JPH118499A - ペースト塗布装置 - Google Patents
ペースト塗布装置Info
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- JPH118499A JPH118499A JP9173295A JP17329597A JPH118499A JP H118499 A JPH118499 A JP H118499A JP 9173295 A JP9173295 A JP 9173295A JP 17329597 A JP17329597 A JP 17329597A JP H118499 A JPH118499 A JP H118499A
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- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/10—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern
- H05K3/12—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using thick film techniques, e.g. printing techniques to apply the conductive material or similar techniques for applying conductive paste or ink patterns
- H05K3/1241—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using thick film techniques, e.g. printing techniques to apply the conductive material or similar techniques for applying conductive paste or ink patterns by ink-jet printing or drawing by dispensing
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- Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ワーク支持機構に用いるステージに、新た
に、傾斜角度を付けることが可能な傾斜ステージを用
い、ワークを傾斜した状態で塗布を行うようにして位置
決めを簡略化する。 【解決手段】 高精度位置決め駆動が可能な（Ｘ軸１
３、Ｙ軸１２、θ軸１１の３軸）ステージで構成された
ワーク支持機構と、Ｚ軸移動機構７に支持され、かつ、
角度を自由に設置できるブラケット６で支持されたニー
ドル付帯シリンジ３とからなり、ワーク位置検出機構に
ＣＣＤカメラ１による画像処理を用いる。前記ワーク支
持機構のステージであるＸ，Ｙ，θの３軸のステージ構
成に、傾斜角度を付けることが可能な傾斜ステージを設
け、対象ワークを傾斜方向に駆動して該ワークに傾きを
もたせ、前記ＣＣＤカメラを直線駆動の１軸ステージに
て駆動しながら動画像処理を行う。
に、傾斜角度を付けることが可能な傾斜ステージを用
い、ワークを傾斜した状態で塗布を行うようにして位置
決めを簡略化する。 【解決手段】 高精度位置決め駆動が可能な（Ｘ軸１
３、Ｙ軸１２、θ軸１１の３軸）ステージで構成された
ワーク支持機構と、Ｚ軸移動機構７に支持され、かつ、
角度を自由に設置できるブラケット６で支持されたニー
ドル付帯シリンジ３とからなり、ワーク位置検出機構に
ＣＣＤカメラ１による画像処理を用いる。前記ワーク支
持機構のステージであるＸ，Ｙ，θの３軸のステージ構
成に、傾斜角度を付けることが可能な傾斜ステージを設
け、対象ワークを傾斜方向に駆動して該ワークに傾きを
もたせ、前記ＣＣＤカメラを直線駆動の１軸ステージに
て駆動しながら動画像処理を行う。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ペースト塗布装
置、より詳細には、ディスペンサーを用いたペースト塗
布装置に関し、特に、電極形成や電極導通などに用いる
銀ペーストの精密塗布に関するものであるが、銀ペース
ト以外の液体や流体、すなわち、接着剤やクリーム半田
など精密塗布を行うペースト塗布装置において、特に、
線引き塗布を精密に行う場合等に適用して好適なもので
ある。
置、より詳細には、ディスペンサーを用いたペースト塗
布装置に関し、特に、電極形成や電極導通などに用いる
銀ペーストの精密塗布に関するものであるが、銀ペース
ト以外の液体や流体、すなわち、接着剤やクリーム半田
など精密塗布を行うペースト塗布装置において、特に、
線引き塗布を精密に行う場合等に適用して好適なもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】特開平６−３３４３１９号公報（接着剤
塗布装置）には、回路基板上に電子部品を固定するため
の接着剤を塗布する接着剤塗布装置に関し、接着剤の塗
布状態を認識、検査する際に、複雑な回路基板の背景か
ら接着剤のみを明確に確認し、接着剤塗布量を精度良く
コントロールし、安定した塗布が実現できる接着剤塗布
装置が開示されている。
塗布装置）には、回路基板上に電子部品を固定するため
の接着剤を塗布する接着剤塗布装置に関し、接着剤の塗
布状態を認識、検査する際に、複雑な回路基板の背景か
ら接着剤のみを明確に確認し、接着剤塗布量を精度良く
コントロールし、安定した塗布が実現できる接着剤塗布
装置が開示されている。
【０００３】また、特開平５−９０７９９号公報（プリ
ント基板への接着剤付着方法及び装置）には、機械の複
雑化を招くことなく、個々のプリント基板とディスペン
サーとの位置関係を画像処理を利用して補正し、高精度
で、高能率の接着剤付着作業を実施可能とする接着剤塗
布装置が開示されている。
ント基板への接着剤付着方法及び装置）には、機械の複
雑化を招くことなく、個々のプリント基板とディスペン
サーとの位置関係を画像処理を利用して補正し、高精度
で、高能率の接着剤付着作業を実施可能とする接着剤塗
布装置が開示されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述のように、ディス
ペンサーを用いる塗布装置はいくつか存在するが、微小
な部品の電極接続、電極形成などを行える精密塗布装置
は現存していない。特に、ＰＺＴ方式のインクジェット
