JPH11354026A - カラーフィルターの形成方法 - Google Patents
カラーフィルターの形成方法Info
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- JPH11354026A JPH11354026A JP16240098A JP16240098A JPH11354026A JP H11354026 A JPH11354026 A JP H11354026A JP 16240098 A JP16240098 A JP 16240098A JP 16240098 A JP16240098 A JP 16240098A JP H11354026 A JPH11354026 A JP H11354026A
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- Japan
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- layer
- forming
- pigment
- filter
- color
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- Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 カラー陰極線管等のカラーフィルターの形成
において、フィルター層の剥がれや脱落、混色をなく
し、ユニフォミティ劣化のない高輝度・高コントラスト
の表示を実現する。 【解決手段】 本発明では、フィルターパターン形成用
のフォトレジスト液に、水分散性の白色粉体を含有さ
せ、レジスト層の露光感度を高める。白色粉体として
は、平均粒径が0.01〜 0.5μm のものの使用が望まし
く、Ｔｉ酸化物、Ａｌ酸化物、Ｚｒ酸化物のような金属
酸化物の粉体や、ポリエチレンまたはポリスチレンのよ
うな有機ポリマー粉体を使用することができる。また、
白色粉体の含有割合は、フォトレジスト液の全量に対し
て 0.1〜 1.0重量％とすることが望ましい。
において、フィルター層の剥がれや脱落、混色をなく
し、ユニフォミティ劣化のない高輝度・高コントラスト
の表示を実現する。 【解決手段】 本発明では、フィルターパターン形成用
のフォトレジスト液に、水分散性の白色粉体を含有さ
せ、レジスト層の露光感度を高める。白色粉体として
は、平均粒径が0.01〜 0.5μm のものの使用が望まし
く、Ｔｉ酸化物、Ａｌ酸化物、Ｚｒ酸化物のような金属
酸化物の粉体や、ポリエチレンまたはポリスチレンのよ
うな有機ポリマー粉体を使用することができる。また、
白色粉体の含有割合は、フォトレジスト液の全量に対し
て 0.1〜 1.0重量％とすることが望ましい。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、カラーフィルター
の形成方法に係わり、特にカラー陰極線管などのフェー
スパネルの内面にカラーフィルターを形成する方法に関
する。
の形成方法に係わり、特にカラー陰極線管などのフェー
スパネルの内面にカラーフィルターを形成する方法に関
する。
【０００２】
【従来の技術】従来から、カラー陰極線管において、蛍
光体層の前面すなわちフェースプレートのパネル（フェ
ースパネル）内面の蛍光体層との間に、蛍光体の発光色
に対応したフィルター層を設けて、フィルター付き蛍光
体層とすることが知られている。すなわち、カラー陰極
線管のフェースパネルの内面には、青、緑、赤の各色の
ドット状やストライプ状の蛍光体層が形成され、この蛍
光体層に電子ビームが衝突することにより、蛍光体が各
色に発光して画像表示がなされている。そしてフィルタ
ー付き蛍光体層は、フェースパネルと蛍光体層との間
に、蛍光体層の発光色と同色の光を透過する各色の顔料
層から構成されるフィルターパターンを設けたもので、
入射した外光のうち緑や青成分の光は赤色顔料層で、緑
や赤成分の光は青色顔料層で、青や赤成分の光は緑顔料
層でそれぞれ吸収させ、コントラストや色純度等の画像
特性を向上させようとするものである。
光体層の前面すなわちフェースプレートのパネル（フェ
ースパネル）内面の蛍光体層との間に、蛍光体の発光色
に対応したフィルター層を設けて、フィルター付き蛍光
体層とすることが知られている。すなわち、カラー陰極
線管のフェースパネルの内面には、青、緑、赤の各色の
ドット状やストライプ状の蛍光体層が形成され、この蛍
光体層に電子ビームが衝突することにより、蛍光体が各
色に発光して画像表示がなされている。そしてフィルタ
ー付き蛍光体層は、フェースパネルと蛍光体層との間
に、蛍光体層の発光色と同色の光を透過する各色の顔料
層から構成されるフィルターパターンを設けたもので、
入射した外光のうち緑や青成分の光は赤色顔料層で、緑
や赤成分の光は青色顔料層で、青や赤成分の光は緑顔料
層でそれぞれ吸収させ、コントラストや色純度等の画像
特性を向上させようとするものである。
【０００３】このようなフィルターパターンを形成する
には、パネルの内面に顔料分散液を塗布して顔料層を形
成した後、その上にフォトレジスト液を塗布し、露光次
いで現像を行なうことでパターニングする方法が採られ
