JPS5811604B2 - 多心光ファイバコネクタ - Google Patents
多心光ファイバコネクタInfo
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- JPS5811604B2 JPS5811604B2 JP1776380A JP1776380A JPS5811604B2 JP S5811604 B2 JPS5811604 B2 JP S5811604B2 JP 1776380 A JP1776380 A JP 1776380A JP 1776380 A JP1776380 A JP 1776380A JP S5811604 B2 JPS5811604 B2 JP S5811604B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- groove
- silicon substrate
- optical fiber
- dowel pin
- grooves
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/36—Mechanical coupling means
- G02B6/38—Mechanical coupling means having fibre to fibre mating means
- G02B6/3807—Dismountable connectors, i.e. comprising plugs
- G02B6/3873—Connectors using guide surfaces for aligning ferrule ends, e.g. tubes, sleeves, V-grooves, rods, pins, balls
- G02B6/3885—Multicore or multichannel optical connectors, i.e. one single ferrule containing more than one fibre, e.g. ribbon type
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/36—Mechanical coupling means
- G02B6/38—Mechanical coupling means having fibre to fibre mating means
- G02B6/3807—Dismountable connectors, i.e. comprising plugs
- G02B6/3833—Details of mounting fibres in ferrules; Assembly methods; Manufacture
- G02B6/3834—Means for centering or aligning the light guide within the ferrule
- G02B6/3838—Means for centering or aligning the light guide within the ferrule using grooves for light guides
- G02B6/3839—Means for centering or aligning the light guide within the ferrule using grooves for light guides for a plurality of light guides
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/36—Mechanical coupling means
- G02B6/38—Mechanical coupling means having fibre to fibre mating means
- G02B6/3807—Dismountable connectors, i.e. comprising plugs
- G02B6/3873—Connectors using guide surfaces for aligning ferrule ends, e.g. tubes, sleeves, V-grooves, rods, pins, balls
