JPH1148120A - ワイヤソー - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】周囲を汚染することなく効果的にワイヤの洗浄
を行うことができるワイヤソー提供。 【解決手段】ケーシング４２内に、洗浄液噴射ノズル５
２Ａ、５２Ｂを設け、その両側にエア噴射ノズル５６
Ａ、５６Ｂを設ける。更に、ケーシング４２のワイヤ入
口部及び出口部にワイヤ１４を挟んで付着物を拭き取る
フェルト４８Ａ、４８Ｂを設ける。ワイヤ１４は、ま
ず、フェルト４８Ａでおおよその付着物が拭き取られ、
次いで、圧縮エアで付着物が吹き飛ばされる。そして、
洗浄液で洗浄され、付着した洗浄液は、圧縮エアで吹き
飛ばされて、更にフェルト４８Ｂで拭き取られる。これ
により、洗浄は終了し、ケーシング４２からは加工液
も、また洗浄液も付着していないワイヤ１４が繰り出さ
れる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の利用分野】本発明はワイヤソーに係り、特に切
断時に供給されて付着した加工液等の付着物をワイヤか
ら除去するワイヤソーに関する。

【０００２】

【従来の技術】ワイヤソーは、一対のワイヤリール間を
高速走行するワイヤに砥粒を含む加工液を供給しながら
被加工物を押し当てることにより、その加工液中に含ま
れる砥粒のラッピング作用で被加工物を切断する。した
がって、ワイヤには加工液が付着しており、この状態で
ワイヤの巻き取りを行うとワイヤの巻取不良やガイドロ
ーラの磨耗の原因となる。このため、通常は、被加工物
の切断部近傍にワイヤ洗浄装置を設置し、ワイヤに付着
した加工液等の付着物を除去する。

【０００３】図６は、従来のワイヤ洗浄装置の構成を示
す側面図である。同図に示すように、従来のワイヤ洗浄
装置１は、洗浄槽１内に洗浄液２を貯留し、この洗浄液
２中にワイヤ３を走行させてワイヤ３に付着した加工液
等を除去していた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ワイヤ洗浄装置では、洗浄液２中をワイヤ３が走行する
だけなので、洗浄が十分に行われないという欠点を有し
ていた。また、ワイヤ３に付着した洗浄液２が飛散し、
周囲を汚染するという欠点も有していた。本発明は、こ
のような事情を鑑みてなされたもので、周囲を汚染する
ことなく効果的にワイヤの洗浄を行うことができるワイ
ヤソーを提供することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決する為の手段】本発明は前記目的を達成す
るために、一対のワイヤリール間を複数個のガイドロー
ラにガイドされながら走行するワイヤを複数本の溝付ロ
ーラに巻き掛けてワイヤ列を形成し、該ワイヤ列に被加
工物を押し当てることにより、該被加工物を多数枚のウ
ェーハに切断するワイヤソーにおいて、前記複数本の溝
付ローラをワイヤソーの装置本体手前側に配置するとと
もに、該複数本の溝付ローラにワイヤを導くガイドロー
ラと、該複数本の溝付ローラから繰り出されたワイヤを
ガイドするガイドローラとを前記複数本の溝付ローラの
手前側に配置したことを特徴とする。

【０００６】

【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
るワイヤソーの実施の形態について詳説する。図１は、
本発明に係るワイヤソーの実施の形態の構成図である。
同図に示すように、ワイヤリール１２に巻かれたワイヤ
１４は、ガイドローラ１６、１６、…で形成されるワイ
ヤ走行路を通って３本の溝付ローラ１８Ａ、１８Ｂ、１
８Ｃに巻き掛けられ、水平なワイヤ列２０を形成する。
ワイヤ列２０を形成したワイヤ１４は、前記ワイヤ列２
０を挟んで左右対称に形成された他方側のワイヤ走行路
を通って図示しないワイヤリールに巻き取られる。

