JPS58100241A - 光学走査装置 - Google Patents

光学走査装置

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JPS58100241A
JPS58100241A JP57205345A JP20534582A JPS58100241A JP S58100241 A JPS58100241 A JP S58100241A JP 57205345 A JP57205345 A JP 57205345A JP 20534582 A JP20534582 A JP 20534582A JP S58100241 A JPS58100241 A JP S58100241A
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signal
circuit
phase
control loop
optical scanning
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マルチヌス・ペトルス・マリア・ビ−ルホフ
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    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/08Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers
    • G11B7/09Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers with provision for moving the light beam or focus plane for the purpose of maintaining alignment of the light beam relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
    • G11B7/0901Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers with provision for moving the light beam or focus plane for the purpose of maintaining alignment of the light beam relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following for track following only

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は情報が同心円又はうす巻きトラックの形態で記
録されであるディスク状の記録担体を光学的に走査する
ために、走査ビームを放射する放射線源と、記録担体と
協働した後で走査ビ、−ム内に含まれている情報を検出
するための読み取り検出器とを具え、この読み取り検出
器が少なくとも2個の半径方向に隣り合う検出器を具え
ていて入射照射ビームのトラックの中心からの半径方向
ノずれの目安である半径誤り信号を得、また2個の隣接
する検出器により供給される信号を比較して半径誤り信
号を発生する回路を具える半径トラッキング制御ループ
を具え、更に上記半径誤り信号の関数として入射走査ビ
ームを半径方向に動かす装置を具える光学走査装置に関
するものである。
このような装置はアナログ形態で記録されている情報(
例えばビデオ信号)及びディジタル式に記録されている
情報(例えば、データ記憶やディジタルオーディオ)を
再生するのに使用することができ、就中ドイツ国特許願
第2342906号に記載されている。この点につき注
意すべきことは複数個の光学式検出器により読み取りビ
ームを検出して半径誤り信号を得る代りに、複数個のサ
フビーム、例えば1個の主ビーム、と2個のサブビーム
とから成る走査ビームを用い、これらの各々を別個の光
学式検出器で検出し、主ビームは情報を読み出すために
使用し、サブビームを半径誤り信号を得るのに用いるこ
ともできる0 冒頭に記載した装置での半径トラッキング制御ループと
関係する問題は、例えば光分布が非対称的であるとか、
2個の光学式検出器の非対称性、ディスク状記録担体が
ディスク状記録担体がのせられるべき面に対して斜めの
