JPH11514706A - ガラス用被膜 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 本発明は、インジウム酸化物を含有するフラットガラスの被覆剤に関する。所望に応じて例えば錫をドープされたインジウム酸化物被覆剤は、インジウム前駆物質の化合物と酸素源との気体混合物を高温のガラス表面に向ける化学蒸着プロセスを用いて高い歩留まりで製造される。好ましいインジウム前駆物質化合物は、ジアルキルインジウム化合物（予備混合無しに用いることができ、酸素源とは別にガラス表面に供給される）である。本発明のプロセスは、生産ラインに載った途切れのないガラスリボンに、ドープされた酸化インジウム被覆剤を塗布するのに特に適したものであり、またこの生産ラインにより、例えば被覆剤の低放射率を利用した建築用窓ガラスとして用いられるガラスが形成される。

Description

【発明の詳細な説明】 ガラス用被膜発明の背景 本発明は、インジウム酸化物を含有するガラス用熱分解被覆剤に関し、本発明 の方法によって被覆するガラスに関する。 インジウム酸化物被覆剤、特に（例えばフッ素又は錫で）ドープされたガラス 用のインジウム酸化物被覆剤は、高い可視光線透過率及び良好な導電性を有する ことが知られている。反応スパッタリングにより蒸着された錫でドープされたイ ンジウム酸化物被覆剤は、加熱可能な被覆剤として、例えば航空機の風防ガラス のように幅広く使用されており、窓ガラスを通した熱損失を制御するべく、建築 用ガラス用に被覆される低放射率（赤外線反射性）被覆剤としてのドープされた インジウム酸化物被覆剤を使用することも提案されてきた。 反応スパッタリングによりガラス上に錫ドープ酸化インジウム被覆剤を蒸着す る技術が知られているが、このような被覆剤を大気圧の下で高温のガラス上に熱 分解的に蒸着する産業的に利用可能な方法が必要とされている。低圧下で動作す ることが必要であるだけでなく、このような方法は、高速で蒸着可能な場合、ガ ラスの生産ライン上にある高温のガラスに適用して、被覆プロセスが一括に（ba tchwise）ではなく連続的に行われるようにすることが可能である。 米国特許第４，２８６，００９号は、太陽熱収集器の熱吸収表面用の複合型（ composite）被覆剤に関連している。複合型被覆剤の２つの層のそれぞれは、錫 、アンチモン、インジウム、及び鉄の酸化物からなる材料群から選択された金属 酸化物からなる。錫酸化物をドープした酸化インジウム被覆剤は６５０°Ｃで高 温のガラス上にエチルアセテート（ethyl acetate）に溶解された塩化インジウ ム（ＩｎＣｌ₃）及び塩化 第二錫（ＳｎＣｌ₄）を噴霧することによって被着される。 ヨーロッパ特許ＥＰ ０ ０２７ ４０３Ｂ１は、高温の表面に錫又はインジ ウム化合物の蒸気を接触させることにより高温のガラス表面上への錫酸化物又は インジウム酸化物の導電性被膜の被着する方法に関する。これは特に気体有機フ ッ素化合物を使用するものであり、このフッ素化合物は加熱され触媒と接触させ られ、次いでガラスとインジウム又は錫化合物の蒸気とが接触させられて、フッ 素ドーパントが形成されたインジウム酸化物又は錫酸化物の被覆剤に導入される 。一般に、この被覆処理は、４００°Ｃ以上のガラス温度で実行されるのが好ま しく、特定の実施例においては、ジメチル塩化第１錫、（ＣＨ₃）₂ＳｎＣｌ₂、 及びジクロロジフルオロメタン（Ｃｌ₂Ｆ₂）を含有する気体混合物が、５５０° Ｃで高温のガラスに塗布され、フッ素をドープした錫酸化物被覆剤がガラス上に 被着される。 ヨーロッパ特許出願ＥＰ ０ ０９２ ００９Ａ２は、高温のガラス上へのイ ンジウム酸化物被膜の形成に関連し、特にインジウム酸化物前駆物質を、例えば フロートバスから排出されたガラス温度６００°Ｃの高温のフロートガラスリボ ンに塗布するプロセスに関連する。この発明では、溶液、特にアセチルアセトネ ート（acetylacetonate）に溶解されたインジウム化合物の使用について述べて いるが、これらの化合物は粉末で使用するには適さないということも示されてい る。