JPH11354920A - 熱圧着装置 - Google Patents

熱圧着装置

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JPH11354920A
JPH11354920A JP16048798A JP16048798A JPH11354920A JP H11354920 A JPH11354920 A JP H11354920A JP 16048798 A JP16048798 A JP 16048798A JP 16048798 A JP16048798 A JP 16048798A JP H11354920 A JPH11354920 A JP H11354920A
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JP
Japan
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heater tool
heater
tool holder
work
thermocompression bonding
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JP16048798A
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English (en)
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Takayuki Hirose
貴之 広瀬
Katsuyuki Murakami
勝之 村上
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Nippon Avionics Co Ltd
Original Assignee
Nippon Avionics Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 熱圧着ヘッドの冷却時間を短縮し、生産性を
向上させる。 【解決手段】 保持ブロック42に金属製のヒータツー
ルホルダ44を取付ける。ヒータツールホル44の下面
に設けた嵌合溝49に絶縁部材48を介してヒータツー
ル50を取付け、このヒータツール50の両端を給電ブ
ロック52に電気的に接続する。ヒータツールホルダ4
4に給水孔45を設け、冷却機能をもたせる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、長尺のヒータツー
ルをワークに押圧しパルスヒート方式により加熱するこ
とによりワークを熱圧着する熱圧着装置に関し、特に熱
圧着ヘッドの改良に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来より、電子機器の小型、軽量、薄型
化に伴って超高密度実装技術が進展している。例えば液
晶パネル等の端子と外部回路の接続端子との接続に際し
ては、その接続端子の間隔はますます狭くすることが要
求され、接続端子のピッチは0.2〜0.5mmあるい
はそれよりさらに微細なものが要求されるようになって
きた。このような微細な接続端子にリード線を接続する
手段の一つとして、異方性導電膜を用いる方法が知られ
ている。
【0003】この異方性導電膜は、導電粒子を樹脂等の
接着剤の中に均一に分散して形成された高分子膜であ
り、電気的異方性をもつ。すなわち、これを電極間に挟
んで熱圧着することにより、導電粒子をこの膜の厚み方
向にのみ接触させて導通をとり、上下の電極間の導電性
を得ると共に、その他の方向には絶縁性をもたせること
ができるものである。
【0004】この異方性導電膜は比較的低温での実装が
可能であるため、許容温度の低い液晶パネルとフレキシ
ブル配線板との接続などに多用されている。このような
特性を有する異方性導電膜を用いて電極間、例えば端子
とリード線との熱圧着を行うとき、安定した電気的特性
や接着強度を得るためには、所定の加圧力、所定の加熱
温度が接合面に均一に加えられることが重要である。
【0005】このため従来より、所定温度に管理された
ヒータブロックに板状の治具を設置し、この治具に液晶
ディスプレイパネルと異方性導電膜とフレキシブルプリ
