JPH1192222A - 誘電体磁器組成物および積層セラミックコンデンサ - Google Patents
誘電体磁器組成物および積層セラミックコンデンサInfo
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- 239000000203 mixture Substances 0.000 title claims abstract description 57
- 239000003985 ceramic capacitor Substances 0.000 title claims abstract description 47
- 229910052573 porcelain Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 10
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims abstract description 57
- 229910021523 barium zirconate Inorganic materials 0.000 claims abstract description 6
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims description 31
- CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N Magnesium oxide Chemical compound [Mg]=O CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 25
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 23
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 claims description 22
- 229910002113 barium titanate Inorganic materials 0.000 claims description 20
- JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N barium titanate Chemical compound [Ba+2].[Ba+2].[O-][Ti]([O-])([O-])[O-] JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 20
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 claims description 15
- 239000000395 magnesium oxide Substances 0.000 claims description 14
- 229910000272 alkali metal oxide Inorganic materials 0.000 claims description 13
- VQCBHWLJZDBHOS-UHFFFAOYSA-N erbium(iii) oxide Chemical compound O=[Er]O[Er]=O VQCBHWLJZDBHOS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- AMWRITDGCCNYAT-UHFFFAOYSA-L hydroxy(oxo)manganese;manganese Chemical compound [Mn].O[Mn]=O.O[Mn]=O AMWRITDGCCNYAT-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims description 12
- ZIKATJAYWZUJPY-UHFFFAOYSA-N thulium(iii) oxide Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Tm+3].[Tm+3] ZIKATJAYWZUJPY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 10
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 10
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims description 10
- 238000007747 plating Methods 0.000 claims description 10
- 238000010586 diagram Methods 0.000 claims description 9
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 8
- 229910000990 Ni alloy Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 229910003440 dysprosium oxide Inorganic materials 0.000 claims description 6
- NLQFUUYNQFMIJW-UHFFFAOYSA-N dysprosium(iii) oxide Chemical compound O=[Dy]O[Dy]=O NLQFUUYNQFMIJW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229910001940 europium oxide Inorganic materials 0.000 claims description 6
- AEBZCFFCDTZXHP-UHFFFAOYSA-N europium(3+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Eu+3].[Eu+3] AEBZCFFCDTZXHP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229910001938 gadolinium oxide Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 229940075613 gadolinium oxide Drugs 0.000 claims description 6
- CMIHHWBVHJVIGI-UHFFFAOYSA-N gadolinium(iii) oxide Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Gd+3].[Gd+3] CMIHHWBVHJVIGI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229910003451 terbium oxide Inorganic materials 0.000 claims description 6
- SCRZPWWVSXWCMC-UHFFFAOYSA-N terbium(iii) oxide Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Tb+3].[Tb+3] SCRZPWWVSXWCMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- DQBAOWPVHRWLJC-UHFFFAOYSA-N barium(2+);dioxido(oxo)zirconium Chemical compound [Ba+2].[O-][Zr]([O-])=O DQBAOWPVHRWLJC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- JYTUFVYWTIKZGR-UHFFFAOYSA-N holmium oxide Inorganic materials [O][Ho]O[Ho][O] JYTUFVYWTIKZGR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- OWCYYNSBGXMRQN-UHFFFAOYSA-N holmium(3+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Ho+3].[Ho+3] OWCYYNSBGXMRQN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- UZLYXNNZYFBAQO-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);ytterbium(3+) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Yb+3].[Yb+3] UZLYXNNZYFBAQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 229910003454 ytterbium oxide Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 229940075624 ytterbium oxide Drugs 0.000 claims description 5
- AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N magnesium;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[Mg+2] AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000002253 acid Substances 0.000 claims description 2
- 238000009413 insulation Methods 0.000 abstract description 40
- 230000005684 electric field Effects 0.000 abstract description 18
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 2
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 2
