JPH11352011A - フラットパネル表示器検査用画像取得方法、フラットパネル表示器検査用画像取得装置 - Google Patents
フラットパネル表示器検査用画像取得方法、フラットパネル表示器検査用画像取得装置Info
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- JPH11352011A JPH11352011A JP10155675A JP15567598A JPH11352011A JP H11352011 A JPH11352011 A JP H11352011A JP 10155675 A JP10155675 A JP 10155675A JP 15567598 A JP15567598 A JP 15567598A JP H11352011 A JPH11352011 A JP H11352011A
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- Control Of Indicators Other Than Cathode Ray Tubes (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 フラットパネル表示器の画素欠陥を検出する
画質検査装置において、画質検査に供する画像データか
らモアレ成分を除去する。 【解決手段】 撮像装置で得られる画像データからモア
レ成分を抽出し、このモアレ成分の周期を検出して周期
毎に配置される画素値を結んで欠陥成分を除去した複数
の平滑曲線を求め、この複数の平滑曲線上に位置する画
素値と、元の画像データとの差を求めて欠陥画像データ
を取得し、複数の平滑曲線の平均を求めてモアレを含ま
ない平滑画像データを取得し、この平滑画像データと欠
陥画像データとを加算し、この加算結果を検査用画像デ
ータとして画像メモリに格納する。
画質検査装置において、画質検査に供する画像データか
らモアレ成分を除去する。 【解決手段】 撮像装置で得られる画像データからモア
レ成分を抽出し、このモアレ成分の周期を検出して周期
毎に配置される画素値を結んで欠陥成分を除去した複数
の平滑曲線を求め、この複数の平滑曲線上に位置する画
素値と、元の画像データとの差を求めて欠陥画像データ
を取得し、複数の平滑曲線の平均を求めてモアレを含ま
ない平滑画像データを取得し、この平滑画像データと欠
陥画像データとを加算し、この加算結果を検査用画像デ
ータとして画像メモリに格納する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は例えば液晶表示パ
ネル或はプラズマディスプレイ等のフラットパネル表示
器の画素の欠陥或は表示ムラ等を検査する場合に用いる
フラットパネル表示器検査用画像取得方法及びこの方法
を用いた画像取得装置に関する。
ネル或はプラズマディスプレイ等のフラットパネル表示
器の画素の欠陥或は表示ムラ等を検査する場合に用いる
フラットパネル表示器検査用画像取得方法及びこの方法
を用いた画像取得装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】フラットパネル画質検査装置は大きく分
けて検査用画像データを取得する検査用画像取得装置と
この検査用画像取得装置で取得した画像データを用いて
画素の欠陥或は表示ムラの有無等を検査する画質検査装
置とによって構成される。図９は、フラットパネル表示
器の画質検査装置において、検査用画像取得装置の部分
の一般的な構成を示すブロック図である。同図において
フラットパネル表示器８はパネル駆動部２からの駆動信
号に基づいて所定の明暗画像を持つ試験画像を表示す
る。
けて検査用画像データを取得する検査用画像取得装置と
この検査用画像取得装置で取得した画像データを用いて
画素の欠陥或は表示ムラの有無等を検査する画質検査装
置とによって構成される。図９は、フラットパネル表示
器の画質検査装置において、検査用画像取得装置の部分
の一般的な構成を示すブロック図である。同図において
フラットパネル表示器８はパネル駆動部２からの駆動信
号に基づいて所定の明暗画像を持つ試験画像を表示す
る。
【０００３】パネル駆動部２は制御部１によって制御さ
れる。フラットパネル表示器８の明暗を撮影したカメラ
部３の出力信号は、ＡＤ変換器４を通してデジタルの明
暗画素データ（以下これを撮像画素データと称す）へと
変換され、一時、画像メモリ７に保存される。デジタル
信号に変換された撮像画素データは、プリサンプリング
処理部５にてパネルの画素サイズの画像データに変換さ
れる。この変換された画素データを表示画素データと称
する。求めた表示画素データは画像メモリに格納され
る。尚、プリサンプリング画像データへの変換方法に関
しては本出願人が提案した特開平８−２９３６０号公報
及び特開平１０−３１７３０号公報を参照されたい。
れる。フラットパネル表示器８の明暗を撮影したカメラ
部３の出力信号は、ＡＤ変換器４を通してデジタルの明
暗画素データ（以下これを撮像画素データと称す）へと
変換され、一時、画像メモリ７に保存される。デジタル
信号に変換された撮像画素データは、プリサンプリング
処理部５にてパネルの画素サイズの画像データに変換さ
れる。この変換された画素データを表示画素データと称
する。求めた表示画素データは画像メモリに格納され
る。尚、プリサンプリング画像データへの変換方法に関
しては本出願人が提案した特開平８−２９３６０号公報
及び特開平１０−３１７３０号公報を参照されたい。
【０００４】カメラ部３で取得した撮像画像データをよ
り高い精度でプリサンプリングし、かつ取得した表示画
素データにおいてモアレの発生を抑えるには、画素倍率
（パネル表示器８の画素数とＣＣＤ素子の画素数との比
を指し、パネル表示器８の１画素をカメラ部３の画素２
×２にて撮像する状態を画素倍率２と称す）が２倍程度
の整数倍率であることが望ましい。しかし、パネル表示
器８の高精細化が進み、カメラ部３の画素サイズの制限
によって設定する画素倍率を２以下の非整数倍率にせざ
るをえない場合が生じている。
り高い精度でプリサンプリングし、かつ取得した表示画
素データにおいてモアレの発生を抑えるには、画素倍率
（パネル表示器８の画素数とＣＣＤ素子の画素数との比
を指し、パネル表示器８の１画素をカメラ部３の画素２
×２にて撮像する状態を画素倍率２と称す）が２倍程度
の整数倍率であることが望ましい。しかし、パネル表示
器８の高精細化が進み、カメラ部３の画素サイズの制限
によって設定する画素倍率を２以下の非整数倍率にせざ
るをえない場合が生じている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】非整数倍率において取
得した撮像画素データおよびこの撮像画素をプリサンプ
リング処理して得たデータ表示画素データには周期的に
画素値の変動が発生する。これを画像のモアレと呼ぶ。
図１０に倍率１．８において取得し画像メモリ７に格納
した表示画素データの画素値（画素の明るさ）を同一の
Ｘアドレス毎に縦方向Ｙアドレス方向に加算した結果の
例を示す。図１０では約５画素周期のモアレが発生して
いることが確認できる。このモアレがノイズ成分とな
り、パネル表示器８の検査精度を大きく低下させる問題
がある。
得した撮像画素データおよびこの撮像画素をプリサンプ
リング処理して得たデータ表示画素データには周期的に
画素値の変動が発生する。これを画像のモアレと呼ぶ。
