JPH1167602A - Capacitor and manufacturing method thereof - Google Patents

Capacitor and manufacturing method thereof

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JPH1167602A
JPH1167602A JP9229216A JP22921697A JPH1167602A JP H1167602 A JPH1167602 A JP H1167602A JP 9229216 A JP9229216 A JP 9229216A JP 22921697 A JP22921697 A JP 22921697A JP H1167602 A JPH1167602 A JP H1167602A
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安恵 松家
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研二 赤見
Toshikuni Kojima
利邦 小島
Yasuo Kudo
康夫 工藤
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 高い絶縁破壊電圧と優れた高周波特性とを有
する導電性高分子を電解質として用いたコンデンサ及び
その製造方法を提供することを目的とする。 【解決手段】 本発明は、対向して設けられた一対の電
極12、17等と、その電極間に設けられた誘電体層1
3とを備え、その電極の少なくとも一方が重合性モノマ
ーを重合して得られた導電性高分子層15を有し、かか
る導電性高分子層は、その重合前に予め導電性ポリマー
微粒子14または架橋型ポリアクリル酸若しくはその塩
を添加されることによりその厚さが増加されたコンデン
サであり、また、このようなコンデンサを提供するコン
デンサの製造方法である。
(57) Abstract: An object of the present invention is to provide a capacitor using a conductive polymer having high dielectric breakdown voltage and excellent high-frequency characteristics as an electrolyte, and a method for manufacturing the same. SOLUTION: The present invention provides a pair of electrodes 12, 17 and the like provided facing each other, and a dielectric layer 1 provided between the electrodes.
And at least one of the electrodes has a conductive polymer layer 15 obtained by polymerizing a polymerizable monomer, and the conductive polymer layer is formed of a conductive polymer fine particle 14 or A capacitor whose thickness is increased by adding a cross-linked polyacrylic acid or a salt thereof, and a method of manufacturing a capacitor which provides such a capacitor.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は導電性高分子層を固
体電解質として用いた固体電解コンデンサの製造方法に
関するものである。
The present invention relates to a method for manufacturing a solid electrolytic capacitor using a conductive polymer layer as a solid electrolyte.

【0002】[0002]

【従来の技術】最近、電気機器のディジタル化にともな
って、そこに使用されるコンデンサも高周波領域におい
てインピーダンスが低く、小型大容量化への要求が高ま
っている。
2. Description of the Related Art Recently, with the digitization of electrical equipment, the capacitors used therein have low impedance in the high frequency range, and there is an increasing demand for smaller and larger capacitors.

【0003】それらの要求に答えるべく、7,7,8,
8−テトラシアノキノジメタン(TCNQ)塩等の有機
半導体を固体電解質として用いた固体電解コンデンサ
が、特開昭58−17609号公報に開示されている。
[0003] In order to answer those requests, 7,7,8,
A solid electrolytic capacitor using an organic semiconductor such as 8-tetracyanoquinodimethane (TCNQ) salt as a solid electrolyte is disclosed in JP-A-58-17609.

【0004】さらに、ピロール、フラン等の重合性モノ
マーを重合させて導電性高分子とし、これを固体電解質
とするものも特開昭60−244017号公報に開示さ
れている。
Further, Japanese Patent Application Laid-Open No. Sho 60-244017 discloses a polymer obtained by polymerizing a polymerizable monomer such as pyrrole or furan to obtain a conductive polymer, which is used as a solid electrolyte.

【0005】さらに、また、エッチドアルミ箔上に電着
ポリイミド薄膜からなる誘電体を形成した後、化学重合
及び電解重合により、順次導電性高分子層を形成して電
極とする大容量フィルムコンデンサも提案されている
(電気化学会第58回大会講演要旨集251〜252頁
(1991年))。
Further, after forming a dielectric comprising an electrodeposited polyimide thin film on an etched aluminum foil, a conductive polymer layer is sequentially formed by chemical polymerization and electrolytic polymerization to form a large capacity film capacitor as an electrode. (Proceedings of the 58th Annual Meeting of the Institute of Electrical Chemistry, pp. 251-252 (1991)).

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】このように種々のコン
デンサが使用されているが、TCNQ塩等の有機半導体
を用いた固体電解コンデンサは、二酸化マンガンを用い
たものに比して優れた高周波特性を示す一方で、有機半
導体を塗布する際の比抵抗の上昇、陽極箔への接着性が
弱いこと等が原因で、損失係数や高周波のインピ−ダン
スが理想的な特性を示すとはいえない。
Although various types of capacitors are used as described above, solid electrolytic capacitors using an organic semiconductor such as a TCNQ salt have high-frequency characteristics superior to those using manganese dioxide. On the other hand, the loss coefficient and high-frequency impedance do not show ideal characteristics due to the increase in specific resistance when applying the organic semiconductor and the weak adhesion to the anode foil. .

【0007】また、導電性高分子層を固体電解質とする
場合には、周波数特性、温度特性、寿命特性等は優れて
はいる。
When the conductive polymer layer is made of a solid electrolyte, the frequency characteristics, temperature characteristics, life characteristics, etc. are excellent.

【0008】このように導電性高分子層を陽極弁金属上
に形成させるには、重合性モノマー溶液と酸化剤溶液を
用いた化学酸化重合法と、重合性モノマーと支持電解質
を含む溶液を用いた電解重合法とがある。
In order to form the conductive polymer layer on the anode valve metal as described above, a chemical oxidation polymerization method using a polymerizable monomer solution and an oxidizing agent solution, and a solution containing a polymerizable monomer and a supporting electrolyte are used. Electrolytic polymerization method.

【0009】しかし、特に化学酸化重合法による場合に
は、電極細孔深部に比して外側表面では導電性高分子層
が付着しにくく充分な電解質層の厚さを得ることが困難
であり、二酸化マンガンを電解質として用いた従来の固
体電解コンデンサに比して、絶縁破壊電圧が低いという
課題があった。
However, particularly in the case of the chemical oxidation polymerization method, the conductive polymer layer is less likely to adhere to the outer surface than the deep part of the electrode pores, and it is difficult to obtain a sufficient electrolyte layer thickness. There is a problem that the dielectric breakdown voltage is lower than that of a conventional solid electrolytic capacitor using manganese dioxide as an electrolyte.

【0010】本発明は、上記技術課題を解決するもの
で、導電性高分子を電解質として用いた絶縁破壊電圧の
高い固体電解コンデンサを簡便に得ることを目的として
いる。
An object of the present invention is to solve the above-mentioned technical problems, and an object of the present invention is to easily obtain a solid electrolytic capacitor having a high dielectric breakdown voltage using a conductive polymer as an electrolyte.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】本発明は、対向して設け
られた一対の電極と、その電極間に設けられた誘電体層
とを備え、その電極の少なくとも一方が重合性モノマー
を重合して得られた導電性高分子層を有し、かかる導電
性高分子層は、その重合前に予め導電性ポリマー微粒子
または架橋型ポリアクリル酸若しくはその塩を添加され
ることによりその厚さが増加されたコンデンサであり、
このようなコンデンサを提供するコンデンサの製造方法
である。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention comprises a pair of electrodes provided to face each other and a dielectric layer provided between the electrodes, at least one of the electrodes being formed by polymerizing a polymerizable monomer. The conductive polymer layer thus obtained has a thickness that is increased by adding conductive polymer fine particles or cross-linked polyacrylic acid or a salt thereof in advance before the polymerization. Capacitor
This is a method for manufacturing a capacitor that provides such a capacitor.

【0012】以上の構成により、高い絶縁破壊電圧と優
れた高周波特性とを有する、導電性高分子を電解質とし
て用いたコンデンサを容易に得ることができる。
With the above structure, a capacitor having a high dielectric breakdown voltage and excellent high-frequency characteristics and using a conductive polymer as an electrolyte can be easily obtained.

