JPH1154594A - チップ状部品の取扱方法および装置 - Google Patents
チップ状部品の取扱方法および装置Info
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- JPH1154594A JPH1154594A JP9210240A JP21024097A JPH1154594A JP H1154594 A JPH1154594 A JP H1154594A JP 9210240 A JP9210240 A JP 9210240A JP 21024097 A JP21024097 A JP 21024097A JP H1154594 A JPH1154594 A JP H1154594A
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- H10P72/70—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for supporting or gripping
- H10P72/74—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for supporting or gripping using temporarily an auxiliary support
- H10P72/7412—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for supporting or gripping using temporarily an auxiliary support the auxiliary support including means facilitating the separation of a device or wafer from the auxiliary support
- H10P72/7414—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for supporting or gripping using temporarily an auxiliary support the auxiliary support including means facilitating the separation of a device or wafer from the auxiliary support the auxiliary support including means facilitating the selective separation of some of a plurality of devices from the auxiliary support
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 エキスパンド性を有しかつ表面に粘着面を形
成した保持シート上に粘着によって保持されているチッ
プ状部品を、各々の姿勢を安定させたまま、保持シート
から剥がせるようにする。 【解決手段】 チップ状部品１２と対向する領域をカバ
ーするように分布する複数の吸引溝１５，１６と、これ
ら吸引溝１５，１６間であって各チップ状部品１２に対
して少なくとも２箇所において部分的に対向するように
位置する突起１７とを有する、載置台１１上に保持シー
ト１４を載置し、吸引溝１５，１６に負圧を付与するこ
とによって、保持シート１４を突起１７に沿うように変
形させてチップ状部品１２から剥がそうとするとき、ま
ず、チップ状部品１２の周縁部に対向する吸引溝１５に
付与される負圧２４をより強くし、チップ状部品１２の
周縁部から保持シート１４が剥がれるようにする。
成した保持シート上に粘着によって保持されているチッ
プ状部品を、各々の姿勢を安定させたまま、保持シート
から剥がせるようにする。 【解決手段】 チップ状部品１２と対向する領域をカバ
ーするように分布する複数の吸引溝１５，１６と、これ
ら吸引溝１５，１６間であって各チップ状部品１２に対
して少なくとも２箇所において部分的に対向するように
位置する突起１７とを有する、載置台１１上に保持シー
ト１４を載置し、吸引溝１５，１６に負圧を付与するこ
とによって、保持シート１４を突起１７に沿うように変
形させてチップ状部品１２から剥がそうとするとき、ま
ず、チップ状部品１２の周縁部に対向する吸引溝１５に
付与される負圧２４をより強くし、チップ状部品１２の
周縁部から保持シート１４が剥がれるようにする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、チップ状部品の
取扱方法および装置に関するもので、特に、エキスパン
ド性を有しかつ表面に粘着面を形成した保持シート上に
配置されながら粘着性により保持されている複数のチッ
プ状部品を、保持シートから剥がすための方法および装
置に関するものである。
取扱方法および装置に関するもので、特に、エキスパン
ド性を有しかつ表面に粘着面を形成した保持シート上に
配置されながら粘着性により保持されている複数のチッ
プ状部品を、保持シートから剥がすための方法および装
置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】たとえば、チップ状電子部品を製造する
技術分野において、半導体ウエハのようなマザー体をダ
イサー等によりカットすることによって、半導体チップ
のような複数のチップ状電子部品を取り出すことが知ら
れている。また、このような工程を実施するとき、エキ
スパンド性を有しかつ表面に粘着面を形成した保持シー
ト上に、マザー体を配置し、これを粘着面が有する粘着
性により保持した状態で、ダイサー等を適用して、複数
のチップ状電子部品を得るようにカットすることも知ら
れている。
技術分野において、半導体ウエハのようなマザー体をダ
イサー等によりカットすることによって、半導体チップ
のような複数のチップ状電子部品を取り出すことが知ら
れている。また、このような工程を実施するとき、エキ
スパンド性を有しかつ表面に粘着面を形成した保持シー
ト上に、マザー体を配置し、これを粘着面が有する粘着
性により保持した状態で、ダイサー等を適用して、複数
のチップ状電子部品を得るようにカットすることも知ら
れている。
【０００３】このようにして得られた複数のチップ状電
子部品は、次いで、保持シートからピックアップされ、
次工程に供給されるが、少なくともこのピックアップの
時点では、各チップ状電子部品は、その一部において保
持シートに粘着されて位置決めされながらも、主要部に
おいては、保持シートから剥がされていなければならな
い。なぜなら、ピックアップは、通常、移動可能な真空
吸引チャック等を用いて行なわれるが、各チップ状電子
部品が保持シートから適度に剥がされていないと、ピッ
クアップに支障を来すからである。
子部品は、次いで、保持シートからピックアップされ、
次工程に供給されるが、少なくともこのピックアップの
時点では、各チップ状電子部品は、その一部において保
