JPH1148443A - スクリーン印刷装置及びスクリーン印刷方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】コンタクト印刷方式のスクリーン印刷の印刷用
ペーストの転写性を改善する。 【解決手段】スクリーン１の裏面と印刷対象物３の表面
とを接触させた状態で、スクリーン１の表面でスキージ
７を走行させる。スキージの走行が終了した後、印刷対
象物３の周りを囲んでいるスクリーン変形阻止用部材２
を上昇させて、スクリーン１の裏面にスクリーン変形阻
止用部材２の上面を接触させる。その位置でスクリーン
変形阻止用部材２を停止させる。その後、ステージ４を
下降させて、スクリーン１の裏面と印刷対象物３の表面
とを引き離す。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、物体の表面上にス
クリーンパターンを転写するスクリーン印刷技術に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】小型化と高速化が強く要求されている電
子装置類、例えば、電子計算機、通信機器等には、熱放
散性に優れ且つ高密度化が容易なセラミック基板が多用
されている。このセラミック基板の１つとして、焼成前
のグリーンシートの段階で配線パターンの印刷と積層化
が行われるセラミック多層配線基板が知られている。そ
して、このグリーンシート上への配線パターンの印刷に
は、通常、大量複製が容易なスクリーン印刷が採用され
ている。スクリーン印刷には、２つの方式、即ち、(１)
スクリーンとグリーンシートとの間にギャップを持たせ
た状態で、スキージによってスクリーンの開口部に導体
ペーストを充填させるギャップ印刷方式と、(２)スクリ
ーンとグリーンシートとを接触させた状態で、スキージ
によってスクリーンの開口部に導体ペーストを充填する
コンタクト印刷方式とがあるが、高密度配線への要求が
一層高まりつつある現状においては、微細でアスペクト
比の高い配線パターンを印刷することができるコンタク
ト印刷方式の方が採用されるのが一般的である。

【０００３】また、このスクリーン印刷は、その手軽さ
等の利点が着目され、グリーンシート上への配線パター
ンの印刷のみならず、プリント配線基板上の部品搭載パ
ターンの半田ペースト印刷等、その他の多くの分野にお
いて重用されている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところが、上記コンタ
クト印刷方式には、印刷用のペーストには粘度(例え
ば、半田ペーストは２０万ポイズ、Ｃｕペーストは３０
万ポイズ)があるため、スクリーンと印刷対象物(グリー
ンシートや部品搭載パターン等)とを引き離す際にスク
リーンの開口部からペーストが完全には抜け切らないこ
とが多く、印刷対象物上へのペーストの転写性に劣ると
いうという欠点があった。

【０００５】その主な要因は、図７に示すように、ステ
ージ４が一定速度で下降しても、スクリーン１全体を印
刷対象物３から一定速度で引き離すことができないこと
である。即ち、スキージ走行後のスクリーン１は、開口
部に充填されたペーストの粘着力によって印刷対象物３
に貼り付いているため、ステージ４が一定速度で下降し
ても、その外周１ｂ側より印刷対象物３から徐々に引き
離され、あるタイミングに達すると、開口部からペース
トが完全には抜け切らないうちに急激に印刷対象物３か
ら引き離されるためである。例えば、配線パターンの膜
厚のバラツキによる配線抵抗の増大、配線パターンの断
線等は、これに起因する代表的な不具合である。

【０００６】そして、このとき印刷対象物３からスクリ
ーン１を無理に引き上げようとすると、印刷対象物３に
無理な引張り力が加わわり、最悪の場合には、印刷対象
物３側が破損に到ることさえあった。

【０００７】また、開口部からペーストが完全には抜け
切らないうちに急激にスクリーン１が印刷対象物３から
引き離されると、ペーストが糸を曳いて、印刷対象物３
上の意図せぬ位置にペーストが転写され、最悪の場合に
は、印刷対象物３上の隣接するペーストの間がつながっ
てしまうこともあった。例えば、半田付け欠陥の１つで
あるブリッジ等は、これに起因する代表的な不具合であ
るが、ファインパターン化に対応して部品搭載用パター
ンの間隔が狭くなるほど頻繁に発生する傾向にあるた
め、これを回避するための対応策が切望されている。