【0013】[0013]

【発明の実施の形態】請求項1記載の本発明は、対向し
て設けられた一対の電極と、前記電極間に設けられた誘
電体層とを備え、前記電極の少なくとも一方が重合性モ
ノマーを重合して得られた導電性高分子層を有し、前記
導電性高分子層は、その重合前に予め導電性ポリマー微
粒子または架橋型ポリアクリル酸若しくはその塩を添加
されることによりその厚さが増加されたコンデンサであ
る。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention according to claim 1 comprises a pair of electrodes provided to face each other, and a dielectric layer provided between the electrodes, wherein at least one of the electrodes is a polymerizable monomer. A conductive polymer layer obtained by polymerizing the conductive polymer layer, and the conductive polymer layer has a thickness by adding conductive polymer fine particles or cross-linked polyacrylic acid or a salt thereof in advance before the polymerization. Is an increased capacitor.

【0014】この構成により、高い絶縁破壊電圧と優れ
た高周波特性とを有する、導電性高分子を電解質として
用いたコンデンサとなる。
With this configuration, a capacitor having a high dielectric breakdown voltage and excellent high-frequency characteristics and using a conductive polymer as an electrolyte is obtained.

【0015】ここで、請求項2記載のように、導電性高
分子層の厚さが10μm以上であることが好適である。
Here, the thickness of the conductive polymer layer is preferably at least 10 μm.

【0016】この構成により、耐電圧を向上させるのみ
ならず、損失とインピーダンスも優れた値とする。特
に、化学的酸化重合して導電性高分子層を形成する場
合、コロイダルカーボンが導電性高分子層に浸透して誘
電体表面に到達することを実質的に防止することができ
るため、絶縁破壊電圧の高いコンデンサが得られる。
According to this configuration, not only the withstand voltage is improved but also the loss and the impedance are set to excellent values. In particular, when a conductive polymer layer is formed by chemical oxidative polymerization, it is possible to substantially prevent colloidal carbon from penetrating the conductive polymer layer and reaching the dielectric surface, so that dielectric breakdown occurs. A capacitor with a high voltage can be obtained.

【0017】また、請求項3記載のように、導電性高分
子層の導電性高分子が、ポリピロール、ポリチオフェ
ン、またはポリアニリンであることが電気伝導度が高い
ため、好適である。
It is preferable that the conductive polymer of the conductive polymer layer is polypyrrole, polythiophene, or polyaniline because of its high electric conductivity.

【0018】より詳細には、ポリチオフェンとしては、
3,4−エチレンジオキシチオフェンが挙げられる。
More specifically, as polythiophene,
3,4-ethylenedioxythiophene is exemplified.

【0019】また、請求項4記載のように、導電性ポリ
マー微粒子の導電性ポリマーが、ポリピロール、ポリチ
オフェン、またはポリアニリンであることが、電気伝導
度が高いため、好適である。
It is preferable that the conductive polymer of the conductive polymer fine particles is polypyrrole, polythiophene, or polyaniline because of its high electric conductivity.

【0020】ここでも、より詳細には、ポリチオフェン
としては、3,4−エチレンジオキシチオフェンが挙げ
られる。
Here, more specifically, polythiophene includes 3,4-ethylenedioxythiophene.

【0021】そして、請求項5記載のように、導電性高
分子層の導電性高分子と導電性ポリマー微粒子の導電性
ポリマーが、同一種類であることも、構成の簡便性故に
好適である。
As described in claim 5, it is also preferable that the conductive polymer of the conductive polymer layer and the conductive polymer of the conductive polymer fine particles are of the same type because of the simplicity of the structure.

【0022】また、請求項6記載のように、誘電体層が
弁金属の酸化物皮膜であってもよく、請求項7記載のよ
うに、弁金属がタンタルまたはアルミニウムであること
も好適である。
The dielectric layer may be an oxide film of a valve metal, and the valve metal is preferably tantalum or aluminum. .

【0023】この、弁金属としては、例えば、他にニオ
ブ、チタン等も用い得て、タンタルまたはアルミニウム
の場合には、より具体的には、微粉末の多孔質タンタル
焼結体、エッチドアルミニウム箔が用いられ得る。
As the valve metal, for example, niobium, titanium, etc. may be used. In the case of tantalum or aluminum, more specifically, fine powdered porous tantalum sintered body, etched aluminum Foil may be used.

【0024】また、請求項8記載のように、誘電体層が
高分子層であってもよく、請求項9記載のように、高分
子層の高分子がポリイミドであることも好適である。
Further, as described in claim 8, the dielectric layer may be a polymer layer, and as in claim 9, the polymer of the polymer layer is preferably polyimide.

【0025】このように、高分子層を誘電体に用いた場
合は、弁金属の酸化皮膜の場合に見られた極性がなくな
り、両極性のコンデンサが得られる。
As described above, when the polymer layer is used as the dielectric, the polarity observed in the case of the oxide film of the valve metal is eliminated, and a bipolar capacitor is obtained.

【0026】さらに、薄い高分子層を例えばエッチドア
ルミニウム箔上に形成すれば、従来に比して圧倒的に小
型大容量のフィルムコンデンサが実現できる。
Further, when a thin polymer layer is formed on, for example, an etched aluminum foil, a film capacitor having a significantly small size and a large capacity can be realized as compared with the prior art.

【0027】一方、請求項10記載の本発明は、対向し
た一対の電極を配置する工程と、前記電極間に誘電体皮
膜を配置する工程と、前記電極の少なくとも一方に導電
性高分子層を形成する工程とを備え、前記導電性高分子
層を形成する工程は、導電性ポリマー微粒子または架橋
型ポリアクリル酸若しくはその塩を添加する行程を含む
コンデンサの製造方法である。
According to a tenth aspect of the present invention, a step of arranging a pair of electrodes facing each other, a step of arranging a dielectric film between the electrodes, and a step of forming a conductive polymer layer on at least one of the electrodes. Forming a conductive polymer layer, wherein the step of forming the conductive polymer layer is a method of manufacturing a capacitor including a step of adding conductive polymer fine particles or cross-linked polyacrylic acid or a salt thereof.

【0028】この構成により、高い絶縁破壊電圧と優れ
た高周波特性とを有する、導電性高分子を電解質として
用いたコンデンサを提供する。
With this configuration, a capacitor having a high dielectric breakdown voltage and excellent high-frequency characteristics and using a conductive polymer as an electrolyte is provided.

【0029】ここで、請求項11記載のように、導電性
高分子の形成工程が、重合性モノマー溶液と酸化剤溶液
とを用いた化学的酸化重合工程であることが、コンデン
サ作製上の確実性、簡便性故好適である。
Here, it is ensured that the step of forming the conductive polymer is a chemical oxidative polymerization step using a polymerizable monomer solution and an oxidizing agent solution. It is suitable because of its properties and simplicity.

【0030】また、請求項12記載のように、導電性ポ
リマー微粒子を、重合性モノマー溶液または酸化剤溶液
の少なくともいずれか一方に含ませることができ、いず
れにおいてもそれが導電性高分子層に添加されたコンデ
ンサを提供する。
In addition, as described in claim 12, the conductive polymer fine particles can be contained in at least one of a polymerizable monomer solution and an oxidizing agent solution, and in any case, the conductive polymer fine particles are contained in the conductive polymer layer. Provide an added capacitor.

【0031】この導電性ポリマー微粒子は、誘電体表面
に付着され、その作用で化学的酸化重合で形成される導
電性高分子層を容易に厚くすることができる。
The conductive polymer fine particles are attached to the surface of the dielectric, and the thickness of the conductive polymer layer formed by chemical oxidative polymerization can be easily increased by the action.

【0032】さらに、用いる導電性ポリマー微粒子の平
均粒径は、化学的酸化重合によって形成される導電性高
分子層の厚さのバラツキを少なくし、所望の高周波特性
を得るには、平均粒径1μm以下のものを用いることが
望ましい。
Further, the average particle diameter of the conductive polymer fine particles to be used is determined in order to reduce the variation in the thickness of the conductive polymer layer formed by chemical oxidation polymerization and to obtain desired high-frequency characteristics. It is desirable to use one of 1 μm or less.

【0033】請求項12記載の発明は、導電性高分子粒
子を重合性モノマー溶液または酸化剤溶液の少なくとも
いずれか一方に添加することにより、導電性高分子微粒
子を誘電体表面に配置させるようにしものである。
According to a twelfth aspect of the present invention, the conductive polymer particles are arranged on the surface of the dielectric by adding the conductive polymer particles to at least one of the polymerizable monomer solution and the oxidizing agent solution. Things.

