JPH1184254A

JPH1184254A - 液浸系顕微鏡対物レンズ

Info

Publication number: JPH1184254A
Application number: JP9261061A
Authority: JP
Inventors: Shintaro Kudo; 慎太郎工藤
Original assignee: Nikon Corp
Current assignee: Nikon Corp
Priority date: 1997-09-09
Filing date: 1997-09-09
Publication date: 1999-03-26
Also published as: US5978147A

Abstract

(57)【要約】【課題】レンズ加工が比較的容易で、像面の平坦性が
良く補正され、且つ視野周辺でも像質が良好な、高倍率
の液浸系顕微鏡対物レンズ。【解決手段】物体側から順に、正の屈折力を有する第
１レンズ群Ｇ１と、正の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ
２と、負の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３とを備えて
いる。第１レンズ群Ｇ１は、４枚の正単レンズ（Ｌ11〜
Ｌ14）を有する。第２レンズ群Ｇ２は、複数の接合レン
ズ（Ｌ21およびＬ22）を有する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は液浸系顕微鏡対物レ
ンズに関し、特に像面の平坦性が良く且つ視野周辺でも
像質が良好な、高倍率の液浸系顕微鏡対物レンズに関す
るものである。

【０００２】

【従来の技術】顕微鏡対物レンズでは、倍率が高くなる
ほど焦点距離が小さくなり屈折力が強くなるので、像面
の平坦性と深い関係にあるペッツバール和の補正が困難
となる。特に、液浸系対物レンズでは、最も物体側の第
１レンズ面において界面前後の屈折率差が小さいので、
ペッツバール和の補正が難しい。また一般的に、顕微鏡
対物レンズでは、ペッツバール和の補正は色収差の補正
と互いに相反する性質を有する。すなわち、顕微鏡対物
レンズでは、ペッツバール和の補正を優先すると色収差
の補正が困難になり、色収差の補正を優先するとペッツ
バール和の補正が困難になるという性質がある。

【０００３】具体的な例として、近軸光線高ｈを大きく
するためにレンズ径を大きくした構成では、各レンズ面
の曲率半径を大きくすることができるのでペッツバール
和の補正にとっては有利である。しかしながら、色収差
の収差係数が近軸光線高ｈの２乗に比例することからも
わかるように、レンズ径を大きくした構成では近軸光線
高ｈが大きくなる分だけ二次分散等の残存色収差が大き
くなってしまうので、色収差の補正にとっては不利にな
る。

【０００４】また、高倍率の顕微鏡対物レンズでは、一
般的に開口数が大きいので、色による球面収差やコマ収
差の曲がりや乱れも大きくなる。このように、高倍率の
液浸系顕微鏡対物レンズにおいては、色に関する諸収差
の補正とペッツバール和の補正との両立は非常に困難で
ある。

【０００５】従来より、特開平７−２３００３９号公報
や特開平７−２８１０９７号公報などには、この種の高
倍率の液浸系対物レンズが開示されている。これらの液
浸系対物レンズでは、埋め込みレンズを有する接合レン
ズを最も物体側に配置しており、その接合面の曲率半径
と屈折率差とによってペッツバール和を小さくして像面
湾曲を補正している。

【０００６】一方、特開昭５８−１９２０１３号公報や
特開昭６１−２７５８１３号公報（特公平５−６７００
４号公報）や特開平５−１４２４７７号公報の第１実施
例には、埋め込みレンズによりペッツバール和を補正す
る構成を用いていないレンズ系が開示されている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】特開平７−２３００３
９号公報や特開平７−２８１０９７号公報などに開示さ
れた構成は、設計上かなり有用であり、特にアポクロマ
ート級で大きい開口数が求められる対物レンズに用いら
れる例が多いが、実際には加工上難しい点がある。特
に、埋め込みレンズが埋め込まれる側の凹面（埋め込み
レンズと接する面）は曲率のかなり強い曲面となり、凹
面加工が困難なだけでなく、加工時間もかかってコスト
が高くなりがちである。また、埋め込みレンズの像側の
凸面に関しても、半球面に近い曲面形状または半球面を
越える曲面形状となることが多いため、この凸面を精度
良く研磨することが難しい。対物レンズが高倍率になる
ほど、その焦点距離が小さくなり、上述の凹面および凸
面の曲率がともに強くなる。したがって、対物レンズの
倍率が高くなるほど、レンズ加工がより困難になるとい
う不都合があった。

