JPH11348171A - 透明バリア性フィルムおよびそれを使用した積層体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 基材フィルムの一方の面に、プラズマ化学蒸
着法による酸化ケイ素、酸化アルミニウム等の無機酸化
物の蒸着膜を設けた蒸着フィルムからなり、更に、その
蒸着膜にクラック、ピンホ−ル等が発生しても、酸素ガ
ス、水蒸気等に対するガスバリア性に優れ、種々の物品
を充填包装するに適する包装用容器等を製造するのに有
用な透明バリア性フィルムおよびそれを使用した積層体
を提供することである。 【解決手段】 基材フィルムの一方の面に、プラズマ化
学蒸着法による無機酸化物の蒸着膜を２層ないしそれ以
上に重層してなることを特徴とする透明バリア性フィル
ムおよびそれを使用した積層体に関するものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、透明バリア性フィ
ルムおよびそれを使用した積層体に関し、更に詳しく
は、透明性、酸素ガスあるいは水蒸気等に対するバリア
性等に優れ、更に、ラミネ−ト適性を有し、飲食品、医
薬品、化粧品、化学品、電子部品、その他等の種々の物
品を充填包装する包装材料として有用な透明バリア性フ
ィルムおよびそれを使用した積層体に関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】従来、酸素ガスバリア性、水蒸気バリア
性等に優れた包装用材料として、種々のものが開発さ
れ、提案されているが、それらの一つとして、近年、プ
ラスチックフィルム等の基材フィルムの一方の面に、物
理気相成長法、あるいは、化学気相成長法等を用いて、
例えば、酸化ケイ素、酸化アルミニウム等の無機酸化物
の蒸着膜を設けた蒸着フィルムが提案されている。この
ものは、酸素ガスバリア性、水蒸気バリア性等に優れ、
かつ、透明性を有し、更に、環境対応に適う包装用材料
として注目され、近年、他のプラスチックフィルム、あ
るいは、紙基材等の包装用材料と積層し、例えば、飲食
品、医薬品、化粧品、洗剤、その他等の種々の物品の充
填包装に適する包装用容器を製造することかでき、その
需要の拡大が期待されているものである。

【０００３】

【発明が解決しよとする課題】しかしながら、上記の蒸
着フィルムにおいては、確かに、透明性に優れ、かつ、
酸素ガスバリア性、水蒸気バリア性等は向上するが、該
蒸着フィルムを使用し、これに、他の樹脂のフィルム等
をラミネ−トして包装用材料としての積層体を製造し、
更に、該積層体を使用し、これから種々の形態からなる
包装用容器を製造し、而して、その包装用容器の中に、
種々の物品を充填包装しても、全ての包装用容器が、十
分に満足し得る包装製品を製造し得るというものではな
いものである。例えば、上記の蒸着フィルムにおいて、
基材フィルムの一方の面に、プラズマ化学蒸着法を利用
して、酸化ケイ素等の無機酸化物の蒸着膜を設けた蒸着
フィルムにおいては、該酸化ケイ素等の無機酸化物の蒸
着膜が、ガラス質状の蒸着膜からなるものであることか
ら、蒸着後、例えば、印刷加工、ラミネ−ト加工、ある
いは、製袋加工等の後処理加工時に、クラック等を発生
し易いという問題点がある。而して、上記のように酸化
ケイ素等の無機酸化物の蒸着膜の表面に発生したクラッ
ク等は、その蒸着膜の表面のみならず、その蒸着膜の深
さ方向に伝搬し、その結果、酸素ガス、水蒸気等のバリ
ア性は、著しく低下し、もはや、バリア性素材として
は、その要をなさないものであり、例えば、他の樹脂の
フィルム等をラミネ−トして、積層体を製造し、更に、
該積層体を使用して包装用容器を製造し、その包装用容
器内に種々の物品を充填包装して包装製品を製造したと
しても、その商品価値を著しく損ない、もはや、商品と
して、流通販売等に供し得ないものであるという問題点
がある。また、基材フィルムの一方の面に、プラズマ化
学蒸着法を利用して、酸化ケイ素等の無機酸化物の蒸着
膜を設けた蒸着フィルムにおいては、蒸着用モノマ−ガ
ス、酸素ガス、不活性ガス、その他等からなる蒸着用混
合ガス組成物を使用して、酸化ケイ素等の無機酸化物の
蒸着膜を製膜化しているものであることから、製膜中
に、未反応の蒸着用モノマ−ガス等が、しばしば、蒸着
膜中に含まれることがあるという問題点がある。而し
て、上記のように酸化ケイ素等の無機酸化物の蒸着膜中
に未反応の蒸着用モノマ−ガス等が含まれることになる
と、これが、蒸着膜のピンホ−ルの発生原因となり、こ
のように、蒸着膜にピンホ−ルが発生すると、酸素ガ
ス、水蒸気等のバリア性は、著しく低下し、前述と同様
に、バリア性素材としては、その要をなさないものであ
り、種々の物品を充填包装して包装製品を製造したとし
ても、その商品価値を著しく損ない、充分に満足し得る
包装製品を製造し得ないものであるという問題点があ
る。そこで本発明は、基材フィルムの一方の面に、プラ
ズマ化学蒸着法による酸化ケイ素、酸化アルミニウム等
の無機酸化物の蒸着膜を設けた蒸着フィルムからなり、
更に、その蒸着膜にクラック、ピンホ−ル等が発生して
も、酸素ガス、水蒸気等に対するガスバリア性に優れ、
種々の物品を充填包装するに適する包装用容器等を製造
するのに有用な透明バリア性フィルムおよびそれを使用
した積層体を提供することである。

【０００４】

【課題を解決するための手段】本発明者は、上記のよう
な問題点を解決すべく種々研究した結果、基材フィルム
の一方の面に、プラズマ化学蒸着法により、酸化ケイ素
等の無機酸化物の蒸着膜を設けるに際し、該無機酸化物
の蒸着膜を２層ないしそれ以上に重層して設けることに
着目し、まず、基材フィルムの一方の面に、プラズマ化
学蒸着法による第１の無機酸化物の蒸着膜を製膜化し、
次いで、該第１の無機酸化物の蒸着膜の上に、更に、上
記と全く同様に、プラズマ化学蒸着法による第２の無機
酸化物の蒸着膜を製膜化し、以下、必要ならば、プラズ
マ化学蒸着法による無機酸化物の蒸着膜を３層ないしそ
れ以上に重層して透明バリア性フィルムを製造し、而し
て、該透明バリア性フィルムを構成する最後に製膜化し
た無機酸化物の蒸着膜面に、少なくとも、ヒ−トシ−ル
性樹脂のフィルムをラミネ−トして積層体を製造し、該
積層体を使用し、製袋して包装用容器を製造し、該包装
用容器内に内容物を充填包装して包装製品を製造したと
ころ、優れた透明性を有すると共に酸素ガス、水蒸気等
に対する高いガスバリア性を有し、例えば、飲食品、医
薬品、化粧品、洗剤、その他等の種々の物品を充填包装
するにに適する包装用容器等を製造するに有用な透明バ
リア性フィルムおよびそれを使用した積層体を製造し得
ることを見出して本発明を完成したものである。

