JPH1166645A - 光ディスク貼り合わせ方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】気泡の混入が無く、膜厚の均一な接着層を作る
ことができる光ディスク貼り合わせ方法及び装置を提供
すること。 【構成】２枚の単板ディスクを液体状の接着剤を使用し
て貼り合わせ、１枚の貼合ディスクを作る光ディスク貼
り合わせ方法において、上記２枚の単板ディスクの内、
下側単板ディスクの面上に接着剤を円環状に吐出してお
き、かつ上側単板ディスクはその外周近傍部を保持され
た状態で、これら２枚の単板ディスクを近接させて行
き、上記上側単板ディスクが上記下側単板ディスク面上
の円環状の接着剤に接触する前に、該上側単板ディスク
面と上記下側単板ディスク面及び円環状の接着剤で囲ま
れる内側空間の圧力を外側空間の圧力よりも低くし、こ
の状態にて上記上側単板ディスクと上記下側単板ディス
ク上の円環状の接着剤を接触させることを特徴とする光
ディスク貼り合わせ方法及び装置。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】 本発明は光ディスクの製造、中
でも２枚のディスクを貼り合わせて１枚のディスクを作
る貼り合わせ方法及び装置に関する。

【０００２】

【従来技術】 従来の、液体状の接着剤を使用した光デ
ィスク貼り合わせ装置としては、例えば特願平８−１５
３４６０に示すようなものがあった。ここでは説明を容
易にするため、それをより簡略化した従来例を図６に示
す。以下、図６に従って構成および動作を説明する。

【０００３】 光ディスク貼り合わせ装置３０におい
て、吐出部ターンテーブル３１上の位置Ｐ１に、図示し
ない供給装置にて下側単板ディスクＤＬが、接着面を上
向きにした状態で載置される。その後、位置Ｐ１上の下
側単板ディスクＤＬは、吐出部ターンテーブル３１によ
り位置Ｐ２を通って位置Ｐ３に送られる。このとき位置
Ｐ２において、接着剤吐出ノズルＮにより、下側単板デ
ィスクＤＬは、その接着面上に接着剤が供給される。な
お、接着剤吐出ノズルＮは回転式のノズルであり、位置
Ｐ２上に下側単板ディスクＤＬが静止したとき、回転し
ながら接着剤を吐出して、下側単板ディスクＤＬ上に円
環状の液膜を形成する。

【０００４】 一方、搬送テーブル３２上の位置Ｐ４に
は、図示しない供給装置にて上側単板ディスクＤＵが、
接着面を下向きにした状態で載置される。その後、位置
Ｐ４上の上側単板ディスクＤＵは、搬送テーブル３２に
より位置Ｐ５に送られる。ここで搬送テーブル３２は、
１８０°正逆回転することによりディスクを搬送するも
のであるが、１８０°ごとに停留点を持つ一方向回転型
のものであってもよい。

【０００５】 位置Ｐ５に運ばれた上側単板ディスクＤ
Ｕと位置Ｐ３に運ばれた下側単板ディスクＤＬは、移載
機構Ｒ１により上下に重ねられた状態で、位置Ｐ６のス
ピンナーＳＰ１、又は位置Ｐ７のスピンナーＳＰ２に送
られる。すなわち、移載機構Ｒ１は、位置Ｐ５にて上側
単板ディスクＤＵを吸着保持した後、位置Ｐ３にて下側
単板ディスクＤＬをその下に機械的に把持して位置Ｐ
６、又は位置Ｐ７へ送る。

【０００６】 スピンナーＳＰ１及びＳＰ２では、上側
単板ディスクＤＵと下側単板ディスクＤＬを接着剤を介
して重ねた状態にて高速回転させ、接着剤を所定の領域
まで広げる。スピンナーＳＰ１及びＳＰ２にて処理終了
して、未硬化ながら密着したディスクＤＤは、移載機構
Ｒ２によって硬化部ターンテーブル３３の入口である位
置Ｐ８に送られる。