【０００８】一方、特開昭５８−１９２０１３号公報や
特開昭６１−２７５８１３号公報（特公平５−６７００
４号公報）や特開平５−１４２４７７号公報の第１実施
例に開示されたレンズ系では、埋め込みレンズによりペ
ッツバール和を補正していない分だけ、ペッツバール和
の補正が色収差等の補正とのバランス上ある程度犠牲に
ならざるを得ないという不都合があった。

【０００９】本発明は、前述の課題に鑑みてなされたも
のであり、レンズ加工が比較的容易で、像面の平坦性が
良く補正され、且つ視野周辺でも像質が良好な、高倍率
の液浸系顕微鏡対物レンズを提供することを目的とす
る。

【００１０】

【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、本発明においては、物体側から順に、正の屈折力を
有する第１レンズ群Ｇ１と、正の屈折力を有する第２レ
ンズ群Ｇ２と、負の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３と
を備え、前記第１レンズ群Ｇ１は、４枚の正単レンズを
有し、前記第２レンズ群Ｇ２は、複数の接合レンズを有
することを特徴とする液浸系顕微鏡対物レンズを提供す
る。

【００１１】本発明の好ましい態様によれば、前記第２
レンズ群Ｇ２は、物体側から順に、正レンズと負レンズ
と正レンズとの貼り合わせからなる３枚接合レンズを有
する。また、前記第１レンズ群Ｇ１の焦点距離をｆ１と
し、前記対物レンズ全系の焦点距離をｆとしたとき、１．２＜ｆ１／ｆ＜３．５の条件を満足することが好ましい。

【００１２】また、本発明の好ましい態様によれば、前
記第３レンズ群Ｇ３の焦点距離をｆ３とし、前記対物レ
ンズ全系の焦点距離をｆとしたとき、５＜｜ｆ３｜／ｆ＜２５の条件を満足する。

【００１３】

【発明の実施の形態】まず、本発明の構成について説明
する。前述したように、高倍率の顕微鏡対物レンズで
は、一般的に開口数が大きい。したがって、第１レンズ
群Ｇ１では、大きい開口数の光束を強く集光しなければ
ならないため、強い正の屈折力が必要となる。この場
合、第１レンズ群Ｇ１を構成するレンズの屈折率を高く
すると、ペッツバール和の増大抑制には有利である。し
かしながら、光学材料の物性から、屈折率を高くすると
レンズの分散も大きくならざるを得ないので、色収差、
特に２次分散の色収差を補正しきれなくなってしまう。
逆に、分散の小さい光学材料でレンズを構成すると、屈
折率が低いのでレンズ面の曲率が強くなり、ペッツバー
ル和が増大してしまう。

【００１４】したがって、第１レンズ群Ｇ１に要求され
る強い屈折力とペッツバール和の増大抑制とを両立させ
るには、第１レンズ群Ｇ１が少なくとも４枚の正単レン
ズを有するように構成し、各正単レンズに屈折力を分担
させて各レンズ面の曲率を弱く構成するのがよい。この
構成によれば、従来の埋め込みレンズに見られるような
特殊な加工形状を回避することができるので、レンズ加
工が容易になる。