- 229910018404 Al2 O3 Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 229910052681 coesite Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 229910052906 cristobalite Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 abstract 1
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 abstract 1
- 229910052682 stishovite Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 229910052905 tridymite Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 16
- 239000000047 product Substances 0.000 description 13
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 12
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 10
- 239000000463 material Substances 0.000 description 10
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 9
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 8
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 7
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 6
- MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N Oxalic acid Chemical compound OC(=O)C(O)=O MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 6
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 5
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 5
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 5
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 4
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 4
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 4
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000010953 base metal Substances 0.000 description 3
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 3
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 3
- BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-L Carbonate Chemical compound [O-]C([O-])=O BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910001252 Pd alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000004703 alkoxides Chemical class 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-M hydroxide Chemical compound [OH-] XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 2
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 2
- 235000006408 oxalic acid Nutrition 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 2
- SWELZOZIOHGSPA-UHFFFAOYSA-N palladium silver Chemical compound [Pd].[Ag] SWELZOZIOHGSPA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 2
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000007858 starting material Substances 0.000 description 2
- 229910000881 Cu alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N Lithium Chemical compound [Li] WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- -1 Lumium Chemical compound 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 1
- 229910000287 alkaline earth metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052788 barium Inorganic materials 0.000 description 1
- DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N barium atom Chemical compound [Ba] DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940094800 barium oxalate Drugs 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000002788 crimping Methods 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 238000007606 doctor blade method Methods 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 238000001027 hydrothermal synthesis Methods 0.000 description 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052744 lithium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011572 manganese Substances 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 229910000510 noble metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- SIWVEOZUMHYXCS-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoyttriooxy)yttrium Chemical compound O=[Y]O[Y]=O SIWVEOZUMHYXCS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229920002037 poly(vinyl butyral) polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 description 1
- 238000010298 pulverizing process Methods 0.000 description 1
- 229910001404 rare earth metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 1
- LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N silicon monoxide Inorganic materials [Si-]#[O+] LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- 238000005303 weighing Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
- Ceramic Capacitors (AREA)
- Inorganic Insulating Materials (AREA)
Abstract
5000Ω・F、150℃で200Ω・F以上と高く、
絶縁抵抗の電圧依存性が小さく、DCバイアス特性や絶
縁耐力に優れ、温度特性がB特性およびX7R特性を満
足し、耐候性能に優れ、内部電極にNiを使用した積層
セラミックコンデンサを提供する。 【解決手段】 セラミック層2a,2bのための誘電体
磁器組成物は、{BaO}m TiO2 +R2 O3 +Ba
ZrO3 +MgO+MnO(R2 O3 はEu2 O 3 、G
d2 O3 、Tb2 O3 、Dy2 O3 、Ho2 O3 、Er
2 O3 、Tm2 O 3 、Yb2 O3 の少なくとも1種)系
の主成分100重量部と、Li2 O−(Si,Ti)O
2 −MO(MOはAl2 O3 および/またはZrO2 )