持シートに粘着されて位置決めされながらも、主要部に
おいては、保持シートから剥がされていなければならな
い。なぜなら、ピックアップは、通常、移動可能な真空
吸引チャック等を用いて行なわれるが、各チップ状電子
部品が保持シートから適度に剥がされていないと、ピッ
クアップに支障を来すからである。
【０００４】上述した保持シートの剥離を高速かつ能率
的に行なえる、チップ状電子部品の取扱装置が、たとえ
ば特開平５−３３５４０５号公報に記載されている。こ
の公報に記載されるのは、半導体ウエハのための載置台
であって、図５に示すような構造を有している。図５を
参照して、この載置台１は、エキスパンド性を有しかつ
表面に粘着面２を形成した保持シート３上に配置されな
がら粘着面２が与える粘着性により保持されている複数
の半導体チップ４を、保持シート３から剥がすために用
いられるものである。このように複数の半導体チップ４
を保持している保持シート３は、載置台１上に載置され
る。
的に行なえる、チップ状電子部品の取扱装置が、たとえ
ば特開平５−３３５４０５号公報に記載されている。こ
の公報に記載されるのは、半導体ウエハのための載置台
であって、図５に示すような構造を有している。図５を
参照して、この載置台１は、エキスパンド性を有しかつ
表面に粘着面２を形成した保持シート３上に配置されな
がら粘着面２が与える粘着性により保持されている複数
の半導体チップ４を、保持シート３から剥がすために用
いられるものである。このように複数の半導体チップ４
を保持している保持シート３は、載置台１上に載置され
る。
【０００５】載置台１は、各半導体チップ４と対向する
領域をカバーするように分布する複数の吸引溝５を有す
るとともに、複数の吸引溝５間であって各半導体チップ
４に対して少なくとも２箇所において部分的に対向する
ように位置する突起６を形成している。載置台１には、
また、各吸引溝５に連通する吸引穴７が設けられてい
る。
領域をカバーするように分布する複数の吸引溝５を有す
るとともに、複数の吸引溝５間であって各半導体チップ
４に対して少なくとも２箇所において部分的に対向する
ように位置する突起６を形成している。載置台１には、
また、各吸引溝５に連通する吸引穴７が設けられてい
る。
【０００６】このような構成において、図示しない真空
ポンプのような真空源から吸引穴７を通して各吸引溝５
に負圧８が付与されると、保持シート３は突起６に沿う
ように変形され、それによって、各半導体チップ４は、
その主要部において、保持シート３から剥がされる。上
述のように保持シート３から剥がされた各半導体チップ
４は、図示しない真空吸引チャック等により保持シート
３からピックアップされ、次工程に供給される。
ポンプのような真空源から吸引穴７を通して各吸引溝５
に負圧８が付与されると、保持シート３は突起６に沿う
ように変形され、それによって、各半導体チップ４は、
その主要部において、保持シート３から剥がされる。上
述のように保持シート３から剥がされた各半導体チップ
４は、図示しない真空吸引チャック等により保持シート
３からピックアップされ、次工程に供給される。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た載置台１を用いた半導体チップ４の取扱いには、次の
ような問題がある。各半導体チップ４は、各々突起６に
よって区画された複数の吸引溝５に跨がる大きさを有し
ているため、１つの半導体チップ４についての保持シー
ト３の剥がれは、複数の吸引溝５のそれぞれに対向する
各部分において独立的に生じる。そのため、これら複数
の吸引溝５に対して負圧８が同時に付与されるにもかか
わらず、保持シート３が半導体チップ４から剥がれる時
点は、これら吸引溝５のそれぞれに対向する各部分につ
いてしばしば異なることがあり、また、吸引溝５のそれ
ぞれに対向する各部分において生じる剥がれの順序も種
々であるのが通常である。
た載置台１を用いた半導体チップ４の取扱いには、次の
ような問題がある。各半導体チップ４は、各々突起６に
よって区画された複数の吸引溝５に跨がる大きさを有し
ているため、１つの半導体チップ４についての保持シー
ト３の剥がれは、複数の吸引溝５のそれぞれに対向する
各部分において独立的に生じる。そのため、これら複数
の吸引溝５に対して負圧８が同時に付与されるにもかか
わらず、保持シート３が半導体チップ４から剥がれる時
点は、これら吸引溝５のそれぞれに対向する各部分につ
いてしばしば異なることがあり、また、吸引溝５のそれ
ぞれに対向する各部分において生じる剥がれの順序も種
々であるのが通常である。
【０００８】その結果、ある半導体チップ４についての
保持シート３の剥がれが、たとえば、この半導体チップ
４の周縁の一部において最も遅れた場合、図５において
想像線で示すように、この剥がれの最も遅れた周縁部を
支点として、半導体チップ４が相対的に立ち上がる姿勢
となることがある。また、半導体チップ４が立ち上がる
場合、その向きや傾斜角度も一定しないのが通常であ
る。
保持シート３の剥がれが、たとえば、この半導体チップ
４の周縁の一部において最も遅れた場合、図５において
想像線で示すように、この剥がれの最も遅れた周縁部を
支点として、半導体チップ４が相対的に立ち上がる姿勢
となることがある。また、半導体チップ４が立ち上がる
場合、その向きや傾斜角度も一定しないのが通常であ
る。
【０００９】なお、このような立ち上がりは、半導体チ
ップ４が比較的大型であるときには生じにくいが、たと
えば、その寸法が６．７mm×０．５mm×０．３mmという
ように極めて小さいときに生じやすい。このように半導
体チップ４が立ち上がる姿勢をとってしまうと、前述し
た真空吸引チャック等によるピックアップ工程におい
て、半導体チップ４をピックアップし損なったり、ま
た、たとえピックアップを行なえてもピックアップ時の
姿勢が不適当となったりして、次工程において支障を来
す、と言う問題を引き起こす。
ップ４が比較的大型であるときには生じにくいが、たと
えば、その寸法が６．７mm×０．５mm×０．３mmという
ように極めて小さいときに生じやすい。このように半導
体チップ４が立ち上がる姿勢をとってしまうと、前述し
た真空吸引チャック等によるピックアップ工程におい
て、半導体チップ４をピックアップし損なったり、ま
た、たとえピックアップを行なえてもピックアップ時の
姿勢が不適当となったりして、次工程において支障を来
す、と言う問題を引き起こす。
【００１０】そこで、この発明の目的は、上述したよう
な問題を解決し得る、チップ状部品の取扱方法および装
置を提供しようとすることである。
な問題を解決し得る、チップ状部品の取扱方法および装
置を提供しようとすることである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】この発明は、まず、エキ
スパンド性を有しかつ表面に粘着面を形成した保持シー
ト上に配置されながら粘着面が与える粘着性により保持
されている複数のチップ状部品を、保持シートから剥が
すように取り扱う、チップ状部品の取扱方法に向けられ
