JPH117121A - 表面保護フィルム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 フォトレジストが付着せず、かつ、離型剤が
レジストに転写しない表面保護フィルムを得る。 【解決手段】 透明支持体２上の一方の面にレジスト付
着防止層１を設け、反対面に粘着層３を設けた表面保護
フィルム４であって、前記レジスト付着防止層１はシロ
キサン結合を有する有機化合物から誘導される単位もし
くはフッ素原子含有単量体から誘導される単位を枝成分
に有するグラフトポリマーを含有する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、プリント基板用原
稿、印刷物などに用いる表面保護フィルムに関し、特に
プリント基板作製工程などにおいて粘着性を有するフォ
トレジストを露光する際の原稿表面に好適に用いられる
表面保護フィルムに関する。

【０００２】

【従来の技術】通常、プリント配線板や樹脂凸版は、液
状フォトレジストなどの粘着性のあるフォトレジストに
露光用原稿を密着露光して作製される。かかるに露光用
原稿は、フォトレジストに密着して使用されるので、そ
の表面に何らの処理も施さないと、露光終了後の原稿を
剥がす際にフォトレジストの一部が原稿表面に転写さ
れ、汚れを生じてしまう。このような事情から、従来よ
り露光用原稿上のフォトレジストに対向する面に、表面
にレジスト付着防止層を有する表面保護フィルムを設け
るようにしている。このようなフォトマスク用表面保護
フィルムとしては、ポリエステル基材の片面に粘着層
が、他面にレジスト付着防止層が設けられている。

【０００３】このようなレジスト付着防止層は、樹脂及
び離型性付与剤（以下、離型剤という）の混合物から構
成されており、この離型剤としては低分子量のシリコー
ン系添加剤が一般に用いられている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかし、このような離
型剤は、離型性は得られるものの、離型剤がレジスト側
に転写し、後工程で種々の問題が生ずる。このような問
題としては、プリフラックスを塗布する際にプリフラッ
クスがはじいてしまう、文字印刷時にインキをはじいて
しまう等があげられる。このため、転写した離型剤を除
去するなどの工程が別に必要とされる。

【０００５】本発明は、上記の欠点を解消するためにな
されたものであって、粘着性のフォトレジストが付着せ
ず、かつ、離型剤がレジストに転写しない表面保護フィ
ルムを提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記目的を解決する本発
明の表面保護フィルムとしては、透明支持体上の一方の
面にレジスト付着防止層を設け、反対面に粘着層を設け
た表面保護フィルムであって、前記レジスト付着防止層
はシロキサン結合を有する有機化合物から誘導される単
位もしくはフッ素原子含有単量体から誘導される単位を
枝成分に有するグラフトポリマーを含有するものであ
る。

【０００７】

【発明の実施の形態】以下、本発明を図１を用いて詳述
する。

【０００８】表面保護フィルム４の透明支持体２として
は、露光の際に使われる紫外線の透過率の高い物で有れ
ば良く、ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネー
ト、ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリ塩化ビニル、
ポリエチレンナフタレート、ポリスチレン等の透明なプ
ラスチックフィルムが用いられる。特に二軸延伸された
ポリエチレンテレフタレートフィルムが強度、耐熱性、
寸法安定性に優れているために好適に使用される。透明
支持体の厚みは、解像度に影響するため薄い方が好まし
いが、取扱性も考慮して、１〜１００μｍ、好ましくは
２〜２５μｍ、さらに好ましくは４〜１２μｍ程度であ
る。

【０００９】透明支持体の片面に設けられる粘着層３
は、一般に使用されるアクリル系粘着剤、ゴム系粘着剤
などが使用される。また、帯電防止などの性能を持つ粘
着剤を使用しても良い。粘着層の厚みとしては、透明性
（解像度）を阻害せず、適度な粘着性が得られるよう、
０．５〜２０μｍ、好ましくは１〜１０μｍ、さらに好
ましくは２〜４μｍの範囲が採用される。

【００１０】表面保護フィルムの他面に形成されるレジ
スト付着防止層１は、シロキサン結合を有する有機化合
物から誘導される単位もしくはフッ素原子含有単量体か
ら誘導される単位を枝成分に有するグラフトポリマーを
含有するものである。前記グラフトポリマーは単独で使
用することも可能であるが、通常は透明支持体への接着
性などを考慮して前記グラフトポリマーを離型剤として
他のバインダーポリマーに混合して使用する。

