JPH11322981A - 透明バリア性フィルム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 基材フィルムとして、２軸延伸ポリプロピレ
ンフィルムを使用するも、優れた透明性を有すると共に
酸素ガス、水蒸気等に対するガスバリア性に優れた透明
バリア性フィルムを提供するものである。 【解決手段】 ２軸延伸ポリプロピレンフィルムの一方
の面に、少なくとも、蒸着用モノマ−ガス、酸素ガス、
および、不活性ガスを含む蒸着用混合ガス組成物であ
り、更に、その蒸着用混合ガス組成物の組成において酸
素ガス量を７５％以上の範囲内で含有している蒸着用混
合ガス組成物を供給し、プラズマ化学蒸着法による無機
酸化物の蒸着薄膜を設けたことを特徴とする透明バリア
性フィルムに関するものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、透明バリア性フィ
ルムに関し、更に詳しくは、優れた透明性を有すると共
に酸素ガス、水蒸気等に対するガスバリア性に優れた透
明バリア性フィルムに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、酸素ガスバリア性、水蒸気バリア
性等に優れた包装用材料として、種々のものが開発さ
れ、提案されているが、それらの一つとして、近年、プ
ラスチックフィルム等の基材フィルムの一方の面に、物
理気相成長法、あるいは、化学気相成長法等を用いて、
例えば、酸化ケイ素、酸化アルミニウム等の無機酸化物
の蒸着膜を設けた蒸着フィルムが提案されている。この
ものは、酸素ガスバリア性、水蒸気バリア性等に優れ、
かつ、透明性を有し、更に、環境対応に適う包装用材料
として注目され、近年、他のプラスチックフィルム、あ
るいは、紙基材等の包装用材料と積層し、例えば、飲食
品、医薬品、化粧品、洗剤、その他等の種々の物品の充
填包装に適し、その需要の拡大が期待されているもので
ある。

【０００３】

【発明が解決しよとする課題】しかしながら、上記の蒸
着フィルムにおいては、確かに、酸素ガスバリア性、水
蒸気バリア性等は向上するが、このことは、プラスチッ
クフィルム等の全ての種類の基材フィルムに適合すると
いうものではないものである。例えば、プラスチックフ
ィルム等の基材フィルムとして、２軸延伸ポリプロピレ
ンフィルムを使用し、その一方の面に、物理気相成長法
を用いて、例えば、酸化ケイ素、酸化アルミニウム等の
無機酸化物の蒸着膜を設ける場合、該基材フィルムとし
ての２軸延伸ポリプロピレンフィルムは、耐熱性に劣る
ことから、蒸着時の加熱等の影響を受け、基材フィルム
としての２軸延伸ポリプロピレンフィルム自身が、劣化
あるいは収縮し、その上に望ましい蒸着膜を形成するこ
とは極めて困難になり、結果的に、酸素ガスバリア性等
を向上させることは期待し得ないものである。このた
め、基材フィルムとして、２軸延伸ポリプロピレンフィ
ルムを使用する場合には、比較的に低温で蒸着処理でき
るプラズマ化学蒸着法（ＣＶＤ法）を利用することによ
り、酸化ケイ素等の無機酸化物の蒸着膜を設けた蒸着フ
ィルムを製造することが提案され、これにより酸素ガス
バリア性等を向上させた蒸着フィルムを製造可能とする
ものである。しかしながら、上記のプラズマ化学蒸着法
（ＣＶＤ法）で製造した蒸着フィルムと言えども、しば
しば、黄変した蒸着フィルム等を製造し勝ちであり、そ
の原因は、２軸延伸ポリプロピレンフィルム自身が、プ
ラズマの作用により黄変化すること、あるいは、蒸着膜
の着色により黄変化すること等によるものであると推定
されるものである。一般に、２軸延伸ポリプロピレンフ
ィルム自身は、酸素ガスバリア性が非常に悪く（約１０
００ｃｃ／ｍ² ／ｄａｙ以上である）、そのために、２
軸延伸ポリプロピレンフィルムの上に、酸化ケイ素等の
無機酸化物の蒸着膜を設けた蒸着フィルムにおいては、
その酸素ガスバリア性等は、膜質状態の影響を敏感に受
け、例えば、蒸着膜に少しの欠陥があると、酸素ガスバ
リア性は、著しく低下し、十分な酸素ガスバリア性等を
期待し得ないものである。また、例えば、基材フィルム
として、２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィル
ム、あるいは、ナイロンフィルム等を使用し、酸化ケイ
素等の無機酸化物の蒸着膜を設けた蒸着フィルムを製造
する場合の最適の製造条件を、そのまま２軸延伸ポリプ
ロピレンフィルムに適用して、酸化ケイ素等の無機酸化
物の蒸着膜を設けた蒸着フィルムを製造したとしても、
前述のように、２軸延伸ポリプロピレンフィルム自身
が、酸素ガスバリア性に非常に劣ることから、蒸着薄膜
を形成後も十分な酸素ガスバリア性を有する蒸着フィル
ムを製造することは極めて困難である。このため、プラ
ズマ化学蒸着法（ＣＶＤ法）を用いて、２軸延伸ポリプ
ロピレンフィルムの一方の面に、酸化ケイ素等の無機酸
化物の蒸着膜を形成する場合、蒸着用混合ガス組成物中
の蒸着用モノマ−ガスの含有量を高めたり、あるいは、
冷却・電極ドラムに供給する電力のパワ−を高めたりし
て、蒸着膜を形成しているが、かかる場合には、蒸着膜
の膜厚が、厚くなり勝ちであり、その結果、耐屈曲性に
富む蒸着膜を形成することが困難であるという問題点が
ある。また、上記のように、冷却・電極ドラムに供給す
る電力のパワ−を高めたりして蒸着膜を形成すると、基
材フィルムとしての２軸延伸ポリプロピレンフィルム自
身が、蒸着時のプラズマ照射により、黄変ないし劣化等
の現象を示し、更に、２軸延伸ポリプロピレンフィルム
自身に相当の衝撃を与え、例えば、２軸延伸ポリプロピ
レンフィルム自身の層内において凝集破壊を生じ、その
部分で層間剥離を起こし、上記の蒸着フィルムを使用し
て包装用容器等を製造したとしても、酸素ガスバリア
性、水蒸気バリア性等に優れた極めて有用な包装用容器
等を製造することは困難であるという問題点がある。更
に、２軸延伸ポリプロピレンフィルムは、その表面が極
めて不活性であって、その表面濡れ性に劣り、比較的に
低温で処理できるプラズマ化学蒸着法（ＣＶＤ法）を利
用して、酸化ケイ素等の無機酸化物の蒸着膜を形成して
も、その蒸着膜との密着性が悪く、その結果、十分に満
足し得る酸素ガスバリア性等を得られないという問題点
もある。