るものであって、上述した技術的課題を解決するため、
次のような工程を備えることを特徴としている。
スパンド性を有しかつ表面に粘着面を形成した保持シー
ト上に配置されながら粘着面が与える粘着性により保持
されている複数のチップ状部品を、保持シートから剥が
すように取り扱う、チップ状部品の取扱方法に向けられ
るものであって、上述した技術的課題を解決するため、
次のような工程を備えることを特徴としている。
【００１２】すなわち、この発明に係るチップ状部品の
取扱方法は、各チップ状部品と対向する各領域を少なく
ともカバーするように分布する複数の吸引溝を有すると
ともに、複数の吸引溝間であって各チップ状部品に対し
て少なくとも２箇所において部分的に対向するように位
置する突起を形成した、載置台を用意する、第１の工程
と、複数のチップ状部品を保持している保持シートを載
置台上に載置する、第２の工程と、吸引溝に負圧を付与
し、それによって、保持シートを突起に沿うように変形
させてチップ状部品から剥がす、第３の工程とを備え
る。
取扱方法は、各チップ状部品と対向する各領域を少なく
ともカバーするように分布する複数の吸引溝を有すると
ともに、複数の吸引溝間であって各チップ状部品に対し
て少なくとも２箇所において部分的に対向するように位
置する突起を形成した、載置台を用意する、第１の工程
と、複数のチップ状部品を保持している保持シートを載
置台上に載置する、第２の工程と、吸引溝に負圧を付与
し、それによって、保持シートを突起に沿うように変形
させてチップ状部品から剥がす、第３の工程とを備え
る。
【００１３】そして、上述の第３の工程は、各チップ状
部品の周縁部から保持シートが剥がれるように、複数の
吸引溝の各々に付与される負圧を制御する負圧制御工程
を含むことを特徴としている。この発明に係るチップ状
部品の取扱方法において、好ましくは、第３の工程にお
ける負圧制御工程は、各チップ状部品の周縁部に対向す
る第１の吸引溝に付与される負圧をそれ以外の第２の吸
引溝に付与される負圧より強くする工程を含む。
部品の周縁部から保持シートが剥がれるように、複数の
吸引溝の各々に付与される負圧を制御する負圧制御工程
を含むことを特徴としている。この発明に係るチップ状
部品の取扱方法において、好ましくは、第３の工程にお
ける負圧制御工程は、各チップ状部品の周縁部に対向す
る第１の吸引溝に付与される負圧をそれ以外の第２の吸
引溝に付与される負圧より強くする工程を含む。
【００１４】より好ましくは、上述の第３の工程は、負
圧制御工程の後において、第１および第２の吸引溝の双
方に対して実質的に同じ負圧を付与する工程をさらに含
むようにされる。また、この発明に係るチップ状部品の
取扱方法は、好ましくは、第３の工程の後、チップ状部
品を保持シートからピックアップする工程をさらに備え
る取扱方法に適用される。
圧制御工程の後において、第１および第２の吸引溝の双
方に対して実質的に同じ負圧を付与する工程をさらに含
むようにされる。また、この発明に係るチップ状部品の
取扱方法は、好ましくは、第３の工程の後、チップ状部
品を保持シートからピックアップする工程をさらに備え
る取扱方法に適用される。
【００１５】また、この発明に係るチップ状部品の取扱
方法において、好ましくは、突起は、直線状に延びる頂
部を有し、この頂部が互いに平行に並ぶように配置され
ていて、第２の工程において、各チップ状部品は、その
長手方向が頂部の延びる方向と直交するように配向され
る。また、この発明に係るチップ状部品の取扱方法にお
いて、好ましくは、複数のチップ状部品は、保持シート
上に保持されたマザー体をカットすることにより得られ
たものである。
方法において、好ましくは、突起は、直線状に延びる頂
部を有し、この頂部が互いに平行に並ぶように配置され
ていて、第２の工程において、各チップ状部品は、その
長手方向が頂部の延びる方向と直交するように配向され
る。また、この発明に係るチップ状部品の取扱方法にお
いて、好ましくは、複数のチップ状部品は、保持シート
上に保持されたマザー体をカットすることにより得られ
たものである。
【００１６】また、この発明に係るチップ状部品の取扱
方法において、好ましくは、チップ状部品は、チップ状
電子部品である。この発明は、また、エキスパンド性を
有しかつ表面に粘着面を形成した保持シート上に配置さ
れながら粘着面が与える粘着性により保持されている複
数のチップ状部品を、保持シートから剥がすように取り
扱う、チップ状部品の取扱装置にも向けられ、上述した
技術的課題を解決するため、次のような構成を備えるこ
とを特徴としている。
方法において、好ましくは、チップ状部品は、チップ状
電子部品である。この発明は、また、エキスパンド性を
有しかつ表面に粘着面を形成した保持シート上に配置さ
れながら粘着面が与える粘着性により保持されている複
数のチップ状部品を、保持シートから剥がすように取り
扱う、チップ状部品の取扱装置にも向けられ、上述した
技術的課題を解決するため、次のような構成を備えるこ
とを特徴としている。
【００１７】すなわち、この発明に係るチップ状部品の
取扱装置は、複数のチップ状部品を保持している保持シ
ートを載置するためのものであって、各チップ状部品と
対向する各領域を少なくともカバーするように分布する
複数の吸引溝を有するとともに、複数の吸引溝間であっ
て各チップ状部品に対して少なくとも２箇所において部
分的に対向するように位置する突起を形成した、載置台
を備えるとともに、保持シートを突起に沿うように変形
させてチップ状部品から剥がすため、吸引溝に負圧を付
与するための真空源と、各チップ状部品の周縁部から保
持シートが剥がれるように、真空源から複数の吸引溝の
各々に付与される負圧を制御するための負圧制御手段と
を備えることを特徴としている。
取扱装置は、複数のチップ状部品を保持している保持シ
ートを載置するためのものであって、各チップ状部品と
対向する各領域を少なくともカバーするように分布する
複数の吸引溝を有するとともに、複数の吸引溝間であっ
て各チップ状部品に対して少なくとも２箇所において部
分的に対向するように位置する突起を形成した、載置台
を備えるとともに、保持シートを突起に沿うように変形
させてチップ状部品から剥がすため、吸引溝に負圧を付
与するための真空源と、各チップ状部品の周縁部から保
持シートが剥がれるように、真空源から複数の吸引溝の
各々に付与される負圧を制御するための負圧制御手段と
を備えることを特徴としている。
【００１８】上述したチップ状部品の取扱装置におい
て、好ましくは、負圧制御手段は、各チップ状部品の周
縁部に対向する第１の吸引溝に付与される負圧をそれ以
外の第２の吸引溝に付与される負圧より強くし、次い
で、これら第１および第２の吸引溝の双方に対して実質
的に同じ負圧を付与するように制御する。また、この発
明に係るチップ状部品の取扱装置は、他の局面によれ
ば、上述した載置台と真空源とを備えるとともに、この
真空源から、各チップ状部品の周縁部に対向する第１の
吸引溝に通じる第１の真空路と、同じく真空源から、第
