JPH1148126A

JPH1148126A - 研磨装置

Info

Publication number: JPH1148126A
Application number: JP21617897A
Authority: JP
Inventors: Yoshio Nakamura; 由夫中村; Norihiko Moriya; 紀彦守屋; Atsushi Kajikura; 惇鍛治倉
Original assignee: Fujikoshi Machinery Corp
Current assignee: Fujikoshi Machinery Corp
Priority date: 1997-08-11
Filing date: 1997-08-11
Publication date: 1999-02-23
Anticipated expiration: 2017-08-11
Also published as: JP3573924B2

Abstract

(57)【要約】【課題】簡単な構成で、上定盤の下定盤への押圧力を
滑らかに調整できることで、ワークを高い精度で好適に
研磨する。【解決手段】上定盤支持機構１２が、基体の上部にピ
ストンロッド２２ａが上下方向に伸縮可能に配設された
シリンダ装置２２と、シリンダ装置２２のピストンロッ
ド２２ａの下端に、ピストンロッド２２ａの軸心を中心
に回転可能に装着された回転板２４と、回転板２４に上
下動可能に挿通され、上定盤２０及び回転板２４が前記
軸心を中心に一体に回転するよう、下端が上定盤２０に
連結されると共に、上端側に回転板２４からの脱落を防
止する抜け止め部２６ａが設けられた複数の連結ロッド
２６と、連結ロッド２６の各抜け止め部２６ａと回転板
２４との間に装着されたコイルスプリング２８とを備え
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は両面研磨装置に関
し、さらに詳細には、ワークを支持する下定盤と、該下
定盤への押圧力を加減調整可能な上定盤支持機構に支持
された上定盤との間でワークを挟圧し、上定盤、下定盤
及びワークを相対的に運動させてワークを研磨する研磨
装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】シリコンウェーハ等の薄板状の被加工物
を研磨する研磨装置としてはラッピング装置があり、被
加工物の研磨面を鏡面に研磨する研磨装置としてはポリ
ッシング装置がある。例えば、ラッピング装置では、太
陽ギヤである外歯車（以下、「エクスターナルギヤ」）
と内歯車（以下、「インターナルギヤ」という）を異な
る角速度で回転することによって、被加工物（以下、
「ワーク」という）を透孔中に保持したキャリアを自転
させると共に公転させる。キャリアは遊星歯車に相当す
る。そして、そのキャリアの上下に設けられた上下の研
磨定盤（以下、上の研磨定盤を「上定盤」と、下の研磨
定盤を「下定盤」という）によりワークを上下から挟む
と共に、上定盤と下定盤とワークの間にスラリー（研磨
液）を供給し、ワークに対して各定盤が相対的に移動
（回転及び／又は揺動運動）してワークの両面を同時に
研磨するものがある。このラッピング装置は、いわゆる
４ウェイ駆動方式の両面研磨装置として知られており、
ワークを精度高く平坦化及び研磨できると共に、ワーク
の両面を同時に加工できるため加工時間が短くて済み、
半導体チップの素材となるシリコンウェーハ等の薄物研
磨加工に適している。

【０００３】また、ポリッシング装置は、一般的に、上
面に研磨クロスが接着されて研磨面が形成され、回転す
る定盤と、その定盤の上方に回転可能かつ上下動可能に
設けられ、下面にワークを密着・保持する保持プレート
を有する保持装置とを備える。なお、定盤は下定盤に相
当し、保持プレートは上定盤に相当する。このポリッシ
ング装置によれば、研磨液を供給しつつ、定盤とワーク
とを相対的に運動させることで、鏡面研磨加工が行われ
る。

【０００４】従来のラッピング装置の具体例について、
図３に基づいて説明する。２０は上定盤であり、下面に
ワーク１０であるシリコンウェーハをラッピングする研
磨面が形成され、上面にキー２１が装着されている。２
２は空圧等のシリンダ装置であり、門型フレーム１４の
上部に設けられている。上定盤２０は、回転板２３及び
連結ロッド２７を介し、シリンダ装置２２のピストンロ
ッド２２ａの先端に吊り下げられ、回転自在に支持され
ている。すなわち、回転板２３に固定された連結部２２
ｂによって、ロッド２２は回転しない状態で、そのロッ
ド２２に対し、連結ロッド２７を介して連繋された回転
板２３及び上定盤２０が、回転可能且つ脱落しないよう
に設けられている。そして、上定盤２０は、その自重に
基づく下定盤３０への押圧力を、シリンダ装置２２によ
る吊り上げ力の調整で加減圧可能に設けられている。