位置をとるとかした非対称性のために、走査ビームを正
確にトラック中心に合わせた時でも半径誤り信号が発生
する。
この結果走査ビームは追従すべきトラックの中心から離
れるように制御される。
本発明の一つの目的は非対称性に由来するようなトラッ
キング誤りが補正されている冒頭に記載したタイプの装
置を提供するにある。
この目的を達成するため本発明によれば読み取り検出器
により読み取られた情報信号の振幅と半径誤り信号との
間の相関の目安となる信号を供給する相関検出回路と、
この相関検出回路により供給する信、号の関数として2
個の光学式検出器により供給される信号を互に平衡させ
る平衡増幅回路とを設けたことを特徴とする。
このような本発明は2個の洞察に基づいている。
10ち、第1に半径トラッキング制御ループが設けられ
ていれば前記相関測定は非対称性により、惹き起こされ
た前記トラッキング誤りの目安となることであり、第2
に、平衡増幅回路を用いる制a装置は例えばディスクの
反射の局所的な変化及び信号の脱落に感することはない
ことである。半極制御ループに誤り信号を適用すること
により前記非対称性を補正することもやろうと思えばで
きる。
しかし、例えば唯一個の信号誤りがある場合、2個の光
学式検出器は全くないし相当に小さい信号しか供給せず
、この結果半径制御ループに現われる前記印加補正信号
がスプリアスパルスとなろう。
この問題は平衡増幅回路を用いれば克服できる。
この接置の好適な一実施例りこよれば#記平衡増幅回路
が第1及び第2の入力端子並びに第1及び第2の出力端
子を具え、2個の光学式検出器の各々が2個の入力端子
の一方に結合され、第1の入力端子が第1の出力端子に
結合され、第1と第2の入力端子が加算回路に接続され
、この加算回路が利得が0.5を中心として変わる制m
自在の増幅回路を介して第2の出力端子に接続されるこ
とを特徴とする。
この実施例は唯一つの増幅回路を用いるだけで平衡が達
成されるという利点を有する。本発明に係る装置では半
径トラッキング制御ループと組み合わせて用いる前記相
関測定が、トラッキング制御ループの作用により半径誤
り信号が抑圧される結果、相関測定の帯域1屡が非常に
狭くなるという欠点を有している。
この問題を回避するため本発明装置の一実施例は更にf
f1lEビームを追従すべきトラックに対して予じめ定
められた周波数で撮動させる手段を設けたことを特徴と
する。これは半径トラッキング信号内に予じめ定められ
た周波数の良く画成された成分を出し、この成分をp波
し去ることができる〇前記誤りに9口えて、非対称性の
結果冒頭に記載した擲置け2個の光学的検出器により加
えられた信号の強さが実質的にパラメータの変化として
変化し、これがトラッキング制御ループのループ利得の
変化を起こし、上記制御ループの帯域幅の変化を結果す
るという欠点を有している。この変動を補正するため、
走査ビームを追従すべきトラックに対して振動させる前
記手段を具える本発明装置は、前記制御ループ内に配設
され、第2の制御ループ利得を制御する制御自在の増幅
器と、この制御ループに予じめ定められた周波数の信号
を印加する発振回路と、この印加された信号に対する前
記制御ループの応答を検出する検出回路と、制御自在の
増幅回路を前記検出された応答の関数として制御し、前
記制御ループ内のループ利得をほぼ一定値に保つ制御回
路とを具えることを特徴とする。
この実施例では、制御ループに加えられる信号は相関測
定のためにトラックに対して走査ビームを振動させるだ
けでなく、ループ利得を安定化させ、これにより半径ト
ラッキング制御ループの帯域幅も安定化させる。
上述した実施例は更に前記検出回路が発揚回路により発
生させられた信号の位相を前記制御ループ内の予じめ定
められた点での応答の位相と比較する位相検出器を具え
、制御回路が制御自在の増幅回路を制御して、位相検出
器により検出された位相差が予じめ定められた値に維持
されるような利得を与えるように構成したことを特徴と
する。
相関検出回路の出力信号は平衡増幅回路が前記相関を最
小の1直にする方向に制御する。この制御点はループ利
得制御により影響されない。逆に、平衡増幅回路は半径
トラッキング誤り信号内の交流成分の振幅には殆んど影
響せず(これはこの半径トラッキング信号内の直流分に
は影響する)、従って振幅回路はループ利得制御に全く
ないし殆んど影響しない。このようにして、21固の制
御装置は互に干渉せず、例えば始動時の安定性を改良す
る。また、2個の制御系の帯域幅は互に重なり合う。
