JPH1163091A - 免震性能を有する除振台 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 地震による大振動にも対応できる免震性能を
有し、しかも低コストで製作できる除振台を提供する。 【解決手段】 除振台１０は、アクティブ除振機構１４
とパッシブ免震機構１６とを備える。アクティブ除振機
構は、フレーム１８と、除振テーブル２０と、アクチュ
エータＡ１〜Ａ８と、除振テーブルの加速度を検出する
センサＳ１〜Ｓ６と、センサの検出出力に基づいてアク
チュエータを制御する制御手段とを含み、第１所定加速
度までの微振動を除振する。パッシブ免震機構は、建物
の床１２とフレームとの間に介装されてフレームを支持
し、建物の床からフレームへ伝達される水平方向の振動
を吸収して減衰させる。パッシブ免震機構は、建物の床
の加速度が第２所定加速度以上のときに作動し、第２所
定加速度以下のときには作動しないように構成されてい
る。第２所定加速度は第１所定加速度より大きい。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、免震性能を有する
除振台に関する。

【０００２】

【従来の技術】超微細加工に用いる製造装置や超高倍率
の電子顕微鏡等は、振動を極端に嫌う装置であり、振動
がこの種の装置に悪影響を及ぼすのを防止するために除
振台が使用されている。除振台は、外部の振動等に影響
されることなく高度の静止状態を維持することのできる
除振テーブルを備え、この除振テーブル上に、振動を嫌
う装置の全体またはその装置のうちの特に振動を嫌う部
分を載置して用いる。除振台について更に詳しく説明す
るために、ここでは一例として、振動を嫌う装置が、半
導体製造のリソグラフィ工程で用いられるステップ・ア
ンド・スキャン形のウェーハ露光装置である場合に即し
て説明を進めて行く。微細パターンをウェーハ上に焼付
けるために用いられる露光装置は、その装置が僅かに振
動しただけでも不良製品を発生しかねない。露光装置に
悪影響を及ぼす振動には、大きく分けて次の３種類のも
のがある。 （イ）露光装置の外部環境に通常的に発生している微振
動。これに該当するのは、例えば、露光装置を設置した
建物の近くを走行する車両や、周辺の建設工事による地
盤振動、その建物に設置された空調設備やエレベータ及
びその他の機械の作動によって発生する振動、それに、
その建物内を人が歩行することによって発生する振動等
である。 （ロ）露光装置そのものが発生する微振動。ステップ・
アンド・スキャン形の露光装置では、ウェーハ上の１箇
所の露光領域の露光を行う毎に、ウェーハを載置したウ
ェーハ・ステージとマスクを載置したマスク・ステージ
とが水平方向に走査されるために加速及び減速され、そ
の際に発生する揺動によって微振動が発生する。 （ハ）地震による振動。この振動の振幅及び加速度は小
さなものから大きなものまで様々であり、従ってこの振
動には、微振動から大振動までが含まれ得る。

