JPH1187806A - 固体レーザ発振装置 - Google Patents
固体レーザ発振装置Info
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- JPH1187806A JPH1187806A JP24004497A JP24004497A JPH1187806A JP H1187806 A JPH1187806 A JP H1187806A JP 24004497 A JP24004497 A JP 24004497A JP 24004497 A JP24004497 A JP 24004497A JP H1187806 A JPH1187806 A JP H1187806A
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- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims abstract description 21
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- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims abstract description 14
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- JNDMLEXHDPKVFC-UHFFFAOYSA-N aluminum;oxygen(2-);yttrium(3+) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Y+3] JNDMLEXHDPKVFC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 16
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- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
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Landscapes
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 レーザロッドを水密に保持しているシール部
材をレーザ光の戻り光による焼損から保護するようにす
る。 【解決手段】 電源からの電圧により励起光を照射する
励起ランプと、この励起ランプからの励起光を吸収しレ
ーザ発振するための固体材料からなるレーザロッド１１
とをポンピングチャンバ内に収納し、このポンピングチ
ャンバの両側における外部に、それぞれリアミラー、出
力ミラーを設けてなる固体レーザ発振装置において、前
記レーザロッド１１の端部を、シール部材２５を介して
ロッドホルダ１３で前記ポンピングチャンバに保持せし
めると共に、前記ロッドホルダ１３の内部に前記レーザ
ロッド１１の直径より小さな開口部２７を備えたホルダ
ブロック２９を設けてなることを特徴とする。
材をレーザ光の戻り光による焼損から保護するようにす
る。 【解決手段】 電源からの電圧により励起光を照射する
励起ランプと、この励起ランプからの励起光を吸収しレ
ーザ発振するための固体材料からなるレーザロッド１１
とをポンピングチャンバ内に収納し、このポンピングチ
ャンバの両側における外部に、それぞれリアミラー、出
力ミラーを設けてなる固体レーザ発振装置において、前
記レーザロッド１１の端部を、シール部材２５を介して
ロッドホルダ１３で前記ポンピングチャンバに保持せし
めると共に、前記ロッドホルダ１３の内部に前記レーザ
ロッド１１の直径より小さな開口部２７を備えたホルダ
ブロック２９を設けてなることを特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、固体レーザ発振
装置に関する。
装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、固体レーザ発振装置に使われてい
るレーザロッド１０１は図４に示されているように、常
