JPH1136024A - 高温作動型形状記憶合金およびその製造方法 - Google Patents

高温作動型形状記憶合金およびその製造方法

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JPH1136024A
JPH1136024A JP19383997A JP19383997A JPH1136024A JP H1136024 A JPH1136024 A JP H1136024A JP 19383997 A JP19383997 A JP 19383997A JP 19383997 A JP19383997 A JP 19383997A JP H1136024 A JPH1136024 A JP H1136024A
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Japan
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memory alloy
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less
alloy
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JP19383997A
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Kazuhiro Otsuka
和弘 大塚
Kengo Mitose
賢悟 水戸瀬
Masato Asai
真人 浅井
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Furukawa Electric Co Ltd
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Furukawa Electric Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 高温環境で良好な形状記憶効果および超弾性
効果を示す高温作動型形状記憶合金およびその製造方法
を提供する。 【解決手段】 50at%を超えて 52at%以下のTi、 15at%以
上 50at%以下のPd、必須元素のNi、および不可避不純物
からなるNiTiPd系形状記憶合金であって、前記合金の結
晶粒内に粒径 100nm以下の Ti2Ni析出相、前記 Ti2Niの
Niの一部がPdで置換された析出相、または Ti2Pd析出相
の少なくとも1種が分散している高温作動型形状記憶合
金、および前記合金を 700℃〜1000℃の温度で所定形状
に熱間加工したのち、 400〜600 ℃の温度で熱処理する
製造方法。 【効果】 粒径100nm 以下の析出相がすべりを抑制する
ため、良好な形状記憶効果と超弾性効果を高温環境で得
ることができる。前記合金は、欠陥を生じ易い冷間加工
を行わずに、熱間圧延と熱処理だけで容易に製造でき
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、高温環境で良好な
形状記憶効果および超弾性効果を示す高温作動型形状記
憶合金およびその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】NiTi系合金は、作動温度以上に加熱する
ことにより記憶した形状に戻る形状記憶特性を備えてお
り、主にアクチュエーターとして広く実用化されてい
る。また、ほぼ一定の応力で大きな変形を加えても除荷
すると元の形状に戻る特性、すなわち超弾性をも備えて
おり、携帯電話のアンテナ、眼鏡フレーム、ブラワイヤ
ー等に利用されている。しかし、実用化されているNiTi
系合金の作動温度は高々100 ℃であるため、その応用分
野は制限されていた。NiTi系合金における形状記憶効果
や超弾性効果を伴う変形は、一般の金属材料のすべり変
形(結晶を構成する原子間の結合の手が切れてずれてゆ
く変形)とは異なり、結晶方位の変化(マルテンサイト
兄弟晶の再配列)や結晶構造の変化(応力誘起マルテン
サイト変態)によるものである。この変形機構の場合、
原子間の結合の手が切れないため、変形前の形状の記憶