またはSiO2 −TiO2 −XO(XOはBaO、Ca
O、SrO、MgO、ZnO、MnOの少なくとも1
種)系の副成分0.2〜3.0重量部とを含有する。
Description
および積層セラミックコンデンサに関するものである。
以下のようにして製造されるのが一般的である。まず、
その表面に内部電極となる電極材料を塗布したシート状
の誘電体材料が準備される。誘電体材料としては、たと
えばBaTiO3 を主成分とする材料が用いられる。次
に、この電極材料を塗布したシート状の誘電体材料を積
層して熱圧着し、一体化したものを大気雰囲気中におい
て1250〜1350℃で焼成することによって、内部
電極を有するセラミック積層体が得られる。そして、こ
のセラミック積層体の端面に、内部電極と電気的に導通
する外部電極を焼き付けることにより、積層セラミック
コンデンサが得られる。
の材料として、従来は、一般的に、白金、金、パラジウ
ムあるいは銀−パラジウム合金などの貴金属が用いられ
ていた。しかしながら、これらの電極材料は優れた特性
を有する反面、高価であるため、製造コストを上昇させ
る要因となっていた。そのため、現在は、製造コストを
低下させるために卑金属のNiを内部電極とする積層コ
ンデンサが提案され、使用量が増大している。
機能化、低価格化が進む中、積層セラミックコンデンサ
に対しても、低価格化、絶縁耐力の向上、絶縁性の向
上、信頼性の向上、大容量化の要求が強くなっている。
電子機器の低価格化のためには、内部電極にニッケルを
用いた低価格の積層セラミックコンデンサを使うことが
有利であるが、従来の誘電体磁器材料は、低い電界強度
下で使用されることを前提として設計されていたので、
高い電界強度下で使用すると、絶縁抵抗値、絶縁耐力お
よび信頼性が極端に低下するという問題が生じた。すな
わち、内部電極にニッケルを用いながら、高電界強度下
で使用できる積層セラミックコンデンサはなかった。
報や、特開昭61−101459号公報に示される誘電
体材料は、大きな誘電率が得られるものの、得られた誘
電体磁器の結晶粒が大きく、その結果、高い電界強度下
で使用した場合、積層セラミックコンデンサにおける絶
縁耐力が低くなったり、高温負荷試験の平均寿命時間が
短くなるという欠点があった。
される誘電体材料では、低電界強度下で得られる誘電率
は2000〜2800と高いものの、高い電界強度下で
使用したときには、誘電率すなわち静電容量が著しく低
くなるという欠点があった。また、同時に絶縁抵抗値が
低いという欠点もあった。そこで、本発明の目的は、高
電界強度、具体的には10kV/mm程度の高い電界強
度で使用したときに、絶縁抵抗が静電容量との積(CR
積)で表した場合に、室温および150℃で、それぞれ
5000Ω・Fおよび190〜200Ω・F以上と高
く、絶縁抵抗の電圧依存性が小さく、DCバイアス電圧
に対する静電容量の安定性に優れ、絶縁耐力が高く、静
電容量の温度特性がJIS規格で規定するB特性および
EIA規格で規定するX7R特性をそれぞれ満足し、高
温負荷、耐湿負荷などの耐候性能に優れた、たとえば積
層セラミックコンデンサの誘電体セラミック層を構成し
得る誘電体磁器組成物を提供しようとすること、ならび
に、このような誘電体磁器組成物を誘電体セラミック層
として用いるとともに、内部電極をNiまたはNi合金
で構成した、積層セラミックコンデンサを提供しようと
することである。
め、本発明の誘電体磁器組成物は、アルカリ金属酸化物
の含有量が0.02重量%以下のチタン酸バリウムと、
酸化ユーロピウム、酸化ガドリニウム、酸化テルビウ
ム、酸化ジスプロシウム、酸化ホルミウム、酸化エルビ
ウム、酸化ツリウムおよび酸化イッテルビウムの中から
選ばれる少なくとも1種と、ジルコン酸バリウムと、酸
化マンガンとからなり、かつ、次の組成式、 {BaO}m TiO2 +αR2 O3 +βBaZrO3 +
γMnO (ただし、R2 O3 はEu2 O3 、Gd2 O3 、Tb2
O3 、Dy2 O3 、Ho 2 O3 、Er2 O3 、Tm2 O
3 およびYb2 O3 の中から選ばれる少なくとも1種で
あり、α、βおよびγはモル比を表し、0.001≦α
≦0.06、0.005≦β≦0.06、0.001<
γ≦0.13、1.000<m≦1.035の範囲内に
ある。)で表される主成分を含有するとともに、第1の
副成分をLi2 O−(Si,Ti)O2 −MO系(ただ
し、MOはAl2O3 およびZrO2 の少なくとも一方
である。)の酸化物とし、第2の副成分をSiO2 −T
iO2 −XO系(ただし、XOはBaO、CaO、Sr
O、MgO、ZnOおよびMnOの中から選ばれる少な
くとも1種である。)の酸化物としたときに、該第1ま
たは第2の副成分のどちらか一方を、前記主成分100
重量部に対して、0.2〜3.0重量部含有しているこ
とを特徴とする。
は、アルカリ金属酸化物の含有量が0.02重量%以下
のチタン酸バリウムと、酸化ユーロピウム、酸化ガドリ
ニウム、酸化テルビウム、酸化ジスプロシウム、酸化ホ
ルミウム、酸化エルビウム、酸化ツリウムおよび酸化イ
ッテルビウムの中から選ばれる少なくとも1種と、ジル
コン酸バリウムと、酸化マグネシウムと、酸化マンガン
とからなり、かつ、次の組成式、 {BaO}m TiO2 +αR2 O3 +βBaZrO3 +
γMgO+gMnO (ただし、R2 O3 はEu2 O3 、Gd2 O3 、Tb2
O3 、Dy2 O3 、Ho 2 O3 、Er2 O3 、Tm2 O
3 およびYb2 O3 の中から選ばれる少なくとも1種で
あり、α、β、γおよびgはモル比を表し、0.001
≦α≦0.06、0.001≦β≦0.06、0.00
1<γ≦0.12、0.001<g≦0.12、γ+g
≦0.13、1.000<m≦1.035の範囲内にあ
る。)で表される主成分を含有するとともに、第1の副
成分をLi2 O−(Si,Ti)O2 −MO系(ただ
し、MOはAl2O3 およびZrO2 の少なくとも一方
である。)の酸化物とし、第2の副成分をSiO2 −T
iO2 −XO系(ただし、XOはBaO、CaO、Sr
O、MgO、ZnOおよびMnOの中から選ばれる少な
くとも1種である。)の酸化物としたときに、該第1ま
たは第2の副成分のどちらか一方を、前記主成分100
重量部に対して、0.2〜3.0重量部含有しているこ
とを特徴とする。
しくは、第1の副成分は、xLi2O−y(Siw Ti
1-w )O2 −zMO(ただし、x、yおよびzはモル%
であり、wは0.30≦w≦1.0の範囲内にある。)
で表したとき、それぞれの成分を頂点とする三元組成図
の、A(x=20、y=80、z=0)、B(x=1
0、y=80、z=10)、C(x=10、y=70、
z=20)、D(x=35、y=45、z=20)、E
(x=45、y=45、z=10)、F(x=45、y
=55、z=0)、(ただし、直線A−F上の組成の場
合は、wは0.3≦w<1.0の範囲内)で示される各
点を結ぶ直線で囲まれた領域の内部または線上にあるこ
とを特徴とする。
て、好ましくは、第2の副成分は、xSiO2 −yTi
O2 −zXO(ただし、x、yおよびzはモル%であ
る。)で表したとき、それぞれの成分を頂点とする三元
組成図のA(x=85、y=1、z=14)、B(x=
35、y=51、z=14)、C(x=30、y=2
0、z=50)、D(x=39、y=1、z=60)で
示される各点を結ぶ直線で囲まれた領域の内部または線
上にあることを特徴とする。
iO2 −XO系の酸化物100重量部に対してAl2 O
3 およびZrO2 の少なくとも一方を合計で15重量部
以下(ただし、ZrO2 は5重量部以下)含有すること
が好ましい。本発明は、また、複数の誘電体セラミック
層と、該誘電体セラミック層間に形成された内部電極
と、該内部電極に電気的に接続された外部電極とを備え
る、積層セラミックコンデンサにも向けられる。このよ
うな積層セラミックコンデンサにおいて、誘電体セラミ
ック層が上述したような本発明に係る誘電体磁器組成物
によって構成され、また、内部電極がニッケルまたはニ
ッケル合金によって構成される。
おいて、外部電極は、導電性金属粉末、またはガラスフ
リットを添加した導電性金属粉末の焼結層を備えていた
り、あるいは、導電性金属粉末、またはガラスフリット
を添加した導電性金属粉末の焼結層からなる第1層と、
その上のめっき層からなる第2層とを備えていたりす
る。
積層セラミックコンデンサの基本的構造を図面により説
明する。図1は、積層セラミックコンデンサの一例を示
す断面図、図2は、図1の積層セラミックコンデンサの
うち、内部電極を有する誘電体セラミック層部分を示す
平面図、図3は、図1の積層セラミックコンデンサのう
ち、セラミック積層体部分を示す分解斜視図である。
サ1は、図1に示すように、内部電極4を介して複数枚
の誘電体セラミック層2aおよび2bを積層して得られ
た、直方体形状のセラミック積層体3を備える。セラミ
ック積層体3の両端面上には、内部電極4の特定のもの
に電気的に接続されるように、外部電極5がそれぞれ形
成され、その上には、ニッケル、銅などの第1のめっき
層6が形成され、さらにその上には、半田、錫などの第
2のめっき層7が形成されている。
製造方法について製造工程順に説明する。まず、誘電体
セラミック層2aおよび2bの主成分となる、所定の組
成比率に秤量し混合したチタン酸バリウム系の原料粉末
を用意する。すなわち、前述したように、アルカリ金属
酸化物の含有量が0.02重量%以下のチタン酸バリウ
ムと、酸化ユーロピウム、酸化ガドリニウム、酸化テル
ビウム、酸化ジスプロシウム、酸化ホルミウム、酸化エ
ルビウム、酸化ツリウムおよび酸化イッテルビウムの中
から選ばれる少なくとも1種と、ジルコン酸バリウム
と、酸化マンガンとからなる主成分、または、アルカリ
金属酸化物の含有量が0.02重量%以下のチタン酸バ
リウムと、酸化ユーロピウム、酸化ガドリニウム、酸化
テルビウム、酸化ジスプロシウム、酸化ホルミウム、酸
化エルビウム、酸化ツリウムおよび酸化イッテルビウム
の中から選ばれる少なくとも1種と、ジルコン酸バリウ
ムと、酸化マグネシウムと、酸化マンガンとからなる主
成分を含有するとともに、Li2O−(Si,Ti)O
2 −MO系の第1の副成分またはSiO2 −TiO2 −
XO系の第2の副成分のどちらか一方を含有する、誘電
体磁器組成物を生成し得る原料粉末を用意する。
えてスラリー化し、このスラリーをシート状に成形し
て、誘電体セラミック層2aおよび2bのためのグリー
ンシートを得る。その後、誘電体セラミック層2bとな
るグリーンシートの一方主面上にニッケルまたはニッケ