【0034】そして、請求項13記載のように、さら
に、重合性モノマーを重合することにより導電性ポリマ
ー微粒子を用意する工程を有するものであってもよく、
導電性ポリマー微粒子を確実に提供する。
[0034] As described in claim 13, the method may further include a step of preparing conductive polymer fine particles by polymerizing a polymerizable monomer.
Provide conductive polymer fine particles reliably.

【0035】ここで、請求項14記載のように、重合性
モノマーが、ピロ−ル、チオフェン、アニリンまたはこ
れらの誘導体から選ばれる少なくとも一種であることが
好適である。
Here, as described in claim 14, the polymerizable monomer is preferably at least one selected from pyrrole, thiophene, aniline and derivatives thereof.

【0036】また、請求項15記載のように、ポリアク
リル酸、そのアルカリ金属塩またはそのアンモニウム塩
を共存させた重合性モノマー溶液を用いることも好適で
あり、架橋型ポリアクリル酸またはその塩が導電性高分
子層に添加されたコンデンサを提供する。
It is also preferable to use a polymerizable monomer solution in which polyacrylic acid, an alkali metal salt thereof or an ammonium salt thereof coexists. Provided is a capacitor added to a conductive polymer layer.

【0037】より詳細には、好適にはモノマー溶液の溶
媒として水が使用され、ポリアクリル酸あるいはそのア
ルカリ金属またはアンモニウム塩の増粘作用で、コンデ
ンサ素子を重合性モノマー溶液に浸漬後、さらに酸化剤
溶液に浸漬して化学的酸化重合反応を起こさせ、導電性
高分子層を形成する場合に、酸化剤溶液中にモノマー分
子が拡散されるのが抑制されるため、効率的かつ容易に
誘電体表面に導電性高分子層を形成することができる。
More specifically, water is preferably used as a solvent for the monomer solution, and the thickening action of polyacrylic acid or its alkali metal or ammonium salt causes the capacitor element to be immersed in the polymerizable monomer solution and then oxidized. When a conductive polymer layer is formed by immersion in an oxidizing agent solution to cause a chemical oxidative polymerization reaction, diffusion of monomer molecules in the oxidizing agent solution is suppressed, so that efficient and easy dielectric A conductive polymer layer can be formed on the body surface.

【0038】この場合、絶縁物であるポリアクリル酸あ
るいはそのアルカリ金属またはアンモニウム塩の濃度を
0.1wt%以上0.3wt%以下にすることにより、
形成される導電層高分子層の電気伝導度の低下を実質的
になくすことができ、よってコンデンサ特性への悪影響
をさけることが可能になる。
In this case, by setting the concentration of polyacrylic acid or its alkali metal or ammonium salt as an insulator to be 0.1 wt% or more and 0.3 wt% or less,
A decrease in the electrical conductivity of the formed conductive polymer layer can be substantially eliminated, so that it is possible to avoid adverse effects on the capacitor characteristics.

【0039】ここで、請求項16記載のように、重合性
モノマー溶液の重合性モノマーが、ピロ−ル、チオフェ
ン、アニリンまたはこれらの誘導体から選ばれる少なく
とも一種であることが好適である。
Here, the polymerizable monomer in the polymerizable monomer solution is preferably at least one selected from the group consisting of pyrrole, thiophene, aniline and derivatives thereof.

【0040】また、請求項17記載のように、酸化剤溶
液は、遷移金属イオンを含む化合物、または過硫酸若し
くはその塩を含むことが好適である。
As described in claim 17, the oxidizing agent solution preferably contains a compound containing a transition metal ion, or persulfuric acid or a salt thereof.

【0041】より詳細には、遷移金属イオンとして例え
ば、鉄(III)、銅(II)、モリブデン(VI)、クロム
(VII)、マンガン(VII)等を用いることができる、ま
た、過硫酸塩としては、リチウム塩、ナトリウム塩、カ
リウム塩、アンモニウム塩等を用いることができる。
More specifically, iron (III), copper (II), molybdenum (VI), chromium (VII), manganese (VII) and the like can be used as the transition metal ion. For example, lithium salts, sodium salts, potassium salts, ammonium salts and the like can be used.

【0042】以下、本発明の実施の形態について、図面
を用いて説明する。 (実施の形態1)図1は、本実施の形態におけるコンデ
ンサの断面図である。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. (Embodiment 1) FIG. 1 is a sectional view of a capacitor according to the present embodiment.

【0043】図1において、11は陽極リードであり、
12はコンデンサの陽極となる陽極弁金属で、例えばタ
ンタリウム又はアルミニウムにより構成される。
In FIG. 1, reference numeral 11 denotes an anode lead,
Reference numeral 12 denotes an anode valve metal serving as an anode of the capacitor, which is made of, for example, tantalum or aluminum.

【0044】また、13は、コンデンサの誘電体層とな
る誘電体皮膜で、陽極弁金属12に対応して、Ta25
またはAl23により構成される。
[0044] Also, 13 is a dielectric coating as a dielectric layer of the capacitor, in response to an anode valve metal 12, Ta 2 O 5
Alternatively, it is composed of Al 2 O 3 .

【0045】また、14は、ポリマー微粒子であり、こ
のポリマー微粒子14は、重合性モノマー溶液と酸化剤
溶液を用いて化学酸化重合によって得た例えばピロ−
ル、チオフェン、アニリン又はそれらの誘導体を繰り返
し単位として含む導電性高分子を、平均粒径0.5μm
のポリマー微粒子に粉砕したものである。
Reference numeral 14 denotes polymer fine particles. The polymer fine particles 14 are, for example, pyro-polymers obtained by chemical oxidative polymerization using a polymerizable monomer solution and an oxidizing agent solution.
Conductive polymer containing thiophene, aniline or a derivative thereof as a repeating unit, having an average particle size of 0.5 μm
Crushed into polymer fine particles.

【0046】また、15は、化学酸化重合によって得た
導電性高分子層であり、例えばピロ−ル、チオフェン、
アニリン又はそれらの誘導体を繰り返し単位として含
む。
Reference numeral 15 denotes a conductive polymer layer obtained by chemical oxidation polymerization, for example, pyrrole, thiophene,
It contains aniline or a derivative thereof as a repeating unit.

【0047】そして、16は、カ−ボンペイント膜であ
り、17はコンデンサの陰極となる銀ペイント膜であ
り、18は陰極リ−ドである。ここで、カ−ボンペイン
ト膜16は、導電性高分子層15と銀ペイント膜17と
の密着性を高めるためのものである。
Reference numeral 16 denotes a carbon paint film, reference numeral 17 denotes a silver paint film serving as a cathode of a capacitor, and reference numeral 18 denotes a cathode lead. Here, the carbon paint film 16 is for improving the adhesion between the conductive polymer layer 15 and the silver paint film 17.

【0048】もちろん、以上の構成は代表例であり、同
様の機能を実現し得る他の材料や製法を用いることは可
能である。
Of course, the above configuration is a typical example, and it is possible to use another material or manufacturing method that can realize the same function.

【0049】以下、このような構成のコンデンサの構成
及び製造方法について、図1をも参照しながらより具体
的に説明する。
Hereinafter, the structure and manufacturing method of such a capacitor will be described more specifically with reference to FIG.

【0050】まず、陽極リ−ド11を付けた直方体のタ
ンタル焼結体である陽極弁金属12(サイズ(mm):
長さ3、高さ3.8、幅1.4、CV積3万μFV/
g)を0.5%燐酸水溶液で約90℃、60分間、印加
電圧42Vの条件で陽極酸化して誘電体皮膜13を形成
した。
First, an anode valve metal 12 (size (mm): a rectangular parallelepiped tantalum sintered body with an anode lead 11 attached thereto:
Length 3, Height 3.8, Width 1.4, CV product 30,000μFV /
g) was anodized with a 0.5% aqueous phosphoric acid solution at about 90 ° C. for 60 minutes at an applied voltage of 42 V to form a dielectric film 13.