この発明は、溶液又は粉末のいずれかのインジウムギ酸塩Ｉｎ（ＨＣＯＯ）₃ の使用をその目的としている。 ヨーロッパ特許出願ＥＰ ０ ４８９ ６２１Ａ１は、亜鉛酸化物、錫酸化物 、チタン酸化物、又はインジウム酸化物を含む他の酸化物が結合されたアルミニ ウム酸化物のガラス支持体上の被膜の形成のためのプロセスに関する。この被膜 は、ガラス基板と低放射率で低導電性の、或 いは何れか一方の性質を有する上側層との間の層の（抗真珠光沢被膜（anti-iri descence coating）としての）中間被膜を形成するべく意図されたものである。 この被膜は、粉末の金属化合物を高温のガラス表面上で熱分解することにより形 成され、インジウム酸化物源として、粉末のインジウムアセチルアセトネート（ indium acetylacetonate）又はインジウムギ酸塩を使用することが提案されてい る。 ヨーロッパ特許出願ＥＰ ０ ５０３ ３８２Ａ１は、ドープ酸化インジウム 被膜をガラス基板上に形成するための化学蒸着法に関連している。ここに開示さ れた方法では、インジウム源及び酸化ガス源の個別の層流が不活性ガスの中間流 により一時的に分離されて、加熱された基板（ガラスでありうる）を通過し化学 反応チャンバに入る。インジウム源は加熱された基板の表面上に吸収され得るも のであり、酸化ガスが吸収層と反応してインジウム酸化層を形成できるように、 不活性ガスの中間流が酸化ガスが通過する速度を制御する。インジウム源として 蒸気形態で使用され得る化合物の例には、トリメチルインジウム（trimethylind ium）及びトリメチルインジウムエチルエーテラート（trimethylindium ethylet herate）がある。 ガラス生産工程の中で大気圧下における加熱されたガラス上への蒸着によって 商業的利用が可能なドープ酸化インジウム被覆剤の被膜を形成するための様々な 努力にもかかわらず、このような方法による酸化インジウム被膜の産業上利用可 能な生産は未だ実現されていない。 このような産業上利用可能な（生産ライン上で被膜を形成する）オンライン法 を用いる場合は、化学蒸着（ＣＶＤ）プロセスを利用するのが非常に有利であり 、インジウム源及び酸素源の双方を含む予備混合された蒸気を高温のガラスに被 着させるのが有利であることが分かった。これらの方法を採用することに被着さ れるインジウム前駆物質の量の点か ら言って被膜形成を高い歩留まりで行うことが可能となるからである。 本発明の一側面によれば、酸化インジウム被膜をフラットガラス上に形成する ためのプロセスであって、インジウム化合物と酸素源との気体混合物を高温のガ ラス表面に向けて、インジウム化合物が分解し、前記高温のガラス表面上に酸化 インジウム被膜が形成される過程を含むことを特徴とするプロセスが提供される 。 また、化学蒸着により高温のガラスにインジウム酸化物被膜を形成するための プロセスにおいて、酸化インジウム被膜の前駆物質としてはジアルキルインジウ ム化合物が特に適していることがわかった。 本発明の更に別の側面によれば、フラットガラスに酸化インジウム被膜を形成 するためのプロセスであって、酸素源の存在の下で、高温のガラス表面上に蒸気 形態のジアルキルインジウム化合物を向け、インジウム化合物が分解し、前記高 温のガラス表面上に酸化インジウム被膜が形成される過程を含むことを特徴とす るプロセスが提供される。このジアルキルインジウム化合物は、必ずしもそうで ある必要はないが、高温のガラス表面上に向けられる前に酸素源と予備混合され るのが好ましい。 ガラス上に向けられる前にインジウム化合物が酸素源と予備混合される場合、 この混合物は層流条件の下で高温のガラス表面に向けられるのが好ましい。 本発明のプロセス（特に層流条件の下で予め形成された酸素源とインジウム前 駆物質化合物との気体混合物を被着する過程を含むプロセス）により、供給され るインジウム前駆物質の量が多いため、酸化インジウム被膜を高い歩留まりで形 成することが可能となる。