【００１５】なお、第１レンズ群Ｇ１の構成においてペ
ッツバール和の増大抑制を優先した分だけ、色収差が補
正不足になり易い。そこで、正の屈折力を有する第２レ
ンズ群Ｇ２では、軸上色収差はもとより、色による球面
収差の乱れを補正するために、複数の接合レンズを有す
る構成を採用している。

【００１６】さらに、これら２つの正屈折力のレンズ群
の像側に配置された第３レンズ群Ｇ３には負の屈折力を
付与することによって、レンズ系全体の屈折力配置を整
えながら、所望の倍率を得るとともに、像面平坦性のた
めにペッツバール和を補正するようにしている。第３レ
ンズ群Ｇ３では、物体側に配置された２つのレンズ群よ
りも細くなった光束が通過するので、球面収差等への影
響が小さく、像面湾曲を補正するのに適している。

【００１７】なお、第２レンズ群Ｇ２に関しては、以下
に説明する理由により、物体側から順に正レンズと負レ
ンズと正レンズとの貼り合わせからなる３枚接合レンズ
を有する構成が好ましい。上述のように、第２レンズ群
Ｇ２では、特に第１レンズ群Ｇ１で発生する色収差を補
正している。したがって、色収差の補正という観点だけ
に着目すれば、複数の２枚接合レンズで第２レンズ群Ｇ
２を構成することもできる。しかしながら、第２レンズ
群Ｇ２が正負正の３枚接合レンズを有することにより、
第２レンズ群Ｇ２のレンズ厚を大きくすることなく、色
収差を効率良く補正することが可能になる。

【００１８】すなわち、対物レンズの全長が顕微鏡本体
のメカ構成により制約を受けるので、第２レンズ群Ｇ２
のレンズ厚を小さくすることができる分だけ、第３レン
ズ群Ｇ３のレンズ厚に余裕ができることになる。したが
って、ペッツバール和の補正のために第３レンズ群Ｇ３
において短い距離で急激に光束を絞る構成を採用する必
要がなくなり、第３レンズ群Ｇ３でのコマ収差の発生量
を抑えることが可能となる。その結果、コマ収差のより
良好な補正とペッツバール和のより良好な補正との両立
が可能となり、視野周辺での像質の低下を防ぐことがで
きる。

【００１９】また、本発明においては、ぺッツバール和
の補正と色収差の補正との両立を良好なバランスで達成
するために、第１レンズ群Ｇ１中のすべての正レンズの
アッベ数が５０以上であることが好ましい。

【００２０】以下、本発明の条件式について説明する。
本発明においては、上述の構成に加えて、次の条件式
（１）を満足することが望ましい。１．２＜ｆ１／ｆ＜３．５（１）ここで、ｆ１：第１レンズ群Ｇ１の焦点距離ｆ：対物レンズ全系の焦点距離

【００２１】条件式（１）は、第１レンズ群Ｇ１の焦点
距離について適切な範囲を規定している。条件式（１）
の下限値を下回ると、第１レンズ群Ｇ１の屈折力が強く
なりすぎて、ペッツバール和が補正不足になるばかりで
なく、コマ収差の補正も困難となるので好ましくない。
一方、条件式（１）の上限値を上回ると、第１レンズ群
Ｇ１の屈折力が弱くなりすぎて、ペッツバール和の補正
には都合がよいが、二次分散や色の球面収差の補正が困
難となるので好ましくない。

【００２２】また、本発明においては、次の条件式
（２）を満足することが望ましい。５＜｜ｆ３｜／ｆ＜２５（２）ここで、ｆ３：第３レンズ群Ｇ３の焦点距離

【００２３】条件式（２）は、第３レンズ群Ｇ３の焦点
距離について適切な範囲を規定している。条件式（２）
の下限値を下回ると、第３レンズ群Ｇ３の屈折力が強く
なりすぎて、ペッツバール和の補正には都合がよいが、
コマ収差の補正が困難となるので好ましくない。一方、
条件式（２）の上限値を上回ると、第３レンズ群Ｇ３の
屈折力が弱くなりすぎて、コマ収差の補正には都合が良
いが、ペッツバール和を十分に補正することができなく
なるので好ましくない。