【０００７】 その後、位置Ｐ８上の密着ディスクＤＤ
は、硬化部ターンテーブル３３により位置Ｐ９を通って
位置Ｐ１０に送られる。このとき、位置Ｐ９において紫
外線照射装置３４により密着ディスクＤＤが照射を受
け、接着剤の層が硬化し、貼り合わせ工程が完了する。
なお、硬化部ターンテーブル３３は遮光カバー３５で覆
われており、紫外線が漏洩するのを防いでいる。

【０００８】 位置Ｐ１０上のディスクは、硬化が完了
した接着ディスクＤＢであり、図示しない排出装置によ
って取り出される。

【０００９】 次に移載機構Ｒ１によって２枚のディス
クを重ねる際の詳細を説明する。図７は、図６における
移載機構Ｒ１の先端に取り付けられているディスク保持
部３６、及び吐出テーブル３１上の位置Ｐ３のディスク
受台３７の断面図である。

【００１０】 ディスク保持部３６は２枚のディスクを
重ねて保持するため、下記のような機構を持つ。すなわ
ち、上側単板ディスクＤＵを吸着保持するための吸着ヘ
ッド３８と、下側単板ディスクＤＬを機械的に把持する
ためのツメ３９、及びそれを放射方向に開角、閉角する
ためのエアーシリンダ４０を持つ。また、ディスク受台
３７においては、ディスクを位置決めするため、ディス
ク中心穴に嵌合する突起４１にはツメ３９が入り込む切
欠４２が備えられている。

【００１１】 ところで、図７は図６の位置Ｐ３上に移
載機構Ｒ１が来た状態を示しているが、この後、吐出部
ターンテーブル３１のディスク受台３７が、接着剤の液
膜４３を載せた下側単板ディスクＤＬを吸着した状態で
上昇する。ディスク受台３７は、液膜４３が上側単板デ
ィスクＤＵに接触する直前に上昇速度を減じ、低速にて
接液させる、つまり上側単板ディスクＤＵの下面に液膜
４３を接触させる。接液したらツメ３９が放射外方向に
開角して下側単板ディスクＤＬを把持し、ディスク受台
３７はその吸着を停止して下降を始める。このようにし
て移載機構Ｒ１によるディスク重ね動作が完了する。

【００１２】 上記のようにすることで、上側単板ディ
スクＤＵを下側単板ディスクＤＬ上の液膜４３に静かに
接触させられるので、上側単板ディスクを自由落下させ
て接液させる場合に比べ、液膜４３の形状を乱さず、高
品位の接着層を作り易い。

【００１３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような従来例には下記のような問題点がある。すなわ
ち、上側単板ディスクＤＵの接着面及び液膜４３の頂上
部表面は、微視的に見ると高さ方向にばらつきが有り、
接液を開始する部位がランダムに生じる。これが接液時
の気泡混入の原因となっていた。このことを図８に従っ
て説明する。

【００１４】 図８は、下側単板ディスクＤＬ上の液膜
４３の頂上部の位置に視点を置いて下方を見たときの接
液状態の変化を順を追って示した図である。図８（ａ）
は接液開始した状態で、ランダムな位置に接液部４４が
生じる。その（ｂ）は（ａ）よりも更に上下のディスク
が接近した状態であり、図８（ａ）で発生した接液部４
４がそれぞれ拡大し状態を示している。図８（ｃ）は、
更に上下のディスクが接近した場合であり、拡大してき
た接液部４４の先頭部同士が接触するが、ここで空気の
層を接液部４４が囲い込んで気泡４５を生じやすい。図
８（ｄ）は接液完了時であり、一度発生した気泡４５は
残留してしまう。

【００１５】 上記の従来例では、接液時に発生した気
泡をスピンナーにおける高速回転時に余分な接着剤と一
緒に振り飛ばしているが、吐出する接着剤の量が少ない
と気泡を振り飛ばす効果が無くなるので、余分な接着剤
を消費することになり、不経済であるという問題点が有
った。