【０００４】上記のような問題点を解決すべく、本発明
者は、先に、２軸延伸ポリプロピレンフィルムの一方の
面に、少なくとも、蒸着用モノマ−ガス、酸素ガス、お
よび、不活性ガスを含む蒸着用混合ガス組成物からな
り、更に、その蒸着用混合ガス組成物の組成において酸
素ガス量を７５％以上の範囲で含有させてなる蒸着用混
合ガス組成物を使用し、プラズマ化学蒸着法により酸化
ケイ素等の無機酸化物の蒸着連続薄膜を設けたことを特
徴とする透明バリア性フィルムを提案したものである。
本発明者は、更に、上記の本発明について種々研究した
結果、基材フィルムとして、２軸延伸ポリプロピレンフ
ィルムを使用し、該２軸延伸ポリプロピレンフィルムの
一方の面に、プラズマ化学蒸着法を利用して酸化ケイ素
等の無機酸化物の蒸着薄膜を形成するに際し、少なくと
も、蒸着用モノマ−ガス、酸素ガス、および、不活性ガ
スを含む蒸着用混合ガス組成物を、その蒸着用混合ガス
組成物の組成において酸素ガス量を７５％以上の範囲
内、また、蒸着用モノマ−ガスを５％以下の範囲内で含
有し、更に、酸素ガス／蒸着用モノマ−ガスの含有比を
１０以上に上げて、酸素ガスの含有量を高め、他方、蒸
着用モノマ−ガスの含有量を低めた構成からなる蒸着用
混合ガス組成物を使用し、これを供給して、プラズマ化
学蒸着を行って透明バリア性フィルムを製造したとこ
ろ、プラズマ照射時において２軸延伸ポリプロピレンフ
ィルムの衝撃を緩和し、その黄変、劣化等を防止し、更
に、薄膜であり、かつ、透明性に優れ、更に、屈曲性に
富み、また、酸素ガスバリア性、水蒸気バリア性等に優
れた酸化ケイ素等の無機酸化物の蒸着薄膜を形成するこ
とができ、他の樹脂のフィルム、あるいは、紙基材等の
包装用材料と積層し、例えば、飲食品、医薬品、化粧
品、洗剤、その他等の種々の物品の充填包装に適する包
装用容器等を製造するに有用な透明バリア性フィルムを
製造し得ることを見出して本発明を完成したものであ
る。

【０００５】すなわち、本発明は、２軸延伸ポリプロピ
レンフィルムの一方の面に、少なくとも、蒸着用モノマ
−ガス、酸素ガス、および、不活性ガスを含む蒸着用混
合ガス組成物であり、更に、その蒸着用混合ガス組成物
の組成において酸素ガス量を７５％以上の範囲内で含有
している蒸着用混合ガス組成物を供給し、プラズマ化学
蒸着法による無機酸化物の蒸着薄膜を設けたことを特徴
とする透明バリア性フィルムに関するものである。

【０００６】

【発明の実施の形態】上記の本発明について図面等を用
いて以下に更に詳しく説明する。まず、図１は、本発明
にかかる透明バリア性フィルムについてその一例の層構
成を示す概略的断面図である。本発明にかかる透明バリ
ア性フィルム１は、図１に示すように、２軸延伸ポリプ
ロピレンフィルム２の一方の面に、少なくとも、蒸着用
モノマ−ガス、酸素ガス、および、不活性ガスを含む蒸
着用混合ガス組成物であり、更に、その蒸着用混合ガス
組成物の組成において酸素ガス量を７５％以上の範囲内
で含有させてなる蒸着用混合ガス組成物を供給し、プラ
ズマ化学蒸着法による無機酸化物の蒸着薄膜３を設けた
ことを基本構成とするものである。更に具体的には、本
発明にかかる透明バリア性フィルム１ａは、図２に示す
ように、２軸延伸ポリプロピレンフィルム２の一方の面
に、少なくとも、蒸着用モノマ−ガス、酸素ガス、およ
び、不活性ガスを含む蒸着用混合ガス組成物を、その蒸
着用混合ガス組成物の組成において酸素ガス量を７５％
以上の範囲内、また、蒸着用モノマ−ガスを５％以下の
範囲内で含有させ、更に、酸素ガス／蒸着用モノマ−ガ
スの含有比を１０以上に上げて、酸素ガスの含有量を高
め、他方、蒸着用モノマ−ガスの含有量を低めた構成か
らなる蒸着用混合ガス組成物を使用し、プラズマ化学蒸
着法による無機酸化物の蒸着薄膜３ａを設けた構成から
なるものである。

【０００７】而して、上記のような本発明にかかる透明
バリア性フィルムについて、その製造法を具体的に説明
すると、本発明においては、２軸延伸ポリプロピレフィ
ルムの一方の面に、有機珪素化合物等の蒸着用モノマ−
ガスを原料とし、低温プラズマ発生装置等を利用するプ
ラズマ化学蒸着法（ＣＶＤ法）を用いて酸化ケイ素の蒸
着薄膜を形成する方法により製造することができる。上
記において、低温プラズマ発生装置としては、例えば、
高周波プラズマ、パルス波プラズマ、マイクロ波プラズ
マ等の発生装置を使用することがてき、而して、本発明
においては、高活性の安定したプラズマを得るために
は、高周波プラズマ方式による発生装置を使用すること
が望ましい。具体的に、本発明にかかる透明バリア性フ
ィルムの製造法についてその一例を例示して説明する
と、図３は、本発明にかかる透明バリア性フィルムの製
造法についてその概要を示すプラズマ化学蒸着装置の概
略的構成図である。上記の図３に示すように、本発明に
おいては、プラズマ化学蒸着装置１１の真空チャンバ−
１２内に配置された巻き出しロ−ル１３から２軸延伸ポ
リプロピレンフィルム２を繰り出し、更に、該２軸延伸
ポリプロピレンフィルム２を、補助ロ−ル１４を介して
所定の速度で冷却・電極ドラム１５周面上に搬送する。
而して、本発明においては、ガス供給装置１６、１７お
よび、原料揮発供給装置１８等から酸素ガス、不活性ガ
ス、有機珪素化合物等の蒸着用モノマ−ガス、その他等
を供給し、それらからなる蒸着用混合ガス組成物を調整
しなから原料供給ノズル１９を通して真空チャンバ−１
２内に該蒸着用混合ガス組成物を導入し、そして、上記
の冷却・電極ドラム１５周面上に搬送された２軸延伸ポ
リプロピレンフィルム２の上に、グロ−放電プラズマ２
０によってプラズマを発生させ、これを照射して、酸化
ケイ素等の無機酸化物の蒸着薄膜を形成し、製膜化す
る。本発明においては、その際に、冷却・電極ドラム１
５は、チャンバ−外に配置されている電源２１から所定
の電力が印加されており、また、冷却・電極ドラム１５
の近傍には、マグネット２２を配置してプラズマの発生
が促進されており、次いで、上記で酸化ケイ素等の無機
酸化物の蒸着薄膜を形成した２軸延伸ポリプロピレンフ
ィルム２は、補助ロ−ル２３を介して巻き取りロ−ル２
４に巻き取って、本発明にかかる透明バリア性フィルム
を製造することができるものである。なお、図中、２５
は、真空ポンプを表す。上記の例示した本発明にかかる
透明バリア性フィルムの構成およびその製造法は、その
一例を例示するものであり、これによって本発明は限定
されるものではないことは言うまでもないことである。

