JPS58110447A - ガラス封着体の製造方法 - Google Patents
ガラス封着体の製造方法Info
- Publication number
- JPS58110447A JPS58110447A JP20664881A JP20664881A JPS58110447A JP S58110447 A JPS58110447 A JP S58110447A JP 20664881 A JP20664881 A JP 20664881A JP 20664881 A JP20664881 A JP 20664881A JP S58110447 A JPS58110447 A JP S58110447A
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- glass
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Landscapes
- Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)
- Joining Of Glass To Other Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明はガラスに透孔を有するガラス封着体の製造方
法に関する。
法に関する。
金属外環内にガラスを気密に封着したガラス封着体にお
いて、ガラスに１個または２個以上の透孔を設ける場合
がある。例えば、第１図は金属外環ｌ内に気密に封着さ
れたガラス２に３個の透孔３を金属外環１の径方向に沿
って一直線状に形成したガラス封着体の平面図を示Ｌ１
第２図は第１図のｎ−ｎ、Ｂに沿う断面図を示す。
いて、ガラスに１個または２個以上の透孔を設ける場合
がある。例えば、第１図は金属外環ｌ内に気密に封着さ
れたガラス２に３個の透孔３を金属外環１の径方向に沿
って一直線状に形成したガラス封着体の平面図を示Ｌ１
第２図は第１図のｎ−ｎ、Ｂに沿う断面図を示す。
従来、このようなガラス封着体は、第３図ないし第５図
に示す方法でＩＡ造さ扛ていた。すなわち、まず、第３
図に示すように、グラファイト製の封着治具４に金属外
、堀１を載直し、この金属外環ｌ内に、ガラス微粉末を
有機バインダと混練し円板状にプレス成型後仮焼きじて
有機バインダを焼失せしめた焼結ガラスよりなるガラス
タブレット２ａを配置して、全体を加熱する。すると、
ガラスタプレツ）２ａが溶融したガラス２が金属外環Ｉ
Ｋ気密に封着されて、第４図にボすような孔無し状ツカ
ラス封着体が得られる。次に、このガラス封着体のガラ
ス２に、第５図に示すように、超鋼ドリル５で順次透孔
３を形成していくのである。
に示す方法でＩＡ造さ扛ていた。すなわち、まず、第３
図に示すように、グラファイト製の封着治具４に金属外
、堀１を載直し、この金属外環ｌ内に、ガラス微粉末を
有機バインダと混練し円板状にプレス成型後仮焼きじて
有機バインダを焼失せしめた焼結ガラスよりなるガラス
タブレット２ａを配置して、全体を加熱する。すると、
ガラスタプレツ）２ａが溶融したガラス２が金属外環Ｉ
Ｋ気密に封着されて、第４図にボすような孔無し状ツカ
ラス封着体が得られる。次に、このガラス封着体のガラ
ス２に、第５図に示すように、超鋼ドリル５で順次透孔
３を形成していくのである。
しかしながら、上記の製造方法によれば、透孔３の形成
時にガラス２にクラックが入りゃすいのみならず、孔あ
け加工が著しく煩雑で著しく作業性が悪く、シかも透孔
３を正確かつ奇麗に形成することが困鑓であり、ガラス
封着体が著しく高価になるという問題点があった。
時にガラス２にクラックが入りゃすいのみならず、孔あ
け加工が著しく煩雑で著しく作業性が悪く、シかも透孔
３を正確かつ奇麗に形成することが困鑓であり、ガラス
封着体が著しく高価になるという問題点があった。
それゆえに、この発明の主たる目的は、ガラスに透孔を
有するガラス封着体を、能率よくしかも透孔を正確かつ
゛奇ｍｖｃ形成できるガラス封着体の製造方法を提供す
ることである。
有するガラス封着体を、能率よくしかも透孔を正確かつ
゛奇ｍｖｃ形成できるガラス封着体の製造方法を提供す
ることである。
この発明は要約すると、金属外環内に透孔を有するガラ
スタブレットを配置し、前記透孔にガラスよりも膨張係
数の大きい材料よりなる線材を挿通した状態で、全体を
加熱して前記ガラスタブレットを溶融させて金属外１４
に気密に封着し、冷却後前記〜材をガラスから引き抜い
てガラスに透孔を形成することを特徴とするものである
。
スタブレットを配置し、前記透孔にガラスよりも膨張係
数の大きい材料よりなる線材を挿通した状態で、全体を
加熱して前記ガラスタブレットを溶融させて金属外１４
に気密に封着し、冷却後前記〜材をガラスから引き抜い
てガラスに透孔を形成することを特徴とするものである