【０００３】多くの除振台は、上記（イ）及び（ロ）の
微振動を吸収して、露光装置がそのような微振動の影響
を受けないようにすることを目的として設計されてお
り、上記（ハ）の地震による振動のうち比較的大きな振
動に対応することは、最初から予定していない。半導体
デバイスの集積度が現在ほど高くなく、露光装置が扱う
パターンの線幅が現在ほど細くなかった頃は、パッシブ
除振台が多く使用されていた。パッシブ除振台では、除
振テーブルが空気ばねや防振ゴム等の弾性支持手段を介
して固定フレーム上に支持されており、その弾性支持手
段の撓みによって外部からの微振動が吸収され、また、
その弾性支持手段と除振テーブル及びそれに載置された
質量とによって形成される振動系の共振周波数を適当に
設定することにより、露光装置そのものが発生する微振
動の振幅が抑制されるようにしていた。半導体の集積度
が上昇してパターンの微細化が進行するにつれて、パッ
シブ除振台の除振能力では不充分となったため、最近で
はアクティブ除振台が多用されている。アクティブ除振
台では、除振テーブルを複数のアクチュエータを介して
固定フレーム上に支持すると共に、除振テーブルに複数
の加速度センサを取り付け、それら加速度センサの検出
出力に基づいて、フィードバックやフィードフォワード
等の技法を用いてアクチュエータを制御することで、除
振テーブルに発生する加速度を小さく抑え、従ってその
振動を小さく抑えるようにしている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】アクティブ除振台は、
上記（イ）及び（ロ）の、外部及び内部の微振動に起因
する除振テーブルの振動を良好に抑制する、優れた除振
性能を有する。しかしながら、上記（ハ）の地震による
振動に関しては、微小地震による微振動は効果的に除振
するものの、例えば震度２以上の大振動に対処しようと
すると問題が生じる。微振動を除振するためには、アク
チュエータによって数ミクロンからサブミクロンのオー
ダーの精度で除振テーブルを制御する必要があるのに対
して、大きな地震による大振動はその振幅が数ミリから
数十ミリ、場合によっては数百ミリにも達することがあ
り、そのような大きな変位量を数ミクロンないしサブミ
クロンの精度をもって吸収するためには、ダイナミック
レンジの広いセンサと、大容量の高精度アクチュエータ
とを使用しなければならず、更に、振動モードが複雑に
なることから制御装置も複雑化し、コスト的に引き合わ
ないのである。本発明は上記事情に鑑みてなされたもの
であり、本発明の目的は、地震による大振動にも対応で
きる免震性能を有し、しかも低コストで製作できる除振
台を提供することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明にかかる除振台は、アクティブ除振機構と、
パッシブ免震機構とを備え、前記アクティブ除振機構
は、フレームと、除振テーブルと、前記フレームと前記
除振テーブルとの間に介装されて該除振テーブルを支持
する複数のアクチュエータと、前記除振テーブルの加速
度を検出する複数のセンサと、前記複数のセンサの検出
出力に基づいて前記複数のアクチュエータを制御するこ
とにより前記除振テーブルの加速度を抑制して前記除振
テーブルの除振を達成する制御手段とを含んでおり、前
記アクティブ除振機構は、第１所定加速度までの微振動
を除振するように構成されており、前記パッシブ免震機
構は、建築物に対して固定された基礎構造体と前記フレ
ームとの間に介装されて該フレームを支持し、該基礎構
造体から該フレームへ伝達される水平方向の振動を吸収
して減衰させるように構成されており、前記パッシブ免
震機構は、前記基礎構造体の加速度が第２所定加速度以
上のときに作動し、前記基礎構造体の加速度がこの第２
所定加速度以下のときに作動しないように構成されてお
り、この第２所定加速度は前記第１所定加速度より大き
いことを特徴とする。また、本発明にかかる除振台は、
前記パッシブ免震機構が、前記基礎構造体に対する相対
的な前記フレームの水平移動に対する復元力を発生する
ための復元力発生手段を含んでおり、該復元力発生手段
は、上端が前記フレームに接続され下端が前記基礎構造
体に連結された免震支持ユニットから成り、該免震支持
ユニットは、該免震支持ユニットに加わるその上端と下
端とを相対的に水平方向に変位させる方向の力が所定の
大きさより小さい場合には剪断変形せず、その力が該所
定の大きさより大きい場合には剪断変形するように構成
してあり、それによって、前記パッシブ免震機構が、前
記基礎構造体の加速度が前記第２所定加速度以上のとき
に作動し、前記基礎構造体の加速度が前記第２所定加速
度以下のときに作動しないようにしたことを特徴とす
る。また、本発明にかかる除振台は、前記免震支持ユニ
ットが、その下端が前記基礎構造体に固定連結されてお
り、その上端が、前記フレームと一体に水平方向に移動
可能でしかも該フレームから鉛直方向の荷重が加わらな
いようにして該フレームに接続されていることを特徴と
する。また、本発明にかかる除振台は、前記パッシブ免
震機構が、前記フレームと前記基礎構造体との間に設け
られた摺動機構を含んでおり、該摺動機構は、前記フレ
ームが前記基礎構造体に対して相対的に水平方向に２次
元的に移動可能であるようにしつつ、該除振台の前記フ
レームから上の部分の重量を支えるように構成されてい
ることを特徴とする。