１の吸引溝以外の第２の吸引溝に通じる第２の真空路
と、これら第１の真空路と第２の真空路とにそれぞれ付
与される第１および第２の負圧を個別に制御するための
負圧制御手段とを備えることを特徴とするものである。
て、好ましくは、負圧制御手段は、各チップ状部品の周
縁部に対向する第１の吸引溝に付与される負圧をそれ以
外の第２の吸引溝に付与される負圧より強くし、次い
で、これら第１および第２の吸引溝の双方に対して実質
的に同じ負圧を付与するように制御する。また、この発
明に係るチップ状部品の取扱装置は、他の局面によれ
ば、上述した載置台と真空源とを備えるとともに、この
真空源から、各チップ状部品の周縁部に対向する第１の
吸引溝に通じる第１の真空路と、同じく真空源から、第
１の吸引溝以外の第２の吸引溝に通じる第２の真空路
と、これら第１の真空路と第２の真空路とにそれぞれ付
与される第１および第２の負圧を個別に制御するための
負圧制御手段とを備えることを特徴とするものである。
【００１９】この発明に係るチップ状部品の取扱装置に
おいて、好ましくは、突起は、直線状に延びる頂部を有
し、この頂部が互いに平行に並ぶように配置される。ま
た、上述の突起の頂部は、好ましくは、ナイフエッジ状
をなしている。
おいて、好ましくは、突起は、直線状に延びる頂部を有
し、この頂部が互いに平行に並ぶように配置される。ま
た、上述の突起の頂部は、好ましくは、ナイフエッジ状
をなしている。
【００２０】
【発明の実施の形態】図１ないし図４は、この発明の一
実施形態を説明するためのものである。ここで、図１
は、チップ状部品の取扱装置１０の全体の概略を示す図
解的斜視図であり、図２ないし図４は、取扱装置１０に
備える載置台１１を断面図で示すとともに、チップ状部
品の取扱方法に含まれる工程を順次示している。
実施形態を説明するためのものである。ここで、図１
は、チップ状部品の取扱装置１０の全体の概略を示す図
解的斜視図であり、図２ないし図４は、取扱装置１０に
備える載置台１１を断面図で示すとともに、チップ状部
品の取扱方法に含まれる工程を順次示している。
【００２１】また、この実施形態では、取り扱われるべ
きチップ状部品として、前述した半導体チップ等のチッ
プ状電子部品１２が開示されている。複数のチップ状電
子部品１２は、エキスパンド性を有しかつ表面に粘着面
１３を形成した保持シート１４上に配置されながら粘着
面１３が与える粘着性により保持されている。これらチ
ップ状電子部品１２は、保持シート１４上に保持された
マザー体を、たとえばダイサー等でカットすることによ
り得られたものである。また、各チップ状電子部品１２
は、たとえば、長手方向寸法が６．７mm、幅方向寸法が
０．５mm、厚み方向寸法が０．３mmというように、極め
て小さい寸法しか有していない。
きチップ状部品として、前述した半導体チップ等のチッ
プ状電子部品１２が開示されている。複数のチップ状電
子部品１２は、エキスパンド性を有しかつ表面に粘着面
１３を形成した保持シート１４上に配置されながら粘着
面１３が与える粘着性により保持されている。これらチ
ップ状電子部品１２は、保持シート１４上に保持された
マザー体を、たとえばダイサー等でカットすることによ
り得られたものである。また、各チップ状電子部品１２
は、たとえば、長手方向寸法が６．７mm、幅方向寸法が
０．５mm、厚み方向寸法が０．３mmというように、極め
て小さい寸法しか有していない。
【００２２】取扱装置１０に備える載置台１１は、各チ
ップ状電子部品１２と対向する各領域を少なくともカバ
ーするように分布する複数の吸引溝１５および１６を有
している。これら吸引溝１５および１６は、チップ状電
子部品１２の周縁部に対向するように位置している第１
の吸引溝１５とそれ以外の第２の吸引溝１９とに分類さ
れる。
ップ状電子部品１２と対向する各領域を少なくともカバ
ーするように分布する複数の吸引溝１５および１６を有
している。これら吸引溝１５および１６は、チップ状電
子部品１２の周縁部に対向するように位置している第１
の吸引溝１５とそれ以外の第２の吸引溝１９とに分類さ
れる。
【００２３】また、載置台１０は、複数の吸引溝１５お
よび１６間であって各チップ状電子部品１２に対して少
なくとも２箇所、この実施形態では３箇所において部分
的に対向するように位置する突起１７を形成している。
突起１７は、直線状に延びる頂部を有し、この頂部が互
いに平行に並ぶように配置されている。また、突起１７
の頂部は、ナイフエッジ状をなしている。
よび１６間であって各チップ状電子部品１２に対して少
なくとも２箇所、この実施形態では３箇所において部分
的に対向するように位置する突起１７を形成している。
突起１７は、直線状に延びる頂部を有し、この頂部が互
いに平行に並ぶように配置されている。また、突起１７
の頂部は、ナイフエッジ状をなしている。
【００２４】載置台１０には、第１および第２の吸引溝
１５および１６にそれぞれ連通する第１および第２の吸
引穴１８および１９が設けられている。他方、吸引穴１
８および１９をそれぞれ通して吸引溝１５および１６に
付与される負圧を発生するため、図１にブロックで示す
真空ポンプのような真空源２０が用意される。真空源２
０において発生した負圧は、負圧制御手段２１を介し
て、載置台１１に供給される。真空源２０から載置台１
１に至る真空路は、負圧制御手段２１において、第１の
真空路２２と第２の真空路２３とに分けられ、第１の真
空路２２は、第１の吸引穴１８を介して第１の吸引溝１
５と連通し、第２の真空路２３は、第２の吸引穴１９を
介して第２の吸引溝１６と連通する。
１５および１６にそれぞれ連通する第１および第２の吸
引穴１８および１９が設けられている。他方、吸引穴１
８および１９をそれぞれ通して吸引溝１５および１６に
付与される負圧を発生するため、図１にブロックで示す
真空ポンプのような真空源２０が用意される。真空源２
０において発生した負圧は、負圧制御手段２１を介し
て、載置台１１に供給される。真空源２０から載置台１
１に至る真空路は、負圧制御手段２１において、第１の
真空路２２と第２の真空路２３とに分けられ、第１の真
空路２２は、第１の吸引穴１８を介して第１の吸引溝１
５と連通し、第２の真空路２３は、第２の吸引穴１９を
介して第２の吸引溝１６と連通する。
【００２５】負圧制御手段２１は、以下に図２ないし図
４を順次参照しながら詳述する工程を実行するように、
真空源２０から第１の真空路２２と第２の真空路２３と
にそれぞれ付与される負圧を個別に制御することによっ
て、第１および第２の吸引溝１５および１６の各々に付
与される負圧を制御するためのもので、たとえばパーソ
ナルコンピュータやシーケンサ等により駆動される圧力
調整弁等を含んでいる。
４を順次参照しながら詳述する工程を実行するように、
真空源２０から第１の真空路２２と第２の真空路２３と
にそれぞれ付与される負圧を個別に制御することによっ
て、第１および第２の吸引溝１５および１６の各々に付
与される負圧を制御するためのもので、たとえばパーソ
ナルコンピュータやシーケンサ等により駆動される圧力
調整弁等を含んでいる。