プリンターヘッドの電極形成に用いることが可能な精
度、±２５μｍの位置決め精度を持つ塗布装置は存在し
ない。現状では、人手による塗布が行われており、塗布
の安定性、タクトタイムの長大、歩留まりの低下などの
問題がある。また、量産設備に用いることを検討する
と、さらに組立部品の品質管理や、自動量産ラインへの
対応、安全性の確保などが必要となる。そこで、本発明
では上記のような問題点を解決するペースト塗布装置の
開発を目的とする。
ペンサーを用いる塗布装置はいくつか存在するが、微小
な部品の電極接続、電極形成などを行える精密塗布装置
は現存していない。特に、ＰＺＴ方式のインクジェット
プリンターヘッドの電極形成に用いることが可能な精
度、±２５μｍの位置決め精度を持つ塗布装置は存在し
ない。現状では、人手による塗布が行われており、塗布
の安定性、タクトタイムの長大、歩留まりの低下などの
問題がある。また、量産設備に用いることを検討する
と、さらに組立部品の品質管理や、自動量産ラインへの
対応、安全性の確保などが必要となる。そこで、本発明
では上記のような問題点を解決するペースト塗布装置の
開発を目的とする。
【０００５】（請求項１の発明の目的）従来、ＰＺＴの
端面電極と基板電極の接続は、斜め方向に配置したニー
ドルで銀ペーストなどのペースト材を塗布していたが、
基板電極側に流れ出すペースト材を制御するにはニード
ル検出精度、ワーク検出精度が高精度に検出できなけれ
ば制御不可能となる。また、ペースト材の粘度などの品
質管理、ディスペンサー吐出圧の管理が非常に困難であ
る。そこで、請求項１の発明は、ワーク支持機構に用い
るステージに、新たに傾斜角度を付けることが可能な傾
斜ステージを用い、ペースト材の粘度やディスペンサー
吐出圧にマージンを設けることを目的とする。ワークを
傾斜した状態で塗布を行うのでＶ字溝に塗布することと
同義になり、位置決めが簡略化される。
端面電極と基板電極の接続は、斜め方向に配置したニー
ドルで銀ペーストなどのペースト材を塗布していたが、
基板電極側に流れ出すペースト材を制御するにはニード
ル検出精度、ワーク検出精度が高精度に検出できなけれ
ば制御不可能となる。また、ペースト材の粘度などの品
質管理、ディスペンサー吐出圧の管理が非常に困難であ
る。そこで、請求項１の発明は、ワーク支持機構に用い
るステージに、新たに傾斜角度を付けることが可能な傾
斜ステージを用い、ペースト材の粘度やディスペンサー
吐出圧にマージンを設けることを目的とする。ワークを
傾斜した状態で塗布を行うのでＶ字溝に塗布することと
同義になり、位置決めが簡略化される。
【０００６】（請求項２の発明の目的）従来では、塗布
を行ったペースト材の塗布幅計測や端面塗布の高さ方向
の計測などの塗布形状計測が非常に困難である。そこ
で、請求項２の発明は、上記傾斜ステージによりワーク
を傾斜方向に駆動し、ワークに傾きをもたせた状態で線
引き塗布方向に直線駆動しながら塗布部分の画像を取り
込んで処理する動画像処理を行うことにより、塗布幅や
塗布高さ、塗布形状の測定、検査を行うことを目的とす
る。
を行ったペースト材の塗布幅計測や端面塗布の高さ方向
の計測などの塗布形状計測が非常に困難である。そこ
で、請求項２の発明は、上記傾斜ステージによりワーク
を傾斜方向に駆動し、ワークに傾きをもたせた状態で線
引き塗布方向に直線駆動しながら塗布部分の画像を取り
込んで処理する動画像処理を行うことにより、塗布幅や
塗布高さ、塗布形状の測定、検査を行うことを目的とす
る。
【０００７】（請求項３の発明の目的）請求項３の発明
は、請求項２の発明の方法により塗布形状の検査、測定
を行う際、画像処理用のＣＣＤカメラに自動焦点機能を
持たせることにより、塗布高さ変化量が焦点深度以上に
なる塗布形状の検査測定を行うことを目的とする。
は、請求項２の発明の方法により塗布形状の検査、測定
を行う際、画像処理用のＣＣＤカメラに自動焦点機能を
持たせることにより、塗布高さ変化量が焦点深度以上に
なる塗布形状の検査測定を行うことを目的とする。
【０００８】（請求項４の発明の目的）従来では、ある
ワークの位置検出を行うために設置固定された照明を用
いて形状の異なる他のワークの位置の検出や不規則な立
体形状の計測は非常に困難であった。そこで、請求項４
の発明は、照明を多角度方向に駆動させることにより、
形状の異なるワークの位置検出を可能にすると共に、不
規則な立体形状である塗布形状の計測を行うことを目的
とする。
ワークの位置検出を行うために設置固定された照明を用
いて形状の異なる他のワークの位置の検出や不規則な立
体形状の計測は非常に困難であった。そこで、請求項４
の発明は、照明を多角度方向に駆動させることにより、
形状の異なるワークの位置検出を可能にすると共に、不
規則な立体形状である塗布形状の計測を行うことを目的
とする。
【０００９】（請求項５の発明の目的）請求項５の発明
は、上記画像処理において、画像を撮像した際の輝度情
報をリアルタイムにフィードバックすることにより、照
明輝度を最適にコントロールし、安定した画像処理を行
うことを目的とする。
は、上記画像処理において、画像を撮像した際の輝度情
報をリアルタイムにフィードバックすることにより、照
明輝度を最適にコントロールし、安定した画像処理を行
うことを目的とする。
【００１０】（請求項６の発明の目的）従来では、吐出
量の管理はオペレータが手動により吐出重量を測定する
ことにより行っていたが、請求項６の発明は、精密な電
子天秤をシリンジ交換ステージ駆動上もしくは交換作業
位置上に設置することにより、銀ペーストなどペースト
材の吐出重量を自動で測定し、塗布量管理を行うこを目
的とする。
量の管理はオペレータが手動により吐出重量を測定する
ことにより行っていたが、請求項６の発明は、精密な電
子天秤をシリンジ交換ステージ駆動上もしくは交換作業
位置上に設置することにより、銀ペーストなどペースト
材の吐出重量を自動で測定し、塗布量管理を行うこを目
的とする。
【００１１】（請求項７の発明の目的）従来では、シリ
ンジの脱泡作業はオペレータが手動により行っていた
が、請求項７の発明は、シリンジ交換ステージ駆動上も
しくは交換作業位置上に遠心分離器を設置することによ
り、ペースト材の脱泡作業を自動で行うことを目的とす
る。
ンジの脱泡作業はオペレータが手動により行っていた
が、請求項７の発明は、シリンジ交換ステージ駆動上も
しくは交換作業位置上に遠心分離器を設置することによ
り、ペースト材の脱泡作業を自動で行うことを目的とす
る。
【００１２】（請求項８の発明の目的）従来では、冷凍
