JPH1134816A

JPH1134816A - ヒーターミラー

Info

Publication number: JPH1134816A
Application number: JP9196033A
Authority: JP
Inventors: Minoru Enomoto; 實榎本
Original assignee: Ichikoh Industries Ltd
Current assignee: Ichikoh Industries Ltd
Priority date: 1997-07-22
Filing date: 1997-07-22
Publication date: 1999-02-09

Abstract

(57)【要約】【課題】コストが安価なヒーターミラーを提供するこ
と。【解決手段】ミラー基板１１の一面に、反射率が約４
５％以上でありかつシート抵抗値が約３〜２４Ω／□で
ある１層の合金膜１２を形成し、その１層の合金膜１２
に電極１４を接続する。この結果、本発明のヒーターミ
ラーは、反射率が約４５％以上でありかつシート抵抗値
が約３〜２４Ω／□である１層の合金膜１２により、反
射膜を形成したものであるから、反射膜が２層から形成
されている従来のヒーターミラーと比較して、コストが
安価である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば自動車のド
アーミラーやフェンダーミラー等の車両用後写鏡に使用
されるヒーターミラーに係り、特に、コストが安いヒー
ターミラーに関している。

【０００２】

【従来の技術】反射機能のみならず、表面に付着する水
滴、雨滴、露、雪、氷などの水系付着物を除去するヒー
ターとしての機能をもっているヒーターミラーは、例え
ば、特開平７−２２３５１４号公報において記載されて
いる。このヒーターミラーは、ミラー基板と、このミラ
ー基板上に形成された反射率が４０％以上である第１層
と、この第１層の上に形成された比抵抗値が２０μΩ・
ｃｍ以上である第２層と、この第２層に接続された電極
とから構成されている。上述の第１層はアルミニウム、
ニッケル、ニッケル−クロム合金、ニッケル−燐合金か
らなっており、第２層はチタン、チタンシリサイド、ク
ロムシリサイド、窒化タンタル、炭化チタン、炭化タン
グステン、ホウ化ニオブ、鉄−クロム−アルミニウム合
金からなっており、成膜はスパッタリング、真空蒸着、
めっきなどによってなされている。

【０００３】そして、例えば、車両用後写鏡として使用
されるヒーターミラーにおいては、充分な後方視認性が
得られるために、約３８％以上好ましくは約４５％以上
の反射率（ＪＩＳＤ５７０５に基づいて測定された
値）が要求されている。また、迅速な水除去のヒーター
能力（すなわち、電流が小さいとヒーター能力が小さ
く、かつ電流が大きいと温度制御が困難となり、約１〜
５Ａの電流が最適である）が得られると共に、均一な加
温が可能とするために、約３〜２４Ω／□のシート抵抗
値が要求されている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】そこで、上述の従来の
ヒーターミラーは、反射率が約４５％以上でありかつシ
ート抵抗値が約３〜２４Ω／□である条件を満たすため
に、２層から形成されている反射膜を使用している。こ
のために、上述の従来のヒーターミラーは、２層から形
成されている反射膜を使用するために、形成時間や工程
数や材料費が嵩み、その分、コストが高いと言う課題が
ある。

【０００５】本発明の目的は、コストが安いヒーターミ
ラーを提供することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明は、上記の目的を
達成するために、ミラー基板の一面に、反射率が約４５
％以上でありかつシート抵抗値が約３〜２４Ω／□であ
る１層の合金膜を形成し、その１層の合金膜に電極を接
続したことを特徴とする。

【０００７】この結果、本発明のヒーターミラーは、反
射率が約４５％以上でありかつシート抵抗値が約３〜２
４Ω／□である１層の合金膜により、反射膜を形成した
ものであるから、反射膜が２層から形成されている従来
のヒーターミラーと比較して、コストが安価である。

【０００８】

【発明の実施の形態】以下、本発明のヒーターミラーの
実施の形態のうちの７例を添付図面を参照して説明す
る。図１は本発明のヒーターミラーの一使用例を示す概
略斜視図である。図２は図１におけるＡ−Ａ線断面図で
ある。