【０００５】すなわち、本発明は、基材フィルムの一方
の面に、プラズマ化学蒸着法による無機酸化物の蒸着膜
を２層ないしそれ以上に重層してなることを特徴とする
透明バリア性フィルムおよびそれを使用した積層体に関
するものである。

【０００６】

【発明の実施の形態】上記の本発明について図面等を用
いて以下に更に詳しく説明する。まず、本発明にかかる
透明バリア性フィルムおよびそれを使用した積層体につ
いてその一二例を例示しその層構成を示すと、図１およ
び図２は、本発明にかかる透明バリア性フィルムについ
てその一二例の層構成を示す概略的断面図であり、図３
は、本発明にかかる透明バリア性フィルムについてその
作用効果の概要を示す概略的断面図であり、図４は、本
発明にかかる透明バリア性フィルムを使用した積層体に
ついてその一例の層構成を示す概略的断面図である。

【０００７】まず、本発明にかかる透明バリア性フィル
ム１としては、図１に示すように、基材フィルム２の一
方の面に、まず、プラズマ化学蒸着法により、第１の無
機酸化物の蒸着膜３ａを設け、次に、該第１の無機酸化
物の蒸着膜３ａの上に、上記と同様に、プラズマ化学蒸
着法により、第２の無機酸化物の蒸着膜３ｂを設け、而
して、上記の第１の無機酸化物の蒸着膜３ａと第２の無
機酸化物の蒸着膜３ｂとの２層３ａ、３ｂを重層して設
けた構成からなることを基本構造とするものである。更
に、本発明にかかる透明バリア性フィルム１ａは、図２
に示すように、基材フィルム２の一方の面に、上記の図
１に示すように、プラズマ化学蒸着法により、第１の無
機酸化物の蒸着膜３ａ、および、第２の無機酸化物の蒸
着膜３ｂを設けた後、該第２の無機酸化物の蒸着膜３ｂ
の上に、更に、プラズマ化学蒸着法により、第３の無機
酸化物の蒸着膜３ｃを設け、而して、上記の第１の無機
酸化物の蒸着膜３ａと第２の無機酸化物の蒸着膜３ｂと
第３の無機酸化物の蒸着膜３ｃとの３層３ａ、３ｂ、３
ｃを重層して設けた構成からなるものである。なお、本
発明において、図示しないが、本発明にかかる透明バリ
ア性フィルムとしては、基材フィルムの一方の面に、プ
ラズマ化学蒸着法による無機酸化物の蒸着膜を４層ない
しそれ以上に重層して設けた構成からなるものも製造し
得るものである。

【０００８】ところで、上記のような構成からなる本発
明にかかる透明バリア性フィルムは、上記の図１に示す
透明バリア性フィルム１を使用した例で例示すると、図
３に示すように、第１の無機酸化物の蒸着膜３ａと第２
の無機酸化物の蒸着膜３ｂとの２層を重層することによ
り、仮に、第１の無機酸化物の蒸着膜３ａにクラック４
ａ、４ａ・・が発生しても、該クラック４ａ、４ａ・・
が発生した位置に対応する位置にある第２の無機酸化物
の蒸着膜３ｂにクラック４ｂ、４ｂ・・が発生しなけれ
ば、上記の第１の無機酸化物の蒸着膜３ａに発生したク
ラック４ａ、４ａ・・は、第２の無機酸化物の蒸着膜３
ｂで塞ぐことになり、而して、上記の第１の無機酸化物
の蒸着膜３ａと第２の無機酸化物の蒸着膜３ｂとの２層
の相乗効果により、酸素ガス、あるいは、水蒸気等に対
するバリア性を維持することができるものである。従っ
て、本発明にかかる透明バリア性フィルムにおいては、
プラズマ化学蒸着法による無機酸化物の蒸着膜を２層な
いしそれ以上を重層することを特徴とするものである
が、その製造コスト等を考慮すると、２層〜３層位を重
層することが好ましいものである。

【０００９】次に、本発明にかかる透明バリア性フィル
ムを使用した積層体１１としては、図４に示すように、
例えば、上記の図１に示す透明バリア性フィルム１を使
用した例で例示すると、まず、前述と同様に、基材フィ
ルム２の一方の面に、プラズマ化学蒸着法により、第１
の無機酸化物の蒸着膜３ａと第２の無機酸化物の蒸着膜
３ｂとの２層を重層して設けて透明バリア性フィルム１
を構成し、更に、該透明バリア性フィルム１を構成する
該２の無機酸化物の蒸着膜３ｂの面に、少なくとも、ヒ
−トシ−ル性樹脂層５を設けた構成からなるものであ
る。上記の例示は、本発明にかかる透明バリア性フィル
ムおよびそれを使用した積層体についてその一二例を例
示するものであり、これによって本発明は限定されるも
のではないことは言うまでもないことである。

【００１０】次に、上記の本発明にかかる透明バリア性
フィルムおよびそれを使用した積層体を構成する材料、
その製造法等について説明すると、まず、本発明にかか
る透明バリア性フィルム、あるいは、積層体を構成する
基材フィルムとしては、無色透明な各種の樹脂のフィル
ムないしシ−トを使用することができ、具体的には、例
えば、ポリエチレンあるいはポリプロピレン等のポリオ
レフィン系樹脂、ポリエチレンテレフタレ−トあるいは
ポリエチレンナフタレ−ト等のポリエステル系樹脂、ポ
リアミド系樹脂、ポリカ−ボネ−ト系樹脂、ポリスチレ
ン系樹脂、ポリビニルアルコ−ル系樹脂、エチレン−酢
酸ビニル共重合体のケン化物、ポリアクリロニトリル系
樹脂、アセタ−ル系樹脂、その他等の各種の樹脂のフィ
ルムないしシ−トを使用することができる。而して、上
記の樹脂のフィルムないしシ−トとしては、例えば、テ
ンタ−方式あるいはチュ−ブ方式等を使用し、縦横等の
２方向に２軸延伸してなるフィルムないしシ−トでも使
用することができる。また、上記の樹脂のフィルムない
しシ−トとしては、単層、あるいは、２層以上の共押し
出し法等で製膜し、ついで、２軸延伸してなる樹脂のフ
ィルムないしシ−ト等も使用することができる。また、
本発明において、基材フィルムの厚さとしては、そのフ
ィルムないしシ−トの製造時の安定性等から適宜に設定
することが可能であるが、約５〜１００μｍ位、好まし
くは、１０〜５０μｍ位が望ましい。なお、本発明にお
いて、上記の基材フィルムは、蒸着膜等との密着性を高
めるために、必要に応じて、その表面に、予め、公知の
プライマ−コ−ト剤によるプライマ−コ−ト剤層等を設
けることもできる。また、上記の基材フィルムは、その
表面に、必要ならば、例えば、コロナ処理、プラズマ処
理、フレ−ム処理、その他等の表面活性処理を任意に施
すことができる。なお、本発明において、用途に応じ
て、例えば、帯電防止剤、紫外線吸収剤、可塑剤、滑
剤、充填剤、その他等の所望の添加剤を、その透明性に
影響しない範囲内で任意に添加し、それらを含有する樹
脂のフィルムないしシ−ト等も使用することができる。

