JPH1179542A - フィルム剥離方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 フィルム剥離装置の装置面積を小さくすると
共に、フィルム剥離に要する時間を短縮する。 【解決手段】 フィルム剥離装置１０を、基板搬入側か
ら搬出側に、下側及び上側フィルム剥離領域１２、１４
と基板搬出領域１６から構成し、下側フィルム剥離領域
１２においては搬入された基板２２を上側吸着盤３６に
よって吸着した状態で下側フィルム２０を下側引張剥離
装置５４により引張って剥離させ、剥離後の基板２２
は、上側吸着盤３６によって上側フィルム剥離領域１４
に搬送し、ここで下側吸着盤４２に受け渡し、下側吸着
盤４２に吸着した状態で、上側フィルム１８を上側引張
剥離装置６０によって引張って剥離し、基板２２を基板
搬出領域１６に搬送し、生じたスペースを通して剥離し
た上側フィルム１８を落下排出させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、プリント配線盤
用基板、液晶表示パネル用基板、プラズマディスプレイ
用基板等に例示される基板に張り付けられた保護フィル
ムを剥離する装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】上記のようなプリント配線基板は、次の
ような工程により製造されている。まず、絶縁性基板上
に設けられた導電層上に感光性樹脂（ホトレジスト）層
と、これを保護する透光性樹脂フィルム（保護フィル
ム）とからなる積層体をラミネーティングロールにより
熱圧着する。次に配線パターンフィルムを重ね、この配
線パターンフィルム及び前記透光性樹脂フィルムを通し
て前記感光性樹脂層を所定時間露光する。

【０００３】次いで、透光性樹脂フィルムを剥離した
後、露光されたホトレジスト層を現像してエッチングマ
スクパターンを形成し、この後、前記導電層の不必要部
分をエッチングにより除去し、所定の配線パターンを有
するプリント配線基板が形成される。

【０００４】前記プリント配線基板の製造工程におい
て、前記保護フィルムを基板から自動的に剥離するフィ
ルム剥離装置が種々提案されている。

【０００５】このような、フィルム剥離装置により基板
からフィルムを自動的に剥離させる際に、まず、フィル
ム先端の、剥離を開始させる部分を上下斜めに押圧した
り、ニードル状部材で引掛けて起こしたりしている。

【０００６】例えば、特公平６−３５５０号公報に開示
されるように、基板に張り付けられている感光性樹脂層
と透光性樹脂フィルムとからなる積層体フィルムの端部
にバイブレータのロッドの振動を与えて叩くことによ
り、透光性樹脂フィルムの一部を感光性樹脂層から浮上
させるものがある。又、例えば特開昭６２−８３９７４
号公報に開示されるように、保護フィルム端部を基板と
共に圧力車により挟み込んだ状態で該圧力車をフィルム
端縁に沿って走行させることにより、該フィルム端縁を
浮き上がらせるようにしたものもある。

【０００７】いずれの場合も、フィルム先端を浮上させ
た後は、圧縮空気等の気体を吹き付けて浮上した端縁か
らフィルムをめくり上げ、更には、めくり上がったフィ
ルム端縁をローラやベルトによって挟み込んで基板を進
行させつつ、フィルムを完全に剥離してライン外に搬出
させるようにしている。

【０００８】ここで、フィルム端縁をローラやベルトに
よって挟み込んで剥離させ、ライン外へ搬出させる際
に、基板上面から剥離したフィルムは、搬送ローラ等の
基板搬送装置があるために、その幅方向外側から搬出す
ることになり、装置の幅が大きくなってしまう。又、フ
ィルム端縁をローラやベルトは上下方向の装置の寸法を
大きくしてしまう。

【０００９】又、フィルム端縁をローラやベルトによっ
て挟み込む装置では、保護フィルムが非常に薄い場合、
これを確実に挟持することができない場合がある。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】薄いフィルムを基板か
ら確実に剥離させようとする場合は、例えば特開平８−
９９７６９号公報に開示されるように、めくり上がった
フィルム端縁を挟持片によって挟持し、これを基板に対
して引張ることによりフィルムを剥離させるようにした
剥離方法及び装置が有効であるが、この場合、基板上面
から剥離したフィルムを搬出するために、該フィルムを
基板搬送面の側方にまで移動してライン外にフィルムを
排出しなければならないという問題点がある。

【００１１】又、剥離を開始したフィルム先端を挟持片
により挟持して引張ることにより、該フィルムを基板か
ら剥離させる際に、例えば前述の特開平８−９９７６９
号公報に開示されるように、基板の、剥離されるフィル
ムと反対側面を吸着装置によって吸着固定しなければな
らない。

【００１２】従って、挟持片は、固定状態の基板からフ
ィルムを剥離させるために、該基板の進行方向の長さ分
だけ移動する必要があり、これによって更に装置面積が
大きくなってしまうという問題点がある。

【００１３】更に、基板を吸着装置によって固定した状
態でフィルムを剥離させるので、フィルムを剥離して基
板を次の工程に搬出するまでの時間がかかり、効率が低
いという問題点がある。

【００１４】この発明は、上記従来の問題点に鑑みてな
されたものであって、薄いフィルムでも確実に剥離でき
ると共に、剥離を開始したフィルム先端を引張って剥離
する装置の移動範囲が小さく、又、剥離したフィルムを
基板搬送面の側方から搬出する必要がなく、且つフィル
ム剥離時間の短いフィルム剥離方法及び装置を提供する
ことを目的とする。

