JPH1135109A - 移載機 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 カセットストッカ内の収納効率を向上させる
移載機を得る。 【解決手段】 一方向に延在する通路３上を走行自在と
され、該通路３の少なくとも一方側に棚７が設けられ、
該棚７に荷６を移載する移載機において、前記通路３を
前記方向に往復移動自在な往復移動体９と、該往復移動
体９に上下方向に昇降自在に設けられ、前記荷を挟持お
よび挟持解除自在な挟持体１０とを備える。挟持体１０
を、前記通路３の一端側および他端側の双方に設ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、階間にお
いて被移載物を移載する際に用いて好適な移載機に関す
るものである。

【０００２】

【従来の技術】周知のように、半導体製造工場において
半導体ウェーハは、多数の処理工程を経て加工されてい
る。これらの処理工程では、それぞれ処理時間が異なる
ため、処理装置から処理装置へ直接搬送することは不可
能に近い。そこで、半導体ウェーハは、次工程への待機
中にウェーハカセットに複数枚収納された状態でカセッ
トストッカに一旦保管されている。

【０００３】一般に、この種のカセットストッカには、
ウェーハカセットを効率よく収納するために、複数の棚
と、これら複数の棚に上記ウェーハカセットを移載する
移載機が配設されている。

【０００４】図３ないし図５に従来の移載機の一例を示
す。図３において、符号１は、カセットストッカであ
る。カセットストッカ１の中央には一方向に延在するレ
ール３（通路）が敷設されている。レール３の一端側、
および他端側には、それぞれ側壁４，５が設けられてお
り、側壁４には、レール３に臨む搬送口（図示せず）が
形成されている。

【０００５】また、レール３の両側には、ウェーハカセ
ット６（荷）が移載される棚７が設けられている。棚７
は、図４に示すように、レール３の両側にそれぞれ、複
数段ずつ設けられている。一方、レール３上には、該レ
ール３に沿って走行自在な移載機８が配設されている。
移載機８は、ウェーハカセット６を棚７に、および棚７
からウェーハカセット６を移載するものであって、図５
に示すように、レール３上を往復移動自在に走行する平
面視矩形の昇降コラム９（往復移動体）と、該昇降コラ
ム９の側壁４側に設けられた挟持体１０とから構成され
るものである。

【０００６】挟持体１０は、昇降コラム９に沿って上下
方向に昇降自在に設けられた昇降部１１と、該昇降部１
１に第一軸線１２回りに揺動自在に取り付けられた揺動
アーム１３と、該揺動アーム１３に第二軸線１４回りに
揺動自在に取り付けられた挟持ハンド１５とから構成さ
れており、この挟持ハンド１５は、互いに離間、接近自
在な構成とされるものである。

【０００７】上記の構成の移載機においては、昇降コラ
ム９がレール３上を走行して、図示しない搬送装置によ
り搬送されたウェーハカセット６を受け取る。即ち、昇
降部１１が、昇降コラム９に沿って上下方向に移動し
て、所定高さに位置した後に、揺動アーム１３および挟
持ハンド１５が、それぞれ第一、第二軸線１２，１４回
りに揺動して、挟持ハンド１５をウェーハカセット６に
対向させる。そして、挟持ハンド１５が互いに接近して
ウェーハカセット６を挟持することにより、該ウェーハ
カセット６を受け取ることができる。

【０００８】そして、昇降コラム９が側壁５側へ走行し
て所定位置で停止した後に、昇降部１１が昇降コラム９
に沿って移動して所定高さに位置する。この後、上記同
様、揺動アーム１３および挟持ハンド１５が揺動して、
図３に示すように、挟持ハンド１５に挟持されたウェー
ハカセット６を棚７の所定位置に搬送する。

【０００９】そして、挟持ハンド１５が互いに離間して
ウェーハカセット６に対する挟持を解除することによ
り、ウェーハカセット６は、棚７上に載置される。一
方、移載機８によりウェーハカセット６を取り出す際に
は、上記棚７上に載置する手順と逆の動作で行われる。
また、棚７から別の高さの棚７へも上記と同様の動作に
より、ウェーハカセット６を移載することができる。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たような従来の移載機には、以下のような問題が存在す
る。揺動アーム１３および挟持ハンド１５は、それぞれ
第一、第二軸線１２，１４回りに揺動自在とされている
が、昇降コラム９の側壁４側にのみ設けられているだけ
なので、挟持ハンド１５がウェーハカセット６を移載で
きる範囲が限定されてしまい、例えば、側壁４の逆側、
即ち側壁５側へウェーハカセット６を移載することがで
きない。