【００２６】複数のチップ状電子部品１２を保持してい
る保持シート１４は、図２に示すようにチップ状電子部
品１２を粘着している粘着面１３を上方に向けた状態と
され、この状態を維持したまま、載置台１１上に載置さ
れる。このように保持シート１４が載置台１１上に載置
されたとき、第１の吸引溝１５と第２の吸引溝１６と
は、互いに独立した密閉空間を規定する。好ましくは、
この載置状態において、各チップ状電子部品１２の長手
方向は、突起１７の頂部の延びる方向と直交するように
配向される。
る保持シート１４は、図２に示すようにチップ状電子部
品１２を粘着している粘着面１３を上方に向けた状態と
され、この状態を維持したまま、載置台１１上に載置さ
れる。このように保持シート１４が載置台１１上に載置
されたとき、第１の吸引溝１５と第２の吸引溝１６と
は、互いに独立した密閉空間を規定する。好ましくは、
この載置状態において、各チップ状電子部品１２の長手
方向は、突起１７の頂部の延びる方向と直交するように
配向される。
【００２７】上述の状態で、真空源２０からの負圧を吸
引溝１５および１６に付与することによって、最終的に
は、図４に示すように、保持シート１４を突起１７に沿
うように変形させ、それによって、保持シート１４を各
チップ状電子部品１２から剥がすことを行なうわけであ
るが、この実施形態では、前述した負圧制御手段２１に
基づき、図３に示すような工程がまず実施される。
引溝１５および１６に付与することによって、最終的に
は、図４に示すように、保持シート１４を突起１７に沿
うように変形させ、それによって、保持シート１４を各
チップ状電子部品１２から剥がすことを行なうわけであ
るが、この実施形態では、前述した負圧制御手段２１に
基づき、図３に示すような工程がまず実施される。
【００２８】図３を参照して、各チップ状電子部品１２
の周縁部から保持シート１４が剥がれるように、各チッ
プ状電子部品１２の周縁部に対向する第１の吸引溝１５
に付与される第１の負圧２４は、それ以外の第２の吸引
溝１６に付与される第２の負圧２５より強くされる。こ
のような負圧２４および２５の付与態様によって、第１
の吸引溝１５に対向する各チップ状電子部品１２の周縁
部においてのみ、保持シート１４の剥がれが生じ、第２
の吸引溝１６に対向する各チップ状電子部品１２の中央
部では、保持シート１４の粘着状態が維持される。前述
したように、各チップ状電子部品１２の長手方向が突起
１７の頂部の延びる方向と直交するように配向される
と、図３に示した工程によって、第１の吸引溝１５に対
向する各チップ状電子部品１２の周縁部において、保持
シート１４の剥がれを生じさせることが容易である。
の周縁部から保持シート１４が剥がれるように、各チッ
プ状電子部品１２の周縁部に対向する第１の吸引溝１５
に付与される第１の負圧２４は、それ以外の第２の吸引
溝１６に付与される第２の負圧２５より強くされる。こ
のような負圧２４および２５の付与態様によって、第１
の吸引溝１５に対向する各チップ状電子部品１２の周縁
部においてのみ、保持シート１４の剥がれが生じ、第２
の吸引溝１６に対向する各チップ状電子部品１２の中央
部では、保持シート１４の粘着状態が維持される。前述
したように、各チップ状電子部品１２の長手方向が突起
１７の頂部の延びる方向と直交するように配向される
と、図３に示した工程によって、第１の吸引溝１５に対
向する各チップ状電子部品１２の周縁部において、保持
シート１４の剥がれを生じさせることが容易である。
【００２９】なお、図３に示した工程において、上述の
説明では、第２の吸引溝１６には第１の負圧２４より弱
い第２の負圧２５が付与されるとしたが、第２の吸引溝
１６には負圧が全く付与されず、第１の吸引溝１５にの
み負圧２４が付与されるようにしてもよい。次いで、図
４に示すように、第１および第２の吸引溝１５および１
６の双方に対して実質的に同じ負圧２６が付与される。
これによって、第１の吸引溝１５に対向する部分におけ
る保持シート１４の剥がれはそのまま維持されながら、
第２の吸引溝１６に対向する部分すなわち各チップ状電
子部品１２の中央部においても、保持シート１４の剥が
れが生じる。
説明では、第２の吸引溝１６には第１の負圧２４より弱
い第２の負圧２５が付与されるとしたが、第２の吸引溝
１６には負圧が全く付与されず、第１の吸引溝１５にの
み負圧２４が付与されるようにしてもよい。次いで、図
４に示すように、第１および第２の吸引溝１５および１
６の双方に対して実質的に同じ負圧２６が付与される。
これによって、第１の吸引溝１５に対向する部分におけ
る保持シート１４の剥がれはそのまま維持されながら、
第２の吸引溝１６に対向する部分すなわち各チップ状電
子部品１２の中央部においても、保持シート１４の剥が
れが生じる。
【００３０】このようにして、保持シート１４は、各チ
ップ状電子部品１２の周縁部から剥がれ、周縁部から剥
がれた時点では、各チップ状電子部品１２の中央部をな
おも粘着しているので、チップ状電子部品１２は、周縁
部を支点として相対的に立ち上がる姿勢となることがな
い。図４に示した工程を終えたとき、各チップ状電子部
品１２は、突起１７の頂部に対向する極めて限られた部
分においてのみ、保持シート１４に粘着しているにすぎ
ないので、これらチップ状電子部品１２を次工程に供給
するため、図示しない真空吸引チャック等によって保持
シート１４から容易にピックアップすることができる。
特に、この実施形態のように、突起１７の頂部がナイフ
エッジ状をなしているときには、保持シート１４の剥が
し工程を完了した時点でなおも保持シート１４が各チッ
プ状電子部品１２に接する面積を極めて小さくすること
ができる。
ップ状電子部品１２の周縁部から剥がれ、周縁部から剥
がれた時点では、各チップ状電子部品１２の中央部をな
おも粘着しているので、チップ状電子部品１２は、周縁
部を支点として相対的に立ち上がる姿勢となることがな
い。図４に示した工程を終えたとき、各チップ状電子部
品１２は、突起１７の頂部に対向する極めて限られた部
分においてのみ、保持シート１４に粘着しているにすぎ
ないので、これらチップ状電子部品１２を次工程に供給
するため、図示しない真空吸引チャック等によって保持
シート１４から容易にピックアップすることができる。
特に、この実施形態のように、突起１７の頂部がナイフ
エッジ状をなしているときには、保持シート１４の剥が
し工程を完了した時点でなおも保持シート１４が各チッ
プ状電子部品１２に接する面積を極めて小さくすること
ができる。
【００３１】以上、この発明を図示した実施形態に関連
して説明したが、この発明の範囲内において、その他、
種々の変形例が可能である。たとえば、図示した実施形
態では、各チップ状電子部品１２の周縁部から保持シー
ト１４が剥がれるようにするため、第１段階で、各チッ
プ状電子部品１２の周縁部に対向する第１の吸引溝１５
に付与される第１の負圧２４をそれ以外の第２の吸引溝
１６に付与される第２の負圧２５より強くし、次いで、
第２段階で、これら第１および第２の吸引溝１５および
１６の双方に対して実質的に同じ負圧２６を付与する、