【００１５】

【課題を解決するための手段】本方法発明は、水平方向
直線状に、下側フィルム剥離領域、上側フィルム剥離領
域及び基板搬出領域を順次隣接して設定し、前記下側フ
ィルム剥離領域で搬送装置により形成される水平の基板
搬送面に沿って、上下両面にフィルムが張り付けられて
いる基板を所定位置まで搬送、停止させる工程と、停止
した基板上面の略全面を、水平の上側吸着盤により吸
着、固定する工程と、該上側吸着盤により吸着、固定さ
れた基板の下面に張り付けられている下側フィルムの基
板搬送方向先端を基板から剥離させると共に、該剥離先
端を前記搬送装置の先端外側位置で基板の下面からめく
り下げる工程と、該めくり下がった下側フィルム先端を
捕捉する工程と、該捕捉した下側フィルム先端を、前記
搬送装置の先端と上側フィルム剥離領域との間を通って
下方に引張りつつ、前記基板を、前記上側吸着盤により
吸着したまま前記上側フィルム剥離領域方向に搬送し、
該下側フィルム全体を基板から剥離させる工程と、基板
から剥離された下側フィルム先端の捕捉を解いて下方に
落下排出する工程と、前記基板を、前記上側吸着盤によ
り吸着したまま、前記下側フィルムを剥離しつつ、前記
上側フィルム剥離領域にまで搬送し、且つ、下側フィル
ム剥離後に水平に停止する工程と、上側フィルム剥離領
域で、前記上側吸着盤の下側面に吸着されている基板の
下面の略全面を、水平の下側吸着盤により吸着すること
により、基板を上側吸着盤から下側吸着盤に受け渡す工
程と、この受け渡し後に、上側吸着盤を前記下側フィル
ム剥離領域に戻す工程と、前記下側吸着盤の上面に吸
着、固定された基板の上側フィルムの先端を剥離して、
該剥離先端をめくり上げる工程と、このめくり上げられ
た上側フィルム先端を捕捉する工程と、該捕捉した上側
フィルム先端を上側フィルム剥離領域の入側方向に引張
りつつ、前記下側吸着盤により吸着している前記基板を
前記基板搬出領域方向に移動させて、上側フィルム全体
を基板から剥離する工程と、基板から剥離された上側フ
ィルム先端の捕捉を解いて、前記下側吸着盤が前記基板
搬出領域方向に移動したことによって生じた空間を通っ
て、該上側フィルムを下方に落下排出する工程と、上側
フィルムが剥離された基板を、前記下側吸着盤により吸
着したまま前記基板搬出領域に搬入し、水平に停止する
工程と、この停止状態の下側吸着盤から基板搬出手段に
基板を受け渡す工程と、該下側吸着盤を前記上側フィル
ム剥離領域に戻す工程と、を有してなるフィルム剥離方
法により、上記目的を達成するものである。

【００１６】又、本装置発明は、請求項２のように、基
板搬入側から搬出側に、水平方向に、下側フィルム剥離
領域、上側フィルム剥離領域、及び、基板搬出領域を順
次隣接配置してなり、前記下側フィルム剥離領域に設け
られ、上下両面にフィルムが張り付けられた基板を水平
の基板搬送面に沿って搬送する基板搬送装置と、この基
板搬送装置の上方位置と前記上側フィルム剥離領域内と
の間でほぼ水平に往復動自在、且つ、前記基板の上面の
略全面を吸着して、該基板を水平に保持可能とされた上
側吸着盤と、この上側吸着盤に吸着された状態の基板に
おける下側面に張り付けられた下側フィルムの搬出側先
端を剥離し、且つ、めくり下げる下側剥離装置と、前記
基板搬送装置における搬出側端近傍に配置され、前記下
側剥離装置によりめくり下げられた下側フィルムの先端
を捕捉し、且つ、前記基板搬送装置と前記上側フィルム
剥離領域との間を通って、前記捕捉した下側フィルムの
先端を下方に引張る下側引張剥離装置と、前記上側フィ
ルム剥離領域内に前記上側吸着盤が移動したときのその
下側位置に配置され、該下側位置と前記基板搬出領域内
との間で水平に往復動自在、且つ、前記基板の上面の略
全面を吸着して、該基板を水平に保持可能とされた下側
吸着盤と、この下側吸着盤に吸着された状態の基板にお
ける上側面に張り付けられた上側フィルムの搬出側先端
を剥離し、且つ、めくり上げる上側剥離装置と、該めく
り上げられた上側フィルム先端を捕捉すると共に、これ
を基板搬入側に引張る上側引張剥離装置と、を有してな
り、前記上側吸着盤は、前記下側引張剥離装置により下
側フィルムを引張るとき、基板を吸着したまま上側フィ
ルム剥離領域にまで移動し、且つ、前記上側剥離装置に
より上側フィルムを剥離する前に下側フィルム剥離領域
内に戻り、前記下側吸着盤は、前記上側引張装置により
前記上側フィルムの引張るとき、基板を吸着したまま前
記基板搬出領域内に移動し、前記上側フィルムが基板か
ら剥離し、且つ、前記下側吸着盤が基板搬出領域方向に
移動して前記上側引張剥離装置の下方向に空白が生じた
とき、前記上側引張剥離装置は捕捉していた上側フィル
ムを解放するようにされたことを特徴とするフィルム剥
離装置により、上記目的を達成するものである。

