JPH1163956A - 結晶板の多点角度測定方法及び角度測定方法 - Google Patents
結晶板の多点角度測定方法及び角度測定方法Info
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- JPH1163956A JPH1163956A JP9228850A JP22885097A JPH1163956A JP H1163956 A JPH1163956 A JP H1163956A JP 9228850 A JP9228850 A JP 9228850A JP 22885097 A JP22885097 A JP 22885097A JP H1163956 A JPH1163956 A JP H1163956A
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】結晶板の高精度の多点角度測定方法及び角度測
定方法を提供する。 【解決手段】基準面Ｐの回転角を計測する回転支持体
６、これに取り付けられて可動部８を有するＸＹテーブ
ル７、放射方向が固定されたＸ線源９及び受線管１０を
備えた多点角度測定装置を使用する。Ｘ線５の放射点ο
を中心とした通過線上の２点ｐｑに、光源からのレーザ
１２（ａ，ｂ）がそれぞれ垂直に放射されるように設置
される。レーザーフォーカス変位計１１（ａ，ｂ）には
角度演算器１３が接続する。レーザーフォーカス変位計
は、水晶板１の２点における、主面に対して垂直方向の
変位を計測する。そして、角度演算器は、予め設定され
た光源間の距離と２点間の変位差から、三角関数により
２点間の傾きを計算する。すなわち、水晶板１の２点間
における基準面Ｐからのずれ角を得る。
定方法を提供する。 【解決手段】基準面Ｐの回転角を計測する回転支持体
６、これに取り付けられて可動部８を有するＸＹテーブ
ル７、放射方向が固定されたＸ線源９及び受線管１０を
備えた多点角度測定装置を使用する。Ｘ線５の放射点ο
を中心とした通過線上の２点ｐｑに、光源からのレーザ
１２（ａ，ｂ）がそれぞれ垂直に放射されるように設置
される。レーザーフォーカス変位計１１（ａ，ｂ）には
角度演算器１３が接続する。レーザーフォーカス変位計
は、水晶板１の２点における、主面に対して垂直方向の
変位を計測する。そして、角度演算器は、予め設定され
た光源間の距離と２点間の変位差から、三角関数により
２点間の傾きを計算する。すなわち、水晶板１の２点間
における基準面Ｐからのずれ角を得る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は結晶板のＸ線の回折によ
る角度測定方法を利用分野とし、特にレーザフォーカス
変位計により結晶板の姿勢誤差を計測して角度を補正す
る、結晶板の大型化に適応した多点角度測定方法に関す
る。
る角度測定方法を利用分野とし、特にレーザフォーカス
変位計により結晶板の姿勢誤差を計測して角度を補正す
る、結晶板の大型化に適応した多点角度測定方法に関す
る。
【０００２】
（発明の背景）結晶例えば水晶は、電気的な共振素子あ
るいは光学素子として知られている。これらは、その用
途に応じて、いずれも水晶体の結晶軸（ＸＹＺ）に対し
て規定の角度で切断される。近年では、水晶板を大型化
し、これから多数の水晶片を取り出すようにして、生産
性を高める方向にある。例えば共振素子として発振器等
に用いられる水晶板の一つに、切断角度θをＡＴカット
とした代表的なものがあるが、本発明ではこれを例とし
て説明する。
るいは光学素子として知られている。これらは、その用
途に応じて、いずれも水晶体の結晶軸（ＸＹＺ）に対し
て規定の角度で切断される。近年では、水晶板を大型化
し、これから多数の水晶片を取り出すようにして、生産
性を高める方向にある。例えば共振素子として発振器等
に用いられる水晶板の一つに、切断角度θをＡＴカット
とした代表的なものがあるが、本発明ではこれを例とし
て説明する。