【０００８】そこで、本発明は、印刷対象物上へのペー
ストの転写性の優れたスクリーン印刷方法及びスクリー
ン印刷装置を提供することを目的とする。また、更に、
スクリーンと印刷対象物とを引き離す際に印刷対象物に
加わる負荷を軽減することを目的とする。

【０００９】尚、本発明と同様な課題の解決を目的とし
ているものとしては、スクリーンに振動を与えることに
よってスクリーンの開口部の内壁付近のペーストを液状
化させる特開平６−９１８４５号公報記載のクリーム半
田の印刷装置等が知られている。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明は、スクリーンの裏面と印刷対象面とを接触
させた状態で前記スクリーンの表面上でスキージを走行
させることにより、前記スクリーン上の印刷用ペースト
を前記スクリーンの開口部に充填させるスクリーン印刷
方法であって、前記スキージの走行後、前記スクリーン
の表裏面の内の少なくとも一方の面上の前記印刷対象面
の輪郭に沿った領域を押圧しながら前記スクリーンと前
記印刷対象面とを引き離すことを特徴とするスクリーン
印刷方法を提供する。

【００１１】また、本スクリーン印刷方法を使用するた
めの装置として、スクリーンの裏面と物体の印刷対象面
とを接触させた状態で前記スクリーンの表面上でスキー
ジを走行させて、前記スクリーンの表面上の印刷用ペー
ストを前記スクリーンの開口部に充填させるスクリーン
印刷装置であって、前記スクリーンの裏面と前記物体の
印刷対象面とを引き離すように前記スクリーンと前記物
体とを相対的に移動させる移動手段と、前記スクリーン
の裏面と前記物体の印刷対象面との引き離しの際に、前
記スクリーンの表裏面の内の少なくとも一方の面上の前
記物体の印刷対象面の輪郭に沿った領域を押圧する変形
阻止手段とを備えることを特徴とするスクリーン印刷装
置を提供する。

【００１２】本スクリーン印刷方法及び本スクリーン印
刷装置によれば、変形阻止手段がスクリーンに与える押
圧力によって、スクリーンと印刷対象面との引き離しの
際のスクリーンの変形が抑制される。そのため、スクリ
ーンを、撓ませることなく、印刷対象面から一定速度で
引き離すことができる。即ち、本スクリーン印刷方法及
び本スクリーン印刷装置によれば、スクリーンの開口部
から印刷用ペーストを完全に抜け切らせることができ、
且つ、印刷対象面に無理な引張り力がかからない適当な
一定速度で、スクリーン全体を印刷対象面から引き離す
ことができる。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、添付の図面を参照しなが
ら、本発明に係る実施の一形態について説明する。

【００１４】まず、本実施の形態に係るスクリーン印刷
装置の基本構成について説明する。

【００１５】本スクリーン印刷装置は、コンタクト印刷
方式のスクリーン印刷を行うために必要とされる構成を
備えている。具体的には、図１に示すように、印刷対象
物３を装着するためのステージ４、ステージ４をＺ軸方
向に往復移動させるステージ移動機構１１、スクリーン
１が張り付けられたスクリーン枠５、導体ペースト等の
印刷用ペースト６をスクリーン１上に吐出するディスペ
ンサ装置(不図示)、スクリーン１上に載置されたスキー
ジ７、スキージ７をＹ方向に往復移動させるスキージ移
動機構１２、各移動機構１１,１２の動力源(通常、サー
ボモータ)の出力及びディスペンサ装置の動力源(例え
ば、シリンダ)の出力を制御する制御装置１３を備えて
いる。但し、図１においては、便宜上、スクリーン１の
一部を省略してある。

【００１６】そして、スクリーン１には、当然、予め定
められた形状のステンシルが配置されている。

【００１７】尚、本実施の形態では、印刷対象物３とス
クリーン１とを相対的に移動させるために、スクリーン
枠５を停止させたままステージ４側に運動を与えること
としているが、必ずしも、このようにする必要はない。
例えば、スクリーン枠５側に運動を与えるようにしても
構わない。

