JPH1167874A - 軌道移載設備 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 クリーンルーム内のレイアウト変更に即座に
対応でき、かつ、設置が簡易な軌道を備えた軌道移載設
備を提供する。 【解決手段】 被移載物３１を移載する移載ロボット１
３、前記移載ロボット１３を積載する移動台車１４、及
び前記移動台車１４が移動する軌道２０よりなり、被移
載物３１を所定の位置に移載するようにした軌道移載設
備１０において、前記軌道２０を敷設する床２１に所定
間隔をおいて通常設けられている複数の貫通孔２１ａの
うちのいずれかを利用し、固定具を用いて前記貫通孔２
１ａにより、前記軌道２０を固定するように構成した。
この場合、上記移載ロボット１３に視覚補正装置を取り
付けるようにすると、被移載物３１を把持し移載する場
合における移載ロボット１３の位置精度及び移載ロボッ
ト１３のアーム１１の姿勢精度を向上させることがで
き、移載性能を維持することができる。具体的な適用用
途としては、上記被移載物を半導体ウェーハカセット３
１とし、上記軌道２０を半導体ウェーハ製造用のクリー
ンルームに敷設するようにするとよい。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、半導体ウ
ェーハを製造する設備を配置したクリーンルームにおけ
る軌道移載設備に係り、特に移載ロボットが移動する軌
道の改良に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば、半導体ウェーハを製造する設備
を配置したクリーンルームにおいては、ウェーハを収納
したウェーハカセットを所定の位置に自動的に移載する
のにウェーハカセット移載ロボットを用いる軌道移載設
備が従来より実用に供されている。この従来の軌道移載
設備を図３（Ａ）、（Ｂ）を用いて説明する。図３
（Ａ）は、従来の軌道移載設備４０の概略構成を示す斜
視図で、同図（Ｂ）は、当該軌道移載設備４０に用いる
軌道３０の構成を示す縦断側面図である。

【０００３】図３（Ａ）において、３１はウェーハを収
納したウェーハカセットで、３２は移載ロボットである
トラックロボット、３３はウェーハカセット３１を把持
するトラックロボット３２のアーム、３４はトラックロ
ボット３２を載置し軌道３０上を移動する移動台車、３
６はクリーンルームの床で、図３（Ｂ）に示すように、
通常設けられる孔３６ａとは別に床下に敷設された軌道
３０の軌跡に合わせて、移動台車３４の車輪３４ａが移
動するのに支障がないように床３６には、所定の長さの
溝３８が形成されている。また、図３（Ｂ）に示すよう
に、クリーンルームの床３６の下方では、土台ＧＲの上
にレール土台３９が取り付けられ、レール土台３９上に
断面形状に凹部３５ａを有するレール３５が設置されて
いる。レール３５とレール土台３９とで軌道３０が構成
される。上記移動台車３４の車輪３４ａは、レール３５
の凹部３５ａに沿って移動する。なお、ＴＬはウェーハ
カセット３１を置くためのテーブルである。

【０００４】この構成において、所望のウェーハカセッ
ト３１を所定の場所に移載する場合、図３（Ａ）に示す
ように、先ず、位置Ｐの所望のウェーハカセット３１の
前で移動台車３４が予め制御装置（図示せず）等に記憶
されていた位置に停止し、トラックロボット３２のアー
ム３３で当該ウェーハカセット３１を把持し、移動台車
３４上に積載する。次に、移動台車３４が予め制御装置
等に記憶されていた位置に移動停止し、所定の位置Ｑに
ウェーハカセット３１を再びアーム３３で載せることに
より、ウェーハカセット３１を位置Ｐから位置Ｑへの移
載を行うようにしている。なお、この際、軌道３０は、
半導体ウェーハの製造装置（図示せず）やウェーハカセ
ット３１等の位置に合わせて設計され、上述のように土
台ＧＲの上にレール土台３９を設け、レール３５を敷設
する構成となっており、また、アーム３３の腕の長さが
短いために、移動台車３４の停止位置精度や、アーム３
３のウェーハカセット３１を把持する姿勢精度を厳密な
ものとすることができる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところで、ウェーハカ
セットの移載作業はクリーンルーム内の汚染防止や省力
化等のために自動化されているが、移載ロボットの把持
精度や移載精度を一定の水準に保つために、軌道移載設
備に用いられる軌道は、上述のように製造装置等の位置
に合わせて設計される。また、軌道を設ける場合も、床
下にコンクリート土台を作り、その上にレールを敷設
し、その軌道に沿って床に通常設けられる孔とは別に、
軌道台車の車輪が移動するための溝を形成する構造とな
っている。しかし、クリーンルーム内では半導体ウェー
ハの製造工程の変更に合わせてレイアウトの変更がしば
しば行われるために、上記従来の軌道の敷設方式では、
このようなレイアウト変更への対応が困難であり、レイ
アウト変更のためのコストも増大するという問題があ
る。