時水冷されている。しかも、レーザロッド１０１の端部
１０１Ａ（図４において端部）の端面は、ＡＲコーティ
ングがなされているため、水に浸すことはできない。そ
のため、シール部材としてのＯリング１０３を介して外
側用ロッドホルダ１０５でカバーすると共に、前記Ｏリ
ング１０３の外側には内側用ロッドホルダ１０７でカバ
ーされて水密を保っている。
るレーザロッド１０１は図４に示されているように、常
時水冷されている。しかも、レーザロッド１０１の端部
１０１Ａ（図４において端部）の端面は、ＡＲコーティ
ングがなされているため、水に浸すことはできない。そ
のため、シール部材としてのＯリング１０３を介して外
側用ロッドホルダ１０５でカバーすると共に、前記Ｏリ
ング１０３の外側には内側用ロッドホルダ１０７でカバ
ーされて水密を保っている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した従
来の固体レーザ発振装置におけるレーザロッド１０１を
外側用ロッドホルダ１０５，内側用ロッドホルダ１０７
で保持している構造では、光学部品、加工ワークなどの
様々な所からレーザ光の反射光（戻り光）が図４におけ
る内側用ロッドホルダ１０７内に矢印で示したごとく戻
ってくるため、その反射光（戻り光）がレーザロッド１
０１の外周面と内側用ロッドホルダ１０７との間に生じ
ている隙間δの部分から入ってきてＯリング１０３を焼
損させてしまうことがある。
来の固体レーザ発振装置におけるレーザロッド１０１を
外側用ロッドホルダ１０５，内側用ロッドホルダ１０７
で保持している構造では、光学部品、加工ワークなどの
様々な所からレーザ光の反射光（戻り光）が図４におけ
る内側用ロッドホルダ１０７内に矢印で示したごとく戻
ってくるため、その反射光（戻り光）がレーザロッド１
０１の外周面と内側用ロッドホルダ１０７との間に生じ
ている隙間δの部分から入ってきてＯリング１０３を焼
損させてしまうことがある。
【０００４】このＯリング１０３が焼損すると、水洩れ
が生じたり、燃えカスがレーザロッド１０１の端面に付
着してレーザロッド１０１の端面のＡＲコーティングが
焼けてしまうという恐れがある。
が生じたり、燃えカスがレーザロッド１０１の端面に付
着してレーザロッド１０１の端面のＡＲコーティングが
焼けてしまうという恐れがある。
【０００５】この発明の目的は、レーザロッドを水密に
保持しているシール部材をレーザ光の戻り光による焼損
から保護するようにした固体レーザ発振装置を提供する
ことにある。
保持しているシール部材をレーザ光の戻り光による焼損
から保護するようにした固体レーザ発振装置を提供する
ことにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に請求項１によるこの発明の固体レーザ発振装置は、電
源からの電圧により励起光を照射する励起ランプと、こ
の励起ランプからの励起光を吸収しレーザ発振するため
の固体材料からなるレーザ媒質であるレーザロッドとを
ポンピングチャンバ内に収納し、このポンピングチャン
バの両側における外部に、それぞれリアミラー、出力ミ
ラーを設けてなる固体レーザ発振装置において、前記レ
ーザロッドの端部を、シール部材を介してロッドホルダ
で前記ポンピングチャンバに保持せしめると共に、前記
ロッドホルダの内部に前記レーザロッドの直径より小さ
な開口部を備えたホルダブロックを設けてなることを特
徴とするものである。
に請求項１によるこの発明の固体レーザ発振装置は、電
源からの電圧により励起光を照射する励起ランプと、こ
の励起ランプからの励起光を吸収しレーザ発振するため
の固体材料からなるレーザ媒質であるレーザロッドとを
ポンピングチャンバ内に収納し、このポンピングチャン
バの両側における外部に、それぞれリアミラー、出力ミ
ラーを設けてなる固体レーザ発振装置において、前記レ
ーザロッドの端部を、シール部材を介してロッドホルダ
で前記ポンピングチャンバに保持せしめると共に、前記
ロッドホルダの内部に前記レーザロッドの直径より小さ
な開口部を備えたホルダブロックを設けてなることを特
徴とするものである。
【０００７】したがって、電源からの電圧によりポンピ
ングチャンバ内の励起ランプから励起光がレーザロッド
