JPH1145147A - 超音波タッチパネル - Google Patents
超音波タッチパネルInfo
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- JPH1145147A JPH1145147A JP21597397A JP21597397A JPH1145147A JP H1145147 A JPH1145147 A JP H1145147A JP 21597397 A JP21597397 A JP 21597397A JP 21597397 A JP21597397 A JP 21597397A JP H1145147 A JPH1145147 A JP H1145147A
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- wave
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 低消費電力駆動で、接触位置の細密な検出を
可能にすること。 【解決手段】 すだれ状電極Ｔ0とＴ1に電気信号を入力
すると、２層構造部ＢT0とＢT1にＳＨ波が励振され、非
圧電板１に伝搬された後、２層構造部ＢR0およびＢR1に
伝搬され、すだれ状電極Ｒ0によって位相θbaseを有す
る電気信号に変換され出力されるとともに、すだれ状電
極Ｒ1によって位相θj（ｊ＝ｘ，……，２，１，０，−
１，−２，……，−ｘ）を有する電気信号Ｅj（ｊ＝
ｘ，……，２，１，０，−１，−２，……，−ｘ）にそ
れぞれ変換される。もしも、非圧電板１のどちらか一方
の板面において、すだれ状電極Ｔ1とＲ1との間の位置Ｆ
jに接触すると、すだれ状電極Ｒ1において位相θ-jを有
する電気信号Ｅ-jが出力される。このとき、θbaseとθ
-jとの差から接触位置Ｆjが検出できる。
可能にすること。 【解決手段】 すだれ状電極Ｔ0とＴ1に電気信号を入力
すると、２層構造部ＢT0とＢT1にＳＨ波が励振され、非
圧電板１に伝搬された後、２層構造部ＢR0およびＢR1に
伝搬され、すだれ状電極Ｒ0によって位相θbaseを有す
る電気信号に変換され出力されるとともに、すだれ状電
極Ｒ1によって位相θj（ｊ＝ｘ，……，２，１，０，−
１，−２，……，−ｘ）を有する電気信号Ｅj（ｊ＝
ｘ，……，２，１，０，−１，−２，……，−ｘ）にそ
れぞれ変換される。もしも、非圧電板１のどちらか一方
の板面において、すだれ状電極Ｔ1とＲ1との間の位置Ｆ
jに接触すると、すだれ状電極Ｒ1において位相θ-jを有
する電気信号Ｅ-jが出力される。このとき、θbaseとθ
-jとの差から接触位置Ｆjが検出できる。
Description
【発明の属する技術分野】本発明は入力用すだれ状電極
を備えた圧電板および出力用すだれ状電極を備えた圧電
板を非圧電板の一方の板面に設け、非圧電板のどちらか
一方の板面に人指または物体が接触した位置を検出する
超音波タッチパネルに関する。
を備えた圧電板および出力用すだれ状電極を備えた圧電
板を非圧電板の一方の板面に設け、非圧電板のどちらか
一方の板面に人指または物体が接触した位置を検出する
超音波タッチパネルに関する。
【従来の技術】超音波方式による従来のタッチパネル
は、非圧電板に弾性表面波を励振させ、その非圧電板に
接触することにより弾性表面波が減衰するということを
利用したものである。非圧電板に弾性表面波を励振する
従来の方法としては、バルク波振動子を用いたくさび形
トランスデューサにより間接的に励振する方法、圧電薄
膜トランスデューサにより直接的に励振する方法等が挙
げられる。くさび形トランスデューサは超音波による非
破壊検査等に用いられているが、くさび角の工作精度の
問題等から比較的低い周波数領域においてのみ用いられ
る。圧電薄膜トランスデューサはＺｎＯ等の圧電薄膜を
基板に蒸着しすだれ状電極により弾性表面波を励振する
方法で、すだれ状電極の構成により種々の伝送特性を示
すことから高周波デバイスとして用いられるが、ＵＨ
Ｆ，ＶＨＦ帯に限られるとともに加工性や量産性に問題
がある。このようにして、従来の超音波タッチパネルで
は応答時間、感度、耐久性、工作精度、加工性、量産性
および使用しやすさ等の点で問題があり、使用周波数領
域も制限されている。また、従来のタッチパネルは、接
触位置の細密さにいっそうの向上を要するとともに、信
号処理の仕方が複雑にならざるを得なかった。
は、非圧電板に弾性表面波を励振させ、その非圧電板に
接触することにより弾性表面波が減衰するということを
利用したものである。非圧電板に弾性表面波を励振する
従来の方法としては、バルク波振動子を用いたくさび形
トランスデューサにより間接的に励振する方法、圧電薄
膜トランスデューサにより直接的に励振する方法等が挙
げられる。くさび形トランスデューサは超音波による非
破壊検査等に用いられているが、くさび角の工作精度の
問題等から比較的低い周波数領域においてのみ用いられ
る。圧電薄膜トランスデューサはＺｎＯ等の圧電薄膜を
基板に蒸着しすだれ状電極により弾性表面波を励振する
方法で、すだれ状電極の構成により種々の伝送特性を示
すことから高周波デバイスとして用いられるが、ＵＨ
Ｆ，ＶＨＦ帯に限られるとともに加工性や量産性に問題
がある。このようにして、従来の超音波タッチパネルで
は応答時間、感度、耐久性、工作精度、加工性、量産性
および使用しやすさ等の点で問題があり、使用周波数領
域も制限されている。また、従来のタッチパネルは、接
触位置の細密さにいっそうの向上を要するとともに、信
号処理の仕方が複雑にならざるを得なかった。
【発明が解決しようとする課題】従来の超音波タッチパ
ネルでは感度、工作精度、加工性、量産性、消費電力等
に問題があるばかりでなく、信号処理の仕方や回路構成
等にも問題があった。本発明の目的は、加工性、耐久性
および量産性に優れ、低消費電力駆動で応答時間が短
く、信号処理の仕方が簡単で、回路の規模も小さく、接
触位置の細密な検出が可能で、使用しやすさに優れた超
音波タッチパネルを提供することにある。
ネルでは感度、工作精度、加工性、量産性、消費電力等
に問題があるばかりでなく、信号処理の仕方や回路構成
等にも問題があった。本発明の目的は、加工性、耐久性
および量産性に優れ、低消費電力駆動で応答時間が短
く、信号処理の仕方が簡単で、回路の規模も小さく、接
触位置の細密な検出が可能で、使用しやすさに優れた超
音波タッチパネルを提供することにある。
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の超音波
タッチパネルは、非圧電板、２つの超音波送受波手段、
増幅器、位相比較器および信号処理器から成る超音波タ
ッチパネルであって、前記各超音波送受波手段は、圧電
基板ＰT0およびＰR0、圧電基板ＰTi（ｉ＝１，２，…
…，Ｎ）、圧電基板ＰRi（ｉ＝１，２，……，Ｎ）、入
力用すだれ状電極Ｔ0、入力用すだれ状電極Ｔi（ｉ＝
１，２，……，Ｎ）、前記すだれ状電極Ｔ0に対向する
出力用すだれ状電極Ｒ0、および前記各すだれ状電極Ｔi
にそれぞれ対向する出力用すだれ状電極Ｒi（ｉ＝１，
２，……，Ｎ）から成り、前記すだれ状電極Ｔ0は前記
圧電基板ＰT0の一方の板面に設けられ、前記すだれ状電
極Ｔiは前記圧電基板ＰTiそれぞれの一方の板面に設け
られ、前記すだれ状電極Ｒ0は前記圧電基板ＰR0の一方
の板面に設けられ、前記すだれ状電極Ｒiは前記圧電基
板ＰRiそれぞれの一方の板面に設けられ、前記圧電基板
ＰT0は、前記圧電基板ＰT0のもう一方の板面を介して前
記非圧電板の一方の板面に固着され、前記圧電基板ＰTi
は、前記圧電基板ＰTiそれぞれのもう一方の板面を介し
て前記非圧電板の前記一方の板面に固着され、前記圧電
基板ＰR0は、前記圧電基板ＰR0のもう一方の板面を介し
て前記非圧電板の前記一方の板面に固着され、前記圧電
基板ＰRiは、前記圧電基板ＰRiそれぞれのもう一方の板
面を介して前記非圧電板の前記一方の板面に固着され、
前記各圧電基板の分極軸の方向は、前記すだれ状電極Ｔ
0およびＴiの電極指の方向と平行であり、前記各圧電基
板の前記非圧電板との界面は電気的に開放状態にあり、
前記すだれ状電極Ｒ0の出力端は、前記増幅器を介し
て、前記すだれ状電極Ｔ0およびＴiの入力端に接続され
るとともに前記位相比較器の入力端に接続され、前記す
だれ状電極Ｒiの出力端は前記位相比較器を介して前記
信号処理器の入力端に接続され、前記すだれ状電極Ｒ0
の電極指の方向と、前記すだれ状電極Ｔ0の電極指の方
向は互いに平行で、前記すだれ状電極Ｒiの電極指の方
向は、前記すだれ状電極Ｔiの電極指の方向に対しそれ
ぞれ角αの傾きを有し、前記すだれ状電極Ｒiの電極指
に直交する方向での電極指の周期長ＰNは、前記すだれ
状電極Ｔ0，ＴiおよびＲ0の電極周期長Ｐとcosαとの積
に等しく、前記すだれ状電極Ｒiの電極指の方向での交
差幅ＬPは、前記すだれ状電極Ｔiの電極交差幅Ｌとsec
αとの積に等しいとともに、前記電極周期長Ｐとcosec
αとの積に等しく、前記すだれ状電極Ｔ0は、前記電極
周期長Ｐにほぼ対応する周波数の電気信号を入力される
ことにより、前記圧電基板ＰT0と前記非圧電板から成る
２層構造部ＢT0に前記電極周期長Ｐとほぼ等しい波長を
有するＳＨ波を励振し、該ＳＨ波を前記非圧電板に伝搬
させた後、前記圧電基板ＰR0と前記非圧電板から成る２
層構造部ＢR0に伝搬させ、前記すだれ状電極Ｔiは、前
記電極周期長Ｐにほぼ対応する周波数の電気信号を入力
されることにより、前記圧電基板ＰTiと前記非圧電板か
ら成る２層構造部ＢTi（ｉ＝１，２，……，Ｎ）に前記
電極周期長Ｐとほぼ等しい波長を有するＳＨ波を励振
し、該ＳＨ波を前記非圧電板に伝搬させた後、前記圧電
基板ＰRiと前記非圧電板から成る２層構造部ＢRi（ｉ＝
１，２，……，Ｎ）に伝搬させ、前記ＳＨ波は０次モー
ドおよび１次以上の高次モードの波で、前記ＳＨ波の位
相速度は、前記非圧電板単体に伝搬する横波速度および
前記各圧電基板単体に伝搬する横波速度の平均値とほぼ
等しく、前記各圧電基板の厚さｄは前記電極周期長Ｐよ
りも小さく、前記すだれ状電極Ｒ0は、前記２層構造部
ＢR0に伝搬した前記ＳＨ波を位相θb aseを有する電気信
号に変換して出力し、前記すだれ状電極Ｒiは、前記２
層構造部ＢRiに伝搬した前記ＳＨ波を位相θj（ｊ＝
ｘ，……，２，１，０，−１，−２，……，−ｘ）を有
する電気信号Ｅj（ｊ＝ｘ，……，２，１，０，−１，
−２，……，−ｘ）にそれぞれ変換し、前記位相θjを
合成することにより生ずる位相Ｕθjは零であり、前記
電気信号Ｅjを合成することにより生ずる電気信号ＵＥj
の振幅は零であって、前記電気信号ＵＥjは前記すだれ
状電極Ｒiにおいて検出されることはなく、前記すだれ
状電極ＴiおよびＲiは前記非圧電板においてＳＨ波の伝
搬路Ｄi（ｉ＝１，２，……，Ｎ）を形成し、前記各伝
搬路Ｄiは微細伝搬路Ｚj（ｊ＝ｘ，……，２，１，０，
−１，−２，……，−ｘ）で成り、微細伝搬路Ｚ0は前
記すだれ状電極Ｔiの前記電極交差幅Ｌの垂直二等分線
上にあり、前記非圧電板のどちらか一方の板面上におけ
る位置Ｆj（ｊ＝ｘ，……，２，１，０，−１，−２，
……，−ｘ）は、前記微細伝搬路Ｚjに対応し、前記微
細伝搬路Ｚjは前記位相θjに対応し、前記すだれ状電極
Ｒiは、前記位置Ｆjに人指または物体が接触したときに
のみ、位相θ-jを有する電気信号Ｅ-jを出力し、前記位
相比較器は前記位相θbaseと前記位相θ-jとの差を検出
し、前記信号処理器は、前記電気信号Ｅ-jを出力した前
記すだれ状電極Ｒiを判別し、接触した位置Ｆjを前記位
相θbaseと前記位相θ-jとの差に基づいて特定する。請
求項２に記載の超音波タッチパネルは、前記すだれ状電
極Ｔiの入力端にスイッチが接続され、前記スイッチは
前記すだれ状電極Ｔiに順次に所定の周期で電気信号を
入力し、 前記すだれ状電極Ｒiの出力端は互いに１つ
の接続点で接続され、前記信号処理器は、前記接続点に
おいて前記電気信号Ｅ-jが検出された時に接続されてい
た前記すだれ状電極Ｔiを判別し、接触した位置Ｆjを前
記位相θbaseと前記位相θ-jとの差に基づいて特定す
る。請求項３に記載の超音波タッチパネルは、非圧電
板、２つの超音波送受波手段、増幅器および信号処理器
から成る超音波タッチパネルであって、前記各超音波送
受波手段は、圧電基板ＰTi（ｉ＝１，２，……，Ｎ）、
圧電基板ＰRi（ｉ＝１，２，……，Ｎ）、入力用すだれ
状電極Ｔi（ｉ＝１，２，……，Ｎ）、および前記すだ
れ状電極Ｔiそれぞれに対向する出力用すだれ状電極Ｒi
（ｉ＝１，２，……，Ｎ）から成り、前記すだれ状電極
Ｔiはそれぞれ前記圧電基板ＰTiの一方の板面に設けら
れ、前記すだれ状電極Ｒiはそれぞれ前記圧電基板ＰRi
の一方の板面に設けられ、前記圧電基板ＰTiは、前記圧
電基板ＰTiそれぞれのもう一方の板面を介して前記非圧
電板の一方の板面に固着され、前記圧電基板ＰRiは、前
記圧電基板ＰRiそれぞれのもう一方の板面を介して前記
非圧電板の前記一方の板面に固着され、前記圧電基板Ｐ
TiおよびＰRiの分極軸の方向は、前記すだれ状電極Ｔi
の電極指の方向と平行であり、前記各圧電基板の前記非
圧電板との界面は電気的に開放状態にあり、前記すだれ
状電極Ｒiの出力端は互いに１つの接続点で接続され、
前記接続点は前記増幅器を介して前記すだれ状電極Ｔi
の入力端および前記信号処理器の入力端に接続され、前
記すだれ状電極Ｒiの電極指の方向は、前記すだれ状電
極Ｔiの電極指の方向に対し角αの傾きを有し、前記す
だれ状電極Ｒiの電極指に直交する方向での電極指の周
期長ＰNは、前記すだれ状電極Ｔiの電極周期長Ｐとcos
αとの積に等しく、前記すだれ状電極Ｒiの電極指の方
向での交差幅ＬPは、前記すだれ状電極Ｔiの電極交差幅
Ｌとsecαとの積に等しいとともに、前記電極周期長Ｐ
のＮ倍（Ｎ＝１，２，……，ｎ）とcosecαとの積に等
しく、前記すだれ状電極Ｔiは、前記電極周期長Ｐにほ
ぼ対応する周波数の電気信号を入力されることにより、
前記圧電基板ＰTiと前記非圧電板から成る２層構造部Ｂ
Ti（ｉ＝１，２，……，Ｎ）に前記電極周期長Ｐとほぼ
等しい波長を有するＳＨ波を励振し、該ＳＨ波を前記非
圧電板に伝搬させた後、前記圧電基板ＰRiと前記非圧電
板から成る２層構造部ＢRi（ｉ＝１，２，……，Ｎ）に
伝搬させ、前記ＳＨ波は０次モードおよび１次以上の高
次モードの波で、前記ＳＨ波の位相速度は、前記非圧電
板単体に伝搬する横波速度および前記各圧電基板単体に
伝搬する横波速度の平均値とほぼ等しく、前記各圧電基
板の厚さｄは、前記電極周期長Ｐよりも小さく、前記す
だれ状電極Ｒiは、前記２層構造部ＢRiに伝搬した前記
ＳＨ波を周波数ｆj（ｊ＝ｘ，……，２，１，０，−
１，−２，……，−ｘ）を有する電気信号Ｅj（ｊ＝
ｘ，……，２，１，０，−１，−２，……，−ｘ）にそ
れぞれ変換し、前記電気信号Ｅjを合成することにより
生ずる電気信号ＵＥjの振幅は零であって、前記電気信
号ＵＥjは前記すだれ状電極Ｒiにおいて検出されること
はなく、前記すだれ状電極ＴiおよびＲiは前記非圧電板
においてＳＨ波の伝搬路Ｄi（ｉ＝１，２，……，Ｎ）
を形成し、前記各伝搬路Ｄiは微細伝搬路Ｚj（ｊ＝ｘ，
……，２，１，０，−１，−２，……，−ｘ）で成り、
微細伝搬路Ｚ0は前記すだれ状電極Ｔiの前記電極交差幅
Ｌの垂直二等分線上にあり、前記非圧電板のどちらか一
方の板面上における位置Ｆj（ｊ＝ｘ，……，２，１，
０，−１，−２，……，−ｘ）は、前記微細伝搬路Ｚj