。
以下、この発明の実施例を図面を参照して説明する。第
６図ないし第８図はこの発明による製造方法について説
明するための各段階における断面図を示す。まず、第６
図に示すように、グラファイト製でかつ金楯外環１の談
合する円形四部７とこの円形四部７の低面に穿設された
３個の丸孔８とを有する封着治具６を用意し、前記四部
７内に金属外環１を挿入配置するとともに、この金属外
環１内に３個の透孔９を有するガラスタブレット２ｂを
挿入配置し、さらに前記ガラスタブレット２ｂのｉＡ孔
９をＬ’ｆｊｌｌして、ガラスタブレツ）２ｂを構成す
るガラスよりも膨張係数の大きい材料。
６図ないし第８図はこの発明による製造方法について説
明するための各段階における断面図を示す。まず、第６
図に示すように、グラファイト製でかつ金楯外環１の談
合する円形四部７とこの円形四部７の低面に穿設された
３個の丸孔８とを有する封着治具６を用意し、前記四部
７内に金属外環１を挿入配置するとともに、この金属外
環１内に３個の透孔９を有するガラスタブレット２ｂを
挿入配置し、さらに前記ガラスタブレット２ｂのｉＡ孔
９をＬ’ｆｊｌｌして、ガラスタブレツ）２ｂを構成す
るガラスよりも膨張係数の大きい材料。
例えば銅よりなりその表面にグラファイトをスプレー塗
布した線材ｌＯを、封着治具６の丸孔８に挿入配はする
。
布した線材ｌＯを、封着治具６の丸孔８に挿入配はする
。
この状態で全体を中性ｆたけ弱還元性雰囲気中において
約１０００℃で加熱する。すると、前記ガラスタブレツ
）２ｂが溶融して、第７図に示すように、金属外環１に
ガラス２が気密に封着され、ガラス２に線材１０が貫通
植設さ扛たガラス封着体が得られる。ただし、線材１０
はガラス２よりも膨Ｉｌ！係数の大きい銅で形成さｊし
ており、しかもその表面に溶融ガラスと濡ｎＷ１いグラ
フアイ）ラスプレー塗布しであるため、線材ｌＯはガラ
ス２と封着されていない０ 次に、上記ガラス封着体を冷却すると、前述のとおりガ
ラス２と封着されていなψ線材１０の膨張係数がガラス
２の膨張係数よりも大きいため、ガラス２の収縮よりも
線材１０の収縮の方が大きく、線材１０がガラス２と離
扛る。この状態で各線材１０を軽く叩いてガラス２から
引き抜くと、第８図に示すように、ガラス２に８個の透
孔１１が形成される。
約１０００℃で加熱する。すると、前記ガラスタブレツ
）２ｂが溶融して、第７図に示すように、金属外環１に
ガラス２が気密に封着され、ガラス２に線材１０が貫通
植設さ扛たガラス封着体が得られる。ただし、線材１０
はガラス２よりも膨Ｉｌ！係数の大きい銅で形成さｊし
ており、しかもその表面に溶融ガラスと濡ｎＷ１いグラ
フアイ）ラスプレー塗布しであるため、線材ｌＯはガラ
ス２と封着されていない０ 次に、上記ガラス封着体を冷却すると、前述のとおりガ
ラス２と封着されていなψ線材１０の膨張係数がガラス
２の膨張係数よりも大きいため、ガラス２の収縮よりも
線材１０の収縮の方が大きく、線材１０がガラス２と離
扛る。この状態で各線材１０を軽く叩いてガラス２から
引き抜くと、第８図に示すように、ガラス２に８個の透
孔１１が形成される。
なお、線材１ｏとガラス２との膨張係数差は、５０ＸＩ
Ｏ以上あることが望ましく、両者の膨張係数差が大きけ
れば大きい程好都合である。そして、両者の膨張係数差
が’７０ＸＩＯ以上ある場合ハ、特に線抹１０の局面へ
のグラファイトのスプレー塗布等を省略することができ
る。
Ｏ以上あることが望ましく、両者の膨張係数差が大きけ
れば大きい程好都合である。そして、両者の膨張係数差
が’７０ＸＩＯ以上ある場合ハ、特に線抹１０の局面へ
のグラファイトのスプレー塗布等を省略することができ
る。
この発明は以上のように、金属外環内に透孔を有するガ
ラスタブレットを配置し、前記透孔にガラスよりも膨張
係数の大きい材料よりなる線材を挿通した状態で、全体
を加熱して前記ガラスタブレットを溶融させたガラスを
金属外環に封着し、冷却後前記線材をガラスから引き抜
いてガラスに透孔を形成するものであるから、従来の製
造方法に比較して、加熱前の組みｑで時に、ガラスタブ
レットの透孔に線材を挿通することおよびガラス封着し
て冷却後に前記線材をガラスから引き抜くことは必要に
なるが、前記組み〜ｒて作業および線材の引き抜き作業
は一括して自動化できるので、全体として著しく製造容
易で加工費か大幅に低減できるのみならず、各透孔を所
定の位置に正確かつ奇麗に形成でき、透孔の数か多くな
るほどその効果が顕著になる。
ラスタブレットを配置し、前記透孔にガラスよりも膨張
係数の大きい材料よりなる線材を挿通した状態で、全体
を加熱して前記ガラスタブレットを溶融させたガラスを
金属外環に封着し、冷却後前記線材をガラスから引き抜
いてガラスに透孔を形成するものであるから、従来の製
造方法に比較して、加熱前の組みｑで時に、ガラスタブ
