JPH11510640A - 多層セラミック基板を有する碁盤目状のエレクトロルミネセント・ディスプレイ - Google Patents

多層セラミック基板を有する碁盤目状のエレクトロルミネセント・ディスプレイ

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Abstract

(57)【要約】 エレィトロルミネッセント・(EL)ディスプレイは、前面セラミックの表面及び背面セラミックの表面を有するセラミック基板上で形成される。セラミックの基板は、構造上の支持、電気的な接地、及び熱消散を与える金属コアを含む。ELセル(20)は前面セラミックの表面(31)上に搭載され、ELセルを駆動するためのドライバ回路(10)は背面セラミックの表面(31)上に搭載される。ドライバ回路(10)は、前記ELセルの直後に置かれる。コネクタ(27)は、前記セラミック基板及びELセルを通して異なるドライバ回路に延びる。ELセルの近くにドライバ回路を配置することによって、ドライバからELセルへの、高レベル・リフレッシュ速度及び低レベル抵抗損失を考慮に入れる駆動ラインは短い。ドライバ回路の各々は、一つのELセルまたは一群のELセルを駆動することができる。また、サーメット電極に結合するELディスプレイ・セルは、電界放出デバイス(111)または低パワー電子ビーム(140)によって駆動されることができる。

Description

【発明の詳細な説明】 多層セラミック基板を有する碁盤目状のエレクトロルミネセント・ディスプレイ 本発明は、一般に、エレクトロルミネセント(電界発光、electroluminescent :EL)・ディスプレイに、そして、特に多層セラミック基板上に形成されるE Lディスプレイに関連する。 ELディスプレイ技術、特にフル・カラーのディスプレイは、輝度(brightne ss)において、ELセルのキャパシタンスがリフレッシュされる速度(rate)依 存する非常に深刻な限界を持つ。本リフレッシュ速度が、1/(sq.root (RC)に比例し、このため駆動ラインのRC時定数によって制限される。 従来のディスプレイにおいては、ICドライバは、ディスプレイ・パネルの端 部に搭載されて、パネルの選ばれた行(row)の画素(pixel)の全てを駆動する 。図1の中で示されるように、複数のICドライバ36a−36hが表示領域の 周辺部上に配置される。スキャナ37は、ドライバ36a−36hを制御する。 選択ライン26はドライバ36a−36hによって駆動され、データライン30 はレジスタ12によって駆動され、選択ライン26及びデータライン30は各ピ クセル・セル32へのアクセスを提供する。画素セル32は、各選択ライン26 と各データライン30の交点に配置される。ディスプレイをアドレス指定するた めに、ドライバ36a−36hの1つが選択ライン26を活性化する一方、1行 の表示データはシフト・レジスタ12から供給される。表示データは、選ばれた 行において画素を活性化する。各画素に関連するキャパシタンスは、リフレッシ ュ・サイクルの時まで光を発するために画素に必要なディスプレイ電圧を保有す る。このようにして、ディスプレイ全体が、行毎にアドレス指定される。 各画素セル32の電極は直列に接続されるので、所与の行または列における全 てのセルの抵抗が直列に接続される。これは、最大の可能なリフレッシュ速度と 後にディスプレイの輝度を制限する大きいRC時定数をつくる。インジウム錫酸 化物薄膜(透明電極)の1ラインを駆動するとき、これが特に悪い。典型的に、 この膜は、およそ5X/平方のシート抵抗を有する。幅10ミリメートル、長さ 10インチのラインは、このため、およそ1000オームの抵抗を有する。もう 一つの欠点は、ディスプレイ・パネルの寸法が増加すると、データラインと選択 ラインの電子的なグリッドの複雑性が増加するということである。 リフレッシュ速度、それ故ディスプレイの輝度を増加する一つの方法は、画素 を並列に、理想的には一時に一つを駆動することである(これは「アクティブ駆 動」として知られている)。そのような方式は、しかしながら、2つのトランジ スタを画素につき要求するので、とても高価である。図2の中で示されるように 、各ELセル26は2つのトランジスタ14及び20によって駆動される。デー タライン18及び選択ライン16が、ELセル26を活性化するために使われる 。電流源28は、ELセル26及びトランジスタ20を通って接地に流れる電流 を与える。この構成も、駆動トランジスタを搭載するためにディスプレイの領域 の大部分の使用を要求する。 代わりの方式は、単一のドライバで小さいグループの画素を駆動することであ る。これは、しかしながら、ちょうどディスプレイの端部だけでなくディスプレ イの中央の多数の点においても電極と接触をとることができることを要求する。 (ガラス製の基板の上の)従来のELパネルは、これをすることができない。さ らにより効率的な方式は、セルのより大きな群(またはさらに完全な行若しくは 列)を単一のドライバからではあるが、直列というよりはむしろ並列に、駆動す ることである。 本発明は、セラミック基板を含むELディスプレイである。ELセルは、セラ ミック基板上の前面側上に搭載され、ドライバ回路はセラミック基板の裏側に搭 載される。コネクタは、セラミック基板を貫通して延び、複数のドライバ回路に ELセルを結合させる。このようにすれば、ELセルを搭載するためにセラミッ ク基板の前面の表面領域を使用できる。ドライバ回路は、セラミック基板の背表 面上のどこにでも置かれることができる。これは、駆動ライン長を短縮し、各E Lセルを駆動することに関連したRC時定数を縮小する。縮小されたRC時定数 は、リフレッシュ速度を増加させ、このため、ディスプレイの輝度を増加させる 。 さらに、セラミック基板の上に搭載されるELディスプレイは、他のセラミッ ク基板の端に沿っていくつかのセラミック基板に接することによって、他のセラ ミック基板と組み合わされることができる。これは、拡大されたディスプレイの 領域を形成する。 本発明の第二の具体例の中において、ELディスプレイはフィールド放射性の デバイスによって駆動される。このディスプレイは、サーメット背面の電極とサ ーメット背面電極に結合される薄膜の蛍光体層とを含む薄膜ELデバイスを有す る。制御回路部分(control circuitry)は、選択的に電子を発するフィールド 放出デバイスを制御する。フィールド放出デバイスから放出される電子は、真空 空間を横切り、サーメット背面電極と接触する。サーメット背面電極に接触する ELディスプレイ電子は、ELディスプレイの部分に光の放出を引き起こす。 本発明の教示は、添付の図面に関連して以下の詳細な記述を考慮することによ って容易に理解されることができる。 図1(先行技術)は、従来のELディスプレイのブロック図である。 図2(先行技術)は、各ELセルのアクティブ駆動を使用する従来のELディ スプレイの概略図である。 図3は、本発明に従ってセラミック基板の上に搭載されたELディスプレイを 含む構造の側面図である。 図4は、ELセルとドライバ回路の間の接続を図示している、図3の中で示さ れた構造のような、構造の側面図である。 図5は、セラミック基板の金属コア(中心部、芯、core)に形成されたフィー ドスルーを図示する、図3の中で示された構造のような、構造の一部の側面図で ある。 図6は、セラミック基板を通してELセルに接続される複数のドライバ回路を 図示する、図3の中で示された構造のような、構造の側面図である。 図7は、大領域ディスプレイを形成するためにタイル張りセラミック基板を図 示する、図3の中で示された構造のような、多層構造の期待図である。 図8は、セラミック基板上のELセルとセラミック基板に隣接するのためのエ ッジ・コネクタとの配置を図示する、図3の中で示された構造のような、構造の 平面図である。 図9A及び9Bは(先行技術)は、セラミック基板の上に形成された従来のE Lディスプレイの側面図である。 図9C及び9Dは、セラミック基板の上にELセルを形成する層を図示する、 図3の中で示された構造のような、構造の側面図である。 図10は、本発明の第二の実施例に従うフィールド放出駆動されるELディス プレイの側面図である。 図11は、フィールド放出デバイスを図示する図10に示された構造のような 構造の部分の側面図である。 図12は、本発明の第二の実施例に従う電子ビーム駆動されるELディスプレ イの側面図である。 先行技術のELディスプレイに関連する問題は、新規な電子パッケージ技術を 使用することによって回避される。「低温で共に焼かれる金属上のセラミック( Low Temperature Co-fired Ceramic on Metal(LTCC−M))」技術が、セ ラミック基板をつくるために使用される。セラミック基板は、金属コアと金属コ アの両面上に形成される多層セラミックとを含む。セラミック基板は、セラミッ ク基板の前面の側に搭載されたELセルから基板の背面の側に搭載されたドライ ブ回路に、基板を通して接続を経路づけることが可能となる。 セラミック基板を通して接続を経路づけするために、金属コアを貫通するフィ ードスルーが使用されている。図3の中で示されるように、フィードスルー30 によれば、下側のセラミック層32上に搭載されたICドライバ・チップ10を 上側のセラミック層31上に搭載されたELディスプレイ・セル20の対に接続 できる。インジウム錫酸化物層21は、ELセル20のための透明の上側電極を 与える。