【０００３】（従来技術の一例）第５図乃至第８図はは
従来における水晶板の角度測定方法を説明する図であ
る。ＡＴカットとした水晶板１は、結晶軸（ＸＹＺ）の
Ｘ軸を中心として、主面がＹ軸に直交したＹカットの水
晶板２を、Ｙ軸からＺ軸方向にθ度（約３５゜１５’）
回転した角度で切断される（第５図）。このような切断
角度θでの、水晶板１の結晶格子面３（一点鎖線面）
は、切断面である主面からα度（約 度）傾斜する。な
お、この傾斜角αを仰角αとする。そして、仰角αか
ら、切断角度θが一義的に逆算される。
従来における水晶板の角度測定方法を説明する図であ
る。ＡＴカットとした水晶板１は、結晶軸（ＸＹＺ）の
Ｘ軸を中心として、主面がＹ軸に直交したＹカットの水
晶板２を、Ｙ軸からＺ軸方向にθ度（約３５゜１５’）
回転した角度で切断される（第５図）。このような切断
角度θでの、水晶板１の結晶格子面３（一点鎖線面）
は、切断面である主面からα度（約 度）傾斜する。な
お、この傾斜角αを仰角αとする。そして、仰角αか
ら、切断角度θが一義的に逆算される。
【０００４】仰角αは、前述したようにＸ線の回折によ
り測定される。概略すると、第７図に示したように、先
ず、基準面Ｐを形成する平板４の表面に水晶板１を保持
する。そして、規定の角度（いわゆるブラック角）γで
水晶板１の中央部にＸ線５を入射する。次に、基準面Ｐ
を板面方向に傾斜させて回転させる。このようなもので
は、結晶格子面３に対し、Ｘ線５がブラック角γで入射
されたとき、回折（反射）を生ずる（第８図）。そし
て、Ｘ線５の反射量を最大とする。したがって、このと
きの基準面Ｐの回転角Ａが仰角αとなる。なお、回折を
生ずる時のＸ線５の入反射間は１８０゜−２γとなり、
２γは回折角と称されている。また、回転角Ａは、図示
しない回転計（ゴニオメータ等）により、測定される。
り測定される。概略すると、第７図に示したように、先
ず、基準面Ｐを形成する平板４の表面に水晶板１を保持
する。そして、規定の角度（いわゆるブラック角）γで
水晶板１の中央部にＸ線５を入射する。次に、基準面Ｐ
を板面方向に傾斜させて回転させる。このようなもので
は、結晶格子面３に対し、Ｘ線５がブラック角γで入射
されたとき、回折（反射）を生ずる（第８図）。そし
て、Ｘ線５の反射量を最大とする。したがって、このと
きの基準面Ｐの回転角Ａが仰角αとなる。なお、回折を
生ずる時のＸ線５の入反射間は１８０゜−２γとなり、
２γは回折角と称されている。また、回転角Ａは、図示
しない回転計（ゴニオメータ等）により、測定される。
【０００４】
（従来技術の問題点）しかしながら、上記構成の角度測
定法では、水晶板１の中央部一カ所の仰角をα測定する
のみなので、水晶板１が小さい場合（例えば１０×１０
ｍｍ以下）には適用できても、大型化する（例えば５０
×５０ｍｍ以上）と適用できない問題があった。
定法では、水晶板１の中央部一カ所の仰角をα測定する
のみなので、水晶板１が小さい場合（例えば１０×１０
ｍｍ以下）には適用できても、大型化する（例えば５０
×５０ｍｍ以上）と適用できない問題があった。
【０００５】すなわち、水晶板１の結晶格子面３は、第
９図に示したように、必ずしも水平面ではなく、曲面状
にうねりを生ずることがある。例えば水晶板１の研磨装
置による平板４加工時の外力等によって発生する加工歪
みによる。また、これとは逆に、結晶格子面３は水平で
も、両主面がうねりを生ずることもある。したがって、
このような場合には、水晶板１の中央部と外周部とで
は、その仰角αは全く異なる値になる。
９図に示したように、必ずしも水平面ではなく、曲面状
にうねりを生ずることがある。例えば水晶板１の研磨装
置による平板４加工時の外力等によって発生する加工歪
みによる。また、これとは逆に、結晶格子面３は水平で
も、両主面がうねりを生ずることもある。したがって、
このような場合には、水晶板１の中央部と外周部とで
は、その仰角αは全く異なる値になる。
【０００６】このことから、水晶板１が小さい場合は、
