JPH1151865A - 赤外線検出装置およびガス分析装置 - Google Patents

赤外線検出装置およびガス分析装置

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JPH1151865A
JPH1151865A JP20600397A JP20600397A JPH1151865A JP H1151865 A JPH1151865 A JP H1151865A JP 20600397 A JP20600397 A JP 20600397A JP 20600397 A JP20600397 A JP 20600397A JP H1151865 A JPH1151865 A JP H1151865A
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伸二 山森
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    • G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
    • G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
    • G01N21/35—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 光伝導型赤外線検出素子を用いた光検出にお
いて、光伝導型赤外線検出素子の温度を一定にする手段
を不要として、光伝導型赤外線検出素子の温度補正をす
ること。 【解決手段】 第1のPbSe素子6、第2のPbSe
素子7に光源3から断続的な赤外線が照射されると、そ
の赤外線量に応じて赤外線検出回路21a,21bは電
気信号を出力する。この出力信号は一方でそのままA/
D変換器31を介してCPU32へ、他方で交流成分検
出回路22aおよび22bを介して交流信号とされてC
PU32に至る。CPU32は、EEPROM23に格
納されているPbSe素子6および7の抵抗値と感度と
の関係のデータと、赤外線検出回路21a,21bの出
力信号の直流成分に基づいて、上記交流信号を補正す
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、光伝導型赤外線検
出素子を用いた赤外線検出装置に関するものであり、ま
た、その赤外線検出装置の構成を備えたガス分析装置に
関するものである。
【0002】
【従来の技術】呼吸ガス中の炭酸ガス濃度を測定する装
置として、非分散型赤外線分析装置が知られている。こ
の原理を利用した炭酸ガス分析装置が、特願平8-262953
号に示されている。この特願平8-262953号の装置のセン
サ部の構造を図11に示す。
【0003】この図に示すように、筐体1内には、呼吸
ガスを導くエアウェイアダプタ2と、このエアウェイア
ダプタ2に赤外線を照射する光源3およびミラー4と、
エアウェイアダプタ2を透過した赤外線の一部を透過さ
せ、残りを反射させて他の方向に導くビームスプリッタ
5とが設けられている。ビームスプリッタ5を反射した
赤外線は、第1のPbSe素子6に、ビームスプリッタ
5を透過した赤外線は第2のPbSe素子7にそれぞれ
至るようにされている。第1のPbSe素子6および第
2のPbSe素子7の前面にはいずれも波長 4.3μmを
中心とする狭いバンド幅の赤外線を透過させるバンドパ
スフィルタ8、バンドパスフィルタ9がそれぞれ設けら
れている。波長 4.3μmは炭酸ガスに強く吸収される波
長である。更に、ビームスプリッタ5と第2のPbSe
素子7との間には、光透過部を有する容器に高濃度の炭
酸ガスが充填された炭酸ガスセル10が設けられてい
る。第1のPbSe素子6および第2のPbSe素子7
は、それぞれ図12に示すような検出回路に組み込まれ
ている。PbSe素子は赤外線の照射によって抵抗値が
変わる素子である。したがって、断続された赤外線が照
射されたとき、これらの検出回路の出力電圧の交流信号
は照射された赤外線量に応じている。
【0004】このような構成のセンサ部において、ビー
ムスプリッタ5を透過した断続された赤外線量を測定す
る検出回路の交流信号の振幅をVR 、ビームスプリッタ
5を反射した光量を測定する検出回路の交流信号の振幅
をVs とすると、その比Vs/VR を計算することによ
り、光源の赤外線の変動等によるドリフトに影響されず
に、ガス濃度を検出することができる。