セラミック多層31及び32は、低温で共に焼かれたセラミック多層構 造から作り上げられ、好ましくはシリコンに一致する熱膨張指数を持つ。 図5は、フィードスルー30の断面図である。図3で示されている上側のセラ ミック層31及び下側のセラミック層32は、図5で示されていない。金属コア 24は、好ましくはCu/Mo/Cu金属複合物(composite)であるが、他の 材料を代用できる。開口部は、金属コア24内に、小さい直径の穿孔(孔)をあ けることができる機械的なドリリング装置またはレーザを使用することによって 形成される。金属コア24内の穿孔はバリが取り除かれ(debur)、従来のニッ ケル 電気メッキによって達成されるニッケルメッキされる。図5中に示された例にお いて、2つの誘電体ガラス層26及び28は、金属コア24上に形成されている 。しかしながら、より大きい数又はより小さい数の誘電体ガラス層が、形成され てもよい。金属コアの一方側上に融解したガラスを置くと共に、反対側の側面を 真空状態に引くことによって、誘電体ガラス層が形成される。これによれば、穿 孔を通してガラスを引き寄せ、誘電体層26を形成する。その処理は繰り返され 、誘電体層28を形成する。厚膜の伝導性の充填インク(fill ink)は、伝導性 の充填層30を形成するために使用される。伝導性の充填インクは、予め選ばれ たガラス粉及び有機溶剤と一緒に細かく分割された伝導性の金属粉を調合するこ とによって作られる。伝導性の充填インクが、金属コアに塗布され(apply)ガ ラスで絶縁された穿孔を満たされて、それから伝導性の絶縁フィードスルー30 を得るために熱せら有機材料を取り除くと共に金属粉を焼結する。 金属コア24は、(図3の中で示されるように)金属コア上に形成される多層 セラミック31及び32を支える。この全体の構造は、セラミック基板として参 照される。金属コア24は、多くの重要な機能を提供する。金属コア24は、機 械的な強度及び全部の組立に対する構造上の支持を提供する。多層のセラミック 31及び32は、どちらかと言えば砕けやすく、大きなサイズのディスプレイを 支持できない。また、金属コア24は、内蔵ヒートシンクであるので、電気的な シールド及びグランド接続と生成された熱の効率的な拡張のために優れた熱管理 とを提供する。LTCC−M技術に関する追加情報は、金属上の共に熱せられる セラミック回路ボードにおいて水平方向の縮小を最小化する方法という題名のア メリカ特許5,277,724号、及びセラミック回路ボードの支持基板のため の電気的フィードスルーという題名の1995年1月27日提出された出願中の アメリカ特許出願シリアル番号08/379264号に見いだされることができ 、これらの両方をここで参照によって取り入れる。 図4の中で示されるように、LTCC−M技術は、セラミック基板の背面側上 にICドライブ(駆動)・チップ10の配置を可能にする。ELディスプレイ・ セル20は、セラミック基板の前面側上に配置される。IC駆動チップ10は、 直接にセラミック基板を貫通してELセル20に接続される。IC駆動チップ1 0と一緒にELセル20のこの集積を達成するためには、図6の中で示されるよ うに、パワー配線、アドレス配線及びデータ配線97をセラミック−金属−セラ ミックのサンドイッチの側端に搭載できる。多層セラミックに埋め込まれた多層 回路部分(図中に示さず)を、回路密度をさらに増加させると共に経路の長さを 減少させるために使用できる。セラミック層31及び32は、従来の多層の回路 基板にある回路通路(pathway)に類似の埋め込まれた回路通路(図中に示さず )を含む。 図4は、ELディスプレイ領域を詳細に図示する。蛍光体層24は、2つの誘 電体層23の間にはさまれる(sandwich)。例えばインジウム錫酸化物で、作ら れている透明の上側電極21と下側電極22とは、各ELセルへの必要な接続を 与える。電気的なビア(via)27は、多層セラミック31及び多層セラミック 32内の回路通路へ下側電極22を、ICドライバ10へ上側電極21を電気的 に接続する。図7の中で示される熱的ビア41は、熱を、ELディスプレイ・セ ル20から離しヒートシンクを与える金属コア24へ向けて移す。 図9Aから図9Dは、どのようにELディスプレイがセラミック基板上に形成 されるかを図示している。ELセルは、セラミック基板の前面の表面上に形成さ れ、いくつかの層を含む。図9Aは、セラミック基板86上に形成された従来の ELディスプレイを示す。従来のELディスプレイは、印刷された底面導体85 、絶縁体84、蛍光体層83、随意の第二の絶縁体82、及び上部導体81を備 える。各層81〜85は、厚さ1マイクロメートルのオーダである。 セラミック基板上にELディスプレイを形成する際の一つの困難は、ELスタ ックの薄い絶縁体層に欠陥を引き起こす基板表面の粗さの傾向であった。