【００１８】また、本スクリーン印刷装置は、更に、図
２に示すように、印刷対象物３の外形を囲むスクリーン
変形阻止用部材２を備えている。ステージ４の面積より
も印刷対象物３の方が相当小さいような場合等には、図
３に示すように、ステージ４側に、スクリーン変形阻止
用部材２を収容するための溝４ａを設ければよい。尚、
このスクリーン変形阻止用部材２の形状に特別な制限は
ないが、本実施の形態では、便宜上、枠形状のもの使用
することとする。

【００１９】そして、このスクリーン変形阻止用部材２
には、揺動軸９の一端が固定されている。この揺動軸９
は、サーボモータ(不図示)の出力によってＺ軸方向に往
復移動する移動台(不図示)の軸受部で回転可能に支持さ
れている。従って、制御装置１３の制御によってサーボ
モータ(不図示)が駆動されると、このスクリーン変形阻
止用部材２は、スクリーン１の裏面に向かって移動す
る。また、この揺動軸９には、サーボモータ１５の出力
が伝達されるようになっている。従って、制御装置１３
の制御によってサーボモータ１５が駆動されると、この
スクリーン変形阻止用部材２は、揺動軸９を支点として
揺動して、印刷対象物３の表面に対して傾斜する。尚、
本実施の形態では、サーボモータ１５の出力を揺動軸９
に伝達することよってスクリーン変形阻止用部材２を自
動的に揺動させるようにしているが、必ずしも、このよ
うにする必要はない。例えば、特別な駆動源を設けずに
手動によってスクリーン変形阻止用部材２を揺動させて
から、適当な固定具を利用して揺動軸９を固定するよう
にしても構わない。

【００２０】また、このスクリーン変形阻止用部材２の
一部には、電源装置１４から印加された電圧に応じて振
動する圧電素子８が貼り付けられている。従って、制御
装置１３の制御によって、電源装置１４から圧電素子８
に電圧が印加されると、圧電素子８と共にスクリーン変
形阻止用部材２が振動を始める。尚、本実施の形態で
は、スクリーン変形阻止用部材２に振動を与えるために
圧電素子８を利用しているが、必ずしも、これを利用す
る必要はない。例えば、圧電素子８の代りに超音波振動
子等を利用したとしても一向に構わない。

【００２１】次に、図４により、本スクリーン印刷装置
を用いたスクリーン印刷方法について説明する。尚、以
下に示す一連の処理は、制御装置１３の制御によって実
行されるものである。

【００２２】まず、Ｓ４００において、所定の位置まで
ステージ４を上昇させることによって、スクリーン１の
裏面の所定の領域に印刷対象物３の表面を接触させる。
そして、ディスペンサ装置から印刷用ペースト６を吐出
させることによって、スクリーン１上に印刷用ペースト
６を供給する。その後、スクリーン１上でスキージ７を
走行させることによって、スクリーン１の開口部(隣接
するステンシルの間)に印刷用ペースト６を充填させ
る。

【００２３】その後、Ｓ４０１において、所定の位置ま
でスクリーン変形阻止用部材２を上昇させることによっ
て、図５(ａ)に示すように、スクリーン１の裏面にスク
リーン変形阻止用部材２の上面を接触させる。また、こ
のとき、更に、所定の方向にスクリーン変形阻止用部材
２を揺動させることによって、図５(ｂ)に示すように、
印刷対象物３の表面に対してスクリーン変形阻止用部材
２の上面を僅かに傾けておくことが望ましい。スクリー
ン１の裏面から印刷対象物３の表面を引き離す際に、ス
クリーン１や印刷対象物３に加わる無理な引張り力を軽
減することができるためである(後述)。具体的には、印
刷対象物３の表面とスクリーン変形阻止用部材２の上面
とのなす角θが、約０.５度以上３度以下の範囲におさ
まっていることが望ましい。

【００２４】その後、Ｓ４０２において、圧電素子８を
振動させることによって、スクリーン変形阻止用部材２
に振動を与える。このときのスクリーン変形阻止用部材
２の振動は、スクリーン１を介して、スクリーン１の開
口部に充填された印刷用ペースト６にも伝達する。これ
により、スクリーン１の開口部の内壁付近の印刷用ペー
スト６が液状化する。このような状態にしておくと、ス
クリーン１の裏面を印刷対象物３の表面から引き離す際
に、スクリーン１の開口部から印刷用ペースト６が抜け
出やすくなる。従って、スクリーン１の開口部からスム
ーズに印刷用ペースト６が抜け出てきそうな場合等に
は、このＳ４０２における処理を実行する必要はない。

