JPH1134816A - Heater mirror - Google Patents
Heater mirrorInfo
- Publication number
- JPH1134816A JPH1134816A JP9196033A JP19603397A JPH1134816A JP H1134816 A JPH1134816 A JP H1134816A JP 9196033 A JP9196033 A JP 9196033A JP 19603397 A JP19603397 A JP 19603397A JP H1134816 A JPH1134816 A JP H1134816A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- alloy film
- weight
- layer
- copper
- heater
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Rear-View Mirror Devices That Are Mounted On The Exterior Of The Vehicle (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば自動車のド
アーミラーやフェンダーミラー等の車両用後写鏡に使用
されるヒーターミラーに係り、特に、コストが安いヒー
ターミラーに関している。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a heater mirror used for a rearview mirror for a vehicle such as a door mirror or a fender mirror of an automobile, and more particularly to a heater mirror having a low cost.
【０００２】[0002]
【従来の技術】反射機能のみならず、表面に付着する水
滴、雨滴、露、雪、氷などの水系付着物を除去するヒー
ターとしての機能をもっているヒーターミラーは、例え
ば、特開平７−２２３５１４号公報において記載されて
いる。このヒーターミラーは、ミラー基板と、このミラ
ー基板上に形成された反射率が４０％以上である第１層
と、この第１層の上に形成された比抵抗値が２０μΩ・
ｃｍ以上である第２層と、この第２層に接続された電極
とから構成されている。上述の第１層はアルミニウム、
ニッケル、ニッケル−クロム合金、ニッケル−燐合金か
らなっており、第２層はチタン、チタンシリサイド、ク
ロムシリサイド、窒化タンタル、炭化チタン、炭化タン
グステン、ホウ化ニオブ、鉄−クロム−アルミニウム合
金からなっており、成膜はスパッタリング、真空蒸着、
めっきなどによってなされている。2. Description of the Related Art A heater mirror having not only a reflection function but also a function as a heater for removing water-based deposits such as water droplets, raindrops, dew, snow and ice adhered to the surface is disclosed in, for example, JP-A-7-223514. It is described in the gazette. This heater mirror has a mirror substrate, a first layer formed on the mirror substrate having a reflectance of 40% or more, and a specific resistance formed on the first layer of 20 μΩ ·
cm or more, and an electrode connected to the second layer. The first layer is aluminum,
The second layer is made of titanium, titanium silicide, chromium silicide, tantalum nitride, titanium carbide, tungsten carbide, niobium boride, iron-chromium-aluminum alloy. And film deposition is sputtering, vacuum deposition,
It is done by plating.
【０００３】そして、例えば、車両用後写鏡として使用
されるヒーターミラーにおいては、充分な後方視認性が
得られるために、約３８％以上好ましくは約４５％以上
の反射率（ＪＩＳ Ｄ５７０５に基づいて測定された
値）が要求されている。また、迅速な水除去のヒーター
能力（すなわち、電流が小さいとヒーター能力が小さ
く、かつ電流が大きいと温度制御が困難となり、約１〜
５Ａの電流が最適である）が得られると共に、均一な加
温が可能とするために、約３〜２４Ω／□のシート抵抗
値が要求されている。For example, in a heater mirror used as a rearview mirror for a vehicle, in order to obtain sufficient rear visibility, a reflectance of about 38% or more, preferably about 45% or more (based on JIS D5705). Measured value). Further, the heater capacity for rapid water removal (that is, the heater capacity is small when the current is small, and the temperature control becomes difficult when the current is large;
A sheet resistance of about 3 to 24 Ω / □ is required to obtain a current of 5 A (optimum) and to enable uniform heating.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】そこで、上述の従来の
ヒーターミラーは、反射率が約４５％以上でありかつシ
ート抵抗値が約３〜２４Ω／□である条件を満たすため
に、２層から形成されている反射膜を使用している。こ
のために、上述の従来のヒーターミラーは、２層から形
成されている反射膜を使用するために、形成時間や工程
数や材料費が嵩み、その分、コストが高いと言う課題が
ある。Therefore, the above-mentioned conventional heater mirror has two layers to satisfy the condition that the reflectance is about 45% or more and the sheet resistance is about 3 to 24 Ω / □. The formed reflective film is used. For this reason, since the above-described conventional heater mirror uses a reflective film formed of two layers, there is a problem that the formation time, the number of steps, and the material cost are increased, and the cost is correspondingly high. .
【０００５】本発明の目的は、コストが安いヒーターミ
ラーを提供することにある。It is an object of the present invention to provide a low cost heater mirror.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】本発明は、上記の目的を
達成するために、ミラー基板の一面に、反射率が約４５
％以上でありかつシート抵抗値が約３〜２４Ω／□であ
る１層の合金膜を形成し、その１層の合金膜に電極を接
続したことを特徴とする。SUMMARY OF THE INVENTION In order to achieve the above object, the present invention provides a mirror substrate having a surface having a reflectance of about 45%.
%, And a single-layer alloy film having a sheet resistance of about 3 to 24 Ω / □ is formed, and an electrode is connected to the single-layer alloy film.
【０００７】この結果、本発明のヒーターミラーは、反
射率が約４５％以上でありかつシート抵抗値が約３〜２
４Ω／□である１層の合金膜により、反射膜を形成した
ものであるから、反射膜が２層から形成されている従来
のヒーターミラーと比較して、コストが安価である。As a result, the heater mirror of the present invention has a reflectivity of about 45% or more and a sheet resistance of about 3 to 2
Since the reflection film is formed by a single alloy film of 4Ω / □, the cost is lower than that of a conventional heater mirror in which the reflection film is formed from two layers.
【０００８】[0008]
【発明の実施の形態】以下、本発明のヒーターミラーの
実施の形態のうちの７例を添付図面を参照して説明す
る。図１は本発明のヒーターミラーの一使用例を示す概
略斜視図である。図２は図１におけるＡ−Ａ線断面図で
ある。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Seven embodiments of a heater mirror according to the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is a schematic perspective view showing one usage example of the heater mirror of the present invention. FIG. 2 is a sectional view taken along line AA in FIG.
【０００９】この使用例における本発明のヒーターミラ
ーは、光透過性のガラス板（例えば、ソーダガラス板
等）や合成樹脂板等からなるミラー基板（例えば、厚み
が約２ｍｍ、巾が約８０ｍｍおよび長さが約１５０ｍｍ
のガラス板）１１と、前記ミラー基板１１の一面に形成
された、反射率が約４５％以上でありかつシート抵抗値
が約３〜２４Ω／□である１層の合金膜（すなわち、反
射膜）１２と、前記１層の合金膜１２の上下両端に接続
された電極１４、１４とを備える。上述の電極１４、１
４はリード線１３及びスイッチ１５を介して電源１６に
電気的に接続されている。In this usage example, the heater mirror according to the present invention has a mirror substrate (for example, having a thickness of about 2 mm, a width of about 80 mm) made of a light-transmitting glass plate (for example, a soda glass plate) or a synthetic resin plate. Length is about 150mm
Glass plate) 11 and one alloy film formed on one surface of the mirror substrate 11 and having a reflectance of about 45% or more and a sheet resistance of about 3 to 24 Ω / □ (that is, a reflection film). ) 12 and electrodes 14 connected to upper and lower ends of the one-layer alloy film 12. The above electrodes 14, 1
4 is electrically connected to a power supply 16 via a lead wire 13 and a switch 15.