例えば 、底面絶縁体層に侵入しているアスペリティ(asperity)80が、図9Bに示さ れている。アスペリティ80の近くでは底面導体85と蛍光体層83との間には ほとんど絶縁性がない。高さ1マイクロメートルのアススペリティは、絶縁体層 85に侵入するのに十分であり、動作中に電気的な降伏を引き起こし、ディスプ レイを役に立たなくさせる。セラミック表面は、典型的には、この大きさ又はよ り大きな粗さがあり、それで過去においてはTFELスタックを支持するために 不適当だった。 本発明は、先行技術の問題に2つの解を提供する。LTCC−M基板上のEL ディスプレイの製作におけるステップとして、セラミック上部の表面層86が細 かな仕上がりに研磨され(polish)、必要ならばガラスの平坦化する層を用いて 被覆される。研磨は単独で、粗さ問題を解決するのに十分かもしれない。もしそ うでなければ、ガラス(例えば、BPSG)の層が、スピン法によってまたは化 学的気相堆積(CVD)法によって利用される(apply)ことができる。これら の層を適用するための手法は、シリコン・デバイスの被覆するために半導体産業 でよく知られているが、セラミックスを被覆するためには一般に使用されない。 そのようなガラス層は、マイクロメートル・スケールでなめらかである。結果と して生ずる構造は、研磨されたセラミックの層86及びCVDガラス層87と共 に図9Cに示される。研摩またはガラス被覆がないと、予想されるように、EL ディスプレイは速く焼き切れる(burn out)傾向がある。しかしながら、図9C 内に示されるように、基板を覆う(over)CVD・BPSG層や研磨のために、 ディスプレイは比較的長い期間の間、故障なしで動作する。 図9Cに示されるた取り組みに対する代替取り組みは、図9Dに示される。絶 縁層84は、厚い絶縁体84’と取り替えられる。この層が多マイクロメータ( many micrometer)の厚さであるならば、80’のような小さいアスペリティは 絶縁層に侵入しない。ELディスプレイの動作に際して、電圧が上部導体と底面 導体との間に加えられる。光の放射は、蛍光体を横切る電圧に関係づけられる。 しかしながら、この電圧のいくつかは絶縁体にわたって降下し、蛍光体にわたる 有効な電圧を縮小する。絶縁体の厚さが増加するにつれれて、絶縁体にわたって 降下する電圧の大きさが上がる。絶縁体84’をわたる電圧降下を最小にするた めに、絶縁体84’は高い誘電率を有する材料で製作されるべきである。 LTCC−M基板上に製作されるELデバイスのために、絶縁体膜は、熱せら れるとき、高い誘電率を持つセラミックを形成する焼かれていない(green)テ ープから形成されることができる。そのようなセラミックは、高い誘電率を持つ チタン酸バリウムまたは類似の材料のかなりの部分を含むことによって作られる ことができる。非常に高い誘電率は必要でない。絶縁体84の厚さを1マイクロ メートルに代わって約25マイクロメートルへ増加することは、誘電率において 約 25倍から約300倍への増加を要求するのみである。これは、典型的な現在の 絶縁体によって提供されるのと同じ電圧降下を回復するのに十分である。 セラミック基板の背面上のドライバ回路部分10は、セラミック基板(図4を 見なさい)の前面側に形成されたELディスプレイ・セル20を活性化する。ド ライバは、蛍光体に光を放出させる電圧を蛍光体層にわたって与える。ある構成 では、上側の電極21は接地に接続される。個々のELセルは、下側の電極に十 分な電圧を与えることによって活性化される。2つの電極は電圧を保持するキャ パシタとして働いて、蛍光体を励起させ続ける。蛍光体の輝度は、新しい電圧が 下側の電極に適用されるリフレッシュ・サイクルまでに衰える。 本発明は、ELディスプレイ・セル20のできるだけ近くにICドライブ・チ ップ10を配置できることを提供し、そしてこのため駆動−ラインの長さを最小 にできることを提供する。これは、直ちに、(典型的に約5000オームから約 5オームまで)駆動ラインの比較的高い抵抗を減らし、より少ない範囲へ、ライ ン・キャパシタンス、このためRC時定数も縮小する。このように、控えめな評 価は、少くとも400Hzから500Hzまでリフレッシュ周波数における増加 を示し、このため従来のELディスプレイに相対して約10の因子で輝度を増加 する。システムの電力効率もまた、この変化と共に増加する。フィードスルー3 0における伝導材料は、先行技術ディスプレイにおいて使用される長い駆動ライ ンより低い抵抗を有する。抵抗におけるこの減少も、関連するIR損失を減少さ せ、このためディスプレイによって生成された発熱量を縮小する。 ディスプレイにおいて、ICドライバをELセルに接続する多くの方法がある 。