【００１１】次に、本発明において、本発明の透明バリ
ア性フィルム、あるいは、積層材を構成するプラズマ化
学蒸着法による無機酸化物の蒸着膜について説明する
と、本発明においては、基材フィルムの一方の面に、有
機珪素化合物等の蒸着用モノマ−ガスを原料とし、該蒸
着用モノマ−ガス、酸素ガス、不活性ガス、その他等か
らなる蒸着用混合ガス組成物を使用し、真空チャンバ−
を２ないしそれ以上有する低温プラズマ発生装置等を利
用するプラズマ化学蒸着法（ＣＶＤ法）を用いて、酸化
珪素等の無機酸化物の蒸着膜を２層ないしそれ以上を重
層して形成して、本発明にかかる透明バリア性フィルム
を形成することができる。上記において、低温プラズマ
発生装置としては、例えば、高周波プラズマ、パルス波
プラズマ、マイクロ波プラズマ等の発生装置を使用する
ことがてき、而して、本発明においては、高活性の安定
したプラズマを得るためには、高周波プラズマ方式によ
る発生装置を使用することが望ましい。

【００１２】具体的に、上記のプラズマ化学蒸着法につ
いてその一例を例示して説明すると、図５は、二つの真
空チャンバ−を有するプラズマ化学蒸着法の概要を示す
プラズマ化学蒸着装置の概略的構成図である。上記の図
５に示すように、本発明においては、まず、プラズマ化
学蒸着装置３１の第１の真空チャンバ−３２内に配置さ
れた巻き出しロ−ル３３から基材フィルム２を繰り出
し、更に、該基材フィルム２を、補助ロ−ル３４を介し
て所定の速度で冷却・電極ドラム３５周面上に搬送す
る。而して、本発明においては、ガス供給装置３６、３
７、および、原料揮発供給装置３８等から酸素ガス、不
活性ガス、有機珪素化合物等の蒸着用モノマ−ガス、そ
の他等を供給し、それらからなる蒸着用混合ガス組成物
を調整しなから原料供給ノズル３９を通して真空チャン
バ−３２内に導入し、そして、上記の冷却・電極ドラム
３５周面上に搬送された基材フィルム２の上に、グロ−
放電プラズマによってプラズマ４０を発生させて、これ
を照射して、第１の酸化珪素等の無機酸化物の蒸着膜を
製膜化する。なお、本発明においては、その際に、冷却
・電極ドラム３５は、真空チャンバ−３２外に配置され
ている電源４１から所定の電力が印加されており、ま
た、冷却・電極ドラム３５の近傍には、マグネット４２
を配置してプラズマの発生が促進されており、次いで、
上記で第１の酸化珪素等の無機酸化物の蒸着膜を形成し
た基材フィルム２を補助ロ−ル４３、４４を介して、プ
ラズマ化学蒸着装置３１を構成する第２の真空チャンバ
−４５内に供給する。而して、上記でプラズマ化学蒸着
装置３１を構成する第２の真空チャンバ−４５内に供給
された第１の酸化珪素等の無機酸化物の蒸着膜を形成し
た基材フィルム２は、補助ロ−ル４６、４７を介して、
前述と同様に、所定の速度で冷却・電極ドラム４８周面
上に搬送される。而して、本発明においては、ガス供給
装置４９、５０、および、原料揮発供給装置５１等から
酸素ガス、不活性ガス、有機珪素化合物等の蒸着用モノ
マ−ガス、その他等を供給し、それらからなる蒸着用混
合ガス組成物を調整しなから原料供給ノズル５２を通し
て第２の真空チャンバ−４５内に導入し、そして、上記
の冷却・電極ドラム４８周面上に搬送された上記の基材
フィルム２の上に形成した第１の酸化珪素等の無機酸化
物の蒸着膜の上に、グロ−放電プラズマによってプラズ
マ５３を発生させて、これを照射して、第２の酸化珪素
等の無機酸化物の蒸着膜を製膜化し、第１の酸化珪素等
の無機酸化物の蒸着膜と第２の酸化珪素等の無機酸化物
の蒸着膜との２層が重層した蒸着膜を形成する。なお、
本発明においては、その際に、冷却・電極ドラム４８
は、真空チャンバ−４５外に配置されている電源５４か
ら所定の電力が印加されており、また、冷却・電極ドラ
ム４８の近傍には、マグネット５５を配置してプラズマ
の発生が促進されており、次いで、上記で第１の酸化珪
素等の無機酸化物の蒸着膜と第２の酸化珪素等の無機酸
化物の蒸着膜との２層が重層した蒸着膜を形成した基材
フィルム２を補助ロ−ル５６を介して巻き取りロ−ル５
７に巻き取って、第１の酸化珪素等の無機酸化物の蒸着
膜と第２の酸化珪素等の無機酸化物の蒸着膜との２層を
重層して設けた基材フィルム２からなる透明バリア性フ
ィルムを製造することができるものである。なお、図
中、５８、５９は、二つの真空チャンバ−３２、４５を
真空にするために設けた真空ポンプを表す。上記の例示
は、本発明にかかる二つの真空チャンバ−を有するプラ
ズマ化学蒸着法の一例を例示するものであり、本発明に
おいては、真空チャンバ−を３ないしそれ以上を有する
プラズマ化学蒸着法によるプラズマ化学蒸着装置を使用
し、３層ないしそれ以上を重層させて透明パリア性フィ
ルムを製造することもでき、上記の例示によって本発明
は限定されるものではないことは言うまでもないことで
ある。

【００１３】上記のにおいて、酸化珪素等の無機酸化物
の蒸着膜を形成する有機珪素化合物等の蒸着用モノマ−
ガスとしては、例えば、１．１．３．３−テトラメチル
ジシロキサン、ヘキサメチルジシロキサン、ビニルトリ
メチルシラン、メチルトリメチルシラン、ヘキサメチル
ジシラン、メチルシラン、ジメチルシラン、トリメチル
シラン、ジエチルシラン、プロピルシラン、フェニルシ
ラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリメトキシ
シラン、テトラメトキシシラン、テトラエトキシシラ
ン、フェニルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシ
シラン、オクタメチルシクロテトラシロキサン、その他
等を使用することができる。本発明において、上記のよ
うな有機珪素化合物の中でも、１．１．３．３−テトラ
メチルジシロキサン、または、ヘキサメチルジシロキサ
ンを原料として使用することが、その取り扱い性、形成
された蒸着膜の特性等から、特に、好ましい原料であ
る。また、本発明において、不活性ガス等としては、例
えば、アルゴンガス、ヘリウムガス、窒素ガス、その他
等を使用することができる。