【０００６】本発明にかかる除振台によれば、地震によ
る大振動が発生しない限り、パッシブ免震機構が作動し
ないため、パッシブ免震機構の動作がアクティブ除振機
構の動作に悪影響を及ぼすことが無く、一方、大振動が
発生したときには、その大振動がパッシブ免震機構によ
って減衰され、除振台上に載置した精密機械等の装置の
破壊を防ぐことができる。

【０００７】

【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態につい
て添付図面を参照して説明して行く。図１は本発明の実
施の形態にかかる除振台の側面図、図２は同じく平面
図、図３は除振台の制御手段のブロック図である。除振
台１０は、建築物に対して固定された基礎構造体である
建物の床１２上に設置されており、アクティブ除振機構
１４と、パッシブ免震機構１６とを備えている。アクテ
ィブ除振機構１４は、平面視正方形のフレーム１８と、
同じく平面視正方形の除振テーブル２０と、８個のアク
チュエータＡ１〜Ａ８とを含んでおり、それらアクチュ
エータＡ１〜Ａ８は、フレーム１８と除振テーブル２０
との間に介装されて除振テーブル２０を支持している。

【０００８】アクチュエータＡ１〜Ａ８の各々は、ピア
ゾアクチュエータであり、その一端（基端）がフレーム
１８に固定されており、他端（動作端）がラバーブロッ
クを介して除振テーブル２０に連結されている。８個の
アクチュエータＡ１〜Ａ８のうち、４個のアクチュエー
タＡ１〜Ａ４は水平方向アクチュエータであり、残りの
４個のアクチュエータＡ５〜Ａ８は鉛直方向アクチュエ
ータである。正方形の除振テーブル２０は、軽合金製の
パネルとして形成されており、その大きさは用途に応じ
て様々であるが、具体例としては、例えば、５００ｍｍ
角〜２０００ｍｍ角程度の大きさとする。４個の水平方
向アクチュエータＡ１〜Ａ４は、正方形の除振テーブル
２０の四隅に１基ずつ連結されており、図２に示すよう
に、それらのうち２個のアクチュエータＡ１及びＡ３は
Ｘ方向アクチュエータとして使用され、他の２個のアク
チュエータＡ２及びＡ４はＹ方向アクチュエータとして
使用されている。これら４個の水平方向アクチュエータ
Ａ１〜Ａ４を制御することで、フレーム１８に対する相
対的な除振テーブル２０の水平方向位置及び水平面内の
回転位置を制御することができる。４個の鉛直方向（Ｚ
方向）アクチュエータＡ５〜Ａ８も、正方形の除振テー
ブル２０の四隅に１基ずつ連結されており、これらアク
チュエータＡ５〜Ａ８を制御することによって、フレー
ム１８に対する相対的な除振テーブル２０の高さ及び傾
きを制御することができる。

【０００９】アクティブ除振機構１４は更に、除振テー
ブル２０の下面に取り付けられた、この除振テーブル２
０の加速度を検出する６個の加速度センサＳ１〜Ｓ６を
含んでいる。これら加速度センサのうち３個の加速度セ
ンサＳ１〜Ｓ３は水平方向加速度センサであり、その加
速度検出軸を水平にし、その方向を１２０度ずつずらし
て配設してある。残りの３個の加速度センサＳ４〜Ｓ６
は鉛直方向加速度センサであり、その加速度検出軸を鉛
直方向に向けて配設してある。３個の水平方向加速度セ
ンサＳ１〜Ｓ３からの検出信号を解析することによっ
て、除振テーブル２０の水平方向の加速度及び水平面内
の回転加速度を求めることができる。また、３個の鉛直
方向加速度センサＳ４〜Ｓ６からの検出信号を解析する
ことによって、除振テーブル２０の高さ方向の加速度及
び傾き方向の加速度を求めることができる。