保存されたペースト材料をオペレータが取り出し、冷凍
解凍を行っていたが、請求項８の発明は、冷凍装置から
自動でシリンジを取り出し、解凍作業も自動で行うこと
によりタクト短縮を目的とする。
保存されたペースト材料をオペレータが取り出し、冷凍
解凍を行っていたが、請求項８の発明は、冷凍装置から
自動でシリンジを取り出し、解凍作業も自動で行うこと
によりタクト短縮を目的とする。
【００１３】（請求項９の発明の目的）請求項９の発明
は、装置外周上に光電センサなどの検出器をとりつける
ことにより、動作中の塗布装置内にオペレータが誤って
侵入したときに塗布装置を安全に停止することを目的と
する。
は、装置外周上に光電センサなどの検出器をとりつける
ことにより、動作中の塗布装置内にオペレータが誤って
侵入したときに塗布装置を安全に停止することを目的と
する。
【００１４】（請求項１０の発明の目的）請求項１０の
発明は、ニードルの洗浄機能を具備することにより、規
定のペースト材を塗布し終えたニードルを洗浄し再利用
することを目的とする。
発明は、ニードルの洗浄機能を具備することにより、規
定のペースト材を塗布し終えたニードルを洗浄し再利用
することを目的とする。
【００１５】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、高精
度位置決め駆動が可能なＸ軸、Ｙ軸、及び、θ軸の３軸
ステージで構成されたワーク支持機構と、Ｚ軸移動機構
に支持され、かつ、角度を自由に設置できるブラケット
で支持されたニードル付帯シリンジとからなり、ワーク
位置検出機構にＣＣＤカメラによる画像処理を用いたペ
ースト塗布装置において、前記ワーク支持機構のステー
ジであるＸ，Ｙ，θの３軸のステージ構成に、傾斜角度
を付けることが可能な傾斜ステージを設けたことを特徴
とし、もって、ワークス支持機構にあおり角度を付ける
ことが可能な傾斜ステージを用いることにより、位置決
めを簡略化し、ペースト材の粘度やディスペンサー吐出
圧にマージンを設けることを可能とし、装置の簡略化や
工程短縮、コスト削減などを図ったものである。
度位置決め駆動が可能なＸ軸、Ｙ軸、及び、θ軸の３軸
ステージで構成されたワーク支持機構と、Ｚ軸移動機構
に支持され、かつ、角度を自由に設置できるブラケット
で支持されたニードル付帯シリンジとからなり、ワーク
位置検出機構にＣＣＤカメラによる画像処理を用いたペ
ースト塗布装置において、前記ワーク支持機構のステー
ジであるＸ，Ｙ，θの３軸のステージ構成に、傾斜角度
を付けることが可能な傾斜ステージを設けたことを特徴
とし、もって、ワークス支持機構にあおり角度を付ける
ことが可能な傾斜ステージを用いることにより、位置決
めを簡略化し、ペースト材の粘度やディスペンサー吐出
圧にマージンを設けることを可能とし、装置の簡略化や
工程短縮、コスト削減などを図ったものである。
【００１６】請求項２の発明は、請求項１の発明におい
て、対象ワークを傾斜方向に駆動して該ワークに傾きを
もたせ、前記ＣＣＤカメラを直線駆動の１軸ステージに
て駆動しながら動画像処理を行うことを特徴とし、もっ
て、ワークに傾きをもたせ、ＣＣＤカメラを一軸駆動で
直線駆動しながら塗布部分の画像を取り込み処理する動
画像処理を行うことにより、塗布幅や塗布高さ、塗布形
状の測定を可能とし、塗布状態の検査、測定を自動で行
い、検査工程を短縮するようにしたものである。
て、対象ワークを傾斜方向に駆動して該ワークに傾きを
もたせ、前記ＣＣＤカメラを直線駆動の１軸ステージに
て駆動しながら動画像処理を行うことを特徴とし、もっ
て、ワークに傾きをもたせ、ＣＣＤカメラを一軸駆動で
直線駆動しながら塗布部分の画像を取り込み処理する動
画像処理を行うことにより、塗布幅や塗布高さ、塗布形
状の測定を可能とし、塗布状態の検査、測定を自動で行
い、検査工程を短縮するようにしたものである。
【００１７】請求項３の発明は、請求項２の発明におい
て、前記ＣＣＤカメラの焦点を塗布面にオートフォーカ
スするようにしたことを特徴とし、もって、測定を行う
際、画像処理用のＣＣＤカメラに自動焦点機能を持たせ
ることにより様々な塗布形状の検査を行うことを可能と
し、多品種対応を可能としたものである。
て、前記ＣＣＤカメラの焦点を塗布面にオートフォーカ
スするようにしたことを特徴とし、もって、測定を行う
際、画像処理用のＣＣＤカメラに自動焦点機能を持たせ
ることにより様々な塗布形状の検査を行うことを可能と
し、多品種対応を可能としたものである。
【００１８】請求項４の発明は、請求項１の発明におい
て、画像処理用照明に多角度方向に駆動可能なステージ
を付加させたことを特徴とし、もって、照明を多角度方
向に駆動させることにより、形状の異なるワークの位置
検出を可能にするとともに、不規則な立体形状である塗
布形状の測定、検査を可能とし、自動検査、多品種対応
などを可能としたものである。
て、画像処理用照明に多角度方向に駆動可能なステージ
を付加させたことを特徴とし、もって、照明を多角度方
向に駆動させることにより、形状の異なるワークの位置
検出を可能にするとともに、不規則な立体形状である塗
布形状の測定、検査を可能とし、自動検査、多品種対応
などを可能としたものである。
【００１９】請求項５の発明は、請求項１の発明におい
て、画像の輝度情報をリアルタイムでフィードバックす
る機能を有することを特徴とし、もって、画像を撮像し
た際の輝度情報をリアルタイムにフィードバックするこ
とにより、照明輝度を最適にコントロールし、安定した
画像処理を行うことができ、外環境の照明変化に追従し
て２４時間稼動を可能としたものである。
て、画像の輝度情報をリアルタイムでフィードバックす
る機能を有することを特徴とし、もって、画像を撮像し
た際の輝度情報をリアルタイムにフィードバックするこ
とにより、照明輝度を最適にコントロールし、安定した
画像処理を行うことができ、外環境の照明変化に追従し
て２４時間稼動を可能としたものである。
【００２０】請求項６の発明は、請求項１の発明におい
て、シリンジ交換用移動ステージを有し、そのステージ
駆動上もしくはシリンジ交換作業位置上に高精度な電子
天秤を設置したことを特徴とし、もって、精密な電子天
秤を設置することにより、シリンジ交換時のペースト材
の塗布重量管理を人手を介さないで自動で行うことを可
能とし、人件費の低減や工程の減少を図ったものであ
る。
て、シリンジ交換用移動ステージを有し、そのステージ
駆動上もしくはシリンジ交換作業位置上に高精度な電子
天秤を設置したことを特徴とし、もって、精密な電子天
秤を設置することにより、シリンジ交換時のペースト材