【００１１】シロキサン結合を有する有機化合物から誘
導される単位もしくはフッ素原子含有単量体から誘導さ
れる単位を枝成分に有するグラフトポリマーとしては、
シリコーンマクロモノマーもしくはパーフルオロアルキ
ルマクロモノマーなどと、アクリル系、ウレタン系、ポ
リエステル系モノマーなどとの共重合により合成され
た、幹部分が各樹脂系ポリマーで、枝部分にシロキサン
結合またはフッ素原子を含有する櫛形グラフトポリマー
が好適に使用される。このような離型剤を使用すること
で、プリフラックスやインキなどのハジキを起こすこと
なく、レジスト等の付着を極めて有効に防止できるもの
である。

【００１２】レジスト付着防止層に使用されるバインダ
ーポリマーとしては、ウレタン系樹脂、アクリル系樹
脂、塩化ビニル系樹脂、アルキッド樹脂、ポリエステル
樹脂、塩化ビニリデン系樹脂、アミノ系樹脂、メラミン
系樹脂等があげられ、これらは単独あるいは混合して用
いられる。

【００１３】前記グラフトポリマーを前記バインダーポ
リマーに混合して使用する場合の混合割合としては、バ
インダーポリマーとグラフトポリマーの種類により一概
にはいえないが、前記バインダーポリマー１００重量部
に対して前記グラフトポリマーを１〜１００重量部、好
ましくは２〜３０重量部の範囲で使用される。

【００１４】なお、レジスト付着防止層には真空プリン
ターでレジスト付着防止層をフォトレジストに密着させ
露光する際の密着性を良好にするため、透明性及び光を
乱反射させない範囲で顔料などを添加しても良い。

【００１５】レジスト付着防止層の厚みとしては、透明
性（解像度）を維持しつつ、必要とされる離型性を得る
ため、０．０５〜５μｍ、好ましくは０．１〜２μｍの
範囲が採用される。

【００１６】

【実施例】以下、本発明の実施例を説明する。なお、本
実施例の「％」、「部」とあるのは特に断りのない限り
重量基準である。

【００１７】［実施例１］厚さ６μｍのポリエチレンテ
レフタレートフィルム（ルミラー：東レ社）の片面に下
記レジスト付着防止層用塗布液を、反対面に下記粘着層
用塗布液をバーコーターにより塗布、９０℃・２分の乾
燥を行い塗膜を形成した。これらの膜厚は、レジスト付
着防止層約１μｍ、粘着層約２μｍであり、粘着層に取
扱上のため、厚さ２５μｍのポリエチレンテレフタレー
ト離型フィルム（ＭＲＢ：ダイアホイルヘキスト社）を
貼り合わせて表面保護フィルムを作製した。

【００１８】 ・シリコーン−アクリルグラフトポリマー （LSI-60：綜研化学社）（固形分４５％） ０．５部 ・トルエン ２０部 ・メチルエチルケトン ２０部

【００１９】〈粘着層用塗布液〉 ・アクリル酸エステル共重合体（固形分４０％） （アロンタック SCL-200：東亞合成化学社） １０部 ・トルエン １０部 ・酢酸エチル １０部

【００２０】［実施例２］実施例１のレジスト付着防止
層用塗布液中「シリコーン−アクリルグラフトポリマー
０．５部」を「フッ素−アクリルグラフトポリマー
（ＧＦ−３００（固形分２５％）：東亞合成化学社）
１．０部」に変更した以外は、実施例１と同様にして表
面保護フィルムを作製した。

【００２１】［比較例１］実施例１のレジスト付着防止
層用塗布液中「シリコーン−アクリルグラフトポリマー
０．５部」を「シリコーン添加剤（ペインタッド５３
（固形分１０％）：ダウコーニング社） ２．０部」に
変更した以外は実施例１と同様にして表面保護フィルム
を作製した。