【0005】しかしこのように比Vs /VR を求めて
も、第1のPbSe素子6および第2のPbSe素子7
のそれぞれは、感度の温度係数が異なるため、温度ドリ
フトの影響は残る。そこで従来は、ヒータとサーミスタ
を用いてPbSe素子の温度コントロールを行ってい
る。米国特許5,153,436 にその例が示されている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】このように従来は光伝
導型赤外線検出素子の温度を一定にするために、ヒー
タ、サーミスタ、温度コントロール回路が必要であっ
た。このため製造コストが高くなる、消費電力が大きく
なる、ウォームアップ時間が長くなるといった問題があ
った。
【0007】本発明の目的は、光伝導型赤外線検出素子
の温度を一定にする手段を不要とし、光伝導型赤外線検
出素子の温度ドリフトを補正する赤外線検出装置およ
び、その赤外線検出装置の構成を備えたガス分析装置を
提供することである。
【0008】
【課題を解決するための手段】請求項1の赤外線検出装
置は、断続的な光を発生する光源と、この光源からの光
を測定対象物を介して照射される光伝導型赤外線検出素
子を有し、この光伝導型赤外線検出素子の抵抗値に応じ
た電気信号を出力する信号出力手段と、この信号出力手
段の出力信号から交流成分を検出する交流成分検出手段
と、前記光伝導型赤外線検出素子について抵抗値と感度
に関する固有のデータを記憶する記憶手段と、この記憶
手段が記憶したデータと、前記信号出力手段が出力する
信号の直流成分とに基づいて前記交流成分検出手段が検
出した交流成分を補正する補正手段と、を具備する。
【0009】このような構成において、光伝導型赤外線
検出素子は、照射される光の量に応じて抵抗値が変化す
る。信号出力手段は、この抵抗値に応じた電気信号を出
力する。信号出力手段の出力信号のうち交流成分は交流
成分検出手段によって検出される。この交流成分は測定
対象物を介して断続的に照射される光の量に対応してい
る。補正手段は、この交流成分を記憶手段が記憶したデ
ータと、前記信号出力手段が出力する信号の直流成分と
に基づいて補正する。
【0010】請求項2の赤外線検出装置は、請求項1の
装置において、測定対象物は炭酸ガスを含むガス体であ
ることを特徴とする。
【0011】請求項3の赤外線検出装置は、請求項1の
装置において、光伝導型赤外線検出素子はPbSe素子
であることを特徴とする。
【0012】請求項4のガス分析装置は、請求項1の赤
外線検出装置の構成に、その補正手段によって補正され
た前記交流成分に基づいて前記測定対象ガスの濃度を検
出するガス濃度検出手段を付加したものである。
【0013】このような構成において、補正手段が交流
成分を補正するまでは請求項1の装置と同じであり、ガ
ス濃度検出手段は、その補正手段によって補正された前
記交流成分に基づいて前記測定対象ガスの濃度を検出す
る。
【0014】請求項5のガス分析装置は、請求項4の装
置において、測定対象ガスは炭酸ガスであることを特徴
とする。
【0015】請求項6のガス分析装置は、請求項4の装
置において、光伝導型赤外線検出素子はPbSe素子で
あることを特徴とする。
【0016】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を説明する。
まず、本実施の形態の原理的説明を行う。前述のように
PbSe素子は、赤外線の照射により抵抗値が変化する
光伝導型赤外線検出素子である。その抵抗値は、また、
温度によっても大きく変わり、それに伴って感度も変化
する。一般にこの種の測定においては、2つの素子が用
いられるが、一方は信号検出用(Signal)素子とされ、
他方は参照用(Reference )素子とされる。これら各素
子の暗抵抗(光が照射されていないときの抵抗値Rd1,
Rd2)と、温度との関係は素子によって異なり、それぞ
れは図3に示すような一義的な関係にあるので、暗抵抗
Rd1,Rd2を測定することにより、それぞれの素子の温
度を知ることができる。ここで検出回路が図12に示し
た構成であるとすると、例えばチョッパー等によって断
続された赤外線がPbSe素子に照射されたとき、その
出力Vout は図2に示すようになる。これによると赤外
線が入射しないときは、その出力はDC(直流)信号で
ある。このDC信号の値VDCを検出すれば、暗抵抗Rd
は、次の式より求めることができる。 Rd =V×R/VDC (V;一定)……(1)
【0017】また、断続的に赤外線がPbSe素子に照