【００１０】上述の１層の合金膜１２の形成方法（成膜
工法）としては、例えば、二元（多元）真空蒸着法、あ
るいは、スパッタリング法、あるいはめっき法等があ
る。二元（多元）真空蒸着法は、同一真空層内に２個
（複数個）の蒸発源（金属）を使用し、各蒸発源の蒸発
速度を制御して成膜する方法であり、また、スパッタリ
ング法は、合金をターゲットとして使用して成膜する方
法である。As a method of forming the one-layer alloy film 12 (film forming method), for example, there is a binary (multiple) vacuum evaporation method, a sputtering method, a plating method, or the like. The binary (multiple) vacuum deposition method is a method in which two (plural) evaporation sources (metals) are used in the same vacuum layer and the evaporation rate of each evaporation source is controlled to form a film. The sputtering method is a method of forming a film using an alloy as a target.
【００１１】この使用例における本発明のヒーターミラ
ーは、上述のミラー基板１１の一面及び１層の合金膜１
２及び電極１４、１４が絶縁性材料（図示せず）によ
り、コーティングされている場合がある。この使用例に
おける本発明のヒーターミラーは、例えば自動車のドア
ーミラーやフェンダーミラー等の車両用後写鏡に使用さ
れる。The heater mirror according to the present invention in this use example includes one surface of the above-described mirror substrate 11 and one alloy film 1.
2 and the electrodes 14, 14 may be coated with an insulating material (not shown). The heater mirror of the present invention in this usage example is used for a rearview mirror for a vehicle such as a door mirror or a fender mirror of an automobile.
【００１２】図３及び図４は本発明のヒーターミラーの
第１の実施の形態、すなわち１層の合金膜１２がコバル
ト−銅合金膜から形成されている例を示し、図３は膜厚
が約３５０オングストーロムの１層のコバルト−銅合金
膜における銅の組成比率（横軸、重量％）と反射率（縦
軸、％）との実測による相対関係を示したグラフ、図４
は同じく膜厚が約３５０オングストーロムの１層のコバ
ルト−銅合金膜における銅の組成比率（横軸、重量％）
とシート抵抗値（縦軸、Ω／□）との実測による相対関
係を示したグラフである。FIGS. 3 and 4 show a first embodiment of the heater mirror of the present invention, that is, an example in which one alloy film 12 is formed of a cobalt-copper alloy film, and FIG. FIG. 4 is a graph showing the measured relative relationship between the copper composition ratio (horizontal axis, weight%) and the reflectance (vertical axis,%) in a single layer of a cobalt-copper alloy film of about 350 Å.
Is the composition ratio of copper in a single-layer cobalt-copper alloy film having a thickness of about 350 Å (horizontal axis, weight%)
6 is a graph showing a relative relationship between the measured values and sheet resistance values (vertical axis, Ω / □) by actual measurement.
【００１３】この第１の実施の形態における本発明のヒ
ーターミラーは、ミラー基板１１の一面に、約５２重量
％のコバルトと約４８重量％の銅との合金において、膜
厚が約３５０オングストーロムであるコバルト−銅合金
膜１２を、１層形成してなるものである。この第１の実
施の形態のヒーターミラーにおいて、ミラー基板１１の
表面（１層のコバルト−銅合金膜１２と反対側の面）か
ら測定した反射率（ＪＩＳ Ｄ５７０５に基づいて測定
された値）は、図３に示すように、約５０％Ｒであり、
またシート抵抗値は、図４に示すように、約９．４Ω／
□であるから、反射率が約４５％以上でありかつシート
抵抗値が約３〜２４Ω／□である条件を満たすことがで
きる。In the heater mirror according to the first embodiment of the present invention, the surface of the mirror substrate 11 is made of an alloy of about 52% by weight of cobalt and about 48% by weight of copper and has a thickness of about 350 Å. It is formed by forming one layer of a cobalt-copper alloy film 12 which is a rom. In the heater mirror of the first embodiment, the reflectance (value measured based on JIS D5705) measured from the surface of mirror substrate 11 (the surface opposite to the one-layer cobalt-copper alloy film 12) is , As shown in FIG. 3, about 50% R;
As shown in FIG. 4, the sheet resistance was about 9.4Ω /
Since □, the condition that the reflectance is about 45% or more and the sheet resistance value is about 3 to 24Ω / □ can be satisfied.
【００１４】この第１の実施の形態のヒーターミラーに
おいて、１層のコバルト−銅合金膜１２は、組成比率が
コバルト約３０〜６０重量％、銅約７０〜４０重量％で
あり、また、膜厚が約３００〜７００オングストーロム
であり、さらに、比抵抗値が約２．５〜５．０×１０-5
Ω・ｃｍである範囲内が好ましい。すなわち、銅の組成
比率が約４０〜７０重量％の場合においては、図３に示
すように、反射率が約５０％Ｒ以上である。また、膜厚
が約３００〜７００オングストーロムでありかつ比抵抗
値が約２．５〜５．０×１０-5Ω・ｃｍである場合にお
いては、シート抵抗値＝比抵抗値÷膜厚から、シート抵
抗値が約３．６〜１６．７Ω／□となる。In the heater mirror according to the first embodiment, the single-layer cobalt-copper alloy film 12 has a composition ratio of about 30 to 60% by weight of cobalt and about 70 to 40% by weight of copper. The thickness is about 300 to 700 angstroms, and the specific resistance is about 2.5 to 5.0 × 10 −5.
It is preferably within the range of Ω · cm. That is, when the composition ratio of copper is about 40 to 70% by weight, as shown in FIG. 3, the reflectance is about 50% R or more. When the film thickness is about 300 to 700 angstroms and the specific resistance value is about 2.5 to 5.0 × 10 −5 Ω · cm, the sheet resistance value = the specific resistance value / the film thickness Therefore, the sheet resistance becomes about 3.6 to 16.7 Ω / □.
【００１５】図５及び図６は本発明のヒーターミラーの
第２の実施の形態、すなわち１層の合金膜１２が鉄−銅
合金膜から形成されている例を示し、図５は膜厚が約５
００オングストーロムの１層の鉄−銅合金膜における銅
の組成比率（横軸、重量％）と反射率（縦軸、％）との
実測による相対関係を示したグラフ、図６は同じく膜厚
が約５００オングストーロムの１層の鉄−銅合金膜にお
ける銅の組成比率（横軸、重量％）とシート抵抗値（縦
軸、Ω／□）との実測による相対関係を示したグラフで
ある。FIGS. 5 and 6 show a second embodiment of the heater mirror according to the present invention, that is, an example in which a single alloy film 12 is formed from an iron-copper alloy film. About 5
FIG. 6 is a graph showing the measured relative relationship between the copper composition ratio (horizontal axis, weight%) and the reflectance (vertical axis,%) of a single iron-copper alloy film of 00 angstroms. Graph showing the measured relative relationship between the copper composition ratio (horizontal axis, weight%) and the sheet resistance value (vertical axis, Ω / □) in a single iron-copper alloy film having a thickness of about 500 angstroms. It is.