ている。このとき、フィルター層のパターンとして残す
べき箇所には、ガラスパネルとの付着性が要求され、そ
れ以外の箇所にはパネルからの剥離性が要求される。ま
た、顔料層においては透明性が必要とされ、顔料粒子が
凝集することなく均一に分散していることも要求され
る。
には、パネルの内面に顔料分散液を塗布して顔料層を形
成した後、その上にフォトレジスト液を塗布し、露光次
いで現像を行なうことでパターニングする方法が採られ
ている。このとき、フィルター層のパターンとして残す
べき箇所には、ガラスパネルとの付着性が要求され、そ
れ以外の箇所にはパネルからの剥離性が要求される。ま
た、顔料層においては透明性が必要とされ、顔料粒子が
凝集することなく均一に分散していることも要求され
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うなフィルターパターンの形成においては、レジスト塗
膜を露光し硬化させる際の照度、配光、補正フィルター
の有無、マスク孔径等により、ドット状等に形成される
フィルター層のサイズ（ドットサイズ）に大きな差が生
ずる。特に、表示有効面のコーナー部では、露光時の照
度が低いので、ドットサイズを大きくすることが難し
く、２色以上の顔料層の重なり合うという、混色が生じ
易かった。
うなフィルターパターンの形成においては、レジスト塗
膜を露光し硬化させる際の照度、配光、補正フィルター
の有無、マスク孔径等により、ドット状等に形成される
フィルター層のサイズ（ドットサイズ）に大きな差が生
ずる。特に、表示有効面のコーナー部では、露光時の照
度が低いので、ドットサイズを大きくすることが難し
く、２色以上の顔料層の重なり合うという、混色が生じ
易かった。
【０００５】そして、このようなドットサイズや濃度の
不均一等の欠陥を有するカラーフィルター付きの陰極線
管では、ボディカラーの不適切や輝度むら、コントラス
トの低下等が生じ易いという問題があった。また、ホワ
イトユニフォミティ品位が劣化して実用上好ましくなか
った。
不均一等の欠陥を有するカラーフィルター付きの陰極線
管では、ボディカラーの不適切や輝度むら、コントラス
トの低下等が生じ易いという問題があった。また、ホワ
イトユニフォミティ品位が劣化して実用上好ましくなか
った。
【０００６】本発明は、これらの問題を解決するために
なされたもので、カラー陰極線管等において、フィルタ
ー層の剥がれや脱落、混色をなくし、ユニフォミティ劣
化のない高輝度・高コントラストの表示が得られるカラ
ーフィルターの形成方法を提供することを目的とする。
なされたもので、カラー陰極線管等において、フィルタ
ー層の剥がれや脱落、混色をなくし、ユニフォミティ劣
化のない高輝度・高コントラストの表示が得られるカラ
ーフィルターの形成方法を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明のカラーフィルタ
ーの形成方法は、パネルの内面に複数色のフィルター層
を所定のパターンで配列したカラーフィルターを形成す
るにあたり、各色のフィルター層の形成工程が、前記パ
ネル内面に顔料層を形成する工程と、前記顔料層の上
に、フォトレジストを主成分とし水分散性の白色粉体を
含むフォトレジスト液を塗布し乾燥する工程と、前記工
程で形成された塗膜を所定のパターンを用いて露光する
工程と、現像する工程とを備えたことを特徴とする。
ーの形成方法は、パネルの内面に複数色のフィルター層
を所定のパターンで配列したカラーフィルターを形成す
るにあたり、各色のフィルター層の形成工程が、前記パ
ネル内面に顔料層を形成する工程と、前記顔料層の上
に、フォトレジストを主成分とし水分散性の白色粉体を
含むフォトレジスト液を塗布し乾燥する工程と、前記工
程で形成された塗膜を所定のパターンを用いて露光する
工程と、現像する工程とを備えたことを特徴とする。
【０００８】以下、それぞれの内容についてさらに詳細
に説明する。
に説明する。
【０００９】本発明に係わる顔料としては、無機系また
は有機系のいずれの顔料をも使用することができる。特
に、フィルター層中に均一に分散することができ、光の
散乱を起こすことなくフィルター層が十分な透明性を有
するようにできる顔料の使用が好ましい。また、カラー
陰極線管の製造では、高温工程を含むので、無機系の顔
料の使用が好ましい。
は有機系のいずれの顔料をも使用することができる。特
に、フィルター層中に均一に分散することができ、光の
散乱を起こすことなくフィルター層が十分な透明性を有
するようにできる顔料の使用が好ましい。また、カラー
陰極線管の製造では、高温工程を含むので、無機系の顔
料の使用が好ましい。
【００１０】具体的な例として、以下の顔料を例示する
ことが出来る。
ことが出来る。
【００１１】赤の顔料として、酸化第二鉄系の顔料であ
るシコトランスレッドL-2817（ＢＡＳＦ社の商品名、粒
子径0.01〜0.02μm ）、アントラキノン系の顔料である
クロモファータルレッド A2B（チバガイギー社の商品
名、粒子径0.01μm ）、青の顔料として、アルミン酸コ
バルト（Ａｌ2 Ｏ3 −ＣｏＯ）系の顔料であるコバルト
ブルーX （東洋顔料株式会社の商品名、粒子径0.01〜0.