【００１７】請求項３のように、前記基板搬送装置は、
基板搬送面に沿って並列配置された複数の搬送ローラを
含んでなり、該複数の搬送ローラのうち前記上側フィル
ム剥離領域側端部の１〜３本の搬送ローラを、前記基板
搬送面を構成する搬送位置と、これより下方であって、
前記下側剥離装置により剥離され、めくり下げられた下
側フィルムと非干渉となるまで引き下がった待機位置と
の間で上下動自在としてもよい。

【００１８】又、請求項４のように、前記下側引張剥離
装置は、前記基板搬送装置の基板搬出側先端近傍位置
で、基板搬送面の下側近傍から略鉛直下向きに配置さ
れ、めくり下げられた下側フィルムの先端を案内するガ
イド板と、このガイド板の下端近傍に設けられ、ガイド
板から下方に突出した前記下側フィルムの先端を捕捉可
能とされたフィルム捕捉装置と、このフィルム捕捉装置
を自由端側に支持し基端側を中心として、前記ガイド板
近傍位置とこれより下方の解放位置との間で揺動自在と
された揺動アームと、を有して構成してもよい。

【００１９】更に、請求項５のように、前記基板搬送装
置の下側に、該基板搬送装置上の基板を押し上げて、上
方に待機する上側吸着盤に下方から押し付けるように上
下動自在の押し上げ装置を設けると共に、この押し上げ
装置に前記揺動アームの基端を揺動自在に支持するよう
にしてもよい。

【００２０】この発明においては、基板下側面に張り付
けられたフィルムを剥離する際に、該基板上面を吸着保
持しつつ、基板先端方向に搬送し、同時に剥離を開始し
た下側フィルムの先端を下方に引張ることによって、基
板を搬送しつつ下側フィルムを搬送装置の下方に引張っ
て剥離し、剥離時間を短縮すると共に、剥離したフィル
ムをそのまま下方に解放、排出することができる。

【００２１】

【発明の実施の形態】以下本発明の実施の形態の例を図
面を参照して詳細に説明する。

【００２２】図１に示されるように、本発明に係るフィ
ルム剥離装置１０は、同図において左側の基板搬入側か
ら右側の搬出側に向かって、水平方向に、下側フィルム
剥離領域１２、上側フィルム剥離領域１４、及び、基板
搬出領域１６を順次隣接配置して構成されていて、基板
搬入側から下側フィルム剥離領域１２に送り込まれた、
上面に上側フィルム１８が、又、下面に下側フィルム２
０がそれぞれ張り付けられた基板２２（図２参照）か
ら、前記下側及び上側フィルム２０、１８をこの順で剥
離して、基板搬出領域１６から、フィルム剥離後の基板
２２を搬出するようにしたものである。

【００２３】前記下側フィルム剥離領域１２には、複数
の搬送ローラ２４を水平に並列配置してなる基板搬送装
置２６が設けられ、搬送ローラ２４の上端によって形成
される基板搬送面２６Ａに沿って、図１において左端の
基板搬入端から装入された基板２２全体が下側フィルム
剥離領域１２内に入り込むまで、これを搬送できるよう
にされている。

【００２４】前記基板搬送装置２６を構成する搬送ロー
ラのうち、基板搬送方向最先端の２個の搬送ローラ２５
は、シリンダ装置２８によって基板搬送面２６Ａを構成
する搬送位置と、図１において実線で示されるように、
搬送位置から大きく下降した待機位置との間で上下動自
在とされている。

【００２５】又、前記基板搬送装置２６の下側位置に
は、各搬送ローラ２４間の隙間から上方に突出すること
によって、基板搬送面２６Ａ上の基板２２を押し上げる
複数の押し上下部材３０を備えた押し上げ装置３２が配
置されている。

【００２６】この押し上げ装置３２は、通常は、図１に
示されるように、押し上げ部材３０の先端が基板搬送面
２６Ａよりも下側にある待機位置とされ、シリンダ装置
３４によって基板２２を押し上げる押し上げ位置に駆動
され得るようになっている。図１の符号３４Ａは押し上
げ部材３０を鉛直方向に案内するためのガイドシャフト
を示す。

【００２７】前記下側フィルム剥離領域１２及び上側フ
ィルム剥離領域１４の上部位置には、これらの間の水平
に往復動自在とされた上側吸着盤３６が配置されてい
る。

【００２８】この上側吸着盤３６は、その下側面に、負
圧が印加される多数の吸引孔（図示省略）が面方向に均
一に設けられ、下方から押し付けられた基板２２の上面
をその全面に渡って吸着できるようにされている。

【００２９】又、上側吸着盤３６は、水平且つ搬送方向
に、上記下側及び上側フィルム剥離領域１２、１４に渡
って基板搬送方向に配置されたガイドバー３８に沿っ
て、ガイドシュー３８Ａを介して摺動自在に案内され、
且つ送りねじ機構４０によりガイドバー３８に沿って往
復動され得るようになっている。

【００３０】この送りねじ機構４０はモータ４０Ａ、こ
のモータ４０Ａに駆動されるねじ送りねじ４０Ｂ、及び
送りねじ４０Ｂに螺合してその回転により進退するナッ
ト部４０Ｃと、を有してなり、ナット部４０Ｃが上側吸
着盤３６を支持している。送りねじ機構４０による上側
吸着盤３６の移動範囲は、図１に示されるように、下側
フィルム剥離領域１２内で、前記基板搬送装置２６の真
上となる位置及び上側フィルム剥離領域１４内に入り込
んだ位置との間とされている。

【００３１】又、上側吸着盤３６の高さ、即ち基板搬送
面２６Ａからの距離は、前記押し上げ部材３０によって
基板２２が押し上げられたとき、該基板２２の上面が上
側吸着盤３６の下側面とほぼ一致するように設定されて
いる。