【０００９】この使用例における本発明のヒーターミラ
ーは、光透過性のガラス板（例えば、ソーダガラス板
等）や合成樹脂板等からなるミラー基板（例えば、厚み
が約２ｍｍ、巾が約８０ｍｍおよび長さが約１５０ｍｍ
のガラス板）１１と、前記ミラー基板１１の一面に形成
された、反射率が約４５％以上でありかつシート抵抗値
が約３〜２４Ω／□である１層の合金膜（すなわち、反
射膜）１２と、前記１層の合金膜１２の上下両端に接続
された電極１４、１４とを備える。上述の電極１４、１
４はリード線１３及びスイッチ１５を介して電源１６に
電気的に接続されている。

【００１０】上述の１層の合金膜１２の形成方法（成膜
工法）としては、例えば、二元（多元）真空蒸着法、あ
るいは、スパッタリング法、あるいはめっき法等があ
る。二元（多元）真空蒸着法は、同一真空層内に２個
（複数個）の蒸発源（金属）を使用し、各蒸発源の蒸発
速度を制御して成膜する方法であり、また、スパッタリ
ング法は、合金をターゲットとして使用して成膜する方
法である。

【００１１】この使用例における本発明のヒーターミラ
ーは、上述のミラー基板１１の一面及び１層の合金膜１
２及び電極１４、１４が絶縁性材料（図示せず）によ
り、コーティングされている場合がある。この使用例に
おける本発明のヒーターミラーは、例えば自動車のドア
ーミラーやフェンダーミラー等の車両用後写鏡に使用さ
れる。

【００１２】図３及び図４は本発明のヒーターミラーの
第１の実施の形態、すなわち１層の合金膜１２がコバル
ト−銅合金膜から形成されている例を示し、図３は膜厚
が約３５０オングストーロムの１層のコバルト−銅合金
膜における銅の組成比率（横軸、重量％）と反射率（縦
軸、％）との実測による相対関係を示したグラフ、図４
は同じく膜厚が約３５０オングストーロムの１層のコバ
ルト−銅合金膜における銅の組成比率（横軸、重量％）
とシート抵抗値（縦軸、Ω／□）との実測による相対関
係を示したグラフである。

【００１３】この第１の実施の形態における本発明のヒ
ーターミラーは、ミラー基板１１の一面に、約５２重量
％のコバルトと約４８重量％の銅との合金において、膜
厚が約３５０オングストーロムであるコバルト−銅合金
膜１２を、１層形成してなるものである。この第１の実
施の形態のヒーターミラーにおいて、ミラー基板１１の
表面（１層のコバルト−銅合金膜１２と反対側の面）か
ら測定した反射率（ＪＩＳＤ５７０５に基づいて測定
された値）は、図３に示すように、約５０％Ｒであり、
またシート抵抗値は、図４に示すように、約９．４Ω／
□であるから、反射率が約４５％以上でありかつシート
抵抗値が約３〜２４Ω／□である条件を満たすことがで
きる。

【００１４】この第１の実施の形態のヒーターミラーに
おいて、１層のコバルト−銅合金膜１２は、組成比率が
コバルト約３０〜６０重量％、銅約７０〜４０重量％で
あり、また、膜厚が約３００〜７００オングストーロム
であり、さらに、比抵抗値が約２．５〜５．０×１０^-5
Ω・ｃｍである範囲内が好ましい。すなわち、銅の組成
比率が約４０〜７０重量％の場合においては、図３に示
すように、反射率が約５０％Ｒ以上である。また、膜厚
が約３００〜７００オングストーロムでありかつ比抵抗
値が約２．５〜５．０×１０^-5Ω・ｃｍである場合にお
いては、シート抵抗値＝比抵抗値÷膜厚から、シート抵
抗値が約３．６〜１６．７Ω／□となる。

【００１５】図５及び図６は本発明のヒーターミラーの
第２の実施の形態、すなわち１層の合金膜１２が鉄−銅
合金膜から形成されている例を示し、図５は膜厚が約５
００オングストーロムの１層の鉄−銅合金膜における銅
の組成比率（横軸、重量％）と反射率（縦軸、％）との
実測による相対関係を示したグラフ、図６は同じく膜厚
が約５００オングストーロムの１層の鉄−銅合金膜にお
ける銅の組成比率（横軸、重量％）とシート抵抗値（縦
軸、Ω／□）との実測による相対関係を示したグラフで
ある。