最大リフレッシュ速度のために(アクティブ・アドレス指定におけるように) 各セルに対して、一個のICドライバを上側の電極に接続でき、また一個のIC ドライバを下側の電極に接続できる。しかしながら、この構成は、ドライバ及び 相互接続に関して最も高い要求事項を有する。他の極限においては、各ICドラ イバは単一の行または列のみを(「従来の」アドレス指定におけるように)駆動 できる。ELセルに対するドライバの構成は、使用されるアドレス指定を指定す る(dictate)。例えば、一個のドライバがELセルの一つの行に与えられると 、そのときは、従来の行毎のアドレス指定が適当である。しかしながら、一個の ドラ イバがELセルのN×Nの群に与えられると、そのとき、グループに基づくアド レス指定が必要となる。 ディスプレイ・アドレス指定は、伝統的な行/列モードに限られない。ELセ ル群を各ICドライバに結合できる。セラミックの基板を貫通する電気的なビア は、信号処理回路部分から、小さいグループの画素への、つまりディスプレイの 完全なアクティブ駆動のために図6中に示されるような個々の画素への、直接の 接続を与える。図6中に示されるように、各ICドライバ10は相互接続95を 通して個々のELセル20に接続される。金属の熱チャネル29及び熱散布器2 5は、ICドライバの数が増加するにつれて必要になるヒートシンクを与える。 接地接続98は、上部電極に接続され連続する接地面を形成する。テーパが付け られた複数の相互接続95は、表示要素をドライバ・デバイスに接続するために 、電気的なビアによって、積層され共に焼かれたセラミック層を通して与えられ る。ICドライバ10に対する接続は、(図示せず)標準的なフリップ・チップ ・コネクタによって与えられる。パワー配線、データ配線及びアドレス配線97 は、セラミック基板の端部上で与えられる。銅またはアルミニウム(軽い重量の ために)から作られた熱拡散器25は、熱接着材を介してデバイスまたセラミッ ク基板の背面へ付けられる。背面の熱拡散器25は、(搭載されたデバイスがセ ラミックと同じレベルならば)連続であり得、またはICドライバ10を適応さ せるために窓状を示して切断され得るかのいずれかである。 セラミック基板の前面上のELディスプレイ・セル及びセラミック基板の背面 上のICドライバの両方は、被包され(encapsulate)ていなければならず、つ まりさもなければ環境(周囲)から保護されなければならない。ELディスプレ イを、低融点ガラスによって重ね塗りできる。アプリケーションに依存して、背 面上のチップ・オン・ボード(COB)電子回路部分は、(非常に高価でないデ バイスに対しては)可塑性物質のかたまりで覆われ(glob-topped)、共形に(c onformally)被覆されるか、または密封したきよう体(enclosure)に入れられ るか、のいずれかである。密封したきよう体は、LTCC−M技術を成し遂げる ために、特に簡単であり安価である。なぜなら、相互接続が下側の導体層を介し てなされることができるからであり、このため任意のラインに関して気密シール (seal) を介して給電される必要を除去する。 LTCC−M基板の寸法の十分な安定性を理由に、個々のディスプレイ・デバ イスをタイル張りにすることよって、非常に大きい(壁サイズの)ディスプレイ ・パネルを生成することが可能である。斜め寸法20インチまで個々のディスプ レイ・デバイスを作ることができる。より大きい個々のディスプレイデバイスに 関しては、処理器機はいくぶん高価になり得、このためより小さい個々のディス プレイ・デバイスをタイル張りにすることがより便利である。図7は、個々のデ ィスプレイデバイスが配置されより大領域ディスプレイを形成する方法を図示す る。図7中で、第1の個々のディスプレイ・デバイス100は、ICドライバ・ チップ10及び複数のELディスプレイ・セル20を含む。個々のディスプレイ デバイス100の部分のみが、便利のために示されている。個々のディスプレイ ・デバイス101及び102は接し100をタイル張りされ、拡大されたディス プレイを形成する。 図8は、ELディスプレイ・セル20及びコネクタ50を含む単一のタイル・ ディスプレイを図示する。コネクタ50は、ハンダバンプであってもよく、また は伝導弾性ゴムから製作されることができる。タイル張りの人為的な間違い(ar tifact)を避けるために、ELディスプレイの端からタイルの端まで距離d2は 、各ELディスプレイ・セルの間の間隔である距離d1の半分に等しいかあるい は小さくすべきである。これは、個々のディスプレイ・デバイスの境を接すると き、ディスプレイ内においてなめらかな遷移が、ある個々のディスプレイ・デバ イスから次のデバイスへ起こることを確実にする。 