【００３２】前記上側吸着盤３６が、前記上側フィルム
剥離領域１４内に入り込んだときの、該上側吸着盤３６
の下面に対向する位置には、下側吸着盤４２が水平に配
置されている。

【００３３】この下側吸着盤４２は、その水平の上面に
負圧が印加される多数の吸引孔（図示省略）が面方向に
均一に設けられていて、ここに、前記基板２２の上側面
をその全面に渡って吸着できるようにされている。

【００３４】この下側吸着盤４２は、昇降シリンダ４２
Ａによって上下動自在に支持され、この昇降シリンダ４
２Ａはガイドバー３８に沿って水平に、且つ前記上側フ
ィルム剥離領域１４と基板搬出領域１６との間でロッド
レスシリンダ４６により往復動され得るようになってい
る。

【００３５】前記下側フィルム剥離領域１２内には、基
板２２が上側吸着盤３６に吸着された状態で、その搬送
方向先端における下側フィルム２０の先端を剥離し、且
つめくり下げる下側剥離装置４８が、又、前記上側フィ
ルム剥離領域１４内には、下側吸着盤４２に吸着されて
いる基板２２上面の上側フィルム１８先端を剥離し、且
つめくり上げる上側剥離装置５０が、それぞれ設けられ
ている。

【００３６】なお、上側フィルム１８及び下側フィルム
２０は、図２に示されるように、それぞれ基板２２の上
面及び下面において、該基板２２の搬送方向先端よりも
わずかに後方にずれた位置にその先端があるように張り
付けられている。

【００３７】前記下側剥離装置４８は、図３に拡大して
示されるように、上側吸着盤３６に吸着されている基板
２２の下側フィルム２０先端部に対して、昇降して離接
自在、且つ基板幅方向（図１において紙面と垂直方向）
にわずかに（約３０ｍｍ）往復動自在の剥離ロール４８
Ａを備え、この剥離ロール４８Ａを下側フィルム２０の
先端に押し付けつつ基板幅方向にわずかに往復させるこ
とによって、該下側フィルム２０先端を基板２２下面か
ら浮き上がらせるようになっている。

【００３８】又、下側剥離装置４８は、前記剥離ロール
４８Ａによって基板２２下面から浮き上がった下側フィ
ルム２０の先端と基板２２の下面との間に圧縮空気を吹
き付けて、該下側フィルム２０先端を剥離し、且つめく
り下げるようにした剥離ノズル４８Ｂを備えている。

【００３９】なお、前記剥離ロール４８Ａは、リニアガ
イド４８Ｄにより、下側吸着盤４２に吸着されている状
態の基板２２の下側面に圧接する剥離位置と、図１に実
線で示されるように、基板搬送面２６Ａから下方にある
待機位置との間で昇降され得るようになっている。図
１、３の符号４８Ｅは、剥離ロール４８Ａを基板幅方向
にわずかに往復動するためのスライドテーブルを示す。
なお、剥離ロール４８Ａを往復動させるためのエアシリ
ンダは図示省略する。又、前記搬送ローラ２５、スライ
ドテーブル４８Ｅ、及び、剥離ノズル４８Ｂは、エアシ
リンダ４８Ｃにより全体としてわずかに上下動され得る
ようになっている。

【００４０】図３に拡大して示されるように、前記押し
上げ装置３２における押し上げ部材３０と平行に、且つ
押し上げ部材としての機能を有するガイド板５２が押し
上げ部材３０と平行に、前記昇降自在の搬送ローラ２５
に隣接する位置に鉛直方向に配置されている。

【００４１】前記下側フィルム剥離領域１２内における
前記基板搬送装置２６及び押し上げ装置３２の押し上げ
部材３０下方には、前記ガイド板５２からはみ出して垂
下した下側フィルム２０の先端を捕捉して、これを下方
に引張ることによって、下側フィルム２０を基板２２か
ら剥離させるための下側引張剥離装置５４が設けられて
いる。

【００４２】この下側引張剥離装置５４は、前記押し上
げ装置３２に、基端においてピン５６Ａにより揺動自在
（揺動駆動源は図示省略）に枢支され、図１に示される
ように、水平状態から、時計方向に約１００°の範囲で
揺動自在とされた揺動アーム５６と、この揺動アーム５
６の先端近傍に取り付けられ、前記ガイド板５２の下端
からはみ出して垂下する下側フィルム２０の先端を捕捉
且つ解放自在の捕捉装置５８とを備えて構成されてい
る。

【００４３】前記捕捉装置５８は、前記ガイド板５２の
下端に連続して垂直に配置された受け板５８Ａと、自由
端が該受け板５８Ａ下側位置及び外側位置に臨んで配置
され、基端においてピン５８Ｂにより揺動自在に支持さ
れた捕捉レバー５８Ｃと、エアシリンダ５８Ｄとを備え
て構成され、該エアシリンダ５８Ｄは、突出時に前記捕
捉レバー５８Ｃを、その先端が、前記下側フィルム２０
下端を受け板５８Ａとの間に挟み込むように、図２にお
いて反時計方向に揺動させ、且つ引き込み時には捕捉レ
バー５８Ｃを図２において時計方向に揺動して、下側フ
ィルム２０の先端を解放させるようにされている。

【００４４】前記上側剥離装置５０は、図４に拡大して
示されるように、前記下側剥離装置４８におけると同様
に、剥離ロール５０Ａ、剥離ノズル５０Ｂ、エアシリン
ダ５０Ｃ、リニアガイド５０Ｄ、及び、スライドテーブ
ル５０Ｅを備えて構成されている。