ル合金からなる内部電極4を形成する。前述したような
誘電体磁器組成物を用いて誘電体セラミック層2aおよ
び2bを形成すれば、内部電極4の材料として、卑金属
としてのニッケルまたはニッケル合金を用いることがで
きる。なお、内部電極4は、スクリーン印刷法などによ
って形成されても、蒸着法、めっき法などによって形成
されてもよい。
ック層2bのためのグリーンシートを、必要枚数積層し
た後、図3に示すように、内部電極を有しない誘電体セ
ラミック層2aのためのグリーンシートによって挟んだ
状態とし、これを圧着することによって、生の積層体を
得る。その後、この生の積層体を還元雰囲気中、所定の
温度にて焼成し、セラミック積層体3を得る。
部電極4と電気的に接続されるように、外部電極5を形
成する。この外部電極5の材料としては、内部電極4と
同じ材料を使用することができる。また、銀、パラジウ
ム、銀−パラジウム合金、銅、銅合金などが使用可能で
あり、また、これらの金属粉末にB2 O3 −SiO2−
BaO系ガラス、Li2 O−SiO2 −BaO系ガラス
などのガラスフリットを添加したものも使用されるが、
積層セラミックコンデンサの使用用途、使用場所などを
考慮に入れて適当な材料が選択される。また、外部電極
5は、材料となる金属粉末ペーストを、焼成により得た
セラミック積層体3に塗布して、焼き付けることによっ
て形成されるが、焼成前に塗布して、セラミック積層体
3と同時に焼き付けることによって形成されてもよい。
どのめっきを施し、第1のめっき層6を形成する。最後
に、この第1のめっき層6の上に、半田、錫などの第2
のめっき層7を形成し、積層セラミックコンデンサ1を
完成させる。なお、このように外部電極5の上にさらに
めっきなどで導体層を形成することは、積層セラミック
コンデンサの用途によっては省略することもできる。
よび2bを構成するため、前述したような誘電体磁器組
成物を用いることによって、還元性雰囲気中で焼成して
も、その特性が劣化することはない。すなわち、10k
V/mmの高い電界強度下で使用した場合であっても、
絶縁抵抗と静電容量との積(CR積)が、室温および1
50℃で、それぞれ、5000Ω・Fおよび190〜2
00Ω・F以上と高く、絶縁抵抗の電圧依存性が小さ
く、5kV/mmのDC電圧印加時の容量低下率の絶対
値が40%〜45%以下と小さく、絶縁耐力がAC電圧
で12kV/mm以上、DC電圧で14kV/mm以上
と高く、静電容量の温度特性が−25℃〜+85℃の範
囲でJIS規格に規定するB特性および−55℃〜+1
25℃の範囲でEIA規格に規定するX7R特性を満足
し、150℃およびDC25kV/mmの高温負荷およ
び耐湿負荷に対する耐候性能に優れる特性が得られる。
ち、チタン酸バリウム中に不純物として存在するSr
O、CaOなどのアルカリ土類金属酸化物、Na2 O、
K2 Oなどのアルカリ金属酸化物、Al2 O3 、SiO
2 などのその他の酸化物のうち、特にアルカリ金属酸化
物の含有量が電気的特性に大きく影響することが確認さ
れている。そして、Eu2 O3 、Gd2 O3 、Tb2 O
3 、Dy2 O3 、Ho2O3 、Er2 O3 、Tm
2 O3 、Yb2 O3 などの希土類酸化物の添加量が増大
すると比誘電率は低下するが、チタン酸バリウム中に不
純物として存在するアルカリ金属酸化物を0.02重量
%以下にすることにより、比誘電率を実使用上問題のな
い900〜1600に維持することができる。
(Si,Ti)O2 −MO系(MOはAl2 O3 および
ZrO2 の少なくとも一方)の酸化物を添加することに
よって、1300℃以下と比較的低温度で焼結させるこ
とができ、さらに、高温負荷特性を向上させることがで
きる。また、誘電体磁器組成物中にSiO2 −TiO2
−XO系(XOはBaO、CaO、SrO、MgO、Z
nOおよびMnOの中から選ばれる少なくとも1種)の
酸化物を添加することによって、焼結性が向上するとと
もに、高温負荷特性および耐湿負荷特性が向上する。さ
らに、前記SiO2 −TiO2 −XO系の酸化物にAl
2 O3 および/またはZrO2 を添加含有させること
で、より高い絶縁抵抗を得ることが可能となる。
的に説明するが、本発明の範囲内における実施の形態
は、このような実施例のみに限定されるものではない。 (実施例1)まず、出発原料として種々の純度のTiC
l4 とBa(NO3 )2 とを準備して秤量した後、蓚酸
により蓚酸チタニルバリウム{BaTiO(C2 O4 )
・4H2 O}として沈殿させた。この沈殿物を1000
℃以上の温度で加熱分解させて、表1の4種類のチタン
酸バリウム(BaTiO3 )を合成した。
O−0.65(0.30TiO2 ・0.70SiO2 )
−0.10Al2 O3 (モル比)の組成割合になるよう
に、各成分の酸化物、炭酸塩または水酸化物を秤量し、
混合粉砕して粉末を得た。同様に、第2の副成分として
0.66SiO2 −0.17TiO2 −0.15BaO
−0.02MnO(モル比)の組成割合になるように、
各成分の酸化物、炭酸塩または水酸化物を秤量し、混合
粉砕して粉末を得た。
物粉末を別々の白金るつぼ中において、1500℃まで
加熱した後、急冷し、粉砕することによって、平均粒径
が1μm以下のそれぞれの酸化物粉末を得た。次に、チ
タン酸バリウムのBa/Tiモル比mを調整するための
BaCO3 と、純度99%以上のEu2 O3 、Gd2 O
3 、Tb2 O3 、Dy2 O3 、Ho2O3 、Er
2 O3 、Tm2 O3 、Yb2 O3 、BaZrO3 、Mg
OおよびMnOを準備した。これらの原料粉末と第1ま
たは第2のどちらか一方の副成分である上記酸化物粉末
を表2および表3に示す組成になるように秤量した。な
お、第1、第2の副成分の添加量は、主成分[{Ba
O}m TiO2 +αR2 O3 +βBaZrO3 +γMg
O+gMnO]100重量部に対する添加部数である。
ル系バインダおよびエタノールなどの有機溶剤を加え
て、ボールミルにより湿式混合し、セラミックスラリー
を調整した。このセラミックスラリーをドクターブレー
ド法によりシート成形し、厚み35μmの矩形のグリー
ンシートを得た。その後、このセラミックグリーンシー
ト上に、Niを主体とする導電ペーストを印刷し、内部
電極を構成するための導電ペースト層を形成した。
ミックグリーンシートを導電ペーストが引き出されてい
る側が互い違いとなるように複数枚積層し、積層体を得
た。この積層体を、N2 雰囲気中にて350℃の温度に
加熱し、バインダを分解させた後、酸素分圧10-9〜1
0-12 MPaのH2 −N2 −H2 Oガスからなる還元性
雰囲気中において表4および表5に示す温度で2時間焼
成し、セラミック焼結体を得た。
面にB2 O3 −Li2 O−SiO2−BaO系のガラス
フリットを含有する銀ペーストを塗布し、N2 雰囲気中
において600℃の温度で焼き付け、内部電極と電気的
に接続された外部電極を形成した。このようにして得ら
れた積層セラミックコンデンサの外形寸法は幅:5.0
mm、長さ:5.7mm、厚さ:2.4mmであり、誘
電体セラミック層の厚みは30μmであった。また、有
効誘電体セラミック層の総数は57であり、1層当たり
の対向電極の面積は8.2×10-6m2 であった。
電気的特性を測定した。静電容量(C)および誘電損失
(tanδ)は自動ブリッジ式測定器を用いて、周波数
1kHz、1Vrms、温度25℃にて測定し、静電容
量から誘電率(ε)を算出した。その後、絶縁抵抗
(R)を測定するために、絶縁抵抗計を用い、315V
(すなわち、10kV/mm)、および945V(すな
わち、30kV/mm)の直流電圧を2分間印加して2
5℃および150℃での絶縁抵抗を測定し、静電容量と
絶縁抵抗との積、すなわちCR積を求めた。
を測定した。温度変化に対する静電容量の変化率につい
ては、20℃での静電容量を基準とした−25℃と85
℃とでの変化率(ΔC/C20)、ならびに、25℃で
の静電容量を基準とした、−55℃と125℃とでの変
化率(ΔC/C25)および−55℃〜125℃の範囲
内で絶対値としてその変化率の最大となった値(|ΔC
|max )を求めた。
わち、まず1kHz、1VrmsのAC電圧を印加した
ときの静電容量を測定した。次に、DC150Vと1k
Hz、1VrmsのAC電圧を同時に印加した時の静電
容量を測定した。そして、DC電圧を負荷したことによ
る静電容量の低下率ΔC/Cを算出した。また、高温負
荷試験として、各試料を36個ずつ、温度150℃にて
750V(すなわち、25kV/mm)の直流電圧を印
加して、その絶縁抵抗の経時変化を測定した。なお、高
温負荷寿命試験は各試料の絶縁抵抗値が106 Ω以下に
なったときの時間を寿命時間とし、その平均寿命時間を
求めた。
個ずつ、2気圧(相対湿度100%)、温度120℃に
て315VのDC電圧を250時間印加したときの、絶
縁抵抗が106 Ω以下になった試料の個数を求めた。さ
らに、絶縁破壊電圧は昇圧速度100V/秒でAC電圧
およびDC電圧をそれぞれ印加し、AC電圧およびDC
電圧での破壊電圧を測定した。
積層セラミックコンデンサは5kV/mmのDC電圧印
加時の容量低下率が−45%以内と小さく、誘電損失は
1.0%以下で、温度に対する静電容量の変化率が−2
5℃〜+85℃の範囲でJIS規格に規定するB特性規
格を満足し、−55℃〜125℃の範囲でEIA規格に
規定するX7R特性規格を満足する。
下で使用する時に、25℃、150℃での絶縁抵抗をC
R積で表したときに、それぞれ5000Ω・F以上、2
00Ω・F以上と高い値を示す。また、絶縁破壊電圧が
AC電圧で12kV/mm以上、DC電圧で14kV/
mm以上と大きい値を示す。さらに、150℃、25k
V/mmの加速試験において平均寿命時間が800時間
以上と長く、焼成温度も1300℃以下と比較的低温で
焼成可能である。
明する。 {BaO}m TiO2 +αR2 O3 +βBaZrO3 +
γMgO+gMnO (ただし、R2 O3 はEu2 O3 、Gd2 O3 、Tb2
O3 、Dy2 O3 、Ho 2 O3 、Er2 O3 、Tm2 O
3 およびYb2 O3 の中から選ばれる少なくとも1種で
あり、α、β、γおよびgはモル比を表す。)におい
て、試料番号1のように、R2 O3 量αが0.001未
満の場合には絶縁抵抗が低く、CR積が小さくなるので
好ましくない。一方、試料番号2のようにR2 O3量α
が0.06を超える場合には、温度特性がB特性/X7
R特性を満足せず、信頼性が悪くなるので好ましくな
い。したがって、R2 O3 量αは0.001≦α≦0.