に対応し、前記すだれ状電極Ｒiは、前記位置Ｆjに人指
または物体が接触したときにのみ、周波数ｆ-jを有する
電気信号Ｅ-jを出力し、前記信号処理器は、前記電気信
号Ｅ-jを出力した前記すだれ状電極Ｒiを判別すること
と前記周波数ｆ-jを検出することにより接触した位置Ｆ
jを特定する。請求項４に記載の超音波タッチパネル
は、前記すだれ状電極Ｔiの入力端にスイッチが接続さ
れ、前記スイッチは前記すだれ状電極Ｔiに順次に所定
の周期で電気信号を入力し、 前記信号処理器は、前記
接続点において前記電気信号Ｅ-jが検出された時に接続
されていた前記すだれ状電極Ｔiを判別することと前記
周波数ｆ-jを検出することにより接触した位置Ｆjを特
定する。請求項５に記載の超音波タッチパネルは、一方
の前記超音波送受波手段における前記伝搬路Ｄiと、も
う一方の前記超音波送受波手段における前記伝搬路Ｄi
が互いに直交している。請求項６に記載の超音波タッチ
パネルは、前記各超音波送受波手段における前記伝搬路
Ｄiが互いに隣接するかまたは一部分を重複させてい
る。請求項７に記載の超音波タッチパネルは、前記非圧
電板の厚さは、前記各圧電基板の厚さｄとほぼ等しいか
またはそれよりも小さく、前記非圧電板は、前記非圧電
板単体に伝搬する横波の位相速度が前記各圧電基板単体
に伝搬する横波の位相速度とほぼ等しいかまたはそれ以
下の物質で成る。請求項８に記載の超音波タッチパネル
は、前記各圧電基板が圧電セラミックで成る。
タッチパネルは、非圧電板、２つの超音波送受波手段、
増幅器、位相比較器および信号処理器から成る超音波タ
ッチパネルであって、前記各超音波送受波手段は、圧電
基板ＰT0およびＰR0、圧電基板ＰTi（ｉ＝１，２，…
…，Ｎ）、圧電基板ＰRi（ｉ＝１，２，……，Ｎ）、入
力用すだれ状電極Ｔ0、入力用すだれ状電極Ｔi（ｉ＝
１，２，……，Ｎ）、前記すだれ状電極Ｔ0に対向する
出力用すだれ状電極Ｒ0、および前記各すだれ状電極Ｔi
にそれぞれ対向する出力用すだれ状電極Ｒi（ｉ＝１，
２，……，Ｎ）から成り、前記すだれ状電極Ｔ0は前記
圧電基板ＰT0の一方の板面に設けられ、前記すだれ状電
極Ｔiは前記圧電基板ＰTiそれぞれの一方の板面に設け
られ、前記すだれ状電極Ｒ0は前記圧電基板ＰR0の一方
の板面に設けられ、前記すだれ状電極Ｒiは前記圧電基
板ＰRiそれぞれの一方の板面に設けられ、前記圧電基板
ＰT0は、前記圧電基板ＰT0のもう一方の板面を介して前
記非圧電板の一方の板面に固着され、前記圧電基板ＰTi
は、前記圧電基板ＰTiそれぞれのもう一方の板面を介し
て前記非圧電板の前記一方の板面に固着され、前記圧電
基板ＰR0は、前記圧電基板ＰR0のもう一方の板面を介し
て前記非圧電板の前記一方の板面に固着され、前記圧電
基板ＰRiは、前記圧電基板ＰRiそれぞれのもう一方の板
面を介して前記非圧電板の前記一方の板面に固着され、
前記各圧電基板の分極軸の方向は、前記すだれ状電極Ｔ
0およびＴiの電極指の方向と平行であり、前記各圧電基
板の前記非圧電板との界面は電気的に開放状態にあり、
前記すだれ状電極Ｒ0の出力端は、前記増幅器を介し
て、前記すだれ状電極Ｔ0およびＴiの入力端に接続され
るとともに前記位相比較器の入力端に接続され、前記す
だれ状電極Ｒiの出力端は前記位相比較器を介して前記
信号処理器の入力端に接続され、前記すだれ状電極Ｒ0
の電極指の方向と、前記すだれ状電極Ｔ0の電極指の方
向は互いに平行で、前記すだれ状電極Ｒiの電極指の方
向は、前記すだれ状電極Ｔiの電極指の方向に対しそれ
ぞれ角αの傾きを有し、前記すだれ状電極Ｒiの電極指
に直交する方向での電極指の周期長ＰNは、前記すだれ
状電極Ｔ0，ＴiおよびＲ0の電極周期長Ｐとcosαとの積
に等しく、前記すだれ状電極Ｒiの電極指の方向での交
差幅ＬPは、前記すだれ状電極Ｔiの電極交差幅Ｌとsec
αとの積に等しいとともに、前記電極周期長Ｐとcosec
αとの積に等しく、前記すだれ状電極Ｔ0は、前記電極
周期長Ｐにほぼ対応する周波数の電気信号を入力される
ことにより、前記圧電基板ＰT0と前記非圧電板から成る
２層構造部ＢT0に前記電極周期長Ｐとほぼ等しい波長を
有するＳＨ波を励振し、該ＳＨ波を前記非圧電板に伝搬
させた後、前記圧電基板ＰR0と前記非圧電板から成る２
層構造部ＢR0に伝搬させ、前記すだれ状電極Ｔiは、前
記電極周期長Ｐにほぼ対応する周波数の電気信号を入力
されることにより、前記圧電基板ＰTiと前記非圧電板か
ら成る２層構造部ＢTi（ｉ＝１，２，……，Ｎ）に前記
電極周期長Ｐとほぼ等しい波長を有するＳＨ波を励振
し、該ＳＨ波を前記非圧電板に伝搬させた後、前記圧電
基板ＰRiと前記非圧電板から成る２層構造部ＢRi（ｉ＝
１，２，……，Ｎ）に伝搬させ、前記ＳＨ波は０次モー
ドおよび１次以上の高次モードの波で、前記ＳＨ波の位
相速度は、前記非圧電板単体に伝搬する横波速度および
前記各圧電基板単体に伝搬する横波速度の平均値とほぼ
等しく、前記各圧電基板の厚さｄは前記電極周期長Ｐよ
りも小さく、前記すだれ状電極Ｒ0は、前記２層構造部
ＢR0に伝搬した前記ＳＨ波を位相θb aseを有する電気信
号に変換して出力し、前記すだれ状電極Ｒiは、前記２
層構造部ＢRiに伝搬した前記ＳＨ波を位相θj（ｊ＝
ｘ，……，２，１，０，−１，−２，……，−ｘ）を有
する電気信号Ｅj（ｊ＝ｘ，……，２，１，０，−１，
−２，……，−ｘ）にそれぞれ変換し、前記位相θjを
合成することにより生ずる位相Ｕθjは零であり、前記
電気信号Ｅjを合成することにより生ずる電気信号ＵＥj
の振幅は零であって、前記電気信号ＵＥjは前記すだれ
状電極Ｒiにおいて検出されることはなく、前記すだれ
状電極ＴiおよびＲiは前記非圧電板においてＳＨ波の伝
搬路Ｄi（ｉ＝１，２，……，Ｎ）を形成し、前記各伝
搬路Ｄiは微細伝搬路Ｚj（ｊ＝ｘ，……，２，１，０，
−１，−２，……，−ｘ）で成り、微細伝搬路Ｚ0は前
記すだれ状電極Ｔiの前記電極交差幅Ｌの垂直二等分線
上にあり、前記非圧電板のどちらか一方の板面上におけ
る位置Ｆj（ｊ＝ｘ，……，２，１，０，−１，−２，
……，−ｘ）は、前記微細伝搬路Ｚjに対応し、前記微
細伝搬路Ｚjは前記位相θjに対応し、前記すだれ状電極
Ｒiは、前記位置Ｆjに人指または物体が接触したときに
のみ、位相θ-jを有する電気信号Ｅ-jを出力し、前記位
相比較器は前記位相θbaseと前記位相θ-jとの差を検出
し、前記信号処理器は、前記電気信号Ｅ-jを出力した前
記すだれ状電極Ｒiを判別し、接触した位置Ｆjを前記位
相θbaseと前記位相θ-jとの差に基づいて特定する。請
求項２に記載の超音波タッチパネルは、前記すだれ状電
極Ｔiの入力端にスイッチが接続され、前記スイッチは
前記すだれ状電極Ｔiに順次に所定の周期で電気信号を
入力し、 前記すだれ状電極Ｒiの出力端は互いに１つ
の接続点で接続され、前記信号処理器は、前記接続点に
おいて前記電気信号Ｅ-jが検出された時に接続されてい
た前記すだれ状電極Ｔiを判別し、接触した位置Ｆjを前
記位相θbaseと前記位相θ-jとの差に基づいて特定す
る。請求項３に記載の超音波タッチパネルは、非圧電
板、２つの超音波送受波手段、増幅器および信号処理器
から成る超音波タッチパネルであって、前記各超音波送
受波手段は、圧電基板ＰTi（ｉ＝１，２，……，Ｎ）、
圧電基板ＰRi（ｉ＝１，２，……，Ｎ）、入力用すだれ
状電極Ｔi（ｉ＝１，２，……，Ｎ）、および前記すだ
れ状電極Ｔiそれぞれに対向する出力用すだれ状電極Ｒi
（ｉ＝１，２，……，Ｎ）から成り、前記すだれ状電極
Ｔiはそれぞれ前記圧電基板ＰTiの一方の板面に設けら
れ、前記すだれ状電極Ｒiはそれぞれ前記圧電基板ＰRi
の一方の板面に設けられ、前記圧電基板ＰTiは、前記圧
電基板ＰTiそれぞれのもう一方の板面を介して前記非圧
電板の一方の板面に固着され、前記圧電基板ＰRiは、前
記圧電基板ＰRiそれぞれのもう一方の板面を介して前記
非圧電板の前記一方の板面に固着され、前記圧電基板Ｐ
TiおよびＰRiの分極軸の方向は、前記すだれ状電極Ｔi
の電極指の方向と平行であり、前記各圧電基板の前記非
圧電板との界面は電気的に開放状態にあり、前記すだれ
状電極Ｒiの出力端は互いに１つの接続点で接続され、
前記接続点は前記増幅器を介して前記すだれ状電極Ｔi
の入力端および前記信号処理器の入力端に接続され、前
記すだれ状電極Ｒiの電極指の方向は、前記すだれ状電
極Ｔiの電極指の方向に対し角αの傾きを有し、前記す
だれ状電極Ｒiの電極指に直交する方向での電極指の周
期長ＰNは、前記すだれ状電極Ｔiの電極周期長Ｐとcos
αとの積に等しく、前記すだれ状電極Ｒiの電極指の方
向での交差幅ＬPは、前記すだれ状電極Ｔiの電極交差幅
Ｌとsecαとの積に等しいとともに、前記電極周期長Ｐ
のＮ倍（Ｎ＝１，２，……，ｎ）とcosecαとの積に等
しく、前記すだれ状電極Ｔiは、前記電極周期長Ｐにほ
ぼ対応する周波数の電気信号を入力されることにより、
前記圧電基板ＰTiと前記非圧電板から成る２層構造部Ｂ
Ti（ｉ＝１，２，……，Ｎ）に前記電極周期長Ｐとほぼ
等しい波長を有するＳＨ波を励振し、該ＳＨ波を前記非
圧電板に伝搬させた後、前記圧電基板ＰRiと前記非圧電
板から成る２層構造部ＢRi（ｉ＝１，２，……，Ｎ）に
伝搬させ、前記ＳＨ波は０次モードおよび１次以上の高
次モードの波で、前記ＳＨ波の位相速度は、前記非圧電
板単体に伝搬する横波速度および前記各圧電基板単体に
伝搬する横波速度の平均値とほぼ等しく、前記各圧電基
板の厚さｄは、前記電極周期長Ｐよりも小さく、前記す
だれ状電極Ｒiは、前記２層構造部ＢRiに伝搬した前記
ＳＨ波を周波数ｆj（ｊ＝ｘ，……，２，１，０，−
１，−２，……，−ｘ）を有する電気信号Ｅj（ｊ＝
ｘ，……，２，１，０，−１，−２，……，−ｘ）にそ
れぞれ変換し、前記電気信号Ｅjを合成することにより
生ずる電気信号ＵＥjの振幅は零であって、前記電気信
号ＵＥjは前記すだれ状電極Ｒiにおいて検出されること
はなく、前記すだれ状電極ＴiおよびＲiは前記非圧電板
においてＳＨ波の伝搬路Ｄi（ｉ＝１，２，……，Ｎ）
を形成し、前記各伝搬路Ｄiは微細伝搬路Ｚj（ｊ＝ｘ，
……，２，１，０，−１，−２，……，−ｘ）で成り、
微細伝搬路Ｚ0は前記すだれ状電極Ｔiの前記電極交差幅
Ｌの垂直二等分線上にあり、前記非圧電板のどちらか一
方の板面上における位置Ｆj（ｊ＝ｘ，……，２，１，
０，−１，−２，……，−ｘ）は、前記微細伝搬路Ｚj
に対応し、前記すだれ状電極Ｒiは、前記位置Ｆjに人指
または物体が接触したときにのみ、周波数ｆ-jを有する
電気信号Ｅ-jを出力し、前記信号処理器は、前記電気信
号Ｅ-jを出力した前記すだれ状電極Ｒiを判別すること
と前記周波数ｆ-jを検出することにより接触した位置Ｆ
jを特定する。請求項４に記載の超音波タッチパネル
は、前記すだれ状電極Ｔiの入力端にスイッチが接続さ
れ、前記スイッチは前記すだれ状電極Ｔiに順次に所定
の周期で電気信号を入力し、 前記信号処理器は、前記
接続点において前記電気信号Ｅ-jが検出された時に接続
されていた前記すだれ状電極Ｔiを判別することと前記
周波数ｆ-jを検出することにより接触した位置Ｆjを特
定する。請求項５に記載の超音波タッチパネルは、一方
の前記超音波送受波手段における前記伝搬路Ｄiと、も
う一方の前記超音波送受波手段における前記伝搬路Ｄi
が互いに直交している。請求項６に記載の超音波タッチ
パネルは、前記各超音波送受波手段における前記伝搬路
Ｄiが互いに隣接するかまたは一部分を重複させてい
る。請求項７に記載の超音波タッチパネルは、前記非圧
電板の厚さは、前記各圧電基板の厚さｄとほぼ等しいか
またはそれよりも小さく、前記非圧電板は、前記非圧電
板単体に伝搬する横波の位相速度が前記各圧電基板単体
に伝搬する横波の位相速度とほぼ等しいかまたはそれ以
下の物質で成る。請求項８に記載の超音波タッチパネル
は、前記各圧電基板が圧電セラミックで成る。
【発明の実施の形態】本発明の超音波タッチパネルの第
１の構造は、非圧電板、２つの超音波送受波手段、増幅
器、位相比較器および信号処理器から成る。各超音波送
受波手段は、圧電基板ＰT0およびＰR0、圧電基板Ｐ
Ti（ｉ＝１，２，……，Ｎ）、圧電基板ＰRi（ｉ＝１，
２，……，Ｎ）、入力用すだれ状電極Ｔ0、入力用すだ
れ状電極Ｔi（ｉ＝１，２，……，Ｎ）、出力用すだれ
状電極Ｒ0、および出力用すだれ状電極Ｒi（ｉ＝１，
２，……，Ｎ）から成る。すだれ状電極Ｒ0はすだれ状
電極Ｔ0に対向し、すだれ状電極Ｒiはすだれ状電極Ｔi
にそれぞれ対向する。すだれ状電極Ｔ0は圧電基板ＰT0
の一方の板面に設けられ、すだれ状電極Ｔiは圧電基板
ＰTiそれぞれの一方の板面に設けられ、すだれ状電極Ｒ
0は圧電基板ＰR0の一方の板面に設けられ、すだれ状電
極Ｒiは圧電基板ＰRiそれぞれの一方の板面に設けられ
ている。各圧電基板は、それぞれすだれ状電極を有しな
い方の板面を介して非圧電板の一方の板面に固着されて
いる。各圧電基板の分極軸の方向は、すだれ状電極Ｔ0
およびＴiの電極指の方向と平行になるような向きに配
置される。このような配向性を有する圧電基板の大型化
を実現しようとする場合、圧電基板として圧電セラミッ
クを採用することにより、圧電基板の板面の面積の大型
化を促進することができる。各圧電基板の非圧電板との
界面は電気的に開放状態にある。すだれ状電極Ｒ0の電
極指の方向と、すだれ状電極Ｔ0の電極指の方向は互い
に平行である。すだれ状電極Ｒiの電極指の方向は、す
だれ状電極Ｔiの電極指の方向に対しそれぞれ角αの傾
きを有する。すだれ状電極Ｒiの電極指に直交する方向
での電極指の周期長ＰNは、すだれ状電極Ｔ0，Ｔiおよ
びＲ0の電極周期長Ｐとcosαとの積に等しく、すだれ状
電極Ｒiの電極指の方向での交差幅ＬPは、すだれ状電極
Ｔiの電極交差幅Ｌとsecαとの積に等しいとともに、電
極周期長Ｐとcosecαとの積に等しい。本発明の超音波
タッチパネルの第１の構造では、電極周期長Ｐにほぼ対
応する周波数の電気信号をすだれ状電極Ｔ0およびＴiに
入力する構造を採用している。各圧電基板の厚さｄが電
極周期長Ｐよりも小さいことから、圧電基板ＰT0と非圧
電板から成る２層構造部ＢT0および圧電基板ＰTiと非圧
電板から成る２層構造部ＢTi（ｉ＝１，２，……，Ｎ）
にそれぞれ電極周期長Ｐとほぼ等しい波長を有するＳＨ
波（shear horizontal wave）を励振し、そのＳＨ波を
非圧電板に伝搬させた後、圧電基板ＰR0と非圧電板から
成る２層構造部ＢR0および圧電基板ＰRiと非圧電板から
成る２層構造部ＢRi（ｉ＝１，２，……，Ｎ）に伝搬さ
せることができる。ＳＨ波とは、振動変位の方向が圧電
基板の上・下端面に対して平行な方向にある横波のこと
である。このようにして、各圧電基板の分極軸の方向が
すだれ状電極Ｔ0およびＴiの電極指の方向と平行になる
ような構造を採用することにより、すだれ状電極Ｔ0お
よびＴiの電極指に対し垂直な方向に効率よくＳＨ波を
励振することができるのである。しかも、各すだれ状電
極の電極指の対数はせいぜい３対もあれば効率よくＳＨ
波を励振できる。２層構造部ＢT0およびＢTiに励振され
るＳＨ波は０次モードおよび１次以上の高次モードの波
で、ＳＨ波の位相速度が、非圧電板単体に伝搬する横波
速度および各圧電基板単体に伝搬する横波速度の平均値
とほぼ等しいときに、すだれ状電極Ｔ0およびＴiから加
えられる電気的エネルギーがＳＨ波に変換される度合を
大きくすることができる。このようにして、ＳＨ波を利