レットの透孔に線材を挿通することおよびガラス封着し
て冷却後に前記線材をガラスから引き抜くことは必要に
なるが、前記組み〜ｒて作業および線材の引き抜き作業
は一括して自動化できるので、全体として著しく製造容
易で加工費か大幅に低減できるのみならず、各透孔を所
定の位置に正確かつ奇麗に形成でき、透孔の数か多くな
るほどその効果が顕著になる。
第１図および第２図はガラスに透孔を有するガラス封着
体の一例の平面図および第１図の■−筋線に沿う断面図
を示す。第３図ないし第５図は従来のガラス封着体の製
造方法について説明するための各段階における断面図を
示す。第６図ないし第８図はこの発明によるガラス封着
体の製造方法について説明するための各段階における断
面図を示す。 １・・・・・・金属外環、 ２・・・・・・ガラス、 ２ｂ・・・・・・ガラスタブレット、 ６・・・・・・封着治具、 ９・・・・・・ガラスタブレット２ｂの透孔、１０・・
・・・・線材、 １１・・・・・・ガラス２の透孔。 特許出願人 新日本電気株式会社 第１図 ２ 第２図 第３図 第４図 第５図 第６図 第８図
体の一例の平面図および第１図の■−筋線に沿う断面図
を示す。第３図ないし第５図は従来のガラス封着体の製
造方法について説明するための各段階における断面図を
示す。第６図ないし第８図はこの発明によるガラス封着
体の製造方法について説明するための各段階における断
面図を示す。 １・・・・・・金属外環、 ２・・・・・・ガラス、 ２ｂ・・・・・・ガラスタブレット、 ６・・・・・・封着治具、 ９・・・・・・ガラスタブレット２ｂの透孔、１０・・
・・・・線材、 １１・・・・・・ガラス２の透孔。 特許出願人 新日本電気株式会社 第１図 ２ 第２図 第３図 第４図 第５図 第６図 第８図
Claims (1)
- 金属外環内に気密に封着されたガラスが上下に１通ずる
透孔を有するガラス封着体の製造方法であって、金属外
環内に透孔を有するガラスタブレットを配置し、前記透
孔にガラスよりも膨張係数の大きい材料よりなる線材を
挿通した状態で、全体を加熱して前記ガラスタブレット
を溶融させたガラスを金属外環に気密に封着し、冷却後
前記線材をガラスから引き抜いてガラスｖｃ７孔を形成
することを特徴とするガラス封着体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20664881A JPS58110447A (ja) | 1981-12-21 | 1981-12-21 | ガラス封着体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20664881A JPS58110447A (ja) | 1981-12-21 | 1981-12-21 | ガラス封着体の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58110447A true JPS58110447A (ja) | 1983-07-01 |
| JPS6362464B2 JPS6362464B2 (ja) | 1988-12-02 |
Family
ID=16526825
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20664881A Granted JPS58110447A (ja) | 1981-12-21 | 1981-12-21 | ガラス封着体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58110447A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007007783A1 (ja) * | 2005-07-13 | 2007-01-18 | Tokyo Electron Limited | ガラス基板の穴あけ方法及び穴あけ装置 |
-
1981
- 1981-12-21 JP JP20664881A patent/JPS58110447A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007007783A1 (ja) * | 2005-07-13 | 2007-01-18 | Tokyo Electron Limited | ガラス基板の穴あけ方法及び穴あけ装置 |
| JPWO2007007783A1 (ja) * | 2005-07-13 | 2009-01-29 | 東京エレクトロン株式会社 | ガラス基板の穴あけ方法及び穴あけ装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6362464B2 (ja) | 1988-12-02 |
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