図１０に倍率１．８において取得し画像メモリ７に格納
した表示画素データの画素値（画素の明るさ）を同一の
Ｘアドレス毎に縦方向Ｙアドレス方向に加算した結果の
例を示す。図１０では約５画素周期のモアレが発生して
いることが確認できる。このモアレがノイズ成分とな
り、パネル表示器８の検査精度を大きく低下させる問題
がある。
【０００６】モアレの発生は、パネル表示器８の光の強
度分布をカメラ部３の撮像素子の画素によってサンプリ
ングした状態で概に発生する。これは主にパネル表示器
８の表示画素とカメラ部３の撮像素子の画素の相対的位
置の違いが、表示画素データに反映することが原因であ
る。なお、以下では、カメラ部３の撮像素子の画素を撮
像画素、パネル表示器８の表示画素を表示画素と称す
る。
度分布をカメラ部３の撮像素子の画素によってサンプリ
ングした状態で概に発生する。これは主にパネル表示器
８の表示画素とカメラ部３の撮像素子の画素の相対的位
置の違いが、表示画素データに反映することが原因であ
る。なお、以下では、カメラ部３の撮像素子の画素を撮
像画素、パネル表示器８の表示画素を表示画素と称す
る。
【０００７】図１１は倍率１．８における撮像画素と表
示画素の相対的位置の例を示している。ここでは簡単の
ため１次元信号で説明する。図１１のように表示画素の
５画素に対し撮像画素の９画素が対応し、この位置関係
が周期的に繰り返される。このときの表示画素の周期的
な光強度分布ｇ（ｘ）にたいする、１番目から１０番目
の撮像画素によるサンプリング値Ｇ（ｎ）（ｎは１から
１０までの整数）を式（１）に示す。
示画素の相対的位置の例を示している。ここでは簡単の
ため１次元信号で説明する。図１１のように表示画素の
５画素に対し撮像画素の９画素が対応し、この位置関係
が周期的に繰り返される。このときの表示画素の周期的
な光強度分布ｇ（ｘ）にたいする、１番目から１０番目
の撮像画素によるサンプリング値Ｇ（ｎ）（ｎは１から
１０までの整数）を式（１）に示す。
【０００８】
【数１】 撮像画素と表示画素の相対的位置の周期性から、表示画
素６にたいするＣＣＤ画素１０の位置関係は表示画素に
たいする撮像画素の位置関係に等しい。すなわち、ｘ13
にたいするｘ14，ｘ15の位置はｘ0 にたいするｘ1 ，ｘ
2 の位置と等しいので、画素値Ｇ（１）と画素値Ｇ（１
０）は等しい。よって、撮像画素によるサンプリング値
は相対的位置の違いによって９パターンが生じ、この９
パターンが周期的に繰り返される。撮像画素によるサン
プリング値が、カメラ部３の出力信号となる。したがっ
て、その出力信号をＡＤ変換した撮像画像データには、
９パターンのサンプリング値Ｇ（１）〜Ｇ（９）を周期
的に繰り返すモアレが発生している。
素６にたいするＣＣＤ画素１０の位置関係は表示画素に
たいする撮像画素の位置関係に等しい。すなわち、ｘ13
にたいするｘ14，ｘ15の位置はｘ0 にたいするｘ1 ，ｘ
2 の位置と等しいので、画素値Ｇ（１）と画素値Ｇ（１
０）は等しい。よって、撮像画素によるサンプリング値
は相対的位置の違いによって９パターンが生じ、この９
パターンが周期的に繰り返される。撮像画素によるサン
プリング値が、カメラ部３の出力信号となる。したがっ
て、その出力信号をＡＤ変換した撮像画像データには、
９パターンのサンプリング値Ｇ（１）〜Ｇ（９）を周期
的に繰り返すモアレが発生している。
【０００９】次に撮像画素によるサンプリング値Ｇ
（１）〜Ｇ（９）を、表示画素サイズに対応させてプリ
サンプリングする場合について検討する。図１１ＣにＣ
ＣＤのサンプリング値Ｇ（１）〜Ｇ（９）とプリサンプ
リングの区間の関係を示す。プリサンプリングする区間
ｘ0 〜ｘ2 、ｘ2 〜ｘ5 、ｘ5 〜ｘ8 、ｘ8 〜ｘ11のＣ
ＣＤサンプリング値の面積がＬＣＤ画素サイズに対応す
る表示画像データの画素値となる。よって、プリサンプ
リングによる１番目から６番目の表示画素に対応する画
素値ｆ（ｎ）（ｎは１から６までの整数）は式（２）と
なる。
（１）〜Ｇ（９）を、表示画素サイズに対応させてプリ
サンプリングする場合について検討する。図１１ＣにＣ
ＣＤのサンプリング値Ｇ（１）〜Ｇ（９）とプリサンプ
リングの区間の関係を示す。プリサンプリングする区間
ｘ0 〜ｘ2 、ｘ2 〜ｘ5 、ｘ5 〜ｘ8 、ｘ8 〜ｘ11のＣ
ＣＤサンプリング値の面積がＬＣＤ画素サイズに対応す
る表示画像データの画素値となる。よって、プリサンプ
リングによる１番目から６番目の表示画素に対応する画
素値ｆ（ｎ）（ｎは１から６までの整数）は式（２）と
なる。
【００１０】
【数２】 式（２）においても、撮像画素と表示画素の相対的位置
の周期性から、ｆ（１）とｆ（６）は等しい。よって、
表示画素に対応する表示画素データの画素値は５パター
ンあり、これが繰り返される。したがって、倍率１．８
においては、プリサンプリング画像データに５画素周期
でモアレが発生することがわかる。
の周期性から、ｆ（１）とｆ（６）は等しい。よって、
表示画素に対応する表示画素データの画素値は５パター
ンあり、これが繰り返される。したがって、倍率１．８
においては、プリサンプリング画像データに５画素周期
でモアレが発生することがわかる。
【００１１】この発明の目的はモアレ成分を除去し、モ
アレ成分に影響されることなく精度よく欠陥の有無を検
査することができるフラットパネル表示器検査用画像取
得方法及びこの方法を用いた検査画像取得装置を提供し
ようとするものである。
アレ成分に影響されることなく精度よく欠陥の有無を検
査することができるフラットパネル表示器検査用画像取
得方法及びこの方法を用いた検査画像取得装置を提供し
ようとするものである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】この発明の請求項１では
カメラ部から取得した撮像画素データを先ずプリサンプ
リング処理して表示画素データに変換し、この表示画素
データ列に発生するＸ軸方向又はＹ軸方向の何れか一方
のモアレをモアレ除去手段によって除去し、モアレを除
去した平滑画像データと欠陥部分を表わす欠陥画像デー
タを別々に画像メモリに取得するフラットパネル表示器
検査用画像取得方法を提案したものである。
カメラ部から取得した撮像画素データを先ずプリサンプ
リング処理して表示画素データに変換し、この表示画素
データ列に発生するＸ軸方向又はＹ軸方向の何れか一方
のモアレをモアレ除去手段によって除去し、モアレを除
去した平滑画像データと欠陥部分を表わす欠陥画像デー
タを別々に画像メモリに取得するフラットパネル表示器
検査用画像取得方法を提案したものである。
【００１３】つまり、この請求項１ではモアレの発生方
向がＸ軸方向又はＹ軸方向の何れか一方である場合を対
象としたモアレ除去方法を用いたフラットパネル表示器
検査用画像取得方法を提案した点を特徴とするものであ
る。その他の特徴としてはモアレを除去した平滑画像デ
ータと欠陥画像データを別々に画像メモリに格納し、こ
れらの画像データを別々に画像検査装置に送り出す画像
データの格納方法を採った点である。
向がＸ軸方向又はＹ軸方向の何れか一方である場合を対
象としたモアレ除去方法を用いたフラットパネル表示器
検査用画像取得方法を提案した点を特徴とするものであ
る。その他の特徴としてはモアレを除去した平滑画像デ
ータと欠陥画像データを別々に画像メモリに格納し、こ
れらの画像データを別々に画像検査装置に送り出す画像