【００１６】 また、片面２層読み取りのＤＶＤのよう
に接着層の膜厚を精密に制御する必要がある用途では、
スピンナーの回転条件が気泡の振り飛ばしに制約される
ので、条件設定が困難となるといった問題点があった。

【００１７】 本発明は、このような接液時における気
泡の発生を防止することを課題とする。

【００１８】

【課題を解決するための手段】 本発明は、この課題を
解決するため、貼り合わせる２枚の単板ディスクの内、
下側単板ディスク面上に接着剤を円環状に吐出してお
き、かつ上側単板ディスクはその外周近傍部のみを保持
しておいて、２枚の単板ディスクを近接させて行き、さ
らに、上側単板ディスクが下側単板ディスク面上の円環
状の接着剤に接触する前に、上側単板ディスク面と下側
単板ディスク面及び円環状の接着剤で囲まれる空間の圧
力を大気圧よりも低くし、そのような状態にて上側単板
ディスクと下側単板ディスク上の円環状の接着剤を接触
させる光ディスク貼り合わせ方法及び装置を提案するも
のである。

【００１９】 すなわち、上記圧力差を利用し、上側単
板ディスクの中心部が下方に引かれることから、接液面
全面にわたり半径方向についてディスク中心側が外側よ
りも低くなるように若干の傾斜を生じさせると共に、円
環状の接着剤の液膜の頂上部をディスク中心側に引き寄
せることで、上側単板ディスクの接液を円環状の接着剤
の液膜の最内周部分から半径外方向に起こし、空気層を
半径方向外向きに排除しながら接液を進行させることが
でき、上下の単板ディスクの間に気泡の無い接着剤層を
形成できる光ディスクの貼り合わせ方法及び帯装置を提
案するものである。

【００２０】

【実施例】 下記により、本発明にかかる実施例を説明
する。図１は、図６に示したようなディスク貼り合わせ
装置において、上側単板ディスクを下側単板ディスク上
に吐出した接着剤に接触させる部分の機構の断面図であ
る。また、図２はその外観を示す図である。これらは、
従来例において図７で示される部分と対比されるもので
ある。

【００２１】 まず、図１に従って構成を説明する。図
６に示した従来例の移載機構Ｒ１に相当する搬送動作を
行う移載機構Ｑ１の先端部にディスク保持部１が取り付
けられている。また、その下方に昇降自在のディスク受
台２が配置される。

【００２２】 ディスク保持部１には、移載機構Ｑ１の
先端部に下側単板ディスクＤＬを機械的に把持するため
の複数のツメ３を放射方向に開角、閉角するエアーシリ
ンダ４が装着され、エアーシリンダ４の先端部には、上
側単板ディスクＤＵを吸着保持するための円板状の吸着
ヘッド５が装着される。吸着ヘッド５には、その外周部
に金具６を介して吸着パッド７が複数個装着される。ま
た、吸着ヘッド５には、ディスク吸着のための第１の真
空配管継手８と第１の真空配管９が接続される。さら
に、吸着ヘッド５の内部に第１の真空穴１０が形成して
あり、第１の真空配管継手８と各金具６、吸着パッド７
とを接続している。

【００２３】 一方、エアーシリンダ４の先端部には複
数のツメ３も装着されるが、ツメ３は吸着ヘッド５の中
心穴１１から外に出る位置に配置される。

【００２４】 上記ディスク保持部１の下方に位置する
ディスク受台２は、その中心部に下側単板ディスクＤＬ
の中心穴１１と嵌合する突起１２を持つ。突起１２には
複数のツメ３が入り込むための切欠１３が形成してあ
る。また、ディスク受台２には、下側単板ディスクＤＬ
を吸着するための第２の真空通路１４が形成してあり、
第２の真空系へと接続されている。ただし、この第２の
真空系は上記第１の真空系と同一の真空源から分岐して
もよい。