ント配線板(FPWB)とを順次積層し、上から圧着部
分の長さをもった長尺のヒータツールを圧接する熱圧着
装置が用いられている。熱圧着に際して、治具を加熱す
るヒータブロックは約100°Cに保持され、ヒータツ
ールは電流が所定の周期でパルス状に供給されることに
より300〜400°Cに加熱される。このようなヒー
タツールの加熱方式を通常パルスヒート方式と呼んでい
る。そして、このヒータツールをこの温度に所定時間
(約30秒)保持した後、ヒータツールが所定の温度
(半田の凝固点)にまで冷えるのを待ってヒータツール
をワークから離間する。なお、加熱時間、加熱温度は対
象ワークにより異なる。
【0006】熱圧着の生産性を高めるためには、ヒータ
ツールは電流の供給により温度が速やかに所定の温度に
上昇し、また電流を切ることによって速やかに冷却する
ことが必要である。このためその熱容量は十分に小さく
作られている。またヒータブロックと治具を予め加熱し
ておくのは、ヒータツールの加熱温度を過度に高くしな
いようにし、ヒータツールの耐久性を向上させるためで
ある。
【0007】また配線基板の電極に半田めっきを施して
おき、この上にICのリードなどを載置して上から長尺
のヒータツールを押圧し、ヒータツールをパルスヒート
方式により発熱させて半田めっきを溶融(リフロー)
し、半田付けする方法も公知である。
【0008】図7はこのような熱圧着に用いる従来の熱
圧着ヘッドを示す正面図である。この熱圧着ヘッド10
0は図示しない昇降装置の下面に取付けられ、図示しな
いヒータブロック上に載置したワークに上方から押圧さ
れる。
【0009】符号102はステンレススチールなどの金
属で形成された加圧ブロック、104は同じく金属製の
保持ブロックであり、これらは一体的に結合され、さら
に昇降装置に固定されている。
【0010】前記保持ブロック104の前面下端部に
は、耐熱絶縁材、例えばセラミックス、はんれい岩等で
形成した板状のヒータツールホルダ106が固定されて
いる。すなわち、保持ブロック104の前面に密接した
ヒータツールホルダ106を金属製の押えブロック10
8で挟み、これらを複数のボルト110によって保持ブ
ロック104に固定したものである。
【0011】前記ヒータツールホルダ106の下端部お
よび左右両側部は、保持ブロック104の下方および左
右両側へ突出している。このヒータツールホルダ106
の下面は水平であり、長手方向全長にわたって延在する
溝112を有している。
【0012】114はヒータツールであり、モリブデ
ン、チタン、タングステン、コバールなどの高抵抗材料
によって断面形状が縦長矩形の板状体に形成されてい
る。このヒータツール114は、前記ヒータツールホル
ダ106の溝112に下から嵌合されて接着剤により固
着され、下面が平坦な圧着面114Aを形成しワークに
押圧される。
【0013】前記ヒータツール114の両端部はヒータ
ツールホルダ106の外側へ突出し、この突出部には保
持ブロック104から絶縁された給電ブロック116が
それぞれ固定されている。給電ブロック116は配線コ
ード118を介して図示しない電源装置に接続されてい
る。この電源装置からはヒータツール114にパルス状
の大電流が供給され、これによりヒータツール114は
全体が同時に加熱される。
【0014】なお、ヒータツール114の適宜位置、例
えば中央付近には、熱電対などの温度センサ120が取
付けられ、このセンサ120の検出温度が一定となるよ
うに電流が制御される。例えば圧着面114Aの中央付
近が300〜400°C程度になるように制御される。
【0015】
【発明が解決しようとする課題】上記したように従来の
熱圧着装置においては、金属製の加圧ブロック102と
保持ブロック104とで昇降ブロック105を形成し、
この昇降ブロック105にヒータツール114を耐熱絶
縁材からなるヒータツールホルダ106を介して取付け
ている。しかしながら、ヒータツールホルダ106は、
金属に較べて熱伝導性が悪く、かつ大きなブロック状に
形成されているため熱容量も大きく、そのため冷却に時
間がかかり(20sec程度)、装置全体のタクト時間
が長くなり、生産性が低いという問題があった。
【0016】本発明は上記した従来の問題を解決するた
めになされたもので、その目的とするところは、熱圧着