【００１６】この第２の実施の形態における本発明のヒ
ーターミラーは、ミラー基板１１の一面に、約４５重量
％の鉄と約５５重量％の銅との合金において、膜厚が約
５００オングストーロムである鉄−銅合金膜１２を、１
層形成してなるものである。この第２の実施の形態のヒ
ーターミラーにおいて、ミラー基板１１の表面（１層の
鉄−銅合金膜１２と反対側の面）から測定した反射率
（ＪＩＳＤ５７０５に基づいて測定された値）は、図
５に示すように、約５３％Ｒであり、またシート抵抗値
は、図６に示すように、約１０．６Ω／□であるから、
反射率が約４５％以上でありかつシート抵抗値が約３〜
２４Ω／□である条件を満たすことができる。

【００１７】この第２の実施の形態のヒーターミラーに
おいて、１層の鉄−銅合金膜１２は、組成比率が鉄約３
０〜７０重量％、銅約７０〜３０重量％であり、また、
膜厚が約４００〜８００オングストーロムであり、さら
に、比抵抗値が約４．０〜６．０×１０^-5Ω・ｃｍであ
る範囲内が好ましい。すなわち、銅の組成比率が約３０
〜７０重量％の場合においては、図５に示すように、反
射率が約４８％Ｒ以上である。また、膜厚が約４００〜
８００オングストーロムでありかつ比抵抗値が約４．０
〜６．０×１０^-5Ω・ｃｍである場合においては、シー
ト抵抗値＝比抵抗値÷膜厚から、シート抵抗値が約５．
０〜１５．０Ω／□となる。

【００１８】図７及び図８は本発明のヒーターミラーの
第３の実施の形態、すなわち１層の合金膜１２がクロム
−銅合金膜から形成されている例を示し、図７は膜厚が
約８００オングストーロムの１層のクロム−銅合金膜に
おける銅の組成比率（横軸、重量％）と反射率（縦軸、
％）との実測による相対関係を示したグラフ、図８は同
じく膜厚が約８００オングストーロムの１層のクロム−
銅合金膜における銅の組成比率（横軸、重量％）とシー
ト抵抗値（縦軸、Ω／□）との実測による相対関係を示
したグラフである。

【００１９】この第３の実施の形態における本発明のヒ
ーターミラーは、ミラー基板１１の一面に、約３０重量
％のクロムと約７０重量％の銅との合金において、膜厚
が約８００オングストーロムであるクロム−銅合金膜１
２を、１層形成してなるものである。この第３の実施の
形態のヒーターミラーにおいて、ミラー基板１１の表面
（１層のクロム−銅合金膜１２と反対側の面）から測定
した反射率（ＪＩＳＤ５７０５に基づいて測定された
値）は、図７に示すように、約５５％Ｒであり、またシ
ート抵抗値は、図８に示すように、約７．５Ω／□であ
るから、反射率が約４５％以上でありかつシート抵抗値
が約３〜２４Ω／□である条件を満たすことができる。

【００２０】この第３の実施の形態のヒーターミラーに
おいて、１層のクロム−銅合金膜１２は、組成比率がク
ロム約２０〜４０重量％、銅約８０〜６０重量％であ
り、また、膜厚が約５００〜１２００オングストーロム
であり、さらに、比抵抗値が約４．０〜１０．０×１０
^-5Ω・ｃｍである範囲内が好ましい。すなわち、銅の組
成比率が約６０〜８０重量％の場合においては、図７に
示すように、反射率が約５３％Ｒ以上である。また、膜
厚が約５００〜１２００オングストーロムでありかつ比
抵抗値が約４．０〜１０．０×１０^-5Ω・ｃｍである場
合においては、シート抵抗値＝比抵抗値÷膜厚から、シ
ート抵抗値が約３．３〜２０．０Ω／□となる。