【００１０】アクティブ除振機構１４は更に、図３にブ
ロック図で示した制御手段２２を含んでいる。この制御
手段２２は、加速度センサＳ１〜Ｓ６の検出出力に基づ
いてアクチュエータＡ１〜Ａ８を制御することにより、
除振テーブル２０の加速度を抑制して除振テーブル２０
の除振を達成するための手段である。従って、除振テー
ブル２０と、加速度センサＳ１〜Ｓ６と、制御手段２２
と、アクチュエータＡ１〜Ａ８とで、このアクティブ除
振機構１４の制御系が構成されている。図３に示すよう
に、制御手段２２は、６個の加速度センサＳ１〜Ｓ６の
各々に接続した６個の信号処理回路Ｐ１〜Ｐ６を含んで
おり、それら信号処理回路Ｐ１〜Ｐ６は、アクティブ除
振機構１４の制御系が良好に応答し得る周波数領域（ダ
イナミックレンジ）から外れる周波数成分を検出出力か
ら除去することにより、不要情報を排除して制御系の安
定性を高める機能を果たしている。

【００１１】それら６個の信号処理回路Ｐ１〜Ｐ６の出
力は、対応する６個のＡ／ＤコンバータＡＤ１〜ＡＤ６
の各々に入力され、そこでディジタル化された上で、マ
ルチプレクサＭＸを介してコントローラＣＴへ入力され
ている。コントローラＣＴは、適当な制御プログラムを
インストールしたパーソナル・コンピュータで構成する
こともでき、或いはハードウェアで構成した制御装置と
することもできる。コントローラＣＴには、既知量とし
て、除振テーブル２０の質量とその上に載置された質量
との合計である振動質量と、８個のアクチュエータＡ１
〜Ａ８を除振テーブル２０に接続しているラバーブロッ
クの弾性に起因する、除振テーブル２０の支持構造中の
ばね要素及び減衰要素の定数とが予め入力されている。
コントローラＣＴは、それら既知量と、６個の加速度セ
ンサＳ１〜Ｓ６の出力とに基づいて、８個のアクチュエ
ータＡ１〜Ａ８の夫々の作動量をどのようにすれば除振
テーブル２０の加速度を最小にし得るかを算出し、それ
ら作動量を夫々に反映した８つの指令信号をデマルチプ
レクサＤＭへ常時送出している。

【００１２】デマルチプレクサＤＭは、入力してくるそ
れら８つの指令信号を、８個のＤ／ＡコンバータＤＡ１
〜ＤＡ８へ分配し、それらＤ／ＡコンバータＤＡ１〜Ｄ
Ａ８は、受け取った指令信号をアナログ化した上で、ア
クチュエータ駆動回路であるサーボ増幅器ＳＡ１〜ＳＡ
８へ供給する。それらサーボ増幅器ＳＡ１〜ＳＡ８は、
受け取った指令信号に応じた大きさの電流を前述のピア
ゾアクチュエータＡ１〜Ａ８へ供給することで、それら
アクチュエータＡ１〜Ａ８に、夫々の指令信号に応じた
作動量を発生させる。