へ向けて照射されてレーザロッドで吸収される。励起さ
れたレーザロッドは出力ミラーとリアミラーとの間で共
振された後、出力ミラーからレーザ光が出力される。出
力ミラーから出力されたレーザ光は、例えばレーザヘッ
ドからワークへ向けて照射されてレーザ加工が行われ
る。
ングチャンバ内の励起ランプから励起光がレーザロッド
へ向けて照射されてレーザロッドで吸収される。励起さ
れたレーザロッドは出力ミラーとリアミラーとの間で共
振された後、出力ミラーからレーザ光が出力される。出
力ミラーから出力されたレーザ光は、例えばレーザヘッ
ドからワークへ向けて照射されてレーザ加工が行われ
る。
【０００８】このレーザ光の戻り光がワーク等からロッ
ドホルダ内へ戻ってくるが、ロッドホルダの内部に設け
られているホルダブロックに備えられている開口部の大
きさはレーザロッドの直径より小さくなっているので、
開口部を通ってきた戻り光はシール部材に照射されず
に、シール部材は戻り光による焼損から保護される。
ドホルダ内へ戻ってくるが、ロッドホルダの内部に設け
られているホルダブロックに備えられている開口部の大
きさはレーザロッドの直径より小さくなっているので、
開口部を通ってきた戻り光はシール部材に照射されず
に、シール部材は戻り光による焼損から保護される。
【０００９】請求項２によるこの発明の固体レーザ発振
装置は、請求項１による固体レーザ発振装置において、
前記ロッドホルダの内部における内周面に雌ねじを形成
せしめると共に前記開口部を備えたホルダブロックの外
周面に雄ねじを形成せしめ、前記雌ねじと雄ねじを螺合
せしめてなることを特徴とするものである。
装置は、請求項１による固体レーザ発振装置において、
前記ロッドホルダの内部における内周面に雌ねじを形成
せしめると共に前記開口部を備えたホルダブロックの外
周面に雄ねじを形成せしめ、前記雌ねじと雄ねじを螺合
せしめてなることを特徴とするものである。
【００１０】したがって、開口部を備えたホルダブロッ
クの雄ねじが、ロッドホルダの雌ねじに螺合されている
ので、着脱が容易となり、かつホルダブロックが焼損し
ても容易に交換される。
クの雄ねじが、ロッドホルダの雌ねじに螺合されている
ので、着脱が容易となり、かつホルダブロックが焼損し
ても容易に交換される。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態の例
を図面に基づいて詳細に説明する。
を図面に基づいて詳細に説明する。
【００１２】図３を参照するに、固体レーザ発振装置と
しての例えばＹＡＧレーザ発振装置１は、立設されたベ
ース３を備えており、このベース３上にはポンピングチ
ャンバ５が設けられている。このポンピングチャンバ５
内は冷却されていると共に、電源７からの高電圧により
励起光を照射する励起ランプ９と、この励起ランプ９か
らの励起光を吸収しレーザ発振するレーザ媒質であるレ
ーザロッドとしてのＹＡＧロッド１１が収納されてい
る。しかも、このＹＡＧロッド１１の両側はそれぞれロ
ッドホルダ１３，１５で前記ポンピングチャンバ５の側
壁に保持されている。
しての例えばＹＡＧレーザ発振装置１は、立設されたベ
ース３を備えており、このベース３上にはポンピングチ
ャンバ５が設けられている。このポンピングチャンバ５
内は冷却されていると共に、電源７からの高電圧により
励起光を照射する励起ランプ９と、この励起ランプ９か
らの励起光を吸収しレーザ発振するレーザ媒質であるレ
ーザロッドとしてのＹＡＧロッド１１が収納されてい
る。しかも、このＹＡＧロッド１１の両側はそれぞれロ
ッドホルダ１３，１５で前記ポンピングチャンバ５の側
壁に保持されている。
【００１３】前記ＹＡＧロッド１１は励起ランプ９から
の励起光を吸収しレーザ発振するレーザ媒質である。こ
のレーザ媒質はＹＡＧ（Yttrium Aluminium Garnet) の
母体結晶にネオジウムイオン（Ｎｄ３＋）を活性物質と
して混入したＮｄ−ＹＡＧである。また、前記励起ラン
プ９は、主にＸｅまたはＫｒガスを封入した直管形の放
電管が用いられるが、スパイラル形のものもあり、特に
限定されない。
の励起光を吸収しレーザ発振するレーザ媒質である。こ
のレーザ媒質はＹＡＧ（Yttrium Aluminium Garnet) の