ヘッドの冷却時間を短縮することができ、生産性を向上
させるようにした熱圧着装置を提供することにある。
【0017】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、第1の発明は、パルスヒート方式により加熱される
ヒータツールをワークに押圧しワークを熱圧着する熱圧
着装置において、ワークの上方で昇降する昇降ブロック
と、この昇降ブロックの下面に略水平に固定されが金属
製のヒータツールホルダと、このヒータツールホルダの
下面側に絶縁部材を介して取付けられた前記ヒータツー
ルと、このヒータツールの両端を保持する左右一対の給
電ブロックとを備えたことを特徴とする。このような構
造においては、絶縁部材が絶縁機能を果たすものであれ
ば熱容量の小さいものであってもよいので、ヒータツー
ルの熱をヒータツールホルダに良好に逃がすことができ
る。また、ヒータツールホルダは金属製であるため、ヒ
ータツールの熱を熱伝導により速やかに放熱する。した
がって、冷却時間を短縮することができる。
【0018】第2の発明は、パルスヒート方式により加
熱されるヒータツールをワークに押圧しワークを熱圧着
する熱圧着装置において、ワークの上方で昇降する昇降
ブロックと、この昇降ブロックの下面に略水平に固定さ
れた金属製のヒータツールホルダと、このヒータツール
ホルダの下面側に絶縁部材を介して取付けられた前記ヒ
ータツールとを備え、前記ヒータツールを複数個のねじ
によって前記絶縁部材に固定したことを特徴とする。こ
のような構造においては、ねじの頭部がヒータツールの
表面積を実質的に増大させるので、ヒータツールの熱が
放熱され、冷却時間を短縮することができる。
【0019】第3の発明は、パルスヒート方式により加
熱されるヒータツールをワークに押圧しワークを熱圧着
する熱圧着装置において、ワークの上方で昇降する昇降
ブロックと、この昇降ブロックの下面に略水平に固定さ
れた金属製のヒータツールホルダと、このヒータツール
ホルダの下面側に取付けられた前記ヒータツールとを備
え、前記ヒータツールの表面を絶縁膜で被覆し前記ヒー
タツールホルダと電気的に絶縁したことを特徴とする。
このような構造においては、絶縁膜がヒータツールホル
ダとヒータツールを良好に電気的に絶縁する。また、絶
縁膜は薄いのでヒータツールの熱をヒータツールホルダ
に良好に伝達する。
【0020】第4の発明は、パルスヒート方式により加
熱されるヒータツールをワークに押圧しワークを熱圧着
する熱圧着装置において、ワークの上方で昇降する昇降
ブロックと、この昇降ブロックの下面に略水平に固定さ
れた金属製のヒータツールホルダと、このヒータツール
ホルダの下面側に取付けられた前記ヒータツールとを備
え、前記ヒータツールホルダの少なくとも前記ヒータツ
ールが密接される表面部分を絶縁膜で被覆し前記ヒータ
ツールと電気的に絶縁したことを特徴とする。このよう
な構造においては、絶縁膜がヒータツールホルダとヒー
タツールを良好に電気的に絶縁する。また、絶縁膜は薄
いのでヒータツールの熱をヒータツールホルダに良好に
伝達する。
【0021】第5の発明は、上記第1、第2、第3また
は第4の発明において、ヒータツールホルダに冷却機能
をもたせたことを特徴とする。このような構造において
は、ヒータツールホルダが冷却機能を有しているので、
冷却時間を短縮することができる。
【0022】第6の発明は、上記第3または第4の発明
において、絶縁膜が窒化チタンアルミニウム膜であるこ
とを特徴とする。このような構造においては、窒化チタ
ンアルミニウム膜が電気絶縁性に優れているので、ヒー
タツールホルダとヒータツールを良好に絶縁する。ま
た、耐熱温度も高いので、熱圧着ヘッドの耐久性を向上
させる。
【0023】
【発明の実施の形態】以下、本発明を図面に示す実施の
形態に基づいて詳細に説明する。図1は本発明に係る熱
圧着装置の第1の実施の形態を示す斜視図、図2は熱圧
着ヘッドの要部の分解斜視図である。これらの図におい
て、符号10は水平面上でX,Y方向に独立して移動可
能なテーブル、12はこのテーブル10上に設置された
ヒータブロックである。ヒータブロック12は金属製の
厚板からなり、アラミド樹脂等の断熱板14を介して前
記テーブル10に固定されている。ヒータブロック12