【００１３】アクティブ除振機構１４は、所定加速度ま
での微振動を除振するように構成されており、即ち、加
速度センサＳ１〜Ｓ６のダイナミックレンジも、アクチ
ュエータＡ１〜Ａ８の容量も、その所定加速度の値に従
って選択されている。この所定加速度を、以下の説明で
は「第１所定加速度」と呼ぶことにする。除振台１０
が、以下に詳細に説明するパッシブ免震機構１６を備え
ていることから、この第１所定加速度は、比較的小さな
加速度とすることができ、そのためセンサＳ１〜Ｓ６に
ダイナミックレンジの小さなものを使用でき、アクチュ
エータＡ１〜Ａ８に容量の小さなものを使用できるた
め、除振台１０のコストを低減するという観点で有利で
ある。なお、コントローラＣＴは、第１所定加速度以上
の加速度が検出された場合には、アクチュエータＡ１〜
Ａ８の動作を停止させることで制御系のループを断ち切
るようにしている。これは、アクティブ除振機構１４が
動作を停止するということであり、このようにしている
のは、アクティブ除振機構１４の制御が暴走して異常振
動を発生することや、アクチュエータに過大負荷が加わ
ること等を未然に防止するためである。

【００１４】パッシブ免震機構１６は、建築物に対して
固定された基礎構造体である建物の床１２と、フレーム
１８との間に介装されており、このフレーム１８を支持
している。このパッシブ免震機構１６は、比較的大きな
（例えば震度２以上の）地震が発生して、建物が比較的
大きな水平方向の振動を生じたときに、建物の床１２か
らフレーム１８へ伝達される水平方向の振動を吸収して
減衰させるように構成されている。更に詳細に説明する
と、パッシブ免震機構１６はフレーム１８と建物の床１
２との間に設けられた摺動機構２４を含んでおり、この
摺動機構２４は、平面視正方形のフレーム１８の四隅に
１つずつ、計４つ備えられた摺動構造から成り、各摺動
構造は、フレーム１８の下面に設けられた第１摺接面
と、この第１摺接面と摺接する、建物の床１２に設けら
れた第２摺接面とで構成されている。第１摺接面及び第
２摺接面には、それらの一方もしくは両方にテフロン等
の低摩擦材料をコーティングするようにしている。これ
によって、比較的大きな地震が発生して建物の床１２が
所定加速度以上の水平方向の地震加速度を発生したとき
に、フレーム１８が建物の床１２に対して相対的に、水
平方向に移動するようにしており、この所定加速度を以
下の説明では「第２所定加速度」と呼ぶことにする。以
上により、摺動機構２４は、フレーム１８が建物の床１
２に対して相対的に水平方向に２次元的に移動可能であ
るようにしつつ、除振台１０のうちの、フレーム１８か
ら上の部分の重量を支えるように構成されている。ここ
で、摺動機構２４によってフレーム１８から上の部分の
重量を支えるようにしたのは、以下に説明する免震支持
ユニット２６とフレーム１８との間に、鉛直方向の荷重
（圧縮荷重と引張荷重とのいずれも）が作用しないよう
にするためであり、このようにした理由については後述
する。

【００１５】パッシブ免震機構１６は更に、建物の床１
２に対する相対的なフレーム１８の水平移動に対する復
元力を発生するための復元力発生手段を含んでおり、こ
の復元力発生手段は、建物の床１２とフレーム１８との
間に介装された免震支持ユニット２６から成る。免震支
持ユニット２４は、ゴム板と鋼板とを交互に積層して形
成した円柱形積層体の中心軸に沿って孔を設け、その孔
の中に鉛製の円柱体を挿入したものであり、従来公知の
免震支持ユニットと同様のものである。

【００１６】免震支持ユニット２６は、その下端が建物
の床１２にボルト（不図示）で固定連結されており、鉛
製の円柱体（不図示）は鉛直方向に延在している。免震
支持ユニット２６の上端には、鉛直ピン（不図示）が埴
設されており、この鉛直ピンが、フレーム１８に穿設さ
れた鉛直孔（不図示）の中に嵌合することで、免震支持
ユニット２６の上端がフレーム１８に接続されている。
この接続態様によれば、フレーム１８が建物の床１２に
対して相対的に水平移動するときには、免震支持ユニッ
ト２６の上端がフレーム１８と一体に移動される。一
方、このフレーム１８と免震支持ユニット２６の上端と
の間の接続は、鉛直方向には互いの位置を拘束しないよ
うになっており、しかも、フレーム１８から上の部分の
重量は、前述の摺動機構２４によって支えられるため、
免震支持ユニット２６には加わらないのである。