【0051】この素子を、平均粒径0.5μmのポリピ
ロール微粒子(5重量%)及びピロ−ルモノマー(1m
ol/l)を含む水溶液に7分間浸漬し、続いて硫酸第
2鉄水和物0.222mol/lを含む酸化剤水溶液に
15分間浸漬することで化学酸化重合を行い、続いて水
洗を10分、105℃乾燥を5分行った。
This device was prepared by mixing polypyrrole fine particles (5% by weight) having an average particle diameter of 0.5 μm and a pyrrole monomer (1 m
ol / l) for 7 minutes, followed by 15 minutes in an oxidizing aqueous solution containing 0.222 mol / l of ferric sulfate hydrate to perform chemical oxidative polymerization. And drying at 105 ° C. for 5 minutes.

【0052】この操作を12回繰り返すことにより、陽
極弁金属12の内部及び表面にポリピロール微粒子14
を含むポリピロ−ルの導電性高分子層15を形成した。
By repeating this operation 12 times, the polypyrrole fine particles 14 are formed inside and on the surface of the anode valve metal 12.
The conductive polymer layer 15 of polypyrrole containing was formed.

【0053】ここで、使用されたポリピロール微粒子
は、導電性高分子層15のポリピロール層を形成する時
に用いたものと同組成に、重合溶液を用いて25℃で1
時間重合させて作製し、粉砕したものである。
Here, the polypyrrole fine particles used had the same composition as that used when the polypyrrole layer of the conductive polymer layer 15 was formed, and were prepared at 25 ° C. using a polymerization solution.
It is produced by polymerizing for an hour and then pulverized.

【0054】次に、カ−ボンペイント膜16、続いて銀
ペイント膜17を通常の方法で形成し、銀ペイント膜1
7上に陰極リ−ド18を設け、エ−ジングを印加電圧1
3Vで行い、樹脂で外装して10個の固体電解コンデン
サを計10個得た。
Next, a carbon paint film 16 and subsequently a silver paint film 17 are formed by an ordinary method.
7 is provided with a cathode lead 18 and aging is performed with an applied voltage of 1
The operation was carried out at 3 V, and a total of 10 solid electrolytic capacitors were obtained by covering with a resin.

【0055】得られたコンデンサの平均の容量、損失係
数、インピーダンス、耐電圧及びポリピロール層の最も
薄い部分の膜厚19を以下の(表1)に示す。
The average capacitance, loss coefficient, impedance, withstand voltage, and film thickness 19 of the thinnest portion of the polypyrrole layer of the obtained capacitor are shown in Table 1 below.

【0056】[0056]

【表1】 [Table 1]

【0057】(比較例1)本比較例では、ポリピロール
微粒子を含まないこと以外、実施の形態1と同様にして
10個の固体電解コンデンサを作製した。
Comparative Example 1 In this comparative example, ten solid electrolytic capacitors were produced in the same manner as in Embodiment 1 except that no polypyrrole fine particles were contained.

【0058】このコンデンサの容量、損失係数、インピ
ーダンス、耐電圧及びポリピロール層の膜厚を前述の
(表1)に示す。
The capacity, loss coefficient, impedance, withstand voltage and film thickness of the polypyrrole layer of this capacitor are shown in Table 1 above.

【0059】(表1)に示す実施の形態1と比較例1と
の比較から、ポリピロール微粒子を添加することによ
り、同一の重合繰り返し回数で、2倍程度の厚いポリピ
ロール層が形成され、それを反映して耐電圧が向上して
いることが分かる。
From the comparison between Embodiment 1 and Comparative Example 1 shown in Table 1, by adding polypyrrole fine particles, a polypyrrole layer about twice as thick was formed at the same number of polymerization repetitions. It can be seen that the withstand voltage has been improved.

【0060】即ち、導電性高分子層の厚さを効果的に増
加したことによる、明確な耐電圧向上の効果が理解でき
る。
That is, it can be understood that the effect of effectively increasing the thickness of the conductive polymer layer clearly improves the withstand voltage.

【0061】なお、ポリピロール微粒子を含まないピロ
ールモノマー溶液を用いた以外、実施の形態1と同様に
してポリピロール層を形成したコンデンサを作製した場
合、膜厚が実施の形態1と同程度の膜厚のポリピロール
層を形成するために必要な重合繰り返し回数は48回で
あった。このことからも、導電性高分子微粒子を添加し
た重合溶液を用いることによる、望ましい層厚のポリピ
ロール層形成に要する重合繰り返し回数削減の効果も明
らかである。
When a capacitor having a polypyrrole layer formed in the same manner as in Embodiment 1 except that a pyrrole monomer solution containing no polypyrrole fine particles was used, the film thickness was approximately the same as that in Embodiment 1. The number of polymerization repetitions required to form a polypyrrole layer was 48. From this, the effect of reducing the number of times of polymerization repeated required for forming a polypyrrole layer having a desired thickness by using a polymerization solution to which conductive polymer fine particles are added is also apparent.

【0062】(実施の形態2)本実施の形態では、平均
粒径が1μm(A)及び3μm(B)のポリピロール微
粒子を用いた以外、実施の形態1と同様にしてそれぞれ
10個の固体電解コンデンサを完成させ、実施の形態1
と同様の評価を行った。
(Embodiment 2) In this embodiment, 10 solid electrolytic cells are used in the same manner as in Embodiment 1 except that polypyrrole fine particles having an average particle diameter of 1 μm (A) and 3 μm (B) are used. Complete the capacitor, Embodiment 1
The same evaluation was performed.

【0063】その結果を前述の(表1)に示す。(表
1)において、平均粒径1μmの微粒子を用いた場合、
0.5μmの場合と同様の結果がえられたが、3μmの
微粒子の場合は、耐電圧は実施の形態1と同様であった
が、ポリピロールの被覆厚さが過度に大きくなったた
め、損失係数及びインピーダンスの劣化が見られた。
The results are shown in the above (Table 1). In Table 1, when fine particles having an average particle size of 1 μm were used,
The same result as in the case of 0.5 μm was obtained. In the case of the fine particles of 3 μm, the withstand voltage was the same as that of the first embodiment. However, since the coating thickness of polypyrrole was excessively large, the loss coefficient was large. And degradation of impedance was observed.

【0064】ここで、より詳細に検討すれば、実施の形
態1と比較例1との比較から、耐電圧を向上させるに
は、ポリピロール層の膜厚に一定値以上の厚さが必要で
あり、さらに、実施の形態2とも比較すれば、損失係数
及びインピーダンスのバランスをも考えるのであれば、
ポリピロール層の膜厚に一定値以下の最適範囲が存在す
ると考えられる。
Here, when examined in more detail, from the comparison between Embodiment 1 and Comparative Example 1, in order to improve the withstand voltage, the thickness of the polypyrrole layer needs to be a certain value or more. Further, when compared with Embodiment 2, if the balance between the loss coefficient and the impedance is also considered,
It is considered that there is an optimum range of the thickness of the polypyrrole layer that is equal to or less than a certain value.

【0065】そこで、添加するポリピロール微粒子の平
均粒径を種々変化させて、ポリピロール層の膜厚を変化
させ、実施の形態1と同様に耐電圧、損失係数及びイン
ピーダンスを測定したところ、ポリピロール層の膜厚
は、10μm以上20μm以下であることが好適である
との結論に至った。ここで、この膜厚に対応した添加す
るポリピロール微粒子の平均粒径は0.3μm以上1μ
m以下であった。
Then, the thickness of the polypyrrole layer was changed by variously changing the average particle diameter of the added polypyrrole fine particles, and the withstand voltage, loss coefficient and impedance were measured in the same manner as in the first embodiment. It was concluded that the film thickness was preferably from 10 μm to 20 μm. Here, the average particle diameter of the added polypyrrole fine particles corresponding to this film thickness is 0.3 μm or more and 1 μm.
m or less.