【００１６】この第２の実施の形態における本発明のヒ
ーターミラーは、ミラー基板１１の一面に、約４５重量
％の鉄と約５５重量％の銅との合金において、膜厚が約
５００オングストーロムである鉄−銅合金膜１２を、１
層形成してなるものである。この第２の実施の形態のヒ
ーターミラーにおいて、ミラー基板１１の表面（１層の
鉄−銅合金膜１２と反対側の面）から測定した反射率
（ＪＩＳ Ｄ５７０５に基づいて測定された値）は、図
５に示すように、約５３％Ｒであり、またシート抵抗値
は、図６に示すように、約１０．６Ω／□であるから、
反射率が約４５％以上でありかつシート抵抗値が約３〜
２４Ω／□である条件を満たすことができる。In the heater mirror according to the second embodiment of the present invention, on one surface of the mirror substrate 11, an alloy of about 45% by weight of iron and about 55% by weight of copper has a thickness of about 500 Å. The iron-copper alloy film 12 which is
It is formed by layers. In the heater mirror according to the second embodiment, the reflectance (value measured based on JIS D5705) measured from the surface of mirror substrate 11 (the surface opposite to the one-layer iron-copper alloy film 12) is As shown in FIG. 5, the sheet resistance is about 53% R, and the sheet resistance is about 10.6 Ω / □ as shown in FIG.
The reflectance is about 45% or more and the sheet resistance is about 3 to
The condition of 24Ω / □ can be satisfied.
【００１７】この第２の実施の形態のヒーターミラーに
おいて、１層の鉄−銅合金膜１２は、組成比率が鉄約３
０〜７０重量％、銅約７０〜３０重量％であり、また、
膜厚が約４００〜８００オングストーロムであり、さら
に、比抵抗値が約４．０〜６．０×１０-5Ω・ｃｍであ
る範囲内が好ましい。すなわち、銅の組成比率が約３０
〜７０重量％の場合においては、図５に示すように、反
射率が約４８％Ｒ以上である。また、膜厚が約４００〜
８００オングストーロムでありかつ比抵抗値が約４．０
〜６．０×１０-5Ω・ｃｍである場合においては、シー
ト抵抗値＝比抵抗値÷膜厚から、シート抵抗値が約５．
０〜１５．０Ω／□となる。In the heater mirror according to the second embodiment, the one-layer iron-copper alloy film 12 has a composition ratio of about 3% iron.
0 to 70% by weight, about 70 to 30% by weight of copper,
The thickness is preferably about 400 to 800 angstroms, and more preferably, the specific resistance is about 4.0 to 6.0 × 10 −5 Ω · cm. That is, when the composition ratio of copper is about 30
In the case of about 70% by weight, as shown in FIG. 5, the reflectance is about 48% R or more. The film thickness is about 400-
800 angstroms and a specific resistance of about 4.0
When the sheet resistance is about 6.0 × 10 −5 Ω · cm, the sheet resistance is about 5.0 from the following equation: sheet resistance = specific resistance ÷ film thickness.
0 to 15.0Ω / □.
【００１８】図７及び図８は本発明のヒーターミラーの
第３の実施の形態、すなわち１層の合金膜１２がクロム
−銅合金膜から形成されている例を示し、図７は膜厚が
約８００オングストーロムの１層のクロム−銅合金膜に
おける銅の組成比率（横軸、重量％）と反射率（縦軸、
％）との実測による相対関係を示したグラフ、図８は同
じく膜厚が約８００オングストーロムの１層のクロム−
銅合金膜における銅の組成比率（横軸、重量％）とシー
ト抵抗値（縦軸、Ω／□）との実測による相対関係を示
したグラフである。FIGS. 7 and 8 show a third embodiment of the heater mirror according to the present invention, that is, an example in which one alloy film 12 is formed from a chromium-copper alloy film. The composition ratio of copper (horizontal axis, weight%) and the reflectance (vertical axis, chromium-copper alloy film of one layer of about 800 angstroms)
FIG. 8 is a graph showing the relative relationship between the chromium layer and a single layer of chromium having a thickness of about 800 angstroms.
4 is a graph showing the relative relationship of the copper composition ratio (horizontal axis, weight%) of the copper alloy film and the sheet resistance value (vertical axis, Ω / □) by actual measurement.
【００１９】この第３の実施の形態における本発明のヒ
ーターミラーは、ミラー基板１１の一面に、約３０重量
％のクロムと約７０重量％の銅との合金において、膜厚
が約８００オングストーロムであるクロム−銅合金膜１
２を、１層形成してなるものである。この第３の実施の
形態のヒーターミラーにおいて、ミラー基板１１の表面
（１層のクロム−銅合金膜１２と反対側の面）から測定
した反射率（ＪＩＳ Ｄ５７０５に基づいて測定された
値）は、図７に示すように、約５５％Ｒであり、またシ
ート抵抗値は、図８に示すように、約７．５Ω／□であ
るから、反射率が約４５％以上でありかつシート抵抗値
が約３〜２４Ω／□である条件を満たすことができる。The heater mirror according to the third embodiment of the present invention has a thickness of about 800 Å made of an alloy of about 30% by weight of chromium and about 70% by weight of copper on one surface of the mirror substrate 11. Chromium-copper alloy film 1 as ROM
2 is formed in one layer. In the heater mirror according to the third embodiment, the reflectance (a value measured based on JIS D5705) measured from the surface of the mirror substrate 11 (the surface opposite to the one-layer chromium-copper alloy film 12) is As shown in FIG. 7, the sheet resistance is about 55% R, and the sheet resistance is about 7.5 Ω / □, as shown in FIG. The condition that the value is about 3 to 24 Ω / □ can be satisfied.