【００２１】図９及び図１０は本発明のヒーターミラー
の第４の実施の形態、すなわち１層の合金膜１２がニッ
ケル−銅合金膜から形成されている例を示し、図９は膜
厚が約４００オングストーロムの１層のニッケル−銅合
金膜における銅の組成比率（横軸、重量％）と反射率
（縦軸、％）との実測による相対関係を示したグラフ、
図１０は同じく膜厚が約４００オングストーロムの１層
のニッケル−銅合金膜における銅の組成比率（横軸、重
量％）とシート抵抗値（縦軸、Ω／□）との実測による
相対関係を示したグラフである。

【００２２】この第４の実施の形態における本発明のヒ
ーターミラーは、ミラー基板１１の一面に、約６０重量
％のニッケルと約４０重量％の銅との合金において、膜
厚が約４００オングストーロムであるニッケル−銅合金
膜１２を、１層形成してなるものである。この第４の実
施の形態のヒーターミラーにおいて、ミラー基板１１の
表面（１層のニッケル−銅合金膜１２と反対側の面）か
ら測定した反射率（ＪＩＳＤ５７０５に基づいて測定
された値）は、図９に示すように、約５０％Ｒであり、
またシート抵抗値は、図１０に示すように、約１０Ω／
□であるから、反射率が約４５％以上でありかつシート
抵抗値が約３〜２４Ω／□である条件を満たすことがで
きる。

【００２３】この第４の実施の形態のヒーターミラーに
おいて、１層のニッケル−銅合金膜１２は、組成比率が
ニッケル約４５〜７０重量％、銅約５５〜３０重量％で
あり、また、膜厚が約３００〜７００オングストーロム
であり、さらに、比抵抗値が約３．０〜７．０×１０^-5
Ω・ｃｍである範囲内が好ましい。すなわち、銅の組成
比率が約３０〜５５重量％の場合においては、図９に示
すように、反射率が約５０％Ｒ以上である。また、膜厚
が約３００〜７００オングストーロムでありかつ比抵抗
値が約３．０〜７．０×１０^-5Ω・ｃｍである場合にお
いては、シート抵抗値＝比抵抗値÷膜厚から、シート抵
抗値が約４．３〜２３．３Ω／□となる。

【００２４】図１１及び図１２は本発明のヒーターミラ
ーの第５の実施の形態、すなわち１層の合金膜１２がコ
バルト−マンガン合金膜から形成されている例を示し、
図１１は膜厚が約９００オングストーロムの１層のコバ
ルト−マンガン合金膜におけるマンガンの組成比率（横
軸、重量％）と反射率（縦軸、％）との実測による相対
関係を示したグラフ、図１２は同じく膜厚が約９００オ
ングストーロムの１層のコバルト−マンガン合金膜にお
けるマンガンの組成比率（横軸、重量％）とシート抵抗
値（縦軸、Ω／□）との実測による相対関係を示したグ
ラフである。

【００２５】この第５の実施の形態における本発明のヒ
ーターミラーは、ミラー基板１１の一面に、約８４重量
％のコバルトと約１６重量％のマンガンとの合金におい
て、膜厚が約９００オングストーロムであるコバルト−
マンガン合金膜１２を、１層形成してなるものである。
この第５の実施の形態のヒーターミラーにおいて、ミラ
ー基板１１の表面（１層のコバルト−マンガン合金膜１
２と反対側の面）から測定した反射率（ＪＩＳＤ５７０
５に基づいて測定された値）は、図１１に示すように、
約４７％Ｒであり、またシート抵抗値は、図１２に示す
ように、約１２．９Ω／□であるから、反射率が約４５
％以上でありかつシート抵抗値が約３〜２４Ω／□であ
る条件を満たすことができる。

【００２６】この第５の実施の形態のヒーターミラーに
おいて、１層のコバルト−マンガン合金膜１２は、組成
比率がコバルト約８０〜９０重量％、マンガン約２０〜
１０重量％であり、また、膜厚が約８００〜１２００オ
ングストーロムであり、さらに、比抵抗値が約７．０〜
１４．０×１０^-5Ω・ｃｍである範囲内が好ましい。す
なわち、マンガンの組成比率が約１０〜２０重量％の場
合においては、図１１に示すように、反射率が約４５％
Ｒ以上である。また、膜厚が約８００〜１２００オング
ストーロムでありかつ比抵抗値が約７．０〜１４．０×
１０^-5Ω・ｃｍである場合においては、シート抵抗値＝
比抵抗値÷膜厚から、シート抵抗値が約５．８〜１７．
５Ω／□となる。