データの格納方法を採った点である。
【００１４】この発明の請求項２ではモアレ除去処理を
Ｘ軸方向とＹ軸方向の２方向に関して実行した点を特徴
とするもので、モアレを除去した平滑画像データと欠陥
画像データの格納方法は請求項１と同じである。この発
明の請求項３では請求項１又はこのフラットパネル表示
器検査用画像取得方法において平滑画像データと欠陥画
像データの格納方法を、これら平滑画像データと欠陥画
像データを加算し、この加算結果を共通の画像メモリに
格納した点を請求するものである。従って画質検査装置
には平滑画像データと欠陥画像データが加算された形態
で供給されることになる。
Ｘ軸方向とＹ軸方向の２方向に関して実行した点を特徴
とするもので、モアレを除去した平滑画像データと欠陥
画像データの格納方法は請求項１と同じである。この発
明の請求項３では請求項１又はこのフラットパネル表示
器検査用画像取得方法において平滑画像データと欠陥画
像データの格納方法を、これら平滑画像データと欠陥画
像データを加算し、この加算結果を共通の画像メモリに
格納した点を請求するものである。従って画質検査装置
には平滑画像データと欠陥画像データが加算された形態
で供給されることになる。
【００１５】この発明の請求項４ではプリサンプリング
処理を行なう前にＸ軸方向又はＹ軸方向の何れか一方向
のモアレ除去処理を施し、モアレ除去した状態の撮像画
素データと欠陥画素データを加算し、加算した画像デー
タをプリサンプリング処理して表示画素サイズの表示画
素データに変換し、この変換した表示画素データを画像
メモリに格納したフラットパネル表示器検査用画像取得
方法を提案したものである。
処理を行なう前にＸ軸方向又はＹ軸方向の何れか一方向
のモアレ除去処理を施し、モアレ除去した状態の撮像画
素データと欠陥画素データを加算し、加算した画像デー
タをプリサンプリング処理して表示画素サイズの表示画
素データに変換し、この変換した表示画素データを画像
メモリに格納したフラットパネル表示器検査用画像取得
方法を提案したものである。
【００１６】請求項５ではプリサンプリング処理を行な
う前にＸ軸方向とＹ軸方向の両方向のモアレを除去し、
このモアレを除去した状態の撮像画素データをプリサン
プリング処理して表示器の画素サイズを持つ表示画素デ
ータに変換し、この表示画素データを画質検査装置に送
り出すフラットパネル表示器検査用画像取得方法を提案
したものである。
う前にＸ軸方向とＹ軸方向の両方向のモアレを除去し、
このモアレを除去した状態の撮像画素データをプリサン
プリング処理して表示器の画素サイズを持つ表示画素デ
ータに変換し、この表示画素データを画質検査装置に送
り出すフラットパネル表示器検査用画像取得方法を提案
したものである。
【００１７】この発明の請求項６ではモアレ除去処理部
を具備した画像取得装置の構成を提案するものである。
この発明の請求項７では請求項６で提案したモアレ除去
処理部の内部を請求項１で提案したフラットパネル表示
器検査用画像取得方法によって実現する画像取得装置の
構成を提案するものである。
を具備した画像取得装置の構成を提案するものである。
この発明の請求項７では請求項６で提案したモアレ除去
処理部の内部を請求項１で提案したフラットパネル表示
器検査用画像取得方法によって実現する画像取得装置の
構成を提案するものである。
【００１８】この発明の請求項８では請求項６で提案し
たモアレ除去処理部の内部を請求項２で提案したフラッ
トパネル表示器検査用画像取得方法によって実現する画
像取得装置の構成を提案するものである。この発明の請
求項９では請求項６で提案したモアレ除去処理部の内部
を請求項４で提案したフラットパネル表示器検査用画像
取得方法によって実現する画像取得装置の構成を提案す
るものである。
たモアレ除去処理部の内部を請求項２で提案したフラッ
トパネル表示器検査用画像取得方法によって実現する画
像取得装置の構成を提案するものである。この発明の請
求項９では請求項６で提案したモアレ除去処理部の内部
を請求項４で提案したフラットパネル表示器検査用画像
取得方法によって実現する画像取得装置の構成を提案す
るものである。
【００１９】この発明の請求項１０では請求項６で提案
したモアレ除去処理部の内部を請求項５で提案したフラ
ットパネル表示器検出用画像取得方法によって実現する
画像取得装置の構成を提案するものである。 ［作用］この発明のフラットパネル表示器検査用画像取
得方法に用いる欠陥除去処理部においては、モアレの発
生画素周期を求め、この画素周期に従って画素値を継ぎ
合せるいわゆるモアレの周期の間隔で周知のメディアン
処理をおこなうことにより欠陥成分を除去する。図１２
にモアレの周期が３画素（表示画素サイズの画素）で、
欠陥成分やシェーディング成分を持つ画素の表示画素デ
ータ列の概念図を示す。モアレにより激しく変動する画
素データ列は、モアレの周期と同じ３画素間隔でデータ
を結ぶ（画像メモリを３アドレス毎に読み出す）と図１
３に示すように比較的なだらかな平滑曲線Ｉ（１），Ｉ
（２），Ｉ（３）が得られる。従って、モアレの周期の
間隔でメディアン・フィルタをかけると平滑曲線Ｉ
（１），Ｉ（２），Ｉ（３）から効果的に欠陥成分
Ｐ1 ，Ｐ2 ，Ｐ3 を除去できる。
したモアレ除去処理部の内部を請求項５で提案したフラ
ットパネル表示器検出用画像取得方法によって実現する
画像取得装置の構成を提案するものである。 ［作用］この発明のフラットパネル表示器検査用画像取
得方法に用いる欠陥除去処理部においては、モアレの発
生画素周期を求め、この画素周期に従って画素値を継ぎ
合せるいわゆるモアレの周期の間隔で周知のメディアン
処理をおこなうことにより欠陥成分を除去する。図１２
にモアレの周期が３画素（表示画素サイズの画素）で、
欠陥成分やシェーディング成分を持つ画素の表示画素デ
ータ列の概念図を示す。モアレにより激しく変動する画
素データ列は、モアレの周期と同じ３画素間隔でデータ
を結ぶ（画像メモリを３アドレス毎に読み出す）と図１
３に示すように比較的なだらかな平滑曲線Ｉ（１），Ｉ
（２），Ｉ（３）が得られる。従って、モアレの周期の
間隔でメディアン・フィルタをかけると平滑曲線Ｉ
（１），Ｉ（２），Ｉ（３）から効果的に欠陥成分
Ｐ1 ，Ｐ2 ，Ｐ3 を除去できる。
【００２０】周期ｍのモアレを持つ画像の表示画素デー
タ列（Ｘ軸方向及びＹ軸方向の何れでもよい）をＩ
（ｎ）（ただしｎは画素列の並びの番号）とすると、欠
陥除去処理で求められる欠陥成分除去後のモアレ画像デ
ータｆ（ｎ）は式（３）で示される。 ｆ(n) ＝ｍｅｄ［Ｉ（ｎ−ｍｗ），Ｉ（ｎ−ｍ（ｗ−１））， Ｉ（ｎ−ｍ（ｗ−２）），…，Ｉ（ｎ），Ｉ（ｎ＋ｍ），…， Ｉ（ｎ＋ｍ（ｗ−１）），Ｉ（ｎ＋ｍｗ）］ ・・・（３） ここで、ｍｅｄ［ ］はデータのメディアン値を求める
演算であり、Ｉ（ｎ−ｍｗ），Ｉ（ｎ−ｍ（ｗ−
１）），Ｉ（ｎ−ｍ（ｗ−２）），…，Ｉ（ｎ），Ｉ
（ｎ＋ｍ），…，Ｉ（ｎ＋ｍ（ｗ−１）），Ｉ（ｎ＋ｍ
ｗ）はＩ（ｎ）を中心とするｍ画素間隔のデータＷ個
（ただしＷは奇数）である。またｗは、 ｗ＝（Ｗ−１）／２ ・・・（４） で与えられる数である。図１４に欠陥除去処理で求めた
モアレ画像データｆ（ｎ）の概念図を示す。図１３及び
図１４に示す概念図においてＹ軸方向に発生したモアレ
を除去する場合はＸアドレス方向にデータをモアレの周
期の間隔で収集して配列し、Ｘ軸方向に発生したモアレ
を除去する場合はＹアドレス方向にデータをモアレの周