中央部の一カ所を測定すれば、うねりの影響も小さくそ
の誤差は許容範囲内とすることもできたが、水晶板１が
大型化すると、許容範囲を越えて中央部一カ所のみの測
定では、信頼性に欠ける問題があった。逆に言えば、こ
のようなことから、水晶板１の大型化を阻害して生産性
を低下させる一要因となっていた。
中央部の一カ所を測定すれば、うねりの影響も小さくそ
の誤差は許容範囲内とすることもできたが、水晶板１が
大型化すると、許容範囲を越えて中央部一カ所のみの測
定では、信頼性に欠ける問題があった。逆に言えば、こ
のようなことから、水晶板１の大型化を阻害して生産性
を低下させる一要因となっていた。
【０００７】そこで、水晶板１を大きくした場合には、
中央部の一点のみならず、外周も含めた多点にて、仰角
αを測定する。そして、許容範囲外の部分は、除去して
生産性を高めることが考えられた。例えば、Ｌ字状の回
転支持体６に取り付けられた、ＸＹテーブル６の基準面
Ｐとなる可動部７の表面に、水晶板１を保持する。そし
て、水晶板１をＸＹ方向に移動して、照射方向の固定さ
れたＸ線５を水晶板１の表面の各点に照射し、回転支持
体６を中心線Ｈ−Ｈ’を軸として回転させ、各点の仰角
αを測定する。なお、図中の９、１０はＸ線源及び受線
管である。
中央部の一点のみならず、外周も含めた多点にて、仰角
αを測定する。そして、許容範囲外の部分は、除去して
生産性を高めることが考えられた。例えば、Ｌ字状の回
転支持体６に取り付けられた、ＸＹテーブル６の基準面
Ｐとなる可動部７の表面に、水晶板１を保持する。そし
て、水晶板１をＸＹ方向に移動して、照射方向の固定さ
れたＸ線５を水晶板１の表面の各点に照射し、回転支持
体６を中心線Ｈ−Ｈ’を軸として回転させ、各点の仰角
αを測定する。なお、図中の９、１０はＸ線源及び受線
管である。
【０００８】しかし、この場合には、ＸＹテーブル７に
おける可動部８（基準面Ｐ）の平行移動時に、純粋な平
行移動を保証できず、基準面Ｐに対するＸ線５の入射角
が変化してしまう。また、基準面となる可動部８の平面
度（水平度）も水晶板１が大型化するほど維持すること
が困難となる。したがって、このような多点角度測定装
置は、実用には至らなかった。
おける可動部８（基準面Ｐ）の平行移動時に、純粋な平
行移動を保証できず、基準面Ｐに対するＸ線５の入射角
が変化してしまう。また、基準面となる可動部８の平面
度（水平度）も水晶板１が大型化するほど維持すること
が困難となる。したがって、このような多点角度測定装
置は、実用には至らなかった。
【０００９】なお、このような多点測定に基づく、水晶
板１を多数の水晶片（チップ）に分割して水晶振動子を
形成した場合には、角度誤差に基づき、各特性例えば周
波数温度特性が規定の特性にならず、不良品の山積みと
なる。
板１を多数の水晶片（チップ）に分割して水晶振動子を
形成した場合には、角度誤差に基づき、各特性例えば周
波数温度特性が規定の特性にならず、不良品の山積みと
なる。
【００１０】（発明の目的）本発明は、結晶板の高精度
の多点角度測定方法及び角度測定方法を提供することを
目的とする。
の多点角度測定方法及び角度測定方法を提供することを
目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明は、放射方向がそ
れぞれ固定された複数の光源からのレーザを結晶板の異
なる点に照射し、結晶板の主面に対する各点の垂直方向
の変位量を計測して、いわゆるレーザーフォーカス変位
計を使用して、結晶板の基準面からの各点間におけるず
れ角を計測し、結晶板の仰角（切断角度）を補正したこ
とを基本的な解決手段とする。
れぞれ固定された複数の光源からのレーザを結晶板の異
なる点に照射し、結晶板の主面に対する各点の垂直方向
の変位量を計測して、いわゆるレーザーフォーカス変位
計を使用して、結晶板の基準面からの各点間におけるず
れ角を計測し、結晶板の仰角（切断角度）を補正したこ