には左右方向に貫通する図示しない小孔が形成され、こ
の小孔内に左右両側から電気ヒータ16(一方のみ図
示)が挿入されている。そして、電気ヒー夕16は図示
しないヒータ電源回路から電流が供給されることによ
り、ヒータブロック12を加熱し約100°Cに保持す
る。
【0024】18はアルミニウム板などで形成された板
状の治具であり、前記ヒータブロック12の上面に設置
され、所定温度に加熱される。
【0025】20は配線基板であり、ここでは液晶ディ
スプレイパネルを示している。この配線基板20の上面
には、前後方向に長い多数の電極が横方向(電気ヒータ
16の長さ方向)に小さいピッチ(約0.2mm=20
0μm)で並べて形成されている。配線基板20は液晶
ディスプレイパネルに代えてフェノール樹脂、ガラスエ
ポキシ樹脂などの硬質絶縁基板や、ポリイミド樹脂、ポ
リエステル樹脂等の柔軟な絶縁基板などであってもよ
い。
【0026】22はテープ状に切られた異方性導電膜で
あり、配線基板20の電極上に粘着されている。この異
方性導電膜22の上には、さらに被圧着物24が載置さ
れる。この場合、被圧着物24は液晶パネルの駆動用L
SIやICのリードであり、これらのリードが異方性導
電膜22を挟んで配線基板20の対応する電極に対向し
ている。
【0027】被圧着物24としては、LSIやICのリ
ードに代えて、フレキシブル配線板などの電極であって
もよい。なお、配線基板20、異方性導電膜22および
被圧着物24は、治具18上に電気ヒータ16の上方に
位置するように積層配置されている。この実施の形態で
は、配線基板20、異方性導電膜22および被圧着物2
4からなる積層体が熱圧着の対象であるワーク26とな
る。
【0028】30は熱圧着ヘッドであり、ヘッド保持部
32に上下動可能に保持されている。この熱圧着ヘッド
30は、水平で長い昇降ブロック34を備え、この昇降
ブロック34に垂直に突設した左右一対のガイドロッド
36が前記ヘッド保持部32に上下動可能に保持されて
いる。この昇降ブロック34とヘッド保持部32との間
にはエアシリンダ38が設けられており、このエアシリ
ンダ38により昇降ブロック34を昇降させることがで
きる。
【0029】前記昇降ブロック34は、加圧ブロック4
0とその下面に固定された保持ブロック42とで構成さ
れる。これらはいずれもステンレススチール製である。
また、保持ブロック42の前面下部には、前方および下
方に開放するホルダ取付溝43が長手方向全長にわたっ
て形成され、このホルダ取付溝43にヒータツールホル
ダ44を嵌合してプレート46で挟み込み、複数個のボ
ルト47によって前記プレート46およびヒータツール
ホルダ44を保持ブロック42に固定している。
【0030】前記ヒータツールホルダ44は、ステンレ
ススチール、銅等の金属製で、冷却機能をもたせるため
に内部に給水孔45が形成され、下面側にはヒータツー
ル50が耐熱性を有する絶縁部材48を介して取付けら
れている。ヒータツールホルダ44の冷却機能として
は、給水孔45に冷却水を供給して冷却する水冷方式に
限らず、適宜な冷却装置を外付け可能にしたものであっ
てもよい。
【0031】前記絶縁部材48は、耐熱性セラミックス
等の絶縁材料によって形成され、前記ヒータツールホル
ダ44の下面に長手方向全長にわたって形成した嵌合溝
49に嵌合され、かつ耐熱性の接着剤によって固着され
ている。
【0032】前記ヒータツール50は、モリブデンやチ
タン、タングステンあるいはコバールなどの高抵抗材料
によって断面形状が縦長矩形の板状体に形成され、前記
絶縁部材48の下面に長手方向全長にわたって形成した
嵌合溝51に嵌合され、かつ接着剤によって固着されて
いる。ヒータツール50の下端部は、前記嵌合溝51か
ら下方に突出し、また両端部はヒータツールホルダ44
の外側へ突出し、給電ブロック52にそれぞれ電気的に
接続され保持されている。ヒータツール50の下面は、
平坦な圧着面50Aを形成し、この圧着面50Aはワー
ク26の圧着領域より長い。すなわち異方性導電膜22
の長さよりも長い。
【0033】前記給電ブロック52は、電気鋼等によっ
て形成され前記保持ブロック42とヒータツールホルダ
44の両側面にそれぞれ電気的に絶縁されて固定される