期の間隔で収集して配列して欠陥部Ｐ1 ，Ｐ2 ，Ｐ3 の
除去を行なう。
タ列（Ｘ軸方向及びＹ軸方向の何れでもよい）をＩ
（ｎ）（ただしｎは画素列の並びの番号）とすると、欠
陥除去処理で求められる欠陥成分除去後のモアレ画像デ
ータｆ（ｎ）は式（３）で示される。 ｆ(n) ＝ｍｅｄ［Ｉ（ｎ−ｍｗ），Ｉ（ｎ−ｍ（ｗ−１））， Ｉ（ｎ−ｍ（ｗ−２）），…，Ｉ（ｎ），Ｉ（ｎ＋ｍ），…， Ｉ（ｎ＋ｍ（ｗ−１）），Ｉ（ｎ＋ｍｗ）］ ・・・（３） ここで、ｍｅｄ［ ］はデータのメディアン値を求める
演算であり、Ｉ（ｎ−ｍｗ），Ｉ（ｎ−ｍ（ｗ−
１）），Ｉ（ｎ−ｍ（ｗ−２）），…，Ｉ（ｎ），Ｉ
（ｎ＋ｍ），…，Ｉ（ｎ＋ｍ（ｗ−１）），Ｉ（ｎ＋ｍ
ｗ）はＩ（ｎ）を中心とするｍ画素間隔のデータＷ個
（ただしＷは奇数）である。またｗは、 ｗ＝（Ｗ−１）／２ ・・・（４） で与えられる数である。図１４に欠陥除去処理で求めた
モアレ画像データｆ（ｎ）の概念図を示す。図１３及び
図１４に示す概念図においてＹ軸方向に発生したモアレ
を除去する場合はＸアドレス方向にデータをモアレの周
期の間隔で収集して配列し、Ｘ軸方向に発生したモアレ
を除去する場合はＹアドレス方向にデータをモアレの周
期の間隔で収集して配列して欠陥部Ｐ1 ，Ｐ2 ，Ｐ3 の
除去を行なう。
【００２１】この発明の検査用画像取得方法に用いる差
分処理部においては、元の画素データＩ（ｎ）と欠陥成
分除去後のモアレ画像データｆ（ｎ）との差分をとるこ
とにより、欠陥成分の欠陥画像データＪ（ｎ）を求め
る。欠陥成分の欠陥画像データＪ（ｎ）は式（５）で示
される。 Ｊ（ｎ）＝Ｉ（ｎ）−ｆ（ｎ） ・・・（５） 図１５に差分処理部で求めた欠陥成分の欠陥画像データ
Ｊ（ｎ）の概念図を示す。
分処理部においては、元の画素データＩ（ｎ）と欠陥成
分除去後のモアレ画像データｆ（ｎ）との差分をとるこ
とにより、欠陥成分の欠陥画像データＪ（ｎ）を求め
る。欠陥成分の欠陥画像データＪ（ｎ）は式（５）で示
される。 Ｊ（ｎ）＝Ｉ（ｎ）−ｆ（ｎ） ・・・（５） 図１５に差分処理部で求めた欠陥成分の欠陥画像データ
Ｊ（ｎ）の概念図を示す。
【００２２】平均化処理部においては、撮像画素と表示
画素の相対的位置の種類がモアレの周期に含まれる画素
数だけあることを利用する。欠陥除去処理で求めたモア
レ画像データｆ（ｎ）の全画素について各相対的位置に
おける画素値を補間によって求める。これらの画素値を
同一アドレス毎に平均することによって、画素値の相対
的位置に依存する周期性を解消し、モアレを除去する。
図１６に、図１４の欠陥成分除去後のモアレ画像データ
ｆ（ｎ）に対して、全画素の各相対的位置における画素
値を補間して求めた例を示す。黒丸が元の画素データ列
の画素値、白丸が補間によって求めた各相対的位置にお
ける画素値である。この各画素ごとに全ての相対的位置
（同一アドレス）における画素値を平均することによっ
てモアレを含まない画素値を決定する。モアレの周期を
ｍ画素、モアレを含むモアレ画像データをｆ（ｎ）とす
ると、平均化処理によって求められる平滑画素データＦ
（ｎ）は式（６）で示される。
画素の相対的位置の種類がモアレの周期に含まれる画素
数だけあることを利用する。欠陥除去処理で求めたモア
レ画像データｆ（ｎ）の全画素について各相対的位置に
おける画素値を補間によって求める。これらの画素値を
同一アドレス毎に平均することによって、画素値の相対
的位置に依存する周期性を解消し、モアレを除去する。
図１６に、図１４の欠陥成分除去後のモアレ画像データ
ｆ（ｎ）に対して、全画素の各相対的位置における画素
値を補間して求めた例を示す。黒丸が元の画素データ列
の画素値、白丸が補間によって求めた各相対的位置にお
ける画素値である。この各画素ごとに全ての相対的位置
（同一アドレス）における画素値を平均することによっ
てモアレを含まない画素値を決定する。モアレの周期を
ｍ画素、モアレを含むモアレ画像データをｆ（ｎ）とす
ると、平均化処理によって求められる平滑画素データＦ
（ｎ）は式（６）で示される。
【００２３】
【数３】 図１７に平均化処理によって求めた平滑画像データＦ
（ｎ）の概念図を示す。本発明の加算処理部において
は、モアレが除去された平滑画像データＦ（ｎ）と欠陥
画像データＪ（ｎ）を加算し、検査用画像データＨ
（ｎ）を求める。画素列データＨ（ｎ）は、式（７）で
示される。
（ｎ）の概念図を示す。本発明の加算処理部において
は、モアレが除去された平滑画像データＦ（ｎ）と欠陥
画像データＪ（ｎ）を加算し、検査用画像データＨ
（ｎ）を求める。画素列データＨ（ｎ）は、式（７）で
示される。
【００２４】 Ｈ（ｎ）＝Ｆ（ｎ）＋Ｊ（ｎ） ・・・（７） 図１８に加算処理部で求めた画素列データＨ（ｎ）の概
念図を示す。図１９に、図１０の結果にもちいた画像デ
ータに対してこの発明のモアレ除去処理を適用し、えら
れた画像データの画素値を縦方向（画像メモリのＹアド
レス方向）に加算した例を示す。画像データのランダム
ノイズによる画素値の変動はあるが、欠陥成分Ｐやシェ
ーディング成分Ｅが保持され、モアレは良好に低減され
ている。
念図を示す。図１９に、図１０の結果にもちいた画像デ
ータに対してこの発明のモアレ除去処理を適用し、えら
れた画像データの画素値を縦方向（画像メモリのＹアド
レス方向）に加算した例を示す。画像データのランダム
ノイズによる画素値の変動はあるが、欠陥成分Ｐやシェ
ーディング成分Ｅが保持され、モアレは良好に低減され
ている。
【００２５】
【発明の実施の形態】この発明の実施例について図１乃
至図３を参照して説明する。図１はフラットパネル画質
検査装置において、この発明による検査用画像取得方法
に関わる部分の構成を示す図である。この図１の各構成
部の基本動作を説明する。制御部１は、カメラ部３を除
く構成要素のデータ受け渡し制御または駆動制御をおこ
ない、具体的に以下の動作を実行する。
至図３を参照して説明する。図１はフラットパネル画質
検査装置において、この発明による検査用画像取得方法
に関わる部分の構成を示す図である。この図１の各構成
部の基本動作を説明する。制御部１は、カメラ部３を除
く構成要素のデータ受け渡し制御または駆動制御をおこ
ない、具体的に以下の動作を実行する。
【００２６】パネル駆動部２は、駆動信号を出力しフラ
ットパネル表示器８に所定の試験画像を表示させる。カ
メラ部３は、フラットパネル表示器８の明暗を撮影す
る。ＡＤ変換器４は、カメラ部３の出力信号をデジタル
の撮像画素データに変換する。
ットパネル表示器８に所定の試験画像を表示させる。カ
メラ部３は、フラットパネル表示器８の明暗を撮影す
る。ＡＤ変換器４は、カメラ部３の出力信号をデジタル
の撮像画素データに変換する。
【００２７】プリサンプリング処理部５は、ＡＤ変換さ
れた撮像画素データをフラットパネル表示器８の画素サ
イズを持つ表示画素データに変換する。モアレ除去処理
部６は、撮像画素データまたはプリサンプリング処理に
より得た表示画素データのモアレを除去する処理をおこ
なう。画像メモリ７は、撮像画素データ、表示画素デー
タおよびモアレ除去処理により生成される平滑曲線Ｉ
（ｎ）、モアレ画像データｆ（ｎ）、欠陥画像データＪ
（ｎ）、平滑画像データＦ（ｎ）等を各格納領域に格納
する。
れた撮像画素データをフラットパネル表示器８の画素サ
イズを持つ表示画素データに変換する。モアレ除去処理
部６は、撮像画素データまたはプリサンプリング処理に
より得た表示画素データのモアレを除去する処理をおこ