【００２４】また、本発明においては、次の条件式
（３）を満足することが望ましい。１．０＜ｆ11／ｆ＜３．５（３）ここで、ｆ11：第１レンズ群Ｇ１中の最も物体側のレンズＬ11の
焦点距離

【００２５】条件式（３）は、第１レンズ群Ｇ１中の最
も物体側のレンズＬ11の焦点距離について適切な範囲を
規定している。高倍率の顕微鏡対物レンズにおける視野
周辺の像質に関しては、上述のとおり一般的に開口数が
大きいので、像面平坦性と深い関係にあるペッツバール
和の補正はもとより、コマ収差の良好な補正が重要であ
る。したがって、本発明においては、第１レンズ群Ｇ１
中の最も物体側の正レンズＬ11の像側の面で発生するサ
ジタルコマ収差による視野周辺の像質の低下への影響を
考慮し、正レンズＬ11の屈折力をサジタルコマ収差の補
正に適した範囲に規定することが好ましい。

【００２６】条件式（３）の下限値を下回ると、正レン
ズＬ11の屈折力が強くなりすぎて、ペッツバール和が補
正不足になるばかりではなく、サジタルコマ収差の補正
が困難となるので好ましくない。一方、条件式（３）の
上限値を上回ると、正レンズＬ11の屈折力が弱くなりす
ぎて、ペッツバール和およびサジタルコマ収差の補正に
は都合がよいが、二次分散等の色収差の補正が困難とな
るので好ましくない。

【００２７】

【実施例】以下、本発明の実施例を、添付図面に基づい
て説明する。各実施例において、本発明の液浸系顕微鏡
対物レンズは、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１
と、正の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、負の屈折
力を有する第３レンズ群Ｇ３とを備えている。そして、
第１レンズ群Ｇ１は４枚の正単レンズから構成され、第
２レンズ群Ｇ２は２つの接合レンズから構成されてい
る。

【００２８】各実施例の顕微鏡対物レンズは、浸液とし
て油（オイル）を用いた油浸系であり、油浸液のｄ線
（λ＝５８７．６ｎｍ）に対する屈折率は１．５１５３
６であり、油浸液のアッベ数は４１．３６１である。ま
た、各実施例におけるカバーガラスの厚さは０．１７ｍ
ｍであり、カバーガラスのｄ線に対する屈折率は１．５
２２１６であり、カバーガラスのアッベ数は５８．８０
２である。

【００２９】なお、各実施例において、顕微鏡対物レン
ズは無限遠設計されているので、顕微鏡対物レンズの像
側に結像レンズ（第２対物レンズ）を配置し、顕微鏡対
物レンズと結像レンズとを組み合わせて用いる。以下の
各実施例において示す諸収差図は、顕微鏡対物レンズと
結像レンズとの軸上空気間隔が１４０ｍｍの場合の諸収
差図である。ただし、軸上空気間隔がある程度変化して
も、収差の変動がほとんどないことを本発明者は検証し
ている。

【００３０】図５は、各実施例における結像レンズの構
成を示す図である。図５に示すように、各実施例におけ
る結像レンズは、物体側から順に、両凸レンズと両凹レ
ンズとの接合正レンズＧ４と、両凸レンズと両凹レンズ
との接合正レンズＧ５とから構成されている。次の表
（１）に、各実施例における結像レンズの諸元の値を掲
げる。表（１）において、左端の数字は物体側からの各
レンズ面の順序を、ｒは各レンズ面の曲率半径を、ｄは
各レンズ面間隔を、ｎはｄ線（λ＝５８７．６ｎｍ）に
対する屈折率を、νはアッベ数をそれぞれ示している。