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Mechanical Coupling Of Light Guides (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は多心光ファイバコネククに係り、特に構造が簡
単で、かつ多数の光ファイバを同時に高精度に接続する
ことができる多心光フアイバコネクタに関するものであ
る。
単で、かつ多数の光ファイバを同時に高精度に接続する
ことができる多心光フアイバコネクタに関するものであ
る。
近年、各種の光フアイバ伝送方式の検討が活発である。
これにともない、光ファイバの接続の重要性がますます
大きくなっている。
大きくなっている。
従来から、単心の光フアイバ用コネクタについては数多
くの方法が提案、試作され、各々一応の成果をあげてき
た。
くの方法が提案、試作され、各々一応の成果をあげてき
た。
一方、多数本の光ファイバを一括して接続でき、かつ着
脱が可能な多心光フアイバ用コネクタについては、単心
の光フアイバ用コネクタはどには検討がすすめられてい
ないのが現状である。
脱が可能な多心光フアイバ用コネクタについては、単心
の光フアイバ用コネクタはどには検討がすすめられてい
ないのが現状である。
従来の光フアイバ用多心コネクタでは、多数本の光ファ
イバを一定間隔で平行につくられた■溝上にそれぞれ設
定、固定した後、そのうちの一本の光ファイバに対して
従来の単心の光フアイバ用コネクタと同様にして芯出し
をし、円筒状の整列器などに挿入する方法、または単心
の光フアイバ用コネクタを複数個、同一のハウジングに
集合したものがある。
イバを一定間隔で平行につくられた■溝上にそれぞれ設
定、固定した後、そのうちの一本の光ファイバに対して
従来の単心の光フアイバ用コネクタと同様にして芯出し
をし、円筒状の整列器などに挿入する方法、または単心
の光フアイバ用コネクタを複数個、同一のハウジングに
集合したものがある。
しかし、これらはいずれも外形寸法が大きいことや、芯
出し精度が劣ることなどで問題があった。
出し精度が劣ることなどで問題があった。
これらの問題点を解決するため、本発明者らは、特願昭
５４−００９０７６号（特開昭５５−１０１９０４号公
報）として、シリコン基板上に異方性エツチングにより
、光フアイバ設定用の■溝を形成し、このＶ溝に対して
高精度に位置決めされたノックピンを突き合せる形式の
多心光フアイバ用コネクタを提案した。
５４−００９０７６号（特開昭５５−１０１９０４号公
報）として、シリコン基板上に異方性エツチングにより
、光フアイバ設定用の■溝を形成し、このＶ溝に対して
高精度に位置決めされたノックピンを突き合せる形式の
多心光フアイバ用コネクタを提案した。
しかし、上記提案においては、ノックピンの位置決めに
、かなりの熟練した技術を必要とし、また、この段階に
おいて、ノックピンの■溝に対する位置誤差を生じやす
い等の問題点を残していた。
、かなりの熟練した技術を必要とし、また、この段階に
おいて、ノックピンの■溝に対する位置誤差を生じやす
い等の問題点を残していた。
また、上記提案ではノックピン設定用の■溝をファイバ
設定用の■溝が形成されているシリコン基板上に形成す
ることについても述べているが、深さが数ｍｍにも及ぶ
■溝を形成する必要があることからエツチング時間が１
０時間近くにも及び、また、このような長時間のエツチ
ングにおいては、エツチングマスクのはく離などという
事故もしばしば生じ、所定の形状の■溝が形成できない
などという製造上の問題点を有していた。
設定用の■溝が形成されているシリコン基板上に形成す
ることについても述べているが、深さが数ｍｍにも及ぶ
■溝を形成する必要があることからエツチング時間が１
０時間近くにも及び、また、このような長時間のエツチ
ングにおいては、エツチングマスクのはく離などという
事故もしばしば生じ、所定の形状の■溝が形成できない
などという製造上の問題点を有していた。
本発明の目的は、上記した従来技術での問題点を解決し
、異方性エツチングの必要量を少なくすることができ、
エツチング時間の短縮化、製品歩留り率の向上化を可能
とする多心光フアイバコネクタを提供するにある。
、異方性エツチングの必要量を少なくすることができ、
エツチング時間の短縮化、製品歩留り率の向上化を可能
とする多心光フアイバコネクタを提供するにある。
本発明の特徴は、上記目的を達成するために、光フアイ
バマウント用の多数本の平行■溝とこの■溝と平行に位
置決めされているノックピンマウント用溝とが異方性エ