【０００７】前記ワイヤ列２０の両側に形成されるワイ
ヤ走行路には、それぞれワイヤ案内装置２２、ダンサロ
ーラ２４及びワイヤ洗浄装置２６が配設されており（一
方側のみ図示）、前記ワイヤ案内装置２２は、ワイヤリ
ール１２からワイヤ１４を一定ピッチでガイドする。ま
た、前記ダンサローラ２４は、走行するワイヤ１４に一
定の張力を付与し、前記ワイヤ洗浄装置２６は、加工時
に付着したスラリ（加工液）をワイヤ１４から除去す
る。なお、このワイヤ洗浄装置２６の構成については、
後に詳述する。

【０００８】前記一対のワイヤリール１２及び３本のう
ち１本の溝付ローラ１８Ｃには、それぞれ正逆回転可能
なモータ（図示せず）が連結されており、前記ワイヤ１
４は、このモータを駆動することにより、前記ワイヤリ
ール１２間を高速で往復走行する。前記ワイヤ列２０の
上方には、該ワイヤ列２０に対して垂直に昇降移動する
ワークフィードテーブル２８が設置されている。ワーク
フィードテーブル２８にはチルチング装置３０が備えら
れており、インゴット３２は、このチルチング装置３０
の下部に保持され、任意の傾斜角度に設定される。

【０００９】以上のように構成されたワイヤソー１０に
おいて、インゴット３２の切断は、ワークフィードテー
ブル２８を前記ワイヤ列２０に向けて下降させ、高速走
行するワイヤ列２０にインゴット３２を押し当てること
により行う。この際、前記ワイヤ列２０には、スラリタ
ンク３４から図示しないノズルを介してスラリが供給さ
れ、インゴット３２は、このスラリ中に含有される砥粒
のラッピング作用でウェーハに切断される。

【００１０】なお、加工時に供給したスラリは、前記ワ
イヤ列２０の下方に設置されたスラリ回収皿３８を介し
て前記スラリタンク３４に回収され、不足分を補給され
ながら循環利用される。この際、スラリは加工時に発生
する熱を吸熱して温度上昇するので、熱交換機３６を介
して一定温度に冷却される。また、図中番号４０は、洗
浄液タンクであり、前記ワイヤ洗浄装置２６に使用する
洗浄液が貯留されている。

【００１１】図２は、前記ワイヤ洗浄装置２６の構成を
示す平面図であり、図３は、そのＡ−Ａ断面図である。
同図に示すように、前記ワイヤ洗浄装置２６は、ケーシ
ング４２を有している。ケーシング４２は矩形状に形成
されたブロックの上部を所定深さにくり抜いて形成さ
れ、その開口部を蓋４４で開閉自在に覆われている。

【００１２】ワイヤ１４の洗浄は、このケーシング４２
内で行い、前記ケーシング４２の左右の壁面４２Ａ、４
２Ａには、ワイヤ１４をケーシング４２内に導入するた
めの導入溝４６Ａ、４６Ｂが形成されている。また、こ
のケーシング４２の左右の壁面４２Ａ、４２Ａには、ケ
ーシング４２内に導入されるワイヤ１４を挟み込み、ワ
イヤ１４に付着した付着物を除去するフェルト４８Ａ、
４８Ｂがホルダ５０Ａ、５０Ｂを介して着脱自在に設け
られている。ワイヤ１４は、このフェルト４８Ａ、４８
Ｂを通過したのち、ケーシング４２内に導入され、この
フエルト４８Ａ、４８Ｂによっておおよその付着物を除
去される。