【０００８】本発明においては、２軸延伸ポリプロピレ
ンフィルムが、耐熱性に劣ることから、物理気相成長法
（ＰＶＤ法）で酸化ケイ素等の無機酸化物の蒸着薄膜を
形成すると、該２軸延伸ポリプロピレンフィルムが、熱
劣化あるいは熱収縮等の現象が生じ、十分に満足し得る
蒸着薄膜を形成することが困難であるので、低温で蒸着
薄膜の形成が可能なプラズマ化学蒸着法（ＣＶＤ法）を
利用して蒸着薄膜を形成するものである。而して、本発
明においては、上記のプラズマ化学蒸着法（ＣＶＤ法）
において、有機珪素化合物等の蒸着用モノマ−ガス、酸
素ガス、不活性ガス、その他等からなる蒸着用混合ガス
組成物を原料供給ノズルを通して真空チャンバ−内に導
入する際に、その蒸着用混合ガス組成物の組成におい
て、酸素ガスの含有量を上げ、他方、蒸着用モノマ−ガ
スの含有量を低くすることにより、更に、プラズマパワ
−の電流値を低くして、その電圧値を減少させ、マイル
ドな条件でプラズマ照射し、これにより、薄膜であり、
かつ、透明性を有し、更に、屈曲性に富み、また、酸素
ガスバリア性等に優れた蒸着薄膜を形成することがで
き、他方、水蒸気バリア性が、若干劣る蒸着薄膜を形成
することができるものである。ところで、２軸延伸ポリ
プロピレンフィルム自身は、水蒸気バリア性が、約５〜
６ｇ／ｍ² ／ｄａｙ位で極めて優れているものであり、
従って、蒸着薄膜によって 水蒸気バリア性が、若干劣
る場合でも、２軸延伸ポリプロピレンフィルム自身でそ
れを補うことができ、これにより、蒸着薄膜により酸素
ガスバリア性を向上させ、かつ、２軸延伸ポリプロピレ
ンフィルム自身が有する水蒸気バリア性により、酸素ガ
スバリア性、水蒸気バリア性等に優れている酸化ケイ素
等の無機酸化物の蒸着薄膜を有する２軸延伸ポリプロピ
レンフィルムからなる透明バリア性フィルムを製造可能
とするものである。

【０００９】また、本発明においては、上記のプラズマ
化学蒸着法（ＣＶＤ法）において、有機珪素化合物等の
蒸着用モノマ−ガス、酸素ガス、不活性ガス、その他等
からなる蒸着用混合ガス組成物を原料供給ノズルを通し
て真空チャンバ−内に導入する際に、その蒸着用混合ガ
ス組成物の組成において、酸素ガスの含有量を上げ、他
方、蒸着用モノマ−ガスの含有量を低くすると、形成さ
れる蒸着薄膜の極性部分の割合が増加し、その結果、基
材フィルムと蒸着薄膜、すなわち、２軸延伸ポリプロピ
レンフィルムと酸化ケイ素等の無機酸化物の蒸着薄膜と
の密着性が向上し、而して、そのように両者の密着性が
向上することにより、酸素ガスバリア性も向上するもの
である。更に、本発明において、上記のように酸素ガス
の含有量を上げ、他方、蒸着用モノマ−ガスの含有量を
低くしてプラズマ化学蒸着を行うと、酸化ケイ素等の無
機酸化物の蒸着薄膜の場合には、該酸化ケイ素の蒸着薄
膜が、式ＳｉＯ_X で表される酸化ケイ素の蒸着連続薄膜
からなり、更に、Ｘの値を増加させることができ、極め
て透明性に優れた蒸着薄膜を形成することができるもの
である。更にまた、本発明において、上記のように酸素
ガスの含有量を上げ、他方、蒸着用モノマ−ガスの含有
量を低くしてプラズマ化学蒸着を行う、蒸着膜を形成す
る際に、酸素プラズマガスが多くなることから、基材フ
ィルムとしての２軸延伸プラスチックフィルムの黄変が
抑制され、その結果、酸化ケイ素等の無機酸化物の蒸着
薄膜を有する２軸延伸ポリプロピレンフィルムからなる
透明バリア性フィルムの透明性を向上させることが可能
となるものである。

【００１０】上記の本発明において、プラズマ化学蒸着
を行う際に、少なくとも、蒸着用モノマ−ガス、酸素ガ
ス、および、不活性ガスを含む蒸着用混合ガス組成物に
おいて、酸素ガスの含有量としては、具体的には、該蒸
着用混合ガス組成物の組成において、約７５％以上の範
囲内で含有していることが好ましいものである。上記に
おいて、７５％未満であると、酸素ガスバリア性に優れ
た蒸着薄膜質を得ることが困難になり、更に、酸素ガス
量が減少すると、２軸延伸プラスチックフィルムを黄変
させる傾向にあり、特に、酸素ガス量が減少するにつれ
て、逆に、蒸着用モノマ−ガス、あるいは、不活性ガス
等の含有割合が増加することになり、これにより、２軸
延伸プラスチックフィルムの黄変等が著しく増加する傾
向にあることから好ましくないものである。ちなみに、
上記のような酸素ガスの含有量は、例えば、蒸着用基材
フィルムとして、２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−ト
フィルムまたは２軸延伸ナイロンフィルムを使用して、
プラズマ化学蒸着を行う最適条件の場合と比較すると、
約２倍量位に多く含有する量である。

【００１１】また、上記の本発明において、プラズマ化
学蒸着を行う際に、少なくとも、蒸着用モノマ−ガス、
酸素ガス、および、不活性ガスを含む蒸着用混合ガス組
成物において、蒸着用モノマ−ガスの含有量としては、
具体的には、該蒸着用混合ガス組成物の組成において、
約５％以下の範囲内で含有していることが好ましいもの
である。上記において、蒸着用モノマ−ガスの含有量が
５％を越えると、蒸着用混合ガス組成物において、蒸着
用モノマ−ガスの濃度が高くなり、形成される蒸着薄膜
の膜厚が高くなり、その屈曲性が低下することから好ま
しくないものである。

【００１２】なお、本発明において、蒸着用混合ガス組
成物としては、その組成として、少なくとも、蒸着用モ
ノマ−ガスを３〜５％の範囲、酸素ガスを７５〜９０％
の範囲、および、不活性ガスを８〜２０％の範囲で含有
し、更に、必要ならば、その他の成分を含有している蒸
着用混合ガス組成物を使用することができるものであ
る。上記において、蒸着用モノマ−ガスが、３％未満で
あると、優れたバリア性を有する充分な膜厚からなる蒸
着薄膜を得ることが困難になることから好ましくないも
のである。また、上記において、酸素ガスが、９０％を
越えると、優れたバリア性を有する蒸着薄膜を製膜化す
ることが困難になることから好ましくないものである。
なお、本発明において、不活性ガスが、８％未満である
と、プラズマが不安定になることから好ましくなく、ま
た、２０％を越えると、全プロセス中の反応ガスである
蒸着用モノマ−ガスおよび酸素ガスの割合が減少するの
で、充分な膜厚が得られなくなる傾向にあることから好
ましくないものである。上記の％の単位は、体積比に基
づくものである。

【００１３】更に、本発明において、上記の蒸着用混合
ガス組成物としては、酸素ガス／蒸着用モノマ−ガスの
含有比が１０以上ある蒸着用混合ガス組成物を使用する
ことが望ましいものである。而して、本発明において
は、酸素ガス／蒸着用モノマ−ガスの含有比が１０以上
〜３０以下位が好ましいものである。上記において、酸
素ガス／蒸着用モノマ−ガスの含有比が１０未満である
と、優れた酸素バリア性が得られにくくなることから好
ましくなく、また、酸素ガス／蒸着用モノマ−ガスの含
有比が３０を越えると、製膜時圧力が非常に高くなるた
めプラズマが不安定となり、また、ポンプ等を傷める原
因となることから好ましくないものである。