【0066】(実施の形態3)本実施の形態では、ポリ
ピロール微粒子に替えて、化学的酸化重合で得られた、
平均粒径1μmのポリ(3、4−エチレンジオキシチオ
フェン)(A)とポリアニリン(B)をそれぞれ用いた
以外、実施の形態1と同様にして10個の固体電解コン
デンサを作製し、実施の形態1と同様の評価を行った。
(Embodiment 3) In the present embodiment, instead of polypyrrole fine particles, the particles obtained by chemical oxidation polymerization were used.
Ten solid electrolytic capacitors were produced in the same manner as in Embodiment 1 except that poly (3,4-ethylenedioxythiophene) (A) and polyaniline (B) each having an average particle diameter of 1 μm were used. The same evaluation as in Embodiment 1 was performed.

【0067】その結果を前述の(表1)に示す。(表
1)から、添加された導電性高分子微粒子の種類によら
ず、厚いポリピロール層が形成され、さらに耐電圧も向
上していることが理解できる。
The results are shown in the above (Table 1). From Table 1, it can be understood that a thick polypyrrole layer was formed and the withstand voltage was improved irrespective of the type of the conductive polymer fine particles added.

【0068】また、本実施の形態でも、添加するポリチ
オフェン等の平均粒径を種々変化させて、ポリピロール
層の膜厚を変化させ、実施の形態1と同様に耐電圧、損
失係数及びインピーダンスを測定したところ、ポリピロ
ール層の膜厚は、10μm以上20μm以下であること
が好適であるとの結論に至った。ここでも、この膜厚に
対応した添加する微粒子の平均粒径は0.3μm以上1
μm以下であった。
Also in this embodiment, the withstand voltage, loss coefficient and impedance were measured in the same manner as in the first embodiment by changing the average particle size of the added polythiophene and the like in various ways to change the thickness of the polypyrrole layer. As a result, it was concluded that the thickness of the polypyrrole layer was preferably from 10 μm to 20 μm. Here, the average particle diameter of the added fine particles corresponding to this film thickness is 0.3 μm or more and 1 μm or more.
μm or less.

【0069】(実施の形態4)本実施の形態では、実施
の形態1のタンタル焼結体に代えて下記のエッチドアル
ミニウム箔電極を用いた以外、実施の形態1と同様の条
件で10個のコンデンサを完成させ、同様の特性評価を
行い、その結果を前述の(表1)に示した。
(Embodiment 4) In the present embodiment, 10 electrodes are used under the same conditions as in Embodiment 1 except that the following etched aluminum foil electrode is used in place of the tantalum sintered body of Embodiment 1. Was completed, and the same characteristics were evaluated. The results are shown in the above (Table 1).

【0070】なお、具体的なアルミニウム電極箔の作製
法は、次の通りである。まず4×10mmのアルミニウ
ムエッチド箔を、3mmと6mmの部分に仕切るよう
に、両面に渡って、幅1mmのポリイミドテープ7を貼
付ける。
The specific method of manufacturing the aluminum electrode foil is as follows. First, a polyimide tape 7 having a width of 1 mm is stuck on both sides so as to partition a 4 × 10 mm aluminum etched foil into portions of 3 mm and 6 mm.

【0071】次に、アルミニウムエッチド箔1の4×3
mmの部分の陽極リードを取り付け、アルミニウムエッ
チド箔の4×6mmの部分を、3%アジピン酸アンモニ
ウム水溶液を用い、約70℃で50V印加して陽極酸化
により酸化皮膜誘電体層を形成した。
Next, the 4 × 3 aluminum etched foil 1
The anode lead of 4 mm was attached, and a 4 × 6 mm portion of the aluminum-etched foil was subjected to anodic oxidation using a 3% aqueous solution of ammonium adipate at about 70 ° C. to form an oxide film dielectric layer.

【0072】ここで、この構成をコンデンサと見立て、
化成液中の容量を測定したところ、4.7μFであっ
た。
Here, this configuration is regarded as a capacitor,
When the volume in the chemical conversion solution was measured, it was 4.7 μF.

【0073】(比較例2)本比較例では、ポリピロール
微粒子を含まない以外、実施の形態4と同様にして10
個の固体電解コンデンサを作製した。
(Comparative Example 2) In this comparative example, 10 parts were prepared in the same manner as in Embodiment 4 except that no polypyrrole fine particles were contained.
Each solid electrolytic capacitor was manufactured.

【0074】このコンデンサの容量、損失係数、インピ
ーダンス、耐電圧及びポリピロール層の膜厚を前述の
(表1)に示す。
The capacity, loss coefficient, impedance, withstand voltage and film thickness of the polypyrrole layer of this capacitor are shown in Table 1 above.

【0075】(表1)における実施の形態4と比較例2
との比較から、アルミニウム電極箔を用いた場合でも、
ポリピロール微粒子を添加することにより、同一の重合
繰り返し回数で、厚いポリピロール層が形成され、それ
を反映して耐電圧が向上していることが明らかである。
Embodiment 4 and Comparative Example 2 in (Table 1)
From the comparison with, even when using aluminum electrode foil,
It is clear that by adding the polypyrrole fine particles, a thick polypyrrole layer was formed at the same number of polymerization repetitions, and the withstand voltage was improved reflecting the formation.

【0076】また、アルミニウム電極箔を用いた場合で
も、添加するポリチオフェン等の平均粒径を種々変化さ
せて、ポリピロール層の膜厚を変化させ、実施の形態1
と同様に耐電圧、損失係数及びインピーダンスを測定し
たところ、ポリピロール層の膜厚は、10μm以上20
μm以下であることが好適であるとの結論に至った。こ
こでも、この膜厚に対応した添加する微粒子の平均粒径
は0.3μm以上1μm以下であった。
Further, even when an aluminum electrode foil is used, the average particle size of polythiophene or the like to be added is changed variously to change the thickness of the polypyrrole layer.
When the withstand voltage, the loss coefficient and the impedance were measured in the same manner as described above, the thickness of the polypyrrole layer was 10 μm or more and
It has been concluded that it is preferable that the diameter is not more than μm. Again, the average particle size of the added fine particles corresponding to this film thickness was 0.3 μm or more and 1 μm or less.

【0077】(実施の形態5)本実施の形態では、実施
の形態4の構成において、酸化皮膜誘電体を形成するの
ではなく、電着により、ポリアミック酸を塗布後、約2
50℃で加熱硬化させ、厚さ0.1μmのポリイミド薄
膜からなるポリイミド誘電体層を形成した電極を用いた
以外、実施の形態4と実質的に同様の条件で、計10個
のコンデンサを作製した。
(Embodiment 5) In the present embodiment, instead of forming an oxide film dielectric in the structure of Embodiment 4, after applying polyamic acid by electrodeposition, about 2
A total of 10 capacitors were manufactured under substantially the same conditions as in Embodiment 4 except that an electrode formed by heating and curing at 50 ° C. and having a polyimide dielectric layer formed of a polyimide thin film having a thickness of 0.1 μm was used. did.

【0078】これらについて実施の形態4と同様の評価
を行い、その結果を前述の(表1)に示した。
These were evaluated in the same manner as in the fourth embodiment, and the results are shown in the above (Table 1).

【0079】(比較例3)本比較例では、ポリピロール
微粒子を含まない以外、実施の形態5と同様にして10
個のコンデンサを作製した。
(Comparative Example 3) In this comparative example, except that no polypyrrole fine particles were contained, the same procedure as in Embodiment 5 was repeated.
Each capacitor was manufactured.

【0080】このコンデンサの容量、損失係数、インピ
ーダンス、耐電圧及びポリピロール層の膜厚をを前述の
(表1)に示す。
The capacity, loss coefficient, impedance, withstand voltage and film thickness of the polypyrrole layer of this capacitor are shown in Table 1 above.

【0081】(表1)における実施の形態5との比較か
ら、ポリピロール微粒子を添加することにより、同一の
重合繰り返し回数で、厚いポリピロール層が形成され、
それを反映して耐電圧が向上していることが明らかであ
る。
From the comparison with Embodiment 5 in Table 1, by adding the polypyrrole fine particles, a thick polypyrrole layer was formed with the same number of polymerization repetitions.
It is clear that the withstand voltage has been improved to reflect this.

