっている。回転する場合には、図８に示すように、印
字ヘッド３３とクリーニング部５０は密着される。な
お、図８では密着後の様子を転倒して描いているが、矢
印Ｂの方向が図６の矢印Ｂの方向に一致している。ま
た、図８では印字ヘッド３３の一部が省略して描かれて
いる。

【００５０】ここで、クリーニング部５０は、図８に示
すようにプラスチックからなる本体５１と印字ヘッド３
３の吐出開口２７に密着する開口５３を有するゴム部５
２からなる。また、本体５１には洗浄液を供給するため
の開口６０が開けられ、図示していない洗浄液リザーバ
からチューブ６４、６２を介して供給ポンプ６３を用
い、さらには適宜、開閉電磁弁６１の開閉により洗浄液
が供給されるうるようになっている。また、本体５１に
は洗浄液およびインクを排出するための開口６９が開け
られ、チューブ６６、６８を介して排出ポンプ６７を用
い、さらには適宜、開閉電磁弁６５の開閉により図示し
ていない排液リザーバに排液が排出されうるようになっ
ている。

【００５１】一連の印字動作が完了したら、印字ヘッド
３３のインク供給を停止するよう開閉電磁弁１１０を動
作させ閉じた。続いて、印字ヘッド３３はクリーニング
部５０の部分まで移動し、キャリッジ３４ごと回転した
後、クリーニング部５０に密着された。回転により、印
字ヘッド３３のインク室内のインク６はクリーニング部
５０に排出され、開閉電磁弁６５を開き、排出されたイ
ンクは排出ポンプ６７によりチューブ６６、６８を介し
て排出リザーバに排出された。続いて、開閉電磁弁６５
を閉じ、開閉電磁弁６１を開き図示していない洗浄液リ
ザーバからチューブ６４、６２を介して供給ポンプ６３
を用いて洗浄液をクリーニング部５０、さらには密着し
ている印字ヘッド３３のインク室２５に開口２７を通じ
て導入した。この時、洗浄液がインク室２５に入りやす
いように、開閉電磁弁１１５を開いて大気と連通した状
態にした。洗浄液をインク室２５に導入した後この開閉
電磁弁１１５は閉じられた。インク室２５の体積にして
１／２ほどの洗浄液が入った時点で、供給ポンプ６３を
停止し開閉電磁弁６１を閉じ、すぐさま印字ヘッド３３
をキャリッジ３４ごと先程と逆方向に９０°回転し元の
状態に戻した。本実施の形態の場合、印字中に弾性部材
先端にできたインク固化物やあるいは粘度上昇したイン
ク物を溶解し除去するための洗浄液として、ジメチルス
ルフォキシド７０％、メタノール３０％からなる溶液を
用いた。なお、洗浄効果があり、弾性部材やその他の部
材を溶解もしくは腐食しないものなら、他の成分からな
る洗浄液を本発明に用いることができる。

【００５２】続いて、洗浄を実施するため、洗浄手段と
して、印字に用いるものと同じ振動手段と弾性部材を用
いて洗浄した。外部から全イジェクタに信号を入力し、
２００ｋＨＺで２０Ｖｐ−ｐ（最高最低振幅）の電圧を
印加時間５秒の間印加し弾性部材を振動させた。この信
号により、弾性部材先端にできたインク固化物やあるい
は粘度上昇したインク物を洗浄液に溶解し弾性部材から
除去することができた。

【００５３】さらに、印字ヘッド３３はクリーニング部
５０の部分まで移動し、回転した後、クリーニング部５
０に密着された。回転により、印字ヘッド３３のインク
室内の洗浄液はクリーニング部５０に排出され、開閉電
磁弁６５を開き、排出された洗浄液は排出ポンプ６７に
よりチューブ６６、６８を介して排出リザーバに排出さ
れた。洗浄工程の最後に、印字ヘッド３３をキャリッジ
３４ごと逆方向に９０°回転し元の状態に戻し、再び印
字ヘッド３３の開閉電磁弁１１０を開きインク供給ポン
プ１１３を動作させインクリザーバからインクをインク
室に供給し印字可能の状態に戻した。ノズルを用いる従
来技術に比べて吐出開口を大きくすることができ、よっ
てインク室に洗浄液を導入するもしくは排出することが
容易であるため、インク室への洗浄液の導入・排出が短
時間かつ完全に行うことができた。