【００３１】

【表１】ｒｄｎ ν 1 75.0430 5.10 1.62280 57.033 （Ｇ４） 2 -75.0430 2.00 1.74950 35.189 3 1600.5800 7.50 4 50.2560 5.10 1.66755 41.963 （Ｇ５） 5 -84.5410 1.80 1.61266 44.402 6 36.9110

【００３２】〔第１実施例〕図１は、本発明の第１実施
例にかかる油浸系顕微鏡対物レンズの構成を示す図であ
る。図１の顕微鏡対物レンズにおいて、第１レンズ群Ｇ
１は、物体側から順に、物体側に平面を向けた平凸レン
ズＬ11、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ1
2、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ13、お
よび両凸レンズＬ14から構成されている。

【００３３】また、第２レンズ群Ｇ２は、物体側から順
に、両凹レンズと両凸レンズとの貼り合わせからなる２
枚接合正レンズＬ21、および両凸レンズと両凹レンズと
両凸レンズとの貼り合わせからなる３枚接合正レンズＬ
22から構成されている。さらに、第３レンズ群Ｇ３は、
物体側から順に、両凸レンズと両凹レンズとの接合負レ
ンズＬ31、物体側の面により強い負の屈折力を有する両
凹レンズＬ32、および両凸レンズＬ33から構成されてい
る。なお、以下の表（２）に示すように、第１レンズ群
Ｇ１中のすべての正レンズ（Ｌ11〜Ｌ14）のアッベ数は
５０以上である。

【００３４】次の表（２）に、本発明の第１実施例の諸
元の値を掲げる。表（２）において、ｆは対物レンズの
みの焦点距離を、ＮＡは開口数を、βは結像レンズを用
いた際の倍率を、ＷＤは作動距離をそれぞれ表してい
る。さらに、左端の数字は物体側からの各レンズ面の順
序を、ｒは各レンズ面の曲率半径を、ｄは各レンズ面間
隔を、ｎはｄ線（λ＝５８７．６ｎｍ）に対する屈折率
を、νはアッベ数をそれぞれ示している。

【００３５】

【表２】ｆ＝２ＮＡ＝１．３ β ＝１００ＷＤ＝０．２４ｒｄｎ ν 1 ∞ 2.65 1.51823 58.903 （Ｇ１） 2 -2.4297 0.10 3 -5.4502 2.80 1.49782 82.516 4 -4.6102 0.10 5 -17.0995 3.10 1.49782 82.516 6 -8.2704 0.15 7 81.5350 3.55 1.49782 82.516 8 -16.2608 0.15 9 -849.8300 0.90 1.52682 51.352 （Ｇ２） 10 11.8003 7.20 1.43385 95.247 11 -15.3747 0.20 12 21.1997 4.85 1.43385 95.247 13 -14.7404 0.90 1.61266 44.405 14 10.7507 4.35 1.43385 95.247 15 -28.0950 2.00 16 8.2497 4.10 1.49782 82.516 （Ｇ３） 17 -29.5100 7.65 1.52682 51.352 18 2.8018 1.95 19 -2.4297 1.00 1.51823 58.903 20 136.2550 6.90 21 63.0110 1.75 1.57501 41.421 22 -12.6101 （条件式対応値）（１）ｆ１／ｆ＝２．４８２（２）｜ｆ３｜／ｆ＝８．１２２（３）ｆ11／ｆ＝２．３３８

【００３６】図２は、第１実施例における諸収差図であ
る。各収差図において、ＮＡは開口数を、Ｙは像高を、
ｄはｄ線（λ＝５８７．６ｎｍ）を、ＣはＣ線（λ＝６
５６．３ｎｍ）を、ＦはＦ線（λ＝４８６．１ｎｍ）
を、ｇはｇ線（λ＝４３５．８ｎｍ）をそれぞれ示して
いる。また、非点収差図および歪曲収差図は、基準光線
としてのｄ線に対する収差を示している。さらに、非点
収差図において、実線はサジタル像面を、破線はメリデ
ィオナル像面をそれぞれ示している。また、コマ収差図
は、像高Ｙ＝９におけるコマ収差を示している。