射されるので、図2に示すように赤外線量に比例した交
流信号の振幅VACが得られる。
【0018】赤外線量が一定の条件下での2つの検出回
路の交流信号の振幅VS ,VR と温度との関係を図4に
示す。また、暗抵抗と感度とは図5に示すような関係で
あり、各素子について予め測定しておく。ここで、感度
は20℃における交流信号の振幅を1としたときの交流
信号の振幅である。
【0019】従って、DC信号の値VDCを求めれば、暗
抵抗Rd を求めることができ、これによって温度が分か
り、この温度から感度を得ることができ、この感度によ
りAC信号の値を素子が20℃のときの値に補正するこ
とができる。
【0020】図1は上記の原理を用いた炭酸ガス分析装
置のブロック図である。この図に示すように,本装置は
センサ部20と本体部30とからなる。図1に示すセン
サ部20には、電気回路部分のみが示されている。セン
サ部20の機械的部分は、図11に示した構成と同じで
あるので説明は省略する。
【0021】センサ部20の電気回路部分を説明する。
センサ部20は、第1のPbSe素子6を有する赤外線
検出回路21aと、この赤外線検出回路21aの出力信
号からその交流成分を検出する交流成分検出回路22a
と、第2のPbSe素子7を有する赤外線検出回路21
bと、この赤外線検出回路21bの出力信号からその交
流成分を検出する交流成分検出回路22bと、光源3
と、EEPROM23を備えている。
【0022】赤外線検出回路21aは、第1のPbSe
素子6と、オペアンプと、抵抗からなる。第1のPbS
e素子6の一端は一定電圧の−15ボルトが与えられ、
他端はオペアンプの反転入力端子に接続されている。オ
ペアンプの非反転入力端子は接地されている。オペアン
プの反転入力端子と出力端子は抵抗(抵抗値をR1 とす
る)を介して接続されている。赤外線検出回路21bも
同様の構成である(この回路で用いられる抵抗の抵抗値
をR2 とする)。
【0023】交流成分検出回路22aおよび交流成分検
出回路22bはそれぞれ、コンデンサおよび抵抗から成
るハイパスフィルタとそのフィルタの出力を増幅するア
ンプから成る。
【0024】EEPROM23には、本装置で用いるP
bSe素子すなわち第1のPbSe素子6および第2の
PbSe素子7のそれぞれの温度、暗抵抗、相対感度の
関係が書き込まれている。その一例を図6に示す。これ
らの値は、恒温槽等を用いて予め測定して得る。EEP
ROM23には、炭酸ガス濃度と2つの赤外線検出回路
21a、21bの出力(素子の温度が20℃のときの出
力)の比に関する情報および式(1)に用いる抵抗値R
1 ,R2 も書き込まれている。
【0025】光源3は赤外線を放射するランプである。
【0026】本体部30は、センサ部20の赤外線検出
回路21aおよび21bから直接に与えられる信号、セ
ンサ部20の交流成分検出回路22aおよび22bから
アンプを介して与えられる信号をそれぞれデジタル信号
に変換するA/D変換器31と、このA/D変換器31
から与えられる信号およびセンサ部20のEEPROM
23に格納されているデータに基づいてデータの処理を
行い、各部を制御するCPU(中央処理装置)32を備
えている。更に本体部30は、CPU32がデータ処理
の際に用いデータの書き込み読み出しを行うRAM33
と、CPU32が行ったデータ処理の結果を表示する表
示器34と、CPU32の指示に応じて光源3を駆動す
る光源駆動部35と、この本体部30の各部とセンサ部
20の各部に電力を供給するための電源回路36を備え
ている。
【0027】センサ部20と本体部30を結ぶ各導線は
まとめられて一本のケーブルにされれている。
【0028】本実施の形態において、赤外線検出回路2
1aおよび21bが信号出力手段に相当し、交流成分検
出回路22aおよび交流成分検出回路22bが交流成分
検出手段に相当し、EEPROM23が記憶手段に相当
し、CPU32が有する交流成分の補正機能が補正手段
に相当し、CPU32が有する炭酸ガス濃度を求める機
能がガス濃度検出手段に相当する。
【0029】次にこのように構成された本装置の動作を
図7のフローチャートを参照して説明する。
【0030】電源が投入されると、CPU32はEEP
ROM23に格納されているデータを読み出してRAM
33に書き込む(S1)。そしてCPU32は光源駆動
部35に動作開始の指示を出して、光源3を37Hzで
パルス点灯させる。
【0031】光源3から放射された赤外線は、エアウェ