【００４５】前記上側フィルム剥離領域１４内には、前
記上側剥離装置５０により基板２２の上面から剥離さ
れ、且つめくり上げられた上側フィルム１８の先端を捕
捉して、剥離方向に引張る上側引張剥離装置６０が設け
られている。

【００４６】この上側引張剥離装置６０は、前記下側引
張剥離装置５４における捕捉装置５８と同様の捕捉装置
６２と、この捕捉装置６２を図１において上下に昇降さ
せるための昇降シリンダ６４と、この昇降シリンダ６４
を基板搬送方向に水平に往復動自在に支持する移動装置
６６と、を備えて構成されている。

【００４７】前記捕捉装置６２は、前記捕捉装置５８と
同様に、鉛直方向の受け板６２Ａと、この受け板６２Ａ
に沿ってめくり上げられた上側フィルム１８の先端（上
端）を受け板６２Ａ上端との間で挟み込み、且つ挟み込
んで捕捉し、且つ解放可能とされた捕捉レバー６２Ｃ
と、この捕捉レバー６２Ｃを揺動自在に支持するピン６
２Ｂと、捕捉レバー６２Ｃをピン６２Ｂ前に揺動させる
エアシリンダ６２Ｄとを備えて構成されている。

【００４８】前記移動装置６６は、前記昇降シリンダ６
４を基板搬送方向に摺動自在に支持するガイドバー６６
Ａと、昇降シリンダ６４をガイドバー６６Ａに沿って往
復動させるロッドレスシリンダ６６Ｂと、を備えて構成
されている。

【００４９】前記基板搬出領域１６には、前記下側吸着
盤４２が該基板搬出領域１６内に移動したとき、その真
上位置に、上方から降下して、下側吸着盤４２上の基板
２２を吸着して持ち上げ、且つ基板搬出領域１６から図
１において右側に搬出するための基板搬出装置６８が設
けられている。

【００５０】この基板搬出装置６８は、負圧が印加さ
れ、上方から基板２２に接近してこれを吸着するため
の、ベローズを含む複数の吸着体６８Ａと、この吸着体
６８Ａを昇降させるためのエアシリンダ６８Ｂと、該エ
アシリンダ６８Ｂ及び吸着体６８Ａを、吸着した基板２
２と共にライン外に移動させるための移動装置６８Ｃ
と、を備えている。

【００５１】図１の符号７０は制御盤を示す。この制御
盤７０には、前記基板搬送装置２６、シリンダ装置２
８、押し上げ装置３２のシリンダ装置３４、モータ４０
Ａ、上側及び下側吸着盤３６、４２への負圧のオン・オ
フ、昇降シリンダ４２Ａ、ロッドレスシリンダ４６、６
６Ｂ、下側及び上側剥離装置４８、５０、下側及び上側
引張剥離装置５４、６０、基板搬出装置６８を制御する
制御装置７２が設けられている（図５参照）。

【００５２】次に上記フィルム剥離装置１０により、基
板２２から上側フィルム１８及び下側フィルム２０を剥
離する工程について説明する。

【００５３】まず、上下面にフィルムが張られた基板２
２を、基板搬送装置２６の入側（図１の左側）から水平
に装入し、該基板搬送装置２６によって、基板２２が下
側フィルム剥離領域１２内に入り込むまで搬送して、下
側フィルム２０の先端が、前記下側剥離装置４８の剥離
ロール４８Ａの位置に到達したとき、搬送を停止する。

【００５４】なお、このとき、前記昇降自在の搬送ロー
ラ２５は、シリンダ装置３４によって、図３で２点鎖線
で示されるように、基板搬送面２６Ａの位置まで押し上
げておき、基板２２の先端の垂れ下がりを防止する。

【００５５】次に、所定位置に停止した基板２２を、そ
の真上位置に予めセットされている上側吸着盤３６に接
触するまで前記押し上げ装置３２及び搬送ローラ２５に
よって上方に押し上げる。

【００５６】上側吸着盤３６には、予め負圧を印加して
おけば、基板２２が該上側吸着盤３６の下側面に接近し
たとき、その負圧によって基板２２を吸い上げて、吸着
保持することになる。

【００５７】次に、前記押し上げ装置３２は、図１に示
される位置まで下降させる。搬送ローラ２５は、そのま
ま基板２２を押圧する状態としておく。次いで下側剥離
装置４８の剥離ロール４８Ａを基板２２下側面に張り付
けられている下側フィルム２０に圧接する位置まで上昇
させてから基板幅方向にこれを往復動させる。このと
き、搬送ローラ２５によって押えられているので基板２
２が、がたつくことがない。

【００５８】従って、下側フィルム２０の先端は剥離ロ
ール４８Ａによって基板２２からわずかに剥がされ、こ
こに、剥離ノズル４８Ｂから圧縮空気が吹き付けられ、
該圧縮空気が下側フィルム２０と基板２２との隙間に入
り込むことによって、下側フィルム２０をめくり下げる
ことになる。

【００５９】下側フィルム２０先端の剥離動作を終了し
た後は、前記剥離ロール４８Ａ及び搬送ローラ２５は、
基板搬送面２６Ａの下方に退避する。

【００６０】剥離ノズル４８Ｂは、わずかに下降して、
再度圧縮空気を噴出し、初回の噴出でめくり下げること
ができなかった部分を完全にめくり下げる。

【００６１】基板２２から剥離された下側フィルム２０
の先端（下端）は、前記ガイド板５２に沿って垂直に垂
れ下がる。このとき、ガイド板５２が金属製の場合、下
側フィルム２０は、それ自体が有する静電気によって、
ガイド板５２に密着する。