【００１４】次に、本発明において、上記のような蒸着
用混合ガス組成物を原料供給ノズルを通して真空チャン
バ−内に導入し、グロ−放電プラズマによって、酸化ケ
イ素等の無機酸化物の蒸着薄膜を、２軸延伸ポリプロピ
レンフィルムの上に形成し製膜化することが好ましいも
のであるが、その際に、冷却・電極ドラムに、チャンバ
−外に配置されている電源から、電流値１０ｋＷ未満の
範囲で電流を流し、温和な条件でプラズマ化学蒸着を行
い、無機酸化物の蒸着連続薄膜を有する透明バリア性フ
ィルムを製造することが望ましいものである。上記にお
いて、電流値が１０ｋＷを越えると、プラズマ化学蒸着
の条件が過酷になり、例えば、２軸延伸ポリプロピレン
フィルムが、その衝撃を受け、黄変あるいは劣化現象等
を起こし、その発生を抑制することが困難になり、ま
た、プラズマが不安定となり、ア−キング現象が非常に
起こり易くなるため、耐プラズマ性に劣る２軸延伸ポリ
プロピレンフィルムに多数の穴を生じやすくなり、更
に、酸素ガスバリア性等に優れた蒸着薄膜質を形成する
ことが困難になる傾向があることから好ましくないもの
である。

【００１５】次に、本発明において、本発明にかかる透
明バリア性フィルムを構成する２軸延伸ポリプロピレン
フィルムとしては、例えば、プロピレンの単独重合体、
または、該プロピレンとエチレン、プテン−１等のα−
オレフィン等の他のモノマ−との共重合体等からなるポ
リプロピレン系樹脂のフィルムないしシ−トであって、
テンタ−方式あるいはチュ−ブ方式等を使用して２軸延
伸してなるフィルムないしシ−トを使用することができ
る。而して、上記の２軸延伸ポリプロピレンフィルムと
しては、単層、あるいは、例えば、ポリエチレン系樹脂
等を使用し、その２層以上の共押し出し法等で製膜し、
ついで、２軸延伸してなるポリプロピレンフィルム等も
使用することができる。また、上記の２軸延伸ポリプロ
ピレンフィルムの厚さとしては、フィルムないしシ−ト
の製造時の安定性等から適宜に設定することが可能であ
るが、約１０〜１００μｍ位、好ましくは、１５〜５０
μｍ位が望ましい。なお、本発明において、上記の２軸
延伸ポリプロピレンフィルムは、その耐熱性および酸化
ケイ素の蒸着薄膜との密着性を高めるために、必要に応
じて、その表面に、予め、プライマ−コ−ト剤層等を設
けることもできる。また、上記の２軸延伸ポリプロピレ
ンフィルムは、その表面に、必要ならば、例えば、コロ
ナ処理、プラズマ処理、フレ−ム処理、その他等の表面
活性処理を任意に施すことができる。更に、本発明にお
いては、用途に応じて、例えば、帯電防止剤、紫外線吸
収剤、可塑剤、滑剤、充填剤、その他等の所望の添加剤
を、その透明性に影響しない範囲内で任意に添加し、そ
れらを含有する２軸延伸ポリプロピレンフィルム等も使
用することができる。

【００１６】次にまた、上記の本発明にかかる透明バリ
ア性フィルムを構成する酸化ケイ素等の無機酸化物の蒸
着薄膜を形成する有機珪素化合物等の蒸着用モノマ−ガ
スとしては、例えば、１．１．３．３−テトラメチルジ
シロキサン、ヘキサメチルジシロキサン、ビニルトリメ
チルシラン、メチルトリメチルシラン、ヘキサメチルジ
シラン、メチルシラン、ジメチルシラン、トリメチルシ
ラン、ジエチルシラン、プロピルシラン、フェニルシラ
ン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリメトキシシ
ラン、テトラメトキシシラン、テトラエトキシシラン、
フェニルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラ
ン、オクタメチルシクロテトラシロキサン、その他等を
使用することができる。本発明において、上記のような
有機珪素化合物の中でも、１．１．３．３−テトラメチ
ルジシロキサン、または、ヘキサメチルジシロキサンを
原料として使用することが、その取り扱い性、形成され
た蒸着膜の特性等から、特に、好ましい原料である。

【００１７】次に、本発明において、上記の本発明にか
かる透明バリア性フィルムを構成するプラズマ化学蒸着
法による酸化ケイ素の蒸着薄膜としては、後述すによう
に、式ＳｉＯ_X （ただし、Ｘは、０〜２の数を表す）で
表される酸化ケイ素を主体とする連続状の蒸着薄膜であ
り、更に、透明性、バリア性等の点から、式ＳｉＯ
_X（ただし、Ｘは、１．３〜１．９の数を表す。）で表
される酸化ケイ素の蒸着膜を主体とする薄膜であること
が好ましいものである。また、上記の酸化ケイ素の蒸着
薄膜は、珪素および酸素を構成元素とする珪素酸化物か
らなり、かつ、炭素、水素、珪素、または、酸素からな
る微量構成元素の１種ないし２種以上からなる化合物の
少なくとも１種以上を含有する酸化ケイ素の蒸着連続薄
膜からなるものである。更に、上記の酸化ケイ素の蒸着
薄膜は、炭素からなる化合物を含有する場合には、その
膜厚の深さ方向において炭素の含有量が減少しているこ
とを特徴とするものである。更にまた、上記の酸化ケイ
素の蒸着薄膜は、珪素原子の含有割合を１００としたと
きに、炭素原子の含有割合を８５以下とすることを特徴
とするものである。而して、本発明において、酸化ケイ
素の蒸着薄膜について、例えば、Ｘ線光電子分光装置
（Ｘｒａｙ Ｐｈｏｔｏｅｌｅｃｔｒｏｎ Ｓｐｅｃｔ
ｒｏｓｃｏｐｙ、ＸＰＳ）、二次イオン質量分析装置
（Ｓｅｃｏｎｄａｒｙ Ｉｏｎ Ｍａｓｓ Ｓｐｅｃｔ
ｒｏｓｃｏｐｙ、ＳＩＭＳ）等の表面分析装置を用い、
深さ方向にイオンエッチングする等して分析する方法を
利用して、酸化ケイ素の蒸着薄膜の元素分析を行うこと
より、上記のような物性を確認することができるもので
ある。なお、本発明において、酸化ケイ素の蒸着膜の膜
厚としては、膜厚４００Å以下であることが望ましく、
具体的には、その膜厚としては、５０〜４００Å位、よ
り好ましくは、１００〜３００Å位が望ましく、而し
て、上記において、３００Å、更には、４００Åより厚
くなると、その膜にクラック等が発生し易くなるので好
ましくなく、また、１００Å、更には、５０Å未満であ
ると、バリア性の効果を奏することが困難になることか
ら好ましくないものである。