【０００５】また、上定盤２０は、キー２１が駆動モー
タ７０の動力で回転される回し金５４のキー溝に挿入・
係合しており、駆動モータ７０によって回転駆動され
る。回し金５４の下部には回し金シャフト５４ａが垂設
されており、その下端部に設けられたシャフトギヤ５４
ｂは、アイドルギヤ６３を介してスピンドル６０に設け
られたスピンドルギヤ６４に噛合している。この動力伝
達機構により、駆動モータ７０の動力が回し金５４を介
して上定盤２０に伝達される。なお、上定盤２０と回し
金５４とをキー２１で連繋するのは、ワーク１０の給排
或いは保守管理の際に、上定盤２０を下定盤３０との間
隔が広くあくように吊り上げる必要のためである。

【０００６】５０はエクスターナルギアであり、キャリ
ア４０に噛合して回転駆動させる。このエクスターナル
ギヤ５０には、回し金シャフト５４ａの周囲に同心に設
けられた第１中空シャフト５０ａが連結しており、その
第１中空シャフト５０ａに設けられたシャフトギヤ５０
ｂは、スピンドル６０に設けられたスピンドルギヤ６５
に噛合している。また、下定盤３０には、第１中空シャ
フト５０ａの周囲に同心に設けられた第２中空シャフト
３０ａが連結されており、その第２中空シャフト３０ａ
の中途部に設けられたシャフトギヤ３０ｂがスピンドル
６０に設けられたスピンドルギヤ６１に噛合している。

【０００７】また、５２はインターナルギアであり、キ
ャリア４０に噛合して回転駆動させる。このインターナ
ルギヤ５２には、第２中空シャフト３０ａの周囲に同心
状に設けられた第３中空シャフト５２ａが連結されてお
り、その第３中空シャフト５２ａに設けられたシャフト
ギヤ５２ｂがスピンドル６０に設けられたスピンドルギ
ヤ６２に噛合している。なお、スピンドル６０は、可変
減速機６９に連結されており、その可変減速機６９はベ
ルトを介して電動モータ、油圧モータ等の駆動モータ７
０に連結されている。これにより、上定盤２０、下定盤
３０、エクスターナルギヤ５０、インターナルギヤ５２
は、同一の駆動モータ７０よって、可変減速機６９、ギ
ヤ列、各シャフトを介してそれぞれ動力が伝達されて、
回転駆動されていた。

【０００８】このような構成から成るラッピング装置に
よれば、前述したように、上定盤２０は、その自重に基
づく下定盤３０への押圧力を、シリンダ装置２２による
吊り上げ力の調整で加減圧可能に設けられている。すな
わち、ピストンロッド２２ａをシリンダ本体へ収縮させ
る方向へ作動するよう、下側の圧力室へ供給する圧力流
体を高くすればするほど、上定盤２０の下定盤３０への
押圧力をより軽減できる。従って、上定盤２０の下定盤
３０への押圧力としては、最大で上定盤２０の自重を加
えることが可能である。シリコンウェーハの研磨加工に
おいては、その表面に凹凸があるときには、シリンダ装
置２２に高圧の圧力流体を供給し、上定盤２０による押
圧力を減圧をしてラッピングする。徐々にシリンダ装置
２２に供給している圧力流体の圧力を下げて、上定盤２
０による押圧力を増大させる。そして、シリコンウェー
ハの表面が滑らかになると共に厚みが均一になって、そ
のシリコンウェーハが全面的に均一な荷重を受ける状態
となった後に、上定盤２０の全自重がかかるように調整
がなされてラッピング加工が行われている。このとき、
上定盤２０による押圧力の加減圧調整は精度良く滑らか
に行われることが望ましい。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記ラ
ッピング装置においては、上定盤２０による押圧力の加
減がシリンダ装置２２の加減圧の調整によって直接的に
行われるため、そのシリンダ装置２２の内部抵抗の影響
を直接的に反映してしまい、その微調整をリニアにする
ことが困難であった。すなわち、ピストンロッド２２ａ
の引張応力に対応して上定盤２０による押圧力が直接的
に変化するということであり、上定盤２０の下面である
研磨面がワーク１０に当接した状態で上定盤２０による
押圧力が変化するのである。従って、シリンダ装置２２
内のピストンロッド２２ａ上端に固定されたピストンの
研磨工程中の作動ストロークは、基本的にワーク１０の
研磨量（削り厚さ量）とピストンロッド２２ａの微小な
弾性伸び量との合計の長さになり、非常に短いものにな
る。そして、ピストンとシリンダ内壁との摩擦抵抗によ
って、ピストンは完全に滑らかに移動することは困難で
あって間欠的に作動するが、その動作が微小であっても
ピストンの前記作動ストローク自体が小さいため上定盤
２０による押圧力に直接的に反映してしまう。従って、
上定盤２０による下定盤３０への押圧力を滑らかに調整
できないという課題があった。なお、上記のようにピス
トンがつっかえながら間欠的に作動する現象をノッキン
グ或いはスリップステックと呼んでいる。また、通常、
ピストンはシール部材を介してシリンダ内壁で摺動可能
に設けられており、そのシール部材の圧力による変形等
が、摩擦抵抗の要因になっている。