【００２０】この第３の実施の形態のヒーターミラーに
おいて、１層のクロム−銅合金膜１２は、組成比率がク
ロム約２０〜４０重量％、銅約８０〜６０重量％であ
り、また、膜厚が約５００〜１２００オングストーロム
であり、さらに、比抵抗値が約４．０〜１０．０×１０
-5Ω・ｃｍである範囲内が好ましい。すなわち、銅の組
成比率が約６０〜８０重量％の場合においては、図７に
示すように、反射率が約５３％Ｒ以上である。また、膜
厚が約５００〜１２００オングストーロムでありかつ比
抵抗値が約４．０〜１０．０×１０-5Ω・ｃｍである場
合においては、シート抵抗値＝比抵抗値÷膜厚から、シ
ート抵抗値が約３．３〜２０．０Ω／□となる。In the heater mirror according to the third embodiment, the single-layer chromium-copper alloy film 12 has a composition ratio of about 20 to 40% by weight of chromium and about 80 to 60% by weight of copper. The thickness is about 500 to 1200 Å, and the specific resistance is about 4.0 to 10.0 × 10
-5 Ω · cm is preferable. That is, when the composition ratio of copper is about 60 to 80% by weight, as shown in FIG. 7, the reflectance is about 53% R or more. When the film thickness is about 500 to 1200 angstroms and the specific resistance value is about 4.0 to 10.0 × 10 −5 Ω · cm, the sheet resistance value = specific resistance value / film thickness Therefore, the sheet resistance becomes about 3.3 to 20.0 Ω / □.
【００２１】図９及び図１０は本発明のヒーターミラー
の第４の実施の形態、すなわち１層の合金膜１２がニッ
ケル−銅合金膜から形成されている例を示し、図９は膜
厚が約４００オングストーロムの１層のニッケル−銅合
金膜における銅の組成比率（横軸、重量％）と反射率
（縦軸、％）との実測による相対関係を示したグラフ、
図１０は同じく膜厚が約４００オングストーロムの１層
のニッケル−銅合金膜における銅の組成比率（横軸、重
量％）とシート抵抗値（縦軸、Ω／□）との実測による
相対関係を示したグラフである。FIGS. 9 and 10 show a fourth embodiment of the heater mirror according to the present invention, that is, an example in which a single alloy film 12 is formed of a nickel-copper alloy film. A graph showing a measured relative relationship between a copper composition ratio (horizontal axis, weight%) and a reflectance (vertical axis,%) in a single layer of a nickel-copper alloy film of about 400 angstroms;
FIG. 10 shows the relative measurement of the copper composition ratio (horizontal axis, weight%) and the sheet resistance value (vertical axis, Ω / □) in a single layer of a nickel-copper alloy film having a thickness of about 400 Å. It is a graph showing the relationship.
【００２２】この第４の実施の形態における本発明のヒ
ーターミラーは、ミラー基板１１の一面に、約６０重量
％のニッケルと約４０重量％の銅との合金において、膜
厚が約４００オングストーロムであるニッケル−銅合金
膜１２を、１層形成してなるものである。この第４の実
施の形態のヒーターミラーにおいて、ミラー基板１１の
表面（１層のニッケル−銅合金膜１２と反対側の面）か
ら測定した反射率（ＪＩＳ Ｄ５７０５に基づいて測定
された値）は、図９に示すように、約５０％Ｒであり、
またシート抵抗値は、図１０に示すように、約１０Ω／
□であるから、反射率が約４５％以上でありかつシート
抵抗値が約３〜２４Ω／□である条件を満たすことがで
きる。The heater mirror according to the fourth embodiment of the present invention has a thickness of about 400 Å made of an alloy of about 60% by weight of nickel and about 40% by weight of copper on one surface of the mirror substrate 11. It is formed by forming one layer of a nickel-copper alloy film 12 which is a rom. In the heater mirror according to the fourth embodiment, the reflectance (a value measured based on JIS D5705) measured from the surface of mirror substrate 11 (the surface opposite to nickel-copper alloy film 12 of one layer) is , As shown in FIG.
Further, as shown in FIG. 10, the sheet resistance is about 10Ω /
Since □, the condition that the reflectance is about 45% or more and the sheet resistance value is about 3 to 24Ω / □ can be satisfied.
【００２３】この第４の実施の形態のヒーターミラーに
おいて、１層のニッケル−銅合金膜１２は、組成比率が
ニッケル約４５〜７０重量％、銅約５５〜３０重量％で
あり、また、膜厚が約３００〜７００オングストーロム
であり、さらに、比抵抗値が約３．０〜７．０×１０-5
Ω・ｃｍである範囲内が好ましい。すなわち、銅の組成
比率が約３０〜５５重量％の場合においては、図９に示
すように、反射率が約５０％Ｒ以上である。また、膜厚
が約３００〜７００オングストーロムでありかつ比抵抗
値が約３．０〜７．０×１０-5Ω・ｃｍである場合にお
いては、シート抵抗値＝比抵抗値÷膜厚から、シート抵
抗値が約４．３〜２３．３Ω／□となる。In the heater mirror according to the fourth embodiment, the nickel-copper alloy film 12 of one layer has a composition ratio of about 45 to 70% by weight of nickel and about 55 to 30% by weight of copper. The thickness is about 300 to 700 angstroms, and the specific resistance is about 3.0 to 7.0 × 10 −5.
It is preferably within the range of Ω · cm. That is, when the composition ratio of copper is about 30 to 55% by weight, as shown in FIG. 9, the reflectance is about 50% R or more. When the film thickness is about 300 to 700 angstroms and the specific resistance value is about 3.0 to 7.0 × 10 −5 Ω · cm, the sheet resistance value = the specific resistance value / the film thickness Therefore, the sheet resistance is about 4.3 to 23.3 Ω / □.
【００２４】図１１及び図１２は本発明のヒーターミラ
ーの第５の実施の形態、すなわち１層の合金膜１２がコ
バルト−マンガン合金膜から形成されている例を示し、
図１１は膜厚が約９００オングストーロムの１層のコバ
ルト−マンガン合金膜におけるマンガンの組成比率（横
軸、重量％）と反射率（縦軸、％）との実測による相対
関係を示したグラフ、図１２は同じく膜厚が約９００オ
ングストーロムの１層のコバルト−マンガン合金膜にお
けるマンガンの組成比率（横軸、重量％）とシート抵抗
値（縦軸、Ω／□）との実測による相対関係を示したグ
ラフである。FIGS. 11 and 12 show a fifth embodiment of the heater mirror according to the present invention, that is, an example in which one alloy film 12 is formed of a cobalt-manganese alloy film.
FIG. 11 shows a measured relationship between the manganese composition ratio (horizontal axis, weight%) and the reflectance (vertical axis,%) in a single layer of a cobalt-manganese alloy film having a thickness of about 900 Å. The graph and FIG. 12 also show the actual measurement of the manganese composition ratio (horizontal axis, weight%) and the sheet resistance value (vertical axis, Ω / □) in a single layer of a cobalt-manganese alloy film having a thickness of about 900 Å. 6 is a graph showing a relative relationship according to FIG.
【００２５】この第５の実施の形態における本発明のヒ
ーターミラーは、ミラー基板１１の一面に、約８４重量
％のコバルトと約１６重量％のマンガンとの合金におい
て、膜厚が約９００オングストーロムであるコバルト−
マンガン合金膜１２を、１層形成してなるものである。
この第５の実施の形態のヒーターミラーにおいて、ミラ
ー基板１１の表面（１層のコバルト−マンガン合金膜１
２と反対側の面）から測定した反射率（ＪＩＳＤ５７０
５に基づいて測定された値）は、図１１に示すように、
約４７％Ｒであり、またシート抵抗値は、図１２に示す
ように、約１２．９Ω／□であるから、反射率が約４５
％以上でありかつシート抵抗値が約３〜２４Ω／□であ
る条件を満たすことができる。In the heater mirror according to the fifth embodiment of the present invention, the surface of the mirror substrate 11 is made of an alloy of about 84% by weight of cobalt and about 16% by weight of manganese and has a thickness of about 900 Å. Rom Cobalt-
The manganese alloy film 12 is formed by one layer.