母体結晶にネオジウムイオン（Ｎｄ３＋）を活性物質と
して混入したＮｄ−ＹＡＧである。また、前記励起ラン
プ９は、主にＸｅまたはＫｒガスを封入した直管形の放
電管が用いられるが、スパイラル形のものもあり、特に
限定されない。
【００１４】また、前記ポンピングチャンバ５の外部に
は、前記ＹＡＧロッド１１の一端面に対向するリアミラ
ー１７と前記ＹＡＧロッド１１の他端面に対向する出力
ミラー１９とがそれぞれ、ベース３上にミラーホルダ２
１，２３に支持され、各ミラーホルダ２１，２３は前記
ベース３上に固定されている。なお、前記出力ミラー１
９とリアミラー１７は本実施の形態では平面鏡が用いら
れているが、凹面鏡、時には凸面鏡を用いることもで
き、特に限定されない。
は、前記ＹＡＧロッド１１の一端面に対向するリアミラ
ー１７と前記ＹＡＧロッド１１の他端面に対向する出力
ミラー１９とがそれぞれ、ベース３上にミラーホルダ２
１，２３に支持され、各ミラーホルダ２１，２３は前記
ベース３上に固定されている。なお、前記出力ミラー１
９とリアミラー１７は本実施の形態では平面鏡が用いら
れているが、凹面鏡、時には凸面鏡を用いることもで
き、特に限定されない。
【００１５】前記ＹＡＧロッド１１の端部１１Ａは図１
に示されているように、シール部材としての例えばＯリ
ング２５を介してロッドホルダ１３のうちの外側用ホル
ダ１３Ａでカバーされていると共に、前記Ｏリング２５
の外側には内側用ホルダ１３Ｂでカバーされて水密を保
っている。なお、ＹＡＧロッド１１の端部１１Ａにおけ
る端面はＡＲコーティングされているものである。
に示されているように、シール部材としての例えばＯリ
ング２５を介してロッドホルダ１３のうちの外側用ホル
ダ１３Ａでカバーされていると共に、前記Ｏリング２５
の外側には内側用ホルダ１３Ｂでカバーされて水密を保
っている。なお、ＹＡＧロッド１１の端部１１Ａにおけ
る端面はＡＲコーティングされているものである。
【００１６】前記内側用ホルダ１３Ｂの内部には開口部
２７を備えたホルダブロック２９が一体化されている。
しかも、前記開口部２７の大きさ（径）は、前記ＹＡＧ
ロッド１１の直径Ｄより小さく形成されている。
２７を備えたホルダブロック２９が一体化されている。
しかも、前記開口部２７の大きさ（径）は、前記ＹＡＧ
ロッド１１の直径Ｄより小さく形成されている。
【００１７】上記構成により、内側用ホルダ１３Ｂの内
部にＹＡＧロッド１１の直径Ｄより小さな開口部２７を
備えたホルダブロック２９を設けたことにより、レーザ
光の戻り光のうちの開口部２７より大きい部分はホルダ
ブロック２９により遮光される。また、開口部２７の径
はＹＡＧロッド１１の直径より小さい径となる為、ホル
ダブロック２９によってレーザ光自身が蹴られる可能が
あるが、熱レンズ効果によってレーザ光は徐々に絞られ
るので、蹴られが起るのはレーザ出力の極く小さい領域
に限られて問題ない。
部にＹＡＧロッド１１の直径Ｄより小さな開口部２７を
備えたホルダブロック２９を設けたことにより、レーザ
光の戻り光のうちの開口部２７より大きい部分はホルダ
ブロック２９により遮光される。また、開口部２７の径
はＹＡＧロッド１１の直径より小さい径となる為、ホル
ダブロック２９によってレーザ光自身が蹴られる可能が
あるが、熱レンズ効果によってレーザ光は徐々に絞られ
るので、蹴られが起るのはレーザ出力の極く小さい領域
に限られて問題ない。
【００１８】したがって、戻り光の径をＹＡＧロッド１
１の径より小さくする開口部２７を備えたホルダブロッ
ク２９を内側用ホルダ１３Ｂの内部に同軸に設けたこと
によって、開口部２７のアライメントが不要となると共
に、ロッドホルダ１３自身が水冷されているので、過熱
の心配も不要で、しかも、Ｏリング２５が戻り光により
焼損するのを保護することができる。
１の径より小さくする開口部２７を備えたホルダブロッ
ク２９を内側用ホルダ１３Ｂの内部に同軸に設けたこと
によって、開口部２７のアライメントが不要となると共
に、ロッドホルダ１３自身が水冷されているので、過熱
の心配も不要で、しかも、Ｏリング２５が戻り光により
焼損するのを保護することができる。
【００１９】図２には図１に代る他の実施の形態が示さ
