JPH11351959A

JPH11351959A - 窓材付きキャン及び固定方法並びに温度センサ

Info

Publication number: JPH11351959A
Application number: JP10164636A
Authority: JP
Inventors: Mikifumi Danno; 幹史團野; Akira Sasaki; 昌佐々木; Masakazu Shiiki; 正和椎木
Original assignee: Omron Corp; Omron Tateisi Electronics Co
Current assignee: Omron Corp
Priority date: 1998-06-12
Filing date: 1998-06-12
Publication date: 1999-12-24

Abstract

(57)【要約】【課題】窓孔を通過する光の有効径を減少することな
く、窓材の位置決めを容易に行える温度センサを提供す
ること【解決手段】金属ステム１０に搭載した赤外線検出素
子１１を覆うようにしてキャン１３を取り付ける。この
キャンの天面１３ｂには窓孔１３ｃを有し、この窓孔を
塞ぐように天面に赤外線透過フィルタ１８を取り付け
る。このとき、窓材の周縁に無端状の金属薄膜２０が蒸
着され、その金属薄膜と天面の間に介在する半田１９に
よって金属薄膜と天面を半田付けし、気密性を持ちつつ
一体化する。半田が液化した際に生じる表面張力によ
り、フィルタは中心位置に移動し、自動的に位置合わせ
が行われる。また、半田は金属薄膜形成位置にのみ存在
するので、窓孔内にはみ出てこない。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、窓材付きキャン及
び固定方法並びに温度センサに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】非接触型の温度センサの一種として、物
体から放出される赤外線を検出する赤外線センサがあ
る。よく知られているように、物体は絶対温度に依存し
て赤外線を放射している。従って、検出した赤外線から
温度を測定できる。

【０００３】赤外線センサも各種の構造があるが、一例
としては、物体から放出される赤外線を受けて熱を発生
し、その熱を電気信号に変換して温度を測定する素子と
して熱電対を使ったサーモパイル素子を用いたものがあ
る。そして、このサーモパイル素子を用いた赤外線セン
サの具体的な構造としては、図１に示すようなものがあ
る。

【０００４】まず、サーモパイル素子１を金属ステム２
上にダイボンドにより固定し、そのサーモパイル素子１
の電極と金属ステム２に設けたリードピン３をワイヤボ
ンデイングなどにより電気的に接合する。そして、この
サーモパイル素子１を覆うようにして金属ステム２の上
面にキャン４を装着する。このキャン４には、その天面
４ａに赤外線を通す窓孔４ｂが形成され、その内側から
窓孔４ｂの形成領域にＳｉ等でできた赤外線透過フィル
タ５が接着されている。

【０００５】これにより、赤外線のみが窓孔４ｂ（赤外
線透過フィルタ５）を通過してキャン４の内部に進入
し、サーモパイル素子１に到達するので、サーモパイル
素子１は、受光した赤外線により発熱するとともに、そ
の熱を電気信号に変換して出力する。よって、この電気
信号に基づいて温度を求めることになる。

【０００６】そして、キャン４と赤外線透過フィルタ５
を接着するためには、通常図２に示すような工程を経て
行う。すなわち、まずキャン４の天面４ａの内側周縁に
エポキシ接着剤等の樹脂製接着剤６を塗布する（同図
（Ａ））。次いで、赤外線透過フィルタ５をキャン４の
内側から挿入するとともに、天面４ａに加圧状態で接触
させる。これにより、同図（Ｃ）に示すように樹脂製接
着剤６を介して赤外線透過フィルタ５をキャン４に固定
するようになっている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た従来のセンサにおけるキャンと赤外線透過フィルタの
接続構造では、以下に示す問題があった。