個々のディスプレイ・デバイスのタイル張りは、特にセラミック基板が寸法的 にとても安定し、機械的に継ぎ目のない構造を成し遂げるために完全な平坦度へ セラミック基板が研磨されることができ、E1ディスプレイ・セルはタイルのま さしくその端部に配置されることができるので、LTCC−M技術を用いて成し 遂げることが簡単である。 いくつかの個々のディスプレイ・デバイスが大きいディスプレイを形成するた めに隣接されるならば、いくらかの制御回路部分が必要である。従来の光センサ 及び(図面の中で示されない)ダイナミック輝度−等化回路部分は、全部そろっ ている(complte)構造で集積化されてもよい。これらのデバイスは、大きいデ ィスプレイにわたる輝度が均一であり、そして個々のディスプレイ・デバイス間 の輝度の変動によって影響されないことを確実にする。また、搭載された(オン ・ボードの、on-board)駆動システムにプログラム可能な制御を組み込むことに よって、個々の各ディスプレイ・デバイスは、輝度においてその隣接デバイスと 一致させるためにまた測色において調節されることができ、それによって更にタ イル張りの人為的な間違いを除去する。そのようなタイル張りされたディスプレ イは、個々の各ディスプレイ・デバイスに並列アドレッシング方式を利用し、そ して個々の各ディスプレイ・デバイスは通常のマトリックス化されたパネルにあ るように画素をアドレス指定する。 この取り組みの現在の評価は、ディスプレイ・パネルをインチ当たり40画素 から80画素の画素密度で製作できることを示す(これはプラズマ・ディスプレ イに等しいか、あるいはより良い)。多数の個々のディスプレイ・デバイスを利 用するディスプレイは、面(side)において数フィートに達し、結局のところフ ィルムの品質と劇場の大きさとを達成する。 ここに、本発明の第二の実施例が記述される。第二の実施例は、基板の一面に 搭載されたELセルと、基板の後に配置され、ELディスプレイ・セルを駆動す るために電界放出デバイスとを含む。 開発中であるフラット・パネルのディスプレイ技術に関して、薄膜エレィトロ ルミネッセント(TFEL)及び電界放出デバイスは、共に有望な自己発光体デ ィスプレイである。しかしながら、カラーディスプレイの生産において(最小の 効率の)青い蛍光体を障害(hindrance)としているTFELは、輝度の制約を 有する。輝度の問題への伝統的な解は、よりよい材料と高電圧のアクティブ・マ トリックスを作るためにCMOS及びDMOSトランジスタ技術を使用する新し い根本的な取り組みとを必要とする。しかしながら、これは高い歩留りプロセス を必要とし、大胆である。 FEDは、ディスプレイ技術として実証されてきたが、長寿命の、明るい、フ ルカラーのディスプレイを生産することにまだ成功していなかった。電子放出構 造は、ランダムに分布する放射点を形成するために、粗い構造上の特徴の(topo graphic)表面の形成、または形作られた電子放出の先端を要求する。光を放出 する普通の陰極ルミネッセント(cathodoluminescent)蛍光体のためのエネルギ ・レベルの要求が十分に高いので、放射の先端が冷陰極電子放出によるために非 常に短い寿命を有する傾向にある。FEDパネルを動作させることは、唯一の低 いエネルギ蛍光体を使用して実証されてきたが、しかしながら、この技術の実用 性は、プロセス中において放射先端を破壊することなく、フルカラー像を生成す るために普通の蛍光体を利用する能力にかかっている。 本発明の第二の実施例は、電界放出デバイスからの電子放出によって刺激され て冷光放出するTFELデバイスである。この技術の組合せて、高速度でリフレ ッシュできるディスプレイを作って、EL蛍光体から輝度の高いレベルを生成し 、フィールド・エミッタからの相対的に低いパワーの放射を求め、存在する材料 の可能性内に各先端からの必要とされる放射を減らす。そのようなディスプレイ はCRTに匹敵する輝度レベルでフルカラーを与えることを期待できる。電子光 学がないので、画素区域は重なる可能性があり、CRTに類似の脱ピクセル化さ れた(デピクセレイトされた、depixelated)像を与える。そのようなディスプ レイの解像度は、ミクロン・レベル・デザインルールにおけるICに類似のプロ セスで製作されるFEDによって制御され、とても高い解像度のディスプレイに 対する可能性を与える。 また、光子放射を刺激するために電子ビームを使用しTFEL構造を横切る電 界ポテンシャルを増加させる概念は、CRTに適用可能である。ビーム位置と寸 法とに対応している発光輝点(lumination spot)を与えるTFEL膜において 、局所電界の密度を増やすために低消費電力の電子ビームを使用してもよい。こ の取り組みは、大幅に減少された電子ビーム・エネルギの要求により、非常に高 い解像度のCRTを生産するための可能性を有する。