図面につき本発明を詳MI&:′、説明する。
第1図は本発明に係る、記録担体を光学的に走査する座
着の好適な一実施例を示す。この袈首の動作は接置の動
作の説明図である第2図〜第5図につき説明する。
装置は走査ビームを回転ディスクz上に投射する光学装
置1を具える。光学装置1は変換器8、例えばモータに
より(ディスク2に対して)半径方向に移動できる。本
例ではディスク上の情報は走査ビームがディスク2から
反射され、半透鏡4を介して読み取り検出器5に投射さ
れることにより読み取られる。而してこの読み取り検出
器5は2個の光学式検出器5a及び5bを具え、これら
の2個の光学式検出器5aと5bは半透鏡4を介して半
径方向に見た時ディスク2上の走査トラックの中心の両
側に位置する。2個σ)光学式検出器5a及び5bから
出力される信号は回路6及び7で最初に処理、例えば@
竹増幅とF波とを受け、後述するいくつかの処理をされ
た後、加算回路8で加算され、和信号が出力婦子9に現
れ、この和信号に含まれている情報が(に処理される0
2個の光学式検出器5a及び5bにより供給される信号
は回路10にも送られ、ここでこれらσ)光学式検出器
により供給される信号間の差が求められる。
この差は走査ビームがディスク2上の走査さるべきトラ
ックの中心と合っている程変を表す目安となる。半径方
向のトラッキングのためこの差信号は後述するいくつか
の処理とフィルタ11(ディスク2の連間に対応する低
周波の信号の減少)と、フィルタ12(不安定になるの
を避けるための高周波の減少)と、フィル々la(就中
唯音を抑圧するための低域フィルタ)とによりf波を受
けた後変換器3に印加される〇 光学式検出器5a及び5bにより得られる信号の大きさ
は多数のパラメータ、就中ディスク上での元スポットの
質、ディスク上での情報ビットの幾何学的構造、ディス
ク2と光学停@lの反射及び透過効率並びに元学擲置内
でレーザにより発生させられる光の量に依存する。光学
装置が完全に半径線に石って動くのではない場合は2個
の光学式検出器5aと5bを分離する鍍と、ディスク上
のトラックとの間の角変が変わることがある。全てσ)
これらの7了クタの結果上述した制御ループのループ利
得は因子5.5だけ変わることがあり、このため制御装
置の帯域幅に約因子2.3だけの変化が生ずる。この変
化の効果を打ち消すため利得制御を適用する。この利得
制御は乗算器即ち可変増幅器14及び15により行なわ
れるが、これらの乗痺器は検出器5a及び5bにより供
給される信号を因子にだけ増幅する。これらの乗算器1
4及び15に対する制御信号は発振器16から得られる
測定信号を加算回路17を介して制御ループに注入する
ことにより発生させる。この測定信号に対する制御ルー
プの応答は帯域フィルタ18を介して得られ、注入され
た測定信号との比較により乗算器14及び15を制御す
る信号が得られる。
上記の比較は振幅の比較でもよいが、本例では位相比較
を行なう。事実、注入された測定信号と抽出された測定
信号との間の位相差はループ利得に関係する。位相測定
を選択したのは成る特定の周波数での位相測定が可成り
簡単なためである。このループ利得測定の動作を第2図
につき説明する。
この第2図は種々のK(乗算器14及び15の利得)の
値についての周波数fの関数としての制御ループの開ル
ープHoの振幅I Ho lを表わす第1ノ特性曲線め
属と、種々のパラメータにの値についての周波数の関数
としての測定信号の注入に対■ する制御ループの応答、+□。の位相ψを表わす特性曲
線の嘴とを示す。
特定の帯域幅fo (例えば500Hz )が欲しい時
、I Ho l 、従ってKの所要の値は特性曲線属l
 no +の中でl HOl = 1として見付は出せ
る。
この特性曲線属の中でこれはK = 3.5 X 10
6として得られる。ψ=−90’を中心として利得制御
を行なう場合は(位相差±90’を中心とする検出は可
成り簡単である)、測定信号の周波数fm(例えば4 
Q Q )IZ )が9の特性曲線属の中でψ=−90
0、K = 3.5X 106として見つけ出せる0f
x3図はf = f ml (= 400 Hz ) 
ノ場合ノ1丙子にの関数としての位相ψを表わす。この
時この特性曲線はψ=−90°を中心とする制頒特性曲
線であり、周波数f mlのボ1定信号に対するもので
ある。この特性曲線はψ〉−90°の場合可成り平坦で
あり、これはあまり好ましいことではない0しかし、K
 = 8.5 X 106でψ=−185°に対し周波
数f m2 (例えば600 Hz )を選べば(筆2