【００１８】本発明にかかる透明バリア性フィルムは、
上記のように、２軸延伸ポリプロピレンフィルムの一方
の面に、プラズマ化学気相成長法による酸化ケイ素の蒸
着薄膜を設けて、透明性と基材との密着性に優れたハイ
バリア性を有する透明バリア性フィルムを製造可能とす
るものである。すなわち、本発明においては、２軸延伸
ポリプロピレンフィルムが、耐熱性に劣ることから、物
理気相成長法（ＰＶＤ法）で酸化ケイ素等の無機酸化物
の蒸着薄膜を形成すると、該２軸延伸ポリプロピレンフ
ィルムが、熱劣化あるいは熱収縮等の現象が生じ、十分
に満足し得る蒸着薄膜を形成することが困難であるの
で、低温で蒸着薄膜の形成が可能なプラズマ化学蒸着法
（ＣＶＤ法）を利用し、かつ、その蒸着に際し、酸素ガ
スの含有量を多くしてて蒸着薄膜を形成するものであ
る。本発明においては、２軸延伸ポリプロピレンフィル
ムの表面の黄変、あるいは、褐変、更には、化学的ない
し熱的な劣化等を防止し、更に、２軸延伸ポリプロピレ
ンフィルムの表面に対する酸化ケイ素の蒸着薄膜の密着
強度を向上させ、終極的には、バリア層としてのプラズ
マ化学気相成長法による酸化ケイ素の蒸着薄膜が有する
バリア性等の機能を損なうことなく、これにより、透明
性に優れ、更に、酸素ガスあるいは水蒸気等に対する極
めてハイバリア性を有する透明バリア性フィルムを製造
することができるものである。

【００１９】上記のようにして製造した本発明にかかる
透明バリア性フィルムは、例えば、樹脂のフィルム、紙
基材、金属素材、合成紙、セロハン、その他等の包装用
容器を構成する包装用素材等と任意に組み合わせて、例
えば、ラミネ−トして種々の複合フィルムを製造し、種
々の物品を充填包装するに適した包装材料を製造可能と
するものである。上記の樹脂のフィルムとしては、具体
的には、例えば、低密度ポリエチレン、中密度ポリエチ
レン、高密度ポリエチレン、線状低密度ポリエチレン、
ポリプロピレン、エチレン−プロピレン共重合体、エチ
レン−酢酸ビニル共重合体、アイオノマ−樹脂、エチレ
ン−アクリル酸エチル共重合体、エチレン−アクリル酸
またはメタクリル酸共重合体、酸変性ポリオレフィン系
樹脂、メチルペンテンポリマ−、ポリブテン系樹脂、ポ
リ塩化ビニル系樹脂、ポリ酢酸ビニル系樹脂、ポリ塩化
ビニリデン系樹脂、塩化ビニル−塩化ビニリデン共重合
体、ポリ（メタ）アクリル系樹脂、ポリアクリルニトリ
ル系樹脂、ポリスチレン系樹脂、アクリロニトリル−ス
チレン共重合体（ＡＳ系樹脂）、アクリロニトリル−ブ
タジェン−スチレン共重合体（ＡＢＳ系樹脂）、ポリエ
ステル系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリカ−ボネ−ト系
樹脂、ポリビニルアルコ−ル系樹脂、エチレン−酢酸ビ
ニル共重合体のケン化物、フッ素系樹脂、ジエン系樹
脂、ポリアセタ−ル系樹脂、ポリウレタン系樹脂、ニト
ロセルロ−ス、その他等の公知の樹脂のフィルムないし
シ−トから任意に選択して使用することができる。本発
明において、上記のフィルムないしシ−トは、未延伸、
一軸ないし二軸方向に延伸されたもの等のいずれのもの
でも使用することができる。また、その厚さは、任意で
あるが、数μｍから３００μｍ位の範囲から選択して使
用することができる。更に、本発明においては、フィル
ムないしシ−トとしては、押し出し成膜、インフレ−シ
ョン成膜、コ−ティング膜等のいずれの性状の膜でもよ
い。また、上記において、紙基材としては、例えば、強
サイズ性の晒または未晒の紙基材、あるいは純白ロ−ル
紙、クラフト紙、板紙、加工紙等の紙基材、その他等を
使用することができる。上記において、紙層を構成する
紙基材としては、坪量約８０〜６００ｇ／ｍ²位のも
の、好ましくは、坪量約１００〜４５０ｇ／ｍ² 位のも
のを使用することが望ましい。また、上記にといて、金
属素材としては、例えば、アルミニウム箔、あるいは、
アルミニウム蒸着膜を有する樹脂のフィルム等を使用す
ることができる。

【００２０】次に、上記の本発明において、上記のよう
な材料を使用して複合フィルムを製造する方法について
説明すると、かかる方法としては、通常の包装材料をラ
ミネ−トする方法、例えば、ウエットラミネ−ション
法、ドライラミネ−ション法、無溶剤型ドライラミネ−
ション法、押し出しラミネ−ション法、Ｔダイ押し出し
成形法、共押し出しラミネ−ション法、インフレ−ショ
ン法、共押し出しインフレ−ション法、その他等で行う
ことができる。而して、本発明においては、上記の積層
を行う際に、必要ならば、例えば、コロナ処理、オゾン
処理、フレ−ム処理、その他等の前処理をフィルムに施
すことができ、また、例えば、ポリエステル系、イソシ
アネ−ト系（ウレタン系）、ポリエチレンイミン系、ポ
リブタジェン系、有機チタン系等のアンカ−コ−ティン
グ剤、あるいはポリウレタン系、ポリアクリル系、ポリ
エステル系、エポキシ系、ポリ酢酸ビニル系、セルロ−
ス系、その他等のラミネ−ト用接着剤等の公知のアンカ
−コ−ト剤、接着剤等を使用することができる。

【００２１】次に、本発明において、上記のような複合
フィルムを使用して製袋ないし製函する方法について説
明すると、例えば、包装用容器がプラスチックフィルム
等からなる軟包装袋の場合、上記のような方法で製造し
た複合フィルムを使用し、その内層のヒ−トシ−ル性樹
脂層の面を対向させて、それを折り重ねるか、或いはそ
の二枚を重ね合わせ、更にその周辺端部をヒ−トシ−ル
してシ−ル部を設けて袋体を構成することができる。而
して、その製袋方法としては、上記の複合フィルムを、
その内層の面を対向させて折り曲げるか、あるいはその
二枚を重ね合わせ、更にその外周の周辺端部を、例え
ば、側面シ−ル型、二方シ−ル型、三方シ−ル型、四方
シ−ル型、封筒貼りシ−ル型、合掌貼りシ−ル型（ピロ
−シ−ル型）、ひだ付シ−ル型、平底シ−ル型、角底シ
−ル型、その他等のヒ−トシ−ル形態によりヒ−トシ−
ルして、本発明にかかる種々の形態の包装用容器を製造
することができる。その他、例えば、自立性包装袋（ス
タンディングパウチ）等も製造することが可能であり、
更に、本発明においては、上記の複合フィルムを使用し
てチュ−ブ容器等も製造することができる。上記におい
て、ヒ−トシ−ルの方法としては、例えば、バ−シ−
ル、回転ロ−ルシ−ル、ベルトシ−ル、インパルスシ−
ル、高周波シ−ル、超音波シ−ル等の公知の方法で行う
ことができる。なお、本発明においては、上記のような
包装用容器には、例えば、ワンピ−スタイプ、ツウ−ピ
−スタイプ、その他等の注出口、あるいは開閉用ジッパ
−等を任意に取り付けることができる。