とを基本的な解決手段とする。
【００１２】
【作用】本発明は、レーザーフォーカス変位計により、
結晶板の各点における変位量を計測するので、各点の変
位量から三角関数により基準面に対する各点間の傾きを
計算できる。したがって、結晶板の各点間の傾きが基準
面に対するずれ角となり、回折時における基準面の回転
角にこれを増減することにより、仰角α（切断角度θ）
のより近接した真値を得ることができる。以下、本発明
の一実施例を説明する。
結晶板の各点における変位量を計測するので、各点の変
位量から三角関数により基準面に対する各点間の傾きを
計算できる。したがって、結晶板の各点間の傾きが基準
面に対するずれ角となり、回折時における基準面の回転
角にこれを増減することにより、仰角α（切断角度θ）
のより近接した真値を得ることができる。以下、本発明
の一実施例を説明する。
【００１３】第１図は本発明の一実施例を説明する模式
図である。なお、前従来例図と同一部分には同番号を付
与してその説明は簡略する。水晶板１は、前述のように
公称の切断角度θを３５゜１５’、仰角αを 度とした
ＡＴカットとする。大きさを例えば約８０×８０ｍｍと
する。そして、Ｘ線５の回折により（前第７、８ 図参
照）、水晶板１の主面における多点の仰角αを測定す
る。
図である。なお、前従来例図と同一部分には同番号を付
与してその説明は簡略する。水晶板１は、前述のように
公称の切断角度θを３５゜１５’、仰角αを 度とした
ＡＴカットとする。大きさを例えば約８０×８０ｍｍと
する。そして、Ｘ線５の回折により（前第７、８ 図参
照）、水晶板１の主面における多点の仰角αを測定す
る。
【００１４】この実施例では、例えば前述の、基準面Ｐ
の回転角を計測する回転支持体６、これに取り付けられ
て可動部８を有するＸＹテーブル７、放射方向が固定さ
れたＸ線源９及び受線管１０を備えた多点角度測定装置
を使用する。そして、光源をそれぞれ有する２個のレー
ザーフォーカス変位計１１（ａｂ）を、水晶板１の上方
に設置する。
の回転角を計測する回転支持体６、これに取り付けられ
て可動部８を有するＸＹテーブル７、放射方向が固定さ
れたＸ線源９及び受線管１０を備えた多点角度測定装置
を使用する。そして、光源をそれぞれ有する２個のレー
ザーフォーカス変位計１１（ａｂ）を、水晶板１の上方
に設置する。
【００１５】すなわち、Ｘ線５の放射点ｏを中心とした
通過線上の２点ｐｑに、光源からのレーザ１２（ａｂ）
がそれぞれ垂直に放射されるように設置される。レーザ
ーフォーカス変位計１１（ａｂ）には角度演算器１３が
接続する。なお、この種のレーザーフォーカス変位計１
１は垂直入射型と呼ばれている（キーエンス社製のＬＴ
−８０１０及びＬＴ８０２０等）。
通過線上の２点ｐｑに、光源からのレーザ１２（ａｂ）
がそれぞれ垂直に放射されるように設置される。レーザ
ーフォーカス変位計１１（ａｂ）には角度演算器１３が
接続する。なお、この種のレーザーフォーカス変位計１
１は垂直入射型と呼ばれている（キーエンス社製のＬＴ
−８０１０及びＬＴ８０２０等）。
【００１６】レーザーフォーカス変位計は、水晶板１の
２点における、主面に対して垂直方向の変位を計測す
る。そして、角度演算器は、第２図に示したように、予
め設定された光源間の距離ｄと２点間の変位差ΔＬ（Ｌ
２-Ｌ１)から、三角関数により２点間の傾きＢを計算す
る。すなわち、水晶板１の２点間における基準面Ｐから
のずれ角Ｂを得る。
２点における、主面に対して垂直方向の変位を計測す
る。そして、角度演算器は、第２図に示したように、予
め設定された光源間の距離ｄと２点間の変位差ΔＬ（Ｌ
２-Ｌ１)から、三角関数により２点間の傾きＢを計算す
る。すなわち、水晶板１の２点間における基準面Ｐから
のずれ角Ｂを得る。
【００１７】このような構成のものでは、先ず、ＸＹテ
ーブル７の可動部８により水晶板１をＸ及びＹ方向に順
次に移動して、その都度、可動部８を固定する。そし
て、その度毎に、レーザーフォーカス変位計１１（ａ
ｂ）及び角度演算器１３により、２点（ｐｑ）間の基準
面からのずれ角Ｂを測定される。次に、放射方向の固定
されたＸ線５が、水晶板１の移動の度毎に、各点ｏに放
射される。そして、水晶板１の各点ｏにおいて、Ｘ線５
の回折により、基準面Ｐからの回転角Ａが回転支持体６
に付属した回転計（未図示）により測定される。最後
に、図示しない加減算器により、回転角Ａにずれ角Ｂを
加減して、各点ｏにおける仰角αを得る。
ーブル７の可動部８により水晶板１をＸ及びＹ方向に順
次に移動して、その都度、可動部８を固定する。そし
て、その度毎に、レーザーフォーカス変位計１１（ａ
ｂ）及び角度演算器１３により、２点（ｐｑ）間の基準
面からのずれ角Ｂを測定される。次に、放射方向の固定
されたＸ線５が、水晶板１の移動の度毎に、各点ｏに放
射される。そして、水晶板１の各点ｏにおいて、Ｘ線５
の回折により、基準面Ｐからの回転角Ａが回転支持体６
に付属した回転計（未図示）により測定される。最後
に、図示しない加減算器により、回転角Ａにずれ角Ｂを
加減して、各点ｏにおける仰角αを得る。
【００１８】このような構成であれば、ＸＹテーブル７
により水晶板１を移動することにより、ほぼ全領域にお
いてＸ線の回折による仰角αを測定できる。そして、水
晶板１の移動の度毎に、レーザーフォーカス変位計１１
（ａｂ）及び角度演算器１２により、２点（ｐｑ）間の
基準面Ｐからのずれ角Ｂを検出するので、回転支持体６
の回転角Ａを補正して、より真値に近い仰角θを測定で
きる。
により水晶板１を移動することにより、ほぼ全領域にお
いてＸ線の回折による仰角αを測定できる。そして、水
晶板１の移動の度毎に、レーザーフォーカス変位計１１
（ａｂ）及び角度演算器１２により、２点（ｐｑ）間の
基準面Ｐからのずれ角Ｂを検出するので、回転支持体６
の回転角Ａを補正して、より真値に近い仰角θを測定で
きる。
【００１９】したがって、水晶板１の各点における仰角
を正しく測定できるので、これに基づき、水晶板１を多
数の水晶片に分割する際、許容範囲以外のものを排除で
きる。また、切断角度θ（仰角α）毎に分類して、各仕
様に対応できる。このことから、品質及び生産性を高め
ることができる。
を正しく測定できるので、これに基づき、水晶板１を多
数の水晶片に分割する際、許容範囲以外のものを排除で
きる。また、切断角度θ（仰角α）毎に分類して、各仕
様に対応できる。このことから、品質及び生産性を高め
ることができる。
【００２０】
【他の事項】上記実施例では、回転支持体６上にＸＹテ
ーブル７を取り付けて、放射源９（送信源）及び受線管
１０（受信源）を固定し、Ｘ線５を一定方向に放射して
多点測定としたが、例えば第３図に示したようにしても
よい。すなわち、ＸＹテーブ７ルは固定し、Ｘ線５の送
受源９、１０を一定の間隔Ｄに固定して即ちＸ線５の入
反射間の角度を１８０゜−２γ（回折角）に固定して、
これを一体的に回転させてもよい。この場合において
も、水晶板１に対して、Ｘ線５の入射角をブラック角γ
として入射し、送受源９、１０を一体的に回転させて、
回折時の基準面Ｐからの回転角Ａを求めることにより
（未図示）、仰角αを得ることができる。
ーブル７を取り付けて、放射源９（送信源）及び受線管
１０（受信源）を固定し、Ｘ線５を一定方向に放射して
多点測定としたが、例えば第３図に示したようにしても
よい。すなわち、ＸＹテーブ７ルは固定し、Ｘ線５の送
受源９、１０を一定の間隔Ｄに固定して即ちＸ線５の入
反射間の角度を１８０゜−２γ（回折角）に固定して、
これを一体的に回転させてもよい。この場合において
も、水晶板１に対して、Ｘ線５の入射角をブラック角γ
として入射し、送受源９、１０を一体的に回転させて、
回折時の基準面Ｐからの回転角Ａを求めることにより
（未図示）、仰角αを得ることができる。
【００２１】また、ＸＹテーブル７を用いて水晶板１を
ＸＹ方向に移動させたが、これ以外のものでもよく、要
は水晶板１のＸＹ方向の各点に順次にＸ線が放射されれ
ばよく、その構造は任意にできる。
ＸＹ方向に移動させたが、これ以外のものでもよく、要
は水晶板１のＸＹ方向の各点に順次にＸ線が放射されれ
ばよく、その構造は任意にできる。
【００２２】また、レーザーフォーカス変位計１１は垂
直入射型のものを適用したが、斜め入射型（例えばキー
エンス社製のＬＣ−２４２０及びＬＣ２４３０等）のも
のでもよく、要は各点の基準面Ｐからの変位量を測定で
きればよい。但し、斜め入射型の場合には、水晶板１の
表面が粗面であると、乱反射及び散乱等を引き起こして
精度が低下するので、この場合には垂直型の方がよい。
直入射型のものを適用したが、斜め入射型（例えばキー
エンス社製のＬＣ−２４２０及びＬＣ２４３０等）のも
のでもよく、要は各点の基準面Ｐからの変位量を測定で
きればよい。但し、斜め入射型の場合には、水晶板１の
表面が粗面であると、乱反射及び散乱等を引き起こして
精度が低下するので、この場合には垂直型の方がよい。
【００２３】また、レーザーフォーカス変位計１１から
のレーザの放射点は、水晶板１におけるＸ線５の放射点
ｏの放射方向の前後２カ所ｐｑとしたが、例えばＸ線５
の放射点ｏを中心として３箇所の複数としてもよい（未
図示）。この場合、２点による線方向の傾きのみなら
ず、例えば３点計測から面方向の傾きを計測でき、姿勢
誤差の検出精度の点で有利となる。
のレーザの放射点は、水晶板１におけるＸ線５の放射点
ｏの放射方向の前後２カ所ｐｑとしたが、例えばＸ線５
の放射点ｏを中心として３箇所の複数としてもよい（未
図示）。この場合、２点による線方向の傾きのみなら
ず、例えば３点計測から面方向の傾きを計測でき、姿勢
誤差の検出精度の点で有利となる。
【００２４】さらに、水晶板１が大型化した際の多点測
定として記述したが、水晶板１が小さく中央部の一カ所
を測定する場合であっても、本発明を適用すれば、高精
度に切断角度を測定できる。すなわち、基準面Ｐの回転
角Ａにより、仰角αは測定される。したがって、基準面
Ｐと水晶板１の主面とが一致していることが、高精度の
測定条件となる。しかし、現実には、第４図に示したよ
うに、水晶板１との間の微塵１４により、基準面Ｐに対
して水晶板１は傾斜し、基準面Ｐからのずれ角Ｂを生ず
る。
定として記述したが、水晶板１が小さく中央部の一カ所
を測定する場合であっても、本発明を適用すれば、高精
度に切断角度を測定できる。すなわち、基準面Ｐの回転
角Ａにより、仰角αは測定される。したがって、基準面
Ｐと水晶板１の主面とが一致していることが、高精度の
測定条件となる。しかし、現実には、第４図に示したよ
うに、水晶板１との間の微塵１４により、基準面Ｐに対
して水晶板１は傾斜し、基準面Ｐからのずれ角Ｂを生ず
る。
【００２５】したがって、このような場合においても、
回折を得る回転角Ａからずれ角Ｂを補正して真値に近い
仰角αを得る必要がある。このため、前述同様に、レー
ザーフォーカス変位計１１（ａｂ）を用いることによ
り、基準面Ｐからの変位量からずれ角Ｂを求めれば、仰
角αを補正できる。このようなことから、中央部の一カ
所を測定する場合であっても、本発明を適用すれば高精
度の角度測定が可能になる。なお、切断角度θの精度
（秒単位）が素子としての価値を決定ずける。
回折を得る回転角Ａからずれ角Ｂを補正して真値に近い
仰角αを得る必要がある。このため、前述同様に、レー
ザーフォーカス変位計１１（ａｂ）を用いることによ
り、基準面Ｐからの変位量からずれ角Ｂを求めれば、仰
角αを補正できる。このようなことから、中央部の一カ
所を測定する場合であっても、本発明を適用すれば高精
度の角度測定が可能になる。なお、切断角度θの精度
（秒単位）が素子としての価値を決定ずける。
【００２６】以上のように、本発明はその趣旨の範囲内
で適宜の変更及び利用が可能であり、これらを本発明の
技術的な範囲から除外されるものではない。要するに、
基準面Ｐからの水晶板１の複数点での変位量をレーザー
フォーカス変位計１１（ａｂ）にて求め、これからずれ
角Ｂを計算して仰角αを補正した角度測定方法は、本発
明の技術的な範囲に属する。
で適宜の変更及び利用が可能であり、これらを本発明の
技術的な範囲から除外されるものではない。要するに、
基準面Ｐからの水晶板１の複数点での変位量をレーザー
フォーカス変位計１１（ａｂ）にて求め、これからずれ
角Ｂを計算して仰角αを補正した角度測定方法は、本発
明の技術的な範囲に属する。
【００２７】
【発明の効果】本発明は、放射方向がそれぞれ固定され
た複数の光源からのレーザを結晶板の異なる点に照射
し、結晶板の主面に対する各点の垂直方向の変位量を計
測して、いわゆるレーザーフォーカス変位計を使用し
て、結晶板の基準面からの各点間におけるずれ角を計測
し、結晶板の仰角（切断角度）を補正したので、結晶板
の高精度の多点角度測定方法及び角度測定方法を提供で
き、生産性及び品質を高めることができる。
た複数の光源からのレーザを結晶板の異なる点に照射
し、結晶板の主面に対する各点の垂直方向の変位量を計
測して、いわゆるレーザーフォーカス変位計を使用し
て、結晶板の基準面からの各点間におけるずれ角を計測
し、結晶板の仰角（切断角度）を補正したので、結晶板
の高精度の多点角度測定方法及び角度測定方法を提供で
き、生産性及び品質を高めることができる。
【図１】本発明の一実施例を説明する多点角度測定方法
の模式的な構成図である。
の模式的な構成図である。
【図２】本発明の一実施例により作用を説明する図であ
る。
る。
【図３】本発明の他の実施例を説明する模式的な構成断
面図である。
面図である。
【図４】従来の問題点を説明する平板に水晶板を保持し
た断面図である。
た断面図である。
【図５】従来例を説明する水晶板の切断方位図である。
【図６】従来例を説明する水晶板の図である。
【図７】従来の角度測定方法を説明する断面図である。
【図８】従来例の角度方法を説明する断面図である。
【図９】従来の問題点を説明する水晶板の断面図であ
る。
る。
【図１０】従来の多点角度測定方法を説明する模式的な
構成図である。
構成図である。
１ ＡＴカットの水晶板、２ Ｙカットの水晶板、３
結晶格子面、４ 平板、５ Ｘ線、６ 回転支持体、７
ＸＹテーブル、８ 可動部、９ 放射源、１０ 受線
管、１１ レーザーフォーカス変位計、１２ レーザ、
１３ 角度演算器、１４ 微塵．
結晶格子面、４ 平板、５ Ｘ線、６ 回転支持体、７
ＸＹテーブル、８ 可動部、９ 放射源、１０ 受線
管、１１ レーザーフォーカス変位計、１２ レーザ、
１３ 角度演算器、１４ 微塵．
Claims (4)
- 【請求項１】基準面上に保持された結晶板を平行移動し
て、前記結晶板の主面の各点にＸ線を入射し、前記主面
の各点における結晶格子面とのなす仰角を、前記Ｘ線の
回折により測定する結晶板の多点角度測定方法におい
て、前記結晶板の平行移動の毎に、放射方向がそれぞれ
固定された複数の光源からのレーザを前記結晶板の主面
における異なる点に照射して、前記主面に対して垂直方
向となる各点の変位量を測定し、前記結晶板の平行移動
による基準面からの各点間におけるずれ角を前記各点の
変位量から計測して、前記仰角を補正したことを特徴と
する結晶板の多点角度測定方法。 - 【請求項２】基準面上に保持された結晶板の主面にＸ線
を入射し、前記主面と結晶格子面とのなす仰角を、前記
Ｘ線の回折により測定する結晶板の角度測定方法におい
て、放射方向がそれぞれ固定された複数の光源からのレ
ーザを前記結晶板の主面における異なる点に照射して、
前記主面に対して垂直方向となる各点の変位量を測定
し、前記結晶板の基準面からの各点間におけるずれ角を
前記各点の変位量から計測して、前記仰角を補正したこ
とを特徴とする結晶板の角度測定方法。 - 【請求項３】請求項１又は請求項２において、前記複数
の光源からレーザを照射される結晶板の異なる点は、前
記Ｘ線の放射点を中心として放射方向の２点としたこと
を特徴とする結晶板の多点角度測定方法又は角度測定方
法。 - 【請求項４】請求項１又は請求項２において、前記複数
の光源からレーザを照射される結晶板の異なる点は、前
記Ｘ線の放射点を中心として３点としたことを特徴とす
る結晶板の多点角度測定方法又は角度測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22885097A JP3420030B2 (ja) | 1997-08-11 | 1997-08-11 | 結晶板の多点角度測定方法及び角度測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22885097A JP3420030B2 (ja) | 1997-08-11 | 1997-08-11 | 結晶板の多点角度測定方法及び角度測定方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1163956A true JPH1163956A (ja) | 1999-03-05 |
| JP3420030B2 JP3420030B2 (ja) | 2003-06-23 |
Family
ID=16882862
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22885097A Expired - Fee Related JP3420030B2 (ja) | 1997-08-11 | 1997-08-11 | 結晶板の多点角度測定方法及び角度測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3420030B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002075246A1 (en) * | 2001-03-16 | 2002-09-26 | Hitachi, Ltd. | Method for measuring dimensions of pattern |
| JP2009109339A (ja) * | 2007-10-30 | 2009-05-21 | Nuclear Fuel Ind Ltd | 振動測定装置および振動測定方法 |
| JP2021508374A (ja) * | 2017-12-20 | 2021-03-04 | 天通控股股▲ふん▼有限公司 | レベルセンサーのポジショニングに基づく結晶体の方向調整加工法 |
| CN112986291A (zh) * | 2019-12-13 | 2021-06-18 | 株式会社理学 | 控制装置、系统、方法以及程序 |
-
1997
- 1997-08-11 JP JP22885097A patent/JP3420030B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| WO2002075246A1 (en) * | 2001-03-16 | 2002-09-26 | Hitachi, Ltd. | Method for measuring dimensions of pattern |
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| JP2021508374A (ja) * | 2017-12-20 | 2021-03-04 | 天通控股股▲ふん▼有限公司 | レベルセンサーのポジショニングに基づく結晶体の方向調整加工法 |
| CN112986291A (zh) * | 2019-12-13 | 2021-06-18 | 株式会社理学 | 控制装置、系统、方法以及程序 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3420030B2 (ja) | 2003-06-23 |
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