【００１１】そのため、元々限られた収納スペースしか
持たないカセットストッカ１内には、図３に示すよう
に、棚７上にウェーハカセット６を載置することのでき
ないデッドスペース１６が生じてしまい、収納効率が低
下していた。本発明は、以上のような点を考慮してなさ
れたもので、カセットストッカ内の収納効率を向上させ
る移載機を提供することを目的とする。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに本発明は、以下の構成を採用している。請求項１記
載の移載機は、一方向に延在する通路上を走行自在とさ
れ、該通路の少なくとも一方側に棚が設けられ、該棚に
荷を移載する移載機において、前記通路を前記方向に往
復移動自在な往復移動体と、該往復移動体に上下方向に
昇降自在に設けられ、前記荷を挟持および挟持解除自在
な挟持体とを備え、該挟持体が、前記通路の一端側およ
び他端側の双方に設けられていることを特徴とする。

【００１３】従って、本発明の移載機によれば、往復移
動体が通路上を走行すると共に、挟持体が上下方向に昇
降して棚に荷を移載できる。そして、この挟持体によ
り、往復移動体に対して通路の一端側および他端側の荷
を移載できる。

【００１４】請求項２記載の移載機は、請求項１記載の
移載機において、前記挟持体は、前記往復移動体に上下
方向に昇降自在に設けられた昇降部と、該昇降部に第一
軸線回りに揺動自在に取り付けられた揺動アームと、該
揺動アームに第二軸線回りに揺動自在に取り付けられ、
互いに離間、接近自在な挟持ハンドとを備えてなること
を特徴とする。

【００１５】従って、本発明の移載機によれば、昇降部
が往復移動体に対して昇降可能であると共に、揺動アー
ムが昇降部に対して第一軸線回りに揺動可能である。ま
た、揺動アームに対しては、挟持ハンドが第二軸線回り
に揺動可能であると共に荷を挟持および挟持解除可能で
ある。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下、本発明の移載機の実施の形
態を、図１および図２を参照して説明する。これらの図
において、従来例として示した図３ないし図５と同一の
構成要素には同一符号を付し、その説明を省略する。図
１に示すように、カセットストッカ１の中央には、一方
向に延在するレール３が敷設されており、レール３の一
端側には側壁４が、他端側には側壁５が設けられてい
る。

【００１７】レール３の両側には、ウェーハカセット６
が移載される棚７が、それぞれ複数設けられており、レ
ール３上には、該レール３に沿って走行自在な移載機８
が配設されている。図２に示すように、移載機８は、レ
ール３上を往復移動自在に走行する昇降コラム９と、該
昇降コラム９に対してレール３の一端側および他端側の
双方に設けられた挟持体１０とから構成されている。

【００１８】挟持体１０は、昇降コラム９に沿って上下
方向に昇降自在に設けられた昇降部１１と、該昇降部１
１に第一軸線１２回りに揺動自在に取り付けられた揺動
アーム１３と、該揺動アーム１３に第二軸線１４回りに
揺動自在に取り付けられた挟持ハンド１５とから構成さ
れており、この挟持ハンド１５は、互いに離間、接近自
在な構成とされるものである。

【００１９】上記の構成の移載機においては、まず、レ
ール３の一端側、即ち、側壁４側に位置する挟持体１０
により、上記従来例と同様の動作でウェーハカセット６
を棚７上に移載することができる。そして、この後、昇
降コラム９が側壁４側に走行する。次に、レール３の他
端側、即ち、側壁５側に位置する挟持体１０が、この棚
７上に載置されたウェーハカセット６を挟持する。

【００２０】即ち、側壁５側の昇降部１１が昇降コラム
９に沿って上下方向に移動して、ウェーハカセット６が
載置された棚７の高さに位置した後に、揺動アーム１３
および挟持ハンド１５が、それぞれ第一、第二軸線１
２，１４回りに揺動して挟持ハンド１５をウェーハカセ
ット６に対向させる。そして、挟持ハンド１５が互いに
接近して棚７上のウェーハカセット６を挟持する。