ビーム・エネルギが増加す るにつれて、広がりまたは輝点寸法が増加する。現在、高解像度、高輝度のCR Tを生産するために、輝点寸法及び輝点形状を制限し及び制御するために、非常 に洗練された電子光学を要する。低いエネルギの電子ビームを使用できることは 、高解像度CRTの製造性と性能において主な改良を与える。 図10が、本発明の電界放出−エレクトロルミネッセンス(FE−EL)のデ ィスプレイを図示する。FE−ELパネルは、基板102上にあるパターン形成 されていないITO電極101から成る。堆積された絶縁体103及び104は 、(現在のTFELディスプレイの特色をよく示す)薄膜の蛍光体層105の両 面上に形成される。アルミウム酸化物または類似の材料から成るサーメット背面 の電極106は、堆積された絶縁体104上に形成される。電極101及び10 6、堆積された絶縁体103及び104、並びに蛍光体層105の組合せは、E Lスタック(積層)として参照される。電界放出デバイス(FED)110は、 サーメット背面の電極106の後ろに配置される。FED110とサーメット背 面の電極106との間の空間は、真空を形成するために排気される(evacuate) 。 図11中で示されるように、FEDはLTCC−M基板上に搭載されてもよい 。電界放射性デバイス110は、パターン形成された放射先端120の表面また は構造上の特徴(topographic)で構造が与えられた低い仕事関数材料を含む。 このデバイスはまた、特定の画素区域のアドレス指定を行うため、且つそのアド レス指定及びリフレッシュ速度を制御するための電子回路(electronics)12 4を含む。放射先端120が、前面のセラミック多層121上に形成される。制 御電子回路124が、背面のセラミック多層123上で搭載される。金属コア1 22は、先に述べたように第一の実施例において、構造上、電気的な及び熱的な 機能を提供する。セラミックの基板を貫く電気的なビア125は、FED放射チ ップへのFEDドライバの直接の接続を許容する。これが、ラインが気密シール を貫いて通過する必要がないので、FEDデバイス全体の良好な密封きょう体に 対して可能になる。 ELスタックにわたって電位を加え、そのポテンシャルをちょうど輝度閾値( 約150Volt)下に電位を持ってくる。この電位は、ELスタック上におい て10000Hzまでのリフレッシュを与えるために反復される。サーメット電 極106は、ディスプレイ領域にわたって連続的な電気接触を与えている一方で 、FED先端120からの放射に応答して短い期間にわたる電荷の局所的な増強 (buildup)を可能にする。蛍光体が正の電圧の過渡状態を経るたびに(すなわ ち,FEDが電位の局所的な増加を生成するたびに)、TFEL蛍光体105は 光パルスを放出する。標準のEL蛍光体は、リフレッシュ速度が増加するとき増 加する光出力を与える10KHzまでのリフレッシュ速度を取り扱いできる。( 10のKHzを越えるリフレッシュ速度は、蛍光体を飽和させる可能性があり、 降伏と光放射の損失とを導く)。10KHzの速度において、3000ft−L までの輝度が観察された。 ELスタック内のITO電極101を陽極として使用することによって、電子 はFED110のエミッタからサーメット電極106へ移動し、ELスタックに わたる(50Voltsであると期待される)ポテンシャル場を与える。FED 110は、TFELスタックの選択された領域をもたらす電子フィールド密度を ルミネッセント閾値を越えてサーメット電極106上に生成し、且つ電子フィー ルドが維持される限りEL蛍光体105に光放出を引き起こす。この画素の「オ ン」時間中に、ELスタックをわたる10KHzの反復された電位は、一連の電 圧過渡状態を経ることを蛍光体105に引き起こすリフレッシュ信号として働く 。それから、グレイ・レベル制御は、リフレッシュ・サイクルの回数を制御する ことによって確立されることができ、この場合FEDが特定の領域に「オン」電 圧信号を与える時間の長さによって制御される。10KHzのリフレッシュによ れば、多数のグレイ・レベルが表示できる。 図12は、ELディスプレイを活性化するために低パワー電子ビーム源140 の使用を図示する。従来の制御デバイス141は、低パワー電子ビームの位置を 制御するために提供される。サーメット背面電極106は、蛍光体層のルミネッ セント閾値のちょうど下の電位に充電される。電子ビーム源140によって与え られる電子は、サーメット背面電極106と接触する。これよって、ルミネッセ ント閾値を越えてTFELスタックの選択された領域が至り、蛍光体105が光 放出する。これは低パワー電子ビーム140の使用を可能にし、その低いエネル ギーのために、比較的より細かい寸法を提供し、またこのため高解像度ディスプ レを提供する。 