図参照)、制葡特性曲線は第4図に示したようになる0
こσ)特性曲線は第3図に示したものよりも一層線形で
ある。他方実際の例ではf m2 = 600 Hzの
場合に応答−1+HQの振幅が最大になることが判つた
0それにもかかわらず一90°を中心とする位相測定が
必要な場合は45°移相回路網19を使用すればよい。
この45°0相回路R419は第1図の例では発振器1
6と加算回路17との間に配設されている。この時実際
の位相測定は乗算器20により行なわれる。この乗S器
20は最も簡単な形態では入力端子上の信号を矩形波に
変換する2個のリミタ回路と排他的論理和ゲートを具え
る。このよ−′lな位相比較器は位相差の目安となるデ
ユーティサイクルを有する矩形波を供給することができ
ろ。こσ)デユーサイサイクルはψ=±90’の場合5
0優である0この矩形波信号は積分器21により積分さ
れ、そσ)出力信号が乗算器14及び15を制御する。
斯くしてPli制御ループの利得が、発振器信号と帯域
フィル々18により引き出された信号との間の位相差が
一90°に等しくなるように換言すれば第2図のグラフ
に従って因子Kが3,5×106で制:」ループの帯域
幅がfoに等しくなるように制御する0代りに移相回路
網19を例えば測定ループ内のフィルタ18の前又は後
に移相回路網を設けることにより換えることができる。
上述したトラッキング装置はディスク2上の1本のトラ
ックが追尾されている時だけ機能する。
装置の始動時又は例えば特定の走査モーF時に、トラッ
クの変化が生ずる時は半径方向トラッキング誤り信号は
その公称値をとらない。これは制御gMのロッキング−
インに関する問題を生起する可能性がある0これらの問
題を除くため、制御系が用いられない時は積分器の入力
端子を位相比較器20に接続する代りに回路22により
動作させられるスイッチ23を介して基皐電圧V re
f源24に接続する。この結集積分器21は電圧V r
ef迄光邂させる。そしてこの結果制御ループ内の半径
誤り信号の振幅が大きくなる。比較器10の出力潮干は
ダイオード25と減算回路26とを介して積分器21に
接続する。この結集積分器は比較器10の出力端子上の
半径誤り信号が基率電圧を1個のダイオード電圧V(1
分だけ越えた時放電し、半径誤り信号の増大は約2 V
 refのせん頭領により抑えられ、振幅が良く画成さ
れた半径誤り信号が半径制御ループが働いていない時得
られる。
半径誤り信号は2個の光学式検出器から供給される信号
を互に減算することにより得られる。しかし、走査ビー
ムが非対称であったり、ビームがディスク2に垂直に入
射せず、また2個の光学式検出器5aと5bの感度も不
均等であるといった非対称性のため、走査ビームが正確
にトラック上にある時でも半径誤り信号が零とならない
。この結果、制御ループは走査ビームをトラックの中心
からはずすことによりこの誤り信号を除去するように試
みる。
それ故、非対称性に由来する誤りを排除するため付加的
な誤り信号が必要となる。このような誤り信号を得る方
法を箪5図につき説明する。この第5図において曲線A
はディスクから受は取られた光の量、即ちトラックの中
心jq=0)に対する7!食ビームの位置qの関数とし
ての出力端子9上の和信号を表わす0この曲線は情報構
造により高周波周波数変調されている放射線ビームの包
絡線を表わす。曲線Bはトラック中心(q=0 )の−
側方向での時間の関数としての放射線ビームの合致点(
q)のずれを表わし、曲線B′はトラック中心の他側方
向での上述したような合致点のずれを表わす0曲線B及
びB′は各々半径誤り信号に対応する。曲線C及びC′
は高周波和信号の振幅の関連する変動を表わす。第5図
は一例〔+q)方向でのビームの変化が半径誤り信号と
同相である前記振幅のずれを生じ、この振幅の他側(−
q )でのずれが同相で半径誤り信号と反対向きのずれ
を起こす。
ビームの合致点の表示を与える信号がこのようにして半
径誤り信号と和信号の振幅との間の相関関係を測定する
ことにより得られる。この補正信号の結果を積分するこ
とにより(例えば同期検波)、非対称性に由来する上記
誤りを半径制御ループに動らきかけることにより排除で
きる制御信号が得られる。
例えば雑音やトラックの不規則性のため走査ビームのず
れは何時も変動している。しかし、前述した半径制御シ
ステムを組み合わされば、このようなずれは何時も正確
に規整することができる。
事実周波数fmの前記測定信号は放射線ビームの周期的