れている。図２において図１における部品と同じ部品に
は同一の符号を付して重複する説明を省略する。
れている。図２において図１における部品と同じ部品に
は同一の符号を付して重複する説明を省略する。
【００２０】図２において内側用ホルダ１３Ｂの内周面
には雌ねじ３１が形成されていると共に、ホルダブロッ
ク２９の外周面には雄ねじ３３が形成されている。
には雌ねじ３１が形成されていると共に、ホルダブロッ
ク２９の外周面には雄ねじ３３が形成されている。
【００２１】上記構成により、内側用ホルダ１３Ｂの内
周面に形成された雌ねじ３１にホルダブロック２９の外
周面に形成された雄ねじ３３が螺合されて、内側用ホル
ダ１３Ｂに開口部２７を備えたホルダブロック２９が着
脱可能に一体化されることになる。
周面に形成された雌ねじ３１にホルダブロック２９の外
周面に形成された雄ねじ３３が螺合されて、内側用ホル
ダ１３Ｂに開口部２７を備えたホルダブロック２９が着
脱可能に一体化されることになる。
【００２２】したがって、本実施の形態においても、上
述した図１におけるものと同様の作用並びに効果を奏す
るものである。しかも、開口部２７を備えたホルダブロ
ック２９が内側用ホルダ１３Ｂに着脱可能となっている
ので、ホルダブロック２９が焼損したとしても容易に交
換することができる。
述した図１におけるものと同様の作用並びに効果を奏す
るものである。しかも、開口部２７を備えたホルダブロ
ック２９が内側用ホルダ１３Ｂに着脱可能となっている
ので、ホルダブロック２９が焼損したとしても容易に交
換することができる。
【００２３】なお、この発明は、前述した発明の実施の
形態に限定されることなく、適宜な変更を行うことによ
り、その他の態様で実施し得るものである。
形態に限定されることなく、適宜な変更を行うことによ
り、その他の態様で実施し得るものである。
【００２４】
【発明の効果】以上のごとき発明の実施の形態より理解
されるように、請求項１の発明によれば、電源からの電
圧によりポンピングチャンバ内の励起ランプから励起光
がレーザロッドへ向けて照射されてレーザロッドで吸収
される。励起されたレーザロッドは出力ミラーとリアミ
ラーとの間で共振された後、出力ミラーからレーザ光が
出力される。出力ミラーから出力されたレーザ光は、例
えばレーザヘッドからワークへ向けて照射されてレーザ
加工が行われる。
されるように、請求項１の発明によれば、電源からの電
圧によりポンピングチャンバ内の励起ランプから励起光
がレーザロッドへ向けて照射されてレーザロッドで吸収
される。励起されたレーザロッドは出力ミラーとリアミ
ラーとの間で共振された後、出力ミラーからレーザ光が
出力される。出力ミラーから出力されたレーザ光は、例
えばレーザヘッドからワークへ向けて照射されてレーザ
加工が行われる。
【００２５】このレーザ光の戻り光がワーク等からロッ
ドホルダ内へ戻ってくるが、ロッドホルダの内部に設け
られているホルダブロックに備えられている開口部の大
きさはレーザロッドの直径より小さくなっているので、
開口部を通ってきた戻り光はシール部材に照射されず
に、シール部材を戻り光による焼損から保護せしめるこ
とができる。
ドホルダ内へ戻ってくるが、ロッドホルダの内部に設け
られているホルダブロックに備えられている開口部の大
きさはレーザロッドの直径より小さくなっているので、
開口部を通ってきた戻り光はシール部材に照射されず
に、シール部材を戻り光による焼損から保護せしめるこ
とができる。
【００２６】請求項２の発明によれば、請求項１の効果
に加えて、開口部を備えたホルダブロックの雄ねじが、
ロッドホルダの雌ねじに螺合されているので、着脱が容
易で、しかも、ホルダブロックが焼損しても容易に交換
せしめることができる。
に加えて、開口部を備えたホルダブロックの雄ねじが、
ロッドホルダの雌ねじに螺合されているので、着脱が容
易で、しかも、ホルダブロックが焼損しても容易に交換
せしめることができる。
【図１】この発明の主要部を示し、図３におけるＩ矢視
部の拡大詳細図である。
部の拡大詳細図である。
【図２】図１に代る他の実施の形態を示す図である。
【図３】この発明を実施する固体レーザ発振装置の正面
図である。
図である。
【図４】従来の固体レーザ発振装置におけるレーザロッ