02μm ）、群青系の顔料である群青 No.8000（第一化成
株式会社の商品名、粒子径0.03μm ）、フタロシアニン
ブルー系の顔料であるリオノールブルー FG-7370（東洋
インキ株式会社の商品名、粒子径0.01μm ）、緑の顔料
として、ＴｉＯ2 −ＮｉＯ−ＣｏＯ−ＺｎＯ系の顔料で
あるダイピロキサイドTM−グリーン＃3320（大日精化株
式会社の商品名、粒子径0.01〜0.02μm ）、ＣｏＯ−Ａ
ｌ2 Ｏ3 −Ｃｒ2 Ｏ3 系の顔料であるダイピロキサイド
TM−グリーン＃3420（大日精化株式会社の商品名、粒子
径0.01〜0.02μm ）、Ｃｒ2 Ｏ3 系の顔料であるND-801
（日本電工株式会社の商品名、粒子径0.35μm ）、塩素
化フタロシアニングリーン系の顔料であるファーストゲ
ングリーンS （大日本インキ株式会社の商品名、粒子径
0.01μm ）、臭素化フタロシアニングリーン系の顔料で
あるファーストゲングリーン 2YK（大日本インキ株式会
社の商品名、粒子径0.01μm ）等を例示することができ
る。
るシコトランスレッドL-2817（ＢＡＳＦ社の商品名、粒
子径0.01〜0.02μm ）、アントラキノン系の顔料である
クロモファータルレッド A2B（チバガイギー社の商品
名、粒子径0.01μm ）、青の顔料として、アルミン酸コ
バルト（Ａｌ2 Ｏ3 −ＣｏＯ）系の顔料であるコバルト
ブルーX （東洋顔料株式会社の商品名、粒子径0.01〜0.
02μm ）、群青系の顔料である群青 No.8000（第一化成
株式会社の商品名、粒子径0.03μm ）、フタロシアニン
ブルー系の顔料であるリオノールブルー FG-7370（東洋
インキ株式会社の商品名、粒子径0.01μm ）、緑の顔料
として、ＴｉＯ2 −ＮｉＯ−ＣｏＯ−ＺｎＯ系の顔料で
あるダイピロキサイドTM−グリーン＃3320（大日精化株
式会社の商品名、粒子径0.01〜0.02μm ）、ＣｏＯ−Ａ
ｌ2 Ｏ3 −Ｃｒ2 Ｏ3 系の顔料であるダイピロキサイド
TM−グリーン＃3420（大日精化株式会社の商品名、粒子
径0.01〜0.02μm ）、Ｃｒ2 Ｏ3 系の顔料であるND-801
（日本電工株式会社の商品名、粒子径0.35μm ）、塩素
化フタロシアニングリーン系の顔料であるファーストゲ
ングリーンS （大日本インキ株式会社の商品名、粒子径
0.01μm ）、臭素化フタロシアニングリーン系の顔料で
あるファーストゲングリーン 2YK（大日本インキ株式会
社の商品名、粒子径0.01μm ）等を例示することができ
る。
【００１２】本発明において、これらの顔料からなるフ
ィルターパターンの形成は、例えば以下に示す手順で行
なわれる。
ィルターパターンの形成は、例えば以下に示す手順で行
なわれる。
【００１３】すなわち、まず前記した顔料と高分子電解
質分散剤とを主成分とする顔料分散液を、ブラックマト
リクスまたはブラックストライプを有するフェースパネ
ルの内面に塗布する。塗布方法としては、スピンコート
法、ローラー法、浸漬法などを用いることができ、パネ
ルの形状・大きさ等を考慮して適宜選択することができ
る。均一で所定の膜厚を得るには、スピンコート法を用
いることが好ましい。次いで塗膜を乾燥させるが、乾燥
方法としては、水分を揮発させるとともに、高分子電解
質塩中の塩の一部を解離させることができる方法であれ
ば、特に限定することなく、ヒーター乾燥、熱風による
乾燥、室温放置による長時間乾燥など、種々の方法を用
いることができる。
質分散剤とを主成分とする顔料分散液を、ブラックマト
リクスまたはブラックストライプを有するフェースパネ
ルの内面に塗布する。塗布方法としては、スピンコート
法、ローラー法、浸漬法などを用いることができ、パネ
ルの形状・大きさ等を考慮して適宜選択することができ
る。均一で所定の膜厚を得るには、スピンコート法を用
いることが好ましい。次いで塗膜を乾燥させるが、乾燥
方法としては、水分を揮発させるとともに、高分子電解
質塩中の塩の一部を解離させることができる方法であれ
ば、特に限定することなく、ヒーター乾燥、熱風による
乾燥、室温放置による長時間乾燥など、種々の方法を用
いることができる。
【００１４】次に、こうして形成された顔料層の上に、
フォトレジストを主成分とし、水分散性の白色粉体を含
むフォトレジスト液を塗布し乾燥する。ここで、感光性
成分であるフォトレジストとしては、重クロム酸アンモ
ニウム（ＡＤＣ）／ポリビニルアルコール（ＰＶＡ）、
重クロム酸ナトリウム（ＳＤＣ）／ＰＶＡ、ジアゾニウ
ム塩／ＰＶＡなどを使用することができる。
フォトレジストを主成分とし、水分散性の白色粉体を含
むフォトレジスト液を塗布し乾燥する。ここで、感光性
成分であるフォトレジストとしては、重クロム酸アンモ
ニウム（ＡＤＣ）／ポリビニルアルコール（ＰＶＡ）、
重クロム酸ナトリウム（ＳＤＣ）／ＰＶＡ、ジアゾニウ
ム塩／ＰＶＡなどを使用することができる。
【００１５】水分散性の白色粉体としては、前記したフ
ォトレジストと反応性を持たない、金属酸化物または有
機ポリマーの白色粉体を使用することが望ましい。金属
酸化物としては、Ｔｉ酸化物、Ａｌ酸化物、Ｚｒ酸化物