【０００８】すなわち、樹脂製接着剤は液が垂れる。し
かも、確実に接着をするためにはある程度十分に接着剤
を塗布する必要があり、そうすると、赤外線透過フィル
タ５を押し付けた際に樹脂製接着剤６が押しつぶされて
広がろうとする。このとき、外側に広がろうとするとキ
ャン４の内壁面に当たるので、フリーな内側に向けては
み出してくる。そうすると、図２（Ｃ）に示すように、
窓孔４ｂの内径Ｒ１よりも樹脂製接着剤６の内径Ｒ２の
ほうが小さくなってしまい、赤外線を透過するための有
効径が小さくなる。つまり、窓孔４ｂの内周縁近傍を通
過した赤外線は、はみ出した樹脂製接着剤６に当たり、
それ以上の進行を阻止され、絞り込まれることになる。
よって、受光量が少なくなり、測定感度の低下を招く。

【０００９】また、赤外線透過フィルタ５を天面４ａに
押し付けた際に赤外線透過フィルタ５が横に移動した
り、樹脂製接着剤６の厚みの関係から必ずしも天面４ａ
と平行でなくなるおそれがある。つまり、位置ずれを生
じ易く、歩留まりが悪い。また、横ずれに対しては、赤
外線透過フィルタ５の外径を窓孔４ｂの内径に比べて十
分に大きくすれば（例えば、キャン４の天面４ａの内径
とほぼ等しくする）対応できるものの、天面４ａと接触
する部分は、本来のフィルタ機能としては無駄な部分で
あるので、材料費がかさみ、１枚の基板からとれるフィ
ルタの個数も少なくなるのでコスト高を招く原因とな
る。さらに、そのように大きくしたとしても、天面４ａ
と平行にならずに傾いて接着されるという問題は解決さ
れない。

【００１０】さらに、樹脂製接着剤６は気密性が良くな
く、特に透湿性が問題であるので、センサ不良の原因に
なる。さらにまた、樹脂製接着剤６が硬化するまでに時
間がかかる（およそ１時間程度）ので、生産性が悪いば
かりでなく、その接着剤が硬化するまでの間に赤外線透
過フィルタ５が位置ずれを生じるおそれもある。さらに
は、接着剤を塗布する装置のノズル径と、糊代がほぼ等
しいので、塗布すること自体が困難となる。

【００１１】また、特開平５−２８８６０３号公報に
は、焦電素子を内蔵するセンサのキャンに設けた窓孔
に、銀ロウ半田を使用して窓材を接着するという技術が
開示されている。しかし、この公報では、詳細な構成は
開示されておらず、また、還元雰囲気下で接着してお
り、処理が煩雑となる。

【００１２】本発明は、上記した背景に鑑みてなされた
もので、その目的とするところは、上記した問題を解決
し、通常の雰囲気で簡単に行うことができ、しかも、窓
孔を通過する光の有効領域を減少することなく、窓材の
位置決めを容易に行え、窓材の使用量（外形寸法）を小
さくすることができる窓材付きキャン及び固定方法並び
に温度センサを提供することにある。また、温度センサ
にあっては、センササイズを小さくすることも別の目的
とする。

【００１３】

【課題を解決するための手段】上記した目的を達成する
ために、本発明に係る窓材付きキャンでは、天面に窓孔
を有するキャップ状のキャンと、前記窓孔を塞ぐように
前記天面に取り付けられた光透過可能な窓材とを備えた
窓材付きキャンであって、前記窓材の周縁に無端状の金
属薄膜が蒸着され、その金属薄膜と前記天面と間に介在
するろう材によって前記金属薄膜と前記天面をろう接し
て一体化するように構成した（請求項１）。

【００１４】そして、好ましくは、前記金属薄膜の内周
縁の寸法形状を、前記窓孔の内周縁の寸法形状と一致或
いは大きくすることである（請求項２）。

【００１５】また、本発明に係る固定方法では、天面に
窓孔を有するキャップ状のキャンの前記天面に光透過可
能な窓材を固定する固定方法であって、前記窓材の全周
縁に金属薄膜を蒸着する。次いで、前記天面と前記金属
薄膜との間にワッシャ型の半田を配置する。そして、前
記半田を加熱し次いで冷却して前記天面と前記金属薄膜
とを接着させることにより前記窓材を前記キャンに固定
するようにした（請求項３）。