イアダプタ2を通過し、ビームスプリッタ5で2つに分
けられる。そのうち一方は、バンドパスフィルタ8を通
過して第1のPbSe素子6に入射し、他方は、炭酸ガ
スセル10とバンドパスフィルタ9を通過した後、第2
のPbSe素子7に入射する。
【0032】赤外線検出回路21aの出力は一方ではそ
のまま直流信号DC1として、A/D変換器31に至
り、他方では交流成分検出回路22aで交流成分が抽出
されその交流信号AC1がA/D変換器31に至る。赤
外線検出回路21aの出力も同様にして処理され直流信
号DC2と交流信号AC2がそれぞれA/D変換器31
に至る。A/D変換器31ではこれらの与えられた信号
をデジタル化する(S2)。
【0033】次にCPU32は、A/D変換器31によ
ってデジタル化された交流信号AC1の振幅VS および
交流信号AC2の振幅VR を読み取りRAM33に格納
する(S3)。
【0034】次にCPU32は、A/D変換器31によ
ってデジタル化された直流信号DC1の値VDC1 および
直流信号DC2の値VDC2 を読み取り、これらの値と上
記の式(1)から各PbSe素子の暗抵抗Rd1,Rd2を
それぞれ計算する(S4)。
【0035】次にCPU32は、求めた暗抵抗から各P
bSe素子の相対感度をRAM33が記憶しているテー
ブルを参照して求める(S5)。
【0036】次にCPU32は、求めた相対感度を用い
て、ステップS3で読み取った交流信号の振幅VS ,V
R を20℃における値に補正する(S6)。
【0037】次にCPU32は、補正したVS ,VR の
比を計算し、RAM33に格納しているデータに基づい
て、炭酸ガス濃度を求める(S7)。
【0038】次にCPU32は、求めた炭酸ガス濃度を
表示器34に表示する(S8)。この表示は数値や波形
を用いて行う。
【0039】実際に本装置のセンサ部を室温(26℃)
から10℃の恒温槽に入れると、図8〜図10に示す結
果が得られた。すなわち、センサ部を恒温槽に入れた直
後から、素子の暗抵抗、交流信号がドリフトしていく
(図8、図9)。しかし、補正後の交流信号はドリフト
が小さくなっており(図9)、両者の比をとって炭酸ガ
ス濃度に換算すると、温度ドリフトはほとんど除去され
ている(図10)。これにより、PbSe素子の温度コ
ントロールは不要となり、非常に安定した測定が可能で
あることが確認される。
【0040】本実施の形態では、直流信号値VDC1 ,V
DC2 から式(1)を用いて素子の抵抗値(暗抵抗)Rd
1,Rd2を求め、これによって素子の温度を特定し、図
6のテーブルを参照してその温度の相対感度を求めてい
る(図7に示すステップS4,S5)。これに対し、式
(1)で用いる抵抗値R1,R2 は一定(既知)であるか
ら、予め各温度における直流信号値VDC1 ,VDC2 と相
対感度とを直接対応付けたテーブルを作成し、このテー
ブルをEEPROM23に格納しておくようにしても良
い。このテーブルが用いられるならば、直流信号値VDC
1 ,VDC2 から直ちに相対感度が得られるので、測定
中、式(1)を計算する必要がなく、迅速な処理を行う
ことができる。
【0041】また、以上の例ではテーブルを用いて相対
感度を求めたが、暗抵抗Rd1,Rd2と相対感度の関係を
示す近似式、あるいは直流信号値VDC1 ,VDC2 と相対
感度の関係を示す近似式をEEPROM23に格納し、
この近似式を用いて相対感度を求めるようにしても良
い。
【0042】また、本実施の形態では、ビームスプリッ
タで2つに分けられた赤外線の一方は炭酸ガスセルを透
過させ、2つの赤外線検出回路は同じ波長の赤外線を検
出するようにした。このため、エアウェイアダプタの窓
に水分の層が形成されても測定結果は影響を受けないの
で、エアウェイアダプタの窓に防曇膜を用いることがで
き、サファイアなどの高価な部材が不要となり、製造コ
ストの低下を図ることができる等の効果を有する。
【0043】これに対し、米国特許5,153,436 で開示さ
れているように、ビームスプリッタで2つに分けられた
赤外線の一方は測定対象ガスの吸収率が極めて高い波長
のバンドパスフィルタを介して検出し、他方は測定対象
ガスの吸収率が極めて低い波長のバンドパスフィルタを
介して検出するような2波長の赤外線を用いる装置にあ
っても、本発明は同様にして適用できる。すなわち、こ
の場合においても、2つの光伝導型赤外線検出素子が用
いられるが、それぞれの素子が組み込まれた検出回路の
出力を同様にして補正すれば同様の補正の効果が得られ