【００２５】 ところで、ディスク保持部１の吸着ヘッ
ド５の中心穴１１は、２枚の単板ディスクを重ねる動作
を行うとき、上記ディスク受台２の突起１２が入り込む
空間でもある。中心穴１１には第３の真空通路１５を介
して第３の真空配管継手１６と第３の真空配管１７とが
接続される。ただし、この第３の真空系は、上記第１お
よび第２の真空系とは別系統のものであり、圧力、排気
流量共に異なる。

【００２６】 なお、ディスク受台２上に載置される下
側単板ディスクＤＬの上には、上述と同様にして円環状
の接着剤の液膜１８が吐出されている。

【００２７】 ここで図２を使用して、上記構成の細部
を説明する。図２に示すように、ディスク保持部１のツ
メ３は３本配置される場合が多い。これは３本のツメ３
が放射外方向に開角して下側単板ディスクＤＬの中央穴
内周部を把持する場合、３点で接触すると安定して把持
できるからである。したがって、ディスク受台２の切欠
１３も３カ所形成されることが多い。ただし、図１にお
いては図を見やすくするために、ツメ３を２本装備のも
のとして描いてある。

【００２８】 また、ツメ３の先端部が一部分太くなっ
ているが、これはツメ３にて下側単板ディスクＤＬを把
持したときに、ツメ３が上側単板ディスクＤＵの中心穴
部を押すのを防ぐためである。すなわち、これはディス
ク成形時のばらつきにより上側単板ディスクＤＵの中心
穴が下側単板ディスクＤＬの中心穴より若干小さくなる
ような場合に、ツメ３が上側単板ディスクＤＵの中心穴
に先にぶつかって充分広がらず、下側単板ディスクＤＬ
を把持する力が不足するのを防ぐためである。

【００２９】 さらに、ディスク保持部１の吸着パッド
７は複数個装着されるが、４個から１６個の間の数量が
選択される場合が多い。これは、上側単板ディスクＤＵ
の接液面に若干の傾斜を生じさせるときに、吸着パッド
７が４個未満だと均一な傾斜を作り難いこと、また１６
個を超えても均一な傾斜を作るという意味では効果が変
わらず、無駄になるという理由による。

【００３０】 ただし、単板ディスクの成形条件や接着
剤の性状などにより、上記個数の範囲を超えても良好な
ディスク保持が可能な場合は、上記範囲外の値を選択し
てもよい。

【００３１】 ここで再び図１に戻って細部の説明を行
う。ディスク受台２の、下側単板ディスクＤＬを吸着保
持するための第２の真空通路１４は、接着剤の液膜１８
が吐出される位置の近傍に配置される場合が多い。これ
は、上記圧力差により上側単板ディスクＤＵに若干の傾
斜を生じさせる場合に、その圧力差により下側単板ディ
スクＤＬの液膜１８を載せている部分が上方に持ち上げ
られて意図しない接液が生じてしまうことを防ぐためで
ある。ただし、下側単板ディスクＤＬの成形条件や接着
剤の性状などにより、設定する上記圧力差において下側
単板ディスクＤＬの変形が無視できる場合などのよう
に、状況によっては第２の真空通路１４を上記以外の位
置に配置してもよい。

【００３２】 次に、本実施例の動作を図３に従って説
明する。図３（ａ）は図１と同じ状態を示す。ここでは
第１の真空系が作動しており、上側単板ディスクＤＵ
が、その外周部を吸着パッド７に吸着され、ディスク保
持部１に保持されている。一方、ディスク受台２におい
て第２の真空系が作動しており、接着剤の液膜１８を吐
出された下側単板ディスクＤＬがディスク受台２上に吸
着保持されている。

【００３３】 なお、ツメ３は閉角しており、第３の真
空系は停止、すなわち大気圧に解放されている。この状
態からディスク受台２は上昇を開始する。ディスク受台
２は最初高速で上昇し、液膜１８が上側単板ディスクＤ
Ｕに接触する直前に上昇速度を低速に切り換える。