【００１４】ところで、本発明においては、上記のよう
なプラズマ化学蒸着法（ＣＶＤ法）によって製膜化され
る第１、および、第２、更には、それ以上の酸化珪素等
の無機酸化物の蒸着膜等は、１層の蒸着膜自身におい
て、クラック等の発生を防止するために、薄膜で形成さ
れ、かつ、屈曲性等に富む蒸着膜であることが望ましい
ものである。そのため、本発明において、上記のプラズ
マ化学蒸着法（ＣＶＤ法）によって製膜化される蒸着膜
の特性は、製膜化スピ−ド、プラズマパワ−、有機珪素
化合物等の蒸着用モノマ−ガスと酸素ガスと不活性ガス
とその他等からなる蒸着用混合ガス組成物の組成比、真
空チャンバ−の真空度等の製膜パラメ−タ−等によって
影響を受けるものであるが、本発明においては、特に、
有機珪素化合物等の蒸着用モノマ−ガス、酸素ガス、不
活性ガス、その他等からなる蒸着用混合ガス組成物を原
料供給ノズルを通して真空チャンバ−内に導入する際
に、その蒸着用混合ガス組成物の組成において、酸素ガ
スの含有量を上げ、他方、蒸着用モノマ−ガスの含有量
を低くすることにより、更に、プラズマパワ−を低くし
て、マイルドな条件でプラズマ照射し、これにより、薄
膜であり、かつ、透明性を有し、更に、屈曲性に富み、
また、酸素ガスバリア性等に優れた蒸着薄膜を形成する
ことが望ましいものである。

【００１５】また、本発明においては、上記のプラズマ
化学蒸着法（ＣＶＤ法）において、有機珪素化合物等の
蒸着用モノマ−ガス、酸素ガス、不活性ガス、その他等
からなる蒸着用混合ガス組成物を原料供給ノズルを通し
て真空チャンバ−内に導入する際に、その蒸着用混合ガ
ス組成物の組成において、酸素ガスの含有量を上げ、他
方、蒸着用モノマ−ガスの含有量を低くすると、形成さ
れる蒸着膜の極性部分の割合が増加し、その結果、基材
フィルムと蒸着膜との密着性、更には、蒸着膜どうしの
密着性等が向上し、而して、そのように密着性が向上す
ることにより、酸素ガスバリア性も向上する傾向にある
ものである。更に、本発明において、上記のように酸素
ガスの含有量を上げ、他方、蒸着用モノマ−ガスの含有
量を低くしてプラズマ化学蒸着を行うと、酸化珪素等の
無機酸化物の蒸着膜の場合には、該酸化珪素の蒸着膜
が、式ＳｉＯ_X で表される酸化珪素の蒸着連続薄膜から
なり、更に、Ｘの値を増加させることができ、極めて透
明性に優れた蒸着薄膜を形成することができるものであ
る。更にまた、本発明において、上記のように酸素ガス
の含有量を上げ、他方、蒸着用モノマ−ガスの含有量を
低くしてプラズマ化学蒸着を行う、蒸着膜を形成する際
に、酸素プラズマガスが多くなることから、基材フィル
ムの黄変が抑制され、その結果、透明バリア性フィルム
の透明性を向上させることが可能となるものである。

【００１６】上記の本発明において、プラズマ化学蒸着
を行う際に、少なくとも、蒸着用モノマ−ガス、酸素ガ
ス、および、不活性ガスを含む蒸着用混合ガス組成物に
おいて、酸素ガスの含有量としては、具体的には、該蒸
着用混合ガス組成物の組成において、約２０体積％以上
の範囲内で含有していることが好ましいものである。上
記において、２０体積％未満であると、酸素ガスバリア
性に優れた蒸着膜質を得ることが困難になり、更に、酸
素ガス量が減少すると、基材フィルムを黄変させる傾向
にあり、特に、酸素ガス量が減少するにつれて、逆に、
蒸着用モノマ−ガス、あるいは、不活性ガス等の含有割
合が増加することになり、これにより、基材フィルムの
黄変等が著しく増加する傾向にあることから好ましくな
いものである。また、上記の本発明において、プラズマ
化学蒸着を行う際に、少なくとも、蒸着用モノマ−ガ
ス、酸素ガス、および、不活性ガスを含む蒸着用混合ガ
ス組成物において、蒸着用モノマ−ガスの含有量として
は、具体的には、該蒸着用混合ガス組成物の組成におい
て、約３０体積％以下の範囲内で含有していることが好
ましいものである。上記において、蒸着用モノマ−ガス
の含有量が３０％を越えると、蒸着用混合ガス組成物に
おいて、蒸着用モノマ−ガスの濃度が高くなり、形成さ
れる蒸着膜の膜厚が高くなり、その屈曲性が低下するこ
とから好ましくないものである。更に、真空チャンバ−
中に未反応の蒸着用モノマ−ガスが多量に存在し、真空
度の低下、または蒸着膜中に取り込まれて、そのバリア
性の低下を招くことから好ましくないものである。な
お、本発明において、蒸着用混合ガス組成物としては、
その組成として、少なくとも、蒸着用モノマ−ガスを５
〜３０体積％の範囲、酸素ガスを２０〜８０体積％の範
囲で含有し、その他、不活性ガス、更に、必要ならば、
その他の成分を含有している蒸着用混合ガス組成物を使
用することが好ましいものである。

【００１７】次に、本発明において、上記のような蒸着
用混合ガス組成物を原料供給ノズルを通して真空チャン
バ−内に導入し、グロ−放電プラズマによって、酸化珪
素等の無機酸化物の蒸着膜を製膜化することが好ましい
ものであるが、その際に、冷却・電極ドラムに、チャン
バ−外に配置されている電源から、電流値１４ｋＷ未満
の範囲で電流を流し、温和な条件でプラズマ化学蒸着を
行い、無機酸化物の蒸着膜を有する透明バリア性フィル
ムを製造することが望ましいものである。上記におい
て、電流値が１４ｋＷを越えると、プラズマ化学蒸着の
条件が過酷になり、例えば、基材フィルムが、その衝撃
を受け、黄変あるいは劣化現象等を起こし、その発生を
抑制することが困難になり、また、プラズマが不安定と
なり、ア−キング現象が非常に起こり易くなるため、耐
プラズマ性に劣る基材フィルムに多数の穴を生じやすく
なり、更に、酸素ガスバリア性等に優れた蒸着膜質を形
成することが困難になる傾向があることから好ましくな
いものである。本発明においては、具体的には、電流値
６〜１４ｋＷ位の範囲内で電流を流すことが好ましいも
のである。なお、本発明において、製膜スピ−ドとして
は、５０〜１５０ｍ／ｍｉｎ位の範囲、また、真空チャ
ンバ−の真空度としては、３０〜８０μｂａｒ位の範囲
でプラズマ化学蒸着を行って各蒸着膜を製膜化して、２
層ないしそれ以上を重層することが好ましいものであ
る。