用したデバイスは電気的エネルギーから機械的エネルギ
ーへの変換効率が高く、従って、低電圧で低消費電力駆
動が可能となる。その変換効率は弾性表面波やラム波を
利用した同じ構造のデバイスよりも高いことが実証され
ている。すだれ状電極Ｔ0によって励振され２層構造部
ＢR0に伝搬されたＳＨ波は、すだれ状電極Ｒ0によって
位相θbaseを有する電気信号に変換されて出力される。
すだれ状電極Ｒ0の出力端は、増幅器を介して、すだれ
状電極Ｔ0およびＴiの入力端に接続されるとともに位相
比較器の入力端に接続されていることから、すだれ状電
極Ｔ0とＲ0との間のＳＨ波の伝搬路を遅延素子とする発
振器を構成することができる。従って、使用環境の影
響、たとえば温度などの影響を受けることのないデバイ
ス設計が可能となる。一方、各すだれ状電極Ｔiによっ
て励振され２層構造部ＢRiに伝搬されたＳＨ波は、各す
だれ状電極Ｒiによって位相θj（ｊ＝ｘ，……，２，
１，０，−１，−２，……，−ｘ）を有する電気信号Ｅ
j（ｊ＝ｘ，……，２，１，０，−１，−２，……，−
ｘ）にそれぞれ変換される。位相θjを合成することに
より生ずる位相Ｕθjは零であり、電気信号Ｅjを合成す
ることにより生ずる電気信号ＵＥjの振幅は零であるこ
とから、電気信号ＵＥjはすだれ状電極Ｒiにおいて検出
されることはない。本発明の超音波タッチパネルの第１
の構造では、非圧電板において、すだれ状電極Ｔiおよ
びＲiはＳＨ波の伝搬路Ｄi（ｉ＝１，２，……，Ｎ）を
形成する。各伝搬路Ｄiは微細伝搬路Ｚj（ｊ＝ｘ，…
…，２，１，０，−１，−２，……，−ｘ）で成り、微
細伝搬路Ｚ0はすだれ状電極Ｔiの電極交差幅Ｌの垂直二
等分線上にある。非圧電板のどちらか一方の板面上にお
ける位置Ｆj（ｊ＝ｘ，……，２，１，０，−１，−
２，……，−ｘ）を、微細伝搬路Ｚjに対応させること
ができる。微細伝搬路Ｚjは位相θjに対応させることが
できる。もしも位置Ｆjに人指または物体が接触する
と、すだれ状電極Ｒiにおいて位相θ-jを有する電気信
号Ｅ-jが出力される。つまり、非圧電板の板面を接触し
ない場合には、すだれ状電極ＲiにおいてＳＨ波から変
換される電気信号ＵＥjは均衡がとれて零であったもの
が、接触により超音波の微細伝搬路Ｚjが遮断される
と、その微細伝搬路Ｚjに対応するＳＨ波がすだれ状電
極Ｒiにおいて位相θjを有する電気信号Ｅjに変換され
ることがないので、全体としての均衡が崩れてすだれ状
電極Ｒiにおいて位相θ-jを有する電気信号Ｅ-jが検出
されることになる。電気信号Ｅ-jは電気信号ＵＥjから
電気信号Ｅjを除いた成分と等しく（Ｅ-j＝ＵＥj−
Ｅj）、位相θ-jは位相Ｕθjから位相θjを除いた成分
と等しい（θ-j＝Ｕθj−θj）。すだれ状電極Ｒ0の出
力端およびすだれ状電極Ｒiの出力端は位相比較器を介
して信号処理器の入力端に接続されていることから、位
相比較器は位相θbaseと位相θ-jとの差（θbase−
θ-j）を検出する機能を有する。信号処理器は、まず、
電気信号Ｅ-jを出力したすだれ状電極Ｒiを判別するこ
とにより、接触した位置Ｆjが含まれる伝搬路Ｄiを特定
する。次に、その特定された伝搬路Ｄiの中の微細伝搬
路Ｚjに対応する接触位置Ｆjを、位相θbaseと位相θ-j
との差（θbase−θ-j）に基づいて特定する。このよう
にして、本発明の超音波タッチパネルでは、入力ペンの
ペン先等で非圧電板上に接触したときにのみ応答があり
しかもその応答時間が短く、低電圧で低消費電力駆動で
ある。本発明の超音波タッチパネルの第１の構造では、
すだれ状電極Ｔiの入力端にスイッチが接続された構造
が可能である。スイッチはすだれ状電極Ｔiに順次に所
定の周期で電気信号を入力する機能を有する。このと
き、すだれ状電極Ｒiの出力端は互いに１つの接続点で
接続される。信号処理器は、まず、この接続点において
電気信号Ｅ-jが検出された時に接続されていたすだれ状
電極Ｔiを判別することにより、接触した位置Ｆjが含ま
れる伝搬路Ｄiを特定する。次に、その特定された伝搬
路Ｄiの中の微細伝搬路Ｚjに対応する接触位置Ｆjを、
位相θbaseと位相θ-jとの差（θbase−θ-j）に基づい
て特定する。スイッチを採用することにより、信号処理
を簡素化し回路構成を簡単にすることが可能となること
から、装置の小型軽量化が促進できる。本発明の超音波
タッチパネルの第２の構造は、非圧電板、２つの超音波
送受波手段、増幅器および信号処理器から成る。各超音
波送受波手段は、圧電基板ＰTi（ｉ＝１，２，……，
Ｎ）、圧電基板ＰRi（ｉ＝１，２，……，Ｎ）、入力用
すだれ状電極Ｔi（ｉ＝１，２，……，Ｎ）、およびす
だれ状電極Ｔiそれぞれに対向する出力用すだれ状電極
Ｒi（ｉ＝１，２，……，Ｎ）から成る。すだれ状電極
Ｔiはそれぞれ圧電基板ＰTiの一方の板面に設けられ、
すだれ状電極Ｒiはそれぞれ圧電基板ＰRiの一方の板面
に設けられている。各圧電基板は、それぞれすだれ状電
極を有しない方の板面を介して非圧電板の一方の板面に
固着されている。各圧電基板の分極軸の方向は、すだれ
状電極Ｔiの電極指の方向と平行になるような向きに配
置される。各圧電基板の非圧電板との界面は電気的に開
放状態にある。すだれ状電極Ｒiの電極指の方向は、す
だれ状電極Ｔiの電極指の方向に対し角αの傾きを有す
る。すだれ状電極Ｒiの電極指に直交する方向での電極
指の周期長ＰNは、すだれ状電極Ｔiの電極周期長Ｐと
cosαとの積に等しく、すだれ状電極Ｒiの電極指の方向
での交差幅ＬPは、すだれ状電極Ｔiの電極交差幅Ｌとse
cαとの積に等しいとともに、電極周期長ＰのＮ倍（Ｎ
＝１，２，……，ｎ）とcosecαとの積に等しい。各圧
電基板の厚さｄは、電極周期長Ｐよりも小さい。本発明
の超音波タッチパネルの第２の構造では、電極周期長Ｐ
にほぼ対応する周波数の電気信号をすだれ状電極Ｔiに
入力することにより、圧電基板ＰTiと非圧電板から成る
２層構造部ＢTiに電極周期長Ｐとほぼ等しい波長を有す
るＳＨ波を励振し、そのＳＨ波を非圧電板に伝搬させた
後、圧電基板ＰRiと非圧電板から成る２層構造部ＢRiに
伝搬させることができる。このＳＨ波は０次モードおよ
び１次以上の高次モードの波で、ＳＨ波の位相速度が、
非圧電板単体に伝搬する横波速度および前記各圧電基板
単体に伝搬する横波速度の平均値とほぼ等しいときに、
すだれ状電極Ｔiから加えられる電気的エネルギーがＳ
Ｈ波に変換される度合を大きくすることができる。すだ
れ状電極Ｒiの出力端は互いに１つの接続点で接続さ
れ、この接続点は増幅器を介してすだれ状電極Ｔiの入
力端および信号処理器の入力端に接続されている。２層
構造部ＢRiに伝搬したＳＨ波は、すだれ状電極Ｒiによ
って周波数ｆj（ｊ＝ｘ，……，２，１，０，−１，−
２，……，−ｘ）を有する電気信号Ｅj（ｊ＝ｘ，…
…，２，１，０，−１，−２，……，−ｘ）にそれぞれ
変換される。電気信号Ｅjを合成することにより生ずる
電気信号ＵＥjの振幅は零であることから、電気信号Ｕ
Ｅjはすだれ状電極Ｒiにおいて検出されることはない。
本発明の超音波タッチパネルの第２の構造では、非圧電
板において、すだれ状電極ＴiおよびＲiはＳＨ波の伝搬
路Ｄi（ｉ＝１，２，……，Ｎ）を形成する。各伝搬路
Ｄiは微細伝搬路Ｚj（ｊ＝ｘ，……，２，１，０，−
１，−２，……，−ｘ）で成り、微細伝搬路Ｚ0はすだ
れ状電極Ｔiの電極交差幅Ｌの垂直二等分線上にある。
非圧電板のどちらか一方の板面上における位置Ｆj（ｊ
＝ｘ，……，２，１，０，−１，−２，……，−ｘ）
を、微細伝搬路Ｚjに対応させることができる。もしも
位置Ｆjに人指または物体が接触すると、すだれ状電極
Ｒiにおいて周波数ｆ-jを有する電気信号Ｅ-jが出力さ
れる。つまり、非圧電板の板面を接触しない場合には、
すだれ状電極ＲiにおいてＳＨ波から変換される電気信
号ＵＥjは均衡がとれて零であったものが、接触により
超音波の微細伝搬路Ｚjが遮断されると、その微細伝搬
路Ｚjに対応するＳＨ波がすだれ状電極Ｒiにおいて周波
数ｆjを有する電気信号Ｅjに変換されることがないの
で、全体としての均衡が崩れてすだれ状電極Ｒiにおい
て周波数ｆ-jを有する電気信号Ｅ-jが検出されることに
なる。電気信号Ｅ-jは電気信号ＵＥjから電気信号Ｅjを
除いた成分と等しい（Ｅ-j＝ＵＥj−Ｅj）。信号処理器
は、まず、電気信号Ｅ-jを出力したすだれ状電極Ｒiを
判別することにより、接触した位置Ｆjが含まれる伝搬
路Ｄiを特定する。次に、その特定された伝搬路Ｄiの中
の微細伝搬路Ｚjに対応する接触位置Ｆjを、周波数ｆ-j
を検出することにより特定する。また、位置Ｆjに接触
することによってのみすだれ状電極Ｒiにおいて電気信
号Ｅ-jが出力され、このとき、すだれ状電極ＴiとＲiと
の間のＳＨ波の伝搬路Ｄiを遅延素子とする発振器を構
成することができる。本発明の超音波タッチパネルの第
２の構造では、すだれ状電極Ｔiの入力端にスイッチが
接続された構造が可能である。スイッチはすだれ状電極
Ｔiに順次に所定の周期で電気信号を入力する機能を有
する。信号処理器は、まず、すだれ状電極Ｒiの出力端
を結ぶ接続点において電気信号Ｅ-jが検出された時に接
続されていたすだれ状電極Ｔiを判別することにより、
接触した位置Ｆjが含まれる伝搬路Ｄiを特定する。次
に、その特定された伝搬路Ｄiの中の微細伝搬路Ｚjに対
応する接触位置Ｆjを、周波数ｆ-jを検出することによ
り特定する。本発明の超音波タッチパネルでは、一方の
超音波送受波手段における伝搬路Ｄiと、もう一方の超
音波送受波手段における伝搬路Ｄiを互いに直交させる
構造を採用することにより、互いに直交するそれらの伝
搬路をＸ軸およびＹ軸とする２次元の座標に対応させる
ことが可能となり、接触位置の細密な検出が可能とな
る。また、各超音波送受波手段における伝搬路Ｄiどう
しを互いに隣接させるかまたは一部分を重複させた構造
を採用することにより、接触位置をさらに細密に検出す
ることが可能となる。本発明の超音波タッチパネルで
は、非圧電板単体に伝搬する横波の位相速度が各圧電基
板単体に伝搬する横波の位相速度とほぼ等しいかまたは
それ以下であるような非圧電板が採用される。さらに、
非圧電板の厚さが各圧電基板の厚さｄとほぼ等しいかま
たはそれよりも小さい構造が採用される。従って、ＳＨ
波のバルク波的な挙動が促進される。また、各圧電基板
の非圧電板との界面が電気的に開放状態にあることが、
ＳＨ波のバルク波的な挙動をさらに促進させる。従っ
て、ＳＨ波が非圧電板に効率よく伝搬されることから、
超音波タッチパネルとしての感度を向上させることがで
きるだけでなく、低電圧で低消費電力駆動が可能とな
る。
１の構造は、非圧電板、２つの超音波送受波手段、増幅
器、位相比較器および信号処理器から成る。各超音波送
受波手段は、圧電基板ＰT0およびＰR0、圧電基板Ｐ
Ti（ｉ＝１，２，……，Ｎ）、圧電基板ＰRi（ｉ＝１，
２，……，Ｎ）、入力用すだれ状電極Ｔ0、入力用すだ
れ状電極Ｔi（ｉ＝１，２，……，Ｎ）、出力用すだれ
状電極Ｒ0、および出力用すだれ状電極Ｒi（ｉ＝１，
２，……，Ｎ）から成る。すだれ状電極Ｒ0はすだれ状
電極Ｔ0に対向し、すだれ状電極Ｒiはすだれ状電極Ｔi
にそれぞれ対向する。すだれ状電極Ｔ0は圧電基板ＰT0
の一方の板面に設けられ、すだれ状電極Ｔiは圧電基板
ＰTiそれぞれの一方の板面に設けられ、すだれ状電極Ｒ
0は圧電基板ＰR0の一方の板面に設けられ、すだれ状電
極Ｒiは圧電基板ＰRiそれぞれの一方の板面に設けられ
ている。各圧電基板は、それぞれすだれ状電極を有しな
い方の板面を介して非圧電板の一方の板面に固着されて
いる。各圧電基板の分極軸の方向は、すだれ状電極Ｔ0
およびＴiの電極指の方向と平行になるような向きに配
置される。このような配向性を有する圧電基板の大型化
を実現しようとする場合、圧電基板として圧電セラミッ
クを採用することにより、圧電基板の板面の面積の大型
化を促進することができる。各圧電基板の非圧電板との
界面は電気的に開放状態にある。すだれ状電極Ｒ0の電
極指の方向と、すだれ状電極Ｔ0の電極指の方向は互い
に平行である。すだれ状電極Ｒiの電極指の方向は、す
だれ状電極Ｔiの電極指の方向に対しそれぞれ角αの傾
きを有する。すだれ状電極Ｒiの電極指に直交する方向
での電極指の周期長ＰNは、すだれ状電極Ｔ0，Ｔiおよ
びＲ0の電極周期長Ｐとcosαとの積に等しく、すだれ状
電極Ｒiの電極指の方向での交差幅ＬPは、すだれ状電極
Ｔiの電極交差幅Ｌとsecαとの積に等しいとともに、電
極周期長Ｐとcosecαとの積に等しい。本発明の超音波
タッチパネルの第１の構造では、電極周期長Ｐにほぼ対
応する周波数の電気信号をすだれ状電極Ｔ0およびＴiに
入力する構造を採用している。各圧電基板の厚さｄが電
極周期長Ｐよりも小さいことから、圧電基板ＰT0と非圧
電板から成る２層構造部ＢT0および圧電基板ＰTiと非圧
電板から成る２層構造部ＢTi（ｉ＝１，２，……，Ｎ）
にそれぞれ電極周期長Ｐとほぼ等しい波長を有するＳＨ
波（shear horizontal wave）を励振し、そのＳＨ波を
非圧電板に伝搬させた後、圧電基板ＰR0と非圧電板から
成る２層構造部ＢR0および圧電基板ＰRiと非圧電板から
成る２層構造部ＢRi（ｉ＝１，２，……，Ｎ）に伝搬さ
せることができる。ＳＨ波とは、振動変位の方向が圧電
基板の上・下端面に対して平行な方向にある横波のこと
である。このようにして、各圧電基板の分極軸の方向が
すだれ状電極Ｔ0およびＴiの電極指の方向と平行になる
ような構造を採用することにより、すだれ状電極Ｔ0お
よびＴiの電極指に対し垂直な方向に効率よくＳＨ波を
励振することができるのである。しかも、各すだれ状電
極の電極指の対数はせいぜい３対もあれば効率よくＳＨ
波を励振できる。２層構造部ＢT0およびＢTiに励振され
るＳＨ波は０次モードおよび１次以上の高次モードの波
で、ＳＨ波の位相速度が、非圧電板単体に伝搬する横波
速度および各圧電基板単体に伝搬する横波速度の平均値
とほぼ等しいときに、すだれ状電極Ｔ0およびＴiから加
えられる電気的エネルギーがＳＨ波に変換される度合を
大きくすることができる。このようにして、ＳＨ波を利
用したデバイスは電気的エネルギーから機械的エネルギ
ーへの変換効率が高く、従って、低電圧で低消費電力駆
動が可能となる。その変換効率は弾性表面波やラム波を
利用した同じ構造のデバイスよりも高いことが実証され
ている。すだれ状電極Ｔ0によって励振され２層構造部
ＢR0に伝搬されたＳＨ波は、すだれ状電極Ｒ0によって
位相θbaseを有する電気信号に変換されて出力される。
すだれ状電極Ｒ0の出力端は、増幅器を介して、すだれ
状電極Ｔ0およびＴiの入力端に接続されるとともに位相
比較器の入力端に接続されていることから、すだれ状電
極Ｔ0とＲ0との間のＳＨ波の伝搬路を遅延素子とする発
振器を構成することができる。従って、使用環境の影
響、たとえば温度などの影響を受けることのないデバイ
ス設計が可能となる。一方、各すだれ状電極Ｔiによっ
て励振され２層構造部ＢRiに伝搬されたＳＨ波は、各す
だれ状電極Ｒiによって位相θj（ｊ＝ｘ，……，２，
１，０，−１，−２，……，−ｘ）を有する電気信号Ｅ
j（ｊ＝ｘ，……，２，１，０，−１，−２，……，−
ｘ）にそれぞれ変換される。位相θjを合成することに
より生ずる位相Ｕθjは零であり、電気信号Ｅjを合成す
ることにより生ずる電気信号ＵＥjの振幅は零であるこ
とから、電気信号ＵＥjはすだれ状電極Ｒiにおいて検出