【００３４】 図３（ｂ）は、液膜１８が上側単板ディ
スクＤＵに接触する瞬間を示している。ここでは、ディ
スク受台２の突起１２が、吸着ヘッド５の中心穴１１に
嵌合している。また、この前に第３の真空系が作動す
る。

【００３５】 第３の真空系が作動すると、吸着ヘッド
５の中心穴１１内部の圧力が下がるから、ここに入り込
んでいる突起１２の切欠１３を通して、上側単板ディス
クＤＵと下側単板ディスクＤＬの各接着面と液膜１８で
囲まれる内側空間１９の圧力もその外側空間よりも下が
る。これにより、その外周部のみを吸着保持されている
上側単板ディスクＤＵは、その中心部が下方へ引かれて
若干の傾斜が生じる。

【００３６】 一方、内側空間１９の圧力が下がると、
液膜１８がディスク中心方向に引かれて、その頂上部も
中心方向へ移動する。

【００３７】 上側単板ディスクＤＵに、その中心部が
低くなるような若干の傾斜が発生することと、液膜１８
の頂上部がディスク中心方向に移動することの相乗効果
で、上側単板ディスクＤＵと液膜１８の接触が最内周部
から起こる。ここではディスク受台２が低速で上昇を続
けており、接液が最内周部から外向きに順次起こるの
で、空気を外向きに排除しながら接液させることがで
き、液膜１８中に気泡が発生することを防止できる。

【００３８】 なお、内側空間１９の圧力と大気圧であ
る外側空間の圧力との圧力差は、液膜１８の頂上部を移
動させるだけでよく、液膜１８自体を移動させる程強く
ては支障がある。この圧力差は使用する接着剤の粘度に
より決められるが、接着剤としては粘度５００ｃＰ以下
のものが使用される場合が多い。このとき、上記圧力差
は３０ｋＰａを越えない範囲に設定される。ただし、液
膜１８を薄く吐出する場合や、使用する接着剤がより高
粘度の場合は、この範囲を超えた値に設定してもよい。

【００３９】 また、ここで上側単板ディスクＤＵが弾
性を持つ樹脂製の吸着パッド７にて吸着されていること
も重要である。すなわち、上記圧力差が小さい値なの
で、上記傾斜を発生させる力も弱く、好ましく傾斜を発
生させるためには、上側単板ディスクＤＵが曲がりやす
い保持方法にて保持されていることが重要だからであ
る。

【００４０】 ところで、最初の接液が起きた瞬間、ま
たはその直前、あるいはその直後に、第３の真空系の真
空動作が停止する。すなわち、第３の真空系が大気圧に
解放される。

【００４１】 図３（ｃ）は接液が完了した状態を示
す。ここでは、ディスク受台２が停止しており、ツメ３
が開いて下側単板ディスクＤＬを把持し、第２の真空系
が停止して大気圧に解放される。

【００４２】 この後、ディスク受台２が下降する。こ
れにより、ディスク保持部１が上側単板ディスクＤＵと
下側単板ディスクＤＬを重ねて保持することになる。上
記のように、このときに上側単板ディスクＤＵと下側単
板ディスクＤＬの間には、気泡のない液膜１８が挟まれ
ている。

【００４３】 さらにその後、図示しない移載機構Ｑ１
が起動して、これらディスクを図示しないスピンナーへ
送り、接着剤を所定の領域まで広げる処理を行う。な
お、この段階で２枚の単板ディスクに挟まれた接着剤の
層に気泡が入っていないので、スピン条件は膜厚均一化
に最適な設定とすることができる。

【００４４】 次に、本実施例の作用の詳細を説明す
る。

【００４５】 図４は、上記接液部分の断面を拡大した
図で、紙面の右側がディスクの中心部になる。図４
（ａ）は図３（ａ）に相当し、下側単板ディスクＤＬが
図示しないディスク受台２に持ち上げられて上昇を開始
した状態を示す。以下、図４（ｂ）から図４（ｃ）を経
て図４（ｄ）に至るまで、下側単板ディスクＤＬは上昇
を続けている。