ツチングにより形成されたシリコン基板のノックピンマ
ウント用溝にノックピンを保持し光フアイバマウント用
溝にそれぞれ光ファイバを挿入してその一端を成端して
形成される同一構造の２つのプラグと上記ノックピンを
挿入するための割りスリーブを有するひとつのアダプタ
とから成る多心光フアイバコネクタにおいて、ノックピ
ンマウント用溝が、シリコン基板上面に異方性エツチン
グにより断面逆等脚台形状の堀下げ溝としてその溝底面
がシリコン基板下面にまで達するようにあるいは達しな
いように形成され、上記堀下げ溝がシリコン基板下面に
まで達して貫通孔を形成するときはこの貫通孔径より大
きい孔径を有する溝が上記貫通孔の位置に対応して形成
されている板を上記シリコン基板に固定一体化し、上記
堀下げ溝がシリコン基板下面にまで達しないときは堀下
げ溝底面をさらに一定法さまで堀下げ加工する構成とす
るにある。
バマウント用の多数本の平行■溝とこの■溝と平行に位
置決めされているノックピンマウント用溝とが異方性エ
ツチングにより形成されたシリコン基板のノックピンマ
ウント用溝にノックピンを保持し光フアイバマウント用
溝にそれぞれ光ファイバを挿入してその一端を成端して
形成される同一構造の２つのプラグと上記ノックピンを
挿入するための割りスリーブを有するひとつのアダプタ
とから成る多心光フアイバコネクタにおいて、ノックピ
ンマウント用溝が、シリコン基板上面に異方性エツチン
グにより断面逆等脚台形状の堀下げ溝としてその溝底面
がシリコン基板下面にまで達するようにあるいは達しな
いように形成され、上記堀下げ溝がシリコン基板下面に
まで達して貫通孔を形成するときはこの貫通孔径より大
きい孔径を有する溝が上記貫通孔の位置に対応して形成
されている板を上記シリコン基板に固定一体化し、上記
堀下げ溝がシリコン基板下面にまで達しないときは堀下
げ溝底面をさらに一定法さまで堀下げ加工する構成とす
るにある。
以下図面により本発明を説明する。
第１図は本発明の全体構成を説明するための斜視図であ
って、１，１′はプラグ、２はアダプタ、３．３′およ
び４，４′はノックピンである。
って、１，１′はプラグ、２はアダプタ、３．３′およ
び４，４′はノックピンである。
プラグ１とプラグ１′はアダプタ２を介して、ノックピ
ン３とノックピン３′を割りスリーブ５内に、および、
ノックピン４とノックピン４′を割りスリーブ６内に整
列することにより、突き合せ整列される。
ン３とノックピン３′を割りスリーブ５内に、および、
ノックピン４とノックピン４′を割りスリーブ６内に整
列することにより、突き合せ整列される。
第２図は、本発明の一実施例を説明する断面図で、プラ
グ１（プラグ１′）の一部分を断面図により示したもの
で、７−１．７−２……、７−ｎの光ファイバはシリコ
ン基板に異方性エツチングにより形成された■溝中にそ
れぞれ設定され、さらにその上部から光ファイバ押え板
９により■溝中で正確に位置するよう押えられる。
グ１（プラグ１′）の一部分を断面図により示したもの
で、７−１．７−２……、７−ｎの光ファイバはシリコ
ン基板に異方性エツチングにより形成された■溝中にそ
れぞれ設定され、さらにその上部から光ファイバ押え板
９により■溝中で正確に位置するよう押えられる。
光ファイバ７−１゜７−２．……、７−ｎとシリコン基
板、光ファイバ押え板９はこの状態を保って、接着剤１
０で固定されている。
板、光ファイバ押え板９はこの状態を保って、接着剤１
０で固定されている。
一方、ノックピン１１（第１図の３．３′および４，４
′に対応するもの）はシリコン基板８（８−１部と８−
２部とからなる）に異方性エツチングで形成した貫通孔
の側壁面上に点Ａ及び点Ｂで接するように、ノックピン
押え板１２により押えることにより設定する。
′に対応するもの）はシリコン基板８（８−１部と８−
２部とからなる）に異方性エツチングで形成した貫通孔
の側壁面上に点Ａ及び点Ｂで接するように、ノックピン
押え板１２により押えることにより設定する。
このような状態を保って固定するために接着剤１０が用
いられる。
いられる。
シリコン基板８の下面の下側には貫通孔に対応する位置
に溝が形成されている補助基板１３が接着固定されてい
る。
に溝が形成されている補助基板１３が接着固定されてい
る。
これはシリコン基板の８−１部と８−２部の分離を防ぎ
、さらに、ノックピン１１の斜線部に示すようにシリコ
ン基板下面よりさらに下方に位置することから生ずる不