インジウムは高価であるため、このことは極めて重要 な利点である。 本発明の好適実施例によれば、このプロセスにより形成される酸化インジウム 被膜において、前駆物質として供給されるインジウムの少なく とも３０％、特に好適な実施例では３５％以上のインジウムの組み込みがなされ る。良好な導電性と低い放射率（即ち高い赤外線反射率）、或いは何れか一方の 特性を得るために、インジウム酸化物にドープを施すのが好ましい。ドーパント としては錫が好ましいが、これはインジウム酸化物への錫酸化物の高い溶解度に より高濃度の電荷キャリアが得られるからである。従って、インジウム酸化物と 共に蒸気形態の錫化合物を使用することにより、錫をドープされたインジウム酸 化物、即ち錫ドープ酸化インジウム被膜が高温のガラス表面上に形成されるのが 好ましい、好ましくは、錫化合物にインジウム化合物が添加され、錫とインジウ ム化合物との気体混合物が高温のガラス表面に向けられる。 しかし、他のドーパントを用いても良い。例えば、フッ素源を高温のガラス表 面上に向けられる気体に組み込んで、フッ素ドープ酸化インジウム被膜を形成す るようにしても良い。独立したフッ素源、例えばフッ化水素や、ハロゲンがフッ 素を含むハロゲン置換アルカンが、インジウム化合物を含有する反応ガスに含め られてもよく、またはインジウム化合物を含むフッ素、例えばインジウムトリフ ルオロアセチルアセトナーテ（indium trifluoroacetylacetonate）がインジウ ム源兼フッ素源として使用されてもよい。 この被膜剤はガラス製造工程において高温のガラスリボンに塗布されうる。こ の被膜がフロートバス上に浮かべられたフロートガスに塗布される場合、（ガラ スが高温であるため）高速の蒸着が達成され、ガラスは十分に高温を保ったまま 、ガラスの再加熱を行うことなく熱分解プロセス（好ましくは化学蒸着）により １又は２以上の上塗り層が形成される。酸化インジウム被膜は、高温のガラス表 面上に直接形成されるか、若しくは以前に形成された１又は２以上の被膜層上に 形成されうる。このような被膜層の例にはシリコンオキシカーバイド（silicon oxycarbide）層があり、これを前もって被着しておくことにより、この層がなけ ればインジウム酸化物被覆から生じてしまう真珠光沢が抑えられる効果と、ガラ スから被膜へのアルカリ金属の移行による有害な作用から被膜を保護する効果と の双方または何れか一方の効果が得られる。（Ｐ７ａ）本発明は、以下の実施例 において説明されているが、本発明の範囲はこれに限定されない。以下の実施例 の説明での記述で、「部」及び「バーセンテージ」は、特に断りがない限り全て 重量部及び重量パーセントである。ガスの容積及び流れは、１気圧及び周囲温度 （典型的には１５〜２０°Ｃ）における測定値である。窒素及び酸素ガスは、Ｂ ＯＣ、により供給された時に使用された。窒素は「ホワイトスポット（white sp ot）」グレードか、「ボイルオフ（boil off）」である。移動するガラスリボン に被覆剤が塗布されるような実施例においては、１つの容積及び流れ（及び使用 される他の試薬の量）の数値は、被膜が形成されたガラスの１ｍ幅単位で見積も られる。数値が推定される変換効率はインジウムに対するものであり、酸化イン ジウム被膜へのインジウムの組み込み率をインジウムの供給速度で割ることによ って計算され、計算結果はパーセンテージで示される。被膜内のインジウムの量 （即ちこの組み込み率）は、被膜が１ｃｍ³あたり７．１８グラムの密度を有す るインジウム酸化物のみから成るとの仮定の下で、酸化インジウム被膜の寸法か ら求められる。実施例１〜７ この一連の実施例においては、予め形成されたインジウム前駆物質化合物と酸 素との気体混合物が、ガラスリアクタチューブ内の電気的に加熱されたグラファ イトブロック上に載置された４ｍｍの厚みの透明なフロートガラスのサンプル（ １００ｍｍ×２００ｍｍ）上に向けられた。露出されたガラス主表面には、ＥＰ ０ ２７５ ６６２Ｂに従って塗 布された屈折率が約１．