【００３７】各収差図から明らかなように、第１実施例
では、諸収差が良好に補正されていることがわかる。特
に、ｇ線からＣ線までの広い波長範囲に亘って、球面収
差およびコマ収差が良好に補正されていることがわか
る。また、第１実施例では、ぺッツバール和が０．０３
６と小さく抑えられている。したがって、第１実施例の
顕微鏡対物レンズでは、像面の平坦性が良く、且つ視野
周辺でも像質が良好である。

【００３８】〔第２実施例〕図３は、本発明の第２実施
例にかかる油浸系顕微鏡対物レンズの構成を示す図であ
る。図３の微鏡対物レンズにおいて、第１レンズ群Ｇ１
は、物体側から順に、物体側に平面を向けた平凸レンズ
Ｌ11、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ12、
物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ13、および
両凸レンズＬ14から構成されている。

【００３９】また、第２レンズ群Ｇ２は、物体側から順
に、両凹レンズと両凸レンズとの貼り合わせからなる２
枚接合正レンズＬ21、および両凸レンズと両凹レンズと
両凸レンズとの貼り合わせからなる３枚接合正レンズＬ
22から構成されている。さらに、第３レンズ群Ｇ３は、
物体側から順に、両凸レンズと両凹レンズとの接合負レ
ンズＬ31、物体側の面により強い負の屈折力を有する両
凹レンズＬ32、および両凸レンズＬ33から構成されてい
る。なお、以下の表（３）に示すように、第１レンズ群
Ｇ１中のすべての正レンズ（Ｌ11〜Ｌ14）のアッベ数は
５０以上である。

【００４０】次の表（３）に、本発明の第２実施例の諸
元の値を掲げる。表（３）において、ｆは対物レンズの
みの焦点距離を、ＮＡは開口数を、βは結像レンズを用
いた際の倍率を、ＷＤは作動距離をそれぞれ表してい
る。さらに、左端の数字は物体側からの各レンズ面の順
序を、ｒは各レンズ面の曲率半径を、ｄは各レンズ面間
隔を、ｎはｄ線（λ＝５８７．６ｎｍ）に対する屈折率
を、νはアッベ数をそれぞれ示している。

【００４１】

【表３】ｆ＝２ＮＡ＝１．３ β ＝１００ＷＤ＝０．２４ｒｄｎ ν 1 ∞ 2.70 1.51823 58.903 （Ｇ１） 2 -2.3003 0.10 3 -6.4596 2.65 1.60300 65.416 4 -5.0303 0.10 5 -18.3008 2.80 1.49782 82.516 6 -8.1504 0.10 7 125.7841 2.70 1.49782 82.516 8 -16.2893 0.10 9 -54.2889 0.90 1.52682 51.352 （Ｇ２） 10 11.2832 6.70 1.43385 95.247 11 -13.0155 0.20 12 19.0260 4.20 1.43385 95.247 13 -18.0032 0.90 1.61266 44.405 14 8.7079 4.60 1.43385 95.247 15 -22.3810 2.00 16 8.0827 3.95 1.49782 82.516 （Ｇ３） 17 -18.0000 7.59 1.52682 51.352 18 2.6167 1.22 19 -2.4845 1.17 1.51823 58.903 20 506.2248 8.75 21 131.1915 1.60 1.57501 41.421 22 -13.6910 （条件式対応値）（１）ｆ１／ｆ＝２．２１４（２）｜ｆ３｜／ｆ＝８．０１６（３）ｆ11／ｆ＝２．２１１