なう。画像メモリ７は、撮像画素データ、表示画素デー
タおよびモアレ除去処理により生成される平滑曲線Ｉ
（ｎ）、モアレ画像データｆ（ｎ）、欠陥画像データＪ
（ｎ）、平滑画像データＦ（ｎ）等を各格納領域に格納
する。
【００２８】図２はモアレ除去処理部６の構成要素を示
す図である。図２に示すモアレ除去処理部６は請求項１
で請求する画像取得方法に用いるモアレ除去処理部を示
す。従ってモアレの発生が一方向、つまりＹ軸方向かＸ
軸方向に限られる場合に用いられる実施例を示す。この
図の各構成要素について本実施例におけるモアレ除去処
理の動作を説明する。
す図である。図２に示すモアレ除去処理部６は請求項１
で請求する画像取得方法に用いるモアレ除去処理部を示
す。従ってモアレの発生が一方向、つまりＹ軸方向かＸ
軸方向に限られる場合に用いられる実施例を示す。この
図の各構成要素について本実施例におけるモアレ除去処
理の動作を説明する。
【００２９】欠陥除去処理部Ｍ１は、画像メモリ７から
読み出した表示画素データから縦または横方向（Ｙ軸方
向又はＸ軸方向）の画素列ごとに欠陥成分を除去し、図
１４に示したモアレ画像データｆ（ｎ）を求める。生成
したモアレ画像データｆ（ｎ）はモアレ成分画素メモリ
Ｍ２に格納される。差分処理部Ｍ３は、プリサンプリン
グ処理により得た表示画素データ（図１０）と、モアレ
成分画像メモリＭ２から読み出したモアレ画像データｆ
（ｎ）との差分処理をおこない図１５に示した欠陥画像
データＪ（ｎ）を求める。生成した欠陥画像データＪ
（ｎ）は欠陥成分画像メモリＭ４に格納される。
読み出した表示画素データから縦または横方向（Ｙ軸方
向又はＸ軸方向）の画素列ごとに欠陥成分を除去し、図
１４に示したモアレ画像データｆ（ｎ）を求める。生成
したモアレ画像データｆ（ｎ）はモアレ成分画素メモリ
Ｍ２に格納される。差分処理部Ｍ３は、プリサンプリン
グ処理により得た表示画素データ（図１０）と、モアレ
成分画像メモリＭ２から読み出したモアレ画像データｆ
（ｎ）との差分処理をおこない図１５に示した欠陥画像
データＪ（ｎ）を求める。生成した欠陥画像データＪ
（ｎ）は欠陥成分画像メモリＭ４に格納される。
【００３０】平均処理部Ｍ５は、モアレ成分画像メモリ
Ｍ２から読み出したモアレ画像データｆ（ｎ）に対し、
欠陥除去処理部Ｍ１における欠陥成分の除去方法と同一
の方向の各画素列毎に平均化をおこないモアレ成分を除
去した平滑画像データＦ（ｍ）（図１７）を求める。平
均処理部により生成した平滑画像データＦ（ｍ）は平滑
画像メモリＭ６に格納される。
Ｍ２から読み出したモアレ画像データｆ（ｎ）に対し、
欠陥除去処理部Ｍ１における欠陥成分の除去方法と同一
の方向の各画素列毎に平均化をおこないモアレ成分を除
去した平滑画像データＦ（ｍ）（図１７）を求める。平
均処理部により生成した平滑画像データＦ（ｍ）は平滑
画像メモリＭ６に格納される。
【００３１】加算処理部Ｍ７は、上記欠陥成分画像メモ
リから読み出した欠陥画像データＪ（ｎ）と、平滑画像
メモリＭ６から読み出したモアレ成分を除去した平滑画
像データＦ（ｎ）を加算した検査用画像データＨ（ｎ）
（図１８）を求める。尚、請求項１では欠陥成分画像メ
モリＭ４と平滑画像メモリＭ６から直接欠陥画像データ
Ｊ（ｎ）と平滑画像データＦ（ｎ）を検査用画像データ
として出力する場合を請求するものである。
リから読み出した欠陥画像データＪ（ｎ）と、平滑画像
メモリＭ６から読み出したモアレ成分を除去した平滑画
像データＦ（ｎ）を加算した検査用画像データＨ（ｎ）
（図１８）を求める。尚、請求項１では欠陥成分画像メ
モリＭ４と平滑画像メモリＭ６から直接欠陥画像データ
Ｊ（ｎ）と平滑画像データＦ（ｎ）を検査用画像データ
として出力する場合を請求するものである。
【００３２】図３は、この発明における請求項１で提案
する検査用画像取得方法の処理工程の例を示す図であ
る。この図の各処理工程について処理の内容を説明す
る。工程Ｂ１は、フラットパネル表示器８に適宜定めた
試験画像を表示する。工程Ｂ２は、固体撮像素子が内蔵
されたカメラ部３によりフラットパネル表示器８の明暗
を撮影する。
する検査用画像取得方法の処理工程の例を示す図であ
る。この図の各処理工程について処理の内容を説明す
る。工程Ｂ１は、フラットパネル表示器８に適宜定めた
試験画像を表示する。工程Ｂ２は、固体撮像素子が内蔵
されたカメラ部３によりフラットパネル表示器８の明暗
を撮影する。
【００３３】工程Ｂ３は、カメラ部３の出力信号にＡＤ
変換器４を適用したデジタルの撮像画素データに変換す
る。工程Ｂ４は、工程Ｂ３で得た撮像画素データをプリ
サンプリング処理し、表示画素サイズを持つ表示画素デ
ータに変換する。工程Ｂ５は、工程Ｂ４で得た表示画像
データを画像メモリ７に格納する。
変換器４を適用したデジタルの撮像画素データに変換す
る。工程Ｂ４は、工程Ｂ３で得た撮像画素データをプリ
サンプリング処理し、表示画素サイズを持つ表示画素デ
ータに変換する。工程Ｂ５は、工程Ｂ４で得た表示画像
データを画像メモリ７に格納する。
【００３４】工程Ｂ６は、工程Ｂ５の画像メモリ７から
読み出した表示画素データを縦（Ｙ軸方向）または横方
向（Ｘ軸方向）の各画素列ごとにモアレの周期ｍ画素の
間隔でメディアン処理して、欠陥成分が除去されたモア
レ画像データｆ（ｎ）を求める。工程Ｂ７は、工程Ｂ６
で求めたモアレ画像データｆ（ｎ）をモアレ成分画像メ
モリＭ２に格納する。
読み出した表示画素データを縦（Ｙ軸方向）または横方
向（Ｘ軸方向）の各画素列ごとにモアレの周期ｍ画素の
間隔でメディアン処理して、欠陥成分が除去されたモア
レ画像データｆ（ｎ）を求める。工程Ｂ７は、工程Ｂ６
で求めたモアレ画像データｆ（ｎ）をモアレ成分画像メ
モリＭ２に格納する。
【００３５】工程Ｂ８は、モアレ成分画像メモリＭ２か
らモアレ画像データｆ（ｎ）を読み出し、工程Ｂ５の画
像メモリ７から読み出した表示画素データとの差分をと
り欠陥画像データＪ（ｎ）を求める。工程Ｂ９は、工程
Ｂ８で得た欠陥画像データＪ（ｎ）を欠陥成分画像メモ
リＭ４に格納する。
らモアレ画像データｆ（ｎ）を読み出し、工程Ｂ５の画
像メモリ７から読み出した表示画素データとの差分をと
り欠陥画像データＪ（ｎ）を求める。工程Ｂ９は、工程
Ｂ８で得た欠陥画像データＪ（ｎ）を欠陥成分画像メモ
リＭ４に格納する。
【００３６】工程Ｂ１０は、モアレ成分画像メモリＭ２
からモアレ成分画素データｆ（ｎ）を読み出し、工程Ｂ
６におけるメディアン処理と同一方向の画素列ごとに例
えば重み付け平均処理してモアレを除去した平滑画像デ
ータｆ（ｎ）を求める。工程Ｂ１１は、工程Ｂ１０で得
たモアレを除去した平滑画像データＦ（ｎ）を平滑画像
メモリＭ６に格納する。
からモアレ成分画素データｆ（ｎ）を読み出し、工程Ｂ
６におけるメディアン処理と同一方向の画素列ごとに例
えば重み付け平均処理してモアレを除去した平滑画像デ
ータｆ（ｎ）を求める。工程Ｂ１１は、工程Ｂ１０で得
たモアレを除去した平滑画像データＦ（ｎ）を平滑画像
メモリＭ６に格納する。
【００３７】工程Ｂ１２は、欠陥画像メモリＭ４と平滑
画像メモリＭ６から欠陥画像データＪ（ｎ）とモアレを
除去した平滑画像データＦ（ｎ）を読みだし、双方の画
像データを加算処理する。工程Ｂ１３は、工程Ｂ１２で
求めた画像データＨ（ｎ）を画像メモリ７に格納する。
画像メモリＭ６から欠陥画像データＪ（ｎ）とモアレを
除去した平滑画像データＦ（ｎ）を読みだし、双方の画