【００１８】而して、本発明において、上記のプラズマ
化学蒸着法によって形成される酸化珪素の蒸着膜として
は、式ＳｉＯ_X （ただし、Ｘは、１〜２の数を表す）で
表される酸化珪素を主体とする連続状の蒸着薄膜であ
り、更に、透明性等の点から、式ＳｉＯ_X （ただし、Ｘ
は、１．３〜１．９の数を表す。）で表される酸化珪素
の蒸着膜を主体とする連続薄膜であることが好ましいも
のである。また、上記の酸化珪素の蒸着膜は、珪素およ
び酸素を構成元素とする酸化珪素化合物からなり、更
に、炭素、水素、珪素、または、酸素からなる微量構成
元素の１種ないし２種以上からなる化合物の少なくとも
１種以上を含有する酸化珪素の連続蒸着膜からなるもの
である。更に、上記の酸化珪素の蒸着膜は、珪素および
酸素を構成元素とする酸化珪素化合物からなり、更に、
炭素、水素、珪素、または、酸素の１種または２種以上
の元素からなる化合物を少なくとも１種以上含有し、か
つ、該化合物が、その膜表面から深さ方向に向かって減
少している酸化珪素の連続蒸着膜からなるものである。
更にまた、上記の酸化珪素の蒸着膜は、炭素からなる化
合物を含有する場合には、その膜厚の深さ方向において
炭素の含有量が減少していることを特徴とするものであ
る。而して、上記のような蒸着膜の膜構造は、例えば、
Ｘ線光電子分光装置（Ｘｒａｙ Ｐｈｏｔｏｅｌｅｃｔ
ｒｏｎ Ｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ、ＸＰＳ）、二次イ
オン質量分析装置（Ｓｅｃｏｎｄａｒｙ Ｉｏｎ Ｍａ
ｓｓ Ｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ、ＳＩＭＳ）等の表面
分析装置を用い、深さ方向にイオンエッチングする等し
て分析する方法を利用して、蒸着膜の分析を行うことよ
り確認することができるものである。また、本発明にお
いて、酸化珪素等の無機酸化物の蒸着膜の膜厚として
は、５０〜２０００Å位の範囲の膜厚のものを形成する
ことができるものである。しかし、本発明においては、
第１、第２、更には、それ以上の酸化珪素等の無機酸化
物の蒸着膜は、薄膜で、屈曲性等にとむ膜質であること
が望ましいものであることから、蒸着膜の膜厚として
は、５０〜５００Å位、好ましくは、５０〜３００Å位
であることが望ましいものである。上記において、膜厚
が、３００Å、５００Å、１０００Å、更に、２０００
Å等を越えると、蒸着膜の屈曲性等が劣る傾向にあっ
て、クラック等が発生し易くなるという傾向にあること
から好ましくなく、また、膜厚が、５０Å未満になる
と、酸素ガスバリア性、水蒸気バリア性等に劣る傾向に
あることから好ましくないものである。

【００１９】次に、本発明において、本発明にかかる透
明バリア性フィルムを使用した積層体を構成するヒ−ト
シ−ル性樹脂層を形成するヒ−トシ−ル性樹脂として
は、熱によって溶融し相互に融着し得る樹脂のフィルム
ないしシ−トを使用することができ、具体的には、例え
ば、低密度ポリエチレン、中密度ポリエチレン、高密度
ポリエチレン、直鎖状（線状）低密度ポリエチレン、ポ
リプロピレン、エチレン−酢酸ビニル共重合体、アイオ
ノマ−樹脂、エチレン−アクリル酸共重合体、エチレン
−アクリル酸エチル共重合体、エチレン−メタクリル酸
共重合体、エチレン−メタクリル酸メチル共重合体、エ
チレン−プロピレン共重合体、メチルペンテンポリマ
−、ポリブテンポリマ−、ポリエチレンまたはポリプロ
ピレン等のポリオレフィン系樹脂をアクリル酸、メタク
リル酸、マレイン酸、無水マレイン酸、フマ−ル酸、イ
タコン酸等の不飽和カルボン酸で変性した酸変性ポリオ
レフィン樹脂、ポリ酢酸ビニル系樹脂、ポリ（メタ）ア
クリル系樹脂、ポリ塩化ビニル系樹脂、その他等の樹脂
のフィルムないしシ−トを使用することができる。而し
て、上記のフィルムないしシ−トは、その樹脂を含む組
成物によるコ−ティング膜の状態でも使用することがで
きる。その膜もしくはフィルムないしシ−トの厚さとし
ては、５μｍないし３００μｍ位が好ましくは、更に
は、１０μｍないし１００μｍ位が望ましい。

【００２０】ところで、本発明において、本発明にかか
る積層体としては、上記のようなヒ−トシ−ル性樹脂層
の他に、例えば、各種の樹脂のフィルム、紙基材、金属
素材、合成紙、セロハン、その他等の包装用容器を構成
する包装用素材等と任意に組み合わせて、種々の積層体
を製造し、種々の物品を充填包装するに適した包装材料
を製造可能とするものである。上記の樹脂のフィルムと
しては、具体的には、例えば、低密度ポリエチレン、中
密度ポリエチレン、高密度ポリエチレン、線状低密度ポ
リエチレン、ポリプロピレン、エチレン−プロピレン共
重合体、エチレン−酢酸ビニル共重合体、アイオノマ−
樹脂、エチレン−アクリル酸エチル共重合体、エチレン
−アクリル酸またはメタクリル酸共重合体、酸変性ポリ
オレフィン系樹脂、メチルペンテンポリマ−、ポリブテ
ン系樹脂、ポリ塩化ビニル系樹脂、ポリ酢酸ビニル系樹
脂、ポリ塩化ビニリデン系樹脂、塩化ビニル−塩化ビニ
リデン共重合体、ポリ（メタ）アクリル系樹脂、ポリア
クリルニトリル系樹脂、ポリスチレン系樹脂、アクリロ
ニトリル−スチレン共重合体（ＡＳ系樹脂）、アクリロ
ニトリル−ブタジェン−スチレン共重合体（ＡＢＳ系樹
脂）、ポリエステル系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリカ
−ボネ−ト系樹脂、ポリビニルアルコ−ル系樹脂、エチ
レン−酢酸ビニル共重合体のケン化物、フッ素系樹脂、
ジエン系樹脂、ポリアセタ−ル系樹脂、ポリウレタン系
樹脂、ニトロセルロ−ス、その他等の公知の樹脂のフィ
ルムないしシ−トから任意に選択して使用することがで
きる。本発明において、上記のフィルムないしシ−ト
は、未延伸、一軸ないし二軸方向に延伸されたもの等の
いずれのものでも使用することができる。また、その厚
さは、任意であるが、数μｍから３００μｍ位の範囲か
ら選択して使用することができる。更に、本発明におい
ては、フィルムないしシ−トとしては、押し出し成膜、
インフレ−ション成膜、コ−ティング膜等のいずれの性
状の膜でもよい。また、上記において、紙基材として
は、例えば、強サイズ性の晒または未晒の紙基材、ある
いは純白ロ−ル紙、クラフト紙、板紙、加工紙等の紙基
材、その他等を使用することができる。上記において、
紙層を構成する紙基材としては、坪量約８０〜６００ｇ
／ｍ²位のもの、好ましくは、坪量約１００〜４５０ｇ
／ｍ² 位のものを使用することが望ましい。また、上記
にといて、金属素材としては、例えば、アルミニウム
箔、あるいは、アルミニウム蒸着膜を有する樹脂のフィ
ルム等を使用することができる。