【００１０】また、各連結ロッド２７の長さを完全に同
一に加工することは困難であり、連結ロッド２７の長さ
の微小な差による微小な傾斜によっても、部分的に荷重
が集中してしまい、ワークを均一に研磨できない。特
に、シリコンウェーハの研磨においては、サブミクロン
オーダーの極めて高い精度の研磨が要求され、シリコン
ウェーハの大型化に伴い装置全体も大型化する等、その
非常に厳しい研磨条件に対応できないという課題があっ
た。

【００１１】そこで、本発明の目的は、簡単な構成で、
上定盤の下定盤への押圧力を滑らかに調整できること
で、ワークを高い精度で好適に研磨できる研磨装置を提
供することにある。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するに次の構成を備える。すなわち、本発明は、ワー
クを支持する下定盤と、該下定盤への押圧力を加減調整
可能な上定盤支持機構に支持された上定盤との間でワー
クを挟圧し、上定盤、下定盤及びワークを相対的に運動
させてワークを研磨する研磨装置において、前記上定盤
支持機構は、基体の上部にピストンロッドが上下方向に
伸縮可能に配設されたシリンダ装置と、該シリンダ装置
のピストンロッドの下端に、該ピストンロッドの軸心を
中心に回転可能に装着された回転板と、該回転板に上下
動可能に挿通され、前記上定盤及び回転板が前記軸心を
中心に一体に回転するよう、下端が前記上定盤に連結さ
れると共に、上端側に回転板からの脱落を防止する抜け
止め部が設けられた複数の連結ロッドと、前記連結ロッ
ドの各抜け止め部と前記回転板との間に装着された弾性
部材とを備え、前記上定盤を吊り下げ支持すると共に、
該上定盤の自重に基づく下定盤へ押圧力を、シリンダ装
置による吊り上げ力の調整で加減圧することを特徴とす
る。

【００１３】また、前記複数の連結ロッドが、前記シリ
ンダ装置のピストンロッドの軸心を中心とする円周の等
分位置に設けられたことで、同一部材を複数用いる簡単
な構成でより均一にワークを研磨できる。

【００１４】また、前記弾性部材は、コイルスプリング
であることで、その収縮ストロークによって、上定盤に
よる押圧力の加減にかかるシリンダ装置のロッドの上下
動の有効ストロークを飛躍的に長くでき、上定盤による
押圧力を滑らかに調整してワークを非常に高い精度で研
磨できる。

【００１５】また、前記下定盤の上面及び前記上定盤の
下面には、それぞれにワークを研磨するための研磨面が
形成され、ワークの両面を同時に研磨することで、両面
研磨装置に好適に適用できる。また、前記ワークは薄板
状であり、該薄板状のワークの両面を同時にラッピング
することで、シリコンウェーハ等の薄物のラッピング装
置に好適に適用できる。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下、本発明にかかる好適な実施
例を添付図面と共に詳細に説明する。図１は本発明にか
かる一実施例（主に上定盤支持機構）を示す正面図であ
る。また、図２は図１の実施例の上定盤支持機構を説明
する平面図である。本実施例は、シリコンウェーハの両
面を同時に研磨する研磨装置の一例のラッピング装置で
ある。このラッピング装置は、シリコンウェーハ（ワー
ク１０）を支持する下定盤３０と、その下定盤３０への
押圧力を加減調整可能な上定盤支持機構１２に支持され
た上定盤２０との間でワーク１０を挟圧し、上定盤２
０、下定盤３０及びワーク１０を相対的に運動させてワ
ーク１０の両面を研磨する。なお、上定盤２０、下定盤
３０、キャリア４０を駆動させるエクスターナルギア５
０及びインターナルギア５２の駆動機構は、図３の従来
技術と同様であり、説明を省略する。