06の範囲が好ましい。
量βが0の場合には、絶縁抵抗が低く、BaZrO3 を
含む系よりも絶縁抵抗の電圧依存性が大きいので好まし
くない。一方、試料番号4のように、BaZrO3 量β
が0.06を超えた場合には、温度特性もB特性/X7
R特性を満足せず、平均寿命時間が短いので好ましくな
い。したがって、BaZrO3 量βは0.005≦β≦
0.06の範囲が好ましい。
0.001の場合、絶縁抵抗が低く、温度特性がB特性
/X7R特性を満足しないので好ましくない。一方、試
料番号6のように、MgO量γが0.12を超えると、
焼結温度が高くなり、誘電損失が2.0%を超え、耐湿
負荷試験で不良個数が極端に増え、しかも、平均寿命時
間が短くなるので好ましくない。したがって、MgO量
γは0.001<γ≦0.12の範囲が好ましい。
0.001の場合、半導体化のため測定不能となり好ま
しくない。一方、試料番号8のように、MnO量gが
0.12を超える場合には、温度特性X7Rを満足せ
ず、絶縁抵抗が低く、平均寿命時間が短くなり好ましく
ない。したがって、MnO量gは0.001<g≦0.
12の範囲が好ましい。
O量の合計γ+gが0.13を超えると、誘電損失が
2.0%以上まで大きくなり、平均寿命時間が短くな
り、耐湿負荷試験不良個数が増加するので好ましくな
い。したがって、MgOとMnO量の合計γ+gはγ+
g≦0.13の範囲が好ましい。また、試料番号10の
ように、BaO/TiO2 比mが1.000未満の場
合、半導体化のため測定不能となり好ましくない。ま
た、試料番号11のように、BaO/TiO2 比mが
1.000の場合、絶縁抵抗が低く、ACおよびDCの
破壊電圧が低く、平均寿命時間が短く好ましくない。一
方、試料番号12および13のように、BaO/TiO
2 比mが1.035を超えた場合、焼結不足のため測定
不能となり好ましくない。したがって、BaO/TiO
2 比mは1.000<m≦1.035の範囲が好まし
い。
第1の副成分の添加量または第2の副成分の添加量が0
の場合、焼結不足のため測定不能となり好ましくない。
一方、試料番号15および17のように、第1の副成分
の添加量または第2の副成分の添加量が3.0重量部を
超えた場合、誘電損失が1.0%を超え、また、絶縁抵
抗も破壊電圧も低く、しかも、平均寿命時間も短くなり
好ましくない。したがって、第1または第2の副成分の
どちらか一方の含有量は0.2〜3.0重量部の範囲が
好ましい。
て含まれるアルカリ金属酸化物の含有量を0.02重量
%以下としたのは、試料番号18のように、アルカリ金
属酸化物の含有量が0.02重量%を超える場合には、
誘電率の低下を生じるからである。 (実施例2)誘電体粉末として、表1のAのチタン酸バ
リウムを用いて、BaO1.010 ・TiO2 +0.03G
d2 O3 +0.025BaZrO3 +0.05MgO+
0.01MnO(モル比)の原料を準備し、これに、1
200〜1500℃で加熱して作製した表6に示す平均
粒径1μm以下のLi2 O−(Si,Ti)O2 −MO
系の酸化物を第1の副成分として添加して、その他は実
施例1と同様にして積層セラミックコンデンサを作製し
た。なお、作製した積層セラミックコンデンサの寸法形
状は実施例1と同様である。
を測定した。その結果を表7に示す。
に示すLi2 O−(Siw Ti1-w)O2 −MO系の酸
化物の三元組成図のA(x=20、y=80、z=
0)、B(x=10、y=80、z=10)、C(x=
10、y=70、z=20)、D(x=35、y=4
5、z=20)、E(x=45、y=45、z=1
0)、F(x=45、y=55、z=0)(ただし、
x、y、zはモル%、wはモル比であり、直線A−F上
の組成の場合、wは0.3≦w<1.0の範囲内)で示
される各点を結ぶ直線で囲まれた領域の内部または線上
にある酸化物が添加された試料番号101〜112、1
18および120のものは、5kV/mmのDC電圧印
加時の容量低下率が−45%以内と小さく、誘電損失は
1.0%以下で、温度に対する静電容量の変化率が−2
5℃〜85℃の範囲でJIS規格に規定するB特性規格
を満足し、−55℃〜125℃の範囲でEIA規格に規
定するX7R特性規格を満足するという好ましい結果が
得られる。
使用した時に、25℃、150℃での絶縁抵抗をCR積
で表したときに、それぞれ5000Ω・F以上、200
Ω・F以上と高い値を示す。また、絶縁破壊電圧がAC
電圧で12kV/mm以上、DC電圧で14kV/mm
以上と大きい値を示す。さらに、150℃、25kV/
mmの加速試験において平均寿命時間が800時間以上
と長く、焼成温度も1300℃以下と比較的低温で焼成
可能である。
1-w )O2 −MO系の酸化物が上記組成範囲外の場合
は、試料番号113〜117および119に示すとお
り、焼結不足となるか、焼結しても耐湿負荷試験におい
て不良が発生する。また、点A−F上の組成かつw=
1.0の場合には、試料番号119および121のよう
に焼結温度が高くなり、耐湿負荷試験において不良が発
生する。また、wの値が0.30未満の場合には、試料
番号122に示すように、焼結温度が高くなり、耐湿負
荷試験において不良が発生する。 (実施例3)誘電体粉末として、表1のAのチタン酸バ
リウムを用いて、BaO1.010 ・TiO2 +0.03D
y2 O3 +0.02BaZrO3 +0.05MgO+
0.01MnO(モル比)の原料を準備し、これに、1
200〜1500℃で加熱して作製した表8に示す平均
粒径1μm以下のSiO2 −TiO2 −XO系の酸化物
を第2の副成分として添加して、その他は実施例1と同
様にして積層セラミックコンデンサを作製した。なお、
Al2 O3 およびZrO2 の各添加量は、第2の副成分
[xSiO2 −yTiO2 −zXO]100重量部に対
する添加部数である。また、作製した積層コンデンサの
外形寸法などは、実施例1と同様である。
を測定した。その結果を表9に示す。
に示すSiO2 −TiO2 −XO系の酸化物の三元組成
図のA(x=85、y=1、z=14)、B(x=3
5、y=51、z=14)、C(x=30、y=20、
z=50)、D(x=39、y=1、z=60)(ただ
し、x、y、zはモル%)で示される各点を結ぶ直線で
囲まれた領域の内部または線上にある酸化物が添加され
た試料番号201〜212のものは、5kV/mmのD
C電圧印加時の容量低下率が−45%以内と小さく、誘
電損失は1.0%以下で温度に対する静電容量の変化率
が、−25℃〜85℃の範囲でJIS規格に規定するB
特性規格を満足し、−55℃〜125℃の範囲内でEI
A規格に規定するX7R特性規格を満足するという好ま
しい結果が得られる。
使用した時に、25℃、150℃での絶縁抵抗をCR積
で表したときに、それぞれ5000Ω・F以上、200
Ω・F以上と高い値を示す。また、絶縁破壊電圧がAC
電圧で12kV/mm以上、DC電圧で14kV/mm
以上と大きい値を示す。さらに、150℃、25kV/
mmの加速試験において平均寿命時間が800時間以上
と長く、耐湿負荷試験で不良発生が認められず、焼成温
度も1300℃以下と比較的低温で焼成可能である。
系の酸化物が上記組成範囲外の場合は、試料番号213
〜219に示すように焼結不足となるか、焼結しても耐
湿負荷試験において不良が発生する。また、試料番号2
11および212のように、SiO2 −TiO2 −XO
系の酸化物に、Al2 O3 および/またはZrO2 を含
有させることで、10kV/mmの電界強度下における
25℃、150℃の絶縁抵抗が5400Ω・F、300
Ω・F以上の積層コンデンサが得られるが、試料番号2
17および218のように、Al2 O3 添加量として1
5重量部およびZrO2 添加量として5重量部を超える