７のシリコンオキシカーバイドの下塗り層が予めコーテ ィングされていた。 実施例１，４、及び５においては、ジメチルインジウムアセチルアセトナーテ （２，４ ペンタンジオン）が、逆バブル法（reverse bubbling）と称される技 術により気化された。粒子形状の固体インジウム化合物はバブラ内に設置され、 窒素ガスが固体材料の上のバブラに通された。窒素ガスは粒子固体を通して分散 し、その開放端が粒子固体の表面の下に沈められたチューブを通してバブラから 抜け出した。それぞれの場合において、インジウム化合物は気化処理の間８０° Ｃの温度に維持された。各実施例におけるバブラを通過する窒素の流量は、表１ に示されている。 実施例２において、ジメチルインジウムアセチルアセトナーテ（dimethylindi um acetylacetonate）は、約１０％の濃度となるよにｎ−プロピルアセテート（ n-propylacetate）に溶解され、この溶液は２００°Ｃの窒素ガスの流れ（３リ ットル／分）に１分あたり１〜５ミリリットルの流量で注入された。 実施例３、６、及び７において、インジウムトリステトラメチルヘプタンエデ ィオン（indium tristetramethylheptanedione）（融点約１８０°Ｃ）はバブラ 内で２００°Ｃに維持され、窒素は、０．２リットル／分の流量で、その気泡を 液体インジウム化合物に通される。 それぞれの場合において、インジウム化合物蒸気を連行する窒素ガスは、追加 の窒素及び酸素の流れ（表１に示す流量で供給される）と混合させられ、生成さ れた気体混合物は、層流条件のもと１分あたり約５／６リットルの流量で高温の ガラス表面に沿って流された。グラファイトブロック（graphite block）は、６ ２５°Ｃの温度まで加熱され、ガラス温度はそれより約１０〜１５°Ｃ低かった 。 実施例４〜７のそれぞれにおいて、錫ドーパントは、気化されたイン ジウム化合物と混合され、気体混合物は高温のガラス表面に向けられた。 実施例４において、ｎ−ブチルアセテート（n-butyl acetate）に溶解された ジメチル二塩化錫（dimethyltindichloride）（０．２５グラム）の溶液は、加 熱されたガラスに供給される前に、１分あたり０．７５ミリリットルの流量で、 用いられる気体混合物に注入された。 実施例５において、窒素は１分あたり１リットルの流量で、その気泡が３０° Ｃの温度のジメチル二塩化錫に通された。実施例６において、窒素は１分あたり ０．８リットルの流量で、３０〜３５°Ｃの範囲の温度でジメチル二塩化錫に通 された。実施例７において、窒素は、１分あたり０．５リットルの流量で３０〜 ３５°Ｃのジメチル二塩化錫に通された。それぞれの場合において、錫ドーパン トを担持する窒素ガスは、高温のガラス表面上に供給される前に、ガスを含有す るインジウムと混合させられた。 それぞれの場合において、蒸着プロセスは、表に示す時間だけ持続させられた 。蒸着処理の後、（Ｎ₂の流れのもとで）リアクタが冷却されて、冷却の後、ガ ラスが取り除かれ検査された。それぞれの場合において、酸化インジウム被膜が 形成された。被膜の厚み及び抵抗率、ヘーズ（Ｄ６５光源オプションを用いて、 ＡＳＴＭ Ｄ１００３−６１、１９８８の方法によって決定されるもの）、及び 実施例２、６、及び７については、被膜を形成されたガラスの放射率（ＢＳ６９ ９３ ｐａｒｔ１の方法に従って求められるもの）が測定された。測定結果は表 ２に示してある。実施例によっては、被膜のインジウム酸化物の厚みに著しい変 化が見られた。抵抗値、ヘーズ、放射率の値は、被膜が表２に示された厚みを有 する場合の測定値である。 一般に、これらの実施例は、ガラス上へのインジウム酸化物被覆剤の蒸着のた めに使用されるインジウム前駆物質の適性、錫ドーピングのた めに使用される前駆物質の混和性、及び（特にドーパントが使用される時の）導 電性で低放射率の被膜の生成可能性を示している。 結果を検討すると、実施例２のものが他の実施例のものより概ね高い成長速度 を示している。