といった２段階による負圧付与工程を採用したが、たと
えば、第１の吸引溝１５に付与される第１の負圧２４を
第２の吸引溝１６に付与される第２の負圧２５より強く
したままとする１段階による負圧付与工程を実施するだ
けでも、各チップ状電子部品１２の周縁部から保持シー
ト１４を剥がし、次いで中央部においても保持シート１
５を剥がすことが可能である。
して説明したが、この発明の範囲内において、その他、
種々の変形例が可能である。たとえば、図示した実施形
態では、各チップ状電子部品１２の周縁部から保持シー
ト１４が剥がれるようにするため、第１段階で、各チッ
プ状電子部品１２の周縁部に対向する第１の吸引溝１５
に付与される第１の負圧２４をそれ以外の第２の吸引溝
１６に付与される第２の負圧２５より強くし、次いで、
第２段階で、これら第１および第２の吸引溝１５および
１６の双方に対して実質的に同じ負圧２６を付与する、
といった２段階による負圧付与工程を採用したが、たと
えば、第１の吸引溝１５に付与される第１の負圧２４を
第２の吸引溝１６に付与される第２の負圧２５より強く
したままとする１段階による負圧付与工程を実施するだ
けでも、各チップ状電子部品１２の周縁部から保持シー
ト１４を剥がし、次いで中央部においても保持シート１
５を剥がすことが可能である。
【００３２】また、第１および第２の吸引溝１５および
１６の各々に付与される負圧の調整は、負圧制御手段２
１に含まれる圧力調整弁によらず、たとえば、吸引穴１
８および１９の大きさ、個数等の変更によって行なって
もよい。また、吸引溝１５および１６ならびに突起１７
の配置状態は、保持シート１４上のチップ状電子部品１
２の形状、配置態様、あるいは保持シート１４をチップ
状電子部品１２の周縁部のいずれの部分から剥がすか、
等のファクタに応じて適宜変更されるものである。
１６の各々に付与される負圧の調整は、負圧制御手段２
１に含まれる圧力調整弁によらず、たとえば、吸引穴１
８および１９の大きさ、個数等の変更によって行なって
もよい。また、吸引溝１５および１６ならびに突起１７
の配置状態は、保持シート１４上のチップ状電子部品１
２の形状、配置態様、あるいは保持シート１４をチップ
状電子部品１２の周縁部のいずれの部分から剥がすか、
等のファクタに応じて適宜変更されるものである。
【００３３】また、この発明は、上述したようなチップ
状電子部品１２に限らず、電子部品以外の他のチップ状
部品の取扱いにも適用することができる。
状電子部品１２に限らず、電子部品以外の他のチップ状
部品の取扱いにも適用することができる。
【００３４】
【発明の効果】以上のように、この発明に係るチップ状
部品の取扱方法によれば、複数のチップ状部品を保持し
ている保持シートを載置台上に載置した状態で、載置台
に備える吸引溝に負圧を付与し、それによって、保持シ
ートを突起に沿うように変形させてチップ状部品から剥
がす工程を実施するとき、各チップ状部品の周縁部から
保持シートが剥がれるように、複数の吸引溝の各々に付
与される負圧を制御することが行なわれるので、保持シ
ートが各チップ状部品の周縁部から剥がれた時点では、
保持シートは各チップ状部品の中央部をなおも粘着して
いるので、チップ状部品が周縁部を支点として相対的に
立ち上がる姿勢となることがない。したがって、どのよ
うな形状のチップ状部品であっても、保持シートをチッ
プ状部品から常に安定した状態で能率的に剥がすことが
できる。このことは、特に小型のチップ状部品、たとえ
ば小型のチップ状電子部品を取り扱う場合に有利であ
る。
部品の取扱方法によれば、複数のチップ状部品を保持し
ている保持シートを載置台上に載置した状態で、載置台
に備える吸引溝に負圧を付与し、それによって、保持シ
ートを突起に沿うように変形させてチップ状部品から剥
がす工程を実施するとき、各チップ状部品の周縁部から
保持シートが剥がれるように、複数の吸引溝の各々に付
与される負圧を制御することが行なわれるので、保持シ
ートが各チップ状部品の周縁部から剥がれた時点では、
保持シートは各チップ状部品の中央部をなおも粘着して
いるので、チップ状部品が周縁部を支点として相対的に
立ち上がる姿勢となることがない。したがって、どのよ
うな形状のチップ状部品であっても、保持シートをチッ
プ状部品から常に安定した状態で能率的に剥がすことが
できる。このことは、特に小型のチップ状部品、たとえ
ば小型のチップ状電子部品を取り扱う場合に有利であ
る。
【００３５】この発明に係るチップ状部品の取扱方法に
おいて、上述したように複数の吸引溝の各々に付与され
る負圧を制御するにあたり、各チップ状部品の周縁部に
対向する第１の吸引溝に付与される負圧をそれ以外の第
２の吸引溝に付与される負圧より強くすることを行なえ
ば、このような制御を容易に実現することができる。ま
た、上述したような負圧制御工程の後において、第１お
よび第２の吸引溝の双方に対して実質的に同じ負圧を付
与するようにすれば、チップ状部品の周縁部において再
び保持シートが粘着するといった不都合を確実に回避で
きる。
おいて、上述したように複数の吸引溝の各々に付与され
る負圧を制御するにあたり、各チップ状部品の周縁部に
対向する第１の吸引溝に付与される負圧をそれ以外の第
２の吸引溝に付与される負圧より強くすることを行なえ
ば、このような制御を容易に実現することができる。ま
た、上述したような負圧制御工程の後において、第１お
よび第２の吸引溝の双方に対して実質的に同じ負圧を付
与するようにすれば、チップ状部品の周縁部において再
び保持シートが粘着するといった不都合を確実に回避で
きる。
【００３６】また、この発明に係るチップ状部品の取扱
方法において、チップ状部品を保持シートからピックア
ップするために、上述したように、チップ状部品から保
持シートを剥がすことを行なう場合には、チップ状部品
をピックアップし損なったり、また、たとえピックアッ
プを行なえてもピックアップ時の姿勢が不適当となった
りして、次工程において支障を来す、と言う問題を引き
起こすことを防止できる。
方法において、チップ状部品を保持シートからピックア
ップするために、上述したように、チップ状部品から保
持シートを剥がすことを行なう場合には、チップ状部品
をピックアップし損なったり、また、たとえピックアッ
プを行なえてもピックアップ時の姿勢が不適当となった
りして、次工程において支障を来す、と言う問題を引き
起こすことを防止できる。
【００３７】また、この発明に係るチップ状部品の取扱
方法において、突起は、直線状に延びる頂部を有し、そ
れぞれの頂部が互いに平行に並ぶように配置されてい
て、各チップ状部品は、その長手方向が頂部の延びる方
向と直交するように配向されると、複数のチップ状部品
を整列した状態で保持シート上に配置することができる
ばかりでなく、複数の吸引溝の各々に付与される負圧を
制御することより、各チップ状部品の周縁部から保持シ
ートが剥がれるようにすることが容易になる。
方法において、突起は、直線状に延びる頂部を有し、そ
れぞれの頂部が互いに平行に並ぶように配置されてい
て、各チップ状部品は、その長手方向が頂部の延びる方