像データを加算処理する。工程Ｂ１３は、工程Ｂ１２で
求めた画像データＨ（ｎ）を画像メモリ７に格納する。
【００３８】図４は請求項２で提案したフラットパネル
表示器検査用画像取得方法を実現するための装置の実施
例を示す。この実施例ではモアレ除去処理部６がＹ軸方
向とＸ軸方向の両方向に関してモアレを除去する処理を
行なう点を特徴としている。従ってモアレ除去処理部６
では図５に示すように平均化処理部がＭ５−１とＭ５−
２の２段設けられ、一方の平均化処理部Ｍ５−１はＹ軸
方向の平均化処理を実行し、他方の平均化処理部Ｍ５−
２はＸ軸方向の平均化処理を実行する。Ｙ軸方向の平均
化処理とＸ軸方向の平均化処理の順序はどちらを先に実
行しても結果は同じである。
表示器検査用画像取得方法を実現するための装置の実施
例を示す。この実施例ではモアレ除去処理部６がＹ軸方
向とＸ軸方向の両方向に関してモアレを除去する処理を
行なう点を特徴としている。従ってモアレ除去処理部６
では図５に示すように平均化処理部がＭ５−１とＭ５−
２の２段設けられ、一方の平均化処理部Ｍ５−１はＹ軸
方向の平均化処理を実行し、他方の平均化処理部Ｍ５−
２はＸ軸方向の平均化処理を実行する。Ｙ軸方向の平均
化処理とＸ軸方向の平均化処理の順序はどちらを先に実
行しても結果は同じである。
【００３９】図６に請求項２で提案したフラットパネル
表示器検査用画像取得方法の処理工程を示すが、図３と
異なる点は工程Ｃ１０とＣ１１でＹ軸方向の画素データ
列とＸ軸方向の画素データに別に平均化処理を施す点で
あり、その他の工程は図３と同じである。図７は請求項
４で提案したフラットパネル表示器検査用画像取得方法
の処理工程を示す。この処理工程では工程Ｄ１２に示す
プリサンプリング処理をモアレ除去処理の後に行なう点
が図３の場合と異なる点である。従ってモアレ除去処理
は撮像画素データを処理して実行される。モアレ除去処
理の方法はＹ軸方向又はＸ軸方向の何れか一方をモアレ
除去対象としている点は図３の場合と全く同じである。
表示器検査用画像取得方法の処理工程を示すが、図３と
異なる点は工程Ｃ１０とＣ１１でＹ軸方向の画素データ
列とＸ軸方向の画素データに別に平均化処理を施す点で
あり、その他の工程は図３と同じである。図７は請求項
４で提案したフラットパネル表示器検査用画像取得方法
の処理工程を示す。この処理工程では工程Ｄ１２に示す
プリサンプリング処理をモアレ除去処理の後に行なう点
が図３の場合と異なる点である。従ってモアレ除去処理
は撮像画素データを処理して実行される。モアレ除去処
理の方法はＹ軸方向又はＸ軸方向の何れか一方をモアレ
除去対象としている点は図３の場合と全く同じである。
【００４０】図８は請求項５で提案したフラットパネル
表示器検査用画像取得方法を実現する処理工程を示す。
図８に示す処理工程では工程Ｅ１３に示すプリサンプリ
ング処理をモアレ処理工程の後に実行する点と、モアレ
除去の対象とする方向をＹ軸方向とＸ軸方向の両方向と
している点が図３の場合と異なる点である。その他の工
程は図３及び図７と全く同じである。
表示器検査用画像取得方法を実現する処理工程を示す。
図８に示す処理工程では工程Ｅ１３に示すプリサンプリ
ング処理をモアレ処理工程の後に実行する点と、モアレ
除去の対象とする方向をＹ軸方向とＸ軸方向の両方向と
している点が図３の場合と異なる点である。その他の工
程は図３及び図７と全く同じである。
【００４１】以上説明したように、この発明によるフラ
ットパネル表示器検査用画像取得方法はプリサンプリン
グ処理の後にモアレ除去処理を行なうか又はプリサンプ
リング処理の前にモアレ除去処理を行なうかの違いと、
モアレ除去を行なう方向をＹ軸とＸ軸の何れか一方であ
るか両方向であるかの違いの組合せである。従ってこの
発明によるフラットパネル表示器検査用画像取得方法を
実現する画像取得装置の構成としては図１に示した構成
に加えて、図２に示したモアレ除去処理部６Ａの構成
と、図５に示したモアレ除去処理部６Ｂが存在すれば全
ての画像取得方法に対応することができる。
ットパネル表示器検査用画像取得方法はプリサンプリン
グ処理の後にモアレ除去処理を行なうか又はプリサンプ
リング処理の前にモアレ除去処理を行なうかの違いと、
モアレ除去を行なう方向をＹ軸とＸ軸の何れか一方であ
るか両方向であるかの違いの組合せである。従ってこの
発明によるフラットパネル表示器検査用画像取得方法を
実現する画像取得装置の構成としては図１に示した構成
に加えて、図２に示したモアレ除去処理部６Ａの構成
と、図５に示したモアレ除去処理部６Ｂが存在すれば全
ての画像取得方法に対応することができる。
【００４２】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれば
フラットパネル表示器の画素数と撮像素子の画素数が非
整数倍の関係であってもモアレを除去して平滑化された
画像データを得ることができるから、フラットパネル表
示器の高精細化が進んでも、限界以上に画素数を持つ撮
像素子を用意しなくてもフラットパネル表示器を精度よ
く検査できる実益が得られる。
フラットパネル表示器の画素数と撮像素子の画素数が非
整数倍の関係であってもモアレを除去して平滑化された
画像データを得ることができるから、フラットパネル表
示器の高精細化が進んでも、限界以上に画素数を持つ撮
像素子を用意しなくてもフラットパネル表示器を精度よ
く検査できる実益が得られる。
【図１】この発明の請求項１で提案したフラットパネル
表示器検査用画像取得方法を実現するための画像取得装
置の一例を説明するためのブロック図。
表示器検査用画像取得方法を実現するための画像取得装
置の一例を説明するためのブロック図。
【図２】図１に示した画像取得装置に用いるモアレ除去
処理部の内部の構成の一例を示すブロック図。
処理部の内部の構成の一例を示すブロック図。
【図３】この発明の請求項１で提案したフラットパネル
表示器検査用画像取得方法の処理工程を説明するための
流れ図。
表示器検査用画像取得方法の処理工程を説明するための
流れ図。
【図４】この発明の請求項２で提案したフラットパネル
表示器検査用画像取得方向を実現する画像取得装置の実
施例を示すブロック図。
表示器検査用画像取得方向を実現する画像取得装置の実
施例を示すブロック図。
【図５】図４に示した画像取得装置に用いたモアレ除去
処理部の内部の構成を説明するためのブロック図。
処理部の内部の構成を説明するためのブロック図。
【図６】この発明の請求項２で提案したフラットパネル
表示器検査用画像取得方法を説明するための処理工程を
示す流れ図。
表示器検査用画像取得方法を説明するための処理工程を
示す流れ図。
【図７】この発明の請求項４で提案したフラットパネル
表示器検査用画像取得方法を説明するための処理工程を
示す流れ図。
表示器検査用画像取得方法を説明するための処理工程を
示す流れ図。
【図８】この発明の請求項５で提案したフラットパネル
表示器検査用画像取得方法を説明するための処理工程を
示す流れ図。
表示器検査用画像取得方法を説明するための処理工程を
示す流れ図。
【図９】従来の技術を説明するためのブロック図。
【図１０】従来の技術の不都合を説明するためのグラ
フ。
フ。
【図１１】図１０と同様のグラフ。
【図１２】従来の技術で発生するモアレの発生状況を説
明するためのグラフ。
明するためのグラフ。
【図１３】この発明の作用を説明するためのグラフ。
【図１４】図１３と同様のグラフ。
【図１５】この発明の差分処理部で得られる欠陥画像デ