【００１６】さらに本発明に係る温度センサでは、赤外
線検出素子を積載したステムと、前記赤外線検出素子を
覆うようにして前記ステムに取り付けられた請求項１ま
たは２に記載の窓材付きキャンとを備える。そして、前
記窓材は赤外線透過フィルタであり、その赤外線透過フ
ィルタを透過した赤外線を前記赤外線検出素子で検出す
るように構成した（請求項４）。

【００１７】そして好ましくは、前記金属ステムは、前
記赤外線透過フィルタの実装面となる肉厚のベースと、
そのベースの周縁より外側に突出する肉薄のフランジ部
とを有し、前記ベースの外周側面に位置決め用の平面
（実施の形態では「位置合わせ面１０Ｃ」に対応する）
を設けるように構成することである（請求項５）。

【００１８】光透過可能な窓材の周縁に金属薄膜を成膜
したため、ろう材は窓材と接着せずに金属薄膜とキャン
とをろう接する。ろう材は、気密性が高く、透湿性も低
いので、気密信頼性が高くなる。また、加熱時にろう材
が液化するが、このとき生じるろう材の表面張力によ
り、窓材の位置補正が自動的に行われる。よって、窓孔
に対してさほど大きな寸法形状のものを用いなくても窓
孔と窓材の間に隙間が生じることがない。

【００１９】また、金属薄膜とキャンとをろう接するた
め、通常雰囲気下での作業が可能となり、しかも、ろう
材を置けばよいので、従来の樹脂接着剤の塗布に比べる
と簡単な作業となるので、作業性が向上する。しかも、
樹脂接着剤の硬化時間（約１時間）よりも十分に短い時
間（約１０分）でろう接が完了するので、作業効率が向
上する。さらに、請求項３のようにろう材としてワッシ
ャ半田を使用すると、さらに作業性が向上する。

【００２０】しかも、本発明ではろう材の介在位置が金
属薄膜の形成領域と一致するので、不必要にろう材が窓
孔側にはみ出てくるおそれがない。よって設計値通りの
有効領域が確保できる。そして、請求項２のように構成
すると、キャンを通過可能な光の領域は、窓孔の開口面
積と等しくなるので、透過可能な光量を大きくできる。＊用語の定義「キャン」は、受光素子や発光素子その他の部品をパッ
ケージする際に、係る受光素子等を覆うための容器であ
る。そして、本発明では、特に天面に光が通過するため
の窓孔を設けたものである。

【００２１】「窓材」は、キャンにあけられた窓孔を塞
ぐ材料である。例えば、赤外線検知式の非接触型温度セ
ンサの場合、キャンには赤外線を通す窓孔があけられ、
その窓孔を塞ぐ材料として、赤外線を透過する材料のフ
ィルタやレンズが用いられる。なお、窓材は、例示した
ように透過しようとする光に対して何らかの作用・影響
を与えるものに限ることはなく、光学的に透明で、気密
性を保持するために設けられるガラス板などでもよい。

【００２２】「ろう材」は、ろう接する際に用いられる
材料で「ろう（硬ろう）」と「半田（軟ろう）」があ
る。実際には、加熱温度を考えると、半田が主として用
いられる。

【００２３】「天面」は、キャンのステムへの取り付け
側と反対側の面を言い、光が通過するための窓孔を形成
した側が本発明で言う天面となる。つまり、実際の使用
状況の向きにより下側等に位置していても、上記の条件
を満たせば本発明で言う天面に該当する。

