JPS58120102A - １検出部で２軸ライトサ−ボ可能な光学変位計 - Google Patents
１検出部で２軸ライトサ−ボ可能な光学変位計Info
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- JPS58120102A JPS58120102A JP227182A JP227182A JPS58120102A JP S58120102 A JPS58120102 A JP S58120102A JP 227182 A JP227182 A JP 227182A JP 227182 A JP227182 A JP 227182A JP S58120102 A JPS58120102 A JP S58120102A
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- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 title claims description 16
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 13
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 12
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 9
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は１検出部で２軸ライトサーボ可能な光学変位計
に関するものである。
に関するものである。
従来周知の光学式２軸変位計は、垂直方向および水平方
向の変位をそれぞれ検出するだめの２つの検出部、すな
わちフォト・マル（光を子増倍管）を使用して各軸の光
量調整すなわち２軸ライトサーボを行なっていた。その
ため、原理的に特性の等１−１い２本のフォト・マルを
必要とすることから高価となり、その上カメラ形状が犬
となシかつ重量が嵩むことから取扱いが不便であった。
向の変位をそれぞれ検出するだめの２つの検出部、すな
わちフォト・マル（光を子増倍管）を使用して各軸の光
量調整すなわち２軸ライトサーボを行なっていた。その
ため、原理的に特性の等１−１い２本のフォト・マルを
必要とすることから高価となり、その上カメラ形状が犬
となシかつ重量が嵩むことから取扱いが不便であった。
さらに１入射像をミラーによって分割して各々のフ第１
・・マル中心に結像させる必要があることから光学系の
精確な調整が要求さハ、かつ複雑なフィードバック制御
を利用していることから電気回路が複雑であり動作が不
安定となりやすい欠点かあった。っ 本発明は、従来技術の上記欠点を解消した１検出部で２
軸ライトサーボ可能な光学変位計を提供することを目的
とする。
・・マル中心に結像させる必要があることから光学系の
精確な調整が要求さハ、かつ複雑なフィードバック制御
を利用していることから電気回路が複雑であり動作が不
安定となりやすい欠点かあった。っ 本発明は、従来技術の上記欠点を解消した１検出部で２
軸ライトサーボ可能な光学変位計を提供することを目的
とする。
本発明の目的は特許請求の範囲に記載された光学変位計
によって達成される。
によって達成される。
本発明にかかる光学変位計は、フォト・マルを１本省略
することが可能であるため、カメラが小型軒量となり価
格的にも有利である。さらに光学的・電気的調整ならび
に操作が容易となる利点が得られる。
することが可能であるため、カメラが小型軒量となり価
格的にも有利である。さらに光学的・電気的調整ならび
に操作が容易となる利点が得られる。
以下、実施例を示す添伺図を参照し本発明を詳述する。
光りを受けたフォト・マル１の出力はプリアンプ２で増
幅され、時分割スイッチ３によって３分割される。３分
割された出力は、それぞれ水平（Ｈ）軸アンプ４、ライ
トサーボ（ｒ、、Ｓ）アンプ５、および垂直（Ｖ）軸ア
ンプ乙に印加される。
幅され、時分割スイッチ３によって３分割される。３分
割された出力は、それぞれ水平（Ｈ）軸アンプ４、ライ
トサーボ（ｒ、、Ｓ）アンプ５、および垂直（Ｖ）軸ア
ンプ乙に印加される。
水平軸アンプ４の出力は、水平軸出力用コイル電圧検出
アンプ７、垂直軸出力用コイルシフト電圧検出アンプ８
、およびライトサーボ用水半軸コイルシフト電圧検出ア
ンプ９に印加される。これら各アンプ７、８．９ の
出力は各タイミングに応じて水平軸コイルＨを駆動する
だめの水平軸コイル１駆動アンプ１０に印加される。
アンプ７、垂直軸出力用コイルシフト電圧検出アンプ８
、およびライトサーボ用水半軸コイルシフト電圧検出ア
ンプ９に印加される。これら各アンプ７、８．９ の