このことは予測されうることである。というのは、インジウム化 合物（液体注入）に対して用いられる気化の方法により、気化される前駆物質の 量を増やすことが可能となり、ガラスに向けられる被覆剤におけるインジウムの 濃度を増加することができるからである。 ヘーズの値は、通常産業的に許容範囲のレベルにあるが、実施例５のものは他 の実施例のものよりいくらかヘーズの数値が高い。この図５でヘーズ値が高い理 由は良く分かっていない。予想されたように、面抵抗及び放射率は、錫ドーパン トを使用して調製された被覆剤については、同じ厚みのフッ素ドープ錫酸化物被 膜についての測定値と比較して概ね低い。この理由は、ドープされた被覆剤が示 す高い担体濃度及びイオン移動度のためであると考えられる。実施例４、６、及 び７の被膜におけるイオン移動度の測定値は、４３．１５、４５．５７、及び５ ０．４２ｃｍ² Ｖ^-1ｓｅｃ^-1であり、対応する担体濃度の値は７．３８、６． １９、及び３．４２×１０²⁶Ｍ^-3である。 ¹ジメチルインジウム アセチルアセトナーテ ²インジウム トリステトラメチルヘブタンエディオナーテ ³ジメチル二塩化錫 ⁴ジメチル錫ジアセタート ¹ジメチルインジウム アセチルアセトナーテ ²インジウム トリステトラメチルヘプタンエディオナーテ ³ジメチル二塩化錫 ⁴ジメチル錫ジアセタート 実施例８〜２０ 以下の実施例８〜２０のそれぞれは、ガラス製造工程において、１５〜３３０ ｍ／時間の速度でガラス焼きなまし炉を移動する、厚みが１．１〜４ｍｍの高温 のフロートガラスのリボンへのインジウム酸化物被覆剤の塗布に関する。 それぞれの場合において、インジウム前駆物質化合物及び酸素を含む予め形成 された気体混合物は、英国特許ＧＢ １ ５０７ ９９６に概要が記載されてい る方法に従って、層流条件のもとでフロートガスバスの表面に流された。 実施例８〜１６、１９及び２０のそれぞれにおいて、塗布機はフロートバスの クーラー側の末端に向けて設置された。そこではガラス温度が 約６２５°Ｃであった。実施例１７及び１８において、塗布機は、ガラス焼きな まし炉上の、ガラス温度が約５００°Ｃの位置にあるガラスリボンの上に設置さ れた。 実施例８において、ジメチルインジウムアセチルアセトナーテ（dimethylindi um acetylacetonate）の気化は、１時間あたり２〜１２リットルの範囲の流量で 、その融点（即ち１４８°Ｃ）を越える温度でインジウム化合物に窒素の気泡を 通すことにより行われた。プロピルアセテート（propyl acetate）は、１分あた り１００ｇからプロピルアセテートの存在についてのシステムの許容範囲の限界 までの流量で、インジウム化合物を連行する窒素ガスに注入され得る（プロピル アセテートは実施例９においてインジウム化合物の溶媒として用いられる）。実 施例９において、ジメチルインジウムアセチルアセトナーテは約１０％の濃度で プロピルアセテートに溶解され、その溶液は１分あたり２００グラムの流量で１ 分あたり４５リットルの流量である窒素キャリアガスに注入され、約１６０°Ｃ まで加熱された。 実施例１０において、インジウムトリステトラメチルヘプタンエディオナーテ （indium tristetramethylheptanedionate）は、２２０〜２５０°Ｃでバブラ内 に維持され、窒素は１分あたり２〜８リットルの範囲の流量で、その気泡が液体 インジウム化合物を通された。エチルアセテートは、インジウム化合物を連行す る窒素ガスに１分あたり１００ミリリットルの流量で注入された。 実施例８、９、及び１０のそれぞれにおいて、インジウム化合物の蒸気を連行 する窒素ガスは、表３に示すように、窒素キャリアガス及び酸素の（実施例８及 び１０）又は酸素（実施例９）の追加の流れと混合され、気体混合物は塗布機に 通された。 