【００２７】図１３及び図１４は本発明のヒーターミラ
ーの第６の実施の形態、すなわち１層の合金膜１２が鉄
−銀合金膜から形成されている例を示し、図１３は膜厚
が約３５０オングストーロムの１層の鉄−銀合金膜にお
ける銀の組成比率（横軸、重量％）と反射率（縦軸、
％）との実測による相対関係を示したグラフ、図１４は
同じく膜厚が約３５０オングストーロムの１層の鉄−銀
合金膜における銀の組成比率（横軸、重量％）とシート
抵抗値（縦軸、Ω／□）との実測による相対関係を示し
たグラフである。

【００２８】この第６の実施の形態における本発明のヒ
ーターミラーは、ミラー基板１１の一面に、約６０重量
％の鉄と約４０重量％の銀との合金において、膜厚が約
３５０オングストーロムである鉄−銀合金膜１２を、１
層形成してなるものである。この第６の実施の形態のヒ
ーターミラーにおいて、ミラー基板１１の表面（１層の
鉄−銀合金膜１２と反対側の面）から測定した反射率
（ＪＩＳＤ５７０５に基づいて測定された値）は、図
１３に示すように、約５１％Ｒであり、またシート抵抗
値は、図１４に示すように、約１１．８Ω／□であるか
ら、反射率が約４５％以上でありかつシート抵抗値が約
３〜２４Ω／□である条件を満たすことができる。

【００２９】この第６の実施の形態のヒーターミラーに
おいて、１層の鉄−銀合金膜１２は、組成比率が鉄約５
０〜７０重量％、銀約５０〜３０重量％であり、また、
膜厚が約３００〜７００オングストーロムであり、さら
に、比抵抗値が約３．０〜６．０×１０^-5Ω・ｃｍであ
る範囲内が好ましい。すなわち、銀の組成比率が約３０
〜５０重量％の場合においては、図１３に示すように、
反射率が約５０％Ｒ以上である。また、膜厚が約３００
〜７００オングストーロムでありかつ比抵抗値が約３．
０〜６．０×１０^-5Ω・ｃｍである場合においては、シ
ート抵抗値＝比抵抗値÷膜厚から、シート抵抗値が約
４．３〜２０．０Ω／□となる。

【００３０】図１５及び図１６は本発明のヒーターミラ
ーの第７の実施の形態、すなわち１層の合金膜１２が鉄
−銀合金膜から形成されている例を示し、図１５は膜厚
が約３５０オングストーロムの１層の鉄−銀合金膜にお
ける銀の組成比率（横軸、重量％）と反射率（縦軸、
％）との実測による相対関係を示したグラフ、図１６は
同じく膜厚が約３５０オングストーロムの１層の鉄−銀
合金膜における銀の組成比率（横軸、重量％）とシート
抵抗値（縦軸、Ω／□）との実測による相対関係を示し
たグラフである。

【００３１】この第７の実施の形態における本発明のヒ
ーターミラーは、ミラー基板１１の一面に、約９３．６
重量％のコバルトと約６．４重量％のクロムとの合金に
おいて、膜厚が約６５０オングストーロムであるコバル
ト−クロム合金膜１２を、１層形成してなるものであ
る。この第７の実施の形態のヒーターミラーにおいて、
ミラー基板１１の表面（１層のコバルト−クロム合金膜
１２と反対側の面）から測定した反射率（ＪＩＳＤ５７
０５に基づいて測定された値）は、図１５に示すよう
に、約５０％Ｒであり、またシート抵抗値は、図１６に
示すように、約１２．７Ω／□であるから、反射率が約
４５％以上でありかつシート抵抗値が約３〜２４Ω／□
である条件を満たすことができる。