等が挙げられ、有機ポリマーとしてはポリエチレンまた
はポリスチレン等が挙げられる。また本発明において、
このような白色粉体としては、特に平均粒径が0.01〜
0.5μm のものの使用が望ましく、含有量は、フォトレ
ジスト液の全量に対して 0.1〜 1.0重量％（wt%）の割
合とすることが望ましい。平均粒径が0.01μm 未満の白
色粉体を使用した場合、あるいは白色粉体の添加含有量
がフォトレジスト液全体の 0.1wt% 未満の場合には、露
光感度の向上によるフィルター層の剥がれや混色防止の
効果がほとんど得られない。また、平均粒径が 0.5μm
を越える白色粉体を使用した場合には、フォトレジスト
液中への均一な分散が難しくなり好ましくない。さら
に、白色粉体の含有量が液全体の 1.0wt% を越える場合
には、かえって分散性や露光感度等が低下して好ましく
ない。
ォトレジストと反応性を持たない、金属酸化物または有
機ポリマーの白色粉体を使用することが望ましい。金属
酸化物としては、Ｔｉ酸化物、Ａｌ酸化物、Ｚｒ酸化物
等が挙げられ、有機ポリマーとしてはポリエチレンまた
はポリスチレン等が挙げられる。また本発明において、
このような白色粉体としては、特に平均粒径が0.01〜
0.5μm のものの使用が望ましく、含有量は、フォトレ
ジスト液の全量に対して 0.1〜 1.0重量％（wt%）の割
合とすることが望ましい。平均粒径が0.01μm 未満の白
色粉体を使用した場合、あるいは白色粉体の添加含有量
がフォトレジスト液全体の 0.1wt% 未満の場合には、露
光感度の向上によるフィルター層の剥がれや混色防止の
効果がほとんど得られない。また、平均粒径が 0.5μm
を越える白色粉体を使用した場合には、フォトレジスト
液中への均一な分散が難しくなり好ましくない。さら
に、白色粉体の含有量が液全体の 1.0wt% を越える場合
には、かえって分散性や露光感度等が低下して好ましく
ない。
【００１６】次いで、こうしてフォトレジスト液を塗布
し乾燥することにより形成されたレジスト塗膜におい
て、高圧水銀灯等を用いた露光により、光（紫外線）照
射された部分を硬化させた後、水等に不溶性となった高
分子電解質を可溶化する物質を含有するアルカリ水溶液
を用いて現像する。そして、これら一連の工程を、複数
色、通常は青、緑、赤色の順に繰り返して行なうことに
より、青、緑、赤の３色のフィルター層を所定のパター
ンで形成することができる。そして、こうして形成され
たフィルターパターンの上に、通常のスラリー法により
青、緑、赤色の蛍光体層をそれぞれ形成することによ
り、カラー陰極線管等のフィルター付き蛍光面を得るこ
とができる。
し乾燥することにより形成されたレジスト塗膜におい
て、高圧水銀灯等を用いた露光により、光（紫外線）照
射された部分を硬化させた後、水等に不溶性となった高
分子電解質を可溶化する物質を含有するアルカリ水溶液
を用いて現像する。そして、これら一連の工程を、複数
色、通常は青、緑、赤色の順に繰り返して行なうことに
より、青、緑、赤の３色のフィルター層を所定のパター
ンで形成することができる。そして、こうして形成され
たフィルターパターンの上に、通常のスラリー法により
青、緑、赤色の蛍光体層をそれぞれ形成することによ
り、カラー陰極線管等のフィルター付き蛍光面を得るこ
とができる。
【００１７】本発明においては、青、緑、赤各色のフィ
ルターパターン形成用のフォトレジスト液に、水分散性
の白色粉体が含有されており、白色粉体による光の散乱
により、レジスト層の露光感度が高められているので、
下層のフィルター層の密着性が向上して、剥がれや脱
落、混色が防止される。特に、表示有効面のコーナー部
においては、露光の際の照度が若干不足しても、フィル
ター層のサイズの減縮が生じにくくなり、均一なフィル
ターサイズが得られる。したがって、高輝度、高コント
ラストでホワイトユニフォミティ品位の劣化がない、良
好なカラー表示が実現される。
ルターパターン形成用のフォトレジスト液に、水分散性
の白色粉体が含有されており、白色粉体による光の散乱
により、レジスト層の露光感度が高められているので、
下層のフィルター層の密着性が向上して、剥がれや脱
落、混色が防止される。特に、表示有効面のコーナー部
においては、露光の際の照度が若干不足しても、フィル
ター層のサイズの減縮が生じにくくなり、均一なフィル
ターサイズが得られる。したがって、高輝度、高コント
ラストでホワイトユニフォミティ品位の劣化がない、良
好なカラー表示が実現される。
【００１８】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施例について説明する。
施例について説明する。
【００１９】実施例１〜３ 図１は、本発明のカラーフィルター形成方法の実施例の
工程を示す図であり、図２は、実施例の各工程でのパネ
ル面の断面図である。図１のＡ〜Ｇの工程で、まず青色
のフィルターパターンが形成され、次に同様にＡ〜Ｇの
工程を繰り返すことにより、緑色と赤色のフィルターパ
ターンが順に形成される。
工程を示す図であり、図２は、実施例の各工程でのパネ
ル面の断面図である。図１のＡ〜Ｇの工程で、まず青色