が可能となる。実用NiTi系合金では、さらに冷間加工に
よって加工ひずみを結晶内に導入させ冷間加工後の熱処
理を組み合わせることにより、使用時のすべり変形を防
止し、安定した形状記憶効果や超弾性効果の出現を可能
とした。高温作動型の形状記憶合金としては、100 〜60
0 ℃の高変態温度を有するNiTiPd系合金が知られてい
る。しかし、使用環境温度が高いため、変形時にすべり
による変形が起き易くなり、形状記憶特性や超弾性特性
が低下してしまうという問題があった。研究段階では、
NiTi系合金と同様に、冷間加工により加工ひずみを導入
して、前記特性の改善が可能なことが報告されている
(D.Golberg,Ya.Xu,Y.Murakami,S.Morito,K.Otsuka;Inte
rmetallics 3(1995)35) 。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかし、このNiTiPd系
合金は室温での伸びが 10%程度と低く冷間加工性が極め
て悪い。従って、破断や割れのない材料を冷間加工で得
ることは不可能で、前述の加工ひずみの導入による特性
改善は実用規模ではなし得なかった。このようなことか
ら、本発明者等は、高温作動型のNiTiPd系合金を、冷間
加工を行わないで実用化する方法について鋭意研究を行
った。その結果、熱間加工後のNiTiPd系合金を所定温度
で熱処理することにより結晶粒内に粒径100nm 以下のTi
2Ni 析出相、前記Ti2Ni のNiの一部がPdで置換された析
出相、またはTi2Pd 析出相の少なくとも1種を分散さ
せ、形状記憶と超弾性の両特性を改善できる見通しを
得、さらに研究を重ねて本発明を完成させるに至った。
本発明は、高温環境で良好な形状記憶効果および超弾性
効果を示す高温作動型形状記憶合金およびその製造方法
の提供を目的とする。
【0004】
【課題を解決するための手段】請求項1記載の発明は、
50at%を超えて 52at%以下のTi、 48at%を超えて 50at%
以下のPd、および不可避不純物からなるTiPd系形状記憶
合金であって、前記合金の結晶粒内に粒径が 100nm以下
の Ti2Pd析出相が分散していることを特徴とする高温作
動型形状記憶合金である。
【0005】請求項2記載の発明は、 50at%を超えて 5
2at%以下のTi、 15at%以上 50at%以下のPd、必須元素の
Ni、および不可避不純物からなるNiTiPd系形状記憶合金
であって、前記合金の結晶粒内に粒径 100nm以下の Ti2
Ni析出相、前記 Ti2NiのNiの一部がPdで置換された析出
相、または Ti2Pd析出相の少なくとも1種が分散してい
ることを特徴とする高温作動型形状記憶合金である。
【0006】請求項3記載の発明は、請求項1記載のTi
Pd系形状記憶合金のPdの一部を B、Cr、 V、Fe、Mn、C
o、Al、Cuの1種もしくは2種以上で 0.1〜2at%置換し
た組成のTiPd-X系形状記憶合金であって、前記合金の結
晶粒内に粒径が 100nm以下の Ti2Pd析出相が分散してい
ることを特徴とする高温作動型形状記憶合金である。
【0007】請求項4記載の発明は、請求項2記載のNi
TiPd系形状記憶合金のNiまたは/およびPdの一部を B、
Cr、 V、Fe、Mn、Co、Al、Cuの1種もしくは2種以上で
0.1〜2at%置換した組成のNiTiPd-X系形状記憶合金であ
って、前記合金の結晶粒内に粒径100nm 以下の Ti2Ni析
出相、前記 Ti2NiのNiの一部がPdで置換された析出相、
または Ti2Pd析出相の少なくとも1種が分散しているこ
とを特徴とする高温作動型形状記憶合金である。
【0008】請求項5記載の発明は、請求項1〜4に記
載の組成のNiTiPd系形状記憶合金を700〜1000℃の所定
温度で熱間加工したのち、前記熱間加工材に 400〜600
℃の所定温度で熱処理を施すことにより、結晶粒内に粒
径 100nm以下の Ti2Ni析出相、前記Ti2Ni のNiの一部が
Pdで置換された析出相、または Ti2Pd析出相の少なくと
も1種を分散させることを特徴とする高温作動型形状記
憶合金の製造方法である。
【0009】請求項6記載の発明は、熱間加工材に、変