【0082】また、このように誘電体にポリイミドを用
いたフィルムコンデンサでも、添加するポリピロールの
平均粒径を種々変化させて、ポリピロール層の膜厚を変
化させ、実施の形態1と同様に耐電圧、損失係数及びイ
ンピーダンスを測定したところ、ポリピロール層の膜厚
は、10μm以上20μm以下であることが好適である
との結論に至った。ここでも、この膜厚に対応した添加
する微粒子の平均粒径は0.3μm以上1μm以下であ
った。
Also in the film capacitor using polyimide as the dielectric as described above, the average particle size of the polypyrrole to be added is changed variously to change the film thickness of the polypyrrole layer. , Loss coefficient and impedance were measured, and it was concluded that the thickness of the polypyrrole layer was preferably from 10 μm to 20 μm. Again, the average particle size of the added fine particles corresponding to this film thickness was 0.3 μm or more and 1 μm or less.

【0083】なお、ここで作製されたコンデンサは、電
解コンデンサで見られた極性を示さず、無極性コンデン
サとして使用することができる。
The capacitor manufactured here does not show the polarity seen in the electrolytic capacitor, and can be used as a non-polar capacitor.

【0084】また、ここでは、一方の電極のみ導電性高
分子層で形成したが、もう一方の電極にも導電性高分子
層を用いることもできる。
Further, here, only one electrode is formed of a conductive polymer layer, but a conductive polymer layer can also be used for the other electrode.

【0085】(実施の形態6)本実施の形態において
は、3、4ーエチレンジオキシチオフェン:エタノー
ル:n−ブチルアルコール=1:2:2(重量比)で含
む溶液にポリピロール微粒子(5重量%)を添加したモ
ノマー溶液とpートルエンスルホン酸第二鉄を50%含
むnーブタノール酸化剤溶液を用いた以外、実施の形態
1と同様にして10の固体電解コンデンサを作製し、実
施の形態1と同様の評価を行った。
(Embodiment 6) In this embodiment, polypyrrole fine particles (5 wt%) were added to a solution containing 3,4-ethylenedioxythiophene: ethanol: n-butyl alcohol = 1: 2: 2 (weight ratio). %) And an n-butanol oxidizing agent solution containing 50% of ferric p-toluenesulfonate was prepared in the same manner as in Embodiment 1 except that a monomer solution containing 50% of ferric p-toluenesulfonate was prepared. The same evaluation as in Example 1 was performed.

【0086】なお、10μmの膜厚のポリ(3、4ーエ
チレンジオキシチオフェン)形成に要する重合繰り返し
回数は11回であった。
The number of polymerization repetitions required to form a 10 μm-thick poly (3,4-ethylenedioxythiophene) was 11 times.

【0087】その結果を前述の(表1)に示す。 (比較例4)本比較例では、ポリピロール微粒子を含ま
ない以外、実施の形態6と同様にして10個のコンデン
サを作製した。
The results are shown in the above (Table 1). (Comparative Example 4) In this comparative example, ten capacitors were produced in the same manner as in Embodiment 6 except that polypyrrole fine particles were not included.

【0088】このコンデンサの容量、損失係数、インピ
ーダンス、耐電圧及びポリチオフェン層の膜厚を前述の
(表1)に示す。
The capacity, loss coefficient, impedance, withstand voltage and film thickness of the polythiophene layer of this capacitor are shown in the above-mentioned (Table 1).

【0089】(表1)における実施の形態6と比較例4
との比較から、ポリピロール微粒子を添加することによ
り、同一の重合繰り返し回数で、厚いポリチオフェン層
が形成され、それを反映して耐電圧が向上していること
が明らかである。
Embodiment 6 and Comparative Example 4 in Table 1
From the comparison with the above, it is clear that by adding the polypyrrole fine particles, a thick polythiophene layer is formed at the same number of polymerization repetitions, and the withstand voltage is improved reflecting the formation.

【0090】また、ここでポリピロール微粒子を添加し
ない系で、膜厚10μmのポリチオフェン層形成に必要
な重合繰り返し回数は、45回であり、ポリピロール微
粒子添加により、耐電圧向上に必要な膜厚の形成に必要
な重合回数を大幅に削減できることも明らかである。
In the system without adding the polypyrrole fine particles, the number of times of polymerization required for forming a 10 μm-thick polythiophene layer was 45 times. It is also evident that the number of polymerizations required for can be greatly reduced.

【0091】また、このように導電性高分子層がポリチ
オフェンである場合でも、添加するポリピロールの平均
粒径を種々変化させて、ポリチオフェン層の膜厚を変化
させ、実施の形態1と同様に耐電圧、損失係数及びイン
ピーダンスを測定したところ、ポリチオフェン層の膜厚
は、10μm以上20μm以下であることが好適である
との結論に至った。ここでも、この膜厚に対応した添加
する微粒子の平均粒径は0.3μm以上1μm以下であ
った。
Even when the conductive polymer layer is made of polythiophene, the average particle size of the polypyrrole to be added is changed variously to change the thickness of the polythiophene layer. When the voltage, the loss coefficient, and the impedance were measured, it was concluded that the thickness of the polythiophene layer was preferably 10 μm or more and 20 μm or less. Again, the average particle size of the added fine particles corresponding to this film thickness was 0.3 μm or more and 1 μm or less.

【0092】(実施の形態7)本実施の形態では、実施
の形態1において、ピロールモノマーに替えてアニリン
モノマーをまた硫酸第二鉄に替えて過硫酸アンモニウム
を0.4mol/lさらにまた酸化剤の貧溶媒としてア
セトンをそれぞれ用いた以外は、実施の形態1と同様に
して10個の固体電解コンデンサを完成させ、実施の形
態1と同様の評価を行い、その結果を前述の(表1)に
示した。
(Embodiment 7) In this embodiment, in Embodiment 1, an aniline monomer is used instead of a pyrrole monomer, and ammonium persulfate is replaced with 0.4 mol / l instead of ferric sulfate. Ten solid electrolytic capacitors were completed in the same manner as in Embodiment 1 except that acetone was used as the poor solvent, and the same evaluation as in Embodiment 1 was performed. The results were shown in Table 1 above. Indicated.

【0093】なお、膜厚10μmのポリアニリン層形成
のために必要な重合繰り返し回数は18回であった。
The number of times of polymerization required for forming a 10 μm-thick polyaniline layer was 18 times.

【0094】(比較例5)比較のため、ポリピロール微
粒子を含まない以外、実施の形態7と同様にして10個
のコンデンサを作製した。
Comparative Example 5 For comparison, ten capacitors were produced in the same manner as in Embodiment 7 except that polypyrrole fine particles were not included.

【0095】このコンデンサの容量、損失係数、インピ
ーダンス、耐電圧及びポリアニリン層の膜厚を前述の
(表1)に示す。
The capacitance, loss coefficient, impedance, withstand voltage and film thickness of the polyaniline layer of this capacitor are shown in Table 1 above.

【0096】(表1)における実施の形態6と比較例5
との比較から、ポリピロール微粒子を添加することによ
り、同一の重合繰り返し回数で、厚いポリアニリン層が
形成され、それを反映して耐電圧が向上していることが
明らかである。
Embodiment 6 and Comparative Example 5 in Table 1
It is clear from the comparison with that that by adding the polypyrrole fine particles, a thick polyaniline layer was formed at the same number of polymerization repetitions, and the withstand voltage was improved reflecting this.

【0097】また、ここでポリピロール微粒子を添加し
ない系で、膜厚10μmのポリアニリン層形成に必要な
重合繰り返し回数は、125回であり、ポリアニリンの
場合、特に膜厚が成長しにくく、ポリピロール微粒子添
加により、耐電圧向上に必要な膜厚の形成に必要な重合
回数を大幅に削減できることが明らかである。
In the system without adding polypyrrole fine particles, the number of times of polymerization required for forming a 10 μm-thick polyaniline layer is 125 times. In the case of polyaniline, the film thickness is particularly difficult to grow, Thus, it is apparent that the number of polymerizations required for forming a film thickness necessary for improving the withstand voltage can be significantly reduced.