【００２４】

【発明の実施の形態】図３は、本発明の第１の実施の形
態を示している。非接触型の温度センサは、金属ステム
１０の上面に赤外線検出素子１１を固定するとともに、
その赤外線検出素子１１を覆うようにして金属ステム１
０の上面に下端開放した筒状の金属製のキャン１３を装
着している。

【００２５】赤外線検出素子１１として、サーモパイル
素子を用いている。このサーモパイル素子は、物体から
放出される赤外線を受けて熱を発生し、その熱を電気信
号に変換して温度を測定する素子で、半導体基板表面に
絶縁薄膜を形成し、絶縁薄膜上に異種金属或いは半導体
を接触させて配設した熱電対を形成し、接触部が存在す
る絶縁膜の中央部領域下の半導体基板層を除去した構造
となっている。このサーモパイル素子は、赤外線が入射
して接触部が加熱されるとゼーベック効果により異種金
属または半導体間に起電力が生じ、その起電力によって
温度を測定するようになっている。

【００２６】そして、この赤外線検出素子１１をダイボ
ンドにより金属ステム１０の上面中央位置に固定してい
る。一方、金属ステム１０には、９０度間隔にリードピ
ン１６を取り付けている。そのうち３本は金属ステム１
０を貫通配置され、上端が金属ステム１０の上面より突
出している。そして、このリードピン１６に赤外線検出
素子１１の電極をワイヤボンデイング１７などにより電
気的に接合する。さらに、金属ステム１０の周囲に形成
されるフランジ部１０ａとキャン１３の下端縁に形成さ
れるフランジ部１３ａとを接触させるとともに、抵抗溶
接により接合する。

【００２７】キャン１３は、下端開放した円筒形の本体
を有し、その天面１３ｂの中央に窓孔１３ｃが形成され
る。そして、天面１３ｂの下面側から、窓孔１３ｃを塞
ぐようにして赤外線透過フィルタ１８が装着される。こ
れにより、外部からの光のうち、赤外線のみが赤外線透
過フィルタ１８を通過し、キャン１３の内部に実装され
た赤外線検出素子１１に照射される。赤外線検出素子１
１は、受光した赤外線に応じた電気信号を発生するの
で、その信号をリードピン１６を介して出力し、図示省
略の外部装置に取り込むことにより、温度を測定可能と
なっている。また、図３中符号２１は、サーミスタであ
り、符号２２は位置決め用の突起である。そして、係る
構成は、従来のセンサと基本的に同様である。

【００２８】ここで本発明では、赤外線透過フィルタ１
８をキャン１３に取り付けるに際し、半田１９を用いて
接着している。このとき、赤外線透過フィルタ１８の外
周囲に半田と濡れ性が良いリング状の金属薄膜２０を成
膜し、この金属薄膜２０の形成領域で半田１９を用いた
接着をするようにしている。つまり、半田１９は、キャ
ン１３の天面１３ｂと金属薄膜２０とに接着し、赤外線
透過フィルタ１８は、金属薄膜２０を介して半田接着さ
れることになり、その赤外線透過フィルタ１８の表面に
は直接半田１９が接着されることはない。

【００２９】製造プロセスにしたがってより詳細に説明
すると、まず、図４（Ａ）に示すようなＳｉ等でできた
反射防止膜付き赤外線透過フィルタ１８を用意し、その
外周縁にＣｒ／Ａｕ層からなる所定幅のリング状の金属
薄膜２０を成膜する。係る金属薄膜２０は、まず、フィ
ルタ全面にＣｒを蒸著させ、その上にＡｕを蒸著させて
２層構造の薄膜を形成後、リソグラフィ技術などを用い
てパターニングすることにより、所望のパターン形状に
形成することができる。もちろん、フィルタのウエハの
段階で係るパターニングを行った後、切り出すことによ
り図示するような金属薄膜付きのフィルタを製造するこ
とになる。