形ひずみ量10%以下の冷間加工、皮むき加工、または酸
洗の少なくとも1種を施し、しかるのち熱処理を施すこ
とを特徴とする請求項5記載の高温作動型形状記憶合金
の製造方法である。
【0010】
【発明の実施の形態】請求項1記載の発明は、TiPd系形
状記憶合金の結晶粒内に粒径 100nm以下のTi 2Pd 析出相
を分散させ、これによりすべりの発生を抑えて形状記憶
と超弾性の両特性の改善を図った高温作動型の形状記憶
合金である。この発明において、 Ti2Pd析出相の粒径を
100nm以下に規定する理由は、前記析出相の粒径が 100
nmを超えると、形状記憶と超弾性の両特性が十分に改善
されなくなるためである。前記析出相の粒径とは、20万
倍率の顕微鏡観察において母相の結晶粒内に存在する析
出相 100個のうちの最大径と最小径の平均値を平均した
値である。また前記析出相は前記結晶粒内に均一に分散
していることが望ましい。この発明において、Ti含有量
を 50at%を超えて 52at%以下に規定する理由は、Ti濃度
が 50at%以下では析出相が十分な量析出しない、あるい
は析出が起こらないからであり、また 52at%を超えると
熱間加工性が著しく低下するためである。またPdの含有
量を 48at%を超えて 50at%以下に規定する理由は、 50a
t%未満ではTiPd系合金は 100℃以上の高温で作動しなく
なるためである。
【0011】請求項2記載の発明は、NiTiPd系形状記憶
合金の結晶粒内に粒径 100nm以下のTi2Ni析出相、前記
Ti2NiのNiの一部がPdで置換された析出相、または Ti2P
d析出相の少なくとも1種を分散させ、これによりすべ
りの発生を抑えて形状記憶と超弾性の両特性の改善を図
った高温作動型の形状記憶合金である。この発明におい
て、 Ti2Ni析出相、前記 Ti2NiのNiの一部がPdで置換さ
れた析出相、または Ti2Pd析出相の各々の粒径を 100nm
以下に規定する理由は、前記析出相の粒径が 100nmを超
えると、形状記憶と超弾性の両特性が十分に改善されな
くなるためである。前記析出相の粒径の定義は請求項1
で説明したのと同じである。また析出相は結晶粒内に均
一に分散していることが望ましいのも請求項1で説明し
たのと同じである。この発明において、Ti含有量を 50a
t%を超えて 52at%以下に規定する理由は、Ti濃度が 50a
t%以下では析出相が十分な量析出しない、あるいは析出
が起こらないからであり、また 52at%を超えると熱間加
工性が著しく低下するためである。またPdの含有量を15
〜50at% に規定した理由は、 15at%未満ではNiTiPd系合
金は100℃以上の高温で作動しなくなるためである。
【0012】さらに、請求項3記載のTiPd系形状記憶合
金のPdの一部を B、Cr、 V、Fe、Mn、Co、Al、Cuの1種
もしくは2種以上で 0.1〜2at%置換した組成のTiPd-X系
形状記憶合金でも、また請求項2記載のNiTiPd系形状記
憶合金のNiまたは/およびPdの一部を B、Cr、 V、Fe、
Mn、Co、Al、Cuの1種もしくは2種以上で 0.1〜2at%置
換した組成のNiTiPd-X系形状記憶合金でも、請求項1ま
たは2記載の形状記憶合金と同様の効果が得られる。
【0013】本発明の形状記憶合金は、所定組成のNiTi
Pd系合金を熱間加工後、所定温度で熱処理することによ
り製造できる。前記熱間加工温度を 700〜1000℃に規定
する理由は、 700℃未満では、加工時に欠陥が生じ易く
なり、1000℃を超えると表面酸化が激しくなり、材料品
質が劣化するためである。また熱処理温度を 400〜600
℃に規定する理由は、 400℃未満では析出に長時間を要
し或いは析出が起きないため、また 600℃を超えると析
出相が粗大化して、そのすべりを抑制する効果が十分に
得られなくなり、形状記憶と超弾性の両特性が十分改善
されなくなるためである。本発明では、熱間圧延後、酸
洗、皮むき加工、軽度の冷間加工などを施して、酸化ス
ケールの除去、寸法精度の向上、製品形状への成形など
を行い、その後熱処理を行うのが望ましい。
【0014】
【実施例】
(実施例1)51.0at%Ti-49.0at%Pd 合金、 51.0at%Ti-4