In the heater mirror according to the fifth embodiment, the surface of the mirror substrate 11 (a single-layer cobalt-manganese alloy film 1) is formed.
2 (surface opposite to 2) (JISD570
5) is, as shown in FIG.
R is about 47% and the sheet resistance is about 12.9 Ω / □ as shown in FIG.
% Or more and a sheet resistance value of about 3 to 24 Ω / □ can be satisfied.
【００２６】この第５の実施の形態のヒーターミラーに
おいて、１層のコバルト−マンガン合金膜１２は、組成
比率がコバルト約８０〜９０重量％、マンガン約２０〜
１０重量％であり、また、膜厚が約８００〜１２００オ
ングストーロムであり、さらに、比抵抗値が約７．０〜
１４．０×１０-5Ω・ｃｍである範囲内が好ましい。す
なわち、マンガンの組成比率が約１０〜２０重量％の場
合においては、図１１に示すように、反射率が約４５％
Ｒ以上である。また、膜厚が約８００〜１２００オング
ストーロムでありかつ比抵抗値が約７．０〜１４．０×
１０-5Ω・ｃｍである場合においては、シート抵抗値＝
比抵抗値÷膜厚から、シート抵抗値が約５．８〜１７．
５Ω／□となる。In the heater mirror according to the fifth embodiment, the cobalt-manganese alloy film 12 of one layer has a composition ratio of about 80 to 90% by weight of cobalt and about 20 to 90% by weight of manganese.
10% by weight, a film thickness of about 800 to 1200 angstroms, and a specific resistance value of about 7.0 to 7.0.
It is preferably within a range of 14.0 × 10 −5 Ω · cm. That is, when the composition ratio of manganese is about 10 to 20% by weight, as shown in FIG.
R or more. Further, the film thickness is about 800 to 1200 angstroms and the specific resistance value is about 7.0 to 14.0 ×
In the case of 10 −5 Ω · cm, the sheet resistance value =
The sheet resistance is about 5.8-17.
5Ω / □.
【００２７】図１３及び図１４は本発明のヒーターミラ
ーの第６の実施の形態、すなわち１層の合金膜１２が鉄
−銀合金膜から形成されている例を示し、図１３は膜厚
が約３５０オングストーロムの１層の鉄−銀合金膜にお
ける銀の組成比率（横軸、重量％）と反射率（縦軸、
％）との実測による相対関係を示したグラフ、図１４は
同じく膜厚が約３５０オングストーロムの１層の鉄−銀
合金膜における銀の組成比率（横軸、重量％）とシート
抵抗値（縦軸、Ω／□）との実測による相対関係を示し
たグラフである。FIGS. 13 and 14 show a sixth embodiment of the heater mirror of the present invention, that is, an example in which one alloy film 12 is formed of an iron-silver alloy film. The silver composition ratio (horizontal axis, weight%) and reflectivity (vertical axis, weight) in a single iron-silver alloy film of about 350 Å
And FIG. 14 is a graph showing the relative relationship between the silver composition ratio (horizontal axis, weight%) and the sheet resistance value in a single iron-silver alloy film having a thickness of about 350 angstroms. (Ordinate, Ω / □) is a graph showing a relative relationship by actual measurement.
【００２８】この第６の実施の形態における本発明のヒ
ーターミラーは、ミラー基板１１の一面に、約６０重量
％の鉄と約４０重量％の銀との合金において、膜厚が約
３５０オングストーロムである鉄−銀合金膜１２を、１
層形成してなるものである。この第６の実施の形態のヒ
ーターミラーにおいて、ミラー基板１１の表面（１層の
鉄−銀合金膜１２と反対側の面）から測定した反射率
（ＪＩＳ Ｄ５７０５に基づいて測定された値）は、図
１３に示すように、約５１％Ｒであり、またシート抵抗
値は、図１４に示すように、約１１．８Ω／□であるか
ら、反射率が約４５％以上でありかつシート抵抗値が約
３〜２４Ω／□である条件を満たすことができる。In the heater mirror according to the sixth embodiment of the present invention, the surface of the mirror substrate 11 is made of an alloy of about 60% by weight of iron and about 40% by weight of silver and has a thickness of about 350 Å. The iron-silver alloy film 12 which is
It is formed by layers. In the heater mirror according to the sixth embodiment, the reflectance (a value measured based on JIS D5705) measured from the surface of mirror substrate 11 (the surface opposite to the one-layer iron-silver alloy film 12) is As shown in FIG. 13, the sheet resistance is about 51% R, and the sheet resistance is about 11.8 Ω / □, as shown in FIG. The condition that the value is about 3 to 24 Ω / □ can be satisfied.
【００２９】この第６の実施の形態のヒーターミラーに
おいて、１層の鉄−銀合金膜１２は、組成比率が鉄約５
０〜７０重量％、銀約５０〜３０重量％であり、また、
膜厚が約３００〜７００オングストーロムであり、さら
に、比抵抗値が約３．０〜６．０×１０-5Ω・ｃｍであ
る範囲内が好ましい。すなわち、銀の組成比率が約３０
〜５０重量％の場合においては、図１３に示すように、
反射率が約５０％Ｒ以上である。また、膜厚が約３００
〜７００オングストーロムでありかつ比抵抗値が約３．
０〜６．０×１０-5Ω・ｃｍである場合においては、シ
ート抵抗値＝比抵抗値÷膜厚から、シート抵抗値が約
４．３〜２０．０Ω／□となる。In the heater mirror according to the sixth embodiment, the one-layer iron-silver alloy film 12 has a composition ratio of about 5% iron.
0 to 70% by weight, about 50 to 30% by weight of silver,
The thickness is preferably about 300 to 700 angstroms, and more preferably, the specific resistance is about 3.0 to 6.0 × 10 −5 Ω · cm. That is, the composition ratio of silver is about 30
In the case of ５０50% by weight, as shown in FIG.
The reflectance is about 50% R or more. In addition, the film thickness is about 300
７００700 angstroms and a specific resistance of about 3.
In the case of 0 to 6.0 × 10 −5 Ω · cm, the sheet resistance is about 4.3 to 20.0 Ω / □ from the sheet resistance = specific resistance / film thickness.