【００３０】また、金属薄膜２０の寸法形状であるが、
その幅は、十分な接着強度が保てる寸法にする。そし
て、内径Ｒ３は、キャン１３に形成した窓孔１３ｃの内
径と等しいか、大きくしておく（図示の例では、大きく
している）。なお、金属薄膜２０の外径は、図示の例で
は赤外線透過フィルタ１８の外径と等しくしているが、
金属薄膜２０の外径のほうを小さくしてもよい。但し、
この金属薄膜２０の形成領域が、実際の半田付けを行う
際の糊代部分となるとともに、窓孔１３ｃの外側、つま
り、天面１３ｂに対向する部分は、赤外線透過フィルタ
としての機能は発揮しない無駄な領域であるため、図示
のように一致させておくのが効率的に使用できるので好
ましい。

【００３１】図４（Ｂ）に示すように、上記のようにし
て加工された赤外線透過フィルタ１８とキャン１３の間
にワッシャ型のＳｎ−Ｐｂ半田１９を配置し、両者を重
ねあわせた状態で、例えば天面１３ｂ側を下にした状態
でリフロー炉を通過させることにより、加熱冷却してリ
フロー半田処理を行う。なお、この半田処理時の雰囲気
は、通常雰囲気下で行える。これは、金属薄膜２０のＣ
ｕ／Ａｕ層を用いてＳｉ（フィルタ表面）と金属を接着
するようにしているからである。

【００３２】これにより、図５（Ａ）に示すようにキャ
ン１３と赤外線透過フィルタ１８とが接着される。する
と、半田１９が加熱されて液化した時に生じる表面張力
により、赤外線透過フィルタ１８はキャン１３の天面１
３ｂの中心に自動的に移動される。よって、窓孔１３ｃ
の中心と赤外線透過フィルタ１８の中心が一致するた
め、全周にわたって気密性の良好な半田１９により接着
されるので、気密信頼性が安定・向上する。また、その
ように位置合わせが自動的に行われるので、赤外線透過
フィルタ１８の外形寸法を従来のように必要以上に大き
くとる必要がなく、１枚のウエハからとれるフィルタの
個数も増加し、コスト安となる。

【００３３】さらに、キャン１３の窓孔１３ｃの内径Ｒ
１よりも金属薄膜２０の内径Ｒ３のほうが大きくしてい
るため、図５（Ｂ）に示すように、半田１９の内周面の
位置が窓孔１３ｃの内周面の位置よりも外側になる。つ
まり、半田１９と赤外線透過フィルタ１８は接着されな
いため、金属薄膜２０より内側に半田１９がはみ出てこ
ない。従って、図５（Ａ）に示すように、窓孔１３ｃの
全体が赤外線透過の有効径となり、窓孔１３ｃを通過し
た赤外線はそのままキャン１３の内部に進む。よって、
キャン１３の内部に実装される赤外線検出素子の受光量
が増し、検出感度が向上する。

【００３４】また、本形態では、固形で大きさの決まっ
ているワッシャ半田１９を用いたため、半田１９をキャ
ン１３と赤外線透過フィルタ１８の間に介在させる作業
性が向上するばかりでなく、その半田量も一定となるの
で、多すぎてはみ出てきたり、少なくて接着強度の低下
・気密性の劣化などの問題も生じない。さらに、Ｓｎ−
Ｐｂ半田等のように低融点半田を用いると、フィルタに
対するダメージがなく好ましい。さらにまた、リフロー
処理に要する時間は、数分で済むため、処理時間の短縮
も図れる。なお、このようにして形成したフィルタ付き
キャン１３を、金属ステム１０に対して抵抗溶接などに
より接着することにより、センサが形成される。

【００３５】すなわち、上記構成のセンサは、各種の温
度検出に利用できるが、その利用形態の１つとして耳式
体温計に用いられる。この耳式体温計は、鼓膜の温度を
測定するもので、その概略構造を示すと、図６のように
なる。すなわち、装置本体２５の前方内部に上記構成の
温度センサ２７を設置するとともに、その温度センサ２
７に対向するようにして装置本体２５の前面に、プロー
ブ２６を取り付け、耳の内部まで挿入可能とする。さら
に、このプローブ２６の内部には、鼓膜２８から放射さ
れる赤外線を集光するため導波管２９を設けている。