【００２１】次に、上記の本発明において、上記のよう
な材料を使用して積層体を製造する方法について説明す
ると、かかる方法としては、通常の包装材料をラミネ−
トする方法、例えば、ウエットラミネ−ション法、ドラ
イラミネ−ション法、無溶剤型ドライラミネ−ション
法、押し出しラミネ−ション法、Ｔダイ押し出し成形
法、共押し出しラミネ−ション法、インフレ−ション
法、共押し出しインフレ−ション法、その他等で行うこ
とができる。而して、本発明においては、上記の積層を
行う際に、必要ならば、例えば、コロナ処理、オゾン処
理、フレ−ム処理、その他等の前処理をフィルムに施す
ことができ、また、例えば、ポリエステル系、イソシア
ネ−ト系（ウレタン系）、ポリエチレンイミン系、ポリ
ブタジェン系、有機チタン系等のアンカ−コ−ティング
剤、あるいはポリウレタン系、ポリアクリル系、ポリエ
ステル系、エポキシ系、ポリ酢酸ビニル系、セルロ−ス
系、その他等のラミネ−ト用接着剤等の公知のアンカ−
コ−ト剤、接着剤等を使用することができる。

【００２２】次に、本発明において、上記のような積層
体を使用して製袋ないし製函する方法について説明する
と、例えば、包装用容器がプラスチックフィルム等から
なる軟包装袋の場合、上記のような方法で製造した積層
体を使用し、その内層のヒ−トシ−ル性樹脂層の面を対
向させて、それを折り重ねるか、或いはその二枚を重ね
合わせ、更にその周辺端部をヒ−トシ−ルしてシ−ル部
を設けて袋体を構成することができる。而して、その製
袋方法としては、上記の積層体を、その内層の面を対向
させて折り曲げるか、あるいはその二枚を重ね合わせ、
更にその外周の周辺端部を、例えば、側面シ−ル型、二
方シ−ル型、三方シ−ル型、四方シ−ル型、封筒貼りシ
−ル型、合掌貼りシ−ル型（ピロ−シ−ル型）、ひだ付
シ−ル型、平底シ−ル型、角底シ−ル型、その他等のヒ
−トシ−ル形態によりヒ−トシ−ルして、本発明にかか
る種々の形態の包装用容器を製造することができる。そ
の他、例えば、自立性包装袋（スタンディングパウチ）
等も製造することが可能であり、更に、本発明において
は、上記の複合フィルムを使用してチュ−ブ容器等も製
造することができる。上記において、ヒ−トシ−ルの方
法としては、例えば、バ−シ−ル、回転ロ−ルシ−ル、
ベルトシ−ル、インパルスシ−ル、高周波シ−ル、超音
波シ−ル等の公知の方法で行うことができる。なお、本
発明においては、上記のような包装用容器には、例え
ば、ワンピ−スタイプ、ツウ−ピ−スタイプ、その他等
の注出口、あるいは開閉用ジッパ−等を任意に取り付け
ることができる。

【００２３】次にまた、包装用容器として、紙基材を含
む液体充填用紙容器の場合、例えば、積層体として、紙
基材を積層した積層体を製造し、これから所望の紙容器
を製造するブランク板を製造し、しかる後該ブランク板
を使用して胴部、底部、頭部等を製函して、例えば、ブ
リックタイプ、フラットタイプあるいはゲ−ベルトップ
タイプの液体用紙容器等を製造することができる。ま
た、その形状は、角形容器、丸形等の円筒状の紙缶等の
いずれのものでも製造することができる。

【００２４】本発明において、上記のようにして製造し
た包装用容器は、透明性、酸素、水蒸気等に対するガス
バリア性、耐衝撃性等に優れ、更に、ラミネ−ト加工、
印刷加工、製袋ないし製函加工等の後加工適性を有し、
また、バリア性膜としての蒸着膜の剥離を防止し、か
つ、その熱的クラックの発生を阻止し、また、その劣化
を防止して、バリア性膜として優れた耐性を発揮し、例
えば、飲食品、医薬品、洗剤、シャンプ−、オイル、歯
磨き、接着剤、粘着剤等の化学品ないし化粧品、その他
等の種々の物品の充填包装適性、保存適性等に優れてい
るものである。

【００２５】

【実施例】上記の本発明について以下に実施例を挙げて
更に具体的に説明する。 実施例１ （１）．厚さ１２μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタ
レ−トフィルムを使用し、これを二つの真空チャンバ−
を有するプラズマ化学蒸着装置（図５参照）の送り出し
ロ−ルに装着し、該２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−
トフィルムの上に、下記の条件で第１と第２の酸化珪素
の蒸着膜を２層を重層して製膜化して、本発明にかかる
透明バリア性フィルムを製造した。 （プラズマ化学蒸着条件）反応ガス混合比：ヘキサメチ
ルジシロキサン：酸素ガス：ヘリウム＝１．２：２．
８：３．３（単位；ｓｌｍ、スタンダ−ド リッタ−
ミニット、ｓｔａｎｄａｒｄ ｌｉｔｔｅｒ ｍｉｎｕ
ｔｅ、以下同じ） 真空チャンバ−内の真空度；５５μｂａｒ 真空チャンバ−数；２ 冷却・電極ドラムの電力；１２ｋＷ フィルムの搬送速度；１２０ｍ／ｍｉｎ 膜層：２層 各蒸着膜の膜厚：７０Å（２層とも同じ厚さ） （２）．次に、上記で製造した透明バリア性フィルムを
使用し、これをドライラミネ−トコ−タ−機の一方の送
り出しロ−ルに装着し、その第２の酸化珪素の蒸着膜面
に接着剤層を形成し、他方、シ−ラントフィルムである
厚さ４０μｍの無延伸ポリプロピレンフィルムを使用
し、これを他方の送り出しロ−ルに装着し、しかる後そ
の両者を下記の条件でドライラミネ−トして、本発明に
かかる積層体を製造した。 （接着剤層）；ウレタン系接着剤を使用 （主剤）ウレタン系（武田薬品工業株式会社製、商品
名、タケネ−トＡ−５１５） （硬化剤）イソシアネ−ト系（武田薬品工業株式会社
製、商品名、Ａ−５０） （混合比）主剤：硬化剤＝１０：１ （溶剤）酢酸エチル （塗布量）４．０ｇ／ｍ² （ドライ）