の塗布重量管理を人手を介さないで自動で行うことを可
能とし、人件費の低減や工程の減少を図ったものであ
る。
【００２１】請求項７の発明は、請求項１の発明におい
て、上記シリンジ交換用移動ステージ駆動上もしくはシ
リンジ交換作業位置上に遠心分離器、特に、自転公転型
遠心分離器を設置したことを特徴とし、もって、遠心分
離器を設置することにより、ペースト材の自動脱泡を可
能とし、人件費の低減や工程の減少を図ったものであ
る。
て、上記シリンジ交換用移動ステージ駆動上もしくはシ
リンジ交換作業位置上に遠心分離器、特に、自転公転型
遠心分離器を設置したことを特徴とし、もって、遠心分
離器を設置することにより、ペースト材の自動脱泡を可
能とし、人件費の低減や工程の減少を図ったものであ
る。
【００２２】請求項８の発明は、請求項１の発明におい
て、ペースト材を詰めた状態で冷凍保存してあるシリン
ジを冷凍装置から自動で取り出し、自動で解凍する機能
を具備したことを特徴とし、もって、冷凍装置から自動
でシリンジを取り出し解凍作業を行うことにより、人件
費の低減や工程の減少を図ったものである。
て、ペースト材を詰めた状態で冷凍保存してあるシリン
ジを冷凍装置から自動で取り出し、自動で解凍する機能
を具備したことを特徴とし、もって、冷凍装置から自動
でシリンジを取り出し解凍作業を行うことにより、人件
費の低減や工程の減少を図ったものである。
【００２３】請求項９の発明は、請求項１の発明におい
て、装置の外周上にセンサ侵入者検知を付加し、該セン
サが作動した時に装置を停止するようにしたことを特徴
とし、もって、装置外周上に光電センサなどの検出器を
取り付けることにより、動作中の塗布装置内にオペレー
タが誤って侵入した際に装置を安全に停止し、オペレー
タの安全を確保できるようにしたものである。
て、装置の外周上にセンサ侵入者検知を付加し、該セン
サが作動した時に装置を停止するようにしたことを特徴
とし、もって、装置外周上に光電センサなどの検出器を
取り付けることにより、動作中の塗布装置内にオペレー
タが誤って侵入した際に装置を安全に停止し、オペレー
タの安全を確保できるようにしたものである。
【００２４】請求項１０の発明は、請求項１の発明にお
いて、自動ニードル洗浄機能を具備したことを特徴と
し、もって、ニードル洗浄機能を具備することにより、
規定の台数分のペースト材を塗布し終えたニードルを洗
浄し再利用することを可能とし、コストの低減を図った
ものである。
いて、自動ニードル洗浄機能を具備したことを特徴と
し、もって、ニードル洗浄機能を具備することにより、
規定の台数分のペースト材を塗布し終えたニードルを洗
浄し再利用することを可能とし、コストの低減を図った
ものである。
【００２５】
【発明の実施の形態】図１は、本発明が適用される銀ペ
ースト塗布装置の基本構成を示す側面図、図２は、図１
をII−II方向から見た図で、図示のように、ディスペン
サーに接続してある垂直シリンジ３がシリンジ固定用ブ
ラケット６により装置に固定されており、該シリンジ３
には垂直ニードル５が取り付けられており、該ニードル
５の先端は垂直ニードル固定用ブラケット４により固定
される。また、シリンジ固定用ブラケット６は斜めシリ
ンジ８を配置できる構成になっており、その角度θは自
由に設定できる。斜めニードル１０はＣＣＤカメラ１の
撮像視野に収まるように、斜めシリンジ固定用ブラケッ
ト９により固定される。
ースト塗布装置の基本構成を示す側面図、図２は、図１
をII−II方向から見た図で、図示のように、ディスペン
サーに接続してある垂直シリンジ３がシリンジ固定用ブ
ラケット６により装置に固定されており、該シリンジ３
には垂直ニードル５が取り付けられており、該ニードル
５の先端は垂直ニードル固定用ブラケット４により固定
される。また、シリンジ固定用ブラケット６は斜めシリ
ンジ８を配置できる構成になっており、その角度θは自
由に設定できる。斜めニードル１０はＣＣＤカメラ１の
撮像視野に収まるように、斜めシリンジ固定用ブラケッ
ト９により固定される。
【００２６】ニードルの上昇、下降の駆動にはＺ軸ステ
ージ７を用いる。Ｚ軸ステージ７の分解能は６〔μ
ｍ〕、位置決め精度は±６〔μｍ〕である。ＣＣＤカメ
ラ１はＣＣＤカメラ固定用ブラケット２によって装置に
固定されている。カメラ用の照明１６は照明用ブラケッ
ト１５により固定されており、照明１６は画像処理を行
うにあたり必要十分な輝度を得られるように角度、位置
が構成されている。
ージ７を用いる。Ｚ軸ステージ７の分解能は６〔μ
ｍ〕、位置決め精度は±６〔μｍ〕である。ＣＣＤカメ
ラ１はＣＣＤカメラ固定用ブラケット２によって装置に
固定されている。カメラ用の照明１６は照明用ブラケッ
ト１５により固定されており、照明１６は画像処理を行
うにあたり必要十分な輝度を得られるように角度、位置
が構成されている。
【００２７】塗布対象ワーク（ＰＺＴ方式インクジェッ
トプリンタヘッド）１７はθ軸ステージ１１上に真空吸
着により固定されている。θ軸ステージの下には、Ｙ軸
ステージ１２が配置し、その下にはＸ軸ステージ１３が
配置され、これらがベース１４に固定されており、Ｘ，
Ｙ，θの方向に駆動できる構成になっている。各軸ステ
ージは高分解能、高精度位置決め可能となっている。分
解能、位置決め輝度はそれぞれθ＝３.６〔sec〕、±５
〔sec〕、Ｘ＝０.５〔μｍ〕、±０.５〔μｍ〕、Ｙ＝
０.２５〔μｍ〕、±１〔μｍ〕である。以上のステー
ジでワークの移動を精密に行う。以上の基本構成を持つ
銀ペースト塗布装置を基に、以下、本発明の実施例につ
き、詳細に説明する。
トプリンタヘッド）１７はθ軸ステージ１１上に真空吸
着により固定されている。θ軸ステージの下には、Ｙ軸
ステージ１２が配置し、その下にはＸ軸ステージ１３が
配置され、これらがベース１４に固定されており、Ｘ，
Ｙ，θの方向に駆動できる構成になっている。各軸ステ
ージは高分解能、高精度位置決め可能となっている。分
解能、位置決め輝度はそれぞれθ＝３.６〔sec〕、±５
〔sec〕、Ｘ＝０.５〔μｍ〕、±０.５〔μｍ〕、Ｙ＝
０.２５〔μｍ〕、±１〔μｍ〕である。以上のステー
ジでワークの移動を精密に行う。以上の基本構成を持つ
銀ペースト塗布装置を基に、以下、本発明の実施例につ
き、詳細に説明する。
【００２８】（請求項１の発明）図３は、請求項１記載
のワーク支持機構用傾斜ステージの構成図で、傾斜ステ
ージ１８を図３（Ａ）に示すように、Ｘ軸１３，Ｙ軸１
２，θ軸１１の３軸ステージで構成されているワーク支
持機構の上部に設置し、その傾斜ステージの可動部上面