【００２５】その後、Ｓ４０３において、図６(ａ)に示
すように、スクリーン変形阻止用部材２を停止させたま
まステージ４を下降させることによって、スクリーン１
の裏面を印刷対象物３の表面から引き離す。このように
すれば、印刷用ペースト６の粘着力でスクリーン１が印
刷対象物３側に引っ張られても、スクリーン変形阻止用
部材２がスクリーン１のストッパとして機能するため、
印刷対象物３側へのスクリーン１の変形を阻止すること
ができる。従って、印刷対象物３の表面からスクリーン
１の裏面全域をほぼ同時に引き離すことができる。即
ち、印刷対象物３の表面からスクリーン１の裏面を一定
速度で引き離される。尚、Ｓ４０１においてスクリーン
変形阻止用部材２を傾けておいた場合には、印刷対象物
３の表面の一端から他端に向けて徐々にスクリーン１の
裏面が引き離すことができる。即ち、この場合にも、経
時的にではあるが、印刷対象物３の表面からスクリーン
１の裏面を一定速度で引き離される。

【００２６】或るいは、図６(ｂ)に示すように、ステー
ジ４を停止させたままスクリーン変形阻止用部材２だけ
を上昇させることによって、スクリーン１の裏面から印
刷対象物３の表面から引き離すようにしても構わない
し、図６(ｃ)に示すように、スクリーン変形阻止用部材
２を上昇させながら、ステージ４を下降させることによ
って、スクリーン１の裏面から印刷対象物３の表面から
引き離すようにしても構わない。何れの場合にも、スク
リーン変形阻止用部材２を停止させたままステージ４だ
けを下降させる場合と同様に、押当用部材２によって、
印刷対象物３側へのスクリーン１の変形が阻止されるか
らである。但し、このように、スクリーン１に対してス
クリーン変形阻止用部材２を積極的に押し当てるように
すれば、スクリーン１の張力の増加によるスクリーン１
の変形の抑制効果も期待できる。

【００２７】そして、最終的に、Ｓ４０５において、ス
テージ４上から印刷対象物３を取り外すため、ステージ
４を始期位置に復帰させておく。

【００２８】このように、本スクリーン印刷装置を利用
すれば、印刷対象物３の表面からスクリーン１の裏面を
一定速度で引き離すことができる。従って、スクリーン
１の開口部から印刷用ペーストを完全に抜け切らせるこ
とができ、且つ、印刷対象物３に無理な引張り力がかか
らない適当な一定速度で、スクリーン１の裏面全体を印
刷対象物３の表面から引き離すことが可能である。

【００２９】また、スクリーン１と印刷対象物３との引
き離しに先立って、スクリーン１の開口部の内壁付近の
印刷用ペースト６を液状化させておけば、スクリーン１
と印刷対象物３との引き離しの際にスクリーン１の開口
部から印刷用ペースト６がスムーズに抜け出てくるよう
になる。従って、スクリーン１と印刷対象物３との引き
離しの際に印刷用ペースト６が糸を曳くこともなくなる
し、印刷対象物３に無理な引張り力が加わることもなく
なる。

【００３０】即ち、本スクリーン印刷装置及び本スクリ
ーン印刷方法によれば、印刷対象物３の表面への印刷用
ペースト６の転写性を大幅に改善することができ、更
に、スクリーン１と印刷対象物３との引き離しの際に印
刷対象物３に加えられる負荷を大幅に軽減することがで
きる。

【００３１】尚、本実施の形態では、スクリーン１と印
刷対象物３との引き離しの際に、スクリーン変形阻止用
部材２との接触によって、スクリーン１の裏面を押圧す
る力を発生させているが、スクリーン１の表面を押圧す
る力を発生させても、同様な効果を得ることができる。
即ち、スクリーン変形阻止用部材２をスクリーン１の上
側に配置しておき、スクリーン変形阻止用部材２をスク
リーン１の表面に積極的に押し当てながらステージ４を
下降させるようにすれば、印刷対象物３側へのスクリー
ン１の変形を張力によって抑制することができるからで
ある。