ドをロッドホルダで保持せしめた状態を示す図である。
ドをロッドホルダで保持せしめた状態を示す図である。
１ ＹＡＧレーザ発振装置（固体レーザ発振装置） ５ ポンピングチャンバ ９ 励起ランプ １１ ＹＡＧロッド（レーザロッド） １３，１５ ロッドホルダ １３Ａ 外側用ホルダ １３Ｂ 内側用ホルダ １７ リアミラー １９ 出力ミラー ２５ Ｏリング（シール部材） ２７ 開口部 ２９ ホルダブロック ３１ 雌ねじ ３３ 雄ねじ
Claims (2)
- 【請求項１】 電源からの電圧により励起光を照射する
励起ランプと、この励起ランプからの励起光を吸収しレ
ーザ発振するための固体材料からなるレーザ媒質である
レーザロッドとをポンピングチャンバ内に収納し、この
ポンピングチャンバの両側における外部に、それぞれリ
アミラー、出力ミラーを設けてなる固体レーザ発振装置
において、前記レーザロッドの端部を、シール部材を介
してロッドホルダで前記ポンピングチャンバに保持せし
めると共に、前記ロッドホルダの内部に前記レーザロッ
ドの直径より小さな開口部を備えたホルダブロックを設
けてなることを特徴とする固体レーザ発振装置。 - 【請求項２】 前記ロッドホルダの内部における内周面
に雌ねじを形成せしめると共に前記開口部を備えたホル
ダブロックの外周面に雄ねじを形成せしめ、前記雌ねじ
と雄ねじを螺合せしめてなることを特徴とする請求項１
記載の固体レーザ発振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24004497A JPH1187806A (ja) | 1997-09-04 | 1997-09-04 | 固体レーザ発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24004497A JPH1187806A (ja) | 1997-09-04 | 1997-09-04 | 固体レーザ発振装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1187806A true JPH1187806A (ja) | 1999-03-30 |
Family
ID=17053648
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24004497A Pending JPH1187806A (ja) | 1997-09-04 | 1997-09-04 | 固体レーザ発振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1187806A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001024260A (ja) * | 1999-07-13 | 2001-01-26 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 固体レーザ用キャビティ |
| EP1341271A1 (en) * | 2002-03-01 | 2003-09-03 | GSI Lumonics Ltd. | Laser apparatus |
| US6683900B2 (en) | 2001-02-27 | 2004-01-27 | Ishikawajima-Harima Jukogyo Kabushiki Kaisha | Solid state laser apparatus |
| WO2017204357A1 (ja) | 2016-05-27 | 2017-11-30 | 富士フイルム株式会社 | 固体レーザ装置 |
| US10587088B2 (en) | 2016-05-27 | 2020-03-10 | Fujifilm Corporation | Solid-state laser device |
-
1997
- 1997-09-04 JP JP24004497A patent/JPH1187806A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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