【００１７】前記上定盤支持機構１２は、次のような構
成を備える。２２はシリンダ装置であり、基体の上部で
ある門型フレーム１４の梁中央部に、ピストンロッド２
２ａが上下方向に伸縮可能に配設されている。本実施例
のシリンダ装置２２は図示しない圧縮空気源から供給さ
れる空気圧で作動するが、他の流体圧（例えば、水圧、
油圧）で作動するようにしてもよい。２４は回転板であ
り、シリンダ装置２２のピストンロッド２２ａの下端
に、ピストンロッド２２ａの軸心を中心に回転可能に装
着されている。図１及び図２に示すように、円形の平板
に形成されている。なお、重量を軽減するには適宜くり
抜き部を設け、剛性を高めるには適宜リブ等を形成すれ
ばよい。

【００１８】２６は連結ロッドであり、回転板２４に上
下動可能に挿通され、上定盤２０及び回転板２４がピス
トンロッド２２ａの軸心を中心に一体に回転するよう、
下端が上定盤２０に連結されている。そして、上端部に
回転板２４からの脱落を防止する抜け止め部２６ａが設
けられている。本実施例では、回転板２４に穿設された
貫通孔２４ａに、連結ロッド２６が挿通されており、回
転板２４と上定盤２０とを連繋している。また、図２に
示すように、本実施例では、１２本の連結ロッド２６
が、ピストンロッド２２ａ及び回転板２４の軸心を中心
とする円周の等分角度位置にそれぞれ設けられている。

【００１９】２８はコイルスプリングであり、連結ロッ
ド２６の各抜け止め部２６ａと回転板２４の上面との間
に装着された弾性部材の一例である。以上の構成によっ
て設けられた上定盤支持機構１２によれば、上定盤２０
を吊り下げ支持すると共に、上定盤２０の自重に基づく
下定盤３０へ押圧力を、上定盤２０へのシリンダ装置２
２による吊り上げ力の調整で好適に加減圧することがで
きる。なお、連結ロッド２６及びコイルスプリング２８
の数は、１２個である必要はなく、複数であれば、これ
より増減してもよいのは勿論である。

【００２０】また、本実施例はラッピング装置であるた
め、下定盤３０の上面及び上定盤２０の下面には、それ
ぞれにワーク１０を研磨するための研磨面が形成され、
ワーク１０の両面を同時に研磨することができる。これ
により、本実施例によれば、薄板状の脆性材料から形成
されたシリコンウェーハ（ワーク１０）の両面を、高精
度に効率良くラッピングすることができる。

【００２１】次に、本実施例の使用状態と作用効果につ
いて説明する。先ず、ワーク１０をキャリア４０の透孔
に内で下定盤３０の研磨面上にセットする際は、シリン
ダ装置２２のピストンロッド２２ａを収縮することによ
って、下定盤３０との間に充分な間隔があくように上定
盤２０を引き上げておく。このときには、複数のコイル
スプリング２８によって、上定盤２０の重量の全部を受
けている。従って、各コイルスプリング２８は最も収縮
した状態にある。なお、一枚当たりのキャリア４０の透
孔の数は、通常５個以上であり、ワーク１０はそれぞれ
の透孔に保持されることになる。また、キャリア４０
は、一装置当たりについて通常４〜５個であるから、同
時に２０枚以上のワーク１０が研磨できる。