【００３２】

【実施例】以下、上記スクリーン印刷方法の具体的な実
施例について説明する。

【００３３】尚、ここでは、スクリーン印刷が利用され
る代表的な２つの工程(セラミック多層配線基板の製造
工程、電子部品の半田付け工程)を挙げることとする。

【００３４】最初に、セラミック多層配線基板の製造工
程について説明する。

【００３５】まず、ドクターブレイド法によって、予
め、グリーンシートを作成しておく。具体的には、ボー
ルミルによって有機バインダ等とセラミック粉末とを十
分に混合してスラリーを再生した後、脱泡処理及び粘度
調整処理を経てから、ドクターブレイド型キャスティン
グ装置によって、これを適当な厚さ(通常、０.２ｍｍ程
度)のシート状にする。このシート状にしたスラリーを
乾燥させるとグリーンシートが完成する。

【００３６】尚、信号伝送速度の高速化を達成するに
は、セラミック粉末として、ホウケイ酸ガラス粉末とム
ライト粉末との混合物を使用し、有機バインダとして、
ポリブチルメタクリレートを主成分とする水系バインダ
を使用することによって、誘電率の低いガラスセラミッ
クのグリーンシートを作成することを推奨する。

【００３７】その後、金型等によって、このグリーンシ
ートに、スルーホールとなる貫通穴を打ち抜く。その
後、図１に示したスクリーン印刷装置を用い、通常の印
刷手順に従って、この貫通穴の内部に導体ペーストを充
填させる。同様に、図１に示したスクリーン印刷装置を
用い、図４に示した手順に従って、グリーンシート上の
配線エリア(約２００ｍｍ×２００ｍｍ)に、配線パター
ン(配線幅約５０μｍ)を形成する。但し、本実施例で
は、グリーンシート上の配線エリアを囲むことができる
ように、内寸約２５０ｍｍ×２５０ｍｍの枠形のスクリ
ーン変形阻止用部材２を使用した。また、約６００ｍｍ
×６００ｍｍのスクリーン１を使用した。

【００３８】尚、信号伝送速度の高速化を達成するに
は、導体ペーストとして、電気抵抗の低いＣｕペースト
を使用することを推奨する。

【００３９】この段階で、グリーンソート上に印刷され
た配線パターンの膜厚及び幅を検査したところ、(１)ス
クリーン変形阻止用部材２に振動を与えずに、スクリー
ン変形阻止用部材２を水平に上昇させた場合には、膜厚
３０±８μｍ、幅５０±６、(２)スクリーン変形阻止用
部材２に振動を与えてから、スクリーン変形阻止用部材
２を水平に上昇させた場合には、膜厚２８±５μｍ、幅
５３±９、(３)スクリーン変形阻止用部材２に振動を与
えずに、スクリーン変形阻止用部材２を約１.５度傾け
て上昇させた場合には、膜厚２６±１０μｍ、幅５０±
８、(４)スクリーン変形阻止用部材２に振動を与えてか
ら、スクリーン変形阻止用部材２を約１.５度傾けて上
昇させた場合には、膜厚２８±９μｍ、幅５３±１０で
あった。これらの検査結果を、従来のコンタクト印刷方
式によってグリーンソート上に印刷された配線パターン
の検査結果(膜厚２３±１５μｍ、幅５５±１２μｍ)と
比較すれば、図１のスクリーン印刷装置の導入によっ
て、グリーンソート上の配線パターンの高アスペクト
化、膜厚バラツキの抑制、及び、輪郭の鮮明化が達成さ
れたことは明白である。

【００４０】そして、このような処理を施したグリーン
シートを所定の枚数積層し、適当な温度(通常、１３０
℃程度)及び適当な圧力(通常、１８０ｋｇ／ｃｍ²程度)
で、この積層体を加熱圧縮する。このようにすると、積
層されたグリーンシートが、グリーンシートに含有され
ているバインダによって接着する(以下、これをグリー
ンシート積層体と呼ぶ)。

【００４１】その後、電気炉内部の雰囲気中で、このグ
リーンシート積層体を焼成する。具体的には、このグリ
ーンシート積層体を、窒素と水蒸気の約８５０℃の混合
雰囲気中に約１０時間放置し、導体ペースト中の溶剤等
を除去してから、１０００℃の窒素雰囲気中で焼成す
る。