【００５４】なお、本実施の形態では、洗浄工程におい
て全イジェクタに洗浄信号を入力したが、洗浄を必要と
しないイジェクタは励振しなくてももちろんよい。ま
た、クリーニング部から洗浄液を印字ヘッドに供給した
が、印字ヘッド側に供給口があってもよい。ただし、そ
の場合、印字ヘッドが大きくなりキャリッジの送り速度
が遅くなりやすいという問題が生じる。また、印字ヘッ
ド側に供給口があり、かつ印字ヘッド側の構造上の制約
によって印字ヘッド側の供給口の開口面積を十分大きく
とれない場合には、インク室内への洗浄液の導入速度が
低下し洗浄工程に時間を要してしまうという問題が生じ
る。この場合、先に説明した印字ヘッドの吐出開口はそ
の開口形状が吐出ドロップ径になんら関係を有しないと
いう本吐出原理上の特徴を生かせないことによる。な
お、可能であるならば、印字完了後ではなく、印字前、
あるいは印字を一時中断してこの洗浄を実施してもよ
い。

【００５５】印字後の印字紙３６上に形成された各ドッ
トは、各色インクともほぼ３０μｍ径の円状に整った均
一小径ドットであった。洗浄工程後に再度信号を送り印
字を行ったが、洗浄手段により洗浄を行ったことによ
り、ドット径やドットの着弾位置精度に各色とも変動は
なく、小径ドロップを安定に吐出することができてい
た。

【００５６】ノズルをインク表面に配置してしていない
ため、インク・ノズル内およびその周辺へのインク固着
はもちろんなく、微少ドロップを安定して吐出ができ
た。また、駆動周波数も低いので発熱もなく発熱による
インクの粘度変化や固化といった問題も生じなかった。
特に、洗浄手段の導入により、高い解像度に対応する微
小ドットを安定に形成でき高品位な印字が可能であっ
た。また、印字に用いると同一の振動発生手段および弾
性部材で洗浄手段を構成しているため小型で安価な記録
装置を実現できた。

【００５７】本発明は、上記実施の形態に限らず種々の
変形が可能である。例えば、弾性部材５の片持ち梁構造
の自由端の先端部近傍における曲げ振動の振動方向に対
して垂直な面の幅Ｗが、ほぼＷ＝２λの長さとなる領域
を有するようにしてもよい。但し、λは以下の式で与え
られる。 λ＝｛８πσ／（ρｆｅ²）｝^1/3×１０⁴（μｍ）ここで、σは、インク表面張力（ｍＮ／ｍ） ρは、インク密度（ｇ／ｃｍ³）ｆｅは、励振周波数（Ｈｚ）である。こうすることにより、幅Ｗにおいて２山のキャ
ピラリ波を生成でき、その後１山のインク隆起部が形成
されて次の瞬間これが分離してより正確に１インク滴を
飛翔させることができるようになる。

【００５８】

【発明の効果】以上の通り、本発明によれば、ノズルを
用いずに微小なドロップ滴を吐出でき、かつ従来に比べ
低周波で駆動できる新規な吐出機構により、高解像度化
に対応した微少ドロップを吐出でき、インク詰まりやイ
ンク突出方向の変動といったインク吐出の不安定さがな
い高信頼で高画質な印字が可能である新規なインクジェ
ット記録装置を提供することができる。特に、印字に用
いると同一の振動発生手段および弾性部材からなる洗浄
手段により弾性部材先端のクリーニングを簡易かつ容易
に行うことができ、小型で安価なインクジェット記録装
置を実現できる。また、低周波で駆動できるためエネル
ギー効率が良く、よって使用できるインクの物性範囲を
広くでき、各種の印字用途に適用することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態によるインクジェッ
ト記録装置の印字ヘッドの断面図である。