出力は各タイミングに応じて水平軸コイルＨを駆動する
だめの水平軸コイル１駆動アンプ１０に印加される。
垂直軸アンプ乙の出力は、垂直軸出力用コイル電圧検出
アンプ１１、水平軸出力用コイルソフト電圧検出アンプ
１２、およびライトサーボ用垂直軸コイルシフト電圧検
出アンプ１３に印加される。これら各アンプ１１．１２
．１６の出力は、各タイミングに応じて垂直軸コイル９
ｖを駆動するだめの垂直軸コイル駆動アンプ１４に印加
される。
アンプ１１、水平軸出力用コイルソフト電圧検出アンプ
１２、およびライトサーボ用垂直軸コイルシフト電圧検
出アンプ１３に印加される。これら各アンプ１１．１２
．１６の出力は、各タイミングに応じて垂直軸コイル９
ｖを駆動するだめの垂直軸コイル駆動アンプ１４に印加
される。
ライトサーボアンプ５の出力は、整合用アンプ１５を介
してフォト・フル１用の高圧回路１６を制御する。高圧
回路１６の出力は、フォト・マル１の高圧として供給さ
れフォト・マルの出力（輝度）を制御する。
してフォト・フル１用の高圧回路１６を制御する。高圧
回路１６の出力は、フォト・マル１の高圧として供給さ
れフォト・マルの出力（輝度）を制御する。
水平軸コイルＨの駆動出力は、検出アンプ１７およびデ
ータアンプ１８を介して水平軸出力端子Ｈｏから測定出
力として取出される。
ータアンプ１８を介して水平軸出力端子Ｈｏから測定出
力として取出される。
垂直軸コイル■の駆動出力は、検出アンプ１９およびデ
ータアンプ２０を介して垂直軸出力端子Ｖｏから測定出
力として取出される。
ータアンプ２０を介して垂直軸出力端子Ｖｏから測定出
力として取出される。
本発明の対象とする光学変位計は、元来サーボループシ
ステムを形成している。すなわち、明暗ターゲット（図
示していない）からの強弱入射光りによる電子ビームに
対して適当に偏向を与え、電子ビームが常にフォト・フ
ル１前方のアバ−チャの中央で受信できるように制御す
るいわゆる零メソード方式を採用している。この際偏向
コイルへの供給出力、すなわちフィードバック修正電流
がターゲットの変位量を示すことになる。
ステムを形成している。すなわち、明暗ターゲット（図
示していない）からの強弱入射光りによる電子ビームに
対して適当に偏向を与え、電子ビームが常にフォト・フ
ル１前方のアバ−チャの中央で受信できるように制御す
るいわゆる零メソード方式を採用している。この際偏向
コイルへの供給出力、すなわちフィードバック修正電流
がターゲットの変位量を示すことになる。
本発明にかかる装置は上述のような構成によって、適当
なスイッチング回路によりフォト・マル１の出力を適宜
タイミングで時分割を行なう。この際ライトサーボ出力
すなわち光量を検出するには、ターゲットがアバ−チャ
の中央部になくなるようにしなければならない。そこで
本発明にかかる装置ではライトサーボ時にターゲットの
修正作用を利用し、この修正データにアパーチャ径分た
けシフト−ｓぜるための電流を加算して、ターゲットの
シフトを行なうものである。すなわち、下表のようなタ
イミングで時分割スイッチ３の切換えが行なわれるか、
光量検出のだめのライトサーボ時には、水平軸アンプよ
ひ垂直軸出力にアパーチャ径に対応するシフト電圧＋α
を加算し、ターゲットをアパーチャから外すように構成
するものである。
なスイッチング回路によりフォト・マル１の出力を適宜
タイミングで時分割を行なう。この際ライトサーボ出力
すなわち光量を検出するには、ターゲットがアバ−チャ
の中央部になくなるようにしなければならない。そこで
本発明にかかる装置ではライトサーボ時にターゲットの
修正作用を利用し、この修正データにアパーチャ径分た
けシフト−ｓぜるための電流を加算して、ターゲットの
シフトを行なうものである。すなわち、下表のようなタ
イミングで時分割スイッチ３の切換えが行なわれるか、
光量検出のだめのライトサーボ時には、水平軸アンプよ
ひ垂直軸出力にアパーチャ径に対応するシフト電圧＋α
を加算し、ターゲットをアパーチャから外すように構成
するものである。
シフト電圧＋αの加算された偏向電流を水平軸コイルＨ
および垂直軸コイル■にそれぞれ供給することにより夕
〜ゲットはアパーチャから完全に外れ、この際の光量が
フォト・マルに取入れられる。この信号を適宜処理して
高圧回路１６を制御し、光量変化分だけ高圧を変化させ
る。その結果測定環境の変化、殊にターケラトからの入
射光量の変化にもかかわらず出力データの変動が防止さ
れ誤差の少ない高精度変位測定が可能となる。
および垂直軸コイル■にそれぞれ供給することにより夕
〜ゲットはアパーチャから完全に外れ、この際の光量が
フォト・マルに取入れられる。この信号を適宜処理して
高圧回路１６を制御し、光量変化分だけ高圧を変化させ
る。その結果測定環境の変化、殊にターケラトからの入