【００１７】免震支持ユニット２６の上端が下端に対し
て相対的に水平移動することによって、この免震支持ユ
ニット２６は剪断変形し、その際に鉛製の円柱体が塑性
変形するために振動エネルギが散逸される。また、積層
されたゴム板の内部摩擦によっても振動エネルギが散逸
され、ゴム板の弾性力は、免震支持ユニット２６の剪断
変形を復元させる復元力として働く。免震支持ユニット
２６は、水平方向に剪断変形するのに伴って、その高さ
も僅かにではあるが変化し、多くの場合、短縮する（上
端が沈み込む）方向に変化する。ただし、先に説明した
ように、フレーム１８と免震支持ユニット２６の上端と
を、鉛直方向には拘束しないように接続してあるため、
この免震支持ユニット２６の高さの変化は、フレーム１
８に対して何ら影響を及ぼさない。尚、既述のごとく、
フレーム１８は建物の床１２の加速度が第２所定加速度
以下のときには床１２に対して静止しているため、第２
所定加速度以上の加速度が発生しない限り免震支持ユニ
ット２６は作動しない。

【００１８】第２所定加速度の大きさは、後述するよう
に、例えば震度２程度の地震に伴う加速度（１０ガル〜
数十ガル程度）に設定するようにしており、一方、アク
ティブ除振機構１４がその加速度までの微振動を除振す
るように構成される前述の第１所定加速度は、数ガル程
度に設定するようにしている。従って第２所定加速度は
第１所定加速度より大きい。このように設定することに
より、アクティブ除振機構１４が除振機能を果たす小加
速度領域では、パッシブ免震機構１６が作動しないため
アクティブ除振機構１４が高精度で機能することがで
き、一方、パッシブ免震機構１６が作動する大加速度領
域では、アクティブ除振機構１４は動作を停止するが、
パッシブ免震機構１６の働きにより、除振テーブル２０
上の装置が大振動によって損傷ないし破壊されるという
事態が効果的に防止される。

【００１９】更に詳しく説明すると、先に露光装置に即
して説明したように、除振台１０に作用する振動には大
きく分けて次の３種類の振動がある。 （１）除振台１０の外部環境に通常的に発生している微
振動（これには、交通振動、周辺の建設工事の振動、建
物内の機器の作動による振動、建物内の歩行による振動
等が含まれる）。 （２）除振台１０に載置されている装置自体が発生する
微振動。 （３）地震による振動。 これらのうち、（１）及び（２）の微振動しか存在して
いないときには、パッシブ免震機構１６が作動しないた
め、実質的にフレーム１８が建物の床１２に直接固定さ
れているのと同じことになり、このとき、それら微振動
はアクティブ除振機構１４によって効果的に除振され
る。また、上記（３）の地震による振動は、直下形地震
の場合を除いて水平方向の振動として発生するが、その
振動の振幅及び加速度は微細なものから大きなものまで
様々である。その振動の加速度の大きさが第２所定加速
度以上のときには、フレーム１８が建物の床１２に対し
て相対的に、水平方向に振動するため、免震支持ユニッ
ト２６が変形し、従ってパッシブ免震機構１６が作動す
る。このパッシブ免震機構１６の働きによって、建物の
床１２からフレーム１８へ伝達される加速度が小さく抑
えられるため、除振テーブル２０上に載置した装置の損
傷ないし破壊が効果的に防止される。尚、このような大
きな振動が発生したときは、先に説明したように、アク
ティブ除振機構１４はその振動の発生と同時に動作を停
止している。従って、例えば除振テーブル２０上の装置
が半導体の製造装置であった場合には、その地震の発生
時に製造されていた製品は不良品になると予期される
が、そのような不良品は最終検査工程ではねればよく、
たとえ地震発生時に不良品が発生しても、それが最終的
な製品歩留まりに与える影響は僅かなものでしかない。
一方、発生した地震が小さく、その地震による振動の加
速度が第２所定加速度以下である場合には、パッシブ免
震機構１６は作動しないが、そのような小さな加速度で
は、除振テーブル２０上に載置した装置が破損するおそ
れはない。また、地震による振動の加速度が第２所定加
速度以下であっても、それが第１所定加速度以上であれ
ばアクティブ除振機構１４は動作を停止するため、アク
ティブ除振機構１４の制御の暴走によって除振テーブル
２０の振動が逆に強められるという事態に陥るおそれも
ない。従って、静止摩擦の大きさによって第２所定加速
度を規定している前述の摺動機構２４は、通常的に発生
する微振動に対応した小さな加速度しか作用しないとき
にはパッシブ免震機構１６が作動せず、大きな地震に伴
う大きな加速度が作用したときにのみパッシブ免震機構
１６が作動するように、このパッシブ免震機構１６にト
リガ機能を持たせる役割を果たしている。