【００２２】次にまた、包装用容器として、紙基材を含
む液体充填用紙容器の場合、例えば、積層材として、紙
基材を積層した複合フィルムを製造し、これから所望の
紙容器を製造するブランク板を製造し、しかる後該ブラ
ンク板を使用して胴部、底部、頭部等を製函して、例え
ば、ブリックタイプ、フラットタイプあるいはゲ−ベル
トップタイプの液体用紙容器等を製造することができ
る。また、その形状は、角形容器、丸形等の円筒状の紙
缶等のいずれのものでも製造することができる。

【００２３】本発明において、上記のようにして製造し
た包装用容器は、透明性、酸素、水蒸気等に対するガス
バリア性、耐衝撃性等に優れ、更に、ラミネ−ト加工、
印刷加工、製袋ないし製函加工等の後加工適性を有し、
また、バリア性膜としての蒸着薄膜の剥離を防止し、か
つ、その熱的クラックの発生を阻止し、その劣化を防止
して、バリア性膜として優れた耐性を発揮し、例えば、
飲食品、医薬品、洗剤、シャンプ−、オイル、歯磨き、
接着剤、粘着剤等の化学品ないし化粧品、その他等の種
々の物品の充填包装適性、保存適性等に優れているもの
である。

【００２４】

【実施例】上記の本発明について以下に実施例を挙げて
更に具体的に説明する。 実施例１ （１）．厚さ２０μｍの２軸延伸ポリプロピレンフィル
ム（二村化学工業株式会社製、商品名、ＦＯＫ）を使用
し、これをプラズマ化学気相成長装置の送り出しロ−ル
に装着し、下記の条件で厚さ１８４Åの酸化ケイ素の蒸
着薄膜を上記の２軸延伸ポリプロピレンフィルムの上に
形成して、本発明にかかる透明バリア性フィルムを製造
した。 反応ガス混合比：ヘキサメチルジシロキサン：酸素ガ
ス：ヘリウム＝０．５：１０：２（単位：ｓｌｍ） 真空チャンバ−内の真空度：５．０×１０^-6ｍｂａｒ 蒸着チャンバ−内の真空度：９．０×１０^-3ｍｂａｒ 冷却・電極ドラム供給電力：１０ｋＷ 蒸着面：コロナ処理面 （２）．次に、上記で製造した透明バリア性フィルムの
酸化ケイ素の蒸着薄膜の面を、下記の条件でプラズマ処
理した。 その結果、酸化ケイ素の蒸着薄膜表面の表面張力は、４
２ｄｙｎから７３ｄｙｎに向上した。 出力：３ｋｗ プラズマガス：ヘリウム（Ｈｅ）と酸素（Ｏ₂ ）との混
合ガス （３）．次に、上記でプラズマ処理した透明バリア性フ
ィルムを使用し、これをドライラミネ−トコ−タ−機の
一方の送り出しロ−ルに装着し、その酸化ケイ素の蒸着
薄膜面に接着剤層を形成し、他方、シ−ラントフィルム
である厚さ４０μｍの無延伸ポリプロピレンフィルムを
使用し、これを他方の送り出しロ−ルに装着し、しかる
後その両者を下記の条件でドライラミネ−トして、複合
フィルムを製造した。 接着剤層：ウレタン系接着剤を使用 （主剤）ウレタン系（武田薬品工業株式会社製、商品
名、タケネ−トＡ−５１５） （硬化剤）イソシアネ−ト系（武田薬品工業株式会社
製、商品名、Ａ−５０） （混合比）主剤：硬化剤＝１０：１ （溶剤）酢酸エチル （塗布量）４．０ｇ／ｍ² （ドライ）

【００２５】比較例１ （１）．厚さ２０μｍの２軸延伸ポリプロピレンフィル
ム（二村化学工業株式会社製、商品名、ＦＯＫ）を使用
し、これをプラズマ化学気相成長装置の送り出しロ−ル
に装着し、下記の条件で厚さ１６０Åの酸化ケイ素の蒸
着薄膜を上記の２軸延伸ポリプロピレンフィルムの上に
形成して、透明バリア性フィルムを製造した。 反応ガス混合比：ヘキサメチルジシロキサン：酸素ガ
ス：ヘリウム＝１：３：３（単位：ｓｌｍ） 真空チャンバ−内の真空度：５．０×１０^-6ｍｂａｒ 蒸着チャンバ−内の真空度：９．０×１０^-3ｍｂａｒ 冷却・電極ドラム供給電力：１０ｋＷ 蒸着面：コロナ処理面 （２）．次に、上記で製造した透明バリア性フィルムの
酸化ケイ素の蒸着薄膜の面を、下記の条件でプラズマ処
理した。その結果、酸化ケイ素の蒸着薄膜表面の表面張
力は、３２ｄｙｎから６４ｄｙｎに向上した。 出力：３ｋｗ プラズマガス：ヘリウム（Ｈｅ）と酸素（Ｏ₂ ）との混
合ガス （３）．次に、上記でコロナ処理した透明バリア性フィ
ルムを使用し、これをドライラミネ−トコ−タ−機の一
方の送り出しロ−ルに装着し、その酸化ケイ素の蒸着薄
膜面に接着剤層を形成し、他方、シ−ラントフィルムで
ある厚さ４０μｍの無延伸ポリプロピレンフィルムを使
用し、これを他方の送り出しロ−ルに装着し、しかる後
その両者を下記の条件でドライラミネ−トして、複合フ
ィルムを製造した。 接着剤層：ウレタン系接着剤を使用 （主剤）ウレタン系（武田薬品工業株式会社製、商品
名、タケネ−トＡ−５１５） （硬化剤）イソシアネ−ト系（武田薬品工業株式会社
製、商品名、Ａ−５０） （混合比）主剤：硬化剤＝１０：１ （溶剤）酢酸エチル （塗布量）４．０ｇ／ｍ² （ドライ）

【００２６】比較例２ （１）．厚さ２０μｍの２軸延伸ポリプロピレンフィル
ム（二村化学工業株式会社製、商品名、ＦＯＫ）を使用
し、これをプラズマ化学気相成長装置の送り出しロ−ル
に装着し、下記の条件で厚さ２５０Åの酸化ケイ素の蒸
着薄膜を上記の２軸延伸ポリプロピレンフィルムの上に
形成して、透明バリア性フィルムを製造した。 反応ガス混合比：ヘキサメチルジシロキサン：酸素ガ
ス：ヘリウム＝１：２０：２（単位：ｓｌｍ） 真空チャンバ−内の真空度：５．０×１０^-6ｍｂａｒ 蒸着チャンバ−内の真空度：９．５×１０^-3ｍｂａｒ 冷却・電極ドラム供給電力：１２ｋＷ 蒸着膜の厚さ：２５０Å（蛍光Ｘ線分析法） 蒸着面：コロナ処理面 （２）．次に、上記で製造した透明バリア性フィルムの
酸化ケイ素の蒸着薄膜の面を、下記の条件でプラズマ処
理した。その結果、酸化ケイ素の蒸着薄膜表面の表面張
力は、３３ｄｙｎから６２ｄｙｎに向上した。 出力：３ｋｗ プラズマガス：ヘリウム（Ｈｅ）と酸素（Ｏ₂ ）との混
合ガス （３）．次に、上記でプラズマ処理した透明バリア性フ
ィルムを使用し、これをドライラミネ−トコ−タ−機の
一方の送り出しロ−ルに装着し、その酸化ケイ素の蒸着
薄膜面に接着剤層を形成し、他方、シ−ラントフィルム
である厚さ４０μｍの無延伸ポリプロピレンフィルムを
使用し、これを他方の送り出しロ−ルに装着し、しかる
後その両者を下記の条件でドライラミネ−トして、複合
フィルムを製造した。 接着剤層：ウレタン系接着剤を使用 （主剤）ウレタン系（武田薬品工業株式会社製、商品
名、タケネ−トＡ−５１５） （硬化剤）イソシアネ−ト系（武田薬品工業株式会社
製、商品名、Ａ−５０） （混合比）主剤：硬化剤＝１０：１ （溶剤）酢酸エチル （塗布量）４．０ｇ／ｍ² （ドライ）