【００３０】図１５及び図１６は本発明のヒーターミラ
ーの第７の実施の形態、すなわち１層の合金膜１２が鉄
−銀合金膜から形成されている例を示し、図１５は膜厚
が約３５０オングストーロムの１層の鉄−銀合金膜にお
ける銀の組成比率（横軸、重量％）と反射率（縦軸、
％）との実測による相対関係を示したグラフ、図１６は
同じく膜厚が約３５０オングストーロムの１層の鉄−銀
合金膜における銀の組成比率（横軸、重量％）とシート
抵抗値（縦軸、Ω／□）との実測による相対関係を示し
たグラフである。FIGS. 15 and 16 show a seventh embodiment of the heater mirror according to the present invention, that is, an example in which one alloy film 12 is formed from an iron-silver alloy film. The silver composition ratio (horizontal axis, weight%) and the reflectance (vertical axis, in a single iron-silver alloy film of about 350 angstroms)
FIG. 16 is a graph showing the relative relationship between the silver composition ratio (horizontal axis and weight%) and the sheet resistance value in a single iron-silver alloy film having a thickness of about 350 Å. (Ordinate, Ω / □) is a graph showing a relative relationship by actual measurement.
【００３１】この第７の実施の形態における本発明のヒ
ーターミラーは、ミラー基板１１の一面に、約９３．６
重量％のコバルトと約６．４重量％のクロムとの合金に
おいて、膜厚が約６５０オングストーロムであるコバル
ト−クロム合金膜１２を、１層形成してなるものであ
る。この第７の実施の形態のヒーターミラーにおいて、
ミラー基板１１の表面（１層のコバルト−クロム合金膜
１２と反対側の面）から測定した反射率（ＪＩＳＤ５７
０５に基づいて測定された値）は、図１５に示すよう
に、約５０％Ｒであり、またシート抵抗値は、図１６に
示すように、約１２．７Ω／□であるから、反射率が約
４５％以上でありかつシート抵抗値が約３〜２４Ω／□
である条件を満たすことができる。The heater mirror of the present invention according to the seventh embodiment has a surface of the mirror substrate 11 of about 93.6.
It is formed by forming one layer of a cobalt-chromium alloy film 12 having a thickness of about 650 angstroms in an alloy of weight percent cobalt and about 6.4 weight percent chromium. In the heater mirror according to the seventh embodiment,
The reflectance (JIS D57) measured from the surface of the mirror substrate 11 (the surface opposite to the one layer of the cobalt-chromium alloy film 12)
15 is about 50% R as shown in FIG. 15 and the sheet resistance is about 12.7 Ω / □ as shown in FIG. Is about 45% or more and the sheet resistance is about 3 to 24Ω / □.
Can be satisfied.
【００３２】この第７の実施の形態のヒーターミラーに
おいて、１層のコバルト−クロム合金膜１２は、組成比
率がコバルト約９０〜９８重量％、クロム約１０〜２重
量％であり、また、膜厚が約７００〜１０００オングス
トーロムであり、さらに、比抵抗値が約６．０〜１０．
５×１０-5Ω・ｃｍである範囲内が好ましい。すなわ
ち、クロムの組成比率が約２〜１０重量％の場合におい
ては、図１５に示すように、反射率が約５０％Ｒ以上で
ある。また、膜厚が約７００〜１０００オングストーロ
ムでありかつ比抵抗値が約６．０〜１０．５×１０-5Ω
・ｃｍである場合においては、シート抵抗値＝比抵抗値
÷膜厚から、シート抵抗値が約６．０〜１５．０Ω／□
となる。In the heater mirror according to the seventh embodiment, the single-layer cobalt-chromium alloy film 12 has a composition ratio of about 90 to 98% by weight of cobalt and about 10 to 2% by weight of chromium. The thickness is about 700-1000 Å, and the specific resistance is about 6.0-10.
It is preferably within a range of 5 × 10 −5 Ω · cm. That is, when the composition ratio of chromium is about 2 to 10% by weight, as shown in FIG. 15, the reflectance is about 50% R or more. Further, the film thickness is about 700 to 1000 Å, and the specific resistance is about 6.0 to 10.5 × 10 −5 Ω.
In the case of cm, the sheet resistance value is about 6.0 to 15.0 Ω / □ from the sheet resistance value = specific resistance value / film thickness.
Becomes
【００３３】[0033]
【発明の効果】本発明のヒーターミラーは、以上説明し
たように、反射率が約４５％以上でありかつシート抵抗
値が約３〜２４Ω／□である１層の合金膜により、反射
膜を形成したものであるから、反射膜が２層から形成さ
れている従来のヒーターミラーと比較して、コストが安
価である。According to the heater mirror of the present invention, as described above, the reflection film is formed by a single alloy film having a reflectance of about 45% or more and a sheet resistance of about 3 to 24 Ω / □. Since it is formed, the cost is lower than a conventional heater mirror in which the reflection film is formed from two layers.
【図１】本発明のヒーターミラーの一使用例を示した概
略斜視図である。FIG. 1 is a schematic perspective view showing an example of use of a heater mirror of the present invention.
【図２】図１におけるＡ−Ａ線断面図である。FIG. 2 is a sectional view taken along line AA in FIG.
【図３】本発明のヒーターミラーの第１の実施の形態、
すなわち１層の合金膜がコバルト−銅合金膜から形成さ
れている例を示し、膜厚が約３５０オングストーロムの
１層のコバルト−銅合金膜における銅の組成比率（横
軸、重量％）と反射率（縦軸、％）との実測による相対
関係を示したグラフである。FIG. 3 is a first embodiment of a heater mirror according to the present invention,
That is, an example in which one alloy film is formed of a cobalt-copper alloy film is shown, and the composition ratio of copper in the one-layer cobalt-copper alloy film having a thickness of about 350 Å (horizontal axis, weight%) 6 is a graph showing a relative relationship between measured values and reflectance (vertical axis,%) by actual measurement.
【図４】同じく膜厚が約３５０オングストーロムの１層
のコバルト−銅合金膜における銅の組成比率（横軸、重
量％）とシート抵抗値（縦軸、Ω／□）との実測による
相対関係を示したグラフである。FIG. 4 is an actual measurement of a copper composition ratio (horizontal axis, weight%) and a sheet resistance value (vertical axis, Ω / □) of a single layer of a cobalt-copper alloy film having a thickness of about 350 Å. It is a graph which showed a relative relationship.
【図５】本発明のヒーターミラーの第２の実施の形態、
すなわち１層の合金膜が鉄−銅合金膜から形成されてい
る例を示し、膜厚が約５００オングストーロムの１層の
鉄−銅合金膜における銅の組成比率（横軸、重量％）と
反射率（縦軸、％）との実測による相対関係を示したグ
ラフである。FIG. 5 is a second embodiment of the heater mirror of the present invention,
That is, an example in which a single-layer alloy film is formed of an iron-copper alloy film is shown, and the composition ratio of copper in a single-layer iron-copper alloy film having a thickness of about 500 Å (horizontal axis, weight%) 6 is a graph showing a relative relationship between measured values and reflectance (vertical axis,%) by actual measurement.