8.5at%Pd-0.5Fe合金、19.4Ni-50.6Ti-30.0Pd合金、30.4
Ni-51.6Ti-18.0Pd合金、18.5Ni-51.0Ti-30.0Pd-0.5Fe合
金、18.5Ni-51.0Ti-30.0Pd-0.2Fe-0.3Cr合金をそれぞれ
アーク溶解法にて溶製したのち鋳造し、得られた鋳塊を
750℃で熱間圧延して、厚さ 1.0mmの板材とした。この
板材から短冊片を切り出し、これをフラットな形状に保
持した状態で 400〜600 ℃の種々の温度で熱処理を施し
てサンプルとした。
【0015】(実施例2)19.4Ni-50.6Ti-30.0Pd合金を
アーク溶解にて溶製したのち鋳造し、得られた鋳塊を 7
50℃で厚さ 1.1mmに熱間圧延し、この熱間圧延材に減面
率8%の冷間圧延を施し、しかるのちこの板材から短冊片
を切り出し、これをフラットな形状に保持した状態で 4
00〜600 ℃の種々の温度で熱処理を施してサンプルとし
た。
【0016】(比較例1)20.0at%Ni-50.0at%Ti-30.0at
%Pd 合金を用いた他は、実施例1と同じ方法によりサン
プルを作製した。
【0017】(比較例2)19.4at%Ni-50.6at%Ti-30.0at
%Pd合金を用い、熱処理を 650℃または 300℃で施した
他は、実施例1と同じ方法によりサンプルを作製した。
【0018】得られた各々のサンプルについて形状記憶
特性および超弾性特性を調べた。また電子顕微鏡により
20万倍の倍率で析出相の粒径を測定した。一つの析出相
の最大径と最小径の平均値をその析出相の粒径とし、母
相粒内に存在する析出相 100個の粒径の平均値をその試
料の析出相の粒径とした。結果を表1および表2に示
す。各サンプルについて、示差操作型熱量測定法(DS
C)により熱分析を行って変態温度(Af 点)を調べ、
表中に記した。形状記憶特性は、 100℃または 200℃で
張力を掛けてひずみを4%付与したのち徐荷し、これを試
料No.1〜3 および10については 600℃まで加熱、試料N
o.4〜6および 9〜18については 350℃まで加熱、試料N
o.7〜9 については 200℃まで加熱した。試料加熱後、
回復したひずみ量を、除荷直後の残留ひずみ量で除して
形状回復率を求めた。なお、試料No.7〜9 については、
Af温度が 200℃以下のため、 200℃で張力をかける試験
は行わなかった。表1には、形状回復率が 90%以上のも
のを◎、 90%未満 80%以上のものを○、80%未満のもの
を×で示した。超弾性は各試料の Af+10℃の温度下で張
力を掛けてひずみを4%付与したのち徐荷し、このときの
残留ひずみ量を測定した。
【0019】
【表1】
【0020】
【表2】 (注)☆:51.0at%Ti-48.5at%Pd-0.5Fe合金。 *:18.5Ni-51.0Ti-30.0Pd-0.5Fe 合金。 #:18.5Ni-51.0Ti-30.0Pd-0.2Fe-0.3Cr 合金。 ♭:19.4Ni-50.6Ti-30.0Pd 合金(実施例2、減面率8%の冷間圧延)。
【0021】表1および表2より明らかなように、本発
明例の試料No.1〜13は形状記憶効果の指標となる形状記
憶回復率が 80%以上、超弾性効果の指標となる残留ひず
み率が0.5%以下で、いずれも優れた値を示した。これは
結晶粒内に分散している 100nm以下の微細な析出相(Ti2
Ni析出相、前記 Ti2NiのNiの一部がPdで置換された析出
相、または Ti2Pd析出相) がすべりを抑制したためであ
る。これに対し、比較例の試料No.14 〜16はTiが 50.0a
t%と少ないため析出相が析出せず、試料No.17 は熱処理
温度が低かったため析出相が析出せず、また試料No.18
は熱処理温度が高かったため析出相が粗大化して、いず
れにもすべりが生じて、形状回復率または/および残留
ひずみが劣る結果となった。
【0022】
【発明の効果】以上に述べたように、本発明の高温作動
型形状記憶合金は、50at% を超えて 52at%以下のTi、 4
8at%を超えて50at% 以下のPd、および不可避不純物から
なるTiPd系合金、 50at%を超えて52at% 以下のTi、 15a