ータの概念を説明するためのグラフ。
ータの概念を説明するためのグラフ。
【図１６】この発明のモアレ除去処理部で実行される補
間処理の様子を説明するためのグラフ。
間処理の様子を説明するためのグラフ。
【図１７】図１６で求めた補間処理後に実行する平均化
処理によって得られた平滑画像データの概念を説明する
ためのグラフ。
処理によって得られた平滑画像データの概念を説明する
ためのグラフ。
【図１８】この発明の画像取得方法で得られた検査用画
像データの概念を説明するためのグラフ。
像データの概念を説明するためのグラフ。
【図１９】この発明の画像取得方法によって得られた検
査用画像データの様子を示すグラフ。
査用画像データの様子を示すグラフ。
１ 制御部 ２ パネル駆動部 ３ カメラ部 ４ ＡＤ変換器 ５ プリサンプリング処理部 ６Ａ Ｙ軸方向又はＸ軸方向のモアレ除去処理部 ６Ｂ Ｙ軸方向及びＸ軸方向のモアレ除去処理部 ７ 画像メモリ ８ フラットパネル表示器 Ｍ１ 欠陥除去処理部 Ｍ２ モアレ成分画像メモリ Ｍ３ 差分処理部 Ｍ４ 欠陥成分画像メモリ Ｍ５ 平均化処理部 Ｍ６ 平滑画像メモリ Ｍ７ 加算処理部
Claims (10)
- 【請求項１】 検査すべきフラットパネル表示器に検査
用画像を表示させ、この検査用画像を固体撮像素子を具
備したカメラ部によって撮像し、その撮像信号をＡＤ変
換して上記固体撮像素子の画素サイズに対応した画素値
を持つ撮像画素データに変換すると共に、この撮像画素
データをプリサンプリング処理により上記フラットパネ
ル表示器の画素サイズに対応した画素値を持つ表示画素
データに変換し、この表示画素データを上記フラットパ
ネル表示器検査用画像信号として画像メモリに格納する
フラットパネル表示器検査用画像取得方法において、 上記画像メモリに格納した上記表示画素データに発生す
るＸ軸方向とＹ軸方向の何れか一方のモアレの周期を検
出し、このモアレの発生周期に対応する上記表示画素数
の周期に対応した間隔で収集したデータ列をモアレの周
期に含まれる表示画素数に従って複数取得し、各データ
列の画素値を平滑化して欠陥成分を除去したモアレ成分
画像データを取得する工程と、 このモアレ成分画像データと上記表示画素データとの差
を求めて欠陥成分を抽出し、欠陥画像データを求める工
程と、 この欠陥画像データを欠陥画像メモリに格納する工程
と、 上記各モアレ成分画像データの各データ列の画素値を持
たない画素に補間により画素値を与え、上記モアレ成分
画像データ列の相互の平均値を求めてモアレを除去した
平滑画像データを算出する工程と、 この平滑画像データを平滑画像メモリに格納する工程と
を含み、これら欠陥画像メモリに格納した欠陥画像デー
タ及び平滑画像メモリに格納した平滑画像データを検査
用画像データとして保持することを特徴とするフラット
パネル表示器検査用画像取得方法。 - 【請求項２】 請求項１記載のフラットパネル表示器検
査用画像取得方法において、上記モアレ成分画像データ
を取得する工程をＸ軸方向及びＹ軸方向の両方向に関し
て実行し、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に発生するモアレを除
去した検査用画像データを取得することを特徴としたフ
ラットパネル表示器検査用画像取得方法。 - 【請求項３】 請求項１又は２記載のフラットパネル表
示器検査用画像取得方法の何れかにおいて、上記欠陥画
像データと平滑画像データとを加算し、その加算結果を
上記フラットパネル表示器の検査用画像として画像メモ
リに格納することを特徴とするフラットパネル表示器検
査用画像取得方法。 - 【請求項４】 請求項１記載のフラットパネル表示器検
査用画像取得方法において、上記モアレ成分画像データ
を取得する工程と、欠陥画像データを取得する工程と、
平滑画像データを算出する工程をプリサンプリング処理
の前に実行することを特徴とするフラットパネル表示器
検査用画像取得方法。 - 【請求項５】 請求項４記載のフラットパネル表示器検
査用画像取得方法において、上記モアレ成分画像データ
を取得する工程をＸ軸方向とＹ軸方向の両方向に関して
実行し、Ｘ軸方向とＹ軸方向に発生するモアレを除去し
た検査用画像データを取得することを特徴とするフラッ
トパネル表示器検査用画像取得方法。 - 【請求項６】 Ａ．検査すべきフラットパネル表示器に
所定の試験画像を表示するパネル駆動部と、 Ｂ．上記フラットパネル表示器に表示された試験画像を
明暗画像データとして取り出すカメラ部と、 Ｃ．このカメラ部の出力信号をデジタルの明暗画像デー
タから成る撮像画素データに変換するＡＤ変換器と、 Ｄ．ＡＤ変換されて得られた撮像画素データを上記フラ
ットパネル表示器の画素サイズの画素値を持つ表示画素
データに変換するプリサンプリング処理部と、 Ｅ．このプリサンプリング処理部で得られた表示画素デ
ータに発生するモアレを除去するモアレ除去処理部と、 Ｆ．このモアレ除去処理部でモアレが除去された表示画
素データを格納する画像メモリと、 Ｇ．上記カメラ部を除く上記各構成要素のデータの受け
渡し制御及び駆動制御を実行する制御部と、によって構
成したことを特徴とするフラットパネル表示器検査用画
像取得装置。 - 【請求項７】 請求項６記載のフラットパネル表示器検
査用画像取得装置において、上記モアレ除去処理部が、 Ａ．上記プリサンプリング処理部で得られる表示画素デ
ータのＸ軸方向又はＹ軸方向のデータ列からモアレの周
期に対応した間隔で収集したデータの画素値を平滑して
欠陥成分を除去したモアレ成分画像データを求める欠陥
除去処理部と、 Ｂ．この欠陥除去処理部で得られた上記モアレ成分画像
データを格納するモアレ成分画像メモリと、 Ｃ．上記表示画素データと上記モアレ成分画像データと
の差を求め欠陥画像データを得る差分処理部と、 Ｄ．この差分処理部で得られる欠陥画像データを格納す
る欠陥画像メモリと、 Ｅ．上記モアレ成分画像メモリに格納したモアレ成分画
像データをＸ軸方向又はＹ軸方向の各データ列の相互間
で平均化し、モアレ成分を除去した平滑画像データを求
める平均化処理部と、 Ｆ．この平均化処理部で得られる平滑画像データを格納
する平滑画像メモリと、によって構成したことを特徴と
するフラットパネル表示器検査用画像取得装置。 - 【請求項８】 請求項７記載のフラットパネル表示器検
査用画像取得装置において、上記欠陥除去処理部はＸ軸
方向の欠陥除去処理に続いてＹ軸方向の欠陥除去処理を
実行し、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に発生したモアレを除去
する構成としたことを特徴とするフラットパネル表示器
検査用画像取得装置。 - 【請求項９】 請求項６記載のフラットパネル表示器検
査用画像取得装置において、 上記モアレ除去処理部が、 Ａ．上記ＡＤ変換器が出力する撮像画素データのＸ軸方
向又はＹ軸方向のデータ列からモアレの周期に対応した
間隔で収集したデータの画素値を平滑して欠陥成分を除
去したモアレ成分画像データを求める欠陥除去処理部
と、 Ｂ．この欠陥除去処理部で得られた上記モアレ成分画像
データを格納するモアレ成分画像メモリと、 Ｃ．上記表示画素データと上記モアレ成分画像データと
の差を求め欠陥画像データを得る差分処理部と、 Ｄ．この差分処理部で得られる欠陥画像データを格納す
る欠陥画像メモリと、 Ｅ．上記モアレ成分画像メモリに格納したモアレ成分画
像データをＸ軸方向又はＹ軸方向の各データ列の相互間