【0098】また、このように導電性高分子層がポリア
ニリンである場合でも、添加するポリピロールの平均粒
径を種々変化させて、ポリアニリン層の膜厚を変化さ
せ、実施の形態1と同様に耐電圧、損失係数及びインピ
ーダンスを測定したところ、ポリアニリン層の膜厚は、
10μm以上20μm以下であることが好適であるとの
結論に至った。ここでも、この膜厚に対応した添加する
微粒子の平均粒径は0.3μm以上1μm以下であっ
た。
Even when the conductive polymer layer is made of polyaniline, the average particle size of the polypyrrole to be added is changed variously to change the thickness of the polyaniline layer. When the voltage, loss coefficient and impedance were measured, the thickness of the polyaniline layer was
It has been concluded that it is preferable that the thickness be 10 μm or more and 20 μm or less. Again, the average particle size of the added fine particles corresponding to this film thickness was 0.3 μm or more and 1 μm or less.

【0099】(実施の形態8)本実施の形態では、実施
の形態1において、ポリピロール微粒子をモノマー溶液
に添加する替わりに、架橋型ポリアクリル酸塩(和光純
薬製:ハイビスワコ−)0.1wt%を添加した以外、
実施の形態1と同様にして10個の固体電解コンデンサ
を完成させ、実施の形態1と同様の評価を行い、その結
果を前述の(表1)に示した。
(Embodiment 8) In this embodiment, instead of adding the polypyrrole fine particles to the monomer solution in Embodiment 1, 0.1% by weight of a cross-linked polyacrylic acid salt (manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd .: Hibiswaco) is used. % Except that
Ten solid electrolytic capacitors were completed in the same manner as in the first embodiment, and the same evaluation as in the first embodiment was performed. The results are shown in Table 1 above.

【0100】なお、膜厚10μmのポリピロール層形成
のために必要な重合繰り返し回数は12回であった。
The number of times of polymerization required for forming a 10 μm-thick polypyrrole layer was 12 times.

【0101】(実施の形態9)本実施の形態では、架橋
型ポリアクリル酸塩の濃度を0.3%に変化させた以
外、実施の形態8と同様にして10個のコンデンサを作
製し、実施の形態1と同様の評価を行い、その結果を前
述の(表1)に示した。
(Embodiment 9) In this embodiment, ten capacitors were manufactured in the same manner as in Embodiment 8, except that the concentration of the crosslinked polyacrylate was changed to 0.3%. The same evaluation as in the first embodiment was performed, and the results are shown in the above (Table 1).

【0102】(比較例6)比較のため、架橋型ポリアク
リル酸塩の濃度を0.5%に変化させた以外、実施の形
態8と同様にして10個のコンデンサを作製し、実施の
形態1と同様の評価を行い、その結果を前述の(表1)
に示した。
Comparative Example 6 For comparison, ten capacitors were manufactured in the same manner as in Embodiment 8 except that the concentration of the cross-linked polyacrylate was changed to 0.5%. The same evaluation as in Example 1 was performed, and the results were compared with those in Table 1 above.
It was shown to.

【0103】(表1)において、実施の形態8、実施の
形態9及び比較例6との比較すれば、まず、架橋型ポリ
アクリル酸塩添加により、膜厚の大きいポリポロール層
形成が少ない重合繰り返し回数で行われ、さらにそれを
反映して耐電圧の高いコンデンサが得られることが明ら
かになった。
In Table 1, when compared with Embodiments 8, 9 and Comparative Example 6, first, by adding a cross-linkable polyacrylate, the formation of a polyporol layer having a large film thickness is reduced and polymerization is repeated. It was clarified that a capacitor with high withstand voltage can be obtained by reflecting the change.

【0104】さらに、架橋型ポリアクリル酸塩が0.3
%添加された場合は、損失係数、インピーダンスともに
0.1%の場合と同等のしかも耐電圧の高いコンデンサ
が得られるが、0.5%の場合、損失係数及びインピー
ダンスの劣化が見られている。
Further, when the cross-linked polyacrylate is 0.3
%, A capacitor having a high withstand voltage equivalent to that of 0.1% in both loss coefficient and impedance can be obtained. However, in the case of 0.5%, deterioration of the loss coefficient and impedance is observed. .

【0105】即ち、ここにおいても、耐電圧を向上させ
るには、ポリピロール層の膜厚に一定値以上の厚さが必
要であり、さらに、実施の形態2とも比較すれば、損失
係数及びインピーダンスのバランスをも考えるのであれ
ば、ポリピロール層の膜厚に一定値以下の最適範囲が存
在すると考えられる。
That is, also in this case, in order to improve the withstand voltage, the thickness of the polypyrrole layer needs to be a certain value or more. Further, when compared with the second embodiment, the loss coefficient and the impedance From the viewpoint of balance, it is considered that there is an optimum range of the film thickness of the polypyrrole layer which is equal to or less than a certain value.

【0106】そこで、添加する架橋型ポリアクリル酸塩
の濃度を種々変化させて、ポリピロール層の膜厚を変化
させ、実施の形態1と同様に耐電圧、損失係数及びイン
ピーダンスを測定したところ、ポリピロール層の膜厚
は、10μm以上20μm以下であることが好適である
との結論に至った。ここで、この膜厚に対応した添加す
る架橋型ポリアクリル酸塩の濃度は、0.1wt%以上
0.3wt%以下であり、架橋型ポリアクリル酸塩は、
本質的には絶縁物であるから、この範囲を超えるとそれ
が複合化された層においては、損失係数及びインピーダ
ンスの一層の劣化が生じるものと考えられる。
Therefore, when the concentration of the added cross-linked polyacrylate was changed variously to change the thickness of the polypyrrole layer and the withstand voltage, loss coefficient and impedance were measured in the same manner as in Embodiment 1, polypyrrole was measured. It was concluded that the thickness of the layer is preferably from 10 μm to 20 μm. Here, the concentration of the added cross-linked polyacrylate corresponding to this film thickness is 0.1 wt% or more and 0.3 wt% or less.
Since it is essentially an insulator, exceeding this range is considered to cause further deterioration of the loss coefficient and the impedance in the layer in which it is compounded.

【0107】なお、以上の実施の形態1、2、4及び5
では、添加する導電性ポリマーの微粒子とその場で重合
形成する導電性高分子層とは、同一組成のものか得られ
るポリピロールの場合について述べたが、もちろん他の
組成のものから得られるものを用いてもかまわず、さら
にポリチオフェンやポリアニリン等を用いるものであっ
てもかまわない。
In the first, second, fourth and fifth embodiments,
In the above, the conductive polymer particles to be added and the conductive polymer layer polymerized and formed in situ are described in the case of polypyrrole obtained from the same composition or obtained.Of course, those obtained from other compositions are used. It may be used, and furthermore, polythiophene, polyaniline, or the like may be used.

【0108】また、実施の形態3、6及び7では、導電
性ポリマーの微粒子と導電性高分子層が異種の場合の特
定のものについて述べたが、ポリピロール、ポリチオフ
ェンやポリアニリン等の組合せであればかまわない。
In the third, sixth and seventh embodiments, the specific case where the fine particles of the conductive polymer and the conductive polymer layer are different from each other has been described. However, if the combination of polypyrrole, polythiophene and polyaniline is used. I don't care.

【0109】また、以上の実施の形態1から7では、添
加する導電性ポリマーの微粒子は、モノマー溶液に分散
させる場合について述べたが、酸化剤溶液に分散させて
もよく、また両者に分割して添加分散させても同様の効
果が得られるものである。
Further, in the above-described first to seventh embodiments, the case where the fine particles of the conductive polymer to be added are dispersed in the monomer solution has been described. However, the fine particles may be dispersed in the oxidizing agent solution or divided into two. The same effect can be obtained by adding and dispersing.

【0110】また、以上の実施の形態8と9では、架橋
型ポリアクリル酸塩を用いて説明したが、ポリアクリル
酸、そのアルカリ金属塩またはそのアンモニウム塩を共
存させた重合性モノマー溶液を用いれば同様の結果が得
られるものである。
Further, in Embodiments 8 and 9 described above, a cross-linked polyacrylic acid salt has been described. However, a polymerizable monomer solution in which polyacrylic acid, an alkali metal salt thereof, or an ammonium salt thereof coexists is used. A similar result can be obtained.