【００４２】以上の製造工程により製造されたセラミッ
ク多層配線基板を検査したところ、(１)スクリーン変形
阻止用部材２に振動を与えずに、スクリーン変形阻止用
部材２を水平に上昇させた場合には、配線抵抗が０.３
６〜０.５８、断線が０／枚、短絡が０／枚、(２)スク
リーン変形阻止用部材２に振動を与えてから、スクリー
ン変形阻止用部材２を水平に上昇させた場合には、配線
抵抗が０.３２〜０.４８、断線が０／枚、短絡が０／
枚、(３)スクリーン変形阻止用部材２に振動を与えず
に、スクリーン変形阻止用部材２を約１.５度傾けて上
昇させた場合には、配線抵抗が０.３６〜０.６１、断線
が０／枚、短絡が０／枚、(４)スクリーン変形阻止用部
材２に振動を与えてから、スクリーン変形阻止用部材２
を約１.５度傾けて上昇させた場合には、配線抵抗が０.
３４〜０.５５、断線が０／枚、短絡が０／枚であっ
た。これらの検査結果を、従来のコンタクト印刷方式に
よってグリーンソート上に印刷された配線パターンの検
査結果(配線抵抗０.４５〜０.７５、断線５０以上／
枚、短絡５／枚)と比較すれば、図１のスクリーン印刷
装置の導入によって、セラミック多層配線基板の信頼性
の向上が達成されたことは明白である。

【００４３】次に、電子部品の半田付け工程について説
明する。

【００４４】図１に示したスクリーン印刷装置を用い、
図４に示した手順に従って、プリント配線基板上の０．
１５ｍｍピッチの部品搭載用パターンに半田ペーストを
印刷する。但し、本実施例では、プリント配線基板を囲
むことができるように、内寸約３５０ｍｍ×３５０ｍｍ
の枠形のスクリーン変形阻止用部材２を使用した。ま
た、約７５０ｍｍ×７５０ｍｍのスクリーン１を使用し
た。

【００４５】この段階で、部品搭載用パターン上に印刷
された印刷パターンの膜厚及び幅を検査したところ、膜
厚が８０±１０μｍ、幅が７５±１０であった。この検
査結果を、従来のコンタクト印刷方式によって部品搭載
用パターン上に印刷された印刷パターンの検査結果(膜
厚６７±２０μｍ、幅６５±３０μｍ)と比較すれば、
図１のスクリーン印刷装置の導入によって、部品搭載用
パターン上の印刷パターンの印刷品質の向上が達成され
たことは明らかである。

【００４６】その後、これらの部品搭載用パターン上に
電子部品を搭載し、リフロー半田付けを行った。

【００４７】この段階で半田接合部を検査したところ、
１つのオープン及びブリッジも発見されず、１箇所のシ
ョートも検出されなかった。この検査結果を、従来のコ
ンタクト印刷方式によって形成された半田接合部の検査
結果(オープン３０以上、ショート６箇所以上)と比較す
れば、図１のスクリーン印刷装置の導入によって、半田
接合部の信頼性の向上が達成されたことは明白である。

【００４８】

【発明の効果】本発明に係るスクリーン印刷方法及びス
クリーン印刷装置によれば、印刷対象物上への印刷用ペ
ーストの転写性が改善される。従って、本スクリーン印
刷方法及び本スクリーン印刷装置によって印刷対象物上
に転写された印刷用ペーストは、その輪郭がシャープで
あり、その膜厚にバラツキが少ない。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の一形態に係るスクリーン印刷装
置の基本構成を説明するための図である。

【図２】(ａ)は、ステージ部分の断面図の一例であり、
(ｂ)は、ステージ部分の上面図の一例である。

【図３】ステージの断面図の一例である。

【図４】本発明の実施の一形態に係るスクリーン印刷方
法の手順を示したフローチャートである。

【図５】(ａ)は、スクリーン変形阻止用部材を水平に上
昇させた場合のスクリーン変形阻止用部材とスクリーン
との接触状態を説明するための図であり、(ｂ)は、スク
リーン変形阻止用部材を傾けて上昇させた場合のスクリ
ーン変形阻止用部材とスクリーンとの接触状態を説明す
るめの図である。