【００２７】実験例１ 上記の実施例１、および、比較例１〜２で製造した各透
明バリア性フィルムおよび複合フィルムについて、下記
のデ−タを測定した。 （１）．酸素透過度の測定 これは、温度２３℃、湿度９０％ＲＨの条件で、米国、
モコン（ＭＯＣＯＮ）社製の測定機〔機種名、オクスト
ラン（ＯＸＴＲＡＮ）〕にて測定した。 （２）．水蒸気透過度の測定 これは、温度４０℃、湿度９０％ＲＨの条件で、米国、
モコン（ＭＯＣＯＮ）社製の測定機〔機種名、パ−マト
ラン（ＰＥＲＭＡＴＲＡＮ）〕にて測定した。 （３）．色評価 これは、目視による着色観察、マクベス濃度計による測
定、および、スガ試験機株式会社製のカラ−コンピュ−
タ−による測定で評価した。 ・目視による着色観察は、透明バリア性フィルムを１０
枚重ねて目視により、直接観察した。 ・マクベス濃度計による測定は、透明バリア性フィルム
１枚について、波長が５００ｎｍの全光線透過率で測定
した。 ・カラ−コンピュ−タ−による測定は、透明バリア性フ
ィルム１０枚で測定した。 測定条件：（光源）Ｃ２度 （測定モ−ド）透過モ−ド （評価値）黄色度（Ｙｉ：値が大きい程黄色い） （４）．ラミネ−ト強度の測定 これは、複合フィルムについて、エ−ジング後、テンシ
ロンで測定した。 （５）．耐屈曲性の測定 これは、複合フィルムについて、ゲルボテスタ−で２５
回屈曲させ、しかる後酸素ガスバリア性を測定した。酸
素ガスバリア性の測定は、前述によって測定した。上記
のの測定結果について、下記の表１、表２、および、表
３に示す。

【００２８】

【表１】 酸素透過度および水蒸気透過度野測定 上記の表１において、酸素透過度は、ｃｃ／ｍ² ／ｄａ
ｙ・２３℃・９０％ＲＨの単位であり、また、水蒸気透
過度は、ｇ／ｍ² ／ｄａｙ・４０℃・１００％ＲＨの単
位である。

【００２９】

【表２】 色評価

【００３０】

【表３】 ラミネ−ト強度と耐屈曲性の測定 上記の表３において、ＯＰＰ凝集破壊とは、剥離界面
が、２軸延伸ポリプロピレンフィルムの層内破壊である
ことを意味するものである。また、酸素透過度の単位
は、前述と同じである。

【００３１】（１）．上記の測定結果から明らかなよう
に、実施例１のものは、酸素ガスバリア性および透明性
について、比較例１のそれよりもはるかに優れており、
約４倍程向上した。これは、酸素ガスと蒸着用モノマ−
ガス比を１０以上（酸素ガス量をプロセスガス中７５％
以上）にすることで酸素ガスバリア性に優れた膜質がで
きたためである（後述する表４参照）。また、２軸延伸
ポリプロピレンフィルムを黄変しない酸素ガス量が増え
たので、２軸延伸ポリプロピレンフィルムの黄変を抑制
できた。 （２）．次に、実施例１のものは、その透明性におい
て、比較例２のものよりも優れたいた。これは、プラズ
マ照射パワ−をさげたためであり、２軸延伸ポリプロピ
レンフィルムのプラズマによる黄変化を抑制できたこと
による。 （３）．また、実施例１のものは、そのラミネ−ト強度
において、比較例２のものよりも大幅に向上した。これ
は、プラズマ照射パワ−をさげたためであり、２軸延伸
ポリプロピレンフィルムのプラズマによる劣化を防止で
きたことによる。 （４）．次にまた、実施例１のものは、その耐屈曲性に
おいて、比較例１〜２のものよりも優れたいた。これ
は、蒸着用モノマ−ガス比をさげ、更に、プラズマ照射
パワ−をさげたためであり、これらにより、蒸着膜の薄
膜化を可能としたことによるものである。

【００３２】実験例２ 上記の実施例１、および、比較例１〜２で製造した各透
明バリア性フィルムについて、下記のデ−タを測定し
た。 （１）．含有炭素量の測定 これは、英国、ＶＧサイエンティフィック社製のＸ線光
電子分光分析測定機（機種名、ＸＰＳ）を使用し、蒸着
面の元素分析を行うことより測定した。 （２）．式ＳｉＯ_x で表される蒸着薄膜のＸの値の測定 これは、英国、ＶＧサイエンティフィック社製のＸ線光
電子分光分析測定機（機種名、ＸＰＳ）を使用し、蒸着
面の元素分析を行うことより測定した。 （３）．表面自由エネルギ−の測定 これは、は、協和界面科学株式会社製のぬれ試験機にて
測定した。上記の測定結果について、下記の表４に示
す。

【００３３】

【表４】 上記の表４において、表面自由エネルギ−の単位は、ｄ
ｙｎである。

【００３４】上記の表４より明らかなように、本発明に
かかる透明バリア性フィルムは、その酸化ケイ素の蒸着
薄膜において、含有炭素量が、Ｓｉ＝１００に対し、約
４０前後であり、かかることは、含有炭素量が少なく、
含有酸素量が多くなり、酸化ケイ素で薄膜を構成する確
率が高いことになり、その結果、酸素ガスバリア性に優
れているという利点を有するものである。また、本発明
にかかる透明バリア性フィルムは、その酸化ケイ素の蒸
着薄膜が、約４０ｄｙｎ前後の表面張力を有し、かつ、
その表面を構成する極性成分が、約８ｄｙｎ前後の表面
張力を有するものである。すなわち、本発明にかかる透
明バリア性フィルムは、形成される蒸着薄膜の極性部分
の割合が増加し、その結果、基材フィルムと蒸着薄膜、
すなわち、２軸延伸ポリプロピレンフィルムと酸化ケイ
素等の無機酸化物の蒸着薄膜との密着性が向上し、而し
て、そのように両者の密着性が向上することにより、酸
素ガスバリア性も向上するものである。また、本発明に
かかる透明バリア性フィルムは、式ＳｉＯ_x で表される
蒸着薄膜のＸの値等が増加し、その透明性を向上させる
ことができるものである。