本発明が典型的な実施例に関して記述された一方、それに制限されない。むし ろ、添付の請求項は、本発明の真の精神及び範囲から離れることなく当業者によ ってなされる可能性のある本発明の他の変形及び実施例を含むように構築される べきである。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 FI H01J 29/18 H01J 29/18 A 31/12 31/12 C H05B 33/06 H05B 33/06 33/26 33/26 Z (72)発明者 ヨコム,ピー.,ネイル アメリカ合衆国 ニュージャージー州 プ リンストン シェイディー ブルック レ ーン 307 (72)発明者 サルスマン,ケネス,イー. アメリカ合衆国 ワシントン州 ブラッシ ュプレーリー 188ティーエイチ コート ノースイースト 17600

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1.第一の平坦な表面と該第一の平坦な表面に平行な第二の平坦な表面を有する セラミック基板を備え、 前記第一の平坦な表面に搭載された複数のエレィトロルミネッセント・セルを 備え、 前記エレィトロルミネッセント・セルを駆動するための複数のドライバ回路を 備え、前記複数のドライバ回路は前記第二の平坦な表面上に搭載され、前記ドラ イバ回路の少くともいくつかは前記エレィトロルミネッセント・セルの内の選択 されたもの(ones)の後ろに直接に配置され、 該複数のエレィトロルミネッセント・セルを該複数のドライバ回路の内のそれ ぞれのもの(ones)へ結合し、前記セラミック基板を通して延びる複数のコネク タと、 を備えるエレィトロルミネッセント・ディスプレイ。 2.請求項1に記載のディスプレイにおいて、 該セラミック基板は、前記第一および第二の平坦な表面に垂直な端面を含み、 前記端面は第二のセラミック基板と該セラミック基板を電気的に接続するための コネクタを含む。 3.請求項2に記載のディスプレイにおいて、 該セラミック基板は、前記セラミック基板の端面を前記第二のセラミック基板 の端面に向けて接することによって前記第二のセラミック基板に電気的に接続さ れ、前記端面の各々は電気的なコネクタを含む。 4.請求項1に記載のディスプレイにおいて、 前記複数のエレィトロルミネッセント・セルの内のもの(ones)は、前記第一 の平坦な表面の端部に隣接して配置され、前記第一の平坦な表面の端部と前記エ レィトロルミネッセント・セルの内のもの(ones)との間の間隔が前記第一の平 坦な表面の内部の部分に配置された隣接のエレィトロルミネッセント・セル間の 間隔の半分より小さい。 5.請求項4のディスプレイであって、 該セラミック基板は、前記第一の平坦な表面及び前記第二の平坦な表面に垂直 な端面を含み、大きな領域のディスプレイは複数のセラミック基板の端面を接す ることによって形成される。 6.請求項2に記載のディスプレイは、前記複数のドライバ回路から前記複数か らエレィトロルミネッセント・セルへ信号の分布を与える2個のセラミック層間 に配置される金属コア層を、更に備える。 7.電界放射性の駆動されるエレィトロルミネッセント・ディスプレイであって 、 サーメット背面電極と該サーメット背面電極に結合する薄膜蛍光体層を含む薄 膜エレクトロルミネセント・デバイスと、 前記薄膜蛍光体層からの光放射を制御するための制御信号を生成するために制 御回路部分と、 前記制御信号に反応して、選択的に電子を放出するための電界放出デバイスと 、 前記サーメット背面電極と前記電界放出デバイスとの間に真空を形成するため に排気されるために構成された空間と、を備え、 前記電界放出デバイスは、前記薄膜蛍光体層の選択された領域に光放出を引き 起こす電子を選択的に放出するディスプレイ。 8.請求項7に記載のディスプレイであって、前記サーメット背面電極がアルミ ニウム酸化物から構成される。 9.電子ビーム駆動されるエレィトロルミネッセント・ディスプレイであって、 サーメット背面電極と該サーメット背面電極に結合された薄膜蛍光体層とを含 む薄膜エレィトロルミネッセント・デバイスと、 電子ビームを生成するための電子ビーム源と、 該電子ビームの位置を制御するための制御手段と、 空間は、前記サーメット背面電極と前記電子ビーム源との間に真空を形成する ために構成された空間と、を備え、 前記電子ビーム源によって生成される前記電子ビームは、前記薄膜蛍光体層の 選択された領域に光放出を引き起こすサーメット背面電極と接触する、 エレィトロルミネッセント・ディスプレイ。
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