なずれを表わす。印加された信号の結果としてのずれに
より、最初に述べたずれを用いる場合よりも相当に高い
帯域幅が得られる0前記周波数fmを中心とする帯域フ
ィルタにより、和信号からずれの効果をP波するのと同
じように、半径方向誤り信号から前記特定のずれに対応
する信号をp波し去ることができる。第1図に示した例
ではこれはフィルや27と28とにより行なわれる0次
に乗算器29により同期検波を行なう。閉制御ループの
場合はずれの位相に対する和信号のずれの位相が十分な
情報を与えるから、半径誤り信号の戸波された成分はI
J ’、S々回路30により制限される。この時乗算器
29は可成り簡単となるoML、フィルタ27の出力信
号の位相の関数として、囲ちフィルタ27の出力信号の
半周期で変わる反転極性をもって、フィルタ28の出力
信号を転送するだけでよいからである。同期検波器29
の出力信号を積分器31により積分し、半径制御ループ
補正は半径誤り信号からこの信号(これは半径制御ルー
プ内でσ)オフセットの目安となる)を減:痺すること
により可能となるoしかし、これは問題を生ずることが
ある。即ち、反射信号内に脱落がある場合2個の検出器
5a及び6bにより発生した信号が零となり、半径誤り
信号も零となることである。前記非対称性補正のために
誤り信号が発生する時積分の結果として、この誤り信号
は脱落を示さず、寄生パルスとして半径誤り信号に現わ
れる0この欠点を持たない補正法は2個の光学式検出器
5a及び5bからの信号を平衡させることにより得られ
る0これらの信号が夫々i1及び12であれば半径誤り
信号RFは次のようになるORF = il −i2 因子(4+F)による平衡補正は次式を生むR,F=−
ニーi1− (1+ E ) 12f 1+E ) E << 1の場合これは次式に簡略化されるORF 
= (] −E ) il + I ] +E ) i
2この補正は2個の乗算器により行なうことができる0 2d=1−Eとすると RF = 2 dil −(2+ 2 d ) i2即
ち 2 RF =a (11+ 12 )  ’ 2この補
正は因子dz−を乗する1個の乗算器により可能となる
。この時乗算器は第6図に示すように差動トランジスタ
対T1とT2を具えることかできる。信号i1 + i
9はi流としてエミッタに入れる。信号(0゜5−d)
は2個のベース電極間に与・える。そして差動増幅器に
より信号12をトランジスタT2のコレク々信号から減
算する。
第1図に示した例では前述したところを次のように行な
っている0加算回路32で2個の光学的検出器5a及び
5bからの信号を加算して(il+12)を作る。この
和信号に乗算器33で因子dを乗算する。なお乗算器3
3は積分器31により制御される。比較回路10は半径
誤り信号である差12−a (i1+i2 )を作る。
加算回路32により処理する結果、加算回路8はも早や
和信号K(i1+i2)を出力しない0これは減算回路
84により加算回路8の出力信号から比較回路10の出
力端子に得られる半径誤りを減算することにより補正さ
れるO 前述した非対称性の補正は半径方向のサーボ制御が働ら
いていない時だけ正しく機能する0これは例えば始動時
やトラック変化の時このサーボ制御が働らかないことを
意味する0これらの場合は変換器8に対する半径誤り信
号をスイッチ85の助けを借りて加算回路86により乗
算器29の出力信号に加える0なおスイッチ35は回路
22により動作させられるO回路22はこの時リミタ回
路30に乗算器z9がも早やフィル428の出力信号の
極性を変えることがない位置にセットする0従って、乗
算器28は直流から解放された信号を供給し、この信号
が積分器31で除去される0この結果乗算器33は半径
誤り信号が直流から解放されたように制御されるO 加算回路32と組んだ平衡増幅回路88は代りに増幅回
路14及び15の後段に置くことができる。増幅回路1
4及び15は代りに例えば減算回路IOの後段で半径方
向トラッキング制御ループの共通部内の1個の増幅回路
で置換えることができる0
【図面の簡単な説明】
’F1図は本発明整置の好適な一実施例のブロック図、 第2図は発振器16により発生される測定信号の周e数
の選び方を説朋する説明図、 *a図Gま箪2図のグラフを明らかにするための線図、 ′P4図は測定信号の1■波数が異なる第3図相当の線
図、 第5図は非対称性の補正のために制御信号を発生するこ
とについての第1図の装置の動作の説明図、 第6図は掌1図の装置の乗算器88の詳細な回路図であ