向と直交するように配向されると、複数のチップ状部品
を整列した状態で保持シート上に配置することができる
ばかりでなく、複数の吸引溝の各々に付与される負圧を
制御することより、各チップ状部品の周縁部から保持シ
ートが剥がれるようにすることが容易になる。
【００３８】また、この発明に係るチップ状部品の取扱
方法において、保持シート上に保持されたマザー体をカ
ットすることにより、複数のチップ状部品を得るように
すれば、これら複数のチップ状電子部品は、保持シート
上に整列した状態で保持されていることになる。したが
って、個々のチップ状部品の位置をＣＣＤカメラ等によ
り認識して各チップ状部品と突起および吸引溝とを位置
合わせすることを行なわずとも、保持シートを載置台上
に載置するだけで、所望のごとく、各チップ状部品と突
起および吸引溝とを能率的に位置合わせすることができ
る。
方法において、保持シート上に保持されたマザー体をカ
ットすることにより、複数のチップ状部品を得るように
すれば、これら複数のチップ状電子部品は、保持シート
上に整列した状態で保持されていることになる。したが
って、個々のチップ状部品の位置をＣＣＤカメラ等によ
り認識して各チップ状部品と突起および吸引溝とを位置
合わせすることを行なわずとも、保持シートを載置台上
に載置するだけで、所望のごとく、各チップ状部品と突
起および吸引溝とを能率的に位置合わせすることができ
る。
【００３９】他方、この発明に係るチップ状部品の取扱
装置によれば、各チップ状部品の周縁部から保持シート
が剥がれるように、真空源から載置台に備える複数の吸
引溝の各々に付与される負圧を制御するための負圧制御
手段とを備えているので、前述したチップ状部品の取扱
方法の場合と同様、保持シートは、各チップ状部品の周
縁部から剥がれた時点において、各チップ状部品の中央
部をなおも粘着している状態を維持しているので、各チ
ップ状部品について、その周縁部を支点として相対的に
立ち上がらせることはない。したがって、どのような形
状のチップ状部品であっても、保持シートをチップ状部
品から常に安定した状態で能率的に剥がすことができ
る。
装置によれば、各チップ状部品の周縁部から保持シート
が剥がれるように、真空源から載置台に備える複数の吸
引溝の各々に付与される負圧を制御するための負圧制御
手段とを備えているので、前述したチップ状部品の取扱
方法の場合と同様、保持シートは、各チップ状部品の周
縁部から剥がれた時点において、各チップ状部品の中央
部をなおも粘着している状態を維持しているので、各チ
ップ状部品について、その周縁部を支点として相対的に
立ち上がらせることはない。したがって、どのような形
状のチップ状部品であっても、保持シートをチップ状部
品から常に安定した状態で能率的に剥がすことができ
る。
【００４０】上述したチップ状部品の取扱装置におい
て、負圧制御手段が、各チップ状部品の周縁部に対向す
る第１の吸引溝に付与される負圧をそれ以外の第２の吸
引溝に付与される負圧より強くし、次いで、これら第１
および第２の吸引溝の双方に対して実質的に同じ負圧を
付与するように制御するものであるとき、このような制
御方式を簡単な構成で実現できるとともに、一旦剥がれ
た保持シートがチップ状部品の周縁部において再び粘着
するといった不都合を確実に回避できる。
て、負圧制御手段が、各チップ状部品の周縁部に対向す
る第１の吸引溝に付与される負圧をそれ以外の第２の吸
引溝に付与される負圧より強くし、次いで、これら第１
および第２の吸引溝の双方に対して実質的に同じ負圧を
付与するように制御するものであるとき、このような制
御方式を簡単な構成で実現できるとともに、一旦剥がれ
た保持シートがチップ状部品の周縁部において再び粘着
するといった不都合を確実に回避できる。
【００４１】また、この発明に係るチップ状部品の取扱
装置において、上述した載置台と真空源とを備えるとと
もに、この真空源から、各チップ状部品の周縁部に対向
する第１の吸引溝に通じる第１の真空路と、同じく真空
源から、第１の吸引溝以外の第２の吸引溝に通じる第２
の真空路と、これら第１の真空路と第２の真空路とにそ
れぞれ付与される第１および第２の負圧を個別に制御す
るための負圧制御手段とを備えていると、第１および第
２の吸引溝にそれぞれ付与すべき負圧供給のための配管
等の構成を簡単なものとすることができる。
装置において、上述した載置台と真空源とを備えるとと
もに、この真空源から、各チップ状部品の周縁部に対向
する第１の吸引溝に通じる第１の真空路と、同じく真空
源から、第１の吸引溝以外の第２の吸引溝に通じる第２
の真空路と、これら第１の真空路と第２の真空路とにそ
れぞれ付与される第１および第２の負圧を個別に制御す
るための負圧制御手段とを備えていると、第１および第
２の吸引溝にそれぞれ付与すべき負圧供給のための配管
等の構成を簡単なものとすることができる。
【００４２】また、この発明に係るチップ状部品の取扱
装置において、載置台に備える突起は、直線状に延びる
頂部を有し、この頂部が互いに平行に並ぶように配置さ
れていると、突起を利用することにより、第１および第
２の吸引溝を互いに独立した状態にすることが容易であ
り、したがって、第１および第２の吸引溝の各々の負圧
を個別に制御することが容易になる。
装置において、載置台に備える突起は、直線状に延びる
頂部を有し、この頂部が互いに平行に並ぶように配置さ
れていると、突起を利用することにより、第１および第
２の吸引溝を互いに独立した状態にすることが容易であ
り、したがって、第１および第２の吸引溝の各々の負圧
を個別に制御することが容易になる。
【００４３】また、上述の突起の頂部がナイフエッジ状
をなしていると、保持シートの剥がし工程を完了した時
点でなおも保持シートが各チップ状部品に接する面積を
極めて小さくすることができるので、たとえば、保持シ
ートからのチップ状部品のピックアップを軽い力で行な
うことができるようになる。
をなしていると、保持シートの剥がし工程を完了した時
点でなおも保持シートが各チップ状部品に接する面積を
極めて小さくすることができるので、たとえば、保持シ
ートからのチップ状部品のピックアップを軽い力で行な
うことができるようになる。
【図１】この発明の一実施形態によるチップ状部品の取
扱装置１０の概略を図解的に示す斜視図である。
扱装置１０の概略を図解的に示す斜視図である。
【図２】図１に示した載置台１１を保持シート１４とと
もに示す断面図である。
もに示す断面図である。
【図３】図２に対応する図であって、第１の吸引溝１５
に付与される第１の負圧２４を第２の吸引溝１６に付与
される第２の負圧２５より強くして、第１の吸引溝１５
に対向する部分においてのみ保持シート１４を剥がす工
程を示している。
に付与される第１の負圧２４を第２の吸引溝１６に付与
される第２の負圧２５より強くして、第１の吸引溝１５
に対向する部分においてのみ保持シート１４を剥がす工
程を示している。
【図４】図２に対応する図であって、図３に示した工程
の後において、第１および第２の吸引溝１５および１６
の双方に対して実質的に同じ負圧２６を付与する工程を