【００４６】 図４（ｂ）は上側単板ディスクＤＵに液
膜１８が接触する直前の状態を示す。ここでは第３の真
空系が作動している。ただし、上側単板ディスクＤＵと
液膜１８の間には隙間があるため、外部から内側空間１
９に向かって気流が流れ、内側空間１９の圧力があまり
下がっておらず、上側単板ディスクＤＵもほとんど傾斜
が生じていない。

【００４７】 図４（ｃ）は上側単板ディスクＤＵが液
膜１８に接触した瞬間を示す。この図４（ｂ）と（ｃ）
の間の状態において、上側単板ディスクＤＵと液膜１８
の間の隙間は次第に狭くなって行く。これに従って、気
流の流量が減り、内側空間１９の圧力が下がって行き、
上側単板ディスクＤＵの中心部が下方に引かれ、傾斜が
発生し出す。また、気流の流量は減るものの、上記隙間
が狭くなるので気流の流速は増す。これと内側空間１９
の圧力低下が相まって、液膜１８の頂上部がディスク中
心部方向に引かれて行く。やがて該液膜１８の頂上部と
上側単板ディスクＤＵが接触するが、その状態を示した
のが図４（ｃ）である。

【００４８】 なお、内側空間１９の圧力を低くしてお
く必要があるのは接液の瞬間までであるので、第３の真
空系は接液の直前に停止させる場合が多い。これは、第
３の真空系が大気圧に戻るのに生じる時間遅れをあらか
じめ見込んであるためである。したがって、上側単板デ
ィスクＤＵが液膜１８に接触する前、２秒を超えない時
間だけ早く真空排気系を閉じることができる。ここで、
使用している接着剤の性状によっては、接液後、若干の
間、内側空間１９を低い圧力に保持した方がよい場合も
あり、その場合は、接液の瞬間または直後に第３の真空
系を停止させることになる。

【００４９】 ところで図４（ｃ）で示す上側単板ディ
スクＤＬの傾斜は、２°以下程度の小さいものである。
しかし、液膜１８の頂上部をディスク中心部へ引いて行
く効果を併用することで、充分に有効である。もしここ
でその傾斜を大きくしてしまうと、２枚の単板ディスク
を重ねた後にも上側単板ディスクＤＬに歪みが残ってし
まい、接着ディスクが不良品になりやすい。

【００５０】 図４（ｄ）は、接液部が液膜１８全体に
広がりつつある状態を示す。ここでは、接液がディスク
の半径方向内周側から外周側に向かって起こり、接液が
空気を外向きに排除しながら進行するため、上下２枚の
単板ディスク間に気泡の無い液膜を作れる。

【００５１】 図５は、下側単板ディスクＤＬ上の液膜
１８の頂上部の位置に視点を置いて下方を見たときの、
接液状態の変化を順を追って示した図で、従来例におけ
る図８と対応する。

【００５２】 図５（ａ）は、上側単板ディスクＤＵに
液膜１８が接触した瞬間を示しており、図４（ｃ）に相
当する。ここで接液部２０は液膜１８の最内周部にな
る。

【００５３】 図５（ｂ）は、接液が進行しつつある状
態を示しており、図４（ｄ）に相当する。ここで接液部
２０は、放射外方向にほぼ均一な状態で広がる。

【００５４】 以下、図５（ｃ）の状態を経て図５
（ｄ）の状態で接液が完了する。

【００５５】 図５（ａ）から図５（ｄ）において、接
液が液膜１８の最内周部から発生して、放射外方向に進
行することがわかる。また、接液の進行がほぼ均一であ
るため、空気を外向きに排除しながら接液が進行するた
め、接液完了時に液膜１８に気泡が入らない。

【００５６】 なお、以上述べた実施例では各工程の処
理が大気中で行われることを前提に説明したが、必ずし
も大気圧の雰囲気で行う必要はなく、大気圧とは異なる
気圧中で、また窒素ガスのような不活性の雰囲気で行っ
ても、全く前述と同様に行うことができると共に、同様
な効果が得られる。