都合を避けるために用いられる。
、さらに、ノックピン１１の斜線部に示すようにシリコ
ン基板下面よりさらに下方に位置することから生ずる不
都合を避けるために用いられる。
シリコン基板８に形成されている■溝および貫通孔は異
方性エツチング工程で形成されるため、それぞれ高精度
に所定の位置に形成される。
方性エツチング工程で形成されるため、それぞれ高精度
に所定の位置に形成される。
従って、このような基板を用いて作成したプラグを第１
図の説明で示したように割りスリーブを介してノックピ
ンをそれぞれ突き合せ接続することにより、光ファイバ
がそれぞれ接続される。
図の説明で示したように割りスリーブを介してノックピ
ンをそれぞれ突き合せ接続することにより、光ファイバ
がそれぞれ接続される。
第３図は第２図に示した構造のプラグの場合のシリコン
基板８と補助基板１３の一体化を示す平面図で、補助基
板１３上に接着剤層を介して、貫通孔・Ｖ溝付シリコン
基板１４を、補助基板１３の溝上にシリコン基板１４の
貫通孔が対応するように設定し、固定した後、Ｘ−Ｘお
よびＹ−Ｙ’の部分で切断する。
基板８と補助基板１３の一体化を示す平面図で、補助基
板１３上に接着剤層を介して、貫通孔・Ｖ溝付シリコン
基板１４を、補助基板１３の溝上にシリコン基板１４の
貫通孔が対応するように設定し、固定した後、Ｘ−Ｘお
よびＹ−Ｙ’の部分で切断する。
このようにすることで第２図に示すシリコン基板８の８
−１部分、８−２部分の分離の防止と貫通孔の寸法精度
の向上とが実現可能となる。
−１部分、８−２部分の分離の防止と貫通孔の寸法精度
の向上とが実現可能となる。
第４図は従来構造アと本発明の上記第１の実施例構造イ
との比較を示す断面図で、符号は第２図と同じものを使
用している。
との比較を示す断面図で、符号は第２図と同じものを使
用している。
従来構造アの場合、最低必要なエツチング量は、ノック
ピン１１の半径ｒとするとａ ＝ ｒ （１−ｓｉｎ３
５°）、ここで３５６は断面逆等脚台形の等脚を延長し
て作られる頂角７０°の１／２であり頂角７０°はシリ
コン基板に対して結晶学的に決まる角度である、となる
が、本発明実施例構造イの場合は、最低必要エツチング
量はほとんど零に近く、例えば厚さが１００μｍぐらい
の薄いシリコン基板をも採用できる。
ピン１１の半径ｒとするとａ ＝ ｒ （１−ｓｉｎ３
５°）、ここで３５６は断面逆等脚台形の等脚を延長し
て作られる頂角７０°の１／２であり頂角７０°はシリ
コン基板に対して結晶学的に決まる角度である、となる
が、本発明実施例構造イの場合は、最低必要エツチング
量はほとんど零に近く、例えば厚さが１００μｍぐらい
の薄いシリコン基板をも採用できる。
即ち、従来構造アの構成ではノックピンの径に応じて最
低必要なエツチング量が決まることから、ノックピンマ
ウント用の溝を形成するのが事実上不可能となる場合が
、生じる。
低必要なエツチング量が決まることから、ノックピンマ
ウント用の溝を形成するのが事実上不可能となる場合が
、生じる。
例えば半径ｒが２ｍｍのノックピンを用いるとすると、
最低必要なエツチング量は上式からａ＝０．８６ｍｍと
なるが、実施例構造イの構成ではノックピンの径に関係
なく ０．１ ｍｍ程度のエツチング量でもノックピン
マウント用の溝が形成できることになる。
最低必要なエツチング量は上式からａ＝０．８６ｍｍと
なるが、実施例構造イの構成ではノックピンの径に関係
なく ０．１ ｍｍ程度のエツチング量でもノックピン
マウント用の溝が形成できることになる。
一般に第４図に示す深さｄだけ、従来構造アに比べて実
施例構造イの方がエツチング量が少なくてすむ。
施例構造イの方がエツチング量が少なくてすむ。
このように、エツチング量が少なくてよいことは、エツ
チング時間の短縮化が実現すると共に、エツチング工程
中に生じるエツチング保護膜はく離に伴なう不良品発生
確率の低下、即ち歩留り率の向上が可能となり、製造面
での効果が大きい。
チング時間の短縮化が実現すると共に、エツチング工程
中に生じるエツチング保護膜はく離に伴なう不良品発生
確率の低下、即ち歩留り率の向上が可能となり、製造面
での効果が大きい。
第５図は本発明の第２の実施例を示す断面図でこれは、
ノックピンマウント用に形成する掘下げ溝をシリコン基
板の下面にまで達しないようにする場合である。
ノックピンマウント用に形成する掘下げ溝をシリコン基
板の下面にまで達しないようにする場合である。