【００４２】図４は、第２実施例における諸収差図であ
る。各収差図において、ＮＡは開口数を、Ｙは像高を、
ｄはｄ線（λ＝５８７．６ｎｍ）を、ＣはＣ線（λ＝６
５６．３ｎｍ）を、ＦはＦ線（λ＝４８６．１ｎｍ）
を、ｇはｇ線（λ＝４３５．８ｎｍ）をそれぞれ示して
いる。また、非点収差図および歪曲収差図は、基準光線
としてのｄ線に対する収差を示している。さらに、非点
収差図において、実線はサジタル像面を、破線はメリデ
ィオナル像面をそれぞれ示している。また、コマ収差図
は、像高Ｙ＝９におけるコマ収差を示している。

【００４３】各収差図から明らかなように、第２実施例
では、諸収差が良好に補正されていることがわかる。特
に、ｇ線からＣ線までの広い波長範囲に亘って、球面収
差およびコマ収差が良好に補正されていることがわか
る。また、第２実施例では、ぺッツバール和が０．０４
２と小さく抑えられている。したがって、第２実施例の
顕微鏡対物レンズにおいても、像面の平坦性が良く、且
つ視野周辺でも像質が良好である。

【００４４】なお、上述の各実施例では、浸液として油
（オイル）を用いた油浸系の顕微鏡対物レンズについて
本発明を説明しているが、たとえば水のような他の浸液
を用いた一般の液浸系顕微鏡対物レンズに本発明を適用
することができることは明らかである。

【００４５】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
レンズ加工が比較的容易で、像面の平坦性が良く補正さ
れ、且つ視野周辺でも像質が良好な高倍率の液浸系顕微
鏡対物レンズを実現することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例にかかる油浸系顕微鏡対物
レンズの構成を示す図である。

【図２】第１実施例における諸収差図である。

【図３】本発明の第２実施例にかかる油浸系顕微鏡対物
レンズの構成を示す図である。

【図４】第２実施例における諸収差図である。

【図５】各実施例における結像レンズの構成を示す図で
ある。

【符号の説明】

Ｇ１第１レンズ群Ｇ２第２レンズ群Ｇ３第３レンズ群Ｌ各レンズ成分

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】物体側から順に、正の屈折力を有する第
１レンズ群Ｇ１と、正の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ
２と、負の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３とを備え、前記第１レンズ群Ｇ１は、４枚の正単レンズを有し、前記第２レンズ群Ｇ２は、複数の接合レンズを有するこ
とを特徴とする液浸系顕微鏡対物レンズ。
【請求項２】前記第２レンズ群Ｇ２は、物体側から順
に、正レンズと負レンズと正レンズとの貼り合わせから
なる３枚接合レンズを有することを特徴とする請求項１
に記載の液浸系顕微鏡対物レンズ。
【請求項３】前記第１レンズ群Ｇ１の焦点距離をｆ１
とし、前記対物レンズ全系の焦点距離をｆとしたとき、１．２＜ｆ１／ｆ＜３．５の条件を満足することを特徴とする請求項１または２に
記載の液浸系顕微鏡対物レンズ。
【請求項４】前記第３レンズ群Ｇ３の焦点距離をｆ３
とし、前記対物レンズ全系の焦点距離をｆとしたとき、５＜｜ｆ３｜／ｆ＜２５の条件を満足することを特徴とする請求項１乃至３のい
ずれか１項に記載の液浸系顕微鏡対物レンズ。
【請求項５】前記第１レンズ群Ｇ１中のすべての正レ
ンズのアッベ数は５０以上であることを特徴とする請求
項１乃至４のいずれか１項に記載の液浸系顕微鏡対物レ
ンズ。
【請求項６】前記第１レンズ群Ｇ１中の最も物体側の
レンズＬ11の焦点距離をｆ11とし、前記対物レンズ全系
の焦点距離をｆとしたとき、１．０＜ｆ11／ｆ＜３．５の条件を満足することを特徴とする請求項１乃至５のい
ずれか１項に記載の液浸系顕微鏡対物レンズ。