【００２０】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
にかかる除振台によれば、地震による大振動が発生しな
い限り、パッシブ免震機構が作動しないため、パッシブ
免震機構の動作がアクティブ除振機構の動作に悪影響を
及ぼすことがない。一方、大振動が発生したときには、
その大振動がパッシブ免震機構によって減衰されるた
め、除振テーブル上に載置した装置が地震の大振動によ
って損傷ないし破壊されるという事態も効果的に防止さ
れる。しかも、使用する加速度センサはダイナミックレ
ンジの広いものであることを要さず、アクチュエータは
大容量のものであることを要しないため、簡明で低コス
トの構成によって以上が達成される。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態にかかる除振台の側面図で
ある。

【図２】除振台の平面図である。

【図３】除振台の制御手段のブロック図である。

【符号の説明】

１０ 除振台 １２ 基礎構造体（建物の床） １４ アクティブ除振機構 １６ パッシブ免震機構 １８ フレーム ２０ 除振テーブル ２２ 制御手段 ２４ 摺動機構 ２６ 免震支持ユニット Ａ１〜Ａ８ アクチュエータ Ｓ１〜Ｓ６ 加速度センサ

─────────────────────────────────────────────────────

【手続補正書】

【提出日】平成９年９月３０日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】請求項２

【補正方法】変更

【補正内容】

【手続補正２】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０００５

【補正方法】変更

【補正内容】

【０００５】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明にかかる除振台は、アクティブ除振機構と、
パッシブ免震機構とを備え、前記アクティブ除振機構
は、フレームと、除振テーブルと、前記フレームと前記
除振テーブルとの間に介装されて該除振テーブルを支持
する複数のアクチュエータと、前記除振テーブルの加速
度を検出する複数のセンサと、前記複数のセンサの検出
出力に基づいて前記複数のアクチュエータを制御するこ
とにより前記除振テーブルの加速度を抑制して前記除振
テーブルの除振を達成する制御手段とを含んでおり、前
記アクティブ除振機構は、第１所定加速度までの微振動
を除振するように構成されており、前記パッシブ免震機
構は、建築物に対して固定された基礎構造体と前記フレ
ームとの間に介装されて該フレームを支持し、該基礎構
造体から該フレームへ伝達される水平方向の振動を吸収
して減衰させるように構成されており、前記パッシブ免
震機構は、前記基礎構造体の加速度が第２所定加速度以
上のときに作動し、前記基礎構造体の加速度がこの第２
所定加速度以下のときに作動しないように構成されてお
り、この第２所定加速度は前記第１所定加速度より大き
いことを特徴とする。また、本発明にかかる除振台は、
前記パッシブ免震機構が、前記基礎構造体に対する相対
的な前記フレームの水平移動に対する復元力を発生する
ための復元力発生手段を含んでおり、該復元力発生手段
は、上端が前記フレームに接続され下端が前記基礎構造
体に連結された免震支持ユニットから成ることを特徴と
する。また、本発明にかかる除振台は、前記免震支持ユ
ニットが、その下端が前記基礎構造体に固定連結されて