のフィルターパターンが形成され、次に同様にＡ〜Ｇの
工程を繰り返すことにより、緑色と赤色のフィルターパ
ターンが順に形成される。
【００２０】まず、図２（ａ）に示すように、カラー陰
極線管のガラスパネル１内面に、ブラックマトリクスと
して所定パターンの光吸収層２を、公知の方法で形成し
た。すなわち、パネル１内面にフォトレジスト層を形成
し、シャドウマスクを介して露光した後、現像・乾燥し
て、顔料層および蛍光体層の形成予定部にドット状の光
硬化膜を残留させた。次いで、その上の全面に、黒鉛の
ような光吸収物質を塗布して結着させた後、過酸化水素
水で洗浄して光硬化膜を溶解することにより、その上の
光吸収物質を除去し、顔料層および蛍光体層の形成予定
部となるホール部を露出させて、パターニングされた光
吸収層２を形成した。
極線管のガラスパネル１内面に、ブラックマトリクスと
して所定パターンの光吸収層２を、公知の方法で形成し
た。すなわち、パネル１内面にフォトレジスト層を形成
し、シャドウマスクを介して露光した後、現像・乾燥し
て、顔料層および蛍光体層の形成予定部にドット状の光
硬化膜を残留させた。次いで、その上の全面に、黒鉛の
ような光吸収物質を塗布して結着させた後、過酸化水素
水で洗浄して光硬化膜を溶解することにより、その上の
光吸収物質を除去し、顔料層および蛍光体層の形成予定
部となるホール部を露出させて、パターニングされた光
吸収層２を形成した。
【００２１】次に、青、緑、赤の各色のフィルター層を
形成するための顔料分散液として、次の組成のものをそ
れぞれ準備した。青顔料分散液は、青顔料として、アル
ミン酸コバルト（Ａｌ2 Ｏ3 −ＣｏＯ）（商品名コバル
トブルーX ）を30wt% 、高分子電解質としてアクリル酸
共重合体のアンモニウム塩（商品名ディスペック GA-4
0、アライド・コロイド社製）を 0.7wt% の割合で、そ
れぞれ純水中に分散させて調製した。このとき、高分子
電解質濃度／顔料濃度は 0.023となっている。
形成するための顔料分散液として、次の組成のものをそ
れぞれ準備した。青顔料分散液は、青顔料として、アル
ミン酸コバルト（Ａｌ2 Ｏ3 −ＣｏＯ）（商品名コバル
トブルーX ）を30wt% 、高分子電解質としてアクリル酸
共重合体のアンモニウム塩（商品名ディスペック GA-4
0、アライド・コロイド社製）を 0.7wt% の割合で、そ
れぞれ純水中に分散させて調製した。このとき、高分子
電解質濃度／顔料濃度は 0.023となっている。
【００２２】緑顔料分散液は、緑顔料として、ＴｉＯ2
−ＮｉＯ−ＣｏＯ−ＺｎＯ（商品名ダイピロキサイドTM
グリーン＃3320）を30wt% 、高分子電解質としてアクリ
ル酸共重合体のアンモニウム塩（商品名ディスペックGA
-40 ）を 0.7wt% の割合で、それぞれ純水中に分散させ
て調製した。このとき、高分子電解質濃度／顔料濃度は
0.023となっている。
−ＮｉＯ−ＣｏＯ−ＺｎＯ（商品名ダイピロキサイドTM
グリーン＃3320）を30wt% 、高分子電解質としてアクリ
ル酸共重合体のアンモニウム塩（商品名ディスペックGA
-40 ）を 0.7wt% の割合で、それぞれ純水中に分散させ
て調製した。このとき、高分子電解質濃度／顔料濃度は
0.023となっている。
【００２３】赤顔料分散液は、赤顔料としてＦｅ2 Ｏ3
の微粒子（粒子径0.01〜0.02μm ）を20wt% 、高分子電
解質として、ポリオキシエチレンアルキルエーテルサル
フェートのアンモニウム塩（商品名ハイテノール08、第
一工業製薬株式会社製）を 0.7wt% の割合で、それぞれ
純水中に分散させて調製した。このとき、高分子電解質
濃度／顔料濃度は 0.035となっている。
の微粒子（粒子径0.01〜0.02μm ）を20wt% 、高分子電
解質として、ポリオキシエチレンアルキルエーテルサル
フェートのアンモニウム塩（商品名ハイテノール08、第
一工業製薬株式会社製）を 0.7wt% の割合で、それぞれ
純水中に分散させて調製した。このとき、高分子電解質
濃度／顔料濃度は 0.035となっている。
【００２４】顔料分散液の塗布工程Αおよび乾燥工程Ｂ
は、それぞれ以下に示す方法で行なった。基板としての
カラー陰極線管のパネル１を温度30℃に保持し、まず前
記した青顔料分散液を塗布した。次いで、パネル１を 1
00〜150rpmで回転させ、過剰の顔料分散液を振り切り、
一定膜厚を有する塗布層とした後、ヒーター温度 120℃
で 3〜 4分間乾燥し、図２（ｂ）に示すように、青顔料
層３Ｂを形成した。
は、それぞれ以下に示す方法で行なった。基板としての
カラー陰極線管のパネル１を温度30℃に保持し、まず前
記した青顔料分散液を塗布した。次いで、パネル１を 1
00〜150rpmで回転させ、過剰の顔料分散液を振り切り、
一定膜厚を有する塗布層とした後、ヒーター温度 120℃
で 3〜 4分間乾燥し、図２（ｂ）に示すように、青顔料
層３Ｂを形成した。
【００２５】次に、以下に示す組成のフォトレジスト液
は準備した。すなわち、ポリビニルアルコール（ＰＶ
Ａ）を 3wt% 、重クロム酸アンモニウム（ＡＤＣ）を