【００６２】ガイド板５２の下端から垂れ下がった下側
フィルム２０の先端は、ガイド板５２の下方に垂直に連
続する受け板５８Ａにまで至る。

【００６３】この状態で、予め図６に示されるように、
時計方向に揺動されていた捕捉レバー５８Ｃをエアシリ
ンダ５８Ｄによって反時計方向に揺動すると、該捕捉レ
バー５８Ｃと受け板５８Ａとの間で前記垂れ下がった下
側フィルム２０の先端が捕捉（捕捉）される。

【００６４】次に、図７に示されるように、前記下側フ
ィルム２０の先端を捕捉したまま、前記揺動アーム５６
を図１において時計方向に揺動させ、同時に、前記上側
吸着盤３６を送りねじ機構４０によって、上側フィルム
剥離領域１４方向に水平に移動させる。

【００６５】従って、上側吸着盤３６の移動速度及び揺
動アーム５６による下側フィルム２０の引張り速度を調
整することによって、下側フィルム２０の剥離点がガイ
ド板５２の上方位置となる状態で、下側フィルム２０を
基板２２から円滑に剥離することができる。

【００６６】このとき、上側吸着盤３６の移動速度を、
下側引張剥離装置５４による下側フィルム２０の下方へ
の引張り速度よりもわずかに速くすれば、下側フィルム
２０の剥離点がガイド板５２よりも必ず上側フィルム剥
離領域１４側にずれた位置となり、剥離中の下側フィル
ム２０がガイド板５２の上端にこすれたりすることがな
い。

【００６７】このようにして、上側吸着盤３６を移動さ
せつつ下側フィルム２０を下方に引張って剥離し、剥離
終了後は、該下側引張剥離装置５４の下方に、前記捕捉
レバー５８Ｃを解放動作させることによって、下側フィ
ルム２０を下方に落下配置することができる。

【００６８】即ち、下側フィルム２０は、基板搬送装置
２６の上側フィルム剥離領域１４側の端部の隙間を通っ
て下方に引張られつつ剥離され、且つ、排出されること
になる。

【００６９】基板２２は、上側吸着盤３６によって更に
移動され、上側フィルム剥離領域１４内で、前記下側吸
着盤４２の真上位置にきたとき停止される。

【００７０】次に、前記下側吸着盤４２を、負圧を印加
しつつ昇降シリンダ４２Ａによって上昇させる。一方、
前記上側吸着盤３６は、下側吸着盤４２が接近したとき
負圧が解除され、基板２２は上側吸着盤３６から下側吸
着盤４２に受け渡される。

【００７１】この受け渡し後に、前記上側吸着盤３６は
図１に示されるように下側フィルム剥離領域１２内に戻
される。

【００７２】基板２２を吸着した下側吸着盤４２は、昇
降シリンダ４２Ａによって図１に示される位置まで下降
され、停止する。

【００７３】この状態で、前記上側剥離装置５０の剥離
ロール５０Ａを下降させ、基板２２の上面に張られてい
る上側フィルム１８の先端を圧接しつつ基板幅方向に往
復させる。これによって、前述と同様に、上側フィルム
１８は基板２２から剥離され、且つ剥離ノズル５０Ｂか
らの圧縮空気の吹き付けによってめくり上げられ、前記
上側引張装置６０における受け板６２Ａに沿う状態とな
る。

【００７４】この状態では、受け板６２Ａの上端外側に
上側フィルム１８の先端が位置しているので、エアシリ
ンダ６２Ｄによって予め図８のように反時計方向に揺動
させておいた捕捉レバー６２Ｃを時計方向に揺動させる
ことによって、該捕捉レバー６２Ｃの先端と受け板６２
Ａの上端との間で、めくり上げられた上側フィルム１８
の先端を捕捉（捕捉）する。

【００７５】次に、上側フィルム１８を捕捉した状態
で、前記昇降シリンダ６４により捕捉装置６２を上昇さ
せ、且つ移動装置６６により、下側フィルム剥離領域１
２方向に水平に移動させる。

【００７６】このとき、同時に、前記下側吸着盤４２も
ロッドレスシリンダ４６によって基板搬出領域１６方向
に水平に移動させる。これにより、上側フィルム１８は
基板２２の上面から強制的に剥離される。

【００７７】基板２２が、上側フィルム１８を剥離しつ
つ下側吸着盤４２によって基板搬出領域１６にまで移動
されたとき、前記捕捉装置６２は、図１において二点鎖
線で示される位置まで移動され、その捕捉レバー６２Ｃ
と受け板６２Ａとの間には、剥離された上側フィルム１
８が保持されている。

【００７８】一方、前述の如く、下側吸着盤４２は基板
搬出領域１６に移動しているので、上側引張剥離装置６
０の下方は解放状態となっていて、捕捉レバー６２Ｃを
反時計方向に揺動させると、捕捉されていた上側フィル
ム１８が解放されて自由落下し、上側フィルム剥離領域
１４下端から排出されることになる。

【００７９】下側吸着盤４２によって基板搬出領域１６
内に移動された基板２２は、該下側吸着盤４２から、上
方から下降してくる基板搬出装置６８の吸着体６８Ａに
受け渡され、ライン外に搬出される。