で平均化し、モアレ成分を除去した平滑画像データを求
める平均化処理部と、 Ｆ．この平均化処理部で得られる平滑画像データを格納
する平滑画像メモリと、 Ｇ．この平滑画像メモリに格納した平滑画像データと、
上記欠陥画像メモリに格納した欠陥画像データを加算す
る加算処理部と、によって構成され、 この加算処理部で加算した加算画像データをプリサンプ
リング処理し、上記フラットパネル表示器の画素サイズ
に対応した画素値を持つ表示画素データに変換し、検査
用画像データを取得することを特徴とするフラットパネ
ル表示器検査用画像取得装置。 - 【請求項１０】 請求項９記載のフラットパネル表示器
検査用画像取得装置において、 上記欠陥除去処理部はＸ軸方向の欠陥除去処理に続いて
Ｙ軸方向の欠陥除去処理を実行し、Ｘ軸方向及びＹ軸方
向に発生したモアレを除去する構成としたことを特徴と
するフラットパネル表示器検査用画像取得装置。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15567598A JP3828283B2 (ja) | 1998-06-04 | 1998-06-04 | フラットパネル表示器検査用画像取得方法、フラットパネル表示器検査用画像取得装置 |
| KR1019990020433A KR20000005880A (ko) | 1998-06-04 | 1999-06-03 | 플랫패널·디스플레이검사용화상취득방법및장치 |
| KR1019990020540A KR100298466B1 (ko) | 1998-06-04 | 1999-06-03 | 플랫패널·디스플레이 검사용 화상취득방법 및 장치 |
| TW088109326A TW436620B (en) | 1998-06-04 | 1999-06-04 | Image acquisition method and device for inspecting flat panel display |
| US09/326,009 US6362802B1 (en) | 1998-06-04 | 1999-06-04 | Method and apparatus for acquiring an image for inspection of a flat panel display |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15567598A JP3828283B2 (ja) | 1998-06-04 | 1998-06-04 | フラットパネル表示器検査用画像取得方法、フラットパネル表示器検査用画像取得装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11352011A true JPH11352011A (ja) | 1999-12-24 |
| JP3828283B2 JP3828283B2 (ja) | 2006-10-04 |
Family
ID=15611128
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15567598A Expired - Fee Related JP3828283B2 (ja) | 1998-06-04 | 1998-06-04 | フラットパネル表示器検査用画像取得方法、フラットパネル表示器検査用画像取得装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6362802B1 (ja) |
| JP (1) | JP3828283B2 (ja) |
| KR (2) | KR20000005880A (ja) |
| TW (1) | TW436620B (ja) |
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| JP4277448B2 (ja) * | 1998-07-22 | 2009-06-10 | 株式会社ニコン | マーク検知方法及びマーク検知装置 |
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| KR102224260B1 (ko) | 2019-12-31 | 2021-03-05 | 고려대학교 산학협력단 | 딥러닝 기반 무아레 패턴 제거 방법, 이를 수행하기 위한 기록 매체 및 장치 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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1998
- 1998-06-04 JP JP15567598A patent/JP3828283B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1999
- 1999-06-03 KR KR1019990020433A patent/KR20000005880A/ko not_active Ceased
- 1999-06-03 KR KR1019990020540A patent/KR100298466B1/ko not_active Expired - Fee Related
- 1999-06-04 US US09/326,009 patent/US6362802B1/en not_active Expired - Fee Related
- 1999-06-04 TW TW088109326A patent/TW436620B/zh not_active IP Right Cessation
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| TW436620B (en) | 2001-05-28 |
| KR20000005880A (ko) | 2000-01-25 |
| KR20000005895A (ko) | 2000-01-25 |
| US6362802B1 (en) | 2002-03-26 |
| KR100298466B1 (ko) | 2001-09-22 |
| JP3828283B2 (ja) | 2006-10-04 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
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|
| RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20051109 |
|
| A977 | Report on retrieval |
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|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
| A521 | Written amendment |
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|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060620 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |