JPH1165771A - タッチパネル用電極基板およびその製造方法 - Google Patents

タッチパネル用電極基板およびその製造方法

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JPH1165771A
JPH1165771A JP24344597A JP24344597A JPH1165771A JP H1165771 A JPH1165771 A JP H1165771A JP 24344597 A JP24344597 A JP 24344597A JP 24344597 A JP24344597 A JP 24344597A JP H1165771 A JPH1165771 A JP H1165771A
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transparent conductive
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Yoshihiro Arai
芳博 荒井
Michio Uchida
道夫 内田
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KANTO BUSSAN KK
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KANTO BUSSAN KK
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 耐擦傷性および耐候性に優れると共に、全光
線透過率および表面抵抗(シート抵抗)の均一性に優れ
たタッチパネル用電極基板および生産性に優れかつ安価
な該タッチパネル用電極基板の製造方法を提供するこ
と。 【解決手段】 透明の絶縁基板上に、厚さ0.2μm以
上かつ表面抵抗200〜3000Ω/□である透明導電
層を載置してなり、かつ該透明導電層が粒径0.03〜
0.3μmの導電体微粒子を透明導電層の全重量を基準
として60〜95重量%含有してなるたタッチパネル用
電極基板。および、透明の絶縁基板上に、粒径0.03
〜0.3μmの導電体微粒子20〜40重量%、バイン
ダー樹脂2〜10重量%を分散させた導電性インクを使
用して、電極パターンをロール印刷法により形成した
後、150℃以下の雰囲気温度で硬化させることによる
該電極基板の製造方法。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、タッチパネル用電
極基板および該電極基板の製造方法に関し、更に詳しく
は、耐擦傷性および耐候性に優れると共に、全光透過率
およびシート抵抗の均一性に優れたタッチパネル用電極
基板および生産性に優れかつ安価な該タッチパネル用電
極基板の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】タッチ式入力装置は、ブラウン管などの
表示画面上に透明のタッチパネルを重ね合わせて設置し
たものである。これは、タッチパネルを通して表示され
た映像中の任意の箇所を、映像を見ながら指、押圧ペン
などで押して、その座標位置に対応する電気信号をタッ
チパネルから取り出し、その電気信号を電算機などに直
接入力する装置である。これは、映像を見ながら対話形
式で電算機などに情報を入力できる点で、広く社会に普
及しており、座標検出装置、座標入力装置とも呼ばれて
いる。このようなタッチパネルは、通常、透明の絶縁基
板の片面に真空蒸着法やスパッタ法などの薄膜製造法に
よって透明導電層を形成し、これを所定形状に成形して
電極とした透明の電極基板の2枚を、絶縁スペーサーな
どを介して透明導電層が相互が接触しないように組み合
わせたものである。
【0003】かかるタッチパネルに使用される透明導電
層は、従来、真空蒸着法、スパッタ法、イオンプレーテ
ィング法などの薄膜製造法によって形成されている。こ
れらの薄膜製造法のうち、特に、制御性および再現性が
良好である点で、スパッタ法が最も一般的に用いられて
いる。スパッタ法は、インジウム−錫酸化物(IT
O)、錫−アンチモン酸化物(ATO)、酸化錫、酸化
亜鉛などをターゲットとして、不活性ガスと酸素ガスの
混合ガス雰囲気でスパッタして、透明の絶縁基板上にタ
ーゲットと同一組成の透明導電層を形成するものであ
る。
【0004】一方、電極基板は、上記した薄膜製造方法
を用いて透明の絶縁基板上に透明導電層を形成した後、
その上にレジストを所望の電極形状に印刷してマスキン
グし、酸浴で不要な透明導電層をエッチングして除去
し、さらに、アルカリ浴でレジストマスクを溶解して透
明導電層を絶縁基板上に残存させ、最後に、洗浄し乾燥
するという工程を経て製造される。このような方法は、
高価な薄膜製造装置を必要とするばかりか、薄膜製造工
程およびエッチング工程は、煩雑かつ長時間を要するも
のであった。また、このような電極基板は、透明導電層
が極めて薄いことから、耐擦傷性および耐候性が劣るも
のであった。さらに、エッチング工程においては、酸浴
およびアルカリ浴から排出される大量の廃液を処理する
必要があること、レジストマスクは厚さに凹凸がありか
つポーラスであるために、エッチング液が浸透して部分
的に透明導電層がエッチングされて透明導電層の抵抗値
が不均一かつ増加すること、透明導電層を載置した電極
基板は多数のローラーを通過するので、通過時に透明導
電層が損傷することなど多くの問題があった。
【0005】このような問題を解決するべく、種々の技
術が研究されてきた。たとえば、特開平6−17576
9号公報に、エッチング処理の代わりに導電膜の表面に
絶縁層を積層して任意形状の導電膜(電極)を形成する
ことによって、電極表面のローラ等による損傷をなく
し、電極の抵抗値を均一にかつ低くし、製造を容易にで
きることが記載されている。この技術は、エッチング処
理が不要であるものの、依然としてスパッタリング法や
蒸着法によって導電膜を形成するものであることから、
導電膜は、耐擦傷性および耐候性が劣り、また、製造の
経済性が劣るという問題があった。また、特開平5−3
25646号公報に、基材上に透明導電インクを印刷又
は塗布して硬化させた後オーバーコート層を形成させた
ものを接着剤で基板部材に貼り合わせ、しかる後基材を
剥離して基板部材上に透明伝導膜を転写することによっ
て、透明導電性基板を製造する方法が記載されている。
そして、このような透明導電性基板はタッチパネルに用
いられることが記載されている。これは、透明導電膜の
表面の平滑性を向上させることによって、優れた表面抵
抗と光学特性を向上させるものである。しかし、この技
術は、真空蒸着法やスパッタ法などの薄膜製造工程やエ
ッチング工程が不要であるものの、基板上に形成した透
明導電層を基板部材上に転写する工程を必要とする点
で、工程を複雑にすると共に歩留まり低下をもたらすの
で生産性を著しく低下させるという問題があった。
【0006】また、透明導電性基板は、アナログ方式の
タッチパネルに用いた場合、透明導電膜の表面抵抗の変
動幅を極めて小さくする(たとえば、3%以下)ことが
必要であり、そのため、膜厚の均一性が極めて重要であ
る。この点で、印刷または塗布方式を用いて透明導電性
基板を製造する方法は、優れた導電膜特性と同時に導電
膜の厚さを均一に制御すること、したがって、シート抵
抗を均一に制御することが非常に困難であった。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】したがって、本発明の
目的は、耐擦傷性および耐候性に優れると共に、全光線
透過率およびシート抵抗の均一性に優れたタッチパネル
用電極基板および生産性に優れかつ安価な該タッチパネ
ル用電極基板の製造方法を提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、透明な絶
縁基板上に、透明導電層をプリント印刷する技術に着目
し、印刷インクの導電性および印刷方法について鋭意検
討を重ねた結果、透明の絶縁基板上に、厚さ0.2μm
以上かつ表面抵抗(以下、シート抵抗という。)200
〜3000Ω/□である透明導電層を載置してなり、か
つ該透明導電層が粒径0.03〜0.3μmの導電体微
粒子を透明導電層の全重量を基準として60〜95重量
%含有してなるタッチパネル用電極基板が、耐擦傷性お
よび耐候性に優れると共に、全光透過率およびシート抵
抗の均一性に優れることを見いだし、また、このような
タッチパネル用電極基板は、透明の絶縁基板上に、粒径
0.03〜0.3μmの導電体微粒子20〜40重量
%、バインダー樹脂2〜10重量%を分散させた導電性
インクを使用して、電極パターンをロール印刷法により
形成した後、150℃以下の雰囲気温度で硬化させるこ
とによって、生産性よく安価に製造することができるこ
とを見いだし、本発明を完成するに至った。
【0009】すなわち、本発明によって、透明の絶縁基
板上に、厚さ0.2μm以上かつ表面抵抗200〜30
00Ω/□である透明導電層を載置してなり、かつ該透
明導電層が粒径0.03〜0.3μmの導電体微粒子を
透明導電層の全重量を基準として60〜95重量%含有
してなることを特徴とするタッチパネル用電極基板が提
供され、また、透明の絶縁基板上に、粒径0.03〜
0.3μmの導電体微粒子20〜40重量%、バインダ
ー樹脂2〜10重量%を分散させた導電性インクを使用
して、電極パターンをロール印刷法により形成した後、
150℃以下の雰囲気温度で硬化させることを特徴とす
る該電極基板の製造方法が提供されるものである。
【0010】本発明は、上記のようなタッチパネル用電
極基板および該電極基板の製造方法に係るものである
が、その好ましい実施の態様として、次のものを包含す
る。 (1)前記透明導電層の厚さが、0.5〜20μmであ
る前記タッチパネル用電極基板。 (2)前記透明導電層が含有する導電体微粒子が、イン
ジウム−錫酸化物微粒子である前記タッチパネル用電極
基板、および上記(1)記載のタッチパネル用電極基
板。 (3)前記透明導電層の厚さが、0.5〜20μmであ
る前記タッチパネル用電極基板の製造方法。 (4)前記透明導電層が含有する導電体微粒子が、イン
ジウム−錫酸化物微粒子である前記タッチパネル用電極
基板の製造方法、および上記(3)記載のタッチパネル
用電極基板の製造方法。
【0011】
【発明の実施の形態】以下に、本発明を詳細に説明す
る。 (タッチパネル用電極基板)本発明のタッチパネル用電
極基板は、透明の絶縁基板上に、厚さ0.2μm以上か
つ表面抵抗200〜3000Ω/□である透明導電層を
載置してなり、かつ該透明導電層が粒径0.03〜0.
3μmの導電体微粒子を透明導電層の全重量を基準とし
て60〜95重量%含有してなるものである。
【0012】本発明の透明の絶縁基板は、公知のものを
使用することができる。たとえば、板状、シート状また
はフィルム状のガラスあるいはプラスチックを使用する
ことができる。プラスチックとしては、ポリエチレンテ
レフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリブチレ
ンテレフタレート、ポリメタクリレートなどのポリエス
テル;ポリアミド;ポリエーテルサルフォン;ポリエチ
レン、ポリプロピレンなどのポリオレフィン;セルロー
ズ系樹脂;ポリ塩化ビニル;ポリカーボネート;ポリス
チレン;ポリアリレート;エポキシ系樹脂;ノルボルネ
ン系樹脂;などを挙げることができる。いずれも、単独
重合体の他に共重合体も含むものである。これらの絶縁
基板は、表面にハードコート層、防湿層、耐薬品性層、
ナトリウムイオンバリアー層などを設けたものであって
もよい。これらの層は、絶縁基板の片面に設けることが
できるが、所望により、両面に設けてもよい。また、絶
縁基板は、上記したガラスあるいはプラスチックの2種
以上からなる積層体および/または上記した層の2種以
上からなる積層体であっても良い。さらに、絶縁基板の
形状は、通常、厚さ75〜1000μmの長尺状のもの
あるいは枚葉状のものを使用することができる。いずれ
の場合も、タッチパネル用電極基板を製造する際に、目
的に応じて、所望の形状に切断して使用することができ
る。
【0013】本発明の透明導電層は、次に示す導電体の
微粒子を含有するものである。 (1)金属:Pt、Au、Ag、Cu、Niなどの単相
体、Au/Bi23、Au/Cr、TiO2/Ag/T
iO2、Bi23/Au/Bi23、ZnS/Ag/Z
nS、SnO2/Ag/SnO2など; (2)酸化物:SnO2、In23、CdO、ZnO、
CTO系(CdSnO3、Cd2SnO4、CdSn
4)、CdIn24、In2TeO6、WO系、MoO3
系、NiO系、IrO系などの単相体、Snを添加した
In23(以下、ITOという。)、Sbを添加したI
23、Wを添加したIn23、Moを添加したIn2
3、Sbを添加したSnO2(以下、ATOとい
う。)、Fを添加したSnO2、Asを添加したSn
2、Alを添加したSnO2、Alを添加したZnOな
ど; (3)非酸化物膜:カルコゲナイド(Cu2S、Cd
S、ZnS)、LaB6、TiN、TiC、ZrN、Z
rB2、HfNなどの単相体、TiO2/TiN、ZrO
2/TiNなど; を挙げることができる。好ましくはITO、ATO、F
を添加したSnO2などである。
【0014】また、本発明の透明導電層は、厚さ0.2
μm以上かつシート抵抗200〜3000Ω/□のもの
である。透明導電層の厚さは、好ましくは0.5〜20
μmである。0.2μm未満の場合は、シート抵抗の均
一性が劣る。また、シート抵抗が200Ω/□未満の場
合は、タッチパネルの消費電力が過大となり、バッテリ
ー使用の場合にタッチパネルの使用時間が小さくなる。
3000Ω/□を超える場合は、透明導電層の厚さが薄
くなるのでシート抵抗の均一性が劣る。さらに、本発明
の透明導電層は、粒径0.03〜0.3μmの導電体微
粒子を、透明導電層の全重量を基準として、60〜95
重量%含有するものである。粒径が0.03μm未満の
場合は、良好なシート抵抗が得られず、0.3μmを超
える場合は、全光線透過率が著しく低下する。また、導
電体微粒子の含有量が、60重量%未満の場合は良好な
シート抵抗が得られ難く、95重量%を超える場合は絶
縁基板との密着性が低下して剥離し易くなる。
【0015】本発明のタッチパネル用電極基板は、通
常、80%程度以上の全光線透過率を有する。
【0016】(タッチパネル用電極基板の製造方法)本
発明の製造方法は、透明の絶縁基板上に、粒径0.03
〜0.3μmの導電体微粒子20〜40重量%、バイン
ダー樹脂2〜10重量%を分散させた導電性インクを使
用して、電極パターンをロール印刷法により形成した
後、150℃以下の雰囲気温度で硬化させることによっ
て製造することができる。
【0017】導電性インクは、粒径0.03〜0.3μ
mの導電体微粒子20〜40重量%、バインダー樹脂2
〜10重量%および所望により、表面平滑剤、消泡剤な
どの分散剤などの添加剤を溶剤中に分散させてなるもの
である。そして、導電体微粒子は、上記したとおりのも
のを使用することができる。バインダー樹脂は、ポリエ
ステル樹脂、ポリウレタン樹脂、ポリアミド樹脂、エポ
キシ樹脂、アクリル樹脂などおよびこれらの複合物を使
用することができる。また、溶剤は、ヘキサン、トルエ
ン、イソプロピルアルコール、シクロヘキサン、シクロ
ヘキサノンなどを使用することができる。
【0018】また、透明の絶縁基板は、上記したとおり
のものを使用することができる。
【0019】本発明のタッチパネル用電極基板の製造方
法において、電極パターンは、導電性インクを使用し
て、透明の絶縁基板上に、フレキソ印刷法、グラビヤ印
刷法などのロール印刷法により電極パターンを形成する
ことができる。スクリーン印刷法、またはワイヤーバー
コーティング、ドクターブレードコーティングなどの塗
布法で形成した電極パターンは、膜厚の平坦性および均
一性が不十分であり、結果として均一なシート抵抗およ
び良好な全光線透過率が得られない。絶縁基板上に電極
パターンを形成した後、150℃以下の雰囲気温度で硬
化させる。硬化は、印刷インクの酸化還元反応によって
おこるので、酸化反応および還元反応のいずれかを過度
に進行させないようにして硬化することが肝要である。
このため、硬化は150℃以下の雰囲気温度で行う。雰
囲気温度は室温でもよいが、低い場合には硬化時間が長
くなる。好ましくは2時間以下である。硬化温度が15
0℃を超える場合および硬化時間が2時間を超える場
合、硬化後の導電層のシート抵抗および光学特性が劣
る。また、硬化は、窒素ガス、アルゴンガスなどの非酸
化雰囲気下または真空雰囲気下で行うことが好ましい。
この場合、硬化後の導電層のシート抵抗および光学特性
がさらに向上する。導電性インクは硬化することによっ
て、導電体微粒子がバインダー樹脂により相互に接触し
た状態で固定されて優れた導電層を形成する。
【0020】
【実施例】以下に、実施例を挙げて、本発明をさらに詳
細に説明する。なお本発明は、以下の実施例によって何
ら限定されるものではない。また以下の実施例では、次
の導電性インク1および導電性インク2を使用した。併
せて、シート抵抗、シート抵抗の均一性および全光線透
過率の測定方法、耐擦傷性および耐候性の試験方法を示
した。 (1)導電性インク1 粒径0.03μmのITO微粒子(冨士チタン株式会社
製Type B)(31重量%)、ポリエステル樹脂
(東レ株式会社製)(5重量%)およびシクロヘキサノ
ン(64重量%)を混合して使用した。 (2)導電性インク2 直径0.03μm、長さ0.1μmの針状のITO微粒
子(富士チタン株式会社製Type−C)(40重量
%)、ポリエステル樹脂(東レ株式会社製)(5重量
%)およびシクロヘキサノン(53重量%)を混合して
使用した。 (3)シート抵抗の測定方法 四端子法シート抵抗測定装置(三菱油化株式会社製ロレ
スターMP)を用いて測定した。タッチパネル用電極基
板のシート抵抗は、タッチパネル用電極基板の表面の全
面に亘って、20mmおきの等間隔の位置で測定して得
たシート抵抗の平均値である。 (4)シート抵抗の均一性の測定方法 タッチパネル用電極基板2枚を用いてタッチパネルを組
み上げ、そのタッチパネルのX軸電極およびY軸電極に
交番に5Vの電圧を印加しつつ、タッチパネルの表面の
全面に亘って10mmの等間隔の位置に置いたポリアセ
タール製のペン先に荷重を加えてそれぞれの位置におけ
るシート抵抗を測定した。ポリアセタール製のペンの先
端は、直径0.6mmのR状であり、荷重は100gで
ある。タッチパネル表面上のペン先の位置とX軸電極お
よびY軸電極のシート抵抗から求めたペン先による荷重
位置とのずれの割合(%)およびその平均値を算出した。
この平均値をタッチパネル用電極基板のシート抵抗の均
一性とした。 (5)全光線透過率の測定方法 ヘイズメーター(スガ試験機株式会社製)を用いて、全
光線透過率を測定した。 (6)耐擦傷性試験方法 先端の直径0.6mmのR状のポリアセタール製のペン
を用い、これに100gの荷重を加えて、直径5cmの
円を1周2秒の早さで円の中心をずらしながらタッチパ
ネル用電極基板の表面の全面に亘って10万回描いた
後、タッチパネル用電極基板の表面状態を目視で観察し
た。 (7)耐候性試験方法 作製したタッチパネル用電極基板を、温度85℃、湿度
90%の雰囲気で3週間放置した後、温度を−20℃お
よび85℃でそれぞれ4時間放置するサイクルを20回
繰り返した後、シート抵抗を測定した。
【0021】(実施例1)透明の絶縁基板として、厚さ
1.1mmかつ500mm角のナトリウムガラス(旭硝
子株式会社製)を使用した。該絶縁基板上に、導電性イ
ンク1を使用して、450mm角の電極パターンをロー
ル印刷した後、100℃で窒素雰囲気下で熱処理を40
分間行って、透明導電層を作製し、タッチパネル用電極
基板とした。また、作製したタッチパネル用電極基板2
枚を、厚さ20μmのスペーサおよびシール接着剤を介
して対向させ、電流検出型のタッチパネルを組み上げ
た。
【0022】(実施例2)実施例1において、透明の絶
縁基板として、厚さ188μmかつ500mm角のポリ
エチレンテレフタレートフィルム(東レ株式会社製)を
使用し、導電性インクの配合比を表2に示した配合比に
し、直径0.03μm、長さ0.1μmの針状の導電体
を使用したこと以外は、実施例1と同様にして、タッチ
パネル用電極基板を作製した。また、作製したタッチパ
ネル用電極基板を用いて、実施例1と同様にしてタッチ
パネルを組み上げた。
【0023】(比較例1)透明の絶縁基板として、厚さ
188μmかつ500mm角のポリエチレンテレフタレ
ートフィルム(東レ株式会社製)を使用し、該絶縁基板
上に、直流プレーナー型マグネトロンスパッタ装置(基
板自公転型、ULVAC社製)によって、厚さ0.06
μm(600オングストローム)のITO膜を形成し
た。次に、該ITO膜上に450mm角にレジストをス
クリーン印刷した後、酸浴でエッチングして不要のIT
O膜を除去し、さらに、アルカリ浴でレジストマスクを
溶解し、洗浄し、乾燥することにより、透明の絶縁基板
上に450mm角の透明導電層を作製して、タッチパネ
ル用電極基板とした。その他のITO膜の形成条件を表
1に示した。また、作製したタッチパネル用電極基板を
用いて、実施例1と同様にしてタッチパネルを組み上げ
た。
【0024】
【表1】
【0025】実施例1、実施例2および比較例1で作製
したタッチパネル用電極基板について、電極の厚さ、シ
ート抵抗、シート抵抗の均一性および全光線透過率を測
定し、耐擦傷性試験および耐候性試験をおこなった。こ
れらの結果を表2に示す。併せて、タッチパネル用電極
基板の作製条件を表2に示した。
【0026】
【表2】
【0027】表1から明らかなように、実施例1および
実施例2のタッチパネル用電極基板は、比較例1のタッ
チパネル用電極基板に較べて、耐擦傷性および耐候性が
顕著に向上した。また、実施例1および実施例2のタッ
チパネル用電極基板は、優れた全光線透過率およびシー
ト抵抗の均一性を示した。
【0028】
【発明の効果】以上、詳細かつ具体的に説明したよう
に、本発明によれば、透明の絶縁基板上に、厚さ0.2
μm以上かつ表面抵抗200〜3000Ω/□である透
明導電層を載置してなり、かつ該透明導電層が粒径0.
03〜0.3μmの導電体微粒子を透明導電層の全重量
を基準として60〜95重量%含有してなることによっ
て、耐擦傷性および耐候性に優れると共に、全光線透過
率およびシート抵抗の均一性に優れたタッチパネル用電
極基板を提供することができる。また、透明の絶縁基板
上に、粒径0.03〜0.3μmの導電体微粒子20〜
40重量%、バインダー樹脂2〜10重量%を分散させ
た導電性インクを使用して、電極パターンをロール印刷
法により形成した後、150℃以下の雰囲気温度で硬化
させることによって、高価な薄膜製造装置や廃液処理設
備を必要とせず、さらに操作時間が短くかつ歩留まりが
よいので、生産性が優れ、したがってより安価な該タッ
チパネル用電極基板の製造方法を提供することができ
る。そして、本発明のタッチパネル用電極基板は、タッ
チ式入力装置のタッチパネルとして効果的に使用するこ
とができるが、電気機器のタッチスイッチとして用いる
ことができる。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 透明の絶縁基板上に、厚さ0.2μm以
    上かつ表面抵抗200〜3000Ω/□である透明導電
    層を載置してなり、かつ該透明導電層が粒径0.03〜
    0.3μmの導電体微粒子を透明導電層の全重量を基準
    として60〜95重量%含有してなることを特徴とする
    タッチパネル用電極基板。
  2. 【請求項2】 透明の絶縁基板上に、粒径0.03〜
    0.3μmの導電体微粒子20〜40重量%、バインダ
    ー樹脂2〜10重量%を分散させた導電性インクを使用
    して、電極パターンをロール印刷法により形成した後、
    150℃以下の雰囲気温度で硬化させることを特徴とす
    る請求項1記載のタッチパネル用電極基板の製造方法。
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JP (1) JPH1165771A (ja)

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001332134A (ja) * 2000-05-21 2001-11-30 Tdk Corp 透明導電フィルム
KR100962643B1 (ko) * 2003-07-22 2010-06-11 삼성전자주식회사 액정표시장치 및 그 제조방법
JP2011187995A (ja) * 2004-01-26 2011-09-22 Semiconductor Energy Lab Co Ltd 半導体装置の作製方法
JP2014534527A (ja) * 2011-10-25 2014-12-18 ユニピクセル ディスプレイズ,インコーポレーテッド 偏光板静電容量式タッチスクリーン
JP2014534526A (ja) * 2011-10-25 2014-12-18 ユニピクセル ディスプレイズ,インコーポレーテッド 偏光抵抗性タッチスクリーン
JP2014535111A (ja) * 2011-10-25 2014-12-25 ユニピクセル ディスプレイズ,インコーポレーテッド 柔軟な誘電体基板上に導電性の顕微鏡的なパターンを印刷するために巻き出し・巻き取り式のプロセスを用いる容量式タッチセンサ回路の製造方法
JP2015503139A (ja) * 2011-10-25 2015-01-29 ユニピクセル ディスプレイズ,インコーポレーテッド フレキソ印刷よって抵抗膜式タッチセンサ回路を製造する方法
JP2015523619A (ja) * 2012-05-04 2015-08-13 ユニピクセル ディスプレイズ,インコーポレーテッド 有機金属インクと縞状アニロックスロールを用いる高解像度導電パターンの製造

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001332134A (ja) * 2000-05-21 2001-11-30 Tdk Corp 透明導電フィルム
KR100962643B1 (ko) * 2003-07-22 2010-06-11 삼성전자주식회사 액정표시장치 및 그 제조방법
JP2011187995A (ja) * 2004-01-26 2011-09-22 Semiconductor Energy Lab Co Ltd 半導体装置の作製方法
JP2014534527A (ja) * 2011-10-25 2014-12-18 ユニピクセル ディスプレイズ,インコーポレーテッド 偏光板静電容量式タッチスクリーン
JP2014534526A (ja) * 2011-10-25 2014-12-18 ユニピクセル ディスプレイズ,インコーポレーテッド 偏光抵抗性タッチスクリーン
JP2014535111A (ja) * 2011-10-25 2014-12-25 ユニピクセル ディスプレイズ,インコーポレーテッド 柔軟な誘電体基板上に導電性の顕微鏡的なパターンを印刷するために巻き出し・巻き取り式のプロセスを用いる容量式タッチセンサ回路の製造方法
JP2015503139A (ja) * 2011-10-25 2015-01-29 ユニピクセル ディスプレイズ,インコーポレーテッド フレキソ印刷よって抵抗膜式タッチセンサ回路を製造する方法
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