0.2wt%、界面活性剤を0.01wt% 、残部を純水として調製
したフォトレジスト液に、ポリスチレンの水分散液であ
るサイビノール P-305（サイデン化学株式会社の商品
名、ポリスチレンの粒径0.01〜 0.1μm ）または酸化チ
タンの水分散液である TIPAQUE R-615（石原産業株式会
社の商品名、酸化チタンの粒径0.15〜 0.5μm ）を、固
形分である粉体の含有割合が液全体の 0.1wt% 、 0.5wt
% および 1.0wt% となるように、それぞれ添加した。
は準備した。すなわち、ポリビニルアルコール（ＰＶ
Ａ）を 3wt% 、重クロム酸アンモニウム（ＡＤＣ）を
0.2wt%、界面活性剤を0.01wt% 、残部を純水として調製
したフォトレジスト液に、ポリスチレンの水分散液であ
るサイビノール P-305（サイデン化学株式会社の商品
名、ポリスチレンの粒径0.01〜 0.1μm ）または酸化チ
タンの水分散液である TIPAQUE R-615（石原産業株式会
社の商品名、酸化チタンの粒径0.15〜 0.5μm ）を、固
形分である粉体の含有割合が液全体の 0.1wt% 、 0.5wt
% および 1.0wt% となるように、それぞれ添加した。
【００２６】次いで、こうして調製されたフォトレジス
ト液を、レジスト塗布工程Ｃおよび乾燥工程Ｄで、前記
した顔料分散液と同様の方法で塗布・乾燥して、図２
（ｂ）に示すように、青色顔料層３Ｂの上にレジスト塗
膜４を積層・形成した。なお、フォトレジスト液中のポ
リスチレン粉体の含有割合を、実施例１では 0.1wt% 、
実施例２では 0.5wt% 、実施例３では 1.0wt% として、
それぞれレジスト塗膜４を形成した。また、比較例とし
て、サイビノール P-305を添加せず、ポリスチレン粉体
の含有割合が 0wt% のフォトレジスト液を使用して、レ
ジスト塗膜４の形成を行なった。
ト液を、レジスト塗布工程Ｃおよび乾燥工程Ｄで、前記
した顔料分散液と同様の方法で塗布・乾燥して、図２
（ｂ）に示すように、青色顔料層３Ｂの上にレジスト塗
膜４を積層・形成した。なお、フォトレジスト液中のポ
リスチレン粉体の含有割合を、実施例１では 0.1wt% 、
実施例２では 0.5wt% 、実施例３では 1.0wt% として、
それぞれレジスト塗膜４を形成した。また、比較例とし
て、サイビノール P-305を添加せず、ポリスチレン粉体
の含有割合が 0wt% のフォトレジスト液を使用して、レ
ジスト塗膜４の形成を行なった。
【００２７】次に、パターン露光工程Ｅで、図２（ｃ）
に示すように、図示しない高圧水銀灯を用いて、シャド
ウマスクを介して所定のパターンに露光した。次いで、
現像工程Ｆおよび乾燥工程Ｇを、以下に示す方法で行な
った。すなわち、霧状にした現像液、例えばＮａＣＯ3
を含有するｐＨ9 のアルカリ水溶液を、現像液圧 2〜10
kg/cm2 でスプレイすることにより現像し、乾燥して、
図２（ｄ）に示すように、青顔料層３Ｂと硬化したレジ
スト層５とが積層した所定のパターンを形成した。
に示すように、図示しない高圧水銀灯を用いて、シャド
ウマスクを介して所定のパターンに露光した。次いで、
現像工程Ｆおよび乾燥工程Ｇを、以下に示す方法で行な
った。すなわち、霧状にした現像液、例えばＮａＣＯ3
を含有するｐＨ9 のアルカリ水溶液を、現像液圧 2〜10
kg/cm2 でスプレイすることにより現像し、乾燥して、
図２（ｄ）に示すように、青顔料層３Ｂと硬化したレジ
スト層５とが積層した所定のパターンを形成した。
【００２８】このような青顔料層３Ｂの形成と同様にし
て、緑顔料層３Ｇおよび赤顔料層３Ｒを順に形成した
（図２（ｅ））。このとき現像液としては、緑顔料層３
Ｇ、赤顔料層３ＲともにＮａＣＯ3 を含有するアルカリ
水溶液を用いた。次に、青、緑、赤各色の顔料層の上の
レジスト層５を剥離し、図２（ｆ）に示すように、パネ
ル１内面に、青顔料層３Ｂ、緑顔料層３Ｇおよび赤顔料
層３Ｒからなるフィルターパターンを形成した。
て、緑顔料層３Ｇおよび赤顔料層３Ｒを順に形成した
（図２（ｅ））。このとき現像液としては、緑顔料層３
Ｇ、赤顔料層３ＲともにＮａＣＯ3 を含有するアルカリ
水溶液を用いた。次に、青、緑、赤各色の顔料層の上の
レジスト層５を剥離し、図２（ｆ）に示すように、パネ
ル１内面に、青顔料層３Ｂ、緑顔料層３Ｇおよび赤顔料
層３Ｒからなるフィルターパターンを形成した。
【００２９】こうして実施例１〜３および比較例でそれ
ぞれ形成されたフィルターパターンにおいて、表示有効
面のセンター部およびコーナー部のフィルター層のサイ
ズをそれぞれ測定した。また、表示有効面のコーナーか
ら30mm×30mmの位置の青顔料層３Ｂへの赤顔料層３Ｒの
混色の割合を、それぞれ測定した。測定結果を表１に示
す。
ぞれ形成されたフィルターパターンにおいて、表示有効
面のセンター部およびコーナー部のフィルター層のサイ
ズをそれぞれ測定した。また、表示有効面のコーナーか
ら30mm×30mmの位置の青顔料層３Ｂへの赤顔料層３Ｒの
混色の割合を、それぞれ測定した。測定結果を表１に示
す。
【００３０】
【表１】 表１から明らかなように、本発明の実施例で形成された