【００５７】

【発明の効果】 本発明は以上述べたような特徴を有し
ているので、気泡の混入が無く、膜厚の均一な接着層を
作ることができる光ディスク貼り合わせ方法及び装置を
提供できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明にかかる光ディスク貼り合わせ装置の
一実施例を示す図である。

【図２】 図１に示す実施例の外観を示す図である。

【図３】 図１に示す実施例の動作を説明するための図
である。

【図４】 図１に示す実施例の作用を説明するための図
である。

【図５】 図１に示す実施例の作用を説明するための図
である。

【図６】 従来の貼り合わせ装置の一例を示す図であ
る。

【図７】 図６に示す従来の貼り合わせ装置の一部分を
示す図である。

【図８】 図７に示す従来例の問題点を説明するための
図である。

【符号の説明】

１…ディスク保持部 ２…ディスク受
台 ３…ツメ ４…エアーシリ
ンダ ５…吸着ヘッド ６…金具 ７…吸着パッド ８…第１の真空
配管継手 ９…第１の真空配管 １０…第１の真空
穴 １１…中心穴 １２…突起 １３…切欠 １４…第２の真
空通路 １５…第３の真空通路 １６…第３の真
空配管継手 １７…第３の真空配管 １８…接着剤の
液膜 １９…上側単板ディスクおよび下側単板ディスクの各接
着面と液膜で囲まれる空間 ２０…接液部 ３０…光ディスク貼り合わせ装置 ３１…吐出部タ
ーンテーブル ３２…搬送ターンテーブル ３３…硬化部タ
ーンテーブル ３４…紫外線照射装置 ３５…遮光カバ
ー ３６…ディスク保持部 ３７…ディスク
受台 ３８…吸着ヘッド ３９…ツメ ４０…エアーシリンダ ４１…突起 ４２…切欠 ４３…接着剤の
液膜 ４４…接液部 ４５…気泡 ＤＵ…上側単板ディスク ＤＬ…下側単板
ディスク ＤＤ…未硬化密着ディスク ＤＢ…接着ディ
スク Ｎ…接着剤吐出ノズル Ｑ１…移載機構 Ｒ１…移載機構 Ｒ２…移載機構 Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、Ｐ６、Ｐ７、Ｐ８、Ｐ
９、Ｐ１０…光ディスク貼り合わせ装置内のディスク位
置を示す符号