【００８０】上記のような工程を繰り返して、順次搬入
されてくる基板２２から上側及び下側フィルム１８、２
０を剥離していく。

【００８１】なお、上記フィルム剥離装置１０におい
て、基板搬送装置２６上に搬入されてきた基板２２は、
押し上げ装置３２によって上側吸着盤３６の位置まで押
し上げられるが、本発明はこれに限定されるものでな
く、上側吸着盤３６を、基板搬送装置２６及び基板２２
を損傷することなく、下降して吸着するようにしてもよ
い。

【００８２】又、上記下側及び上側剥離装置４８、５０
は、剥離ロール及び剥離ノズルによってフィルムの先端
を剥離、且つめくり下げ、あるいはめくり上げるもので
あるが、本発明はこれに限定されるものでなく、例えば
フィルム先端をフック状部材によって引掛けて剥離させ
るようにしたものであってもよい。

【００８３】又、上記基板搬送装置の先端側の搬送ロー
ラ２５は、シリンダ装置２８によって昇降自在とされて
いるが、これは、基板２２が薄くて垂れ下がり易い場合
に必要なものであり、基板２２が十分に厚くて先端が垂
れ下がらないような場合は、搬送ローラ２５は不要であ
る。

【００８４】又、上側フィルム１８及び下側フィルム２
０は、図２に示されるように、それぞれ基板２２の上面
及び下面において、該基板２２の搬送方向先端よりもわ
ずかに後方にずれた位置にその先端があるように張り付
けられているがこれは基板２２の先端と一致させてもよ
い。

【００８５】又、上側吸着盤３６は送りねじ機構４０に
よって移動されるがこれは位置決め精度が高いので利用
されている。従って、位置決め精度が確保できれば、ロ
ッドレスシリンダ等の他の移動手段であってもよい。

【００８６】

【発明の効果】本発明は上記のように構成したので、フ
ィルム剥離装置の装置面積を大幅に縮小させることがで
きると共に、短時間で効率良くフィルムを剥離させるこ
とができるという優れた効果を有する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態の例に係るフィルム剥離装
置を示す断面図

【図２】剥離されるフィルムが張られている基板を示す
拡大断面図

【図３】同フィルム剥離装置における下側引張剥離装置
近傍を拡大して示す側面図

【図４】上側引張剥離装置近傍を拡大して示す側面図

【図５】同フィルム剥離装置の制御系を示すブロック図

【図６】上記下側引張剥離装置により下側フィルムを捕
捉する過程を拡大して示す側面図

【図７】同下側引張剥離装置により下側フィルムを引張
る過程を拡大して示す側面図

【図８】上記上側引張剥離装置により上側フィルムを捕
捉する過程を拡大して示す側面図

【符号の説明】

１０…フィルム剥離装置 １２…下側フィルム剥離領域 １４…上側フィルム剥離領域 １６…基板搬出領域 １８…上側フィルム ２０…下側フィルム ２２…基板 ２４、２５…搬送ローラ ２６…基板搬送装置 ２６Ａ…基板搬送面 ３６…上側吸着盤 ４２…下側吸着盤 ４８…下側剥離装置 ５０…上側剥離装置 ５２…ガイド板 ５４…下側引張剥離装置 ５８、６２…捕捉装置 ５８Ａ、６２Ａ…受け板 ５８Ｃ、６２Ｃ…捕捉レバー ６０…上側引張剥離装置 ６６…移動装置 ６８…基板搬出装置 ７０…制御盤