と共に配線コード53を介して図示しない電源装置に接
続されている。給電ブロック52の下面には、前記ヒー
タツール50が嵌合する溝54が形成され、またこの溝
54の一内側壁に沿ってすり割り55が形成されてい
る。したがって、前記溝54にヒータツール50を下方
から嵌合し、すり割り55を横断する図示しないねじを
締め付けて給電ブロック52の下端部を弾性変形させ溝
54の溝幅を短縮すると、ヒータツール50は溝54の
溝壁によって挟持され給電ブロック52に固定される。
また、このねじを緩めることによりヒータツール50を
給電ブロック52から容易に取外すことができる。
【0034】このようなヒータツール50には、配線コ
ード53および給電ブロック52を介して電源装置(図
示せず)からパルス状の大電流が供給され、この電流に
よりヒータツール50は加熱される。なお、ヒータツー
ル50の適宜位置、例えば中央付近には熱電対などの温
度センサ56(図1)が取付けられ、温度管理される。
例えば圧着面50Aの中央付近の加熱温度が300〜4
00°C程度になるように管理される。
【0035】図3は上記した熱圧着装置により被圧着物
24を熱圧着する際の動作手順を示すフローチャートで
ある。熱圧着に際しては、先ずテーブル10上のヒータ
ブロック12に治具18を設置し、ヒータブロック12
の電気ヒータ16に通電して治具18を加熱し、表面温
度を約100°Cに保持する。この上にワークすなわち
基板20と異方性導電膜22と被圧着物24との積層体
であるワーク26を載置する。そして、テーブル10を
移動させてワーク26の圧着部分をヒータツール50の
圧着面50Aの真下に位置決めする(ステップ20
0)。
【0036】この状態である時刻t1 からヒータツール
50に大電流Iを供給し、ヒータツール50を速やかに
加熱する(ステップ202)。このヒータツール50の
温度は温度センサ56によって検出され、その検出信号
に基づきヒータツール50の温度Tが所定温度T1 にな
るようにヒータ電流Iを制御する(ステップ204)。
この時(t=t1 )のヒータツール温度T1 は、ワーク
26の熱圧着温度(T2 )と略同一とする。
【0037】昇降ヘッド34を下降させて(ステップ2
06)、このように予め加熱したヒー夕ツール50をワ
ーク26に押圧すれば、所定の加圧力と所定の加熱温度
が接合面に均一に加えられる。ヒータツール50がワー
ク26に接触するとヒータツール50の熱がワーク26
に伝わるから、ヒータ温度Tは一瞬下がるが、電流Iを
電流I2 に増加してヒータ温度Tを温度T2 に保つ(ス
テップ208)。この温度T2 はT1 と略同一であるこ
とが望ましい。
【0038】この加熱は約30秒間続けられた後(t=
t3 、ステップ210)、ヒータツール50の通電が停
止され、ワーク26が冷却し、異方性導電膜22内の樹
脂の凝固温度T3 以下になったとき(T≦T3 、ステッ
プ214)、熱圧着ヘッド30を上昇させ(ステップ2
16)、ヒータツール50をワーク26から離間させ
る。
【0039】そして、ワーク26を移動して圧着すべき
次のワークと交換し、熱圧着ヘッド30の真下に前記次
のワークを位置決めした後(ステップ200)、上記の
動作を繰り返すことにより、ワークを連続して自動的に
熱圧着することができる。
【0040】ここで、本実施の形態においては、ヒータ
ツールホルダ44を金属で形成しているので熱伝導性に
優れ、しかも絶縁部材48は従来の絶縁材からなるヒー
タツールホルダ106(図7)に較べて十分小さいので
熱容量も小さく、そのためヒータツール50の熱は熱伝
導によってヒータツールホルダ44に伝導し放熱され易
く、ヒータツール50の冷却時間を従来の冷却時間の略
半分程度(10sec)以下に短縮することができる。
したがって、装置全体のタクト時間が短くなり、高速で
熱圧着することができる。
【0041】図4(a)、(b)は本発明の第2の実施
の形態を示す熱圧着ヘッドの斜視図である。この実施の
形態においては、ヒータツールホルダ44を金属で形成
して冷却機能をもたせ、このヒータツールホルダ44の
前面下部に全長にわたって形成した溝70にヒータツー
ル50が複数個のねじ71によって固定された絶縁部材
48をはめ込み、耐熱性の接着剤で固着している。前記
ねじ71は、ヒータツール50の締結機能と放熱機能を