【００１３】前記ケーシング４２内のほぼ中央には、ケ
ーシング４２内を走行するワイヤ１４を挟んで一対の洗
浄液噴射ノズル５２Ａ、５２Ｂが対向するように配置さ
れている。この一対の洗浄液噴射ノズル５２Ａ、５２Ｂ
からは、走行するワイヤ１４に向けて洗浄液が噴射さ
れ、これにより、ワイヤ１４が洗浄される。なお、図２
中破線で示すように、一方の洗浄液噴射ノズル４８Ａ
（図２中下側）には、噴射口５４Ａ、５４Ａが２つ形成
され、他方の洗浄液噴射ノズル５２Ｂ（図２中上側）に
は、噴射口５４Ｂが１つ形成されている。そして、各噴
射口５４Ａ、５４Ａ、５４Ｂは、噴射する洗浄液が互い
に干渉しないように交互に形成されている。

【００１４】前記一方の洗浄液噴射ノズル５２Ａ（図２
中下側）の両側には、一対のエア噴射ノズル５６Ａ、５
６Ｂが配置されている。この一対のエア噴射ノズル５６
Ａ、５６Ｂからは、走行するワイヤ１４に向けて圧縮エ
アが噴射され、この噴射された圧縮エアにより、前記ワ
イヤ１４に付着した加工液や洗浄液等の付着物が吹き飛
ばされる。

【００１５】ところで、前記洗浄液噴射ノズル５２Ａ、
５２Ｂから噴射された洗浄液は、ケーシング４２の底面
４２Ｂに流れ落ちる。このケーシング４２の底面４２Ｂ
には、所定深さの回収穴５８が形成されており、前記底
面４２Ｂに流れ落ちた洗浄液は、この回収穴５８に回収
される。この回収穴５８には、図３及び図４（図４は、
図３のＣ−Ｃ断面図）に示すように、前記ケーシング４
２の底部に形成された回収流路６０が連通されおり、該
回収流路６０には、前述した洗浄液タンク４０（図１参
照）に連通された回収パイプ６２が連結されている。し
たがって、前記回収穴５８に流れ出た洗浄液は、この回
収パイプ６２を介して洗浄液タンク４０に回収される。
洗浄液タンク４０では、この回収した洗浄液を濾過し、
不足分を供給しながら循環供給している。

【００１６】また、前記洗浄液噴射ノズル５２Ａ、５２
Ｂから噴射する洗浄液は、前記洗浄液タンク４０に連通
された洗浄液供給パイプ６４から供給する。この洗浄液
供給パイプ６４は、図４に示すように、前記ケーシング
４２の底部に形成された洗浄液供給流路６６に連通され
ており、各洗浄液噴射ノズル５２Ａ、５２Ｂは、この洗
浄液供給流路６６に連通されている。

【００１７】一方、前記エア噴射ノズル５６Ａ、５６Ｂ
から噴射する圧縮エアは、図示しないコンプレッサに接
続されたエア供給パイプ６８から供給する。このエア供
給パイプ６８は、図４に示すように、前記ケーシング４
２の底部に形成されたエア供給流路７０に連通されてお
り、各エア噴射ノズル５６Ａ、５６Ｂは、このエア供給
流路６６に連通されている。

【００１８】前記のごとく構成された本発明に係るワイ
ヤソーの実施の形態の作用は次の通りである。図２中、
右方向にワイヤ１４が走行する場合、まず、ワイヤ１４
は、ケーシング４２内に導入される前に、フェルト４８
Ａを通過することにより、このフェルト４８Ａによっ
て、おおよその付着物が除去される。

【００１９】次いで、ケーシング４２内に導入されたワ
イヤ１４は、エア噴射ノズル５６Ａから噴射された圧縮
エアにより前記フェルト４８Ａで除去しきれなかった付
着物が吹き飛ばされ、さらに、洗浄液噴射ノズル５２
Ａ、５２Ｂから噴射された洗浄液により前記圧縮エアで
も除去しきれなかった付着物が除去される。これによ
り、ワイヤ１４は、ほぼ完全に付着物が除去され、洗浄
される。

【００２０】洗浄液で洗浄されたワイヤ１４には、洗浄
液が付着しているので、このワイヤ１４に付着した洗浄
液は、エア噴射ノズル５６Ｂから噴射した圧縮エアで吹
き飛ばす。吹き飛ばしきれなかった洗浄液は、ケーシン
グ４２から出る際に、フェルト４８Ｂで拭き取られる。
これにより、洗浄は終了し、ケーシング４２からは加工
液も、また洗浄液も付着していないワイヤが繰り出され
る。