─────────────────────────────────────────────────────

【手続補正書】

【提出日】平成９年９月１１日

【手続補正１】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図１

【補正方法】変更

【補正内容】

【図１】

【手続補正２】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図２

【補正方法】変更

【補正内容】

【図２】

【手続補正３】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図３

【補正方法】変更

【補正内容】

【図３】

【手続補正４】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図４

【補正方法】変更

【補正内容】

【図４】

【手続補正５】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図６

【補正方法】変更

【補正内容】

【図６】

【手続補正６】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図７

【補正方法】変更

【補正内容】

【図７】

【手続補正６】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図８

【補正方法】変更

【補正内容】

【図８】

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】水平方向直線状に、下側フィルム剥離領
   域、上側フィルム剥離領域及び基板搬出領域を順次隣接
   して設定し、前記下側フィルム剥離領域で搬送装置によ
   り形成される水平の基板搬送面に沿って、上下両面にフ
   ィルムが張り付けられている基板を所定位置まで搬送、
   停止させる工程と、停止した基板上面の略全面を、水平
   の上側吸着盤により吸着、固定する工程と、該上側吸着
   盤により吸着、固定された基板の下面に張り付けられて
   いる下側フィルムの基板搬送方向先端を基板から剥離さ
   せると共に、該剥離先端を前記搬送装置の先端外側位置
   で基板の下面からめくり下げる工程と、該めくり下がっ
   た下側フィルム先端を捕捉する工程と、該捕捉した下側
   フィルム先端を、前記搬送装置の先端と上側フィルム剥
   離領域との間を通って下方に引張りつつ、前記基板を、
   前記上側吸着盤により吸着したまま前記上側フィルム剥
   離領域方向に搬送し、該下側フィルム全体を基板から剥
   離させる工程と、基板から剥離された下側フィルム先端
   の捕捉を解いて下方に落下排出する工程と、前記基板
   を、前記上側吸着盤により吸着したまま、前記下側フィ
   ルムを剥離しつつ、前記上側フィルム剥離領域にまで搬
   送し、且つ、下側フィルム剥離後に水平に停止する工程
   と、上側フィルム剥離領域で、前記上側吸着盤の下側面
   に吸着されている基板の下面の略全面を、水平の下側吸
   着盤により吸着することにより、基板を上側吸着盤から
   下側吸着盤に受け渡す工程と、この受け渡し後に、上側
   吸着盤を前記下側フィルム剥離領域に戻す工程と、前記
   下側吸着盤の上面に吸着、固定された基板の上側フィル
   ムの先端を剥離して、該剥離先端をめくり上げる工程
   と、このめくり上げられた上側フィルム先端を捕捉する
   工程と、該捕捉した上側フィルム先端を上側フィルム剥
   離領域の入側方向に引張りつつ、前記下側吸着盤により
   吸着している前記基板を前記基板搬出領域方向に移動さ
   せて、上側フィルム全体を基板から剥離する工程と、基
   板から剥離された上側フィルム先端の捕捉を解いて、前
   記下側吸着盤が前記基板搬出領域方向に移動したことに
   よって生じた空間を通って、該上側フィルムを下方に落
   下排出する工程と、上側フィルムが剥離された基板を、
   前記下側吸着盤により吸着したまま前記基板搬出領域に
   搬入し、水平に停止する工程と、この停止状態の下側吸
   着盤から基板搬出手段に基板を受け渡す工程と、該下側
   吸着盤を前記上側フィルム剥離領域に戻す工程と、を有
   してなるフィルム剥離方法。
2. 【請求項２】基板搬入側から搬出側に、水平方向に、下
   側フィルム剥離領域、上側フィルム剥離領域、及び、基
   板搬出領域を順次隣接配置してなり、前記下側フィルム
   剥離領域に設けられ、上下両面にフィルムが張り付けら
   れた基板を水平の基板搬送面に沿って搬送する基板搬送
   装置と、この基板搬送装置の上方位置と前記上側フィル
   ム剥離領域内との間でほぼ水平に往復動自在、且つ、前
   記基板の上面の略全面を吸着して、該基板を水平に保持
   可能とされた上側吸着盤と、この上側吸着盤に吸着され
   た状態の基板における下側面に張り付けられた下側フィ
   ルムの搬出側先端を剥離し、且つ、めくり下げる下側剥
   離装置と、前記基板搬送装置における搬出側端近傍に配
   置され、前記下側剥離装置によりめくり下げられた下側
   フィルムの先端を捕捉し、且つ、前記基板搬送装置と前
   記上側フィルム剥離領域との間を通って、前記捕捉した
   下側フィルムの先端を下方に引張る下側引張剥離装置
   と、前記上側フィルム剥離領域内に前記上側吸着盤が移
   動したときのその下側位置に配置され、該下側位置と前
   記基板搬出領域内との間で水平に往復動自在、且つ、前
   記基板の上面の略全面を吸着して、該基板を水平に保持
   可能とされた下側吸着盤と、この下側吸着盤に吸着され
   た状態の基板における上側面に張り付けられた上側フィ
   ルムの搬出側先端を剥離し、且つ、めくり上げる上側剥
   離装置と、該めくり上げられた上側フィルム先端を捕捉
   すると共に、これを基板搬入側に引張る上側引張剥離装
   置と、を有してなり、前記上側吸着盤は、前記下側引張
   剥離装置により下側フィルムを引張るとき、基板を吸着
   したまま上側フィルム剥離領域にまで移動し、且つ、前
   記上側剥離装置により上側フィルムを剥離する前に下側
   フィルム剥離領域内に戻り、前記下側吸着盤は、前記上
   側引張装置により前記上側フィルムの引張るとき、基板
   を吸着したまま前記基板搬出領域内に移動し、前記上側
   フィルムが基板から剥離し、且つ、前記下側吸着盤が基
   板搬出領域方向に移動して前記上側引張剥離装置の下方
   向に空白が生じたとき、前記上側引張剥離装置は捕捉し
   ていた上側フィルムを解放するようにされたことを特徴
   とするフィルム剥離装置。
3. 【請求項３】請求項２において、前記基板搬送装置は、
   基板搬送面に沿って並列配置された複数の搬送ローラを
   含んでなり、該複数の搬送ローラのうち前記上側フィル
   ム剥離領域側端部の１〜３本の搬送ローラを、前記基板
   搬送面を構成する搬送位置と、これより下方であって、
   前記下側剥離装置により剥離され、めくり下げられた下
   側フィルムと非干渉となるまで引き下がった待機位置と
   の間で上下動自在としたことを特徴とするフィルム剥離
   装置。
4. 【請求項４】請求項２又は３において、前記下側引張剥
   離装置は、前記基板搬送装置の基板搬出側先端近傍位置
   で、基板搬送面の下側近傍から略鉛直下向きに配置さ
   れ、めくり下げられた下側フィルムの先端を案内するガ
   イド板と、このガイド板の下端近傍に設けられ、ガイド
   板から下方に突出した前記下側フィルムの先端を捕捉可
   能とされたフィルム捕捉装置と、このフィルム捕捉装置
   を自由端側に支持し基端側を中心として、前記ガイド板
   近傍位置とこれより下方の解放位置との間で揺動自在と
   された揺動アームと、を有してなることを特徴とするフ
   ィルム剥離装置。
5. 【請求項５】請求項４において、前記基板搬送装置の下
   側に、該基板搬送装置上の基板を押し上げて、上方に待
   機する上側吸着盤に下方から押し付けるように上下動自
   在の押し上げ装置を設けると共に、この押し上げ装置に
   前記揺動アームの基端を揺動自在に支持したことを特徴
   とするフィルム剥離装置。