果たす。すなわち、ヒータツール50の表面に突出して
いるねじ71の頭部は、ヒータツール50の表面積を実
質的に増大させ放熱フィンとして機能するため、ヒータ
ツール50の放熱性は向上する。そのため、ねじ71の
個数は多いほど好ましい。その他の構成は上記した第1
の実施の形態と同様であるため、その説明を省略する。
【0042】このような熱圧着ヘッドにおいては、ヒー
タツールホルダ44を金属で形成し、絶縁部材48をヒ
ータツールホルダ44より小さなブロック状に形成し、
ねじ71によってヒートルール50の表面積を実質的に
増大させているので、上記した第1の実施の形態に較べ
てヒータツール50の冷却時間をより一層短縮すること
ができる。
【0043】図5(a)、(b)は本発明の第3の実施
の形態を示す熱圧着ヘッドの断面図および要部の拡大断
面図である。この実施の形態においては、ヒータツール
ホルダ44を金属で形成して冷却機能をもたせ、このヒ
ータツールホルダ44の下面に全長にわたって形成した
溝49にヒータツール50を直接嵌合し、耐熱性の接着
剤によって固着している。ヒータツール50は、コバー
ル、スーパーインバー(鉄−ニッケル−コバルト合金)
等の鉄系の金属材料によって形成され、ヒータツールホ
ルダ44との電気的絶縁を図るために表面に絶縁処理が
施されている。この絶縁処理が施されている表面部分
は、前記溝49にはめ込まれヒータツールホルダ44に
接触する中央部の表面、言い換えれば給電ブロック52
(図2参照)によって保持される端部以外の表面で、耐
熱性の絶縁膜75によって被覆されている。絶縁膜75
としては、TiALN(窒化チタンアルミニウム)膜7
5が用いられる。このTiALN膜75は、SIP(S
putter Ion Lating)処理によって形
成され、厚みが2〜3μm程度、耐熱温度が800°C
以上、絶縁抵抗が10MΩ以上である。なお、その他の
構成は上記した第1の実施の形態と同様であるため、同
一部材については同一符号をもって示し、その説明を省
略する。
【0044】このような熱圧着ヘッドにおいても、ヒー
タツールホルダ44を金属で形成し、絶縁膜75で被覆
されたヒータツール55をヒータツールホルダ44に取
付けているので、上記した第1の実施の形態と同様にヒ
ータツール50からヒータツールホルダ44を含む昇降
ブロック34側への熱伝導が良好で、ヒータツール50
の冷却時間を短縮することができる。また、TiALN
膜75は、耐熱温度が高く、しかも絶縁抵抗が優れてい
るので、熱圧着ヘッドの耐久性を向上させることができ
る。
【0045】図6は本発明の第4の実施の形態を示す熱
圧着ヘッドの要部の斜視図である。この実施の形態にお
いては、ヒータツールホルダ44を金属で形成して冷却
機能をもたせ、このヒータツールホルダ44の下面に全
長にわたって形成した溝49にヒータツール50を直接
嵌合し、耐熱性を有する接着剤によって固着している。
溝49の内面は、絶縁処理が施されることにより耐熱性
の絶縁膜75によって被覆され、これによってヒータツ
ールホルダ44とヒータツール50を電気的に絶縁して
いる。なお、その他の構成は図5に示した第3の実施の
形態と同様であるため、その説明を省略する。
【0046】このような熱圧着ヘッドにおいても、上記
した第3の実施の形態と同様にヒータツール50の冷却
時間を短縮することができる。
【0047】なお、本発明は異方性導電膜22を用いて
熱圧着する場合だけでなく、他の熱圧着のためにも用い
ることができる。例えば電極に予め半田めっきなどで所
定量の半田を供給しておき、ヒータツール50で加熱す
ることによりリフローさせるものにも適用できる。ま
た、本実施の形態では、ヒータツール50の断面形状を
長方形として説明したが、ワークによっては圧着面50
Aを逆凸状や片刃状に形成してもよい。
【0048】
【発明の効果】以上説明したように本発明に係る熱圧着
装置は、ヒータツールホルダを金属で形成し、このヒー
タホルダにヒータツールを絶縁部材もしくは薄い絶縁膜
によって電気的に絶縁して取付けるようにしたので、絶
縁材でヒータツールホルダを形成した従来装置に較べて
熱伝導による放熱が良好で、ヒータツールの冷却時間を
短縮することができる。したがって、装置全体のタクト