されることはない。本発明の超音波タッチパネルの第１
の構造では、非圧電板において、すだれ状電極Ｔiおよ
びＲiはＳＨ波の伝搬路Ｄi（ｉ＝１，２，……，Ｎ）を
形成する。各伝搬路Ｄiは微細伝搬路Ｚj（ｊ＝ｘ，…
…，２，１，０，−１，−２，……，−ｘ）で成り、微
細伝搬路Ｚ0はすだれ状電極Ｔiの電極交差幅Ｌの垂直二
等分線上にある。非圧電板のどちらか一方の板面上にお
ける位置Ｆj（ｊ＝ｘ，……，２，１，０，−１，−
２，……，−ｘ）を、微細伝搬路Ｚjに対応させること
ができる。微細伝搬路Ｚjは位相θjに対応させることが
できる。もしも位置Ｆjに人指または物体が接触する
と、すだれ状電極Ｒiにおいて位相θ-jを有する電気信
号Ｅ-jが出力される。つまり、非圧電板の板面を接触し
ない場合には、すだれ状電極ＲiにおいてＳＨ波から変
換される電気信号ＵＥjは均衡がとれて零であったもの
が、接触により超音波の微細伝搬路Ｚjが遮断される
と、その微細伝搬路Ｚjに対応するＳＨ波がすだれ状電
極Ｒiにおいて位相θjを有する電気信号Ｅjに変換され
ることがないので、全体としての均衡が崩れてすだれ状
電極Ｒiにおいて位相θ-jを有する電気信号Ｅ-jが検出
されることになる。電気信号Ｅ-jは電気信号ＵＥjから
電気信号Ｅjを除いた成分と等しく（Ｅ-j＝ＵＥj−
Ｅj）、位相θ-jは位相Ｕθjから位相θjを除いた成分
と等しい（θ-j＝Ｕθj−θj）。すだれ状電極Ｒ0の出
力端およびすだれ状電極Ｒiの出力端は位相比較器を介
して信号処理器の入力端に接続されていることから、位
相比較器は位相θbaseと位相θ-jとの差（θbase−
θ-j）を検出する機能を有する。信号処理器は、まず、
電気信号Ｅ-jを出力したすだれ状電極Ｒiを判別するこ
とにより、接触した位置Ｆjが含まれる伝搬路Ｄiを特定
する。次に、その特定された伝搬路Ｄiの中の微細伝搬
路Ｚjに対応する接触位置Ｆjを、位相θbaseと位相θ-j
との差（θbase−θ-j）に基づいて特定する。このよう
にして、本発明の超音波タッチパネルでは、入力ペンの
ペン先等で非圧電板上に接触したときにのみ応答があり
しかもその応答時間が短く、低電圧で低消費電力駆動で
ある。本発明の超音波タッチパネルの第１の構造では、
すだれ状電極Ｔiの入力端にスイッチが接続された構造
が可能である。スイッチはすだれ状電極Ｔiに順次に所
定の周期で電気信号を入力する機能を有する。このと
き、すだれ状電極Ｒiの出力端は互いに１つの接続点で
接続される。信号処理器は、まず、この接続点において
電気信号Ｅ-jが検出された時に接続されていたすだれ状
電極Ｔiを判別することにより、接触した位置Ｆjが含ま
れる伝搬路Ｄiを特定する。次に、その特定された伝搬
路Ｄiの中の微細伝搬路Ｚjに対応する接触位置Ｆjを、
位相θbaseと位相θ-jとの差（θbase−θ-j）に基づい
て特定する。スイッチを採用することにより、信号処理
を簡素化し回路構成を簡単にすることが可能となること
から、装置の小型軽量化が促進できる。本発明の超音波
タッチパネルの第２の構造は、非圧電板、２つの超音波
送受波手段、増幅器および信号処理器から成る。各超音
波送受波手段は、圧電基板ＰTi（ｉ＝１，２，……，
Ｎ）、圧電基板ＰRi（ｉ＝１，２，……，Ｎ）、入力用
すだれ状電極Ｔi（ｉ＝１，２，……，Ｎ）、およびす
だれ状電極Ｔiそれぞれに対向する出力用すだれ状電極
Ｒi（ｉ＝１，２，……，Ｎ）から成る。すだれ状電極
Ｔiはそれぞれ圧電基板ＰTiの一方の板面に設けられ、
すだれ状電極Ｒiはそれぞれ圧電基板ＰRiの一方の板面
に設けられている。各圧電基板は、それぞれすだれ状電
極を有しない方の板面を介して非圧電板の一方の板面に
固着されている。各圧電基板の分極軸の方向は、すだれ
状電極Ｔiの電極指の方向と平行になるような向きに配
置される。各圧電基板の非圧電板との界面は電気的に開
放状態にある。すだれ状電極Ｒiの電極指の方向は、す
だれ状電極Ｔiの電極指の方向に対し角αの傾きを有す
る。すだれ状電極Ｒiの電極指に直交する方向での電極
指の周期長ＰNは、すだれ状電極Ｔiの電極周期長Ｐと
cosαとの積に等しく、すだれ状電極Ｒiの電極指の方向
での交差幅ＬPは、すだれ状電極Ｔiの電極交差幅Ｌとse
cαとの積に等しいとともに、電極周期長ＰのＮ倍（Ｎ
＝１，２，……，ｎ）とcosecαとの積に等しい。各圧
電基板の厚さｄは、電極周期長Ｐよりも小さい。本発明
の超音波タッチパネルの第２の構造では、電極周期長Ｐ
にほぼ対応する周波数の電気信号をすだれ状電極Ｔiに
入力することにより、圧電基板ＰTiと非圧電板から成る
２層構造部ＢTiに電極周期長Ｐとほぼ等しい波長を有す
るＳＨ波を励振し、そのＳＨ波を非圧電板に伝搬させた
後、圧電基板ＰRiと非圧電板から成る２層構造部ＢRiに
伝搬させることができる。このＳＨ波は０次モードおよ
び１次以上の高次モードの波で、ＳＨ波の位相速度が、
非圧電板単体に伝搬する横波速度および前記各圧電基板
単体に伝搬する横波速度の平均値とほぼ等しいときに、
すだれ状電極Ｔiから加えられる電気的エネルギーがＳ
Ｈ波に変換される度合を大きくすることができる。すだ
れ状電極Ｒiの出力端は互いに１つの接続点で接続さ
れ、この接続点は増幅器を介してすだれ状電極Ｔiの入
力端および信号処理器の入力端に接続されている。２層
構造部ＢRiに伝搬したＳＨ波は、すだれ状電極Ｒiによ
って周波数ｆj（ｊ＝ｘ，……，２，１，０，−１，−
２，……，−ｘ）を有する電気信号Ｅj（ｊ＝ｘ，…
…，２，１，０，−１，−２，……，−ｘ）にそれぞれ
変換される。電気信号Ｅjを合成することにより生ずる
電気信号ＵＥjの振幅は零であることから、電気信号Ｕ
Ｅjはすだれ状電極Ｒiにおいて検出されることはない。
本発明の超音波タッチパネルの第２の構造では、非圧電
板において、すだれ状電極ＴiおよびＲiはＳＨ波の伝搬
路Ｄi（ｉ＝１，２，……，Ｎ）を形成する。各伝搬路
Ｄiは微細伝搬路Ｚj（ｊ＝ｘ，……，２，１，０，−
１，−２，……，−ｘ）で成り、微細伝搬路Ｚ0はすだ
れ状電極Ｔiの電極交差幅Ｌの垂直二等分線上にある。
非圧電板のどちらか一方の板面上における位置Ｆj（ｊ
＝ｘ，……，２，１，０，−１，−２，……，−ｘ）
を、微細伝搬路Ｚjに対応させることができる。もしも
位置Ｆjに人指または物体が接触すると、すだれ状電極
Ｒiにおいて周波数ｆ-jを有する電気信号Ｅ-jが出力さ
れる。つまり、非圧電板の板面を接触しない場合には、
すだれ状電極ＲiにおいてＳＨ波から変換される電気信
号ＵＥjは均衡がとれて零であったものが、接触により
超音波の微細伝搬路Ｚjが遮断されると、その微細伝搬
路Ｚjに対応するＳＨ波がすだれ状電極Ｒiにおいて周波
数ｆjを有する電気信号Ｅjに変換されることがないの
で、全体としての均衡が崩れてすだれ状電極Ｒiにおい
て周波数ｆ-jを有する電気信号Ｅ-jが検出されることに
なる。電気信号Ｅ-jは電気信号ＵＥjから電気信号Ｅjを
除いた成分と等しい（Ｅ-j＝ＵＥj−Ｅj）。信号処理器
は、まず、電気信号Ｅ-jを出力したすだれ状電極Ｒiを
判別することにより、接触した位置Ｆjが含まれる伝搬
路Ｄiを特定する。次に、その特定された伝搬路Ｄiの中
の微細伝搬路Ｚjに対応する接触位置Ｆjを、周波数ｆ-j
を検出することにより特定する。また、位置Ｆjに接触
することによってのみすだれ状電極Ｒiにおいて電気信
号Ｅ-jが出力され、このとき、すだれ状電極ＴiとＲiと
の間のＳＨ波の伝搬路Ｄiを遅延素子とする発振器を構
成することができる。本発明の超音波タッチパネルの第
２の構造では、すだれ状電極Ｔiの入力端にスイッチが
接続された構造が可能である。スイッチはすだれ状電極
Ｔiに順次に所定の周期で電気信号を入力する機能を有
する。信号処理器は、まず、すだれ状電極Ｒiの出力端
を結ぶ接続点において電気信号Ｅ-jが検出された時に接
続されていたすだれ状電極Ｔiを判別することにより、
接触した位置Ｆjが含まれる伝搬路Ｄiを特定する。次
に、その特定された伝搬路Ｄiの中の微細伝搬路Ｚjに対
応する接触位置Ｆjを、周波数ｆ-jを検出することによ
り特定する。本発明の超音波タッチパネルでは、一方の
超音波送受波手段における伝搬路Ｄiと、もう一方の超
音波送受波手段における伝搬路Ｄiを互いに直交させる
構造を採用することにより、互いに直交するそれらの伝
搬路をＸ軸およびＹ軸とする２次元の座標に対応させる
ことが可能となり、接触位置の細密な検出が可能とな
る。また、各超音波送受波手段における伝搬路Ｄiどう
しを互いに隣接させるかまたは一部分を重複させた構造
を採用することにより、接触位置をさらに細密に検出す
ることが可能となる。本発明の超音波タッチパネルで
は、非圧電板単体に伝搬する横波の位相速度が各圧電基
板単体に伝搬する横波の位相速度とほぼ等しいかまたは
それ以下であるような非圧電板が採用される。さらに、
非圧電板の厚さが各圧電基板の厚さｄとほぼ等しいかま
たはそれよりも小さい構造が採用される。従って、ＳＨ
波のバルク波的な挙動が促進される。また、各圧電基板
の非圧電板との界面が電気的に開放状態にあることが、
ＳＨ波のバルク波的な挙動をさらに促進させる。従っ
て、ＳＨ波が非圧電板に効率よく伝搬されることから、
超音波タッチパネルとしての感度を向上させることがで
きるだけでなく、低電圧で低消費電力駆動が可能とな
る。
【実施例】図１は本発明の超音波タッチパネルの第１の
実施例を示す平面図である。本実施例は非圧電板１、増
幅器２、位相比較器３、信号処理器４、スイッチ５、Ｘ
軸方向の超音波送受波手段ＸおよびＹ軸方向の超音波送
受波手段Ｙから成る。但し、図１では非圧電板１および
超音波送受波手段ＸおよびＹのみが描かれている。各超
音波送受波手段は、圧電基板ＰT0およびＰR0、圧電基板
ＰT1，ＰT2，ＰT3およびＰT4、圧電基板ＰR1，ＰR2，Ｐ
R3およびＰR4、入力用すだれ状電極Ｔ0、入力用すだれ
状電極Ｔ1，Ｔ2，Ｔ3およびＴ4、出力用すだれ状電極Ｒ
0、および出力用すだれ状電極Ｒ1，Ｒ2，Ｒ3およびＲ4
から成る。各すだれ状電極はアルミニウム薄膜で成る。
各圧電基板は厚さ０．２ｍｍの圧電セラミックで成る。
各超音波送受波手段において、すだれ状電極Ｒ0はすだ
れ状電極Ｔ0に対向し、すだれ状電極Ｒ1，Ｒ2，Ｒ3およ
びＲ4はすだれ状電極Ｔ1，Ｔ2，Ｔ3およびＴ4にそれぞ
れ対向し、すだれ状電極Ｔ0は圧電基板ＰT0の一方の板
面に設けられ、すだれ状電極Ｔ1，Ｔ2，Ｔ3およびＴ4は
圧電基板ＰT1，ＰT2，ＰT3およびＰT4それぞれの一方の
板面に設けられ、すだれ状電極Ｒ0は圧電基板ＰR0の一
方の板面に設けられ、すだれ状電極Ｒ1，Ｒ2，Ｒ3およ
びＲ4は圧電基板ＰR1，ＰR2，ＰR3およびＰR4それぞれ
の一方の板面に設けられている。各圧電基板は、それぞ
れすだれ状電極を有しない方の板面を介して非圧電板１
に固着されている。非圧電板１は厚さ０．２ｍｍのガラ
ス、フッ素樹脂、アクリル樹脂またはプラスチック等の
高分子化合物で成る。各圧電基板の非圧電板１との界面
は電気的に開放状態にある。各超音波送受波手段におい
て、各圧電基板の分極軸の方向は、すだれ状電極Ｔ0，
Ｔ1，Ｔ2，Ｔ3およびＴ4の電極指の方向と平行になるよ
うな向きに配置され、すだれ状電極Ｒ0の電極指の方向
は、すだれ状電極Ｔ0の電極指の方向と互いに平行にな
るように配置され、すだれ状電極Ｒ1，Ｒ2，Ｒ3および
Ｒ4の電極指の方向は、すだれ状電極Ｔ1，Ｔ2，Ｔ3およ
びＴ4の電極指の方向に対し傾きを有するように配置さ
れる。図２は図１の超音波タッチパネルの断面図であ
る。但し、図２では非圧電板１、超音波送受波手段Ｘま
たはＹにおけるすだれ状電極Ｔ1，Ｒ1および圧電基板Ｐ
T1，ＰR1のみが描かれている。すだれ状電極Ｔ1，Ｔ2，
Ｔ3およびＴ4は互いに同様な構造を成し、３対の電極指
を有し、その電極交差幅Ｌは１２ｍｍ、電極周期長Ｐは
２９０μｍである。すだれ状電極Ｔ0およびＲ0は互いに
同様な構造を成し、それぞれ３対の電極指を有し、電極
周期長Ｐは２９０μｍである。すだれ状電極Ｒ1，Ｒ2，
Ｒ3およびＲ4はそれぞれ３対の電極指を有する。圧電基
板ＰT0および非圧電板１は２層構造部ＢT0を形成し、圧
電基板ＰR0および非圧電板１は２層構造部ＢR0を形成す
る。圧電基板ＰT1，ＰT2，ＰT3およびＰT4は、非圧電板
１とそれぞれ２層構造部ＢT1，ＢT2，ＢT3およびＢT4を
形成し、圧電基板ＰR1，ＰR2，ＰR3およびＰR4は、非圧
電板１とそれぞれ２層構造部ＢR1，ＢR2，ＢR3およびＢ
R4を形成する。本実施例の超音波タッチパネルを使用す
る場合、非圧電板１の上端面または下端面を接触すれば
その位置を検出できる。図３はすだれ状電極Ｒ1を示す
平面図である。すだれ状電極Ｒ1，Ｒ2，Ｒ3およびＲ4の
電極指の方向は、すだれ状電極Ｔ1，Ｔ2，Ｔ3およびＴ4
の電極指の方向に対しそれぞれ角αの傾きを有する。す
だれ状電極Ｒ1，Ｒ2，Ｒ3およびＲ4それぞれの電極指に
直交する方向での電極指の周期長ＰNは、電極周期長Ｐ
とcosαとの積に等しく、すだれ状電極Ｒ1，Ｒ2，Ｒ3お
よびＲ4それぞれの電極指の方向での交差幅ＬPは、電極
交差幅Ｌとsecαとの積に等しいとともに、電極周期長
ＰのＮ倍（Ｎ＝１）とcosecαとの積に等しい。つま
り、図３において示されている表示「ＮＰ」は、Ｐと等
しい。図４は各超音波送受波手段におけるすだれ状電極
Ｔ1とＲ1との相互関係を示す図である。図２の非圧電板
１の上端面または下端面のどちらかにおいて、すだれ状
電極Ｔ1とＲ1との間の位置Ｆj（ｊ＝ｘ，……，２，
１，０，−１，−２，……，−ｘ）を人指または物体で
接触した場合に、その位置Ｆjを検出することができ
る。すだれ状電極Ｔ2とＲ2との関係、すだれ状電極Ｔ3
とＲ3との関係、およびすだれ状電極Ｔ4とＲ4との関係
も、すだれ状電極Ｔ1とＲ1との関係と同様である。図５
は図１の超音波タッチパネルの駆動回路を示す図であ
る。すだれ状電極Ｒ1，Ｒ2，Ｒ3およびＲ4の出力端は互
いに１つの接続点で接続され、その接続点は位相比較器
３の入力端に接続されている。すだれ状電極Ｒ0の出力
端は、増幅器２を介して、すだれ状電極Ｔ0の入力端お
よびスイッチ５の入力端に接続されるとともに位相比較
器３の入力端に接続されている。スイッチ５はすだれ状
電極Ｔ1，Ｔ2，Ｔ3およびＴ4に順次に所定の周期で電気
信号を入力する機能を有する。電極周期長Ｐにほぼ対応
する周波数の電気信号をすだれ状電極Ｔ0に入力する
と、２層構造部ＢT0に電極周期長Ｐとほぼ等しい波長を
有するＳＨ波が励振される。ＳＨ波は、非圧電板１に伝
搬された後、２層構造部ＢR0に伝搬され、すだれ状電極
Ｒ0によって位相θbaseを有する電気信号に変換され出
力される。すだれ状電極Ｒ0によって出力された電気信
号は増幅器２によって増幅される。増幅された電気信号
の一部はすだれ状電極Ｔ0およびスイッチ５に入力さ
れる。このようにして、すだれ状電極Ｔ0とＲ0との間の
ＳＨ波の伝搬路を遅延素子とする発振器を構成すること
ができる。増幅された電気信号の残部は位相比較器３
に入力される。電極周期長Ｐにほぼ対応する周波数の電
気信号がスイッチ５を介してすだれ状電極Ｔ1，Ｔ2，Ｔ
3またはＴ4に入力されると、２層構造部ＢT1，ＢT2，Ｂ
T3またはＢT4に電極周期長Ｐとほぼ等しい波長を有する
ＳＨ波が励振される。ＳＨ波は、非圧電板１に伝搬され
た後、２層構造部ＢR1，ＢR2，ＢR3またはＢR4に伝搬さ
れ、すだれ状電極Ｒ1，Ｒ2，Ｒ3またはＲ4によって位相
θj（ｊ＝ｘ，……，２，１，０，−１，−２，……，
