JPS5897507U - 螢光ｘ線膜厚計に於ける治具体 - Google Patents
螢光ｘ線膜厚計に於ける治具体Info
- Publication number
- JPS5897507U JPS5897507U JP19802981U JP19802981U JPS5897507U JP S5897507 U JPS5897507 U JP S5897507U JP 19802981 U JP19802981 U JP 19802981U JP 19802981 U JP19802981 U JP 19802981U JP S5897507 U JPS5897507 U JP S5897507U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fluorescent
- film thickness
- ray film
- thickness meter
- collimator
- Prior art date
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- Granted
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Length-Measuring Devices Using Wave Or Particle Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は全体構成を示す構成図、第２図は要部を示す側
面図、第３図は要部の拡大断面図である。 １・・・・・・Ｘ線ｔ ２−−−−−−シャッタ、３・
・・・・・コリメータ、４・・・・・・ＸＹ試料台、５
・・・・・・試料、６・・・・・・ミラー、７・・・・
・・顕微鏡、７ａ・・・・・・検出器、８・・・・・・
Ｖ字型凹部、９・・・・・・治具体、１０・・・・・・
貫通孔、１１・・・・・・案内孔。
面図、第３図は要部の拡大断面図である。 １・・・・・・Ｘ線ｔ ２−−−−−−シャッタ、３・
・・・・・コリメータ、４・・・・・・ＸＹ試料台、５
・・・・・・試料、６・・・・・・ミラー、７・・・・
・・顕微鏡、７ａ・・・・・・検出器、８・・・・・・
Ｖ字型凹部、９・・・・・・治具体、１０・・・・・・
貫通孔、１１・・・・・・案内孔。
Claims (1)
- ＸＹ方向に移動可能なＸＹ試料テーブル上に設けられＶ
字型凹部を有する治具体と、先細状をなすコリメータと
、このＶ字型凹部に形成された貫通孔と、このＸＹ試料
テーブルをＸＹ方向に移動させる移動手段とを備え、前
記Ｖ字型凹部にコリメータの先端部を挿入してコリメー
タの孔と前記貫通孔とを一致させるように構成したこと
を特徴とする螢光Ｘ線膜厚計に於る測定点検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19802981U JPS5897507U (ja) | 1981-12-24 | 1981-12-24 | 螢光ｘ線膜厚計に於ける治具体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19802981U JPS5897507U (ja) | 1981-12-24 | 1981-12-24 | 螢光ｘ線膜厚計に於ける治具体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5897507U true JPS5897507U (ja) | 1983-07-02 |
| JPS6349684Y2 JPS6349684Y2 (ja) | 1988-12-21 |
Family
ID=30111229
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19802981U Granted JPS5897507U (ja) | 1981-12-24 | 1981-12-24 | 螢光ｘ線膜厚計に於ける治具体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5897507U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6124883U (ja) * | 1984-07-20 | 1986-02-14 | 日立マクセル株式会社 | デイスクカ−トリツジ |
-
1981
- 1981-12-24 JP JP19802981U patent/JPS5897507U/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6124883U (ja) * | 1984-07-20 | 1986-02-14 | 日立マクセル株式会社 | デイスクカ−トリツジ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6349684Y2 (ja) | 1988-12-21 |
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