【０００６】一方、例えば、特願平９−１５９３３０に
開示されているように、産業用ロボットの視覚補正装置
による移載ロボットの停止位置及び移載ロボットのアー
ムの姿勢の補正精度が向上したために、軌道自体を敷設
する際の位置精度の厳密性が、従来のものよりは要求さ
れなくなってきている。本発明は、上記課題（問題点）
を解決し、クリーンルーム内のレイアウト変更に即座に
対応でき、かつ、設置が簡易な軌道を備えた軌道移載設
備を提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明の軌道移載設備で
は、上記課題を解決するために、請求項１に記載のもの
では、被移載物を移載する移載ロボット、前記移載ロボ
ットを積載する移動台車、及び前記移動台車が移動する
軌道よりなり、被移載物を所定の位置に移載するように
した軌道移載設備において、前記軌道を敷設する床に、
所定間隔をおいて設けられている複数の貫通孔のうちの
いずれかを利用して固定具を用いて、前記軌道を床に固
定するように構成した。これにより、軌道を貫通孔に固
定するだけで簡易に軌道が敷設でき、またレイアウト変
更に簡易に対応できるので、軌道移載設備の設備コスト
及びレイアウト変更コストを低減することが可能とな
る。

【０００８】請求項２に記載の軌道移載設備では、上記
移載ロボットに対し、視覚補正装置を取り付け、上記移
動台車の停止位置及び／又は上記移載ロボットのアーム
の姿勢を補正するように構成した。このようにすること
により、被移載物を把持し移載する場合における移載ロ
ボットの位置精度及び移載ロボットのアームの姿勢精度
を向上させることができる。即ち、厳密な位置精度が要
求できない簡易軌道を敷設した場合でも移載ロボットの
停止位置精度や、移載ロボットのアームの姿勢の精密な
補正が可能となるため、簡易軌道を備えた軌道移載設備
でも、従来の軌道移載設備と同様の移載性能を維持する
ことができる。

【０００９】本発明の軌道移載設備の具体的な適用用途
としては、請求項３に記載したように、上記被移載物を
半導体ウェーハカセットとし、半導体ウェーハ製造用の
クリーンルームの床に設けられている貫通孔を利用し
て、上記軌道をクリーンルームに敷設するようにすると
よい。

【００１０】

【発明の実施の形態】本発明の軌道移載設備の一実施の
形態を図１及び図２（Ａ）、（Ｂ）を用いて説明する。
図１は、本発明の軌道移載設備１０の一実施の形態を示
す斜視図、図２（Ａ）は、本発明の軌道移載設備に用い
る軌道の縦断側面図、同図（Ｂ）は、本実施の形態で適
用するクリーンルームの床の斜視図である。なお、図１
と図２（Ａ）、（Ｂ）において、図３（Ａ）、（Ｂ）に
示す従来の軌道移載設備と同一の構成については、図３
（Ａ）、（Ｂ）と同一の符号を付し、説明を省略する。

【００１１】図１において、１３は移載ロボットである
トラックロボットで、１１はウェーハカセット３１を把
持するトラックロボット１３のアーム、１４はトラック
ロボット１３を積載し軌道２０上を移動する移動台車、
２１はクリーンルームの床で、図２（Ｂ）に示すよう
に、床２１では、所定の間隔をおいて設けられる通常の
貫通孔２１ａを利用して、次のように軌道２０を固定す
るようにしている。即ち、図２（Ｂ）に示すように、ク
リーンルームの床２１の貫通孔２１ａに対して、１個又
は複数個の固定具２２を装着してレール２３を床２１に
固定支持するものである。また、このレール２３と固定
具２２とで軌道２０が構成される。なお、本発明の軌道
移載設備１０における移動台車１４の車輪１４ａは、レ
ール２３の凹部２３ａに沿って移動する。また、１２
は、アーム１１でテーブルＴＬ上の所望のウェーハカセ
ット３１を把持する際に、トラックロボット１３の停止
位置及びアーム１１の姿勢を補正するための視覚補正装
置（図示せず）に用いられるＣＣＤカメラである。

【００１２】この構成において、位置Ｐの所望のウェー
ハカセット３１を所定の位置Ｑに移載する場合、図３
（Ａ）に示す従来の軌道移載設備３０と同様に、先ず、
位置Ｐの所望のウェーハカセット３１の前でトラックロ
ボット１３を積載した移動台車１４が予め制御装置（図
示せず）等に記憶されていた停止位置に停止し、トラッ
クロボット１３のアーム１１で当該ウェーハカセット３
１を把持し、移動台車１４上に積載する。次に、ウェー
ハカセット３１を所定の位置Ｑに移載する場合は、移動
台車１４が予め制御装置等に記憶されていた停止位置に
移動し、当該位置Ｑにウェーハカセット３１をアーム１
１で載せるようにしている。