t%以上 50at%以下のPd、必須元素Ni、および不可避不純
物からなるNiTiPd系合金、前記TiPd系合金のPdの一部を
B、Cr、 V、Fe、Mn、Co、Al、Cuの一種もしくは二種以
上で 0.1〜2at%置換した組成のTiPd-X系合金、および前
記NiTiPd系合金のNiまたは/およびPdの一部を B、Cr、
V、Fe、Mn、Co、Al、Cuの一種もしくは二種以上で 0.1
〜2at%置換した組成のNiTiPd-X系合金であって、結晶粒
内に粒径 100nm以下の Ti2Ni析出相、または前記 Ti2Ni
のNiの一部がPdで置換された析出相、またはTi2Pd 析出
相を分散させたものであり、前記析出相は合金のすべり
を十分抑制する作用を有するため、良好な形状記憶効果
および超弾性効果を高温環境で得ることができる。また
本発明の合金は、熱間圧延と熱処理だけで、或いは軽度
の冷間加工を加えて、容易に製造できる。依って工業上
顕著な効果を奏する。
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 FI C22F 1/00 685 C22F 1/00 685Z 686 686A 691 691B (72)発明者 浅井 真人 東京都千代田区丸の内2丁目6番1号 古 河電気工業株式会社内

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 50at%を超えて 52at%以下のTi、 48at%を
    超えて 50at%以下のPd、および不可避不純物からなるTi
    Pd系形状記憶合金であって、前記合金の結晶粒内に粒径
    が 100nm以下の Ti2Pd析出相が分散していることを特徴
    とする高温作動型形状記憶合金。
  2. 【請求項2】 50at%を超えて 52at%以下のTi、 15at%
    以上 50at%以下のPd、必須元素のNi、および不可避不純
    物からなるNiTiPd系形状記憶合金であって、前記合金の
    結晶粒内に粒径 100nm以下の Ti2Ni析出相、前記 Ti2Ni
    のNiの一部がPdで置換された析出相、または Ti2Pd析出
    相の少なくとも1種が分散していることを特徴とする高
    温作動型形状記憶合金。
  3. 【請求項3】 請求項1記載のTiPd系形状記憶合金のPd
    の一部を B、Cr、 V、Fe、Mn、Co、Al、Cuの1種もしく
    は2種以上で 0.1〜2at%置換した組成のTiPd-X系形状記
    憶合金であって、前記合金の結晶粒内に粒径が 100nm以
    下の Ti2Pd析出相が分散していることを特徴とする高温
    作動型形状記憶合金。
  4. 【請求項4】 請求項2記載のNiTiPd系形状記憶合金の
    Niまたは/およびPdの一部を B、Cr、 V、Fe、Mn、Co、
    Al、Cuの1種もしくは2種以上で0.1 〜2at%置換した組
    成のNiTiPd-X系形状記憶合金であって、前記合金の結晶
    粒内に粒径100nm 以下の Ti2Ni析出相、前記 Ti2NiのNi
    の一部がPdで置換された析出相、または Ti2Pd析出相の
    少なくとも1種が分散していることを特徴とする高温作
    動型形状記憶合金。
  5. 【請求項5】 請求項1〜4に記載の組成のNiTiPd系形
    状記憶合金を 700〜1000℃の所定温度で熱間加工したの
    ち、前記熱間加工材に 400〜600 ℃の所定温度で熱処理
    を施すことにより、結晶粒内に粒径 100nm以下の Ti2Ni
    析出相、前記Ti2Ni のNiの一部がPdで置換された析出
    相、または Ti2Pd析出相の少なくとも1種を分散させる
    ことを特徴とする高温作動型形状記憶合金の製造方法。
  6. 【請求項6】 熱間加工材に、変形ひずみ量10%以下の
    冷間加工、皮むき加工、または酸洗の少なくとも1種を
    施し、しかるのち熱処理を施すことを特徴とする請求項
    5記載の高温作動型形状記憶合金の製造方法。
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