実施例１１〜２０において、インジウム化合物（エチルアセテート （ethylacetate）に溶解されたジメチル塩化インジウム（dimethylindium chlor ide）、ジメチルインジウムヘキサフルオロアセチルアセトナーテ（dimethylind ium hexafluoroacetylacetonate）、又はジメチルインジウムアセチルアセトナ ーテ（dimethylindium acetylacetonate））は、米国マサチューセッツ州ボスト ンのＡｄｖａｎｃｅｄ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ社製のＳＰ ＡＲＴＡ １５０５Ａや、米国特許第５，０９０，９８５号に記載されているシ ステムのような直接液体注入システムを用いて気化された。これらのシステムは 制御された流量でエバポレータに前駆物質溶液を供給するポンプシステムを採用 しており、このエバポレータで液体が気化され、通常一定の流量でキャリアガス が加えられる。更にこのキャリアガスは気化が行われた後にも所望の濃度及び流 れの特性を得るために追加され得る。実施例１１〜２０のそれぞれにおいて使用 される特定のインジウム化合物供給の流量、キャリアガス及び前キャリアガスの 流量は、表３に示されている。インジウム化合物及び蒸気を含むキャリアガスは 、実施理恵によっては、水蒸気や塩化水素、あるいはその双方を含む（表３参照 ）酸素の流れと混合され、この気体混合物は塗布機を通して高温のガラスに向け られた。 実施例１１〜１５、１９及び２０のそれぞれにおいて、錫ドーパントがガス混 合物に添加された。窒素は、９５°Ｃの液体ｎ−ブチル錫トリクロライド（n-bu tyl tin-trichloride）又は３０°Ｃのテトラメチル錫（tetramethyl tin）に表 に示す流量で気泡として通され、得られた気体は炭素ガスと混合させられて塗布 器に供給された。 ⁵ジメチルインジウム塩化物 ⁶ジメチルインジウムヘキサフルオロアセチルアセトナーテ ⁷実施例８及び１０において、インジウム化合物を充たした窒素に添加され る追加のＮ₂キャリアガスの量 ⁵ジメチルインジウム塩化物⁶ ジメチルインジウムヘキサフルオロアセチルアセトナーテ⁷ 実施例８及び１０において、インジウム化合物を充たした窒素に添加される追 加のＮ₂キャリアガスの量 それぞれの場合において、インジウム酸化物被覆剤がガラスの上に形成された 。実施例１７および１８を除く全ての場合において、被膜の厚み及び抵抗率が測 定され、被膜の成長速度が計算され、前駆物質におけるインジウムの転換効率が 上記のように計算された。転換効率の計算により概算値しか得られない（それで も十分役立つ数値は得られる）が、これは被膜において錫ドーパントの存在又は 被膜の密度についての上述の数値７．１８からのずれが考慮され得ないからであ る。 高い成長速度及び変換効率は、特にジアルキル前駆物質の場合に達成され、プ ロセスの産業上の利用についての適性を示すが、被膜の面抵抗値の測定値は電気 的な特性を示し、これにより低い放射率、即ち高い赤外線反射率が得られる。実施例２１〜２３ これらの実施例のそれぞれは、時速１５５ｍの速度でガラス焼きなまし炉を移 動する約２．５ミリメートルの厚みのフロートガラスのリボン上での錫ドープ酸 化インジウム被膜の形成を行う実施例である。それぞ れの場合において、ヘリウムキャリアガスに混合されたジメチル塩化インジウム （dimethyl indium chloride）、酸素、水蒸気、及び塩化水素の予め形成された 気体混合物が、二重流れ塗布機（dual flow coater）を用いて層流条件のもとで ガラス上に向けられるが、前記二重流れ塗布機では、ガラスの進行方向に対して 垂直な向きに向けられた中央ガス供給ダクトからの個別の上流及び下流流れの形 態でキャリアガスが流される（国際特許出願ＷＯ ９６／１１８０２の第３図に 示されたコーティングに類似したもの）。 塗布機の設置された位置は、フロートバス内のガラス温度が約６２５°Ｃにな る点におけるガラスリボンの上であった。 酢酸エチル（ethyl acetate）に溶解された１９モル％ジメチル塩化インジウ ムの溶液は、１分あたり３０ミリリットル気化され、実施例１１〜２０において 使用されたのと同じ直接液体注入システムを用いて１分あたり１１０リットルの 流量で流れるヘリウムキャリアガス流れに混合される。