Claims (14)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ２枚の単板ディスクを液体状の接着剤を
   使用して貼り合わせ、１枚の貼合ディスクを作る光ディ
   スク貼り合わせ方法において、 上記２枚の単板ディスクの内、下側単板ディスクの面上
   に接着剤を円環状に吐出しておき、かつ上側単板ディス
   クはその外周近傍部を保持された状態で、これら２枚の
   単板ディスクを近接させて行き、 上記上側単板ディスクが上記下側単板ディスク面上の円
   環状の接着剤に接触する前に、該上側単板ディスク面と
   上記下側単板ディスク面及び円環状の接着剤で囲まれる
   内側空間の圧力を外側空間の圧力よりも低くし、 この状態にて上記上側単板ディスクと上記下側単板ディ
   スク上の円環状の接着剤を接触させることを特徴とする
   光ディスク貼り合わせ方法。
2. 【請求項２】 上記上側単板ディスク面と下側単板ディ
   スク面及び円環状の接着剤で囲まれる上記内側空間を真
   空吸引することを特徴とする請求項１に記載の光ディス
   ク貼り合わせ方法。
3. 【請求項３】 上記上側単板ディスク面と下側単板ディ
   スク面及び円環状の接着剤で囲まれる上記内側空間を真
   空吸引しているとき、上記下側単板ディスクをほぼ一定
   の低速で上昇させることを特徴とする請求項２に記載の
   光ディスク貼り合わせ方法。
4. 【請求項４】 上記上側単板ディスクが、弾性体の吸着
   具を使用した真空吸着で保持されることを特徴とする請
   求項１ないし請求項３のいずれかに記載の光ディスク貼
   り合わせ方法。
5. 【請求項５】 上記下側単板ディスクが、少なくとも接
   着剤の吐出範囲、又はその周辺をその下側から真空吸着
   されることを特徴とする請求項１ないし請求項４のいず
   れかに記載の光ディスク貼り合わせ方法。
6. 【請求項６】 上記上側単板ディスク面と下側単板ディ
   スク面及び円環状の接着剤で囲まれる上記内側空間の圧
   力を、その外側空間の圧力よりも３０ｋＰａを越えない
   範囲で低くすることを特徴とする請求項１ないし請求項
   ５のいずれかに記載の光ディスク貼り合わせ方法。
7. 【請求項７】 上記上側単板ディスク面と下側単板ディ
   スク面及び円環状の接着剤で囲まれる上記内側空間の圧
   力を上記外側空間よりも低くする際に、上記上側単板デ
   ィスクが上記円環状の接着剤に接触する前、２秒を超え
   ない時間だけ早く真空排気系を閉じることを特徴とする
   請求項１ないし請求項６のいずれかに記載の光ディスク
   貼り合わせ方法。
8. 【請求項８】 上記上側単板ディスクを上記円環状の接
   着剤と接触させた後、上記２枚の単板ディスクを回転さ
   せて接着剤を所定の領域まで広げることを特徴とする請
   求項１ないし請求項７のいずれかに記載の光ディスク貼
   り合わせ方法。
9. 【請求項９】 使用する接着剤が紫外線硬化型接着剤で
   あり、接着剤が所定の領域まで広がった後に紫外線を照
   射して硬化させることを特徴とする請求項１ないし請求
   項８のいずれかに記載の光ディスク貼り合わせ方法。
10. 【請求項１０】 ２枚の単板ディスクを液体状の接着剤
    を使用して貼り合わせ、１枚の貼合ディスクを作る光デ
    ィスク貼り合わせ装置において、 これら２枚の単板ディスクの内の下側単板ディスクを受
    けるディスク受台と、 該下側単板ディスクの面上に接着剤を円環状に吐出する
    接着剤吐出手段と、 上記２枚の単板ディスクの内の上側単板ディスクの外周
    近傍部を保持する保持手段と、 該上側単板ディスク面と該下側単板ディスク面及び円環
    状の接着剤で囲まれる内側空間を吸引する真空吸引手段
    と、を備え、該内側空間の圧力がその外側空間の圧力よ
    りも低い状態で上記上側単板ディスクと該下側単板ディ
    スク上の円環状の接着剤を接触させることを特徴とする
    光ディスク貼り合わせ装置。
11. 【請求項１１】 上記上側単板ディスクは弾性体からな
    る真空吸着具により吸着保持されることを特徴とする請
    求項１０に記載の光ディスク貼り合わせ装置。
12. 【請求項１２】 上記ディスク受台は真空吸着機構を備
    え、該真空吸着機構が上記下側単板ディスクの面上の接
    着剤の吐出範囲又はその周辺を、その下側から真空吸着
    することを特徴とする請求項１０又は請求項１１に記載
    の光ディスク貼り合わせ装置。
13. 【請求項１３】 上記上側単板ディスクを円環状の接着
    剤と接触させた後、上記２枚の単板ディスクを回転させ
    て接着剤を所定の領域まで広げるスピンナーを備えたこ
    とを特徴とする請求項１０ないし請求項１２のいずれか
    に記載の光ディスク貼り合わせ装置。
14. 【請求項１４】 使用する接着剤は紫外線硬化型接着剤
    であり、該接着剤が所定の領域まで広がった後に紫外線
    を照射して硬化させる紫外線照射装置を備えたことを特
    徴とする請求項１０ないし請求項１３のいずれかに記載
    の光ディスク貼り合わせ装置。