【００３５】

【発明の効果】以上の説明で明らかなように、本発明
は、基材フィルムとして、２軸延伸ポリプロピレンフィ
ルムを使用し、該２軸延伸ポリプロピレンフィルムの一
方の面に、プラズマ化学蒸着法を利用して酸化ケイ素等
の無機酸化物の蒸着薄膜を形成するに際し、少なくと
も、蒸着用モノマ−ガス、酸素ガス、および、不活性ガ
スを含む蒸着用混合ガス組成物を、その蒸着用混合ガス
組成物の組成において酸素ガス量を７５％以上の範囲
内、また、蒸着用モノマ−ガスを５％以下の範囲内で含
有し、更に、酸素ガス／蒸着用モノマ−ガスの含有比を
１０以上に上げて、酸素ガスの含有量を高め、他方、蒸
着用モノマ−ガスの含有量を低めた構成からなる蒸着用
混合ガス組成物を使用し、これを供給して、プラズマ化
学蒸着を行って透明バリア性フィルムを製造して、プラ
ズマ照射時において２軸延伸ポリプロピレンフィルムの
衝撃を緩和し、その黄変、劣化等を防止し、更に、薄膜
であり、かつ、透明性に優れ、更に、屈曲性に富み、ま
た、酸素ガスバリア性、水蒸気バリア性等に優れた酸化
ケイ素等の無機酸化物の蒸着薄膜を形成することがで
き、他の樹脂のフィルム、あるいは、紙基材等の包装用
材料と積層し、例えば、飲食品、医薬品、化粧品、洗
剤、その他等の種々の物品の充填包装に適する包装用容
器等を製造するに有用な透明バリア性フィルムを製造し
得ることができるというものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明にかかる透明バリア性フィルムについて
その一例の層構成の概略を示す概略的断面図である。

【図２】本発明にかかる透明バリア性フィルムについて
その別の例の層構成の概略を示す概略的断面図である。

【図３】本発明にかかる透明バリア性フィルムの製造法
についてその概要を示すプラズマ化学蒸着装置の概略的
構成図である。

【符号の説明】

１ 透明バリア性フィルム １ａ 透明バリア性フィルム ２ ２軸延伸ポリプロピレンフィルム ３ 無機酸化物の蒸着薄膜 ３ａ 無機酸化物の蒸着薄膜 １１ プラズマ化学蒸着装置 １２ 真空チャンバ− １３ 巻き出しロ−ル １４ 補助ロ−ル １５ 冷却・電極ドラム １６ ガス供給装置 １７ ガス供給装置 １８ 原料揮発供給装置 １９ 原料供給ノズル ２０ グロ−放電プラズマ ２１ 電源 ２２ マグネット ２３ 補助ロ−ル ２４ 巻き取りロ−ル ２５ 真空ポンプ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 ＦＩ Ｂ６５Ｄ 65/18 Ｂ６５Ｄ 65/18 Ｃ２３Ｃ 16/40 Ｃ２３Ｃ 16/40 // Ｃ０８Ｊ 7/00 ３０６ Ｃ０８Ｊ 7/00 ３０６ Ｂ２９Ｋ 23:00 Ｂ２９Ｌ 7:00 Ｃ０８Ｌ 23:12

Claims (12)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ２軸延伸ポリプロピレンフィルムの一方
   の面に、少なくとも、蒸着用モノマ−ガス、酸素ガス、
   および、不活性ガスを含む蒸着用混合ガス組成物であ
   り、更に、その蒸着用混合ガス組成物の組成において酸
   素ガス量を７５％以上の範囲内で含有している蒸着用混
   合ガス組成物を供給し、プラズマ化学蒸着法による無機
   酸化物の蒸着薄膜を設けたことを特徴とする透明バリア
   性フィルム。
2. 【請求項２】 蒸着用混合ガス組成物が、蒸着用モノマ
   −ガスを５％以下のの範囲内で含有している蒸着用混合
   ガス組成物であることを特徴とする上記の請求項１に記
   載する透明バリア性フィルム。
3. 【請求項３】 蒸着用混合ガス組成物が、少なくとも、
   蒸着用モノマ−ガスを３〜５％の範囲、酸素ガスを７５
   〜９０％の範囲、および、不活性ガスを８〜２０％の範
   囲で含有している蒸着用混合ガス組成物であることを特
   徴とする上記の請求項１または２に記載する透明バリア
   性フィルム。
4. 【請求項４】 蒸着用混合ガス組成物が、酸素ガス／蒸
   着用モノマ−ガスの含有比が１０以上ある蒸着用混合ガ
   ス組成物であることを特徴とする上記の請求項１、２ま
   たは３に記載する透明バリア性フィルム。
5. 【請求項５】 無機酸化物の蒸着薄膜が、プラズマ化学
   蒸着法による酸化ケイ素の蒸着連続薄膜であることを特
   徴とする上記の請求項１、２、３または４に透明バリア
   性フィルム。
6. 【請求項６】 酸化ケイ素の蒸着連続薄膜が、冷却・電
   極ドラム供給電力、１０ｋＶ以下の範囲からなるプラズ
   マ発生条件でプラズマ照射してなるプラズマ化学蒸着法
   により形成した酸化ケイ素の蒸着連続薄膜からなること
   を特徴とする上記の請求項５に記載する透明バリア性フ
   ィルム。
7. 【請求項７】 酸化ケイ素の蒸着連続薄膜が、珪素およ
   び酸素を構成元素とする珪素酸化物からなり、更に、炭
   素、水素、珪素、または、酸素からなる微量構成元素の
   １種ないし２種以上からなる化合物の少なくとも１種以
   上を含有する酸化ケイ素の蒸着連続薄膜からなることを
   特徴とする上記の請求項５または６に記載する透明バリ
   ア性フィルム。
8. 【請求項８】 酸化ケイ素の蒸着連続薄膜が、炭素から
   なる化合物を含有する場合には、その膜厚の深さ方向に
   おいて炭素の含有量が減少していることを特徴とする上
   記の請求項５、６または７に記載する透明バリア性フィ
   ルム。
9. 【請求項９】 酸化ケイ素の蒸着連続薄膜が、珪素原子
   の含有割合を１００としたときに、炭素原子の含有割合
   を８５以下とすることを特徴とする上記の請求項５、
   ６、７または８に記載する透明バリア性フィルム。
10. 【請求項１０】 酸化ケイ素の蒸着連続薄膜が、４００
    Å以下の膜厚からなることを特徴とする上記の請求項
    ５、６、７、８または９に記載する透明バリア性フィル
    ム。
11. 【請求項１１】 酸化ケイ素の蒸着連続薄膜が、式Ｓｉ
    Ｏ_X で表される酸化ケイ素の蒸着連続薄膜からなり、更
    に、Ｘの値が、１．３以上１．９以下の範囲内であるこ
    とを特徴とする上記の請求項５、６、７、８、９または
    １０に記載する透明バリア性フィルム。
12. 【請求項１２】 酸化ケイ素の蒸着薄膜が、３０ｄｙｎ
    以上４５ｄｙｎ以下の表面張力を有し、かつ、その表面
    を構成する極性成分が、５ｄｙｎ以上１０ｄｙｎ未満の
    表面張力を有することを特徴とする上記の請求項５、
    ６、７、８、９、１０または１１に記載する透明バリア
    性フィルム。