【００２２】そして、シリンダ装置２２のエアを減圧し
て上定盤２０を降下させ、上定盤２０の研磨面をワーク
１０の上面に当接させる。ワーク１０（シリコンウェー
ハ）の被研磨面は、ラッピングされる前には凹凸があ
り、上定盤２０による高い加重をかけると、加重がワー
ク１０の凸部に集中し、ワーク１０を破壊してしまう。
従って、ワーク１０のラッピング開始時には、シリンダ
装置２２に供給される空気圧は高い状態（例えば、５ｋ
ｇｆ／ｃｍ²）にあり、ワーク１０に加えられる加重は
低い状態にある。また、このときの複数のコイルスプリ
ング２８にかかる加重は、上定盤２０の重量からワーク
１０にかかる加重を差し引いたものになる。各コイルス
プリング２８は最も収縮した状態から若干伸びた状態に
なる。

【００２３】次に、徐々にシリンダ装置２２に供給して
いる空気圧の圧力を下げて、上定盤２０によるワーク１
０側への押圧力を増大させつつ、ワーク１０をラッピン
グする。なお、ワーク１０をラッピングする際の上定盤
２０、下定盤３０及びキャリア４０を駆動させるエクス
ターナルギア５０及びインターナルギア５２の駆動方法
等は、図３に示した従来技術と同様であり、説明を省略
する。そして、ワーク１０の両被研磨面がある程度滑ら
かになると共に厚みが均一になって、そのワーク１０が
全面的に均一な荷重を受ける状態となった後に、上定盤
２０の全自重或いは一連の研磨工程において最大の加重
になるようにシリンダ装置２２に供給している空気圧の
圧力を調整する。上定盤２０による最大加重である全自
重をワーク１０にかける場合には、空気圧の圧力をゼロ
にすればよい。

【００２４】以上のように、シリンダ装置２２に供給し
ている空気圧の圧力を、徐々に下げている間に、コイル
スプリング２８にかかる加重が、ワーク１０にかかる加
重に変換され、徐々に軽減される。従って、コイルスプ
リング２８は徐々に伸びることになる。このコイルスプ
リング２８が伸びる長さは、シリンダ装置２２のピスト
ンロッド２２ａが突出（伸長）するストロークに対応す
る。すなわち、ピストンロッド２２ａの有効ストローク
が、コイルスプリング２８の伸縮のストロークの長さと
基本的に同じことになる。図３の従来技術に比べ、その
有効ストロークを非常に長くすることができる。このた
め、長い有効ストロークの中で所定の圧力変化を行うこ
とが可能であり、シリンダ装置２２のピストンとシリン
ダ本体内壁との間に発生する内部抵抗の影響を受けにく
く、上定盤を２０による押圧力を滑らかに変化できる。
従って、高精度の研磨を好適に行うことが可能である。

【００２５】また、複数の連結ロッド２６の長さにばら
つき（誤差）があっても、複数のコイルスプリング２８
を介しているため、加重が各コイルスプリング２８に好
適に分散され、均一にワーク１０を押圧できる。これ
は、そのコイルスプリング２８の伸縮のストロークの長
さがその誤差の長さに比べて格段に長いことになり、連
結ロッド２６の長さの多少のばらつきは、容易に吸収さ
れることによる。すなわち、単純に複数のロッド２６が
連結された際には、上定盤２０の研磨面をワーク１０の
被研磨面に当接させるときなど、最も長い連結ロッド２
６から集中的に加重を受けることが考えられるが、本実
施例のように複数のコイルスプリング２８を介した場合
は、その加重を好適に分散できる。また、複数のコイル
スプリング２８で、水平バランスよく上定盤２０を吊る
ことが可能であり、シリンダ装置２０内のピストンに偏
った力を与えることがない。このため、上述したシリン
ダ装置２２の内部抵抗の影響を受けにくく、上定盤を２
０による押圧力を安定的且つ滑らかに変化できる。従っ
て、高精度の研磨を好適に行うことが可能である。

【００２６】ところで、上記実施例の連結ロッド２６
は、単純に貫通孔２４ａに挿通されているが、リニアブ
ッシュ、球面軸受、又は両者を一体化した軸受等を介し
て回転板２４に挿通してもよい。リニアブッシュを用い
れば、スラスト方向の移動をより滑らかに受けることが
でき、球面軸受によれば、連結ロッド２６の傾倒にも好
適に対応可能になる。また、連結ロッド２６のスラスト
方向（上下方向）の移動を所定の範囲に規制するストッ
パ手段を設けてもよいのは勿論である。