にワーク１７を吸着させるテーブルを設置する構成とす
る。実際に塗布するときは、傾斜ステージ１８が駆動し
て、図３（Ｂ）に示すように、ワーク１７に傾斜角度を
付けた状態で端面電極−基板電極接続塗布を行う。塗布
用シリンジは垂直シリンジ３を少なくとも１本の構成で
塗布することが可能であり、シリンジ取り付け角度は自
由に設定できる。図３（Ｃ）に図３（Ｂ）のＣ部を拡大
して示すように、銀ペーストなどのペースト材料１９を
塗布することにより、ＰＺＴ２０の端面電極と基板２１
上の電極との電気的接続が可能となる。
のワーク支持機構用傾斜ステージの構成図で、傾斜ステ
ージ１８を図３（Ａ）に示すように、Ｘ軸１３，Ｙ軸１
２，θ軸１１の３軸ステージで構成されているワーク支
持機構の上部に設置し、その傾斜ステージの可動部上面
にワーク１７を吸着させるテーブルを設置する構成とす
る。実際に塗布するときは、傾斜ステージ１８が駆動し
て、図３（Ｂ）に示すように、ワーク１７に傾斜角度を
付けた状態で端面電極−基板電極接続塗布を行う。塗布
用シリンジは垂直シリンジ３を少なくとも１本の構成で
塗布することが可能であり、シリンジ取り付け角度は自
由に設定できる。図３（Ｃ）に図３（Ｂ）のＣ部を拡大
して示すように、銀ペーストなどのペースト材料１９を
塗布することにより、ＰＺＴ２０の端面電極と基板２１
上の電極との電気的接続が可能となる。
【００２９】（請求項２の発明）ワーク１７が傾斜して
いることにより、基板電極２１の外側への流れ出しが減
少するので、銀ペーストのはみ出しを最小限に抑えて塗
布できる。傾斜ステージ１８には、図３に示す半円状の
ステージ可動部をラック・ピニオンや滑り摩擦駆動など
の構成で駆動する傾斜ステージや、図４（図４（Ａ）は
平面図、図４（Ｂ）は正面図）に示すような軸駆動傾斜
ステージもある。軸駆動傾斜ステージは、ワーク２２の
支持側ステージ２３に駆動軸２４を直接取り付け、該駆
動軸２４の回転駆動が直接ワーク２２の傾斜駆動になる
ように、その駆動軸２４をカップリング２５を介して回
転モータ２６の回線軸に連結し、モータ２６を駆動して
ワーク２２を傾かせるようにしている。
いることにより、基板電極２１の外側への流れ出しが減
少するので、銀ペーストのはみ出しを最小限に抑えて塗
布できる。傾斜ステージ１８には、図３に示す半円状の
ステージ可動部をラック・ピニオンや滑り摩擦駆動など
の構成で駆動する傾斜ステージや、図４（図４（Ａ）は
平面図、図４（Ｂ）は正面図）に示すような軸駆動傾斜
ステージもある。軸駆動傾斜ステージは、ワーク２２の
支持側ステージ２３に駆動軸２４を直接取り付け、該駆
動軸２４の回転駆動が直接ワーク２２の傾斜駆動になる
ように、その駆動軸２４をカップリング２５を介して回
転モータ２６の回線軸に連結し、モータ２６を駆動して
ワーク２２を傾かせるようにしている。
【００３０】（請求項３の発明）図５（図５（Ａ）は傾
斜ステージ１８を駆動する前の状態を示す図、図５
（Ｂ）は駆動後の状態を示す図）において、２７はオー
トフォーカスカメラ、２８はライン照明用ＬＥＤで、オ
ートフォーカスカメラ２７は、画像処理を行う際に、カ
メラ焦点が傾斜角度に比例して変化するので、フォーカ
スを自動的に合せて安定した画像処理を可能とするため
に使用している。既存のオートフォーカスカメラを用い
る方法やワーク支持側ステージにＺ軸ステージを設置
し、そのステージを駆動しカメラ焦点を合せる方法など
がある。
斜ステージ１８を駆動する前の状態を示す図、図５
（Ｂ）は駆動後の状態を示す図）において、２７はオー
トフォーカスカメラ、２８はライン照明用ＬＥＤで、オ
ートフォーカスカメラ２７は、画像処理を行う際に、カ
メラ焦点が傾斜角度に比例して変化するので、フォーカ
スを自動的に合せて安定した画像処理を可能とするため
に使用している。既存のオートフォーカスカメラを用い
る方法やワーク支持側ステージにＺ軸ステージを設置
し、そのステージを駆動しカメラ焦点を合せる方法など
がある。
【００３１】（請求項４の発明）図６（図６（Ａ）は、
側面図、図６（Ｂ）は図６（Ａ）をＢ−Ｂ線方向から見
た図）は、請求項４に記載の多角度駆動可能なステージ
を画像処理用照明支持機構に用いた構成を示す図で、円
周方向駆動可能な駆動ステージ２９の可動部に直線ステ
ージ３０を円周面に直交させて配置させてある。従っ
て、円周方向ステージの可動部は直線ステージごと駆動
する構成をとる。その直線ステージ上に画像処理用照明
具３１を設置することにより、多角度方向の駆動を実現
する照明構造となる。ワーク側ステージを固定状態に
し、照明ステージを駆動し、複数個所の画像処理情報か
ら得られる塗布部の階調情報と撮像した時の照明位置情
報から塗布形状を演算する。
側面図、図６（Ｂ）は図６（Ａ）をＢ−Ｂ線方向から見
た図）は、請求項４に記載の多角度駆動可能なステージ
を画像処理用照明支持機構に用いた構成を示す図で、円
周方向駆動可能な駆動ステージ２９の可動部に直線ステ
ージ３０を円周面に直交させて配置させてある。従っ
て、円周方向ステージの可動部は直線ステージごと駆動
する構成をとる。その直線ステージ上に画像処理用照明
具３１を設置することにより、多角度方向の駆動を実現
する照明構造となる。ワーク側ステージを固定状態に
し、照明ステージを駆動し、複数個所の画像処理情報か
ら得られる塗布部の階調情報と撮像した時の照明位置情
報から塗布形状を演算する。
【００３２】（請求項５の発明）請求項５の発明は、画
像を撮像した際の輝度情報をリアルタイムでフィードバ
ックするもので、画像処理用照明にホスト側からコント
ロール可能な照明電源を用い、画像処理情報から得られ
る塗布部の階調情報から最適輝度を演算して照明電源側
にフィードバックするものである。これは、工場内設備
においては外環境照明が時間的変化をし、また、不慮の
事故、故障などによる突発的な外環境照明変化に対応す
るものである。
像を撮像した際の輝度情報をリアルタイムでフィードバ
ックするもので、画像処理用照明にホスト側からコント
ロール可能な照明電源を用い、画像処理情報から得られ
る塗布部の階調情報から最適輝度を演算して照明電源側
にフィードバックするものである。これは、工場内設備
においては外環境照明が時間的変化をし、また、不慮の
事故、故障などによる突発的な外環境照明変化に対応す
るものである。
【００３３】（請求項６の発明）図７は、請求項６に記
載のシリンジ交換用ステージと電子天秤を設置したペー
スト塗布装置を示す図で、新たに、シリンジを交換する
ためのシリンジ交換ステージ３２を設置し、シリンジ交