【００１３】ところで、本発明の軌道移載設備１０で
は、軌道２０の固定は、床２１に通常設けられている貫
通孔２１ａを利用するため容易に行えるが、その固定位
置は、貫通孔２１ａの位置に依存することになるので、
移動台車１４の停止位置、或いはトラックロボット１３
の姿勢に偏差が生じてウェーハカセット３１の移載に支
障がある場合がある。そこで、ＣＣＤカメラ１２で移載
対象である当該カセット３１を撮像し、その撮像データ
に基づいてトラックロボット１３を積載した移動台車１
４の位置及びアーム１１の姿勢を補正することにより、
ウェーハカセット３１の移載精度を所定のものとするこ
とができる。また、本実施の形態で示すトラックロボッ
ト１３では、ウェーハカセット３１を撮像し易くするた
めにＣＣＤカメラ１２は、アーム１１の先端部に取り付
けられ、トラックロボット１３の停止位置の誤差や、ア
ーム１１の姿勢偏差の補正が容易となるように、図１に
示すようにアーム１１は従来のものより腕が長く、しか
もトラックロボット１３の頭部に取り付けられている。

【００１４】本発明の軌道移載設備は上記実施の形態に
限定されない。例えば、視覚補正装置の種類やカメラの
取り付け位置、及び軌道を固定する床の貫通孔の配列や
形状については、上記実施の形態で示したものには限定
されず、種々の改変が可能である。

【００１５】

【発明の効果】本発明の軌道移載設備は、上述のように
構成したために以下のような優れた効果を有する。 （１）請求項１に記載の軌道移載設備のように、軌道を
敷設する床に所定間隔をおいて設けられる複数の貫通孔
を利用し、固定具を用いて前記軌道を床に固定するよう
にすると、軌道を貫通孔に固定するだけで簡易に軌道が
敷設でき、またレイアウト変更に簡易に対応できるの
で、軌道移載設備の設備コスト及びレイアウト変更コス
トを低減することが可能となる。 （２）請求項２に記載の軌道移載設備のように、移載ロ
ボットに視覚補正装置を取り付けるようにすると、被移
載物を把持し移載する場合における移載ロボットの位置
精度及び移載ロボットのアームの姿勢精度を向上させる
ことができ、従来の軌道移載設備と同様の移載性能を維
持することができる。 （３）請求項３に記載の軌道移載設備のように、本発明
の適用用途を、被移載物を半導体ウェーハカセットと
し、軌道を半導体ウェーハ製造用のクリーンルームに敷
設するようにすると、クリーンルームの床に通常設けら
れる貫通孔を利用して、簡易に軌道が敷設でき、またレ
イアウト変更に簡易に対応できるので、軌道移載設備の
設備コスト及びレイアウト変更コストを低減することが
可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の軌道移載設備の一実施の形態を示す斜
視図である。

【図２】本発明の軌道移載設備の一実施の形態を示す図
で、同図（Ａ）は、軌道の縦断側面図、同図（Ｂ）は床
の斜視図である。

【図３】従来の軌道移載設備の構成を示すもので、同図
（Ａ）は斜視図、同図（Ｂ）は軌道の縦断側面図であ
る。

【符号の説明】

１０：本発明の軌道移載設備 １２：ＣＣＤカメラ １３：トラックロボット １４：移動台車 ２０：軌道 ２１：床 ２１ａ：貫通孔

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被移載物を移載する移載ロボット、前記
   移載ロボットを積載する移動台車、及び前記移動台車が
   移動する軌道よりなり、被移載物を所定の位置に移載す
   るようにした軌道移載設備において、 前記軌道を敷設する床に、所定間隔をおいて設けられて
   いる複数の貫通孔のうちのいずれかを利用して固定具を
   用いて、前記軌道を床に固定するようにしたことを特徴
   とする軌道移載設備。
2. 【請求項２】 上記移載ロボットに対し、視覚補正装置
   を取り付け、上記移動台車の停止位置及び／又は上記移
   載ロボットのアームの姿勢を補正するようにしたことを
   特徴とする請求項１に記載の軌道移載設備。
3. 【請求項３】 上記被移載物を半導体ウェーハカセット
   とし、半導体ウェーハ製造用のクリーンルームの床に設
   けられている貫通孔を利用して、上記軌道を前記クリー
   ンルームに敷設したことを特徴とする請求項１又は２に
   記載の軌道移載設備。