−ｘ）を有する電気信号Ｅj（ｊ＝ｘ，……，２，１，
０，−１，−２，……，−ｘ）にそれぞれ変換される。
位相θjを合成することにより生ずる位相Ｕθjは零であ
り、電気信号Ｅjを合成することにより生ずる電気信号
ＵＥjの振幅は零であることから、電気信号ＵＥjはすだ
れ状電極Ｒ1，Ｒ2，Ｒ3またはＲ4において検出されるこ
とはない。図１の超音波タッチパネルでは、非圧電板１
において、すだれ状電極Ｔ1，Ｔ2，Ｔ3およびＴ4と、す
だれ状電極Ｒ1，Ｒ2，Ｒ3およびＲ4との間にＳＨ波の伝
搬路Ｄ1，Ｄ2，Ｄ3およびＤ4がそれぞれ形成される。各
伝搬路はそれぞれ微細伝搬路Ｚj（ｊ＝ｘ，……，２，
１，０，−１，−２，……，−ｘ）から成る。微細伝搬
路Ｚ0はすだれ状電極Ｔ1，Ｔ2，Ｔ3またはＴ4の電極交
差幅Ｌの垂直二等分線上にある。微細伝搬路Ｚjは位相
θjに対応させることができる。もしも位置Ｆjに人指ま
たは物体が接触すると、すだれ状電極Ｒ1，Ｒ2，Ｒ3お
よびＲ4のどれかにおいて位相θ-jを有する電気信号Ｅ
-jが出力される。このとき、電気信号Ｅ-jは電気信号Ｕ
Ｅjから電気信号Ｅjを除いた成分と等しく（Ｅ-j＝ＵＥ
j−Ｅj）、位相θ-jは位相Ｕθjから位相θjを除いた成
分と等しく（θ-j＝Ｕθj−θj）なる。つまり、非圧電
板１の板面を接触しない場合には、電気信号ＵＥjは均
衡がとれて零であったものが、接触により超音波の微細
伝搬路Ｚjが遮断されると、その微細伝搬路Ｚjに対応す
るＳＨ波が位相θjを有する電気信号Ｅjに変換されるこ
とがないので、全体としての均衡が崩れて位相θ-jを有
する電気信号Ｅ-jが検出されることになる。すだれ状電
極Ｒ1，Ｒ2，Ｒ3およびＲ4のどれかにおいて出力された
電気信号Ｅ-jは増幅器６によって増幅され、位相比較器
３に入力される。位相比較器３は位相θbaseと位相θ-j
との差（θbase−θ-j）を検出する。信号処理器４は、
まず、すだれ状電極Ｒ1，Ｒ2，Ｒ3およびＲ4の出力端を
結ぶ接続点において電気信号Ｅ-jが検出されることによ
り、非圧電板１に接触したことを感知し、電気信号Ｅ-j
が検出された時に接続されていたすだれ状電極Ｔ1，
Ｔ2，Ｔ3またはＴ4を判別することにより、接触位置Ｆj
が含まれる伝搬路Ｄ1，Ｄ2，Ｄ3またはＤ4を特定する。
次に、その特定された伝搬路Ｄ1，Ｄ2，Ｄ3またはＤ4の
中の微細伝搬路Ｚjに対応する接触位置Ｆjを、位相θ
baseと位相θ-jとの差（θbase−θ-j）に基づいて特定
する。このとき、超音波送受波手段Ｘにおける接触位置
Ｆjと超音波送受波手段Ｙにおける接触位置Ｆjは同時に
算出されることから、超音波送受波手段Ｘにおける各伝
搬路と、超音波送受波手段Ｙにおける各伝搬路とを互い
に直交させることにより、互いに直交するそれらの伝搬
路をそれぞれＸ軸およびＹ軸とする２次元の座標に対応
させることができる。また、各超音波送受波手段におけ
る伝搬路どうしが互いに隣接していることにより、非圧
電板１の上端面または下端面を隙間なく利用できる。図
６は各２層構造部における各圧電基板の異なる２つの電
気的境界条件下での位相速度差から算出した電気機械結
合係数ｋ2と、ＳＨ波の周波数ｆと各圧電基板の厚さｄ
との積（ｆｄ）との関係を示す特性図である。但し、図
６では、非圧電板１が、非圧電板１単体に伝搬する横波
速度が１９８８．８ｍ／ｓであるような材質で成る場合
の特性図が示される。各圧電基板単体に伝搬する横波速
度は２４４８．８ｍ／ｓである。図６から、０次および
１次以上の高次モードのＳＨ波は大きなｋ2値を有する
ことが分かるが、特に、２次以上の高次モードのＳＨ波
はデバイスを設計する上でも扱いやすいことが分かる。
このようにして、たとえば、すだれ状電極Ｔ1に加えら
れる電気的エネルギーが２次モードのＳＨ波に最も変換
されやすいのはｆｄ値が約３．３ＭＨｚ・ｍｍのときで
あり、このときｋ2値は最大値の約２２．５％に達す
る。なお、ここでのｋ2値は、弾性表面波用の圧電基板
として実用域にあるＬｉＮｂＯ3単結晶が５％程度の値
であることと比較しても評価に値することが明らかであ
る。図７は各２層構造部を伝搬するＳＨ波の速度分散曲
線を示す特性図であり、ｆｄ値に対する各モードの位相
速度を示す図である。但し、図７では、非圧電板１が図
６と同様な材質で成る場合の特性図が示される。●印
は、すだれ状電極Ｔ1，Ｔ2，Ｔ3またはＴ4に加えられる
電気的エネルギーが各モードのＳＨ波に最も効率よく変
換されるｆｄ値（図６から算出した値で、ｋ2が最大値
を示すｆｄ値）を示す。図７から、●印における各位相
速度は非圧電板１単体に伝搬する横波速度および各圧電
基板単体に伝搬する横波速度の平均値（２２１８．８ｍ
／ｓ）とほぼ等しいことが分かる。このようにして、各
２層構造部を伝搬するＳＨ波の位相速度と、非圧電板１
単体に伝搬する横波速度および各圧電基板単体に伝搬す
る横波速度の平均値とがほぼ一致するときのｆｄ値がｋ
2の最大値をもたらすことが分かる。図８は図６の３次
モードのｋ2の最大値近傍でのｆｄ値における変位分布
を示す特性図である。縦軸は各２層構造部の深さを規格
化した値で示したもので、各圧電基板の非圧電板１との
界面が深さ０に相当する。図８では、各圧電基板の深
さ、つまり厚さを１００とし、非圧電板１の深さ、つま
り厚さを−１００とする。横軸の点線は変位成分を、実
線は電位成分を規格化した値で示したものである。図８
より、ＳＨ波がバルク波的な挙動を示すこと、つまり、
非圧電板１の内部にまで効率よく伝搬されることが分か
る。これは、各圧電基板の非圧電板１との界面が電気的
に開放状態にあることに起因するところが大きい。図９
は本発明の超音波タッチパネルの第２の実施例を示す平
面図である。本実施例は非圧電板１、信号処理器４、ス
イッチ５、増幅器６、Ｘ軸方向の超音波送受波手段Ｘお
よびＹ軸方向の超音波送受波手段Ｙから成る。但し、図
１では非圧電板１および超音波送受波手段ＸおよびＹの
みが描かれている。各超音波送受波手段は、圧電基板Ｐ
T1，ＰT2，ＰT3およびＰT4、圧電基板ＰR1，ＰR2，ＰR3
およびＰR4、入力用すだれ状電極Ｔ1，Ｔ2，Ｔ3および
Ｔ4、および出力用すだれ状電極Ｒ1，Ｒ2，Ｒ3およびＲ
4から成る。各超音波送受波手段において、すだれ状電
極Ｒ1，Ｒ2，Ｒ3およびＲ4はすだれ状電極Ｔ1，Ｔ2，Ｔ
3およびＴ4にそれぞれ対向し、すだれ状電極Ｔ1，Ｔ2，
Ｔ3およびＴ4は圧電基板ＰT1，ＰT2，ＰT3およびＰT4そ
れぞれの一方の板面に設けられ、すだれ状電極Ｒ1，
Ｒ2，Ｒ3およびＲ4は圧電基板ＰR1，ＰR2，ＰR3および
ＰR4それぞれの一方の板面に設けられている。各圧電基
板は、それぞれすだれ状電極を有しない方の板面を介し
て非圧電板１に固着されている。各圧電基板の非圧電板
１との界面は電気的に開放状態にある。各超音波送受波
手段において、各圧電基板の分極軸の方向は、すだれ状
電極Ｔ1，Ｔ2，Ｔ3およびＴ4の電極指の方向と平行にな
るような向きに配置され、すだれ状電極Ｒ1，Ｒ2，Ｒ3
およびＲ4の電極指の方向は、すだれ状電極Ｔ1，Ｔ2，
Ｔ3およびＴ4の電極指の方向に対し角αの傾きを有す
る。すだれ状電極Ｒ1，Ｒ2，Ｒ3およびＲ4それぞれの電
極指に直交する方向での電極指の周期長ＰNは、電極周
期長Ｐとcosαとの積に等しく、すだれ状電極Ｒ1，
Ｒ2，Ｒ3およびＲ4それぞれの電極指の方向での交差幅
ＬPは、電極交差幅Ｌとsecαとの積に等しいとともに、
電極周期長ＰのＮ倍（Ｎ＝１，２，……，ｎ）とcosec
αとの積に等しい。図１０は図９の超音波タッチパネル
の駆動回路を示す図である。すだれ状電極Ｒ1，Ｒ2，Ｒ
3およびＲ4の出力端は互いに１つの接続点で接続され、
その接続点は、増幅器６を介して、スイッチ５の入力端
および信号処理器４の入力端に接続される。電極周期長
Ｐにほぼ対応する周波数の電気信号をスイッチ５を介し
てすだれ状電極Ｔ1，Ｔ2，Ｔ3またはＴ4に入力すると、
２層構造部ＢT1，ＢT2，ＢT3またはＢT4に電極周期長Ｐ
とほぼ等しい波長を有するＳＨ波が励振される。ＳＨ波
は、非圧電板１に伝搬された後、２層構造部ＢR1，
ＢR2，ＢR3またはＢR4に伝搬され、すだれ状電極Ｒ1，
Ｒ2，Ｒ3またはＲ4によって周波数ｆj（ｊ＝ｘ，……，
２，１，０，−１，−２，……，−ｘ）を有する電気信
号Ｅj（ｊ＝ｘ，……，２，１，０，−１，−２，…
…，−ｘ）にそれぞれ変換される。電気信号Ｅjを合成
することにより生ずる電気信号ＵＥjの振幅は零である
ことから、電気信号ＵＥjはすだれ状電極Ｒ1，Ｒ2，Ｒ3
またはＲ4において検出されることはない。図９の超音
波タッチパネルでは、図４と同様にして、非圧電板１の
上端面または下端面における位置Ｆj（ｊ＝ｘ，……，
２，１，０，−１，−２，……，−ｘ）を人指または物
体で接触した場合に、その位置を検出することができ
る。もしも位置Ｆjに人指または物体が接触すると、す
だれ状電極Ｒ1，Ｒ2，Ｒ3およびＲ4のどれかにおいて周
波数ｆ-jを有する電気信号Ｅ-jが出力される。このと
き、電気信号Ｅ-jは電気信号ＵＥjから電気信号Ｅjを除
いた成分と等しく（Ｅ-j＝ＵＥj−Ｅj）なる。つまり、
非圧電板１の板面を接触しない場合には、電気信号ＵＥ
jは均衡がとれて零であったものが、接触により超音波
の微細伝搬路Ｚjが遮断されると、その微細伝搬路Ｚjに
対応するＳＨ波が周波数ｆjを有する電気信号Ｅjに変換
されることがないので、全体としての均衡が崩れて周波
数ｆ-jを有する電気信号Ｅ-jが検出されることになる。
信号処理器４は、まず、すだれ状電極Ｒ1，Ｒ2，Ｒ3お
よびＲ4の出力端を結ぶ接続点において電気信号Ｅ-jが
検出されることにより、非圧電板１に接触したことを感
知し、電気信号Ｅ-jが検出された時に接続されていたす
だれ状電極Ｔ1，Ｔ2，Ｔ3またはＴ4を判別することによ
り、接触位置Ｆjが含まれる伝搬路Ｄ1，Ｄ2，Ｄ3または
Ｄ4を特定する。次に、その特定された伝搬路Ｄ1，
Ｄ2，Ｄ3またはＤ4の中の微細伝搬路Ｚjに対応する接触
位置Ｆjを、周波数ｆ-jを検出することにより特定す
る。また、電気信号Ｅ-jは、非圧電板１に接触したとき
にのみ、すだれ状電極Ｒ1，Ｒ2，Ｒ3またはＲ4で出力さ
れることから、すだれ状電極Ｔ1，Ｔ2，Ｔ3またはＴ
4と、すだれ状電極Ｒ1，Ｒ2，Ｒ3またはＲ4との間のＳ
Ｈ波の伝搬路Ｄ1，Ｄ2，Ｄ3またはＤ4を遅延素子とする
発振器を構成することができる。超音波送受波手段Ｘに
おける接触位置Ｆjと超音波送受波手段Ｙにおける接触
位置Ｆjは同時に算出される。超音波送受波手段Ｘにお
ける各伝搬路と、超音波送受波手段Ｙにおける各伝搬路
とは互いに直交していることから、互いに直交するそれ
らの伝搬路をそれぞれＸ軸およびＹ軸とする２次元の座
標に対応させることができる。
実施例を示す平面図である。本実施例は非圧電板１、増
幅器２、位相比較器３、信号処理器４、スイッチ５、Ｘ
軸方向の超音波送受波手段ＸおよびＹ軸方向の超音波送
受波手段Ｙから成る。但し、図１では非圧電板１および
超音波送受波手段ＸおよびＹのみが描かれている。各超
音波送受波手段は、圧電基板ＰT0およびＰR0、圧電基板
ＰT1，ＰT2，ＰT3およびＰT4、圧電基板ＰR1，ＰR2，Ｐ
R3およびＰR4、入力用すだれ状電極Ｔ0、入力用すだれ
状電極Ｔ1，Ｔ2，Ｔ3およびＴ4、出力用すだれ状電極Ｒ
0、および出力用すだれ状電極Ｒ1，Ｒ2，Ｒ3およびＲ4
から成る。各すだれ状電極はアルミニウム薄膜で成る。
各圧電基板は厚さ０．２ｍｍの圧電セラミックで成る。
各超音波送受波手段において、すだれ状電極Ｒ0はすだ
れ状電極Ｔ0に対向し、すだれ状電極Ｒ1，Ｒ2，Ｒ3およ
びＲ4はすだれ状電極Ｔ1，Ｔ2，Ｔ3およびＴ4にそれぞ
れ対向し、すだれ状電極Ｔ0は圧電基板ＰT0の一方の板
面に設けられ、すだれ状電極Ｔ1，Ｔ2，Ｔ3およびＴ4は
圧電基板ＰT1，ＰT2，ＰT3およびＰT4それぞれの一方の
板面に設けられ、すだれ状電極Ｒ0は圧電基板ＰR0の一
方の板面に設けられ、すだれ状電極Ｒ1，Ｒ2，Ｒ3およ
びＲ4は圧電基板ＰR1，ＰR2，ＰR3およびＰR4それぞれ
の一方の板面に設けられている。各圧電基板は、それぞ
れすだれ状電極を有しない方の板面を介して非圧電板１
に固着されている。非圧電板１は厚さ０．２ｍｍのガラ
ス、フッ素樹脂、アクリル樹脂またはプラスチック等の
高分子化合物で成る。各圧電基板の非圧電板１との界面
は電気的に開放状態にある。各超音波送受波手段におい
て、各圧電基板の分極軸の方向は、すだれ状電極Ｔ0，
Ｔ1，Ｔ2，Ｔ3およびＴ4の電極指の方向と平行になるよ
うな向きに配置され、すだれ状電極Ｒ0の電極指の方向
は、すだれ状電極Ｔ0の電極指の方向と互いに平行にな
るように配置され、すだれ状電極Ｒ1，Ｒ2，Ｒ3および
Ｒ4の電極指の方向は、すだれ状電極Ｔ1，Ｔ2，Ｔ3およ
びＴ4の電極指の方向に対し傾きを有するように配置さ
れる。図２は図１の超音波タッチパネルの断面図であ
る。但し、図２では非圧電板１、超音波送受波手段Ｘま
たはＹにおけるすだれ状電極Ｔ1，Ｒ1および圧電基板Ｐ
T1，ＰR1のみが描かれている。すだれ状電極Ｔ1，Ｔ2，
Ｔ3およびＴ4は互いに同様な構造を成し、３対の電極指
を有し、その電極交差幅Ｌは１２ｍｍ、電極周期長Ｐは
２９０μｍである。すだれ状電極Ｔ0およびＲ0は互いに
同様な構造を成し、それぞれ３対の電極指を有し、電極
周期長Ｐは２９０μｍである。すだれ状電極Ｒ1，Ｒ2，
Ｒ3およびＲ4はそれぞれ３対の電極指を有する。圧電基
板ＰT0および非圧電板１は２層構造部ＢT0を形成し、圧
電基板ＰR0および非圧電板１は２層構造部ＢR0を形成す
る。圧電基板ＰT1，ＰT2，ＰT3およびＰT4は、非圧電板
１とそれぞれ２層構造部ＢT1，ＢT2，ＢT3およびＢT4を
形成し、圧電基板ＰR1，ＰR2，ＰR3およびＰR4は、非圧
電板１とそれぞれ２層構造部ＢR1，ＢR2，ＢR3およびＢ
R4を形成する。本実施例の超音波タッチパネルを使用す
る場合、非圧電板１の上端面または下端面を接触すれば
その位置を検出できる。図３はすだれ状電極Ｒ1を示す
平面図である。すだれ状電極Ｒ1，Ｒ2，Ｒ3およびＲ4の
電極指の方向は、すだれ状電極Ｔ1，Ｔ2，Ｔ3およびＴ4
の電極指の方向に対しそれぞれ角αの傾きを有する。す
だれ状電極Ｒ1，Ｒ2，Ｒ3およびＲ4それぞれの電極指に
直交する方向での電極指の周期長ＰNは、電極周期長Ｐ
とcosαとの積に等しく、すだれ状電極Ｒ1，Ｒ2，Ｒ3お
よびＲ4それぞれの電極指の方向での交差幅ＬPは、電極
交差幅Ｌとsecαとの積に等しいとともに、電極周期長
ＰのＮ倍（Ｎ＝１）とcosecαとの積に等しい。つま
り、図３において示されている表示「ＮＰ」は、Ｐと等
しい。図４は各超音波送受波手段におけるすだれ状電極
Ｔ1とＲ1との相互関係を示す図である。図２の非圧電板
１の上端面または下端面のどちらかにおいて、すだれ状
電極Ｔ1とＲ1との間の位置Ｆj（ｊ＝ｘ，……，２，
１，０，−１，−２，……，−ｘ）を人指または物体で
接触した場合に、その位置Ｆjを検出することができ
る。すだれ状電極Ｔ2とＲ2との関係、すだれ状電極Ｔ3
とＲ3との関係、およびすだれ状電極Ｔ4とＲ4との関係
も、すだれ状電極Ｔ1とＲ1との関係と同様である。図５
は図１の超音波タッチパネルの駆動回路を示す図であ
る。すだれ状電極Ｒ1，Ｒ2，Ｒ3およびＲ4の出力端は互
いに１つの接続点で接続され、その接続点は位相比較器
３の入力端に接続されている。すだれ状電極Ｒ0の出力
端は、増幅器２を介して、すだれ状電極Ｔ0の入力端お