と、焼結性が極端に低下する。
り、表1の4種類のチタン酸バリウム(BaTi
O 3 )、第1の副成分としての酸化物粉末、および第2
の副成分としての酸化物粉末を得た。次に、チタン酸バ
リウムのBa/Tiモル比mを調整するためのBaCO
3 と、純度99%以上のEu2 O3 、Gd2 O3 、Tb
2 O3 、Dy2 O3 、Ho2O3 、Er2 O3 、Tm2
O3 、Yb2 O3 、BaZrO3 およびMnOを準備し
た。これらの原料粉末と第1または第2のどちらか一方
の副成分である上記酸化物粉末を表10および表11に
示す組成になるように秤量した。なお、第1、第2の副
成分の添加量は、主成分[{BaO}m TiO2 +αR
2 O3 +βBaZrO3 +γMnO]100重量部に対
する添加部数である。そして、この秤量物を用いて、実
施例1と同様の方法により、積層セラミックコンデンサ
を作製した。また、作製した積層セラミックコンデンサ
の外形寸法などは、実施例1と同様である。
を測定した。その結果を表12および表13に示す。
明の積層セラミックコンデンサは5kV/mmのDC電
圧印加時の容量低下率が−40%以内と小さく、誘電損
失は1.0%以下で、温度に対する静電容量の変化率が
−25℃〜+85℃の範囲でJIS規格に規定するB特
性規格を満足し、−55℃〜125℃の範囲でEIA規
格に規定するX7R特性規格を満足する。
下で使用する時に、25℃、150℃での絶縁抵抗をC
R積で表したときに、それぞれ5000Ω・F以上、2
00Ω・F以上と高い値を示す。また、絶縁破壊電圧が
AC電圧で12kV/mm以上、DC電圧で14kV/
mm以上と大きい値を示す。さらに、150℃、25k
V/mmの加速試験において平均寿命時間が800時間
以上と長く、焼成温度も1300℃以下と比較的低温で
焼成可能である。
明する。 {BaO}m TiO2 +αR2 O3 +βBaZrO3 +
γMnO (ただし、R2 O3 はEu2 O3 、Gd2 O3 、Tb2
O3 、Dy2 O3 、Ho 2 O3 、Er2 O3 、Tm2 O
3 およびYb2 O3 の中から選ばれる少なくとも1種で
あり、α、βおよびγはモル比を表す。)において、試
料番号301のように、R2 O3 量αが0.001未満
の場合には、温度特性がB特性/X7R特性を満足しな
くなり好ましくない。一方、試料番号302のようにR
2 O3 量αが0.06を超える場合には、比誘電率が9
00未満まで小さくなり好ましくない。したがって、R
2 O3 量αは0.001≦α≦0.06の範囲が好まし
い。
O3 量βが0の場合には、絶縁抵抗が低く、BaZrO
3 を含む系よりも絶縁抵抗の電圧依存性が大きいので好
ましくない。一方、試料番号304のように、BaZr
O3 量βが0.06を超えた場合には、温度特性もB特
性/X7R特性を満足せず、平均寿命時間が短いので好
ましくない。したがって、BaZrO3 量βは0.00
5≦β≦0.06の範囲が好ましい。
γが0.001の場合、半導体化のため測定不能となり
好ましくない。一方、試料番号306のように、MnO
量γが0.13を超える場合には、温度特性X7Rを満
足せず、絶縁抵抗が低く、平均寿命時間が短くなり好ま
しくない。したがって、MnO量γは0.001<γ≦
0.13の範囲が好ましい。
TiO2 比mが1.000未満の場合、半導体化のため
測定不能となり好ましくない。また、試料番号308の
ように、BaO/TiO2 比mが1.000の場合、絶
縁抵抗が低く、ACおよびDCの破壊電圧が低く、平均
寿命時間が短く好ましくない。一方、試料番号309お
よび310のように、BaO/TiO2 比mが1.03
5を超えた場合、焼結不足のため測定不能となり好まし
くない。したがって、BaO/TiO2 比mは1.00
0<m≦1.035の範囲が好ましい。
に、第1の副成分の添加量または第2の副成分の添加量
が0の場合、焼結不足のため測定不能となり好ましくな
い。一方、試料番号312および314のように、第1
の副成分の添加量または第2の副成分の添加量が3.0
重量部を超えた場合、誘電損失が1.0%を超え、ま
た、絶縁抵抗も破壊電圧も低く、しかも、平均寿命時間
も短くなり好ましくない。したがって、第1または第2
の副成分のどちらか一方の含有量は0.2〜3.0重量
部の範囲が好ましい。
て含まれるアルカリ金属酸化物の含有量を0.02重量
%以下としたのは、試料番号315のように、アルカリ
金属酸化物の含有量が0.02重量%を超える場合に
は、誘電率の低下を生じるからである。 (実施例5)誘電体粉末として、表1のAのチタン酸バ
リウムを用いて、BaO1.010 ・TiO2 +0.015
Ho2 O3 +0.01BaZrO3 +0.03MnO
(モル比)の原料を準備し、これに、1200〜150
0℃で加熱して作製した表6に示すのと同様の平均粒径
1μm以下のLi2 O−(Si,Ti)O2 −MO系の
酸化物を第1の副成分として添加して、その他は実施例
1と同様にして積層セラミックコンデンサを作製した。
なお、作製した積層セラミックコンデンサの寸法形状は
実施例1と同様である。そして、実施例1と同様にして
電気的特性を測定した。その結果を表14に示す。な
お、表14において、試料番号401〜422は、それ
ぞれ、表6の試料番号101〜122に対応しており、
たとえば、表14の試料番号401は、表6の試料番号
101の副成分を添加して得たものである。
O2 −MO系の酸化物の三元組成図のA(x=20、y
=80、z=0)、B(x=10、y=80、z=1
0)、C(x=10、y=70、z=20)、D(x=
35、y=45、z=20)、E(x=45、y=4
5、z=10)、F(x=45、y=55、z=0)
(ただし、x、y、zはモル%、wはモル比であり、直
線A−F上の組成の場合、wは0.3≦w<1.0の範
囲内)で示される各点を結ぶ直線で囲まれた領域の内部
または線上にある表6の試料番号101〜112、11
8および120の酸化物を副成分として添加したもの
は、表14の試料番号401〜412、418および4
20において見られるように、5kV/mmのDC電圧
印加時の容量低下率が−40%以内と小さく、誘電損失
は1.0%以下で、温度に対する静電容量の変化率が−
25℃〜85℃の範囲でJIS規格に規定するB特性規
格を満足し、−55℃〜125℃の範囲でEIA規格に
規定するX7R特性規格を満足するという好ましい結果
が得られる。
使用した時に、25℃、150℃での絶縁抵抗をCR積
で表したときに、それぞれ5000Ω・F以上、190
Ω・F以上と高い値を示す。また、絶縁破壊電圧がAC
電圧で12kV/mm以上、DC電圧で14kV/mm
以上と大きい値を示す。さらに、150℃、DC25k
V/mmの加速試験において平均寿命時間が800時間
以上と長く、焼成温度も1300℃以下と比較的低温で
焼成可能である。
17および119のように、Li2O−(Siw Ti
1-w )O2 −MO系の酸化物が上記組成範囲外の場合
は、表14の試料番号413〜417および419にお
いて見られるように、焼結不足となるか、焼結しても耐
湿負荷試験において不良が発生する。また、表6の試料
番号119および121のように、点A−F上の組成か
つw=1.0の場合には、表14の試料番号419およ
び421において見られるように、焼結温度が高くな
り、耐湿負荷試験において不良が発生する。また、表6
の試料番号122のように、wの値が0.30未満の場
合には、表14の試料番号422において見られるよう
に、焼結温度が高くなり、耐湿負荷試験において不良が
発生する。
のチタン酸バリウムを用いて、BaO1.010 ・TiO2
+0.025Eu2 O3 +0.01BaZrO3 +0.