【0111】[0111]

【発明の効果】以上のように本発明は、特に、重合性モ
ノマーをその場で化学的酸化重合して得た導電性高分子
層を電解質または電極に用いるコンデンサにおいて、重
合性モノマーを予め重合して得た導電性高分子微粒子や
ポリアクリル酸またはその塩をその重合溶液に添加して
おくことにとにより、容易に膜厚10μm以上もの導電
性高分子層の形成を可能にし、耐電圧が高くかつ高周波
特性にも優れたポテンシャルをを有するコンデンサを実
現できるものである。
As described above, the present invention is particularly applicable to a capacitor in which a conductive polymer layer obtained by in situ chemical oxidative polymerization of a polymerizable monomer is used as an electrolyte or an electrode. By adding the conductive polymer fine particles or polyacrylic acid or a salt thereof obtained by the above to the polymerization solution, it is possible to easily form a conductive polymer layer having a film thickness of 10 μm or more. Thus, it is possible to realize a capacitor having a high potential and an excellent high-frequency characteristic.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の第1の実施の形態におけるコンデンサ
の構造断面図
FIG. 1 is a structural sectional view of a capacitor according to a first embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11 陽極リ−ド 12 陽極弁金属 13 誘電体皮膜 14 ポリマー微粒子 15 導電性高分子層 16 カーボンペイント膜 17 銀ペイント膜 18 陰極リード 19 固体電解質の最も薄い部分の膜厚 DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 Anode lead 12 Anode valve metal 13 Dielectric film 14 Polymer fine particles 15 Conductive polymer layer 16 Carbon paint film 17 Silver paint film 18 Cathode lead 19 Thickness of thinnest part of solid electrolyte

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 工藤 康夫 神奈川県川崎市多摩区東三田3丁目10番1 号 松下技研株式会社内 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuing on the front page (72) Inventor Yasuo Kudo 3-10-1 Higashi-Mita, Tama-ku, Kawasaki City, Kanagawa Prefecture Matsushita Giken Co., Ltd.

Claims (17)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 対向して設けられた一対の電極と、前記
電極間に設けられた誘電体層とを備え、前記電極の少な
くとも一方が重合性モノマーを重合して得られた導電性
高分子層を有し、前記導電性高分子層は、その重合前に
予め導電性ポリマー微粒子または架橋型ポリアクリル酸
若しくはその塩を添加されることによりその厚さが増加
されたコンデンサ。
1. A conductive polymer, comprising: a pair of electrodes provided to face each other; and a dielectric layer provided between the electrodes, wherein at least one of the electrodes is obtained by polymerizing a polymerizable monomer. A capacitor having a layer, wherein the thickness of the conductive polymer layer is increased by adding conductive polymer fine particles or cross-linked polyacrylic acid or a salt thereof before polymerization.
【請求項2】 導電性高分子層の厚さが10μm以上で
ある請求項1記載のコンデンサ。
2. The capacitor according to claim 1, wherein the thickness of the conductive polymer layer is 10 μm or more.
【請求項3】 導電性高分子層の導電性高分子が、ポリ
ピロール、ポリチオフェン、またはポリアニリンである
請求項1または2記載のコンデンサ。
3. The capacitor according to claim 1, wherein the conductive polymer of the conductive polymer layer is polypyrrole, polythiophene, or polyaniline.
【請求項4】 導電性ポリマー微粒子の導電性ポリマー
が、ポリピロール、ポリチオフェン、またはポリアニリ
ンである請求項1または2記載のコンデンサ。
4. The capacitor according to claim 1, wherein the conductive polymer of the conductive polymer fine particles is polypyrrole, polythiophene, or polyaniline.
【請求項5】 導電性高分子層の導電性高分子と導電性
ポリマー微粒子の導電性ポリマーが、同一種類である請
求項3または4記載のコンデンサ。
5. The capacitor according to claim 3, wherein the conductive polymer of the conductive polymer layer and the conductive polymer of the conductive polymer fine particles are of the same type.
【請求項6】 誘電体層が弁金属の酸化物皮膜である請
求項1から5のいずれかに記載のコンデンサ。
6. The capacitor according to claim 1, wherein the dielectric layer is an oxide film of a valve metal.
【請求項7】 弁金属がタンタルまたはアルミニウムで
ある請求項6記載のコンデンサ。
7. The capacitor according to claim 6, wherein the valve metal is tantalum or aluminum.
【請求項8】 誘電体層が高分子層である請求項1から
5のいずれかに記載のコンデンサ。
8. The capacitor according to claim 1, wherein the dielectric layer is a polymer layer.
【請求項9】 高分子層の高分子がポリイミドである請
求項8記載のコンデンサ。
9. The capacitor according to claim 8, wherein the polymer of the polymer layer is polyimide.
【請求項10】 対向した一対の電極を配置する工程
と、前記電極間に誘電体皮膜を配置する工程と、前記電
極の少なくとも一方に導電性高分子層を形成する工程と
を備え、前記導電性高分子層を形成する工程は、導電性
ポリマー微粒子または架橋型ポリアクリル酸若しくはそ
の塩を添加する行程を含むコンデンサの製造方法。
10. The method according to claim 1, further comprising: arranging a pair of electrodes facing each other, arranging a dielectric film between the electrodes, and forming a conductive polymer layer on at least one of the electrodes. The method for producing a capacitor, wherein the step of forming the conductive polymer layer includes a step of adding conductive polymer fine particles or cross-linked polyacrylic acid or a salt thereof.
【請求項11】 導電性高分子の形成工程が、重合性モ
ノマー溶液と酸化剤溶液とを用いた化学的酸化重合工程
である請求項10記載のコンデンサの製造方法。
11. The method for manufacturing a capacitor according to claim 10, wherein the step of forming the conductive polymer is a chemical oxidative polymerization step using a polymerizable monomer solution and an oxidizing agent solution.
【請求項12】 導電性ポリマー微粒子を、重合性モノ
マー溶液または酸化剤溶液の少なくともいずれか一方に
含ませる請求項10または11のいずれかに記載のコン
デンサの製造方法。
12. The method according to claim 10, wherein the conductive polymer fine particles are contained in at least one of a polymerizable monomer solution and an oxidizing agent solution.
【請求項13】 さらに、重合性モノマーを重合するこ
とにより導電性ポリマー微粒子を用意する工程を有する
請求項12記載のコンデンサの製造方法。
13. The method for manufacturing a capacitor according to claim 12, further comprising a step of preparing conductive polymer fine particles by polymerizing a polymerizable monomer.
【請求項14】 重合性モノマーが、ピロ−ル、チオフ
ェン、アニリンまたはこれらの誘導体から選ばれる少な
くとも一種である請求項13記載のコンデンサの製造方
法。
14. The method according to claim 13, wherein the polymerizable monomer is at least one selected from pyrrole, thiophene, aniline and derivatives thereof.
【請求項15】 ポリアクリル酸、そのアルカリ金属塩
またはそのアンモニウム塩を共存させた重合性モノマー
溶液を用いる請求項11記載のコンデンサの製造方法。
15. The method for producing a capacitor according to claim 11, wherein a polymerizable monomer solution in which polyacrylic acid, an alkali metal salt thereof, or an ammonium salt thereof coexists.
【請求項16】 重合性モノマー溶液の重合性モノマー
が、ピロ−ル、チオフェン、アニリンまたはこれらの誘
導体から選ばれる少なくとも一種である請求項11から
15のいずれかに記載のコンデンサの製造方法。
16. The method for producing a capacitor according to claim 11, wherein the polymerizable monomer in the polymerizable monomer solution is at least one selected from pyrrole, thiophene, aniline, and derivatives thereof.
【請求項17】 酸化剤溶液は、遷移金属イオンを含む
化合物、または過硫酸若しくはその塩を含む請求項10
から16のいずれかに記載のコンデンサの製造方法。
17. The oxidizing agent solution contains a compound containing a transition metal ion, or persulfuric acid or a salt thereof.
17. The method for manufacturing a capacitor according to any one of items 1 to 16.
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