【図２】本発明の第１の実施の形態によるインクジェッ
ト記録装置の印字ヘッドの正面図である。

【図３】本発明の第１の実施の形態によるインクジェッ
ト記録装置の立体図である。

【図４】本発明の第１の実施の形態によるインクジェッ
ト記録装置のクリーニング部の断面図である。

【図５】本発明の第２の実施の形態によるインクジェッ
ト記録装置の印字ヘッドの断面図である。

【図６】本発明の第２の実施の形態によるインクジェッ
ト記録装置の印字ヘッドの正面図である。

【図７】本発明の第２の実施の形態によるインクジェッ
ト記録装置の立体図である。

【図８】本発明の第２の実施の形態によるインクジェッ
ト記録装置のクリーニング部の断面図である。

【図９】キャピラリ波の吐出機構を説明するための断面
図である。

【図１０】本発明における印字ヘッドの断面図である。

【図１１】本発明における印字ヘッドの正面図である。

【符号の説明】

１振動板２圧電セラミック薄膜３、４電極５弾性部材６インク７インク面８吐出ドロップ９振動子１０保護膜２０保持部材２１支持部２５インク室２６インク室構成部材２７吐出開口部２８インク供給開口部２９インク面保持部材３３印字ヘッド３４キャリッジ３５ローラー３６印字紙３７記録装置３８インクタンク４０クリーニング部４１クリーニング部外枠４２吸収スポンジ４３開口５０クリーニング部５１クリーニング部外枠５２ゴム５３開口６０洗浄液供給開口６１開閉電磁弁６２、６４チューブ６３洗浄液供給ポンプ６５開閉電磁弁６６、６８チューブ６７廃棄ポンプ６９廃棄開口１０２フィルター１０３インクタンク１０４信号接続コネクタ１１０開閉電磁弁１１１通気開口１１２、１１４チューブ１１３インク供給ポンプ１１５開閉電磁弁１２０外部駆動手段

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】画素信号に対応して振動する振動発生手段
と、前記振動発生手段の励振に応じて曲げ振動する弾性
部材とを有し、印字の際に前記弾性部材の振動によりイ
ンクの表面にキャピラリ波を発生させ、前記インクを飛
翔させて記録媒体に付着させて印字を行う印字ヘッド
と、非印字時に前記弾性部材を洗浄する洗浄手段とを備えた
ことを特徴とするインクジェット記録装置。
【請求項２】請求項１記載のインクジェット記録装置に
おいて、前記弾性部材は、片持ち梁構造を有し、洗浄時には前記
先端部は前記インク中に埋没させられることを特徴とす
るインクジェット記録装置。
【請求項３】請求項１または２に記載のインクジェット
記録装置において、前記洗浄手段は、前記非印字時に前記振動発生手段を励
振させ、前記弾性部材を所定の振動数で振動させて前記
弾性部材の洗浄を行うことを特徴とするインクジェット
記録装置。
【請求項４】請求項１乃至３のいずれかに記載のインク
ジェット記録装置において、前記洗浄手段は、前記印字ヘッドの前記インクの吐出面
を遮蔽する遮蔽機構を有することを特徴とするインクジ
ェット記録装置。
【請求項５】請求項１乃至４のいずれかに記載のインク
ジェット記録装置において、前記洗浄手段は、前記印字ヘッドのインク室に洗浄液を
導入する導入機構を備えていることを特徴とするインク
ジェット記録装置。
【請求項６】請求項１乃至５のいずれかに記載のインク
ジェット記録装置において、前記洗浄手段は、前記印字ヘッドのインク室内の液体を
排出する排出機構を備えていることを特徴とするインク
ジェット記録装置。
【請求項７】請求項１乃至６のいずれかに記載のインク
ジェット記録装置において、前記振動発生手段は、印字時に前記弾性部材の実効共振
周波数のいずれか一の周波数で励振することを特徴とす
るインクジェット記録装置。
【請求項８】請求項１乃至７のいずれかに記載のインク
ジェット記録装置において、前記洗浄手段は、洗浄時において、前記印字時に前記振
動発生手段を励振させる前記周波数とほぼ同一もしくは
その整数倍の周波数で前記振動発生手段を励振させるこ
とを特徴とするインクジェット記録装置。
【請求項９】請求項１乃至８のいずれかに記載のインク
ジェット記録装置において、前記洗浄手段は、洗浄時において、前記印字時に前記振
動発生手段を励振させる電圧より高い電圧で前記振動発
生手段を励振させることを特徴とするインクジェット記
録装置。
【請求項１０】請求項１乃至９のいずれかに記載のイン
クジェット記録装置において、前記洗浄手段は、前記印字ヘッドの印字領域外に設けた
洗浄部を有していることを特徴とするインクジェット記
録装置。