【００２１】この状態で、挟持ハンド１５は、一旦、第
二軸線１４回りに揺動して、ウェーハカセット６がレー
ル３上に位置するように、即ち、ウェーハカセット６を
挟持しながら昇降コラム９がレール３上を走行しても棚
７上の他のウェーハカセット６に接触しない位置になる
ように移動する。そして、昇降コラム９が側壁５側へ走
行した後に、所定位置で停止する。

【００２２】この状態で、昇降部１１が空いている所定
の棚７の高さまで移動した後に、挟持ハンド１５が再
び、第二軸線１４回りに揺動して挟持しているウェーハ
カセット６を棚７上に載置して、互いに離間してウェー
ハカセット６に対する挟持を解除して棚７から別の棚７
への移載が完了する。

【００２３】本実施の形態の移載機によれば、レール３
の一端側の挟持体１０がウェーハカセット６を移載でき
ない棚７上の位置へも、レール３の他端側の挟持体１０
が該ウェーハカセット６を挟持して移載することができ
る。そのため、今までデッドスペースであった棚７上の
スペースにもウェーハカセットを載置することができ
る。

【００２４】なお、上記実施の形態において、棚７がレ
ール３の両側に設けられる構成としたが、これに限られ
ることなく、例えばレール３の一方側にのみ設けられる
構成であってもよい。また、移載機８がレール３上を走
行する構成としたが、レール３を設けず、移載機８が床
面を走行するタイヤを有するような構成でもよい。

【００２５】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１に係る移
載機によれば、通路上を一方向に走行自在とされる往復
移動体と、該往復移動体に上下方向に昇降自在に設けら
れ、荷を挟持および挟持解除自在な挟持体とを備え、こ
の挟持体が通路の一端側および他端側の双方に設けられ
る構成となっている。これにより、今までデッドスペー
スであった棚上のスペースにも荷を載置することがで
き、収納効率が向上するという優れた効果を奏するもの
である。

【００２６】請求項２に係る移載機によれば、挟持体が
往復移動体に昇降自在に設けられた昇降部と、昇降部に
第一軸線回りに揺動自在に取り付けられた揺動アーム
と、揺動アームに第二軸線回りに揺動自在に取り付けら
れ、互いに離間、接近自在な挟持ハンドとを備える構成
となっている。これにより、昇降部が往復移動体に対し
て移動し、揺動アームおよび挟持ハンドが、それぞれ第
一、第二軸線回りに揺動した後に、挟持ハンドが互いに
離間、接近して荷を挟持および挟持解除可能になり、荷
を移載できるという優れた効果を奏するものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の実施の形態を示す図であって、昇降
コラムに対してレールの一端側、他端側双方に挟持体が
設けられた平面図である。

【図２】 本発明の実施の形態を示す図であって、昇降
コラムに対してレールの一端側、他端側双方に挟持体が
設けられた正面図である。

【図３】 従来技術の移載機の一例を示す平面図であ
る。

【図４】 従来技術の移載機の一例を示す断面図であ
る。

【図５】 従来技術の移載機の一例を示す正面図であ
る。

【符号の説明】

３ レール（通路） ６ ウェーハカセット（荷） ７ 棚 ８ 移載機 ９ 昇降コラム（往復移動体） １０ 挟持体 １１ 昇降部 １２ 第一軸線 １３ 揺動アーム １４ 第二軸線 １５ 挟持ハンド

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 一方向に延在する通路上を走行自在とさ
   れ、 該通路の少なくとも一方側に棚が設けられ、該棚に荷を
   移載する移載機において、 前記通路を前記方向に往復移動自在な往復移動体と、 該往復移動体に上下方向に昇降自在に設けられ、前記荷
   を挟持および挟持解除自在な挟持体とを備え、 該挟持体が、前記通路の一端側および他端側の双方に設
   けられていることを特徴とする移載機。
2. 【請求項２】 請求項１記載の移載機において、 前記挟持体は、前記往復移動体に上下方向に昇降自在に
   設けられた昇降部と、 該昇降部に第一軸線回りに揺動自在に取り付けられた揺
   動アームと、 該揺動アームに第二軸線回りに揺動自在に取り付けら
   れ、互いに離間、接近自在な挟持ハンドとを備えてなる
   ことを特徴とする移載機。