【００３２】この第７の実施の形態のヒーターミラーに
おいて、１層のコバルト−クロム合金膜１２は、組成比
率がコバルト約９０〜９８重量％、クロム約１０〜２重
量％であり、また、膜厚が約７００〜１０００オングス
トーロムであり、さらに、比抵抗値が約６．０〜１０．
５×１０^-5Ω・ｃｍである範囲内が好ましい。すなわ
ち、クロムの組成比率が約２〜１０重量％の場合におい
ては、図１５に示すように、反射率が約５０％Ｒ以上で
ある。また、膜厚が約７００〜１０００オングストーロ
ムでありかつ比抵抗値が約６．０〜１０．５×１０^-5Ω
・ｃｍである場合においては、シート抵抗値＝比抵抗値
÷膜厚から、シート抵抗値が約６．０〜１５．０Ω／□
となる。

【００３３】

【発明の効果】本発明のヒーターミラーは、以上説明し
たように、反射率が約４５％以上でありかつシート抵抗
値が約３〜２４Ω／□である１層の合金膜により、反射
膜を形成したものであるから、反射膜が２層から形成さ
れている従来のヒーターミラーと比較して、コストが安
価である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のヒーターミラーの一使用例を示した概
略斜視図である。

【図２】図１におけるＡ−Ａ線断面図である。

【図３】本発明のヒーターミラーの第１の実施の形態、
すなわち１層の合金膜がコバルト−銅合金膜から形成さ
れている例を示し、膜厚が約３５０オングストーロムの
１層のコバルト−銅合金膜における銅の組成比率（横
軸、重量％）と反射率（縦軸、％）との実測による相対
関係を示したグラフである。

【図４】同じく膜厚が約３５０オングストーロムの１層
のコバルト−銅合金膜における銅の組成比率（横軸、重
量％）とシート抵抗値（縦軸、Ω／□）との実測による
相対関係を示したグラフである。

【図５】本発明のヒーターミラーの第２の実施の形態、
すなわち１層の合金膜が鉄−銅合金膜から形成されてい
る例を示し、膜厚が約５００オングストーロムの１層の
鉄−銅合金膜における銅の組成比率（横軸、重量％）と
反射率（縦軸、％）との実測による相対関係を示したグ
ラフである。

【図６】同じく膜厚が約５００オングストーロムの１層
の鉄−銅合金膜における銅の組成比率（横軸、重量％）
とシート抵抗値（縦軸、Ω／□）との実測による相対関
係を示したグラフである。

【図７】本発明のヒーターミラーの第３の実施の形態、
すなわち１層の合金膜がクロム−銅合金膜から形成され
ている例を示し、膜厚が約８００オングストーロムの１
層のクロム−銅合金膜における銅の組成比率（横軸、重
量％）と反射率（縦軸、％）との実測による相対関係を
示したグラフである。

【図８】同じく膜厚が約８００オングストーロムの１層
のクロム−銅合金膜における銅の組成比率（横軸、重量
％）とシート抵抗値（縦軸、Ω／□）との実測による相
対関係を示したグラフである。

【図９】本発明のヒーターミラーの第４の実施の形態、
すなわち１層の合金膜がニッケル−銅合金膜から形成さ
れている例を示し、膜厚が約４００オングストーロムの
１層のニッケル−銅合金膜における銅の組成比率（横
軸、重量％）と反射率（縦軸、％）との実測による相対
関係を示したグラフである。

【図１０】同じく膜厚が約４００オングストーロムの１
層のニッケル−銅合金膜における銅の組成比率（横軸、
重量％）とシート抵抗値（縦軸、Ω／□）との実測によ
る相対関係を示したグラフである。

【図１１】本発明のヒーターミラーの第５の実施の形
態、すなわち１層の合金膜がコバルト−マンガン合金膜
から形成されている例を示し、膜厚が約９００オングス
トーロムの１層のコバルト−マンガン合金膜におけるマ
ンガンの組成比率（横軸、重量％）と反射率（縦軸、
％）との実測による相対関係を示したグラフである。

【図１２】同じく膜厚が約９００オングストーロムの１
層のコバルト−マンガン合金膜におけるマンガンの組成
比率（横軸、重量％）とシート抵抗値（縦軸、Ω／□）
との実測による相対関係を示したグラフである。

【図１３】本発明のヒーターミラーの第６の実施の形
態、すなわち１層の合金膜が鉄−銀合金膜から形成され
ている例を示し、膜厚が約３５０オングストーロムの１
層の鉄−銀合金膜における銀の組成比率（横軸、重量
％）と反射率（縦軸、％）との実測による相対関係を示
したグラフである。