よびスイッチ５の入力端に接続されるとともに位相比較
器３の入力端に接続されている。スイッチ５はすだれ状
電極Ｔ1，Ｔ2，Ｔ3およびＴ4に順次に所定の周期で電気
信号を入力する機能を有する。電極周期長Ｐにほぼ対応
する周波数の電気信号をすだれ状電極Ｔ0に入力する
と、２層構造部ＢT0に電極周期長Ｐとほぼ等しい波長を
有するＳＨ波が励振される。ＳＨ波は、非圧電板１に伝
搬された後、２層構造部ＢR0に伝搬され、すだれ状電極
Ｒ0によって位相θbaseを有する電気信号に変換され出
力される。すだれ状電極Ｒ0によって出力された電気信
号は増幅器２によって増幅される。増幅された電気信号
の一部はすだれ状電極Ｔ0およびスイッチ５に入力さ
れる。このようにして、すだれ状電極Ｔ0とＲ0との間の
ＳＨ波の伝搬路を遅延素子とする発振器を構成すること
ができる。増幅された電気信号の残部は位相比較器３
に入力される。電極周期長Ｐにほぼ対応する周波数の電
気信号がスイッチ５を介してすだれ状電極Ｔ1，Ｔ2，Ｔ
3またはＴ4に入力されると、２層構造部ＢT1，ＢT2，Ｂ
T3またはＢT4に電極周期長Ｐとほぼ等しい波長を有する
ＳＨ波が励振される。ＳＨ波は、非圧電板１に伝搬され
た後、２層構造部ＢR1，ＢR2，ＢR3またはＢR4に伝搬さ
れ、すだれ状電極Ｒ1，Ｒ2，Ｒ3またはＲ4によって位相
θj（ｊ＝ｘ，……，２，１，０，−１，−２，……，
−ｘ）を有する電気信号Ｅj（ｊ＝ｘ，……，２，１，
０，−１，−２，……，−ｘ）にそれぞれ変換される。
位相θjを合成することにより生ずる位相Ｕθjは零であ
り、電気信号Ｅjを合成することにより生ずる電気信号
ＵＥjの振幅は零であることから、電気信号ＵＥjはすだ
れ状電極Ｒ1，Ｒ2，Ｒ3またはＲ4において検出されるこ
とはない。図１の超音波タッチパネルでは、非圧電板１
において、すだれ状電極Ｔ1，Ｔ2，Ｔ3およびＴ4と、す
だれ状電極Ｒ1，Ｒ2，Ｒ3およびＲ4との間にＳＨ波の伝
搬路Ｄ1，Ｄ2，Ｄ3およびＤ4がそれぞれ形成される。各
伝搬路はそれぞれ微細伝搬路Ｚj（ｊ＝ｘ，……，２，
１，０，−１，−２，……，−ｘ）から成る。微細伝搬
路Ｚ0はすだれ状電極Ｔ1，Ｔ2，Ｔ3またはＴ4の電極交
差幅Ｌの垂直二等分線上にある。微細伝搬路Ｚjは位相
θjに対応させることができる。もしも位置Ｆjに人指ま
たは物体が接触すると、すだれ状電極Ｒ1，Ｒ2，Ｒ3お
よびＲ4のどれかにおいて位相θ-jを有する電気信号Ｅ
-jが出力される。このとき、電気信号Ｅ-jは電気信号Ｕ
Ｅjから電気信号Ｅjを除いた成分と等しく（Ｅ-j＝ＵＥ
j−Ｅj）、位相θ-jは位相Ｕθjから位相θjを除いた成
分と等しく（θ-j＝Ｕθj−θj）なる。つまり、非圧電
板１の板面を接触しない場合には、電気信号ＵＥjは均
衡がとれて零であったものが、接触により超音波の微細
伝搬路Ｚjが遮断されると、その微細伝搬路Ｚjに対応す
るＳＨ波が位相θjを有する電気信号Ｅjに変換されるこ
とがないので、全体としての均衡が崩れて位相θ-jを有
する電気信号Ｅ-jが検出されることになる。すだれ状電
極Ｒ1，Ｒ2，Ｒ3およびＲ4のどれかにおいて出力された
電気信号Ｅ-jは増幅器６によって増幅され、位相比較器
３に入力される。位相比較器３は位相θbaseと位相θ-j
との差（θbase−θ-j）を検出する。信号処理器４は、
まず、すだれ状電極Ｒ1，Ｒ2，Ｒ3およびＲ4の出力端を
結ぶ接続点において電気信号Ｅ-jが検出されることによ
り、非圧電板１に接触したことを感知し、電気信号Ｅ-j
が検出された時に接続されていたすだれ状電極Ｔ1，
Ｔ2，Ｔ3またはＴ4を判別することにより、接触位置Ｆj
が含まれる伝搬路Ｄ1，Ｄ2，Ｄ3またはＤ4を特定する。
次に、その特定された伝搬路Ｄ1，Ｄ2，Ｄ3またはＤ4の
中の微細伝搬路Ｚjに対応する接触位置Ｆjを、位相θ
baseと位相θ-jとの差（θbase−θ-j）に基づいて特定
する。このとき、超音波送受波手段Ｘにおける接触位置
Ｆjと超音波送受波手段Ｙにおける接触位置Ｆjは同時に
算出されることから、超音波送受波手段Ｘにおける各伝
搬路と、超音波送受波手段Ｙにおける各伝搬路とを互い
に直交させることにより、互いに直交するそれらの伝搬
路をそれぞれＸ軸およびＹ軸とする２次元の座標に対応
させることができる。また、各超音波送受波手段におけ
る伝搬路どうしが互いに隣接していることにより、非圧
電板１の上端面または下端面を隙間なく利用できる。図
６は各２層構造部における各圧電基板の異なる２つの電
気的境界条件下での位相速度差から算出した電気機械結
合係数ｋ2と、ＳＨ波の周波数ｆと各圧電基板の厚さｄ
との積（ｆｄ）との関係を示す特性図である。但し、図
６では、非圧電板１が、非圧電板１単体に伝搬する横波
速度が１９８８．８ｍ／ｓであるような材質で成る場合
の特性図が示される。各圧電基板単体に伝搬する横波速
度は２４４８．８ｍ／ｓである。図６から、０次および
１次以上の高次モードのＳＨ波は大きなｋ2値を有する
ことが分かるが、特に、２次以上の高次モードのＳＨ波
はデバイスを設計する上でも扱いやすいことが分かる。
このようにして、たとえば、すだれ状電極Ｔ1に加えら
れる電気的エネルギーが２次モードのＳＨ波に最も変換
されやすいのはｆｄ値が約３．３ＭＨｚ・ｍｍのときで
あり、このときｋ2値は最大値の約２２．５％に達す
る。なお、ここでのｋ2値は、弾性表面波用の圧電基板
として実用域にあるＬｉＮｂＯ3単結晶が５％程度の値
であることと比較しても評価に値することが明らかであ
る。図７は各２層構造部を伝搬するＳＨ波の速度分散曲
線を示す特性図であり、ｆｄ値に対する各モードの位相
速度を示す図である。但し、図７では、非圧電板１が図
６と同様な材質で成る場合の特性図が示される。●印
は、すだれ状電極Ｔ1，Ｔ2，Ｔ3またはＴ4に加えられる
電気的エネルギーが各モードのＳＨ波に最も効率よく変
換されるｆｄ値（図６から算出した値で、ｋ2が最大値
を示すｆｄ値）を示す。図７から、●印における各位相
速度は非圧電板１単体に伝搬する横波速度および各圧電
基板単体に伝搬する横波速度の平均値（２２１８．８ｍ
／ｓ）とほぼ等しいことが分かる。このようにして、各
２層構造部を伝搬するＳＨ波の位相速度と、非圧電板１
単体に伝搬する横波速度および各圧電基板単体に伝搬す
る横波速度の平均値とがほぼ一致するときのｆｄ値がｋ
2の最大値をもたらすことが分かる。図８は図６の３次
モードのｋ2の最大値近傍でのｆｄ値における変位分布
を示す特性図である。縦軸は各２層構造部の深さを規格
化した値で示したもので、各圧電基板の非圧電板１との
界面が深さ０に相当する。図８では、各圧電基板の深
さ、つまり厚さを１００とし、非圧電板１の深さ、つま
り厚さを−１００とする。横軸の点線は変位成分を、実
線は電位成分を規格化した値で示したものである。図８
より、ＳＨ波がバルク波的な挙動を示すこと、つまり、
非圧電板１の内部にまで効率よく伝搬されることが分か
る。これは、各圧電基板の非圧電板１との界面が電気的
に開放状態にあることに起因するところが大きい。図９
は本発明の超音波タッチパネルの第２の実施例を示す平
面図である。本実施例は非圧電板１、信号処理器４、ス
イッチ５、増幅器６、Ｘ軸方向の超音波送受波手段Ｘお
よびＹ軸方向の超音波送受波手段Ｙから成る。但し、図
１では非圧電板１および超音波送受波手段ＸおよびＹの
みが描かれている。各超音波送受波手段は、圧電基板Ｐ
T1，ＰT2，ＰT3およびＰT4、圧電基板ＰR1，ＰR2，ＰR3
およびＰR4、入力用すだれ状電極Ｔ1，Ｔ2，Ｔ3および
Ｔ4、および出力用すだれ状電極Ｒ1，Ｒ2，Ｒ3およびＲ
4から成る。各超音波送受波手段において、すだれ状電
極Ｒ1，Ｒ2，Ｒ3およびＲ4はすだれ状電極Ｔ1，Ｔ2，Ｔ
3およびＴ4にそれぞれ対向し、すだれ状電極Ｔ1，Ｔ2，
Ｔ3およびＴ4は圧電基板ＰT1，ＰT2，ＰT3およびＰT4そ
れぞれの一方の板面に設けられ、すだれ状電極Ｒ1，
Ｒ2，Ｒ3およびＲ4は圧電基板ＰR1，ＰR2，ＰR3および
ＰR4それぞれの一方の板面に設けられている。各圧電基
板は、それぞれすだれ状電極を有しない方の板面を介し
て非圧電板１に固着されている。各圧電基板の非圧電板
１との界面は電気的に開放状態にある。各超音波送受波
手段において、各圧電基板の分極軸の方向は、すだれ状
電極Ｔ1，Ｔ2，Ｔ3およびＴ4の電極指の方向と平行にな
るような向きに配置され、すだれ状電極Ｒ1，Ｒ2，Ｒ3
およびＲ4の電極指の方向は、すだれ状電極Ｔ1，Ｔ2，
Ｔ3およびＴ4の電極指の方向に対し角αの傾きを有す
る。すだれ状電極Ｒ1，Ｒ2，Ｒ3およびＲ4それぞれの電
極指に直交する方向での電極指の周期長ＰNは、電極周
期長Ｐとcosαとの積に等しく、すだれ状電極Ｒ1，
Ｒ2，Ｒ3およびＲ4それぞれの電極指の方向での交差幅
ＬPは、電極交差幅Ｌとsecαとの積に等しいとともに、
電極周期長ＰのＮ倍（Ｎ＝１，２，……，ｎ）とcosec
αとの積に等しい。図１０は図９の超音波タッチパネル
の駆動回路を示す図である。すだれ状電極Ｒ1，Ｒ2，Ｒ
3およびＲ4の出力端は互いに１つの接続点で接続され、
その接続点は、増幅器６を介して、スイッチ５の入力端
および信号処理器４の入力端に接続される。電極周期長
Ｐにほぼ対応する周波数の電気信号をスイッチ５を介し
てすだれ状電極Ｔ1，Ｔ2，Ｔ3またはＴ4に入力すると、
２層構造部ＢT1，ＢT2，ＢT3またはＢT4に電極周期長Ｐ
とほぼ等しい波長を有するＳＨ波が励振される。ＳＨ波
は、非圧電板１に伝搬された後、２層構造部ＢR1，
ＢR2，ＢR3またはＢR4に伝搬され、すだれ状電極Ｒ1，
Ｒ2，Ｒ3またはＲ4によって周波数ｆj（ｊ＝ｘ，……，
２，１，０，−１，−２，……，−ｘ）を有する電気信
号Ｅj（ｊ＝ｘ，……，２，１，０，−１，−２，…
…，−ｘ）にそれぞれ変換される。電気信号Ｅjを合成
することにより生ずる電気信号ＵＥjの振幅は零である
ことから、電気信号ＵＥjはすだれ状電極Ｒ1，Ｒ2，Ｒ3
またはＲ4において検出されることはない。図９の超音
波タッチパネルでは、図４と同様にして、非圧電板１の
上端面または下端面における位置Ｆj（ｊ＝ｘ，……，
２，１，０，−１，−２，……，−ｘ）を人指または物
体で接触した場合に、その位置を検出することができ
る。もしも位置Ｆjに人指または物体が接触すると、す
だれ状電極Ｒ1，Ｒ2，Ｒ3およびＲ4のどれかにおいて周
波数ｆ-jを有する電気信号Ｅ-jが出力される。このと
き、電気信号Ｅ-jは電気信号ＵＥjから電気信号Ｅjを除
いた成分と等しく（Ｅ-j＝ＵＥj−Ｅj）なる。つまり、
非圧電板１の板面を接触しない場合には、電気信号ＵＥ
jは均衡がとれて零であったものが、接触により超音波
の微細伝搬路Ｚjが遮断されると、その微細伝搬路Ｚjに
対応するＳＨ波が周波数ｆjを有する電気信号Ｅjに変換
されることがないので、全体としての均衡が崩れて周波
数ｆ-jを有する電気信号Ｅ-jが検出されることになる。
信号処理器４は、まず、すだれ状電極Ｒ1，Ｒ2，Ｒ3お
よびＲ4の出力端を結ぶ接続点において電気信号Ｅ-jが
検出されることにより、非圧電板１に接触したことを感
知し、電気信号Ｅ-jが検出された時に接続されていたす
だれ状電極Ｔ1，Ｔ2，Ｔ3またはＴ4を判別することによ
り、接触位置Ｆjが含まれる伝搬路Ｄ1，Ｄ2，Ｄ3または
Ｄ4を特定する。次に、その特定された伝搬路Ｄ1，
Ｄ2，Ｄ3またはＤ4の中の微細伝搬路Ｚjに対応する接触
位置Ｆjを、周波数ｆ-jを検出することにより特定す
る。また、電気信号Ｅ-jは、非圧電板１に接触したとき
にのみ、すだれ状電極Ｒ1，Ｒ2，Ｒ3またはＲ4で出力さ
れることから、すだれ状電極Ｔ1，Ｔ2，Ｔ3またはＴ
4と、すだれ状電極Ｒ1，Ｒ2，Ｒ3またはＲ4との間のＳ
Ｈ波の伝搬路Ｄ1，Ｄ2，Ｄ3またはＤ4を遅延素子とする
発振器を構成することができる。超音波送受波手段Ｘに
おける接触位置Ｆjと超音波送受波手段Ｙにおける接触
位置Ｆjは同時に算出される。超音波送受波手段Ｘにお
ける各伝搬路と、超音波送受波手段Ｙにおける各伝搬路
とは互いに直交していることから、互いに直交するそれ
らの伝搬路をそれぞれＸ軸およびＹ軸とする２次元の座
標に対応させることができる。
【発明の効果】本発明の超音波タッチパネルの第１の構
造は、非圧電板、２つの超音波送受波手段、増幅器、位
相比較器および信号処理器から成る簡単な構造を有す
る。各超音波送受波手段は、圧電基板ＰT0，ＰR0，ＰTi
（ｉ＝１，２，……，Ｎ），ＰRi（ｉ＝１，２，……，
Ｎ）、すだれ状電極Ｔ0，Ｒ0，Ｔi（ｉ＝１，２，…
…，Ｎ）およびＲi（ｉ＝１，２，……，Ｎ）から成
る。すだれ状電極Ｔ0，Ｒ0，ＴiおよびＲiは圧電基板Ｐ
T0，ＰR0，ＰTiおよびＰRiそれぞれの一方の板面に設け
られている。各圧電基板は、それぞれすだれ状電極を有
しない方の板面を介して非圧電板の一方の板面に固着さ
れている。すだれ状電極Ｒ0の電極指の方向と、すだれ
状電極Ｔ0の電極指の方向は互いに平行である。すだれ
状電極Ｒiの電極指の方向は、すだれ状電極Ｔiの電極指
の方向に対しそれぞれ角αの傾きを有する。すだれ状電
極Ｒiの電極指に直交する方向での電極指の周期長Ｐ
Nは、すだれ状電極Ｔ0，ＴiおよびＲ0の電極周期長Ｐと
cosαとの積に等しく、すだれ状電極Ｒiの電極指の方向
での交差幅ＬPは、すだれ状電極Ｔiの電極交差幅Ｌとse
cαとの積に等しいとともに、電極周期長Ｐとcosecαと
の積に等しい。本発明の超音波タッチパネルの第１の構
造では、電極周期長Ｐにほぼ対応する周波数の電気信号
をすだれ状電極Ｔ0およびＴiに入力すると、２層構造部
ＢT0およびＢTi（ｉ＝１，２，……，Ｎ）にそれぞれ電
極周期長Ｐとほぼ等しい波長を有するＳＨ波が励振され
る。このとき、各圧電基板の分極軸の方向が、すだれ状
電極Ｔ0およびＴiの電極指の方向と平行であること、各
圧電基板の非圧電板との界面が電気的に開放状態にある
こと、さらに、各圧電基板の厚さｄが電極周期長Ｐより
も小さいことから、すだれ状電極Ｔ0およびＴiの電極指
に対し垂直な方向に効率よくＳＨ波が励振される。しか
も、各すだれ状電極の電極指の対数はせいぜい３対もあ
れば効率よくＳＨ波が励振される。２層構造部ＢT0およ
びＢTiに励振されるＳＨ波は０次モードおよび１次以上
の高次モードの波で、ＳＨ波の位相速度が、非圧電板単
体に伝搬する横波速度および各圧電基板単体に伝搬する
横波速度の平均値とほぼ等しいときに、すだれ状電極Ｔ
0およびＴiに加えられる電気的エネルギーからＳＨ波へ
の変換効率が最も大きくなる。２層構造部ＢR0に伝搬さ
れたＳＨ波は、すだれ状電極Ｒ0によって位相θbaseを
有する電気信号に変換されて出力される。すだれ状電極
Ｒ0の出力端は、増幅器を介して、すだれ状電極Ｔ0およ
びＴiの入力端に接続されるとともに位相比較器の入力
端に接続されていることから、すだれ状電極Ｔ0とＲ0と
の間のＳＨ波の伝搬路を遅延素子とする発振器を構成す
ることができる。一方、２層構造部ＢRi（ｉ＝１，２，
……，Ｎ）に伝搬されたＳＨ波は、各すだれ状電極Ｒi
によって位相θj（ｊ＝ｘ，……，２，１，０，−１，
−２，……，−ｘ）を有する電気信号Ｅj（ｊ＝ｘ，…
…，２，１，０，−１，−２，……，−ｘ）にそれぞれ
変換される。位相θjを合成することにより生ずる位相
Ｕθjは零であり、電気信号Ｅjを合成することにより生
ずる電気信号ＵＥjの振幅は零であることから、電気信
号ＵＥjはすだれ状電極Ｒiにおいて検出されることはな
い。本発明の超音波タッチパネルの第１の構造では、非