示している。
の後において、第１および第２の吸引溝１５および１６
の双方に対して実質的に同じ負圧２６を付与する工程を
示している。
【図５】この発明にとって興味ある従来の載置台１を示
す断面図である。
す断面図である。
１０ 取扱装置 １１ 載置台 １２ チップ状電子部品 １３ 粘着面 １４ 保持シート １５ 第１の吸引溝 １６ 第２の吸引溝 １７ 突起 １８ 第１の吸引穴 １９ 第２の吸引穴 ２０ 真空源 ２１ 負圧制御手段 ２２ 第１の真空路 ２３ 第２の真空路 ２４ 第１の負圧 ２５ 第２の負圧 ２６ 負圧
Claims (12)
- 【請求項１】 エキスパンド性を有しかつ表面に粘着面
を形成した保持シート上に配置されながら前記粘着面が
与える粘着性により保持されている複数のチップ状部品
を、前記保持シートから剥がすように取り扱う、チップ
状部品の取扱方法であって、 各前記チップ状部品と対向する各領域を少なくともカバ
ーするように分布する複数の吸引溝を有するとともに、
複数の前記吸引溝間であって各前記チップ状部品に対し
て少なくとも２箇所において部分的に対向するように位
置する突起を形成した、載置台を用意する、第１の工程
と、 複数の前記チップ状部品を保持している前記保持シート
を前記載置台上に載置する、第２の工程と、 前記吸引溝に負圧を付与し、それによって、前記保持シ
ートを前記突起に沿うように変形させて前記チップ状部
品から剥がす、第３の工程とを備え、 前記第３の工程は、各前記チップ状部品の周縁部から前
記保持シートが剥がれるように、複数の前記吸引溝の各
々に付与される負圧を制御する負圧制御工程を含むこと
を特徴とする、チップ状部品の取扱方法。 - 【請求項２】 前記第３の工程における前記負圧制御工
程は、各前記チップ状部品の周縁部に対向する第１の前
記吸引溝に付与される第１の負圧をそれ以外の第２の前
記吸引溝に付与される第２の負圧より強くする工程を含
む、請求項１に記載のチップ状部品の取扱方法。 - 【請求項３】 前記第３の工程は、前記負圧制御工程の
後において、前記第１および第２の吸引溝の双方に対し
て実質的に同じ負圧を付与する工程をさらに含む、請求
項２に記載のチップ状部品の取扱方法。 - 【請求項４】 前記第３の工程の後、前記チップ状部品
を前記保持シートからピックアップする工程をさらに備
える、請求項１ないし３のいずれかに記載のチップ状部
品の取扱方法。 - 【請求項５】 前記突起は、直線状に延びる頂部を有
し、前記頂部が互いに平行に並ぶように配置されてい
て、前記第２の工程において、各前記チップ状部品は、
その長手方向が前記頂部の延びる方向と直交するように
配向される、請求項１ないし４のいずれかに記載のチッ
プ状部品の取扱方法。 - 【請求項６】 複数の前記チップ状部品は、前記保持シ
ート上に保持されたマザー体をカットすることにより得
られたものである、請求項１ないし５のいずれかに記載
のチップ状部品の取扱方法。 - 【請求項７】 前記チップ状部品は、チップ状電子部品
である、請求項１ないし６のいずれかに記載のチップ状
部品の取扱方法。 - 【請求項８】 エキスパンド性を有しかつ表面に粘着面
を形成した保持シート上に配置されながら前記粘着面が
与える粘着性により保持されている複数のチップ状部品
を、前記保持シートから剥がすように取り扱う、チップ
状部品の取扱装置であって、 複数の前記チップ状部品を保持している前記保持シート
を載置するためのものであって、各前記チップ状部品と
対向する各領域を少なくともカバーするように分布する
複数の吸引溝を有するとともに、複数の前記吸引溝間で
あって各前記チップ状部品に対して少なくとも２箇所に
おいて部分的に対向するように位置する突起を形成し
た、載置台と、 前記保持シートを前記突起に沿うように変形させて前記
チップ状部品から剥がすため、前記吸引溝に負圧を付与
するための真空源と、 各前記チップ状部品の周縁部から前記保持シートが剥が
れるように、前記真空源から複数の前記吸引溝の各々に
付与される負圧を制御するための負圧制御手段とを備え
ることを特徴とする、チップ状部品の取扱装置。 - 【請求項９】 前記負圧制御手段は、各前記チップ状部
品の周縁部に対向する第１の前記吸引溝に付与される負
圧をそれ以外の第２の前記吸引溝に付与される負圧より
強くし、次いで、前記第１および第２の吸引溝の双方に
対して実質的に同じ負圧を付与するように制御する、請
求項８に記載のチップ状部品の取扱装置。 - 【請求項１０】 エキスパンド性を有しかつ表面に粘着
面を形成した保持シート上に配置されながら前記粘着面
が与える粘着性により保持されている複数のチップ状部
品を、前記保持シートから剥がすように取り扱う、チッ
プ状部品の取扱装置であって、 複数の前記チップ状部品を保持している前記保持シート
を載置するためのものであって、各前記チップ状部品と
対向する各領域を少なくともカバーするように分布する
複数の吸引溝を有するとともに、複数の前記吸引溝間で
あって各前記チップ状部品に対して少なくとも２箇所に
おいて部分的に対向するように位置する突起を形成し
た、載置台と、 前記保持シートを前記突起に沿うように変形させて前記
チップ状部品から剥がすため、前記吸引溝に負圧を付与
するための真空源と、 前記真空源から、各前記チップ状部品の周縁部に対向す
る第１の前記吸引溝に通じる第１の真空路と、 前記真空源から、前記第１の吸引溝以外の第２の前記吸
引溝に通じる第２の真空路と、 前記第１の真空路と前記第２の真空路とにそれぞれ付与
される第１および第２の負圧を個別に制御するための負
圧制御手段とを備えることを特徴とする、チップ状部品
の取扱装置。 - 【請求項１１】 前記突起は、直線状に延びる頂部を有
し、前記頂部が互いに平行に並ぶように配置されてい
る、請求項８ないし１０のいずれかに記載のチップ状部
品の取扱装置。 - 【請求項１２】 前記突起の前記頂部は、ナイフエッジ
状をなしている、請求項１１に記載のチップ状部品の取
扱装置。
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| JP21024097A JP3484936B2 (ja) | 1997-08-05 | 1997-08-05 | チップ状部品の取扱方法および装置 |
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| JPH1154594A true JPH1154594A (ja) | 1999-02-26 |
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ID=16586112
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| JP21024097A Expired - Lifetime JP3484936B2 (ja) | 1997-08-05 | 1997-08-05 | チップ状部品の取扱方法および装置 |
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