05MnO(モル比)の原料を準備し、これに、120
0〜1500℃で加熱して作製した表8に示すのと同様
の平均粒径1μm以下のSiO2 −TiO2 −XO系の
酸化物を第2の副成分として添加して、その他は実施例
1と同様にして積層セラミックコンデンサを作製した。
作製した積層コンデンサの外形寸法などは、実施例1と
同様である。そして、実施例1と同様にして電気的特性
を測定した。その結果を表15に示す。なお、表15に
おいて、試料番号501〜519は、それぞれ、表8の
試料番号201〜219に対応しており、たとえば、表
15の試料番号501は、表8の試料番号201の副成
分を添加して得たものである。
酸化物の三元組成図のA(x=85、y=1、z=1
4)、B(x=35、y=51、z=14)、C(x=
30、y=20、z=50)、D(x=39、y=1、
z=60)(ただし、x、y、zはモル%)で示される
各点を結ぶ直線で囲まれた領域の内部または線上にある
表8の試料番号201〜212の酸化物を副成分として
添加したものは、表15の試料番号501〜512にお
いて見られるように、5kV/mmのDC電圧印加時の
容量低下率が−40%以内と小さく、誘電損失は1.0
%以下で温度に対する静電容量の変化率が、−25℃〜
85℃の範囲でJIS規格に規定するB特性規格を満足
し、−55℃〜125℃の範囲内でEIA規格に規定す
るX7R特性規格を満足するという好ましい結果が得ら
れる。
使用した時に、25℃、150℃での絶縁抵抗をCR積
で表したときに、それぞれ5000Ω・F以上、200
Ω・F以上と高い値を示す。また、絶縁破壊電圧がAC
電圧で12kV/mm以上、DC電圧で14kV/mm
以上と大きい値を示す。さらに、150℃、DC25k
V/mmの加速試験において平均寿命時間が800時間
以上と長く、耐湿負荷試験で不良発生が認められず、焼
成温度も1300℃以下と比較的低温で焼成可能であ
る。
19のように、SiO2 −TiO2−XO系の酸化物が
上記組成範囲外の場合は、表15の試料番号513〜5
19において見られるように、焼結不足となるか、焼結
しても耐湿負荷試験において不良が発生する。また、表
8の試料番号211および212のように、SiO2 −
TiO2 −XO系の酸化物に、Al2 O3 および/また
はZrO2 を含有させることで、表15の試料番号51
1および512のように、10kV/mmの電界強度下
における25℃、150℃の絶縁抵抗が5400Ω・
F、330Ω・F以上の積層コンデンサが得られるが、
また、表8の試料番号217および218のように、A
l 2 O3 添加量として15重量部およびZrO2 添加量
として5重量部を超えると、表15の試料番号517お
よび518のように、焼結性が極端に低下する。
して、蓚酸法により作製した粉末を用いたが、これに限
定するものではなく、たとえばアルコキシド法あるいは
水熱合成法により作製されたチタン酸バリウム粉末を用
いてもよい。これらの粉末を用いることにより、積層セ
ラミックコンデンサの特性が、前述の各実施例で示した
特性よりも向上することもあり得る。
2 O3 、Tb2 O3 、Dy2 O3 、Ho2 O3 、Er2
O3 、Tm2 O3 、Yb2 O3 、MgO、MnO、Ba
ZrO3 などの酸化物粉末を用いたが、本発明はこれに
限定されるものではなく、この発明の範囲の誘電体セラ
ミック層を構成するように配合すれば、アルコキシド、
有機金属などの溶液を用いても、得られる特性を何ら損
なうものではない。
係る誘電体磁器組成物によれば、還元雰囲気中で焼成し
ても還元されず、半導体化せず、しかも1300℃以下
と比較的低温で焼結可能である。したがって、この誘電
体磁器組成物を誘電体セラミック層として用いて、積層
セラミックコンデンサを構成するようにすれば、電極材
料として卑金属であるニッケルまたはニッケル合金を用
いることができるので、積層セラミックコンデンサのコ
ストダウンを図ることができる。
セラミックコンデンサは、従来の内部電極にニッケルま
たはニッケル合金を用いた積層セラミックコンデンサで
は絶縁抵抗が低く、信頼性が確保できなかった10kV
/mmの高い電界強度で使用した場合に、絶縁抵抗が静
電容量との積(CR積)で表したときに、室温および1
50℃での絶縁抵抗がそれぞれ5000Ω・F、190
〜200Ω・F以上と高く、絶縁抵抗の電圧依存性が小
さく、5kV/mmのDC電圧印加時の容量低下率の絶
対値が40〜45%以下と小さく、絶縁耐力が高く、静
電容量の温度特性がJIS規格で規定するB特性および
EIA規格で規定するX7R特性を満足し、150℃、
DC25kV/mm印加の高温負荷、耐湿負荷などの耐
候性能に優れた積層セラミックコンデンサを得ることが
できる。
デンサを示す断面図である。
極を有する誘電体セラミック層部分を示す平面図であ
る。
ック積層体部分を示す分解斜視図である。
酸化物の三元組成図である。
成図である。
Claims (8)
- 【請求項1】 アルカリ金属酸化物の含有量が0.02
重量%以下のチタン酸バリウムと、酸化ユーロピウム、
酸化ガドリニウム、酸化テルビウム、酸化ジスプロシウ
ム、酸化ホルミウム、酸化エルビウム、酸化ツリウムお
よび酸化イッテルビウムの中から選ばれる少なくとも1
種と、ジルコン酸バリウムと、酸化マンガンとからな
り、かつ、次の組成式、 {BaO}m TiO2 +αR2 O3 +βBaZrO3 +
γMnO (ただし、R2 O3 はEu2 O3 、Gd2 O3 、Tb2
O3 、Dy2 O3 、Ho 2 O3 、Er2 O3 、Tm2 O
3 およびYb2 O3 の中から選ばれる少なくとも1種で
あり、α、βおよびγはモル比を表し、 0.001≦α≦0.06 0.005≦β≦0.06 0.001<γ≦0.13 1.000<m≦1.035 の範囲内にある。)で表される主成分を含有するととも
に、第1の副成分をLi2 O−(Si,Ti)O2 −M
O系(ただし、MOはAl2O3 およびZrO2 の少な
くとも一方である。)の酸化物とし、第2の副成分をS
iO2 −TiO2 −XO系(ただし、XOはBaO、C
aO、SrO、MgO、ZnOおよびMnOの中から選
ばれる少なくとも1種である。)の酸化物としたとき
に、該第1または第2の副成分のどちらか一方を、前記
主成分100重量部に対して、0.2〜3.0重量部含
有していることを特徴とする、誘電体磁器組成物。 - 【請求項2】 アルカリ金属酸化物の含有量が0.02
重量%以下のチタン酸バリウムと、酸化ユーロピウム、
酸化ガドリニウム、酸化テルビウム、酸化ジスプロシウ
ム、酸化ホルミウム、酸化エルビウム、酸化ツリウムお
よび酸化イッテルビウムの中から選ばれる少なくとも1
種と、ジルコン酸バリウムと、酸化マグネシウムと、酸
化マンガンとからなり、かつ、次の組成式、 {BaO}m TiO2 +αR2 O3 +βBaZrO3 +
γMgO+gMnO (ただし、R2 O3 はEu2 O3 、Gd2 O3 、Tb2
O3 、Dy2 O3 、Ho 2 O3 、Er2 O3 、Tm2 O
3 およびYb2 O3 の中から選ばれる少なくとも1種で
あり、α、β、γおよびgはモル比を表し、 0.001≦α≦0.06 0.001≦β≦0.06 0.001<γ≦0.12 0.001<g≦0.12 γ+g≦0.13 1.000<m≦1.035 の範囲内にある。)で表される主成分を含有するととも
に、第1の副成分をLi2 O−(Si,Ti)O2 −M
O系(ただし、MOはAl2O3 およびZrO2 の少な
くとも一方である。)の酸化物とし、第2の副成分をS
iO2 −TiO2 −XO系(ただし、XOはBaO、C
aO、SrO、MgO、ZnOおよびMnOの中から選
ばれる少なくとも1種である。)の酸化物としたとき
に、該第1または第2の副成分のどちらか一方を、前記
主成分100重量部に対して、0.2〜3.0重量部含
有していることを特徴とする、誘電体磁器組成物。 - 【請求項3】 前記第1の副成分は、xLi2 O−y
(Siw Ti1-w )O 2 −zMO(ただし、x、yおよ
びzはモル%であり、wは0.30≦w≦1.0の範囲
内にある。)で表したとき、それぞれの成分を頂点とす