圧電板において、すだれ状電極ＴiおよびＲiはＳＨ波の
伝搬路Ｄi（ｉ＝１，２，……，Ｎ）を形成する。各伝
搬路Ｄiは微細伝搬路Ｚj（ｊ＝ｘ，……，２，１，０，
−１，−２，……，−ｘ）で成り、微細伝搬路Ｚ0はす
だれ状電極Ｔiの電極交差幅Ｌの垂直二等分線上にあ
る。非圧電板のどちらか一方の板面上における位置Ｆj
（ｊ＝ｘ，……，２，１，０，−１，−２，……，−
ｘ）を、微細伝搬路Ｚjおよび位相θjに対応させること
ができる。もしも位置Ｆjに人指または物体が接触する
と、すだれ状電極Ｒiにおいて位相θ-j（θ-j＝Ｕθj−
θj）を有する電気信号Ｅ-j（Ｅ-j＝ＵＥj−Ｅj）が出
力される。信号処理器は、まず、電気信号Ｅ-jを出力し
たすだれ状電極Ｒiを判別することにより、接触した位
置Ｆjが含まれる伝搬路Ｄiを特定する。次に、その特定
された伝搬路Ｄiの中の微細伝搬路Ｚjに対応する接触位
置Ｆjを、位相比較器で検出された位相差（θbase−θ
-j）に基づいて特定する。本発明の超音波タッチパネル
の第１の構造では、すだれ状電極Ｔiの入力端にスイッ
チが接続された構造が可能である。スイッチはすだれ状
電極Ｔiに順次に所定の周期で電気信号を入力する機能
を有する。このとき、すだれ状電極Ｒiの出力端は互い
に１つの接続点で接続される。信号処理器は、まず、こ
の接続点において電気信号Ｅ-jが検出された時に接続さ
れていたすだれ状電極Ｔiを判別することにより、接触
した位置Ｆjが含まれる伝搬路Ｄiを特定する。次に、そ
の特定された伝搬路Ｄiの中の微細伝搬路Ｚjに対応する
接触位置Ｆjを、位相差（θb ase−θ-j）に基づいて特
定する。本発明の超音波タッチパネルの第２の構造は、
非圧電板、２つの超音波送受波手段、増幅器および信号
処理器から成る。各超音波送受波手段は、圧電基板
ＰTi，ＰRi、すだれ状電極ＴiおよびＲiから成る。すだ
れ状電極ＴiおよびＲiはそれぞれ圧電基板ＰTiおよびＰ
Riの一方の板面に設けられている。各圧電基板は、それ
ぞれすだれ状電極を有しない方の板面を介して非圧電板
の一方の板面に固着されている。すだれ状電極Ｒiの電
極指の方向は、すだれ状電極Ｔiの電極指の方向に対し
角αの傾きを有する。すだれ状電極Ｒiの電極指に直交
する方向での電極指の周期長ＰNは、すだれ状電極Ｔiの
電極周期長Ｐとcosαとの積に等しく、すだれ状電極Ｒi
の電極指の方向での交差幅ＬPは、すだれ状電極Ｔiの電
極交差幅Ｌとsecαとの積に等しいとともに、電極周期
長ＰのＮ倍（Ｎ＝１，２，……，ｎ）とcosecαとの積
に等しい。本発明の超音波タッチパネルの第２の構造で
は、電極周期長Ｐにほぼ対応する周波数の電気信号をす
だれ状電極Ｔiに入力することにより、２層構造部ＢTi
に電極周期長Ｐとほぼ等しい波長を有するＳＨ波を励振
し、そのＳＨ波を非圧電板に伝搬させた後、圧電基板Ｐ
Riと非圧電板から成る２層構造部ＢRiに伝搬させること
ができる。このＳＨ波は０次モードおよび１次以上の高
次モードの波で、ＳＨ波の位相速度が、非圧電板単体に
伝搬する横波速度および前記各圧電基板単体に伝搬する
横波速度の平均値とほぼ等しいときに、すだれ状電極Ｔ
iから加えられる電気的エネルギーがＳＨ波に変換され
る度合を大きくすることができる。２層構造部ＢRiに伝
搬したＳＨ波は、すだれ状電極Ｒiによって周波数ｆ
j（ｊ＝ｘ，……，２，１，０，−１，−２，……，−
ｘ）を有する電気信号Ｅj（ｊ＝ｘ，……，２，１，
０，−１，−２，……，−ｘ）にそれぞれ変換される。
電気信号Ｅjを合成することにより生ずる電気信号ＵＥj
の振幅は零であることから、電気信号ＵＥjはすだれ状
電極Ｒiにおいて検出されることはない。本発明の超音
波タッチパネルの第２の構造では、非圧電板において、
すだれ状電極ＴiおよびＲiはＳＨ波の伝搬路Ｄiを形成
する。各伝搬路Ｄiは微細伝搬路Ｚjで成り、微細伝搬路
Ｚ0はすだれ状電極Ｔiの電極交差幅Ｌの垂直二等分線上
にある。非圧電板のどちらか一方の板面上における位置
Ｆjを、微細伝搬路Ｚjに対応させることができる。もし
も位置Ｆjに人指または物体が接触すると、すだれ状電
極Ｒiにおいて周波数ｆ-jを有する電気信号Ｅ-j（Ｅ-j
＝ＵＥj−Ｅj）が出力される。信号処理器は、まず、電
気信号Ｅ-jを出力したすだれ状電極Ｒiを判別すること
により、接触した位置Ｆjが含まれる伝搬路Ｄiを特定す
る。次に、その特定された伝搬路Ｄiの中の微細伝搬路
Ｚjに対応する接触位置Ｆjを、周波数ｆ-jを検出するこ
とにより特定する。また、位置Ｆjに接触することによ
ってのみすだれ状電極Ｒiにおいて電気信号Ｅ-jが出力
され、このとき、すだれ状電極ＴiとＲiとの間のＳＨ波
の伝搬路Ｄiを遅延素子とする発振器を構成することが
できる。 本発明の超音波タッチパネルの第２の構造で
は、すだれ状電極Ｔiの入力端にスイッチが接続された
構造が可能である。スイッチはすだれ状電極Ｔiに順次
に所定の周期で電気信号を入力する機能を有する。信号
処理器は、まず、すだれ状電極Ｒiの出力端を結ぶ接続
点において電気信号Ｅ-jが検出された時に接続されてい
たすだれ状電極Ｔiを判別することにより、接触した位
置Ｆjが含まれる伝搬路Ｄiを特定する。次に、その特定
された伝搬路Ｄiの中の微細伝搬路Ｚjに対応する接触位
置Ｆjを、周波数ｆ-jを検出することにより特定する。
本発明の超音波タッチパネルでは、一方の超音波送受波
手段における伝搬路Ｄiと、もう一方の超音波送受波手
段における伝搬路Ｄiを互いに直交させる構造を採用す
ることにより、互いに直交するそれらの伝搬路をＸ軸お
よびＹ軸とする２次元の座標に対応させることが可能と
なり、接触位置の細密な検出が可能となる。また、各超
音波送受波手段における伝搬路Ｄiどうしを互いに隣接
させるかまたは一部分を重複させた構造を採用すること
により、接触位置をさらに細密に検出することが可能と
なる。本発明の超音波タッチパネルでは、非圧電板単体
に伝搬する横波の位相速度が各圧電基板単体に伝搬する
横波の位相速度とほぼ等しいかまたはそれ以下であるよ
うな非圧電板が採用される。さらに、非圧電板の厚さが
各圧電基板の厚さｄとほぼ等しいかまたはそれよりも小
さい構造が採用される。従って、ＳＨ波のバルク波的な
挙動が促進される。また、各圧電基板の非圧電板との界
面が電気的に開放状態にあることが、ＳＨ波のバルク波
的な挙動をさらに促進させる。
造は、非圧電板、２つの超音波送受波手段、増幅器、位
相比較器および信号処理器から成る簡単な構造を有す
る。各超音波送受波手段は、圧電基板ＰT0，ＰR0，ＰTi
（ｉ＝１，２，……，Ｎ），ＰRi（ｉ＝１，２，……，
Ｎ）、すだれ状電極Ｔ0，Ｒ0，Ｔi（ｉ＝１，２，…
…，Ｎ）およびＲi（ｉ＝１，２，……，Ｎ）から成
る。すだれ状電極Ｔ0，Ｒ0，ＴiおよびＲiは圧電基板Ｐ
T0，ＰR0，ＰTiおよびＰRiそれぞれの一方の板面に設け
られている。各圧電基板は、それぞれすだれ状電極を有
しない方の板面を介して非圧電板の一方の板面に固着さ
れている。すだれ状電極Ｒ0の電極指の方向と、すだれ
状電極Ｔ0の電極指の方向は互いに平行である。すだれ
状電極Ｒiの電極指の方向は、すだれ状電極Ｔiの電極指
の方向に対しそれぞれ角αの傾きを有する。すだれ状電
極Ｒiの電極指に直交する方向での電極指の周期長Ｐ
Nは、すだれ状電極Ｔ0，ＴiおよびＲ0の電極周期長Ｐと
cosαとの積に等しく、すだれ状電極Ｒiの電極指の方向
での交差幅ＬPは、すだれ状電極Ｔiの電極交差幅Ｌとse
cαとの積に等しいとともに、電極周期長Ｐとcosecαと
の積に等しい。本発明の超音波タッチパネルの第１の構
造では、電極周期長Ｐにほぼ対応する周波数の電気信号
をすだれ状電極Ｔ0およびＴiに入力すると、２層構造部
ＢT0およびＢTi（ｉ＝１，２，……，Ｎ）にそれぞれ電
極周期長Ｐとほぼ等しい波長を有するＳＨ波が励振され
る。このとき、各圧電基板の分極軸の方向が、すだれ状
電極Ｔ0およびＴiの電極指の方向と平行であること、各
圧電基板の非圧電板との界面が電気的に開放状態にある
こと、さらに、各圧電基板の厚さｄが電極周期長Ｐより
も小さいことから、すだれ状電極Ｔ0およびＴiの電極指
に対し垂直な方向に効率よくＳＨ波が励振される。しか
も、各すだれ状電極の電極指の対数はせいぜい３対もあ
れば効率よくＳＨ波が励振される。２層構造部ＢT0およ
びＢTiに励振されるＳＨ波は０次モードおよび１次以上
の高次モードの波で、ＳＨ波の位相速度が、非圧電板単
体に伝搬する横波速度および各圧電基板単体に伝搬する
横波速度の平均値とほぼ等しいときに、すだれ状電極Ｔ
0およびＴiに加えられる電気的エネルギーからＳＨ波へ
の変換効率が最も大きくなる。２層構造部ＢR0に伝搬さ
れたＳＨ波は、すだれ状電極Ｒ0によって位相θbaseを
有する電気信号に変換されて出力される。すだれ状電極
Ｒ0の出力端は、増幅器を介して、すだれ状電極Ｔ0およ
びＴiの入力端に接続されるとともに位相比較器の入力
端に接続されていることから、すだれ状電極Ｔ0とＲ0と
の間のＳＨ波の伝搬路を遅延素子とする発振器を構成す
ることができる。一方、２層構造部ＢRi（ｉ＝１，２，
……，Ｎ）に伝搬されたＳＨ波は、各すだれ状電極Ｒi
によって位相θj（ｊ＝ｘ，……，２，１，０，−１，
−２，……，−ｘ）を有する電気信号Ｅj（ｊ＝ｘ，…
…，２，１，０，−１，−２，……，−ｘ）にそれぞれ
変換される。位相θjを合成することにより生ずる位相
Ｕθjは零であり、電気信号Ｅjを合成することにより生
ずる電気信号ＵＥjの振幅は零であることから、電気信
号ＵＥjはすだれ状電極Ｒiにおいて検出されることはな
い。本発明の超音波タッチパネルの第１の構造では、非
圧電板において、すだれ状電極ＴiおよびＲiはＳＨ波の
伝搬路Ｄi（ｉ＝１，２，……，Ｎ）を形成する。各伝
搬路Ｄiは微細伝搬路Ｚj（ｊ＝ｘ，……，２，１，０，
−１，−２，……，−ｘ）で成り、微細伝搬路Ｚ0はす
だれ状電極Ｔiの電極交差幅Ｌの垂直二等分線上にあ
る。非圧電板のどちらか一方の板面上における位置Ｆj
（ｊ＝ｘ，……，２，１，０，−１，−２，……，−
ｘ）を、微細伝搬路Ｚjおよび位相θjに対応させること
ができる。もしも位置Ｆjに人指または物体が接触する
と、すだれ状電極Ｒiにおいて位相θ-j（θ-j＝Ｕθj−
θj）を有する電気信号Ｅ-j（Ｅ-j＝ＵＥj−Ｅj）が出
力される。信号処理器は、まず、電気信号Ｅ-jを出力し
たすだれ状電極Ｒiを判別することにより、接触した位
置Ｆjが含まれる伝搬路Ｄiを特定する。次に、その特定
された伝搬路Ｄiの中の微細伝搬路Ｚjに対応する接触位
置Ｆjを、位相比較器で検出された位相差（θbase−θ
-j）に基づいて特定する。本発明の超音波タッチパネル
の第１の構造では、すだれ状電極Ｔiの入力端にスイッ
チが接続された構造が可能である。スイッチはすだれ状
電極Ｔiに順次に所定の周期で電気信号を入力する機能
を有する。このとき、すだれ状電極Ｒiの出力端は互い
に１つの接続点で接続される。信号処理器は、まず、こ
の接続点において電気信号Ｅ-jが検出された時に接続さ
れていたすだれ状電極Ｔiを判別することにより、接触
した位置Ｆjが含まれる伝搬路Ｄiを特定する。次に、そ
の特定された伝搬路Ｄiの中の微細伝搬路Ｚjに対応する
接触位置Ｆjを、位相差（θb ase−θ-j）に基づいて特
定する。本発明の超音波タッチパネルの第２の構造は、
非圧電板、２つの超音波送受波手段、増幅器および信号
処理器から成る。各超音波送受波手段は、圧電基板
ＰTi，ＰRi、すだれ状電極ＴiおよびＲiから成る。すだ
れ状電極ＴiおよびＲiはそれぞれ圧電基板ＰTiおよびＰ
Riの一方の板面に設けられている。各圧電基板は、それ
ぞれすだれ状電極を有しない方の板面を介して非圧電板
の一方の板面に固着されている。すだれ状電極Ｒiの電
極指の方向は、すだれ状電極Ｔiの電極指の方向に対し
角αの傾きを有する。すだれ状電極Ｒiの電極指に直交
する方向での電極指の周期長ＰNは、すだれ状電極Ｔiの
電極周期長Ｐとcosαとの積に等しく、すだれ状電極Ｒi
の電極指の方向での交差幅ＬPは、すだれ状電極Ｔiの電
極交差幅Ｌとsecαとの積に等しいとともに、電極周期
長ＰのＮ倍（Ｎ＝１，２，……，ｎ）とcosecαとの積
に等しい。本発明の超音波タッチパネルの第２の構造で
は、電極周期長Ｐにほぼ対応する周波数の電気信号をす
だれ状電極Ｔiに入力することにより、２層構造部ＢTi
に電極周期長Ｐとほぼ等しい波長を有するＳＨ波を励振
し、そのＳＨ波を非圧電板に伝搬させた後、圧電基板Ｐ
Riと非圧電板から成る２層構造部ＢRiに伝搬させること
ができる。このＳＨ波は０次モードおよび１次以上の高
次モードの波で、ＳＨ波の位相速度が、非圧電板単体に
伝搬する横波速度および前記各圧電基板単体に伝搬する
横波速度の平均値とほぼ等しいときに、すだれ状電極Ｔ
iから加えられる電気的エネルギーがＳＨ波に変換され
る度合を大きくすることができる。２層構造部ＢRiに伝
搬したＳＨ波は、すだれ状電極Ｒiによって周波数ｆ
j（ｊ＝ｘ，……，２，１，０，−１，−２，……，−
ｘ）を有する電気信号Ｅj（ｊ＝ｘ，……，２，１，
０，−１，−２，……，−ｘ）にそれぞれ変換される。
電気信号Ｅjを合成することにより生ずる電気信号ＵＥj
の振幅は零であることから、電気信号ＵＥjはすだれ状
電極Ｒiにおいて検出されることはない。本発明の超音
波タッチパネルの第２の構造では、非圧電板において、
すだれ状電極ＴiおよびＲiはＳＨ波の伝搬路Ｄiを形成
する。各伝搬路Ｄiは微細伝搬路Ｚjで成り、微細伝搬路
Ｚ0はすだれ状電極Ｔiの電極交差幅Ｌの垂直二等分線上
にある。非圧電板のどちらか一方の板面上における位置
Ｆjを、微細伝搬路Ｚjに対応させることができる。もし
も位置Ｆjに人指または物体が接触すると、すだれ状電
極Ｒiにおいて周波数ｆ-jを有する電気信号Ｅ-j（Ｅ-j
＝ＵＥj−Ｅj）が出力される。信号処理器は、まず、電
気信号Ｅ-jを出力したすだれ状電極Ｒiを判別すること
により、接触した位置Ｆjが含まれる伝搬路Ｄiを特定す
る。次に、その特定された伝搬路Ｄiの中の微細伝搬路
Ｚjに対応する接触位置Ｆjを、周波数ｆ-jを検出するこ
とにより特定する。また、位置Ｆjに接触することによ
ってのみすだれ状電極Ｒiにおいて電気信号Ｅ-jが出力
され、このとき、すだれ状電極ＴiとＲiとの間のＳＨ波
の伝搬路Ｄiを遅延素子とする発振器を構成することが
できる。 本発明の超音波タッチパネルの第２の構造で
は、すだれ状電極Ｔiの入力端にスイッチが接続された
構造が可能である。スイッチはすだれ状電極Ｔiに順次
に所定の周期で電気信号を入力する機能を有する。信号
処理器は、まず、すだれ状電極Ｒiの出力端を結ぶ接続
点において電気信号Ｅ-jが検出された時に接続されてい
たすだれ状電極Ｔiを判別することにより、接触した位
置Ｆjが含まれる伝搬路Ｄiを特定する。次に、その特定
された伝搬路Ｄiの中の微細伝搬路Ｚjに対応する接触位
置Ｆjを、周波数ｆ-jを検出することにより特定する。
本発明の超音波タッチパネルでは、一方の超音波送受波
手段における伝搬路Ｄiと、もう一方の超音波送受波手
段における伝搬路Ｄiを互いに直交させる構造を採用す
ることにより、互いに直交するそれらの伝搬路をＸ軸お
よびＹ軸とする２次元の座標に対応させることが可能と
なり、接触位置の細密な検出が可能となる。また、各超
音波送受波手段における伝搬路Ｄiどうしを互いに隣接
させるかまたは一部分を重複させた構造を採用すること
により、接触位置をさらに細密に検出することが可能と