インジウム化合物の蒸気 を含有するキャリアガスは、（ａ）１分あたり１７．４リットル（実施例２３で は１分あたり６リットル）の水蒸気を含む１分あたり１０リットルの酸素、及び １分あたり１．１リットル（実施例２３においては１分あたり８リットル）の塩 化水素、及び（ｂ）１分あたり６リットル（実施例２２においては１分あたり１ ５リットル）で９５°Ｃの気体ｎ−ブチル錫トリクロライドを気泡として通され る窒素により形成されるｎ−ブチル錫トリクロライドの混合流れと混合させられ た。錫ドープ酸化インジウムの被膜は、それぞれの場合において、ガラス上に被 着形成され、被膜の厚み、被膜成長速度、及びその面抵抗値は、インジウム変換 効率の概算値と共に表５に示されている。 実施例２４ この実施例においては、予め形成された、インジウムトリフルオロアセチルア セトナーテ（indium trifluoroacetylacetonate）と酸素との気体混合物が用い られて、研究室内に設置された静止炉内の薄い（０．０７０インチ、約２ミリメ ートル）厚みのフロートガラスサンプル上にフッ素ドープ酸化インジウム被膜が 形成された。 このガラス基板は静止炉内の電気的に加熱されたニッケルブロック上に設置さ れ、温度が１２００°Ｆ（６５０°Ｃ）に維持された。矩形のチャネルがガラス 基板の上及び周りに設けられた。このチャネルは従来のオイルベースの熱伝達媒 体を備えた冷却コイルにより約５００°Ｆ（２６０°Ｃ）の温度に維持される上 側表面を有していた。矩形チャネルは、被覆剤前駆物質ガスをガラス基板の表面 近くに導くための塗布手段としての役目を果たす。前駆物質ガスは矩形チャネル の上側表面とガラス基板との間に誘導された。 フッ素ドープ酸化インジウム被覆剤は、前駆物質としてインジウムトリフルオ ロアセチルアセトナーテを用いることにより基板上に被着された。このインジウ ムトリフルオロアセチルアセトナーテは、１分あたり３００ｃｍ³の流量で、温 度が３６６°Ｆ（１８５°Ｃ）の液体インジウム化合物にヘリウムを通すことに より気化された。 インジウム化合物を連行するヘリウムガスは、追加のヘリウムの流れ（２．５ リットル／分）及び追加の酸素の流れ（４．５リットル／分） と混合され、生成されたガス混合物（全流量が約７．３リットル／分）が高温の ガラス表面に向けられた。約２分後、インジウム及び酸素の流れは止められて、 炉が冷却されうる状態となり、ガラスが取り除かれ検査された。フッ素ドープ酸 化インジウム被覆剤は、１分あたり３．１ｎｍの成長速度で形成され、面抵抗値 は２７オーム／□となった。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (81)指定国 ＥＰ(ＡＴ，ＢＥ，ＣＨ，ＤＥ， ＤＫ，ＥＳ，ＦＩ，ＦＲ，ＧＢ，ＧＲ，ＩＥ，ＩＴ，Ｌ Ｕ，ＭＣ，ＮＬ，ＰＴ，ＳＥ)，ＯＡ(ＢＦ，ＢＪ，ＣＦ ，ＣＧ，ＣＩ，ＣＭ，ＧＡ，ＧＮ，ＭＬ，ＭＲ，ＮＥ， ＳＮ，ＴＤ，ＴＧ)，ＡＰ(ＧＨ，ＫＥ，ＬＳ，ＭＷ，Ｓ Ｄ，ＳＺ，ＵＧ，ＺＷ)，ＵＡ(ＡＭ，ＡＺ，ＢＹ，ＫＧ ，ＫＺ，ＭＤ，ＲＵ，ＴＪ，ＴＭ)，ＡＬ，ＡＭ，ＡＴ ，ＡＵ，ＡＺ，ＢＡ，ＢＢ，ＢＧ，ＢＲ，ＢＹ，ＣＡ， ＣＨ，ＣＮ，ＣＵ，ＣＺ，ＤＥ，ＤＫ，ＥＥ，ＥＳ，Ｆ Ｉ，ＧＢ，ＧＥ，ＨＵ，ＩＬ，ＩＳ，ＪＰ，ＫＥ，ＫＧ ，ＫＰ，ＫＲ，ＫＺ，ＬＣ，ＬＫ，ＬＲ，ＬＳ，ＬＴ， ＬＵ，ＬＶ，ＭＤ，ＭＧ，ＭＫ，ＭＮ，ＭＷ，ＭＸ，Ｎ Ｏ，ＮＺ，ＰＬ，ＰＴ，ＲＯ，ＲＵ，ＳＤ，ＳＥ，ＳＧ ，ＳＩ，ＳＫ，ＳＬ，ＴＪ，ＴＭ，ＴＲ，ＴＴ，ＵＡ， ＵＧ，ＵＺ，ＶＮ，ＹＵ，ＺＷ (72)発明者 ストリックラー、デイビッド・エイ アメリカ合衆国オハイオ州43606・トリ ド・バリントンドライブ 2339 (72)発明者 サンダーソン、ケビン・ディー イギリス国ランカシャ・エル39 ２エイチ ディー・オームスカーク・ブルックランズ 32

