JPS5810055U - 半導体ペレツト外観検査装置 - Google Patents

半導体ペレツト外観検査装置

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JPS5810055U
JPS5810055U JP10315081U JP10315081U JPS5810055U JP S5810055 U JPS5810055 U JP S5810055U JP 10315081 U JP10315081 U JP 10315081U JP 10315081 U JP10315081 U JP 10315081U JP S5810055 U JPS5810055 U JP S5810055U
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JP
Japan
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semiconductor pellet
appearance inspection
inspection equipment
electrical signal
light
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Pending
Application number
JP10315081U
Other languages
English (en)
Inventor
宮永　英機
Original Assignee
日本電気ホームエレクトロニクス株式会社
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  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
′　　　第１図及び第２図は半導体ペレットの一例を示
す平面図及び正面図、第３図は本考案の実施例を示側鵬
側面図、第４図は第３図の補色フィルタパターン及びそ
の前後の光パター ンを説明するパターン図、第５図及び第６図は第３図装
置によるペレット外観不良の検出動作を説明する各不良
例におけるペレット表面と検出画像の関係図である。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 半導体ペレット表面を照明する光源と、半導体ペレット
    表面の正常な色パターンと補色の色パターンを有する補
    色フィルターと、前記光源の光で照明された半導体ペレ
    ット表面の反射光で前記補色フィルターを透過した光を
    電気信号に変換して画像処理部に出力する光検出素子と
    を具備したことを特徴とする半導体ペレット外観検査装
    置。
JP10315081U 1981-07-10 1981-07-10 半導体ペレツト外観検査装置 Pending JPS5810055U (ja)

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JP10315081U JPS5810055U (ja) 1981-07-10 1981-07-10 半導体ペレツト外観検査装置

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JPS5810055U true JPS5810055U (ja) 1983-01-22

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ID=29897774

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