【００３６】これにより、鼓膜２８からの赤外線は、導
波管２９を介して温度センサ２７に導かれ、温度センサ
２７から出力される赤外線に応じた信号に基づいて装置
本体２５内の装置で温度を算出し、表示するようにな
る。

【００３７】図６は、本発明の第２の実施の形態の要部
を示している。本実施の形態では、上記した第１の実施
の形態を前提とし、金属ステム１０の構造を改良してい
る。つまり、図６には図示していないが、第１の実施の
形態での特徴的事項であった赤外線透過フィルタ１８を
金属薄膜と半田を介してキャン１３に接着一体化し、係
るキャン１３を図６に示す金属ステム１０の上に実装
し、抵抗溶接などにより封印することは、本形態でも同
じである。

【００３８】よく知られているように、金属ステムは、
通常、外周部分に突起（図３における符号２２）が設け
られた金属ベースを用い、その突起を基準に位置決めし
てリードピンを取り付けるための貫通孔を設け、この貫
通孔にピンを通し、低融点ガラス等でピンを接着固定し
ている。しかし、この突起があるために金属ステムが大
きくなり、非接触温度センサのサイズも大きくなる。そ
の結果、センササイズを耳道をとおるほどの大きさにす
ることは不可能であったため、図６に示したようにセン
サ２７を耳道の外に配置し、導波管２９を用いて計測す
るようにしていた。この方式では、導波管自体の赤外線
の放射もあり誤差の要因となるばかりでなく、導波管な
どの部品は価格が高いため、体温計のコストが増してし
まう。

【００３９】そこで、本形態では、サーモパイル素子等
の赤外線検出素子１１のサイズは同等で、センササイズ
を小さくするようにした。つまり、金属ベースの外周部
分の突起をなくし、内部に金属ベースを固定するための
直線部分を設けるようにした。

【００４０】具体的には、図７に示すように、金属ステ
ム１０の金属ベース１０ｂの側面を直線状に切除して位
置合わせ面１０ｃを形成した。この位置合わせ面１０ｃ
は、本形態では同図（Ｂ）に示すように、なす角が９０
度になるように２本形成している。

【００４１】このようにすると、金属ステム１０のフラ
ンジ部１０ａに外周縁は、突出部分のない円形となるの
で、ステムサイズひいてはセンササイズを小さくでき
る。そして、位置合わせ面１０ｃが、金属ステム１０に
リードピン１６を挿入するとともに、低融点ガラス３０
で固定したり、金属ステム１０の上面に赤外線吸収体を
もつ複数の熱電対が配設された基板からなるサーモパイ
ル素子（赤外線検出素子）１１を位置合わせをしつつダ
イボンドにより固定したり、その赤外線検出素子１の電
極と金属ステム１０のリードピン１６をワイヤボンデイ
ングなどにより電気的に接続する処理を実装装置を用い
て自動的に行う際の位置決め面となり、自動実装が可能
となる。

【００４２】なお、図示の例では直交する２つの位置合
わせ面１０ｃを設けたが、このように２つ設けることに
より、２次平面上での位置決めが精度よくできるが、１
つでもよい。

【００４３】そして、このようにセンササイズを小さく
することができると、この温度センサを用いて耳式体温
計を形成した場合に、図８に示すような構造をとれる。
すなわち、プローブ２６の先端に温度センサ２７を配置
し、導波管を設けることなく鼓膜２８から放射される赤
外線を直接温度センサ２７で受光し、測定することがで
きる。よって、導波管からの赤外線放射もなく、高精度
な測定ができ、しかも、コストも削減できる。