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．インジウム酸化物被覆剤のフラットガラス上への塗布のためのプロセスであ って、 インジウム化合物と酸素源との気体混合物を高温のガラス表面に向ける過程を 有することを特徴とし、 前記インジウム化合物が分解して前記高温のガラス表面上にインジウム酸化物 被膜が形成されることを特徴とするフラットガラス上へのインジウム酸化物被覆 剤の塗布のためのプロセス。 ２．前記インジウム化合物が前記ガラスに向けられる前に酸素源と混合され、前 記混合物が層流条件の下で前記高温のガラス表面上に向けられることを特徴とす る請求項１に記載のプロセス。 ３．錫化合物が前記インジウム化合物とともに用いられて、前記高温のガラス表 面上に錫ドープ酸化インジウム被膜が形成されることを特徴とする請求項１に記 載のプロセス。 ４．前記錫化合物が前記インジウム化合物と混合され、前記錫及びインジウム化 合物を含有する気体混合物が前記高温のガラス表面に向けられることを特徴とす る請求項３に記載のプロセス。 ５．フッ素源が前記高温のガラス表面上に向けられる気体に含められ、フッ素ド ープ酸化インジウム被膜が前記高温のガラス表面上に形成されることを特徴とす る請求項１に記載のプロセス。 ６．フッ素含有インジウム化合物がインジウム源兼フッ素源として使用されるこ とを特徴とする請求項５に記載のプロセス。 ７．前駆物質として供給されるインジウムの少なくとも３０％が、形成される前 記インジウム酸化物被膜に組み入れられることを特徴とする請求項１に記載のプ ロセス。 ８．前記インジウム化合物が直接液体注入法により気化されることを特 徴とする請求項１に記載のプロセス。 ９．前記高温のガラス表面が高温のガラスリボンの表面であることを特徴とする 請求項１に記載のプロセス。 １０．請求項１に記載のプロセスにより製造されたインジウム酸化物被膜を備え たガラス。 １１．フラットガラスにインジウム酸化物被覆剤を塗布するためのプロセスであ って、 酸素源の存在の下、高温のガラスの表面上に蒸気形態のジアルキルインジウム 化合物を向ける過程を含むことを特徴とし、 前記インジウム化合物が分解し、前記高温のガラス表面上にインジウム酸化物 被膜を形成することを特徴とするフラットガラス上へのインジウム酸化物被覆剤 の塗布のためのプロセス。 １２．酸素源とジアルキル化合物との混合物を形成する過程と、 前記蒸気形態の混合物を前記高温のガラスの表面に向ける過程とを含むことを 特徴とする請求項１１に記載のプロセス。 １３．前記インジウム化合物が前記ガラスに向けられる前に、酸素源と混合され ることを特徴とし、 前記混合物が、層流条件の下、前記高温のガラス表面に流されることを特徴と する請求項１１に記載のプロセス。 １４．錫化合物を前記インジウム化合物とともに用いて、錫ドープ酸化インジウ ム被膜が前記高温のガラス表面上に形成されることを特徴とする請求項１１に記 載のプロセス。 １５．前記錫化合物が前記インジウム化合物と混合され、前記錫及びインジウム 化合物を含有する気体混合物が前記高温のガラス表面上に向けられることを特徴 とする請求項１４に記載のプロセス。 １６．フッ素源が、前記高温のガラス表面に向けられるガスに含められ、 フッ素ドープ酸化インジウム被膜が前記高温のガラス表面上に形成されることを 特徴とする請求項１１に記載のプロセス。 １７．フッ素含有インジウム化合物がインジウム源兼フッ素源として使用される ことを特徴とする請求項１１に記載のプロセス。 １８．前駆物質として供給されるインジウムの少なくとも３０％が、形成される インジウム酸化物被膜に組み入れられることを特徴とする請求項１１に記載のプ ロセス。 １９．前記インジウム化合物が直接液体注入法により気化されることを特徴とす る請求項１１に記載のプロセス。 ２０．前記高温のガラス表面が高温のガラスリボンの表面であることを特徴とす る請求項１１に記載のプロセス。 ２１．請求項１１に記載のプロセスによって製造されたインジウム酸化物被膜を 有するガラス。