【００２１】このように、本実施の形態のワイヤソーに
よれば、ワイヤ洗浄装置２６を通過したワイヤ１４に
は、洗浄液等の付着していないワイヤ１４が繰り出され
るため、周囲に洗浄液等が飛散して周囲が汚染されるこ
とはない。また、洗浄液の噴射は、ケーシング４２内で
行われるため、この噴射した洗浄液が周囲に飛散して、
周囲を汚染することもない。

【００２２】さらに、洗浄液噴射、エア噴射、拭き取り
という３段階の洗浄工程を経ることにより、確実にワイ
ヤ１４に付着した付着物を除去することができる。ま
た、本実施の形態のワイヤソーによれば、噴射された洗
浄液は、回収穴５８を介してケーシング４２外に排出さ
れるが、この際、ケーシング４２内で圧縮エアを噴射供
給することにより、この排出をスムーズに行うことがで
きるという効果も有している。

【００２３】すなわち、ケーシング４２内はほぼ密閉状
態にあるため、圧縮エアを噴射供給すると、ケーシング
４２内は加圧状態となる。したがって、ケーシング４２
の底面４２Ｂに流れ落ちた洗浄液は、このエア圧に押圧
されて強制的に回収穴５８から排出される。これによ
り、ワイヤ１４から除去された加工液中の砥粒が、排出
されずに排出流路６０やパイプ６２内で固着して排出不
良等が発生するのを防止することができる。

【００２４】なお、ワイヤ洗浄装置２６の設置位置につ
いては特に言及しなかったが、図１に示すように、ワイ
ヤ列２０（切断部）近傍に設置し、加工に供したワイヤ
１４を直ぐに洗浄することにより、ワイヤ１４から飛散
する加工液等による汚染を最小限に留めることができる
とともに、後段のガイドローラ等の磨耗を防止すること
ができる。

【００２５】また、通常、インゴット３２の切断部は、
加工液が周囲に飛散するのを防止するために、他の装置
から隔離されているので、この隔離された切断部側にワ
イヤ洗浄装置２６を設置することにより、万一、ワイヤ
洗浄装置２６から加工液や洗浄液等が飛散しても、他の
装置への汚染を防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るワイヤソーの実施の形態の構成図

【図２】ワイヤ洗浄装置の構成を示す平面図

【図３】図２のＡ−Ａ断面図

【図４】図３のＣ−Ｃ断面図

【図５】図２のＢ−Ｂ断面図

【図６】従来のワイヤ洗浄装置の構成を示す側面図

【符号の説明】

１０…ワイヤソー １２…ワイヤリール １４…ワイヤ １８Ａ〜１８Ｃ…溝付ローラ ２０…ワイヤ列 ２６…ワイヤ洗浄装置 ３２…インゴット ４２…ケーシング ４４…蓋部材 ４８Ａ、４８Ｂ…フェルト ５２Ａ、５２Ｂ…洗浄液噴射ノズル ５６Ａ、５６Ｂ…エア噴射ノズル ５８…回収穴

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 一対のワイヤリール間を複数個のガイド
   ローラにガイドされながら走行するワイヤを複数本の溝
   付ローラに巻き掛けてワイヤ列を形成し、該ワイヤ列に
   被加工物を押し当てることにより、該被加工物を多数枚
   のウェーハに切断するワイヤソーにおいて、 前記複数本の溝付ローラをワイヤソーの装置本体手前側
   に配置するとともに、該複数本の溝付ローラにワイヤを
   導くガイドローラと、該複数本の溝付ローラから繰り出
   されたワイヤをガイドするガイドローラとを前記複数本
   の溝付ローラの手前側に配置したことを特徴とするワイ
   ヤソー。