【００２６】実施例２ （１）．厚さ１２μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタ
レ−トフィルムを使用し、これを二つの真空チャンバ−
を有するプラズマ化学蒸着装置（図５参照）の送り出し
ロ−ルに装着し、該２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−
トフィルムの上に、下記の条件で第１と第２の酸化珪素
の蒸着膜を２層を重層して製膜化して、本発明にかかる
透明バリア性フィルムを製造した。 （プラズマ化学蒸着条件）反応ガス混合比：ヘキサメチ
ルジシロキサン：酸素ガス：ヘリウム＝０．６：５．
５：２．４（単位；ｓｌｍ） 真空チャンバ−内の真空度；５５μｂａｒ 真空チャンバ−数；２ 冷却・電極ドラムの電力；１２ｋＷ フィルムの搬送速度；１２０ｍ／ｍｉｎ 膜層：２層 各蒸着膜の膜厚：７０Å（２層とも同じ厚さ） （２）．次に、上記で製造した透明バリア性フィルムを
使用し、これをドライラミネ−トコ−タ−機の一方の送
り出しロ−ルに装着し、その第２の酸化珪素の蒸着膜面
に接着剤層を形成し、他方、シ−ラントフィルムである
厚さ４０μｍの無延伸ポリプロピレンフィルムを使用
し、これを他方の送り出しロ−ルに装着し、しかる後そ
の両者を下記の条件でドライラミネ−トして、本発明に
かかる積層体を製造した。 （接着剤層）；ウレタン系接着剤を使用 （主剤）ウレタン系（武田薬品工業株式会社製、商品
名、タケネ−トＡ−５１５） （硬化剤）イソシアネ−ト系（武田薬品工業株式会社
製、商品名、Ａ−５０） （混合比）主剤：硬化剤＝１０：１ （溶剤）酢酸エチル （塗布量）４．０ｇ／ｍ² （ドライ）

【００２７】比較例１ （１）．厚さ１２μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタ
レ−トフィルムを使用し、これを二つの真空チャンバ−
を有するプラズマ化学蒸着装置（図５参照）の送り出し
ロ−ルに装着し、該２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−
トフィルムの上に、下記の条件で第１と第２の酸化珪素
の蒸着膜を２層を重層して製膜化して、透明バリア性フ
ィルムを製造した。 （プラズマ化学蒸着条件）反応ガス混合比：ヘキサメチ
ルジシロキサン：酸素ガス：ヘリウム＝０．５：１．
８：１．８（単位；ｓｌｍ） 真空チャンバ−内の真空度；２０μｂａｒ 真空チャンバ−数；２ 冷却・電極ドラムの電力；５ｋＷ フィルムの搬送速度；４０ｍ／ｍｉｎ 膜層：２層 各蒸着膜の膜厚：１６０Å（２層とも同じ厚さ） （２）．次に、上記で製造した透明バリア性フィルムを
使用し、これをドライラミネ−トコ−タ−機の一方の送
り出しロ−ルに装着し、その第２の酸化珪素の蒸着膜面
に接着剤層を形成し、他方、シ−ラントフィルムである
厚さ４０μｍの無延伸ポリプロピレンフィルムを使用
し、これを他方の送り出しロ−ルに装着し、しかる後そ
の両者を下記の条件でドライラミネ−トして、積層体を
製造した。 （接着剤層）；ウレタン系接着剤を使用 （主剤）ウレタン系（武田薬品工業株式会社製、商品
名、タケネ−トＡ−５１５） （硬化剤）イソシアネ−ト系（武田薬品工業株式会社
製、商品名、Ａ−５０） （混合比）主剤：硬化剤＝１０：１ （溶剤）酢酸エチル （塗布量）４．０ｇ／ｍ² （ドライ）

【００２８】比較例２ （１）．厚さ１２μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタ
レ−トフィルムを使用し、これを二つの真空チャンバ−
を有するプラズマ化学蒸着装置（図５参照）の送り出し
ロ−ルに装着し、該２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−
トフィルムの上に、下記の条件で第１と第２の酸化珪素
の蒸着膜を２層を重層して製膜化して、透明バリア性フ
ィルムを製造した。 （プラズマ化学蒸着条件）反応ガス混合比：ヘキサメチ
ルジシロキサン：酸素ガス：ヘリウム＝１．６：５．
０：５．０（単位；ｓｌｍ） 真空チャンバ−内の真空度；９０μｂａｒ 真空チャンバ−数：２ 冷却・電極ドラムの電力；１５ｋＷ フィルムの搬送速度；１６０ｍ／ｍｉｎ 膜層：２層 各蒸着膜の膜厚：２０Å（２層とも同じ厚さ） （２）．次に、上記で製造した透明バリア性フィルムを
使用し、これをドライラミネ−トコ−タ−機の一方の送
り出しロ−ルに装着し、その第２の酸化珪素の蒸着膜面
に接着剤層を形成し、他方、シ−ラントフィルムである
厚さ４０μｍの無延伸ポリプロピレンフィルムを使用
し、これを他方の送り出しロ−ルに装着し、しかる後そ
の両者を下記の条件でドライラミネ−トして、積層体を
製造した。 （接着剤層）；ウレタン系接着剤を使用 （主剤）ウレタン系（武田薬品工業株式会社製、商品
名、タケネ−トＡ−５１５） （硬化剤）イソシアネ−ト系（武田薬品工業株式会社
製、商品名、Ａ−５０） （混合比）主剤：硬化剤＝１０：１ （溶剤）酢酸エチル （塗布量）４．０ｇ／ｍ² （ドライ）

【００２９】比較例３ （１）．厚さ１２μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタ
レ−トフィルムを使用し、これを一つの真空チャンバ−
を有するプラズマ化学蒸着装置の送り出しロ−ルに装着
し、該２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルムの
上に、下記の条件で酸化珪素の蒸着膜、１層を製膜化し
て、透明バリア性フィルムを製造した。 （プラズマ化学蒸着条件）反応ガス混合比：ヘキサメチ
ルジシロキサン：酸素ガス：ヘリウム＝１．２：２．
８：３．３（単位；ｓｌｍ） 真空チャンバ−内の真空度；５５μｂａｒ 真空チャンバ−数：１ 冷却・電極ドラムの電力；１２ｋＷ フィルムの搬送速度；６０ｍ／ｍｉｎ 膜層：１層 各蒸着膜の膜厚：１４０Å（２層とも同じ厚さ） （２）．次に、上記で製造した透明バリア性フィルムを
使用し、これをドライラミネ−トコ−タ−機の一方の送
り出しロ−ルに装着し、その第２の酸化珪素の蒸着膜面
に接着剤層を形成し、他方、シ−ラントフィルムである
厚さ４０μｍの無延伸ポリプロピレンフィルムを使用
し、これを他方の送り出しロ−ルに装着し、しかる後そ
の両者を下記の条件でドライラミネ−トして、積層体を
製造した。 （接着剤層）；ウレタン系接着剤を使用 （主剤）ウレタン系（武田薬品工業株式会社製、商品
名、タケネ−トＡ−５１５） （硬化剤）イソシアネ−ト系（武田薬品工業株式会社
製、商品名、Ａ−５０） （混合比）主剤：硬化剤＝１０：１ （溶剤）酢酸エチル （塗布量）４．０ｇ／ｍ² （ドライ）