【図１４】同じく膜厚が約３５０オングストーロムの１
層の鉄−銀合金膜における銀の組成比率（横軸、重量
％）とシート抵抗値（縦軸、Ω／□）との実測による相
対関係を示したグラフである。

【図１５】本発明のヒーターミラーの第７の実施の形
態、すなわち１層の合金膜が鉄−銀合金膜から形成され
ている例を示し、膜厚が約３５０オングストーロムの１
層の鉄−銀合金膜における銀の組成比率（横軸、重量
％）と反射率（縦軸、％）との実測による相対関係を示
したグラフである。

【図１６】同じく膜厚が約３５０オングストーロムの１
層の鉄−銀合金膜における銀の組成比率（横軸、重量
％）とシート抵抗値（縦軸、Ω／□）との実測による相
対関係を示したグラフである。

【符号の説明】

１１…ミラー基板、１２…１層の合金膜（反射膜）、１
４…電極。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ミラー基板と、前記ミラー基板の一面に
形成された、反射率が約４５％以上でありかつシート抵
抗値が約３〜２４Ω／□である１層の合金膜と、前記１
層の合金膜に接続された電極とを備えたことを特徴とす
るヒーターミラー。
【請求項２】前記１層の合金膜は、約３０〜６０重量
％のコバルトおよび約７０〜４０重量％の銅からなる１
層のコバルト−銅合金膜から形成されており、その膜厚
が約３００〜７００オングストーロムであり、かつその
比抵抗値が約２．５〜５．０×１０^-5Ω・ｃｍであるこ
とを特徴とする請求項１に記載のヒーターミラー。
【請求項３】前記１層の合金膜は、約３０〜７０重量
％の鉄および約７０〜３０重量％の銅からなる１層の鉄
−銅合金膜から形成されており、その膜厚が約４００〜
８００オングストロームであり、かつその比抵抗値が約
４．０〜６．０×１０^-5Ω・ｃｍであることを特徴とす
る請求項１に記載のヒーターミラー。
【請求項４】前記１層の合金膜は、約２０〜４０重量
％のクロムおよび約８０〜６０重量％の銅からなる１層
のクロム−銅合金膜から形成されており、その膜厚が約
５００〜１２００オングストロームであり、かつその比
抵抗値が約４．０〜１０．０×１０^-5Ω・ｃｍであるこ
とを特徴とする請求項１に記載のヒーターミラー。
【請求項５】前記１層の合金膜は、約４５〜７０重量
％のニッケルおよび約５５〜３０重量％の銅からなる１
層のニッケル−銅合金膜から形成されており、その膜厚
が約３００〜７００オングストロームであり、かつその
比抵抗値が約３．０〜７．０×１０^-5Ω・ｃｍであるこ
とを特徴とする請求項１に記載のヒーターミラー。
【請求項６】前記１層の合金膜は、約８０〜９０重量
％のコバルトおよび約２０〜１０重量％のマンガンから
なる１層のコバルト−マンガン合金膜から形成されてお
り、その膜厚が約８００〜１２００オングストロームで
あり、かつその比抵抗値が約７．０〜１４．０×１０^-5
Ω・ｃｍであることを特徴とする請求項１に記載のヒー
ターミラー。
【請求項７】前記１層の合金膜は、約５０〜７０重量
％の鉄および約５０〜３０重量％の銀からなる１層の鉄
−銀合金膜から形成されており、その膜厚が約３００〜
７００オングストロームであり、かつその比抵抗値が約
３．０〜６．０×１０^-5Ω・ｃｍであることを特徴とす
る請求項１に記載のヒーターミラー。
【請求項８】前記１層の合金膜は、約９０〜９８重量
％のコバルトおよび約１０〜２重量％のクロムからなる
１層のコバルト−クロム合金膜から形成されており、そ
の膜厚が約７００〜１０００オングストロームであり、
かつその比抵抗値が約６．０〜１０．５×１０^-5Ω・ｃ
ｍであることを特徴とする請求項１に記載のヒーターミ
ラー。