【００２７】また、上記実施例では、弾性部材としてコ
イルスプリング２８を用いたが、これに限らず、エアバ
ッグ等の圧力流体を利用した弾性手段、或いはゴム材を
用いることも可能である。なお、エアバッグ等の場合
は、回転する回転板２４上に搭載するため、圧空等の圧
力流体を供給するためにディストリビュータを必要とす
るなど、構造が複雑になる。また、ゴム材の場合は、コ
イルスプリング２８のように、長い伸縮ストロークをと
りにくい。

【００２８】また、上記実施例では、上定盤２０を吊り
下げる基体として門型フレーム１４を用いたが、基体
（フレーム）の形態はこれに限定されるものではなく、
逆Ｌ字型等の形態でもよい。但し、門型フレーム１４
は、高荷重に耐えることができる等の利点がある。ま
た、上記実施例では、上定盤２０、下定盤３０及びキャ
リア４０の駆動源を一つの駆動モータ７０（図３参照）
と想定した場合を説明したが、本発明はこれに限らず、
それぞれを別々に駆動させるようにしてよいのは勿論で
ある。また、上記実施例では、研磨装置として両面ラッ
ピング装置について説明してきたが、これに限定される
ものではなく、例えばポリッシング装置において同等の
構成でワークを好適に鏡面研磨できる。以上、本発明に
つき好適な実施例を挙げて種々説明してきたが、本発明
はこの実施例に限定されるものではなく、発明の精神を
逸脱しない範囲内で多くの改変を施し得るのは勿論のこ
とである。

【００２９】

【発明の効果】本発明によれば、回転板及び上定盤を連
繋する連結ロッドの各抜け止め部と、シリンダ装置のピ
ストンロッドの下端に回転可能に装着された回転板との
間に、弾性部材を装着したことにより、上定盤の自重に
基づく下定盤へ押圧力を、シリンダ装置による吊り上げ
力の調整で好適に加減圧することができる。すなわち、
弾性部材を好適に介在させることでシリンダ装置のピス
トンロッドの有効伸縮ストロークを長くとることがで
き、上定盤による下定盤への押圧力を安定的且つ滑らか
に変化させることができる。従って、本発明によれば、
簡単な構成であるが、ワークを高い精度で好適に研磨で
きるという著効を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明にかかるラッピング装置の一実施例を示
す正面断面図である。

【図２】図１の実施例の上定盤支持機構を説明する平面
図である。

【図３】従来のラッピング装置の正面断面図である。

【符号の説明】１０ワーク１２上定盤支持機構１４門型フレーム２０上定盤２２シリンダ装置２２ａピストンロッド２４回転板２６連結ロッド２６ａ抜け止め部２８コイルスプリング３０下定盤

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ワークを支持する下定盤と、該下定盤へ
の押圧力を加減調整可能な上定盤支持機構に支持された
上定盤との間でワークを挟圧し、上定盤、下定盤及びワ
ークを相対的に運動させてワークを研磨する研磨装置に
おいて、前記上定盤支持機構は、基体の上部にピストンロッドが上下方向に伸縮可能に配
設されたシリンダ装置と、該シリンダ装置のピストンロッドの下端に、該ピストン
ロッドの軸心を中心に回転可能に装着された回転板と、該回転板に上下動可能に挿通され、前記上定盤及び回転
板が前記軸心を中心に一体に回転するよう、下端が前記
上定盤に連結されると共に、上端側に回転板からの脱落
を防止する抜け止め部が設けられた複数の連結ロッド
と、前記連結ロッドの各抜け止め部と前記回転板との間に装
着された弾性部材とを備え、前記上定盤を吊り下げ支持すると共に、該上定盤の自重
に基づく下定盤へ押圧力を、シリンダ装置による吊り上
げ力の調整で加減圧することを特徴とする研磨装置。
【請求項２】前記複数の連結ロッドが、前記シリンダ
装置のピストンロッドの軸心を中心とする円周の等分角
度位置に設けられたことを特徴とする請求項１記載の研
磨装置。
【請求項３】前記弾性部材は、コイルスプリングであ
ることを特徴とする請求項１又は２記載の研磨装置。
【請求項４】前記下定盤の上面及び前記上定盤の下面
には、それぞれにワークを研磨するための研磨面が形成
され、ワークの両面を同時に研磨することを特徴とする
請求項１、２又は３記載の研磨装置。
【請求項５】前記ワークは薄板状であり、該薄板状の
ワークの両面を同時にラッピングすることを特徴とする
請求項４記載の研磨装置。