【００３０】実験例１ 上記の実施例１〜２、および、比較例１〜３で製造した
各透明バリア性フィルムおよび積層体について、下記の
デ−タを測定した。 （１）．酸素透過度の測定 これは、温度２３℃、湿度９０％ＲＨの条件で、米国、
モコン（ＭＯＣＯＮ）社製の測定機〔機種名、オクスト
ラン（ＯＸＴＲＡＮ）〕にて測定した。 （２）．水蒸気透過度の測定 これは、温度４０℃、湿度９０％ＲＨの条件で、米国、
モコン（ＭＯＣＯＮ）社製の測定機〔機種名、パ−マト
ラン（ＰＥＲＭＡＴＲＡＮ）〕にて測定した。 （３）．４％引っ張り後の酸素透過度と水蒸気透過度の
測定 これは、積層体について、エ−ジング後、１５ｍｍ巾の
ものをテンシロンで引っ張った後、上記と同様にして、
酸素透過度と水蒸気透過度を測定した。上記の測定結果
について、下記の表１に示す。

【００３１】

【表１】 酸素透過度および水蒸気透過度の測定 上記の表１において、酸素透過度は、ｃｃ／ｍ² ／ｄａ
ｙ・２３℃・９０％ＲＨの単位であり、また、水蒸気透
過度は、ｇ／ｍ² ／ｄａｙ・４０℃・１００％ＲＨの単
位である。

【００３２】上記の測定結果から明らかなように、実施
例１〜２のものは、透明バリア性フィルム、および、積
層体において、酸素ガスバリア性、水蒸気バリア性等に
おいて良好であり、比較例１〜３のそれよりもはるかに
優れていた。これに対し、比較例１〜３のものは、いず
れも劣っていた。

【００３３】

【発明の効果】以上の説明で明らかなように、本発明
は、基材フィルムの一方の面に、プラズマ化学蒸着法に
より、酸化ケイ素等の無機酸化物の蒸着膜を設けるに際
し、該無機酸化物の蒸着膜を２層ないしそれ以上に重層
して設けることに着目し、まず、基材フィルムの一方の
面に、プラズマ化学蒸着法による第１の無機酸化物の蒸
着膜を製膜化し、次いで、該第１の無機酸化物の蒸着膜
の上に、更に、上記と全く同様に、プラズマ化学蒸着法
による第２の無機酸化物の蒸着膜を製膜化し、以下、必
要ならば、プラズマ化学蒸着法による無機酸化物の蒸着
膜を３層ないしそれ以上に重層して透明バリア性フィル
ムを製造し、而して、該透明バリア性フィルムを構成す
る最後に製膜化した無機酸化物の蒸着膜面に、少なくと
も、ヒ−トシ−ル性樹脂のフィルムをラミネ−トして積
層体を製造し、該積層体を使用し、製袋して包装用容器
を製造し、該包装用容器内に内容物を充填包装して包装
製品を製造して、優れた透明性を有すると共に酸素ガ
ス、水蒸気等に対する高いガスバリア性を有し、例え
ば、飲食品、医薬品、化粧品、洗剤、その他等の種々の
物品を充填包装するにに適する包装用容器等を製造する
に有用な透明バリア性フィルムおよびそれを使用した積
層体を製造し得ることができるというものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明にかかる透明バリア性フィルムについて
その一例の層構成の概略を示す概略的断面図である。

【図２】本発明にかかる透明バリア性フィルムについて
その別の例の層構成の概略を示す概略的断面図である。

【図３】本発明にかかる透明バリア性フィルムについて
その作用効果の概要を示す概略的断面図である。

【図４】本発明にかかる透明バリア性フィルムを使用し
た積層体についてその一例の層構成の概略を示す概略的
断面図である。

【図５】本発明にかかる透明バリア性フィルムの製造法
についてそのプラズマ化学蒸着装置の概要を示す概略的
構成図である。

【符号の説明】

１ 透明バリア性フィルム １ａ 透明バリア性フィルム ２ 基材フィルム ３ａ 第１の酸化珪素等の無機酸化物野蒸着膜 ３ｂ 第１の酸化珪素等の無機酸化物野蒸着膜 ４ａ クラック ４ｂ クラック ５ ヒ−トシ−ル性樹脂層 １１ 積層体 ３１ プラズマ化学蒸着装置 ３２ 第１の真空チャンバ− ３３ 巻き出しロ−ル ３４ 補助ロ−ル ３５ 冷却・電極ドラム ３６ ガス供給装置 ３７ ガス供給装置 ３８ 原料揮発供給装置 ３９ 原料供給ノズル ４０ グロ−放電プラズマ ４１ 電源 ４２ マグネット ４３ 補助ロ−ル ４４ 補助ロ−ル ４５ 第２の真空チャンバ− ４６ 補助ロ−ル ４７ 補助ロ−ル ４８ 冷却・電極ドラム ４９ ガス供給装置 ５０ ガス供給装置 ５１ 原料揮発供給装置 ５２ 原料供給ノズル ５３ グロ−放電プラズマ ５４ 電源 ５６ マグネット ５７ 巻き取りロ−ル ５８ 真空ポンプ ５９ 真空ポンプ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 ＦＩ Ｂ６５Ｄ 81/24 Ｂ６５Ｄ 81/24 Ｄ Ｃ２３Ｃ 16/40 Ｃ２３Ｃ 16/40

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基材フィルムの一方の面に、プラズマ化
   学蒸着法による無機酸化物の蒸着膜を２層ないしそれ以
   上に重層してなることを特徴とする透明バリア性フィル
   ム。
2. 【請求項２】 基材フィルムが、２軸延伸ポリエチレン
   テレフタレ−トフィルム、または、２軸延伸ナイロンフ
   ィルムからなることを特徴とする上記の請求項１に記載
   する透明バリア性フィルム。
3. 【請求項３】 無機酸化物の蒸着膜が、酸化珪素の蒸着
   膜からなることを特徴とする上記の請求項１また２に記
   載する透明バリア性フィルム。
4. 【請求項４】 無機酸化物の蒸着膜が、酸化珪素化合物
   からなり、更に、炭素、水素、珪素、または、酸素の１
   種または２種以上の元素からなる化合物を少なくとも１
   種以上含有する連続蒸着膜からなることを特徴とする上
   記の請求項１、２または３に記載する透明バリア性フィ
   ルム。
5. 【請求項５】 無機酸化物の蒸着膜が、酸化珪素化合物
   からなり、更に、炭素、水素、珪素、または、酸素の１
   種または２種以上の元素からなる化合物を少なくとも１
   種以上含有し、かつ、該化合物が、その膜表面から深さ
   方向に向かって減少している連続蒸着膜からなることを
   特徴とする上記の請求項１、２、３または４に記載する
   透明バリア性フィルム。
6. 【請求項６】 基材フィルムの一方の面に、プラズマ化
   学蒸着法による無機酸化物の蒸着膜を２層ないしそれ以
   上に重層してなる透明バリア性フィルムの無機酸化物の
   蒸着膜面に、少なくとも、ヒ−トシ−ル性樹脂層を設け
   たことを特徴とする積層体。