おり、その上端が、前記フレームと一体に水平方向に移
動可能でしかも該フレームから鉛直方向の荷重が加わら
ないようにして該フレームに接続されていることを特徴
とする。また、本発明にかかる除振台は、前記パッシブ
免震機構が、前記フレームと前記基礎構造体との間に設
けられた摺動機構を含んでおり、該摺動機構は、前記フ
レームが前記基礎構造体に対して相対的に水平方向に２
次元的に移動可能であるようにしつつ、該除振台の前記
フレームから上の部分の重量を支えるように構成されて
いることを特徴とする。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 アクティブ除振機構と、パッシブ免震機
   構とを備え、 前記アクティブ除振機構は、フレームと、除振テーブル
   と、前記フレームと前記除振テーブルとの間に介装され
   て該除振テーブルを支持する複数のアクチュエータと、
   前記除振テーブルの加速度を検出する複数のセンサと、
   前記複数のセンサの検出出力に基づいて前記複数のアク
   チュエータを制御することにより前記除振テーブルの加
   速度を抑制して前記除振テーブルの除振を達成する制御
   手段とを含んでおり、 前記アクティブ除振機構は、第１所定加速度までの微振
   動を除振するように構成されており、 前記パッシブ免震機構は、建築物に対して固定された基
   礎構造体と前記フレームとの間に介装されて該フレーム
   を支持し、該基礎構造体から該フレームへ伝達される水
   平方向の振動を吸収して減衰させるように構成されてお
   り、 前記パッシブ免震機構は、前記基礎構造体の加速度が第
   ２所定加速度以上のときに作動し、前記基礎構造体の加
   速度がこの第２所定加速度以下のときに作動しないよう
   に構成されており、この第２所定加速度は前記第１所定
   加速度より大きい、 ことを特徴とする除振台。
2. 【請求項２】 前記パッシブ免震機構は、前記基礎構造
   体に対する相対的な前記フレームの水平移動に対する復
   元力を発生するための復元力発生手段を含んでおり、該
   復元力発生手段は、上端が前記フレームに接続され下端
   が前記基礎構造体に連結された免震支持ユニットから成
   り、該免震支持ユニットは、該免震支持ユニットに加わ
   るその上端と下端とを相対的に水平方向に変位させる方
   向の力が所定の大きさより小さい場合には剪断変形せ
   ず、その力が該所定の大きさより大きい場合には剪断変
   形するように構成してあり、それによって、前記パッシ
   ブ免震機構が、前記基礎構造体の加速度が前記第２所定
   加速度以上のときに作動し、前記基礎構造体の加速度が
   前記第２所定加速度以下のときに作動しないようにした
   請求項１記載の除振台。
3. 【請求項３】 前記免震支持ユニットは、その下端が前
   記基礎構造体に固定連結されており、その上端が、前記
   フレームと一体に水平方向に移動可能でしかも該フレー
   ムから鉛直方向の荷重が加わらないようにして該フレー
   ムに接続されている請求項２記載の除振台。
4. 【請求項４】 前記パッシブ免震機構は、前記フレーム
   と前記基礎構造体との間に設けられた摺動機構を含んで
   おり、該摺動機構は、前記フレームが前記基礎構造体に
   対して相対的に水平方向に２次元的に移動可能であるよ
   うにしつつ、該除振台の前記フレームから上の部分の重
   量を支えるように構成されている請求項３記載の除振
   台。