換を行う位置に電子天秤３３を設置する。シリンジ交換
ステージをシリンジ交換位置まで、すなわち、電子天秤
３３の上まで移動させ、シリンジ支持側Ｚ軸ステージ３
４を下降させ、電子天秤３３内の測定カップに銀ペース
トを塗布し重量を測定するものである。上記動作を自動
で行うことにより、シリンジ交換時や一時中断後の塗布
重量管理を可能にする。
載のシリンジ交換用ステージと電子天秤を設置したペー
スト塗布装置を示す図で、新たに、シリンジを交換する
ためのシリンジ交換ステージ３２を設置し、シリンジ交
換を行う位置に電子天秤３３を設置する。シリンジ交換
ステージをシリンジ交換位置まで、すなわち、電子天秤
３３の上まで移動させ、シリンジ支持側Ｚ軸ステージ３
４を下降させ、電子天秤３３内の測定カップに銀ペース
トを塗布し重量を測定するものである。上記動作を自動
で行うことにより、シリンジ交換時や一時中断後の塗布
重量管理を可能にする。
【００３４】（請求項７の発明）図８は、請求項７に記
載の遠心分離機を設置したペースト塗布装置を示す図
で、新たに、シリンジ投入ロボット３５を設置し、シリ
ンジ支持側ステージからの取り出しを行うことを可能と
する。この機能を加えることにより、遠心分離機３６で
脱泡されたシリンジを該ロボットを用いてシリンジ支持
側ステージに投入を行うものである。
載の遠心分離機を設置したペースト塗布装置を示す図
で、新たに、シリンジ投入ロボット３５を設置し、シリ
ンジ支持側ステージからの取り出しを行うことを可能と
する。この機能を加えることにより、遠心分離機３６で
脱泡されたシリンジを該ロボットを用いてシリンジ支持
側ステージに投入を行うものである。
【００３５】（請求項８の発明）図９は、請求項８に記
載の冷凍保存シリンジの自動解凍機能を示す図で、図９
（Ａ）に示すように、装置に近接して、扉を自動開閉す
る機能を有する冷凍装置３７を設置する。その冷凍装置
３７の中には銀ペーストなどペースト材が注入済みシリ
ンジが冷凍保存されている。この冷凍保存されているシ
リンジを前記シリンジ投入ロボット３５を用いて解凍ス
ペース３８に搬送する。解凍スペース投入部には、図９
（Ｂ）に拡大して示すように、シリンジ検知センサ３９
が設置してあり、解凍時間の監視を行う。解凍後は上記
遠心分離機３６に投入され、遠心脱泡を行い、その後、
塗布ステージであるシリンジ支持側ステージに投入さ
れ、シリンジ交換を終えた塗布装置が再び起動するもの
である。
載の冷凍保存シリンジの自動解凍機能を示す図で、図９
（Ａ）に示すように、装置に近接して、扉を自動開閉す
る機能を有する冷凍装置３７を設置する。その冷凍装置
３７の中には銀ペーストなどペースト材が注入済みシリ
ンジが冷凍保存されている。この冷凍保存されているシ
リンジを前記シリンジ投入ロボット３５を用いて解凍ス
ペース３８に搬送する。解凍スペース投入部には、図９
（Ｂ）に拡大して示すように、シリンジ検知センサ３９
が設置してあり、解凍時間の監視を行う。解凍後は上記
遠心分離機３６に投入され、遠心脱泡を行い、その後、
塗布ステージであるシリンジ支持側ステージに投入さ
れ、シリンジ交換を終えた塗布装置が再び起動するもの
である。
【００３６】（請求項９の発明）請求項９に記載の安全
センサは、装置外周部、特に、塗布時駆動ステージ周
辺、シリンジ交換ステージ周辺、シリンジ投入ロボット
周辺に重点的に配置し、センサ上を人や物体が通過する
と装置は即停止を行い、オペレータの安全性を確保す
る。
センサは、装置外周部、特に、塗布時駆動ステージ周
辺、シリンジ交換ステージ周辺、シリンジ投入ロボット
周辺に重点的に配置し、センサ上を人や物体が通過する
と装置は即停止を行い、オペレータの安全性を確保す
る。
【００３７】（請求項１０の発明）図１０は、請求項１
０に記載のニードル洗浄装置を設置したペースト塗布装
置を示す図で、ニードル洗浄装置４０にはシリンジから
ニードルを取り外す機能を装備しており、上記シリンジ
投入ロボット３５で搬送を行うものである。洗浄後はニ
ードルは再利用される。
０に記載のニードル洗浄装置を設置したペースト塗布装
置を示す図で、ニードル洗浄装置４０にはシリンジから
ニードルを取り外す機能を装備しており、上記シリンジ
投入ロボット３５で搬送を行うものである。洗浄後はニ
ードルは再利用される。
【００３８】
【発明の効果】請求項１の発明によると、高精度位置決
め駆動が可能なＸ軸、Ｙ軸、及び、θ軸の３軸ステージ
で構成されたワーク支持機構と、Ｚ軸移動機構に支持さ
れ、かつ、角度を自由に設置できるブラケットで支持さ
れたニードル付帯シリンジとからなり、ワーク位置検出
機構にＣＣＤカメラによる画像処理を用いたペースト塗
布装置において、前記ワーク支持機構のステージである
Ｘ，Ｙ，θの３軸のステージ構成に、傾斜角度を付ける
ことが可能な傾斜ステージを有するので、ワークス支持
機構にあおり角度を付けることが可能な傾斜ステージを
用いることにより、位置決めを簡略化し、ペースト材の
粘度やディスペンサー吐出圧にマージンを設けることを
可能とし、装置の簡略化や工程の短縮、コストの削減な
どを図ることができる。
め駆動が可能なＸ軸、Ｙ軸、及び、θ軸の３軸ステージ
で構成されたワーク支持機構と、Ｚ軸移動機構に支持さ
れ、かつ、角度を自由に設置できるブラケットで支持さ
れたニードル付帯シリンジとからなり、ワーク位置検出
機構にＣＣＤカメラによる画像処理を用いたペースト塗
布装置において、前記ワーク支持機構のステージである
Ｘ，Ｙ，θの３軸のステージ構成に、傾斜角度を付ける
ことが可能な傾斜ステージを有するので、ワークス支持
機構にあおり角度を付けることが可能な傾斜ステージを
用いることにより、位置決めを簡略化し、ペースト材の
粘度やディスペンサー吐出圧にマージンを設けることを
可能とし、装置の簡略化や工程の短縮、コストの削減な
どを図ることができる。
【００３９】請求項２の発明によると、請求項１の発明
において、対象ワークを傾斜方向に駆動して該ワークに
傾きをもたせ、前記ＣＣＤカメラを直線駆動の１軸ステ
ージにて駆動しながら動画像処理を行うようにしたの
で、ワークに傾きをもたせ、ＣＣＤカメラを一軸駆動で
直線駆動しながら塗布部分の画像を取り込み処理する動
画像処理を行うことにより、塗布幅や塗布高さ、塗布形
状の測定を可能とし、塗布状態の検査、測定を自動で行
うことができ、検査工程を短縮できる。
において、対象ワークを傾斜方向に駆動して該ワークに
傾きをもたせ、前記ＣＣＤカメラを直線駆動の１軸ステ
ージにて駆動しながら動画像処理を行うようにしたの
で、ワークに傾きをもたせ、ＣＣＤカメラを一軸駆動で