【図６】同じく膜厚が約５００オングストーロムの１層
の鉄−銅合金膜における銅の組成比率（横軸、重量％）
とシート抵抗値（縦軸、Ω／□）との実測による相対関
係を示したグラフである。FIG. 6 is a composition ratio of copper (horizontal axis, weight%) in a single iron-copper alloy film also having a thickness of about 500 Å
6 is a graph showing a relative relationship between the measured values and sheet resistance values (vertical axis, Ω / □) by actual measurement.
【図７】本発明のヒーターミラーの第３の実施の形態、
すなわち１層の合金膜がクロム−銅合金膜から形成され
ている例を示し、膜厚が約８００オングストーロムの１
層のクロム−銅合金膜における銅の組成比率（横軸、重
量％）と反射率（縦軸、％）との実測による相対関係を
示したグラフである。FIG. 7 shows a third embodiment of the heater mirror according to the present invention,
That is, an example in which one alloy film is formed of a chromium-copper alloy film is shown.
4 is a graph showing the relative relationship of copper composition ratio (horizontal axis, weight%) and reflectance (vertical axis,%) in a chromium-copper alloy film of a layer by actual measurement.
【図８】同じく膜厚が約８００オングストーロムの１層
のクロム−銅合金膜における銅の組成比率（横軸、重量
％）とシート抵抗値（縦軸、Ω／□）との実測による相
対関係を示したグラフである。FIG. 8 is an actual measurement of a copper composition ratio (horizontal axis, weight%) and a sheet resistance value (vertical axis, Ω / □) of a single chromium-copper alloy film having a thickness of about 800 Å. It is a graph which showed a relative relationship.
【図９】本発明のヒーターミラーの第４の実施の形態、
すなわち１層の合金膜がニッケル−銅合金膜から形成さ
れている例を示し、膜厚が約４００オングストーロムの
１層のニッケル−銅合金膜における銅の組成比率（横
軸、重量％）と反射率（縦軸、％）との実測による相対
関係を示したグラフである。FIG. 9 shows a fourth embodiment of the heater mirror according to the present invention,
That is, an example in which a single-layer alloy film is formed from a nickel-copper alloy film is shown, and the composition ratio of copper in a single-layer nickel-copper alloy film having a thickness of about 400 angstroms (horizontal axis, weight%) 6 is a graph showing a relative relationship between measured values and reflectance (vertical axis,%) by actual measurement.
【図１０】同じく膜厚が約４００オングストーロムの１
層のニッケル−銅合金膜における銅の組成比率（横軸、
重量％）とシート抵抗値（縦軸、Ω／□）との実測によ
る相対関係を示したグラフである。FIG. 10 shows a film having a thickness of about 400 angstroms.
Composition ratio of nickel in the nickel-copper alloy film (horizontal axis,
4 is a graph showing the relative relationship of the sheet resistance value (vertical axis, Ω / □) measured by actual measurement.
【図１１】本発明のヒーターミラーの第５の実施の形
態、すなわち１層の合金膜がコバルト−マンガン合金膜
から形成されている例を示し、膜厚が約９００オングス
トーロムの１層のコバルト−マンガン合金膜におけるマ
ンガンの組成比率（横軸、重量％）と反射率（縦軸、
％）との実測による相対関係を示したグラフである。FIG. 11 shows a fifth embodiment of the heater mirror of the present invention, that is, an example in which a single-layer alloy film is formed from a cobalt-manganese alloy film, and a single-layer film having a thickness of about 900 angstroms. Manganese composition ratio (horizontal axis, weight%) and reflectance (vertical axis,
%) Is a graph showing the relative relationship between the measured values and the measured values.
【図１２】同じく膜厚が約９００オングストーロムの１
層のコバルト−マンガン合金膜におけるマンガンの組成
比率（横軸、重量％）とシート抵抗値（縦軸、Ω／□）
との実測による相対関係を示したグラフである。FIG. 12 shows a film having a thickness of about 900 angstroms.
Composition ratio (horizontal axis, weight%) and sheet resistance value (vertical axis, Ω / □) in the cobalt-manganese alloy film of the layer
6 is a graph showing the relative relationship between the measured values and the measured values.
【図１３】本発明のヒーターミラーの第６の実施の形
態、すなわち１層の合金膜が鉄−銀合金膜から形成され
ている例を示し、膜厚が約３５０オングストーロムの１
層の鉄−銀合金膜における銀の組成比率（横軸、重量
％）と反射率（縦軸、％）との実測による相対関係を示
したグラフである。FIG. 13 shows a sixth embodiment of the heater mirror of the present invention, that is, an example in which one alloy film is formed of an iron-silver alloy film, and has a thickness of about 350 Å.
4 is a graph showing the relative relationship of the silver composition ratio (horizontal axis, weight%) and the reflectance (vertical axis,%) of the iron-silver alloy film of the layer by actual measurement.
【図１４】同じく膜厚が約３５０オングストーロムの１
層の鉄−銀合金膜における銀の組成比率（横軸、重量
％）とシート抵抗値（縦軸、Ω／□）との実測による相
対関係を示したグラフである。FIG. 14 shows a film having a thickness of about 350 Å.
4 is a graph showing the relative relationship of the silver composition ratio (horizontal axis, weight%) and the sheet resistance value (vertical axis, Ω / □) of the iron-silver alloy film of the layer by actual measurement.
【図１５】本発明のヒーターミラーの第７の実施の形
態、すなわち１層の合金膜が鉄−銀合金膜から形成され
ている例を示し、膜厚が約３５０オングストーロムの１
層の鉄−銀合金膜における銀の組成比率（横軸、重量
％）と反射率（縦軸、％）との実測による相対関係を示
したグラフである。FIG. 15 shows a seventh embodiment of the heater mirror of the present invention, that is, an example in which a single-layer alloy film is formed of an iron-silver alloy film, and has a thickness of about 350 Å.
4 is a graph showing the relative relationship of the silver composition ratio (horizontal axis, weight%) and the reflectance (vertical axis,%) of the iron-silver alloy film of the layer by actual measurement.
【図１６】同じく膜厚が約３５０オングストーロムの１
層の鉄−銀合金膜における銀の組成比率（横軸、重量
％）とシート抵抗値（縦軸、Ω／□）との実測による相
対関係を示したグラフである。FIG. 16 shows a film having a thickness of about 350 angstroms.
4 is a graph showing the relative relationship of the silver composition ratio (horizontal axis, weight%) and the sheet resistance value (vertical axis, Ω / □) of the iron-silver alloy film of the layer by actual measurement.
１１…ミラー基板、１２…１層の合金膜（反射膜）、１
４…電極。11: mirror substrate, 12: one-layer alloy film (reflection film), 1
4 ... electrodes.
Claims (8)
形成された、反射率が約４５％以上でありかつシート抵
抗値が約３〜２４Ω／□である１層の合金膜と、前記１
層の合金膜に接続された電極とを備えたことを特徴とす
るヒーターミラー。A mirror substrate having a reflectance of about 45% or more and a sheet resistance of about 3 to 24 Ω / □ formed on one surface of the mirror substrate;
A heater mirror comprising: an electrode connected to the alloy film of the layer.