る。この場合、2つの光伝導型赤外線検出素子を一定の
温度に保つ手段は不要となる。
【0044】
【発明の効果】請求項1乃至請求項3の赤外線検出装置
によれば、光伝導型赤外線検出素子について抵抗値と感
度に関する固有のデータを用いて検出信号の補正を行う
ので、光伝導型赤外線検出素子を一定の温度に保つため
の手段が不要となる。また、このような構成によれば、
光伝導型赤外線検出素子の抵抗から温度を検出している
ので、別に温度センサを設ける必要がない。また、温度
センサを用いた場合、光伝導型赤外線検出素子と温度セ
ンサとの間に温度差が生じる可能性があるが、光伝導型
赤外線検出素子から温度を検出すると素子自身の温度を
反映しているので、本装置によれば、簡単な構成で精度
の高い温度補正を行うことができる。
【0045】請求項4乃至請求項6のガス分析装置によ
れば、上記赤外線検出装置と同様の効果を有し、そのた
め構成が簡単であり、かつ正確にガス濃度を検出するこ
とができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態の構成を示すブロック図。
【図2】図1に示した赤外線検出回路21aおよび21
bの出力信号を示す図。
【図3】温度とPbSe素子の暗抵抗との関係を示す
図。
【図4】PbSe素子を用いた赤外線検出回路の素子の
温度とAC出力との関係を示す図。
【図5】PbSe素子を用いた赤外線検出回路の素子の
暗抵抗と感度との関係を示す図。
【図6】図1に示したEEPROM23の内容の例を示
す図。
【図7】本発明の実施の形態の動作を説明するための
図。
【図8】本発明の実施の形態の効果を説明するための
図。
【図9】本発明の実施の形態の効果を説明するための
図。
【図10】本発明の実施の形態の効果を説明するための
図。
【図11】本発明の実施の形態のセンサ部の構成を示す
図。
【図12】PbSe素子を用いた赤外線検出回路の例を
示す図。
【符号の説明】
3 光源 6 第1のPbSe素子 7 第2のPbSe素子 21a、21b 赤外線検出回路 22a、22b 交流成分検出回路 23 EEPROM 31 A/D変換器 32 CPU32

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 断続的な赤外線を発生する光源と、 この光源からの赤外線を測定対象物を介して照射される
    光伝導型赤外線検出素子を有し、この光伝導型赤外線検
    出素子の抵抗値に応じた電気信号を出力する信号出力手
    段と、 この信号出力手段の出力信号から交流成分を検出する交
    流成分検出手段と、 前記光伝導型赤外線検出素子について抵抗値と感度に関
    する固有のデータを記憶する記憶手段と、 この記憶手段が記憶したデータと、前記信号出力手段が
    出力する信号の直流成分とに基づいて前記交流成分検出
    手段が検出した交流成分を補正する補正手段と、を具備
    する赤外線検出装置。
  2. 【請求項2】 測定対象物は炭酸ガスを含むガス体であ
    ることを特徴とする請求項1に記載の赤外線検出装置。
  3. 【請求項3】 光伝導型赤外線検出素子はPbSe素子
    であることを特徴とする請求項1に記載の赤外線検出装
    置。
  4. 【請求項4】 断続的な赤外線を発生する光源と、 この光源からの赤外線であって測定対象ガスを含むガス
    体を透過した光を照射される光伝導型赤外線検出素子を
    有し、この光伝導型赤外線検出素子の抵抗値に応じた電
    気信号を出力する信号出力手段と、 前記信号出力手段の出力信号から交流成分を検出する交
    流成分検出手段と、 前記光伝導型赤外線検出素子について抵抗値と感度に関
    する固有のデータを記憶する記憶手段と、 この記憶手段が記憶したデータと、前記信号出力手段が
    出力する信号の直流成分とに基づいて前記交流成分検出
    手段が検出した交流成分を補正する補正手段と、 この補正手段によって補正された前記交流成分に基づい
    て前記測定対象ガスの濃度を検出するガス濃度検出手段
    と、を具備するガス分析装置。
  5. 【請求項5】 測定対象ガスは炭酸ガスであることを特
    徴とする請求項4に記載のガス分析装置。
  6. 【請求項6】 光伝導型赤外線検出素子はPbSe素子
    であることを特徴とする請求項4に記載のガス分析装
    置。
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