る三元組成図の A(x=20、y=80、z=0) B(x=10、y=80、z=10) C(x=10、y=70、z=20) D(x=35、y=45、z=20) E(x=45、y=45、z=10) F(x=45、y=55、z=0) (ただし、直線A−F上の組成の場合は、wは0.3≦
w<1.0の範囲内)で示される各点を結ぶ直線で囲ま
れた領域の内部または線上にあることを特徴とする、請
求項1または2に記載の誘電体磁器組成物。 - 【請求項4】 前記第2の副成分は、xSiO2 −yT
iO2 −zXO(ただし、x、yおよびzはモル%であ
る。)で表したとき、それぞれの成分を頂点とする三元
組成図の A(x=85、y=1、z=14) B(x=35、y=51、z=14) C(x=30、y=20、z=50) D(x=39、y=1、z=60) で示される各点を結ぶ直線で囲まれた領域の内部または
線上にあることを特徴とする、請求項1または2に記載
の誘電体磁器組成物。 - 【請求項5】 前記第2の副成分中には、前記SiO2
−TiO2 −XO系の酸化物100重量部に対してAl
2 O3 およびZrO2 の少なくとも一方を合計で15重
量部以下(ただし、ZrO2 は5重量部以下)含有する
ことを特徴とする、請求項4に記載の誘電体磁器組成
物。 - 【請求項6】 複数の誘電体セラミック層と、該誘電体
セラミック層間に形成された内部電極と、該内部電極に
電気的に接続された外部電極とを備える、積層セラミッ
クコンデンサにおいて、前記誘電体セラミック層が請求
項1ないし5のいずれかに記載の誘電体磁器組成物で構
成され、前記内部電極がニッケルまたはニッケル合金で
構成されていることを特徴とする、積層セラミックコン
デンサ。 - 【請求項7】 前記外部電極は、導電性金属粉末、また
はガラスフリットを添加した導電性金属粉末の焼結層を
備えることを特徴とする、請求項6に記載の積層セラミ
ックコンデンサ。 - 【請求項8】 前記外部電極は、導電性金属粉末、また
はガラスフリットを添加した導電性金属粉末の焼結層か
らなる第1層と、その上のめっき層からなる第2層とを
備えることを特徴とする、請求項6または7に記載の積
層セラミックコンデンサ。
Priority Applications (10)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12862698A JP3783403B2 (ja) | 1997-07-23 | 1998-05-12 | 誘電体磁器組成物および積層セラミックコンデンサ |
| SG1998002542A SG65086A1 (en) | 1997-07-23 | 1998-07-21 | Dielectric ceramic composition and monolithic ceramic capacitor using same |
| CNB981166059A CN1179423C (zh) | 1997-07-23 | 1998-07-22 | 介电陶瓷组合物及使用该组合物的叠层陶瓷电容器 |
| US09/120,760 US6051516A (en) | 1997-07-23 | 1998-07-22 | Dielectric ceramic composition and monolithic ceramic capacitor using same |
| DE69835044T DE69835044T2 (de) | 1997-07-23 | 1998-07-23 | Dielektrische Keramik und monolitischer keramischer Kondensator diese enthaltend |
| EP03010832A EP1357095A3 (en) | 1997-07-23 | 1998-07-23 | Dielectric ceramic and monolithic ceramic capacitor using same |
| EP98113795A EP0893419B1 (en) | 1997-07-23 | 1998-07-23 | Dielectric ceramic composition and monolithic ceramic capacitor using same |
| KR1019980029651A KR100313003B1 (ko) | 1997-07-23 | 1998-07-23 | 유전체세라믹조성물및이를이용한적층세라믹커패시터 |
| DE69822933T DE69822933T2 (de) | 1997-07-23 | 1998-07-23 | Dielektrische keramische Zusammensetzung und deren Verwendung in einem monolithischen keramischen Kondensator |
| EP03010920A EP1346965B1 (en) | 1997-07-23 | 1998-07-23 | Dielectric ceramic and monolithic ceramic capacitor using same |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19717297 | 1997-07-23 | ||
| JP9-197172 | 1997-07-23 | ||
| JP12862698A JP3783403B2 (ja) | 1997-07-23 | 1998-05-12 | 誘電体磁器組成物および積層セラミックコンデンサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1192222A true JPH1192222A (ja) | 1999-04-06 |
| JP3783403B2 JP3783403B2 (ja) | 2006-06-07 |
Family
ID=26464240
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12862698A Expired - Lifetime JP3783403B2 (ja) | 1997-07-23 | 1998-05-12 | 誘電体磁器組成物および積層セラミックコンデンサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3783403B2 (ja) |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050920 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20051018 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20051201 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060306 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090324 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100324 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110324 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110324 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120324 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120324 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130324 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130324 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
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