なる。本発明の超音波タッチパネルでは、非圧電板単体
に伝搬する横波の位相速度が各圧電基板単体に伝搬する
横波の位相速度とほぼ等しいかまたはそれ以下であるよ
うな非圧電板が採用される。さらに、非圧電板の厚さが
各圧電基板の厚さｄとほぼ等しいかまたはそれよりも小
さい構造が採用される。従って、ＳＨ波のバルク波的な
挙動が促進される。また、各圧電基板の非圧電板との界
面が電気的に開放状態にあることが、ＳＨ波のバルク波
的な挙動をさらに促進させる。
【図１】本発明の超音波タッチパネルの第１の実施例を
示す平面図。
示す平面図。
【図２】図１の超音波タッチパネルの断面図。
【図３】すだれ状電極Ｒ1を示す平面図。
【図４】各超音波送受波手段におけるすだれ状電極Ｔ1
とＲ1との相互関係を示す図。
とＲ1との相互関係を示す図。
【図５】図１の超音波タッチパネルの駆動回路を示す
図。
図。
【図６】各２層構造部における各圧電基板の異なる２つ
の電気的境界条件下での位相速度差から算出したｋ2値
と、ｆｄ値との関係を示す特性図。
の電気的境界条件下での位相速度差から算出したｋ2値
と、ｆｄ値との関係を示す特性図。
【図７】各２層構造部を伝搬するＳＨ波の速度分散曲線
を示す特性図。
を示す特性図。
【図８】図６の３次モードのｋ2の最大値近傍でのｆｄ
値における変位分布を示す特性図。
値における変位分布を示す特性図。
【図９】本発明の超音波タッチパネルの第２の実施例を
示す平面図。
示す平面図。
【図１０】図９の超音波タッチパネルの駆動回路を示す
図。
図。
１ 非圧電板 ２ 増幅器 ３ 位相比較器 ４ 信号処理器 ５ スイッチ ６ 増幅器 ＰT0，ＰR0 圧電基板 ＰT1，ＰT2，ＰT3，ＰT4 圧電基板 ＰR1，ＰR2，ＰR3，ＰR4 圧電基板 Ｔ0，Ｔ1，Ｔ2，Ｔ3，Ｔ4 入力用すだれ状電極 Ｒ0，Ｒ1，Ｒ2，Ｒ3，Ｒ4 出力用すだれ状電極
Claims (8)
- 【請求項１】 非圧電板、２つの超音波送受波手段、増
幅器、位相比較器および信号処理器から成る超音波タッ
チパネルであって、 前記各超音波送受波手段は、圧電基板ＰT0およびＰR0、
圧電基板ＰTi（ｉ＝１，２，……，Ｎ）、圧電基板ＰRi
（ｉ＝１，２，……，Ｎ）、入力用すだれ状電極Ｔ0、
入力用すだれ状電極Ｔi（ｉ＝１，２，……，Ｎ）、前
記すだれ状電極Ｔ0に対向する出力用すだれ状電極Ｒ0、
および前記各すだれ状電極Ｔiにそれぞれ対向する出力
用すだれ状電極Ｒi（ｉ＝１，２，……，Ｎ）から成
り、 前記すだれ状電極Ｔ0は前記圧電基板ＰT0の一方の板面
に設けられ、 前記すだれ状電極Ｔiは前記圧電基板ＰTiそれぞれの一
方の板面に設けられ、 前記すだれ状電極Ｒ0は前記圧電基板ＰR0の一方の板面
に設けられ、 前記すだれ状電極Ｒiは前記圧電基板ＰRiそれぞれの一
方の板面に設けられ、 前記圧電基板ＰT0は、前記圧電基板ＰT0のもう一方の板
面を介して前記非圧電板の一方の板面に固着され、 前記圧電基板ＰTiは、前記圧電基板ＰTiそれぞれのもう
一方の板面を介して前記非圧電板の前記一方の板面に固
着され、 前記圧電基板ＰR0は、前記圧電基板ＰR0のもう一方の板
面を介して前記非圧電板の前記一方の板面に固着され、 前記圧電基板ＰRiは、前記圧電基板ＰRiそれぞれのもう
一方の板面を介して前記非圧電板の前記一方の板面に固
着され、 前記各圧電基板の分極軸の方向は、前記すだれ状電極Ｔ
0およびＴiの電極指の方向と平行であり、 前記各圧電基板の前記非圧電板との界面は電気的に開放
状態にあり、 前記すだれ状電極Ｒ0の出力端は、前記増幅器を介し
て、前記すだれ状電極Ｔ0およびＴiの入力端に接続され
るとともに前記位相比較器の入力端に接続され、 前記すだれ状電極Ｒiの出力端は前記位相比較器を介し
て前記信号処理器の入力端に接続され、 前記すだれ状電極Ｒ0の電極指の方向と、前記すだれ状
電極Ｔ0の電極指の方向は互いに平行で、 前記すだれ状電極Ｒiの電極指の方向は、前記すだれ状
電極Ｔiの電極指の方向に対しそれぞれ角αの傾きを有
し、 前記すだれ状電極Ｒiの電極指に直交する方向での電極
指の周期長ＰNは、前記すだれ状電極Ｔ0，ＴiおよびＲ0
の電極周期長Ｐとcosαとの積に等しく、 前記すだれ状電極Ｒiの電極指の方向での交差幅ＬPは、
前記すだれ状電極Ｔiの電極交差幅Ｌとsecαとの積に等
しいとともに、前記電極周期長Ｐとcosecαとの積に等
しく、 前記すだれ状電極Ｔ0は、前記電極周期長Ｐにほぼ対応
する周波数の電気信号を入力されることにより、前記圧
電基板ＰT0と前記非圧電板から成る２層構造部ＢT0に前
記電極周期長Ｐとほぼ等しい波長を有するＳＨ波を励振
し、該ＳＨ波を前記非圧電板に伝搬させた後、前記圧電
基板ＰR0と前記非圧電板から成る２層構造部ＢR0に伝搬
させ、 前記すだれ状電極Ｔiは、前記電極周期長Ｐにほぼ対応
する周波数の電気信号を入力されることにより、前記圧
電基板ＰTiと前記非圧電板から成る２層構造部ＢTi（ｉ
＝１，２，……，Ｎ）に前記電極周期長Ｐとほぼ等しい
波長を有するＳＨ波を励振し、該ＳＨ波を前記非圧電板
に伝搬させた後、前記圧電基板ＰRiと前記非圧電板から
成る２層構造部ＢRi（ｉ＝１，２，……，Ｎ）に伝搬さ
せ、 前記ＳＨ波は０次モードおよび１次以上の高次モードの
波で、 前記ＳＨ波の位相速度は、前記非圧電板単体に伝搬する
横波速度および前記各圧電基板単体に伝搬する横波速度
の平均値とほぼ等しく、 前記各圧電基板の厚さｄは前記電極周期長Ｐよりも小さ
く、 前記すだれ状電極Ｒ0は、前記２層構造部ＢR0に伝搬し
た前記ＳＨ波を位相θb aseを有する電気信号に変換して
出力し、 前記すだれ状電極Ｒiは、前記２層構造部ＢRiに伝搬し
た前記ＳＨ波を位相θj（ｊ＝ｘ，……，２，１，０，
−１，−２，……，−ｘ）を有する電気信号Ｅj（ｊ＝
ｘ，……，２，１，０，−１，−２，……，−ｘ）にそ
れぞれ変換し、 前記位相θjを合成することにより生ずる位相Ｕθjは零
であり、前記電気信号Ｅjを合成することにより生ずる
電気信号ＵＥjの振幅は零であって、前記電気信号ＵＥj
は前記すだれ状電極Ｒiにおいて検出されることはな
く、 前記すだれ状電極ＴiおよびＲiは前記非圧電板において
ＳＨ波の伝搬路Ｄi（ｉ＝１，２，……，Ｎ）を形成
し、前記各伝搬路Ｄiは微細伝搬路Ｚj（ｊ＝ｘ，……，
２，１，０，−１，−２，……，−ｘ）で成り、微細伝
搬路Ｚ0は前記すだれ状電極Ｔiの前記電極交差幅Ｌの垂
直二等分線上にあり、 前記非圧電板のどちらか一方の板面上における位置Ｆj
（ｊ＝ｘ，……，２，１，０，−１，−２，……，−
ｘ）は、前記微細伝搬路Ｚjに対応し、 前記微細伝搬路Ｚjは前記位相θjに対応し、 前記すだれ状電極Ｒiは、前記位置Ｆjに人指または物体
が接触したときにのみ、位相θ-jを有する電気信号Ｅ-j
を出力し、 前記位相比較器は前記位相θbaseと前記位相θ-jとの差
を検出し、 前記信号処理器は、前記電気信号Ｅ-jを出力した前記す
だれ状電極Ｒiを判別し、接触した位置Ｆjを前記位相θ
baseと前記位相θ-jとの差に基づいて特定する超音波タ
ッチパネル。 - 【請求項２】 前記すだれ状電極Ｔiの入力端にスイッ
チが接続され、 前記スイッチは前記すだれ状電極Ｔiに順次に所定の周
期で電気信号を入力し、 前記すだれ状電極Ｒiの出力
端は互いに１つの接続点で接続され、 前記信号処理器は、前記接続点において前記電気信号Ｅ
-jが検出された時に接続されていた前記すだれ状電極Ｔ
iを判別し、接触した位置Ｆjを前記位相θbaseと前記位
相θ-jとの差に基づいて特定する請求項１に記載の超音
波タッチパネル。 - 【請求項３】 非圧電板、２つの超音波送受波手段、増
幅器および信号処理器から成る超音波タッチパネルであ
って、 前記各超音波送受波手段は、圧電基板ＰTi（ｉ＝１，
２，……，Ｎ）、圧電基板ＰRi（ｉ＝１，２，……，
Ｎ）、入力用すだれ状電極Ｔi（ｉ＝１，２，……，
Ｎ）、および前記すだれ状電極Ｔiそれぞれに対向する
出力用すだれ状電極Ｒi（ｉ＝１，２，……，Ｎ）から
成り、 前記すだれ状電極Ｔiはそれぞれ前記圧電基板ＰTiの一
方の板面に設けられ、 前記すだれ状電極Ｒiはそれぞれ前記圧電基板ＰRiの一
方の板面に設けられ、 前記圧電基板ＰTiは、前記圧電基板ＰTiそれぞれのもう
一方の板面を介して前記非圧電板の一方の板面に固着さ
れ、 前記圧電基板ＰRiは、前記圧電基板ＰRiそれぞれのもう
一方の板面を介して前記非圧電板の前記一方の板面に固
着され、 前記圧電基板ＰTiおよびＰRiの分極軸の方向は、前記す
だれ状電極Ｔiの電極指の方向と平行であり、 前記各圧電基板の前記非圧電板との界面は電気的に開放
状態にあり、 前記すだれ状電極Ｒiの出力端は互いに１つの接続点で
接続され、前記接続点は前記増幅器を介して前記すだれ
状電極Ｔiの入力端および前記信号処理器の入力端に接
続され、 前記すだれ状電極Ｒiの電極指の方向は、前記すだれ状
電極Ｔiの電極指の方向に対し角αの傾きを有し、 前記すだれ状電極Ｒiの電極指に直交する方向での電極
指の周期長ＰNは、前記すだれ状電極Ｔiの電極周期長Ｐ
とcosαとの積に等しく、 前記すだれ状電極Ｒiの電極指の方向での交差幅ＬPは、
前記すだれ状電極Ｔiの電極交差幅Ｌとsecαとの積に等
しいとともに、前記電極周期長ＰのＮ倍（Ｎ＝１，２，
……，ｎ）とcosecαとの積に等しく、 前記すだれ状電極Ｔiは、前記電極周期長Ｐにほぼ対応
する周波数の電気信号を入力されることにより、前記圧
電基板ＰTiと前記非圧電板から成る２層構造部ＢTi（ｉ
＝１，２，……，Ｎ）に前記電極周期長Ｐとほぼ等しい
波長を有するＳＨ波を励振し、該ＳＨ波を前記非圧電板
に伝搬させた後、前記圧電基板ＰRiと前記非圧電板から
成る２層構造部ＢRi（ｉ＝１，２，……，Ｎ）に伝搬さ
せ、 前記ＳＨ波は０次モードおよび１次以上の高次モードの
波で、 前記ＳＨ波の位相速度は、前記非圧電板単体に伝搬する
横波速度および前記各圧電基板単体に伝搬する横波速度
の平均値とほぼ等しく、 前記各圧電基板の厚さｄは、前記電極周期長Ｐよりも小
さく、 前記すだれ状電極Ｒiは、前記２層構造部ＢRiに伝搬し
た前記ＳＨ波を周波数ｆj（ｊ＝ｘ，……，２，１，
０，−１，−２，……，−ｘ）を有する電気信号Ｅ
j（ｊ＝ｘ，……，２，１，０，−１，−２，……，−
ｘ）にそれぞれ変換し、 前記電気信号Ｅjを合成することにより生ずる電気信号
ＵＥjの振幅は零であって、前記電気信号ＵＥjは前記す
だれ状電極Ｒiにおいて検出されることはなく、 前記すだれ状電極ＴiおよびＲiは前記非圧電板において
ＳＨ波の伝搬路Ｄi（ｉ＝１，２，……，Ｎ）を形成
し、前記各伝搬路Ｄiは微細伝搬路Ｚj（ｊ＝ｘ，……，
２，１，０，−１，−２，……，−ｘ）で成り、微細伝
搬路Ｚ0は前記すだれ状電極Ｔiの前記電極交差幅Ｌの垂
直二等分線上にあり、 前記非圧電板のどちらか一方の板面上における位置Ｆj
（ｊ＝ｘ，……，２，１，０，−１，−２，……，−
ｘ）は、前記微細伝搬路Ｚjに対応し、 前記すだれ状電極Ｒiは、前記位置Ｆjに人指または物体
が接触したときにのみ、周波数ｆ-jを有する電気信号Ｅ
-jを出力し、 前記信号処理器は、前記電気信号Ｅ-jを出力した前記す
だれ状電極Ｒiを判別することと前記周波数ｆ-jを検出
することにより接触した位置Ｆjを特定する超音波タッ
チパネル。 - 【請求項４】 前記すだれ状電極Ｔiの入力端にスイッ
チが接続され、 前記スイッチは前記すだれ状電極Ｔiに順次に所定の周
期で電気信号を入力し、 前記信号処理器は、前記接続
点において前記電気信号Ｅ-jが検出された時に接続され
ていた前記すだれ状電極Ｔiを判別することと前記周波
数ｆ-jを検出することにより接触した位置Ｆjを特定す
る請求項３に記載の超音波タッチパネル。 - 【請求項５】 一方の前記超音波送受波手段における前
記伝搬路Ｄiと、もう一方の前記超音波送受波手段にお
ける前記伝搬路Ｄiは互いに直交している請求項１，
２，３または４に記載の超音波タッチパネル。 - 【請求項６】 前記各超音波送受波手段における前記伝
搬路Ｄiは互いに隣接するかまたは一部分を重複させて
いる請求項１，２，３，４または５に記載の超音波タッ
チパネル。 - 【請求項７】 前記非圧電板の厚さは、前記各圧電基板
の厚さｄとほぼ等しいかまたはそれよりも小さく、 前記非圧電板は、前記非圧電板単体に伝搬する横波の位
相速度が前記各圧電基板単体に伝搬する横波の位相速度
とほぼ等しいかまたはそれ以下の物質で成る請求項１，
２，３，４，５または６に記載の超音波タッチパネル。 - 【請求項８】 前記各圧電基板が圧電セラミックで成る
請求項１，２，３，４，５，６または７に記載の超音波
タッチパネル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21597397A JPH1145147A (ja) | 1997-07-25 | 1997-07-25 | 超音波タッチパネル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21597397A JPH1145147A (ja) | 1997-07-25 | 1997-07-25 | 超音波タッチパネル |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1145147A true JPH1145147A (ja) | 1999-02-16 |
Family
ID=16681314
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21597397A Pending JPH1145147A (ja) | 1997-07-25 | 1997-07-25 | 超音波タッチパネル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1145147A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002342028A (ja) * | 2001-05-14 | 2002-11-29 | Seiko Instruments Inc | タッチセンシング機能付き表示装置の構造 |
| JP2008015587A (ja) * | 2006-07-03 | 2008-01-24 | Seiko Epson Corp | タッチパネル装置 |
| KR100846533B1 (ko) * | 2000-12-01 | 2008-07-15 | 후지쯔 가부시끼가이샤 | 터치 패널 장치 |
-
1997
- 1997-07-25 JP JP21597397A patent/JPH1145147A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100846533B1 (ko) * | 2000-12-01 | 2008-07-15 | 후지쯔 가부시끼가이샤 | 터치 패널 장치 |
| JP2002342028A (ja) * | 2001-05-14 | 2002-11-29 | Seiko Instruments Inc | タッチセンシング機能付き表示装置の構造 |
| JP2008015587A (ja) * | 2006-07-03 | 2008-01-24 | Seiko Epson Corp | タッチパネル装置 |
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