【００２２】［比較例２］実施例１の表面保護フィルム
のレジスト付着防止層を設けないものを表面保護フィル
ムとして作製した。

【００２３】実施例、比較例で得られた表面保護フィル
ムについて以下の評価試験を行った。

【００２４】Ａ．プラスチックフィルムへの離型剤の転
写性（転写１） 表面保護フィルムのレジスト付着防止層面と未処理のポ
リエチレンテレフタレートフィルム（ＰＥＴフィルム）
を重ね合わせ、これに４０g/cm²の荷重をかけ、１２０
℃の状態で１時間静置した後、ＰＥＴフィルム側にマジ
ックで画線を引きそのハジキ具合を目視により評価し、
離型剤のプラスチックフィルムへの転写の有無を確認し
た。マジック画線にハジキがなかったものを「○」、ハ
ジキを生じたものを「×」とした。

【００２５】Ｂ．レジストへの離型剤の転写性（転写
２） 回路パターンのない原稿に表面保護フィルムを貼り合わ
せ、ソルダーレジストの塗布された銅板の前記レジスト
と、前記表面保護フィルムのレジスト付着防止層が対向
するように密着して露光し、銅板上のレジストを全面硬
化させた。その後、表面保護フィルムを貼り合わせた原
稿を剥がし、硬化したレジストにマジックで画線を引
き、目視にてそのハジキ具合を観察し、離型剤のレジス
トへの転写の有無を確認した。マジック画線にハジキが
なかったものを「○」、ハジキを生じたものを「×」と
した。

【００２６】Ｃ．表面保護フィルムへのレジスト付着防
止性（剥離性） レジスト付着防止層の離型効果を確認するため、粘着テ
ープをレジスト付着防止層に貼り合わせ、その剥離力を
テンシロンによって測定した。剥離力が１g/inch〜１２
０g/inchであったものを「○」、１２０g/inch以上であ
ったものを「×」とした。

【００２７】Ｄ．表面保護フィルムの全光線透過率（透
過率） 表面保護フィルムの光学的透明性を評価するため、表面
保護フィルムの全光線透過率をＪＩＳ−Ｋ７１０５に準
じて測定した。単位は「％」で示される。

【００２８】Ｅ．表面保護フィルムのヘーズ（ヘーズ） 表面保護フィルムの曇りを評価するために、表面保護フ
ィルムのヘーズをＪＩＳ−Ｋ７１０５に準じて測定し
た。単位は「％」で示される。

【００２９】これらの評価結果を表１に示す。

【００３０】

【表１】

【００３１】以上の結果から明らかなように、実施例
１、２の表面保護フィルムは離型剤の転写が全く認めら
れなかった。一方、比較例１のものは離型剤の転写が認
められた。また、比較例２のものはレジスト付着防止層
が無いため転写するものはないが、剥離性が悪く、レジ
スト付着防止効果を得ることはできなかった。

【００３２】これらのことから、実施例１、２の表面保
護フィルムは、離型剤の転写を抑えると共にレジストの
付着を防止することが可能なものである。

【００３３】さらに、実施例１、２のものは、比較例
１、２のものと比較して全光線透過率、ヘーズ共に同レ
ベルであり、十分な透明性が確保されていることが分か
る。

【００３４】

【発明の効果】本発明の表面保護フィルムは、レジスト
付着防止層における離型剤にシロキサン結合を有する有
機化合物から誘導される単位もしくはフッ素原子含有単
量体から誘導される単位を枝成分に有するグラフトポリ
マーを用いることによって、レジストなどの原稿への転
写を防止できるとともに、表面保護フィルムからレジス
トなどへの離型剤の転写を抑えることが可能になった。
これによって、プリント配線板作製時において、露光後
レジスト側に転写した離型剤を除去する等の煩雑な工程
が省略でき作業効率が向上する。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の表面保護フィルムの実施例を示す断
面図。

【符号の説明】

１・・・レジスト付着防止層 ２・・・透明支持体 ３・・・粘着層 ４・・・表面保護フィルム

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】透明支持体上の一方の面にレジスト付着防
   止層を設け、反対面に粘着層を設けた表面保護フィルム
   であって、前記レジスト付着防止層はシロキサン結合を
   有する有機化合物から誘導される単位もしくはフッ素原
   子含有単量体から誘導される単位を枝成分に有するグラ
   フトポリマーを含有することを特徴とする表面保護フィ
   ルム。