JPS58101113U - 螢光ｘ線膜厚計に於ける測定点検出装置 - Google Patents

螢光ｘ線膜厚計に於ける測定点検出装置

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JPS58101113U
JPS58101113U JP19877281U JP19877281U JPS58101113U JP S58101113 U JPS58101113 U JP S58101113U JP 19877281 U JP19877281 U JP 19877281U JP 19877281 U JP19877281 U JP 19877281U JP S58101113 U JPS58101113 U JP S58101113U
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JP
Japan
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fluorescent
plate
detection
film thickness
detection device
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Application number
JP19877281U
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English (en)
Inventor
伴田　稔
Original Assignee
セイコーインスツルメンツ株式会社
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
図面はこの考案による測定点検出装置を示すもので、第
１図は全体を示す構成図、第２図は第１図の要部を示す
拡大側面図、第３図は全体を示す構成図である。 １・・・Ｘ線Ｍ、２−・・シャッタ、３・・・コリメ′
−タ、４・・・ＸＹ試料台、６・・・ミラー、７・・・
顕微鏡、８・・・検出孔、９・・・治具体、１０・・・
螢光板、１１・・・光電　　゛変換素子板、１２、・・
・検出表示体である。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. ＸＹ方向に移動可能なＸＹ試料テｉプル上に設けられ箱
    形をなす治具体と、このＸＹ試料テーブル上において治
    具体内に設けられ螢光板と光電変換素子板との二層状か
    らなる検出板と、前記治具体の上板部に形成された検出
    孔と、前記光電変換素子板に接続された検出表示体とを
    備え、前記検出孔を径で入射されたＸ線が螢光先板に照
    射されると光電変換素子板９電気変化量を検出表示体に
    表示するようにした構成よりなることを特徴とする螢光
    Ｘ線膜厚計に於ける測定点検出装置。
JP19877281U 1981-12-28 1981-12-28 螢光ｘ線膜厚計に於ける測定点検出装置 Pending JPS58101113U (ja)

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JPS58101113U true JPS58101113U (ja) 1983-07-09

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ID=30111939

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2014076974A1 (ja) * 2012-11-16 2014-05-22 パルステック工業株式会社 回折環形成装置及び回折環形成システム

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4941577A (ja) * 1972-08-29 1974-04-18

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4941577A (ja) * 1972-08-29 1974-04-18

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2014076974A1 (ja) * 2012-11-16 2014-05-22 パルステック工業株式会社 回折環形成装置及び回折環形成システム

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