時間が短縮され、生産性を向上させることができる。特
に、薄い絶縁膜はブロック状の絶縁部材に較べて熱容量
が小さく、ヒータツールの熱をヒータツールホルダに良
好に伝達することができる。
【0049】また、本発明はヒータツールホルダに冷却
機能をもたせているので、より一層冷却時間を短縮する
ことができる。さらに、本発明は、複数個のねじによっ
てヒータツールの表面積を実質的に増大させたので、ヒ
ータツールの熱を良好に放熱することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明に係る熱圧着装置の第1の実施の形態
を示す斜視図である。
【図2】 熱圧着ヘッドの要部の分解斜視図である。
【図3】 熱圧着装置により被圧着物を熱圧着する際の
動作手順を示すフローチャートである。
【図4】 (a)、(b)は本発明の第2の実施の形態
を示す熱圧着ヘッドの斜視図である。
【図5】 (a)、(b)は本発明の第3の実施の形態
を示す熱圧着ヘッドの断面図および要部の拡大断面図で
ある。
【図6】 本発明の第4の実施の形態を示す熱圧着ヘッ
ドの要部の斜視図である。
【図7】 従来の熱圧着装置の熱圧着ヘッドを示す正面
図である。
【符号の説明】
30…熱圧着ヘッド、34…昇降ブロック、40…加圧
ブロック、42…保持ブロック、44…ヒータツールホ
ルダ、48…絶縁部材、49…溝、50…ヒータツー
ル、52…給電ブロック、71…ねじ、75…絶縁膜。

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 パルスヒート方式により加熱されるヒー
    タツールをワークに押圧しワークを熱圧着する熱圧着装
    置において、 ワークの上方で昇降する昇降ブロックと、この昇降ブロ
    ックの下面に略水平に固定された金属製のヒータツール
    ホルダと、このヒータツールホルダの下面側に絶縁部材
    を介して取付けられた前記ヒータツールと、このヒータ
    ツールの両端を保持する左右一対の給電ブロックとを備
    えたことを特徴とする熱圧着装置。
  2. 【請求項2】 パルスヒート方式により加熱されるヒー
    タツールをワークに押圧しワークを熱圧着する熱圧着装
    置において、 ワークの上方で昇降する昇降ブロックと、この昇降ブロ
    ックの下面に略水平に固定された金属製のヒータツール
    ホルダと、このヒータツールホルダの下面側に絶縁部材
    を介して取付けられた前記ヒータツールとを備え、前記
    ヒータツールを複数個のねじによって前記絶縁部材に固
    定したことを特徴とする熱圧着装置。
  3. 【請求項3】 パルスヒート方式により加熱されるヒー
    タツールをワークに押圧しワークを熱圧着する熱圧着装
    置において、 ワークの上方で昇降する昇降ブロックと、この昇降ブロ
    ックの下面に略水平に固定された金属製のヒータツール
    ホルダと、このヒータツールホルダの下面側に取付けら
    れた前記ヒータツールとを備え、前記ヒータツールの表
    面を絶縁膜で被覆し前記ヒータツールホルダと電気的に
    絶縁したことを特徴とする熱圧着装置。
  4. 【請求項4】 パルスヒート方式により加熱されるヒー
    タツールをワークに押圧しワークを熱圧着する熱圧着装
    置において、 ワークの上方で昇降する昇降ブロックと、この昇降ブロ
    ックの下面に略水平に固定された金属製のヒータツール
    ホルダと、このヒータツールホルダの下面側に取付けら
    れた前記ヒータツールとを備え、前記ヒータツールホル
    ダの表面で少なくとも前記ヒータツールが密接される表
    面部分を絶縁膜で被覆し前記ヒータツールと電気的に絶
    縁したことを特徴とする熱圧着装置。
  5. 【請求項5】 請求項1,2,3または4記載の熱圧着
    装置において、 ヒータツールホルダに冷却機能をもたせたことを特徴と
    する熱圧着装置。
  6. 【請求項6】 請求項3または4記載の熱圧着装置にお
    いて、 絶縁膜が窒化チタンアルミニウム膜であることを特徴と
    する熱圧着装置。
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