％のコバルトおよび約７０〜４０重量％の銅からなる１
層のコバルト−銅合金膜から形成されており、その膜厚
が約３００〜７００オングストーロムであり、かつその
比抵抗値が約２．５〜５．０×１０-5Ω・ｃｍであるこ
とを特徴とする請求項１に記載のヒーターミラー。2. The alloy film of claim 1, wherein the alloy film comprises about 30 to 60% by weight of cobalt and about 70 to 40% by weight of copper.
The layer is formed of a cobalt-copper alloy film, has a thickness of about 300 to 700 angstroms, and has a specific resistance of about 2.5 to 5.0 × 10 −5 Ω · cm. The heater mirror according to claim 1, wherein:
％の鉄および約７０〜３０重量％の銅からなる１層の鉄
−銅合金膜から形成されており、その膜厚が約４００〜
８００オングストロームであり、かつその比抵抗値が約
４．０〜６．０×１０-5Ω・ｃｍであることを特徴とす
る請求項１に記載のヒーターミラー。3. The single-layer alloy film is formed of a single-layer iron-copper alloy film composed of about 30 to 70% by weight of iron and about 70 to 30% by weight of copper. About 400 ~
2. The heater mirror according to claim 1, wherein the heater mirror has a thickness of 800 Å and a specific resistance of about 4.0 to 6.0 × 10 −5 Ω · cm.
％のクロムおよび約８０〜６０重量％の銅からなる１層
のクロム−銅合金膜から形成されており、その膜厚が約
５００〜１２００オングストロームであり、かつその比
抵抗値が約４．０〜１０．０×１０-5Ω・ｃｍであるこ
とを特徴とする請求項１に記載のヒーターミラー。4. The single-layer alloy film is formed of a single-layer chromium-copper alloy film comprising about 20 to 40% by weight of chromium and about 80 to 60% by weight of copper, and has a thickness of 2. The heater mirror according to claim 1, wherein the heater mirror has a specific resistance of about 4.0 to 10.0 * 10 < -5 > [Omega] .cm.
％のニッケルおよび約５５〜３０重量％の銅からなる１
層のニッケル−銅合金膜から形成されており、その膜厚
が約３００〜７００オングストロームであり、かつその
比抵抗値が約３．０〜７．０×１０-5Ω・ｃｍであるこ
とを特徴とする請求項１に記載のヒーターミラー。5. The alloy film of claim 1, wherein the alloy film comprises about 45 to 70% by weight of nickel and about 55 to 30% by weight of copper.
The layer is formed of a nickel-copper alloy film, has a thickness of about 300 to 700 Å, and a specific resistance of about 3.0 to 7.0 × 10 −5 Ω · cm. The heater mirror according to claim 1, characterized in that:
％のコバルトおよび約２０〜１０重量％のマンガンから
なる１層のコバルト−マンガン合金膜から形成されてお
り、その膜厚が約８００〜１２００オングストロームで
あり、かつその比抵抗値が約７．０〜１４．０×１０-5
Ω・ｃｍであることを特徴とする請求項１に記載のヒー
ターミラー。6. The one-layer alloy film is formed of a one-layer cobalt-manganese alloy film composed of about 80 to 90% by weight of cobalt and about 20 to 10% by weight of manganese. About 800 to 1200 angstroms and a specific resistance value of about 7.0 to 14.0 × 10 −5.
The heater mirror according to claim 1, wherein the resistance is Ω · cm.
％の鉄および約５０〜３０重量％の銀からなる１層の鉄
−銀合金膜から形成されており、その膜厚が約３００〜
７００オングストロームであり、かつその比抵抗値が約
３．０〜６．０×１０-5Ω・ｃｍであることを特徴とす
る請求項１に記載のヒーターミラー。7. The one-layer alloy film is formed of a one-layer iron-silver alloy film comprising about 50 to 70% by weight of iron and about 50 to 30% by weight of silver. About 300 ~
2. The heater mirror according to claim 1, wherein the heater mirror has a thickness of 700 angstroms and a specific resistance of about 3.0 to 6.0 × 10 −5 Ω · cm.
％のコバルトおよび約１０〜２重量％のクロムからなる
１層のコバルト−クロム合金膜から形成されており、そ
の膜厚が約７００〜１０００オングストロームであり、
かつその比抵抗値が約６．０〜１０．５×１０-5Ω・ｃ
ｍであることを特徴とする請求項１に記載のヒーターミ
ラー。8. The one-layer alloy film is formed of a one-layer cobalt-chromium alloy film composed of about 90 to 98% by weight of cobalt and about 10 to 2% by weight of chromium. About 700-1000 angstroms,
And its specific resistance is about 6.0-10.5 × 10 −5 Ω · c
The heater mirror according to claim 1, wherein m is m.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9196033A JPH1134816A (en) | 1997-07-22 | 1997-07-22 | Heater mirror |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9196033A JPH1134816A (en) | 1997-07-22 | 1997-07-22 | Heater mirror |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1134816A true JPH1134816A (en) | 1999-02-09 |
Family
ID=16351096
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9196033A Pending JPH1134816A (en) | 1997-07-22 | 1997-07-22 | Heater mirror |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1134816A (en) |
-
1997
- 1997-07-22 JP JP9196033A patent/JPH1134816A/en active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2005528281A (en) | Heating mirror | |
| US3686473A (en) | Heated rear-view mirror | |
| US4352006A (en) | Heated mirror, designed in particular to constitute an external rearview mirror element for a vehicle | |
| WO1995012508A1 (en) | Mirror with heater | |
| US20030116551A1 (en) | Heatable vehicle window with different voltages in different heatable zones | |
| JP2002022821A (en) | Radar dome for automobile warning radar | |
| CA2167891A1 (en) | Dimmable rearview mirror for motor vehicles | |
| JPH11238574A (en) | Heater mirror | |
| JPH1159338A (en) | Heater mirror | |
| JPH11240426A (en) | Heater mirror | |
| JPH11240425A (en) | Heater mirror | |
| US20040071983A1 (en) | Heated mirror, particularly for vehicles, and method for manufacturing it | |
| JP2000177544A (en) | Heated mirror | |
| WO1991018757A1 (en) | Method for applying electrical bus bars to a substrate | |
| JP2001247016A (en) | Heated mirror | |
| JP2000085468A (en) | Heater mirror | |
| JP3458288B2 (en) | Heated mirror | |
| JPH11142629A (en) | Heater mirror | |
| KR101205291B1 (en) | Titanium-copper-nickel based alloy | |
| JPH11268618A (en) | Heated mirror | |
| JPH11318658A (en) | Heated mirror | |
| JP2001171490A (en) | Heated mirror | |
| JP2001213284A (en) | Heated mirror | |
| JP2001010453A (en) | Heated mirror | |
| JPH07156758A (en) | Mirror with heater |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20040622 |