直線駆動しながら塗布部分の画像を取り込み処理する動
画像処理を行うことにより、塗布幅や塗布高さ、塗布形
状の測定を可能とし、塗布状態の検査、測定を自動で行
うことができ、検査工程を短縮できる。
【００４０】請求項３の発明によると、請求項２の発明
において、前記ＣＣＤカメラの焦点を塗布面にオートフ
ォーカスするようにしたので、測定を行う際、画像処理
用のＣＣＤカメラに自動焦点機能を持たせることによ
り、様々な塗布形状の検査を行うことを可能とし、多品
種対応できる。
において、前記ＣＣＤカメラの焦点を塗布面にオートフ
ォーカスするようにしたので、測定を行う際、画像処理
用のＣＣＤカメラに自動焦点機能を持たせることによ
り、様々な塗布形状の検査を行うことを可能とし、多品
種対応できる。
【００４１】請求項４の発明によると、請求項１の発明
において、画像処理用照明に多角度方向に駆動可能なス
テージを付加させたので、照明を多角度方向に駆動させ
ることにより、形状の異なるワークの位置検出を可能に
するとともに、不規則な立体形状である塗布形状の測
定、検査を可能とし、自動検査、多品種対応などが可能
となる。
において、画像処理用照明に多角度方向に駆動可能なス
テージを付加させたので、照明を多角度方向に駆動させ
ることにより、形状の異なるワークの位置検出を可能に
するとともに、不規則な立体形状である塗布形状の測
定、検査を可能とし、自動検査、多品種対応などが可能
となる。
【００４２】請求項５の発明によると、請求項１の発明
において、画像の輝度情報をリアルタイムでフィードバ
ックする機能を有するので、画像を撮像した際の輝度情
報をリアルタイムにフィードバックすることにより、照
明輝度を最適にコントロールし、安定した画像処理を行
うことができ、外環境の照明変化に追従した２４時間稼
動が可能となる。
において、画像の輝度情報をリアルタイムでフィードバ
ックする機能を有するので、画像を撮像した際の輝度情
報をリアルタイムにフィードバックすることにより、照
明輝度を最適にコントロールし、安定した画像処理を行
うことができ、外環境の照明変化に追従した２４時間稼
動が可能となる。
【００４３】請求項６の発明によると、請求項１の発明
において、シリンジ交換用移動ステージを有し、該ステ
ージの駆動上もしくはシリンジ交換作業位置上に高精度
な電子天秤を有するので、精密な電子天秤を設置するこ
とにより、シリンジ交換時のペースト材の塗布重量管理
を人手を介さないで自動で行うことを可能とし、人件費
の低減や工程の減少が可能となる。
において、シリンジ交換用移動ステージを有し、該ステ
ージの駆動上もしくはシリンジ交換作業位置上に高精度
な電子天秤を有するので、精密な電子天秤を設置するこ
とにより、シリンジ交換時のペースト材の塗布重量管理
を人手を介さないで自動で行うことを可能とし、人件費
の低減や工程の減少が可能となる。
【００４４】請求項７の発明によると、請求項１の発明
において、上記シリンジ交換用移動ステージ駆動上もし
くはシリンジ交換作業位置上に遠心分離器を有するの
で、遠心分離器を設置することにより、ペースト材の自
動脱泡を可能とし、人件費の低減や工程の減少を図るこ
とができる。
において、上記シリンジ交換用移動ステージ駆動上もし
くはシリンジ交換作業位置上に遠心分離器を有するの
で、遠心分離器を設置することにより、ペースト材の自
動脱泡を可能とし、人件費の低減や工程の減少を図るこ
とができる。
【００４５】請求項８の発明によると、請求項１の発明
において、ペースト材を詰めた状態で冷凍保存してある
シリンジを冷凍装置から自動で取り出し、かつ、自動で
解凍する機能を具備しているので、冷凍装置から自動で
シリンジを取り出し解凍作業を行うことにより、人件費
の低減や工程の減少を図ることができる。
において、ペースト材を詰めた状態で冷凍保存してある
シリンジを冷凍装置から自動で取り出し、かつ、自動で
解凍する機能を具備しているので、冷凍装置から自動で
シリンジを取り出し解凍作業を行うことにより、人件費
の低減や工程の減少を図ることができる。
【００４６】請求項９の発明によると、請求項１の発明
において、装置の外周上に侵入者を検知するセンサを付
加し、該センサが作動した時に装置を停止するようにし
たので、動作中の塗布装置内にオペレータが誤って侵入
した際に装置を安全に停止し、オペレータの安全を確保
できる。
において、装置の外周上に侵入者を検知するセンサを付
加し、該センサが作動した時に装置を停止するようにし
たので、動作中の塗布装置内にオペレータが誤って侵入
した際に装置を安全に停止し、オペレータの安全を確保
できる。
【００４７】請求項１０の発明によると、請求項１の発
明において、自動ニードル洗浄機能を具備しているの
で、規定の台数分のペースト材を塗布し終えたニードル
を洗浄し、再利用することを可能とし、コストの低減を
図ることができる。
明において、自動ニードル洗浄機能を具備しているの
で、規定の台数分のペースト材を塗布し終えたニードル
を洗浄し、再利用することを可能とし、コストの低減を
図ることができる。
【図１】 銀ペースト塗布装置の一例を示す構成図（側
面図）である。
面図）である。
【図２】 図１に示した銀ペースト塗布装置を図１のII
−II方向から見た図である。
−II方向から見た図である。
【図３】 ワーク支持機構用傾斜ステージを説明するた
めの要部構成図である。
めの要部構成図である。
【図４】 軸駆動傾斜ステージを説明するための要部構
成図である。
成図である。
【図５】 動画像処理による塗布形状測定を説明するた
めの要部概念図である。
めの要部概念図である。
【図６】 多角度駆動ステージを画像処理用照明支持機
構に用いた場合の要部構成図である。
構に用いた場合の要部構成図である。
【図７】 電子天秤を設置したペースト塗布装置の一例
を説明するための要部構成図である。
を説明するための要部構成図である。
【図８】 遠心分離器を設置したペースト塗布装置の一
例を説明するための要部構成図である。
例を説明するための要部構成図である。
【図９】 冷凍保存シリンジ自動解凍機能付きペースト
塗布装置の一例を説明するための要部構成図である。
塗布装置の一例を説明するための要部構成図である。
【図１０】 ニードル洗浄装置を設置したペースト塗布
装置の一例を説明するための要部構成図である。
装置の一例を説明するための要部構成図である。
１…ＣＣＤカメラ、２…ＣＣＤカメラ固定用ブラケッ
ト、３…垂直シリンジ、４…垂直シリンジ固定用ブラケ
ット、５…垂直ニードル、６…シリンジ固定用ブラケッ
ト、７…Ｚ軸ステージ、８…斜めシリンジ、９…斜めシ