【００４４】

【発明の効果】以上のように、本発明に係る窓材付きキ
ャン及び固定方法並びに温度センサでは、ろう材を用
い、しかも、窓材の周縁に設けた金属薄膜とキャンをろ
う接したため、ろう材の存在位置は金属薄膜の形成領域
に依存する。従って、樹脂接着剤のようにはみ出ること
がなく、設計値通りの位置にろう材を位置させることが
できる。従って、請求項２のように構成すると、ろう材
が窓孔の開口領域にはみ出してこないので、窓孔を通過
する光の有効領域を減少することがなく、センサとして
使用する場合には受光量が増して高感度となり、発光素
子として使用する場合には高出力となる。

【００４５】さらに、ろう材が溶融することにより窓材
の位置決めを容易に行え、また、金属薄膜とキャンとの
ろう接は、通常の雰囲気で簡単に行うことができるので
作業性が向上する。しかも、位置合わせがされることか
ら、必要以上に窓材を大きくする必要がなくなるので、
窓材の使用量（外形寸法）を小さくすることができる。
さらに、請求項５のように形成した温度センサにあって
は、従来のようにフランジの外側に突出する位置決め突
起が不要となるので、センササイズを小さくすることが
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】従来の温度センサの一例を示す断面図である。

【図２】キャンとフィルタの接合プロセスを示す図であ
る。

【図３】本発明に係る温度センサの好適な第１の実施の
形態を示す図である。

【図４】赤外線透過フィルタ（窓材）とキャンの固定方
法の一実施の形態を示す図である。

【図５】本発明の効果を説明する図である。

【図６】第１の実施の形態の温度センサを耳式体温計に
適用した図である。

【図７】本発明に係る温度センサの好適な第２の実施の
形態を示す図である。

【図８】第２の実施の形態の温度センサを耳式体温計に
適用した図である。

【符号の説明】

１０金属ステム（ステム）１０ｂ金属ベース（ベース）１０ｃ位置合わせ面（位置決め用の平面）１１赤外線検出素子１３キャン１３ｂ天面１３ｃ窓孔１９半田（ろう材）２０金属薄膜

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】天面に窓孔を有するキャップ状のキャン
と、前記窓孔を塞ぐように前記天面に取り付けられた光透過
可能な窓材とを備えた窓材付きキャンであって、前記窓材の周縁に無端状の金属薄膜が蒸着され、その金属薄膜と前記天面と間に介在するろう材によって
前記金属薄膜と前記天面をろう接して一体化したことを
特徴とする窓材付きキャン。
【請求項２】前記金属薄膜の内周縁の寸法形状を、前
記窓孔の内周縁の寸法形状と一致或いは大きくしたこと
を特徴とする請求項１に記載の窓材付きキャン。
【請求項３】天面に窓孔を有するキャップ状のキャン
の前記天面に光透過可能な窓材を固定する固定方法にお
いて、前記窓材の全周縁に金属薄膜を蒸着し、前記天面と前記金属薄膜との間にワッシャ型の半田を配
置し、前記半田を加熱し次いで冷却して前記天面と前記金属薄
膜とを接着させることにより前記窓材を前記キャンに固
定することを特徴とする固定方法。
【請求項４】赤外線検出素子を積載したステムと、前記赤外線検出素子を覆うようにして前記ステムに取り
付けられた請求項１または２に記載の窓材付きキャンと
を備え、前記窓材は赤外線透過フィルタであり、その赤外線透過フィルタを透過した赤外線を前記赤外線
検出素子で検出するように構成したことを特徴とする温
度センサ。
【請求項５】前記金属ステムは、前記赤外線透過フィ
ルタの実装面となる肉厚のベースと、そのベースの周縁
より外側に突出する肉薄のフランジ部とを有し、前記ベースの外周側面に位置決め用の平面を設けたこと
を特徴とする請求項４に記載の温度センサ。