【図６】スクリーンと印刷対象物とへの相対的な運動の
与え方を説明するため図である。

【図７】従来のコンタクト印刷方式の欠点を説明するた
めの図である。

【符号の説明】

１…スクリーン ２…スクリーン変形阻止用部材 ３…印刷対象物 ４…ステージ ５…スクリーン枠 ６…印刷用ペースト ７…スキージ ８…圧電素子 ９…揺動軸 １１…ステージ移動機構 １２…スキージ移動機構 １３…制御装置 １４…電源装置 １５…サーボモータ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小田島 均 神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地 株 式会社日立製作所生産技術研究所内 (72)発明者 鈴木 高道 神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地 株 式会社日立製作所生産技術研究所内 (72)発明者 田上 文一 神奈川県秦野市堀山下１番地 株式会社日 立製作所汎用コンピュータ事業部内 (72)発明者 黒木 喬 神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地 株 式会社日立製作所生産技術研究所内

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】スクリーンの裏面と印刷対象面とを接触さ
   せた状態で前記スクリーンの表面上でスキージを走行さ
   せて、前記スクリーン上の印刷用ペーストを前記スクリ
   ーンの開口部に充填させるスクリーン印刷方法であっ
   て、 前記スキージの走行後、前記スクリーンの表裏面の内の
   少なくとも一方の面上の前記印刷対象面の輪郭に沿った
   領域を押圧しながら前記スクリーンと前記印刷対象面と
   を引き離すことを特徴とするスクリーン印刷方法。
2. 【請求項２】スクリーンの裏面と印刷対象面とを接触さ
   せた状態で前記スクリーンの表面上でスキージを走行さ
   せて、前記スクリーン上の印刷用ペーストを前記スクリ
   ーンの開口部に充填させるスクリーン印刷方法であっ
   て、 前記スキージの走行後、前記印刷対象面の輪郭に沿った
   領域で前記スクリーンの移動を阻止しながら前記スクリ
   ーンと前記印刷対象面とを引き離すことを特徴とするス
   クリーン印刷方法。
3. 【請求項３】請求項１または２記載のスクリーン印刷方
   法であって、 前記スクリーンと前記物体との引き離しに先立ち、前記
   スクリーンの振動を開始することを特徴とするスクリー
   ン印刷方法。
4. 【請求項４】請求項１、２及び３何れか１項記載のスク
   リーン印刷方法であって、 前記スクリーンの裏面が前記印刷対象面に対して傾斜す
   るように前記スクリーンを押圧することを特徴とするス
   クリーン印刷方法。
5. 【請求項５】スクリーンの裏面と物体の印刷対象面とを
   接触させた状態で前記スクリーンの表面上でスキージを
   走行させて、前記スクリーンの表面上の印刷用ペースト
   を前記スクリーンの開口部に充填させるスクリーン印刷
   装置であって、 前記スクリーンの裏面と前記物体の印刷対象面とを引き
   離すように前記スクリーンと前記物体とを相対的に移動
   させる移動手段と、 前記スクリーンの表裏面の内の少なくとも一方の面上の
   前記物体の印刷対象面の輪郭に沿った領域を押圧する変
   形阻止手段とを備えることを特徴とするスクリーン印刷
   装置。
6. 【請求項６】スクリーンの裏面と物体の印刷対象面とを
   接触させた状態で前記スクリーンの表面上でスキージを
   走行させて、前記スクリーンの表面上の印刷用ペースト
   を前記スクリーンの開口部に充填させるスクリーン印刷
   装置であって、 前記スクリーンの裏面と前記物体の印刷対象面とを引き
   離すように前記スクリーンと前記物体とを相対的に移動
   させる移動手段と、 前記物体の印刷対象面の輪郭に沿った領域で前記スクリ
   ーンの移動を阻止するストッパとを備えることを特徴と
   するスクリーン印刷装置。
7. 【請求項７】請求項５または６記載のスクリーン印刷装
   置であって、 前記スクリーンを振動させる振動手段を備えることを特
   徴とするスクリーン印刷装置。
8. 【請求項８】請求項５、６及び７何れか１項記載のスク
   リーン印刷装置であって、 前記変形阻止手段は、前記スクリーンの裏面が前記物体
   の印刷対象面に対して傾くように前記スクリーンを押圧
   することを特徴とするスクリーン印刷装置。