リンジ固定用ブラケット、１０…斜めニードル、１１…
θ軸ステージ、１２…Ｙ軸ステージ、１３…Ｘ軸ステー
ジ、１４…ベース、１５…照明固定用ブラケット、１６
…照明、１７…ワーク、１８…傾斜ステージ、１９…ペ
ースト材料、２０…ＰＺＴ、２１…基板、２２…ワー
ク、２３…ワーク支持側ステージ、２４…駆動軸、２５
…カップリング、２６…回転モータ、２７…カメラ、２
８…ラインＬＥＤ照明、２９…円周方向駆動可能な駆動
ステージ、３０…直線ステージ、３１…画像処理用照
明、３２…シリンジ交換ステージ、３３…電子天秤、３
４…シリンジ支持側Ｚ軸ステージ、３５…シリンジ投入
ロボット、３６…遠心分離器、３７…冷凍装置、３８…
解凍スペース、３９…シリンジ検知センサ、４０…ニー
ドル洗浄装置。
ト、３…垂直シリンジ、４…垂直シリンジ固定用ブラケ
ット、５…垂直ニードル、６…シリンジ固定用ブラケッ
ト、７…Ｚ軸ステージ、８…斜めシリンジ、９…斜めシ
リンジ固定用ブラケット、１０…斜めニードル、１１…
θ軸ステージ、１２…Ｙ軸ステージ、１３…Ｘ軸ステー
ジ、１４…ベース、１５…照明固定用ブラケット、１６
…照明、１７…ワーク、１８…傾斜ステージ、１９…ペ
ースト材料、２０…ＰＺＴ、２１…基板、２２…ワー
ク、２３…ワーク支持側ステージ、２４…駆動軸、２５
…カップリング、２６…回転モータ、２７…カメラ、２
８…ラインＬＥＤ照明、２９…円周方向駆動可能な駆動
ステージ、３０…直線ステージ、３１…画像処理用照
明、３２…シリンジ交換ステージ、３３…電子天秤、３
４…シリンジ支持側Ｚ軸ステージ、３５…シリンジ投入
ロボット、３６…遠心分離器、３７…冷凍装置、３８…
解凍スペース、３９…シリンジ検知センサ、４０…ニー
ドル洗浄装置。
Claims (10)
- 【請求項１】 高精度位置決め駆動が可能なＸ軸、Ｙ
軸、及び、θ軸の３軸ステージで構成されたワーク支持
機構と、Ｚ軸移動機構に支持され、かつ、角度を自由に
設置できるブラケットで支持されたニードル付帯シリン
ジとからなり、ワーク位置検出機構にＣＣＤカメラによ
る画像処理を用いたペースト塗布装置において、前記ワ
ーク支持機構のステージであるＸ，Ｙ，θの３軸のステ
ージ構成に、傾斜角度を付けることが可能な傾斜ステー
ジを有することを特徴とするペースト塗布装置。 - 【請求項２】 対象ワークを傾斜方向に駆動して該ワー
クに傾きをもたせ、前記ＣＣＤカメラを直線駆動の１軸
ステージにて駆動しながら動画像処理を行うことを特徴
とした請求項１記載のペースト塗布装置。 - 【請求項３】 前記ＣＣＤカメラの焦点を塗布面にオー
トフォーカスするようにしたことを特徴とする請求項２
記載のペースト塗布装置。 - 【請求項４】 画像処理用照明に多角度方向に駆動可能
なステージを付加させたことを特徴とする請求項１記載
のペースト塗布装置。 - 【請求項５】 画像の輝度情報をリアルタイムでフィー
ドバックする機能を有することを特徴とする請求項１記
載のペースト塗布装置。 - 【請求項６】 シリンジ交換用移動ステージを有し、該
ステージの駆動上もしくはシリンジ交換作業位置上に高
精度な電子天秤を有することを特徴とする請求項１記載
のペースト塗布装置。 - 【請求項７】 上記シリンジ交換用移動ステージ駆動上
もしくはシリンジ交換作業位置上に遠心分離器を有する
ことを特徴とする請求項１記載のペースト塗布装置。 - 【請求項８】 ペースト材を詰めた状態で冷凍保存して
あるシリンジを冷凍装置から自動で取り出し、かつ、自
動で解凍する機能を具備したことを特徴とする請求項１
記載のペースト塗布装置。 - 【請求項９】 装置の外周上に侵入者検知センサを付加
し、該センサが作動した時に装置を停止するようにした
ことを特徴とする請求項１記載のペースト塗布装置。 - 【請求項１０】 自動ニードル洗浄機能を具備したこと
を特徴とする請求項１記載のペースト塗布装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9173295A JPH118499A (ja) | 1997-06-13 | 1997-06-13 | ペースト塗布装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9173295A JPH118499A (ja) | 1997-06-13 | 1997-06-13 | ペースト塗布装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH118499A true JPH118499A (ja) | 1999-01-12 |
Family
ID=15957805
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9173295A Pending JPH118499A (ja) | 1997-06-13 | 1997-06-13 | ペースト塗布装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH118499A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4771070A (en) * | 1984-08-21 | 1988-09-13 | Warner-Lambert Company | CL-1957A antibiotic compound |
| WO2009115792A1 (en) * | 2008-03-18 | 2009-09-24 | Renishaw Plc | Apparatus and method for fluid dispensing |
| JP2014123637A (ja) * | 2012-12-21 | 2014-07-03 | Hitachi High-Tech Instruments Co Ltd | 部品実装装置 |
| WO2016197703A1 (zh) * | 2015-06-11 | 2016-12-15 | 京东方科技集团股份有限公司 | 封装设备及其使用方法和计算机可读存贮介质 |
| WO2019088237A1 (ja) | 2017-11-02 | 2019-05-09 | 武蔵エンジニアリング株式会社 | 液体材料塗布装置および塗布方法 |
-
1997
- 1997-06-13 JP JP9173295A patent/JPH118499A/ja active Pending
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