る0 1・・・光学装置、2・・・回転ディスク、3・・・変
換器(モータ)、4・・・半透鏡、5・・・読み取り検
出器、5a 、5b・・・光学式検出器、6,7・・・
前置増幅兼p波器、8・・・加算回路、9山出方端子、
1o−差を求める回路(比較器)、11,12.13・
・・フィルタ、1.4.15・・・乗に器、16・・・
発振器、17・・・加算回路、18川帯域フイルタ、1
9・・・45゜移相回路網、20・・・乗算器、21山
檀分器、22・・・回路、23山スイツチ、24・・・
基準電圧源、25・・・ダイオード、26・・・減算回
’K、27.28・・・フィルク、29・・・1司期検
波器(乗ご棟器)、3゜、・・リミタ回路、31・・・
積分器、32・・・加算回路、33・・・乗算器(平衡
増幅回路)、34・・・減算回路、35・・・スイッチ
、36山加算回路。 FIG、6 −259−

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 L 情報が同心円又はうす巻きトラックの形態で記録さ
    れであるディスク状の記録担体を光学的に走査するため
    に、定食ビームを放射する放射線源と、記録担体と協働
    した後で走査ビーム内に含まれている情報を検出するた
    めの読み取り検出器とを具え、この読み取り検出器が少
    なくとも2個の半径方向に隣り合う検出器を具えていて
    入射照射ビームのトラックの中心からの半径方向のずれ
    の目安モある半径誤り信号を得、また2個の隣接する検
    出器により供給される信号を比較して半径誤り信号を発
    生する回路を具える半径トラッキング制御ループを具え
    、更に上記半径誤り信号の関数として入射走査ビームを
    半径方向に動かす装置を具える光学走査袋看において、
    読み取り検出器により読み取られた情報信号の振幅と半
    径誤り信号との間の相関の目安となる信号を供給する相
    関検出回路と、この相関検出回路により供給される信号
    の関数として211i!ilの光学式検出器により供給
    される信号を互に平衡させる平衡増幅回路とを、設けた
    ことを特徴とする光学走査装置。 2 前記平衡増幅回路が第1及び第2の入力端子並びに
    第1及び第2の出力端子を具え、2個の光学式検出器の
    各々が2個の入力端子の一方に結合され、第1の入力端
    子が第1の出力端子に結合され、第1と第2の入力端子
    が加算回路に接続され、この加算回路が利得が0゜5を
    中心として変わ名制副自在の増幅回路を介して第2の出
    力端子に接続されることを特徴とする特許請求の範囲第
    1項記載の光学走査擲@0 3、 走査ビームを追従すべきトラックに対して特定の
    周波数で偏動させる手段を設けたことを特徴とする特許
    請求の範囲第1項又は第2項記載の光学走査装置。 本 前記制御ループ内に配設され、第2の制御ループの
    ループ利得を制御する制御自在の増幅器と、この制御ル
    ープに予じめ定められた周波数の信号を印加する発振回
    路と、この印出された応答の関数として制御し、前記制
    御ループ内のループ利得をほぼ一定値に保つ制御回路と
    を具えることを特徴とする特許請求の範囲第4項記載の
    光学走査装置0 5 前記検出回路が発振回路により発生させられた信号
    の位相を前記制御ループ内の予じめ定められた点での応
    答の位相と比較する位相検出器を具え、制御回路が制御
    自在の増幅回路を制御して、・位相検出器により検出さ
    れた位相差が予じめ定められた値に維持されるような利
    得を与えるように構成したことを特徴とする特許請求の
    範囲第4項記載の光学走査装置。 6 位相検出器が90°を中心とする位相差を測定する
    ように構成したことを特徴とする特許請求の範囲第5項
    記載の光学走査装置07、 位相検出器が90°の位相
    差を検出した時制御ループの発振回路により発生させら
    れた信号に対する応答の移相量が90°と異なる予じめ
    定められた値を有するように移相器を入れたことを特徴
    とする特許請求の範囲第6項記載の光学走査装MO
JP57205345A 1981-11-26 1982-11-22 光学走査装置 Granted JPS58100241A (ja)

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