即ち、シリコン基板８の下面に達しない深さｂだけ異方
性エツチングした後、この異方性エツチングによりシリ
コン基板上に形成された逆等脚台形状断面の溝の底面を
、さらに研削などの方法を用いて深さＣだけ掘下げるも
のである。
性エツチングした後、この異方性エツチングによりシリ
コン基板上に形成された逆等脚台形状断面の溝の底面を
、さらに研削などの方法を用いて深さＣだけ掘下げるも
のである。
この場合においても、必要な異方性エツチング量は第１
の実施例構造、第４図イ、の場合と同じであり、この第
２の実施例の方法によっても、第１の実施例の場合と同
等の効果を生じさせることができる。
の実施例構造、第４図イ、の場合と同じであり、この第
２の実施例の方法によっても、第１の実施例の場合と同
等の効果を生じさせることができる。
この場合の研削などにより堀り下げられる溝は、単にノ
ックピン１１が■溝に正しく位置設定できるよう、底面
の位置を下げるためのものであるので、加工精度や表面
あらさなと、いずれも高精度である必要はない。
ックピン１１が■溝に正しく位置設定できるよう、底面
の位置を下げるためのものであるので、加工精度や表面
あらさなと、いずれも高精度である必要はない。
異方性エツチングの工程を用いないで、最初から研削な
どにより第５図のシリコン基板８上に図示のような溝加
工を行なうのは、その位置精度、寸法精度、表面あらさ
など全てについて高精度加工が要求され、製造上の困難
さが大きい。
どにより第５図のシリコン基板８上に図示のような溝加
工を行なうのは、その位置精度、寸法精度、表面あらさ
など全てについて高精度加工が要求され、製造上の困難
さが大きい。
以上説明したように、本発明によれば、光フアイバマウ
ント用の■溝とノックピンマウント用の溝を異方性エツ
チングによりシリコン基板上に形成する構成であること
から、高精度な位置精度、寸法精度、表面あらさを有す
る溝が形成でき、さらにノックピンマウント用の溝につ
いては、堀り下げをシリコン基板下面に達するまで行な
って貫通孔を形成する場合、あるいは堀り下げを所定の
深さまで行なった後その溝底面を研削などにより掘り下
げる場合、のいずれについても、その異方性エツチング
量はノックピンの径にかかわらず極くわずかで良く、エ
ツチング時間の短縮、エツチング工程中におけるエツチ
ング保護膜のはく離に起因する不良品発生の低下即ち歩
留り率の向上、など製造面における利点が太きい。
ント用の■溝とノックピンマウント用の溝を異方性エツ
チングによりシリコン基板上に形成する構成であること
から、高精度な位置精度、寸法精度、表面あらさを有す
る溝が形成でき、さらにノックピンマウント用の溝につ
いては、堀り下げをシリコン基板下面に達するまで行な
って貫通孔を形成する場合、あるいは堀り下げを所定の
深さまで行なった後その溝底面を研削などにより掘り下
げる場合、のいずれについても、その異方性エツチング
量はノックピンの径にかかわらず極くわずかで良く、エ
ツチング時間の短縮、エツチング工程中におけるエツチ
ング保護膜のはく離に起因する不良品発生の低下即ち歩
留り率の向上、など製造面における利点が太きい。
第１図は本発明の全体構成を説明する斜視図、第２図は
本発明の第１の実施例を示す断面図、第３図は第２図構
造のプラグの作製説明用の平面図、第４図は従来構造と
第１実施例構造との比較説明用の断面図、第５図は本発
明の第２の実施例を示す断面図である。 符号の説明、１，１′……プラグ、２……アダプタ、３
、３’ 、 ４、４’……ノックピン、５，６……割り
スリーブ、７−１，７−２．……７−ｎ……光ファイバ
、８．８−１．８−２……シリコン基板、９……光フア
イバ押え板、１０……接着剤、１１……ノツクピン、１
２……ノツクピン押え板、１３……補助基板、１４……
貫通孔・■溝付シリコン基板。
本発明の第１の実施例を示す断面図、第３図は第２図構
造のプラグの作製説明用の平面図、第４図は従来構造と
第１実施例構造との比較説明用の断面図、第５図は本発
明の第２の実施例を示す断面図である。 符号の説明、１，１′……プラグ、２……アダプタ、３
、３’ 、 ４、４’……ノックピン、５，６……割り
スリーブ、７−１，７−２．……７−ｎ……光ファイバ
、８．８−１．８−２……シリコン基板、９……光フア
イバ押え板、１０……接着剤、１１……ノツクピン、１
２……ノツクピン押え板、１３……補助基板、１４……
貫通孔・■溝付シリコン基板。
Claims (1)