カラーフィルターでは、表示有効面のコーナー部のフィ
ルター層のサイズが、比較例に比べてずっと大きくなっ
ており、センター部のフィルター層のサイズとほとんど
差がない大きさになっている。また、コーナー部におけ
る混色も見られない。これに対して、比較例で形成され
たカラーフィルターでは、センター部、コーナー部とも
にフィルター層のサイズが小さく、特にコーナー部で
は、所望のフィルターサイズの 2/3と、著しく減縮され
ている。また、コーナー部における混色割合も極めて高
くなっている。この結果から、本実施例では、カラフィ
ルターにおけるセンター部とコーナー部とのフィルター
サイズの不均一を少なくし、混色をなくすことができる
ことがわかる。
カラーフィルターでは、表示有効面のコーナー部のフィ
ルター層のサイズが、比較例に比べてずっと大きくなっ
ており、センター部のフィルター層のサイズとほとんど
差がない大きさになっている。また、コーナー部におけ
る混色も見られない。これに対して、比較例で形成され
たカラーフィルターでは、センター部、コーナー部とも
にフィルター層のサイズが小さく、特にコーナー部で
は、所望のフィルターサイズの 2/3と、著しく減縮され
ている。また、コーナー部における混色割合も極めて高
くなっている。この結果から、本実施例では、カラフィ
ルターにおけるセンター部とコーナー部とのフィルター
サイズの不均一を少なくし、混色をなくすことができる
ことがわかる。
【００３１】次に、こうして実施例により形成されたカ
ラーフィルターの上に、図２（ｇ）に示すように、青顔
料層３Ｂの上に青蛍光体層６Ｂを、緑顔料層３Ｇの上に
緑蛍光体層６Ｇを、赤顔料層３Ｒの上に赤蛍光体層６Ｒ
を、それぞれ通常のスラリー法により順に形成した。
ラーフィルターの上に、図２（ｇ）に示すように、青顔
料層３Ｂの上に青蛍光体層６Ｂを、緑顔料層３Ｇの上に
緑蛍光体層６Ｇを、赤顔料層３Ｒの上に赤蛍光体層６Ｒ
を、それぞれ通常のスラリー法により順に形成した。
【００３２】なお、蛍光体スラリー（懸濁液）として
は、以下のものを用いた。すなわち、青色蛍光体スラリ
ーとしては、青色発光蛍光体である（ＺｎＳ：Αｇ，Ａ
ｌ）を100gと、ＰＶＡ5g、ＡＤＣ 0.30g、界面活性剤
0.01g、純水140gを混合撹拌して調製したものを使用し
た。また、緑色蛍光体スラリーとしては、緑色蛍光体
（ＺｎＳ：Ｃｕ，Αｌ）100gと、ＰＶＡ8g、ＡＤＣ 0.4
0g、界面活性剤 0.01g、純水160gを混合撹拌して調製し
たものを使用した。さらに赤色蛍光体スラリーとして
は、赤色蛍光体（Ｙ2 Ｏ2 Ｓ：Ｅｕ）100gと、ＰＶＡ 1
0g、ＡＤＣ 0.50g、界面活性剤 0.01g、純水190gを混合
撹拌して調製したものを使用した。
は、以下のものを用いた。すなわち、青色蛍光体スラリ
ーとしては、青色発光蛍光体である（ＺｎＳ：Αｇ，Ａ
ｌ）を100gと、ＰＶＡ5g、ＡＤＣ 0.30g、界面活性剤
0.01g、純水140gを混合撹拌して調製したものを使用し
た。また、緑色蛍光体スラリーとしては、緑色蛍光体
（ＺｎＳ：Ｃｕ，Αｌ）100gと、ＰＶＡ8g、ＡＤＣ 0.4
0g、界面活性剤 0.01g、純水160gを混合撹拌して調製し
たものを使用した。さらに赤色蛍光体スラリーとして
は、赤色蛍光体（Ｙ2 Ｏ2 Ｓ：Ｅｕ）100gと、ＰＶＡ 1
0g、ＡＤＣ 0.50g、界面活性剤 0.01g、純水190gを混合
撹拌して調製したものを使用した。
【００３３】こうして、パネル１内面に青、緑、赤色の
顔料層３Ｂ、３Ｇ、３Ｒおよび蛍光体層６Ｂ、６Ｇ、６
Ｒがそれぞれ所定のパターンで形成された、フィルター
付き蛍光面が得られた。そして、得られた蛍光面におい
ては、顔料層の剥がれやサイズの不均一、混色等がな
く、ホワイトユニフォミティ品位が良好で高コントラス
トの表示が実現された。
顔料層３Ｂ、３Ｇ、３Ｒおよび蛍光体層６Ｂ、６Ｇ、６
Ｒがそれぞれ所定のパターンで形成された、フィルター
付き蛍光面が得られた。そして、得られた蛍光面におい
ては、顔料層の剥がれやサイズの不均一、混色等がな
く、ホワイトユニフォミティ品位が良好で高コントラス
トの表示が実現された。
【００３４】なお、以上の実施例では、本発明をカラー
陰極線管におけるカラーフィルターの形成に用いた例に
ついて説明したが、陰極線管に限らず、プラズマディス
プレイパネル（ＰＤＰ）や液晶表示装置のような表示装
置のカラーフィルター形成に、適用することも可能であ
る。
陰極線管におけるカラーフィルターの形成に用いた例に
ついて説明したが、陰極線管に限らず、プラズマディス
プレイパネル（ＰＤＰ）や液晶表示装置のような表示装
置のカラーフィルター形成に、適用することも可能であ
る。
【００３５】
【発明の効果】以上の記載から明らかなように、本発明
の方法では、フィルターパターンを形成するためのフォ
トレジスト液に白色粉体を添加することにより、白色粉
体による光散乱効果により、フォトレジスト層の露光感
度を向上させ、フィルター層の剥れや脱落、混色をなく
すことができる。したがって、カラー陰極線管等におい
て、ユニフォミティ劣化のない高輝度、高コントラスト
のカラー表示を実現することができる。
の方法では、フィルターパターンを形成するためのフォ
トレジスト液に白色粉体を添加することにより、白色粉
体による光散乱効果により、フォトレジスト層の露光感
度を向上させ、フィルター層の剥れや脱落、混色をなく
すことができる。したがって、カラー陰極線管等におい
て、ユニフォミティ劣化のない高輝度、高コントラスト
のカラー表示を実現することができる。
【図１】本発明の実施例の流れを示す工程図。
【図２】実施例の各工程におけるパネル面の断面図。
１………パネル ２………光吸収層 ３Ｂ………青顔料層 ３Ｇ………緑顔料層 ３………赤顔料層 ５………レジスト層 ６Ｂ………青蛍光体層 ６Ｇ………緑蛍光体層 ６Ｒ………赤蛍光体層
Claims (6)
- 【請求項１】 パネルの内面に複数色のフィルター層を
所定のパターンで配列したカラーフィルターを形成する
にあたり、 各色のフィルター層の形成工程が、前記パネル内面に顔
料層を形成する工程と、前記顔料層の上に、フォトレジ
ストを主成分とし水分散性の白色粉体を含むフォトレジ
スト液を塗布し乾燥する工程と、前記工程で形成された
塗膜を所定のパターンを用いて露光する工程と、現像す
る工程とを備えたことを特徴とするカラーフィルターの
形成方法。 - 【請求項２】 前記白色粉体の平均粒径が、0.01〜 0.5
μm であることを特徴とする請求項１記載のカラーフィ
ルターの形成方法。 - 【請求項３】 前記白色粉体の含有割合が、前記フォト
レジスト液の全量に対して 0.1〜 1.0重量％であること
を特徴とする請求項１または２記載のカラーフィルター
の形成方法。 - 【請求項４】 前記白色粉体が、金属酸化物粉体または
有機ポリマー粉体であることを特徴とする請求項１乃至
３のいずれか１項記載のカラーフィルターの形成方法。 - 【請求項５】 前記金属酸化物が、Ｔｉ酸化物、Ａｌ酸
化物、Ｚｒ酸化物から選ばれた少なくとも１種の酸化物
であることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項
記載のカラーフィルターの形成方法。 - 【請求項６】 前記有機ポリマーが、ポリエチレンまた
はポリスチレンであることを特徴とする請求項１乃至４
のいずれか１項記載のカラーフィルターの形成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16240098A JPH11354026A (ja) | 1998-06-10 | 1998-06-10 | カラーフィルターの形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16240098A JPH11354026A (ja) | 1998-06-10 | 1998-06-10 | カラーフィルターの形成方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11354026A true JPH11354026A (ja) | 1999-12-24 |
Family
ID=15753893
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16240098A Withdrawn JPH11354026A (ja) | 1998-06-10 | 1998-06-10 | カラーフィルターの形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11354026A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6946160B2 (en) | 2001-03-23 | 2005-09-20 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Method of forming fluorescent screen |
| CN102566134A (zh) * | 2011-12-02 | 2012-07-11 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 彩膜基板的制作方法及制作装置 |
-
1998
- 1998-06-10 JP JP16240098A patent/JPH11354026A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6946160B2 (en) | 2001-03-23 | 2005-09-20 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Method of forming fluorescent screen |
| CN102566134A (zh) * | 2011-12-02 | 2012-07-11 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 彩膜基板的制作方法及制作装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20050906 |