- １ 光フアイバマウント用の多数本の平行■溝とこの■
溝と平行に位置決めされているノックピンマウント用溝
とが異方性エツチングにより形成されたシリコン基板の
上記ノックピンマウント用溝にノックピンを保持し上記
光フアイバマウント用溝にそれぞれ光ファイバを挿入し
てその一端を成端して形成される同一構造の２つのプラ
グと上記ノックピン挿入用の割りスリーブを有するアダ
プタとから成り２つのプラグをアダプタを介して突き合
せることで多数本の光ファイバを同時に接続する多心光
フアイバコネクタにおいて、ノックピンマウント用溝が
、シリコン基板上面に異方性エツチングにより断面逆等
脚台形状の堀下げ溝としてその溝底面がシリコン基板下
面にまで達するようにあるいは達しないように形成され
、上記堀下げ溝がシリコン基板下面にまで達して貫通孔
を形成するときはこの貫通孔径より大きい孔径を有する
溝が上記貫通孔の位置に対応して形成されている板を上
記シリコン基板に固定一体化し、上記堀下げ溝がシリコ
ン基板下面にまで達しないときは堀下げ溝底面をさらに
一定深さまで堀下げ加工することを特徴とする多心光フ
アイバコネクタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1776380A JPS5811604B2 (ja) | 1980-02-18 | 1980-02-18 | 多心光ファイバコネクタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1776380A JPS5811604B2 (ja) | 1980-02-18 | 1980-02-18 | 多心光ファイバコネクタ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS56114910A JPS56114910A (en) | 1981-09-09 |
| JPS5811604B2 true JPS5811604B2 (ja) | 1983-03-03 |
Family
ID=11952742
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1776380A Expired JPS5811604B2 (ja) | 1980-02-18 | 1980-02-18 | 多心光ファイバコネクタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5811604B2 (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0453608Y2 (ja) * | 1986-01-25 | 1992-12-16 | ||
| JPS63153207U (ja) * | 1987-03-27 | 1988-10-07 | ||
| JPH01211703A (ja) * | 1988-02-19 | 1989-08-24 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光コネクタ |
| JPH01244406A (ja) * | 1988-03-25 | 1989-09-28 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光コネクタ |
| JPH0612365B2 (ja) * | 1988-04-27 | 1994-02-16 | 住友電気工業株式会社 | 光コネクタ |
| JP3274972B2 (ja) * | 1996-07-31 | 2002-04-15 | 京セラ株式会社 | 光学素子保持部材の製造方法 |
| US7427166B2 (en) * | 2004-09-27 | 2008-09-23 | Adamant Kogyo Co., Ltd. | Neutral gender MT-type ferrule, adapter, and polishing method |
-
1980
- 1980-02-18 JP JP1776380A patent/JPS5811604B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS56114910A (en) | 1981-09-09 |
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