射光量の変化にもかかわらず出力データの変動が防止さ
れ誤差の少ない高精度変位測定が可能となる。
本発明によって、小型軽量かつ高精度の変位測定可能な
光学変位計か得られるが、本発明の範囲内において多く
の変更または変形が可能であることは明らズノ・であろ
う。
光学変位計か得られるが、本発明の範囲内において多く
の変更または変形が可能であることは明らズノ・であろ
う。
添付図は本発明にがかる１検出部で２軸ライトサーボ可
能な光学変位計の回路図である。 図中子な参照符号の対応は次の通りである。 １°フオト・マル ２：プリアンプ ３：時分割スイッチ ４：水平軸アンプ５ ニライトサ
ーボアンプ ６ ：垂直軸アンプ７、８．９．１０．１
７．１８ ： 水平軸測定回路１１、１２．１３．
１４．１９．２０ 垂直軸測定回路１６：高圧回路
Ｉ（＝水平軸コイルＶ：垂直軸コイル
能な光学変位計の回路図である。 図中子な参照符号の対応は次の通りである。 １°フオト・マル ２：プリアンプ ３：時分割スイッチ ４：水平軸アンプ５ ニライトサ
ーボアンプ ６ ：垂直軸アンプ７、８．９．１０．１
７．１８ ： 水平軸測定回路１１、１２．１３．
１４．１９．２０ 垂直軸測定回路１６：高圧回路
Ｉ（＝水平軸コイルＶ：垂直軸コイル
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 明暗ターゲットからの強弱入射光による電子ビームを所
定位置内に修正するための偏向電流によって変位測定を
行ない、測定中に入射光量変化を調整するだめのライト
サーボ回路を備えた２軸光学変位計において、 入射光に対応する電気信号を時分割して、水平軸測定回
路（４，７，８，９，１０，１７，１８） 、 垂直
軸測定回路（６，１１，１２，１３，１４，１９，２０
）および高圧回路（１６）を制御するためのライトサー
ボ回路（ｓ、１ｓ） にそれぞれ分配するためのスイ
ッチング回路（３）を有し、そして前記水平軸測定回路
および垂直軸測定回路には、それぞれ自軸出力タイミン
グ以外の期間に他軸コイルに対して所要シフト信号を付
与する回路（８，９；１２，１３） が含まれること
、を特徴とする１検出部で２軸ライトサーボ可能な光学
変位計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP227182A JPS58120102A (ja) | 1982-01-12 | 1982-01-12 | １検出部で２軸ライトサ−ボ可能な光学変位計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP227182A JPS58120102A (ja) | 1982-01-12 | 1982-01-12 | １検出部で２軸ライトサ−ボ可能な光学変位計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58120102A true JPS58120102A (ja) | 1983-07-16 |
| JPH0459562B2 JPH0459562B2 (ja) | 1992-09-22 |
Family
ID=11524702
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP227182A Granted JPS58120102A (ja) | 1982-01-12 | 1982-01-12 | １検出部で２軸ライトサ−ボ可能な光学変位計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58120102A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5140166A (en) * | 1974-10-01 | 1976-04-03 | Chinmaa Koohoreeshon Japan Kk | Hisetsushokugata 2 jikuhenisokuteisochi |
| JPS5313453A (en) * | 1976-07-23 | 1978-02-07 | Chisso Corp | Two point contactless optical displacement measuring apparatus |
-
1982
- 1982-01-12 JP JP227182A patent/JPS58120102A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5140166A (en) * | 1974-10-01 | 1976-04-03 | Chinmaa Koohoreeshon Japan Kk | Hisetsushokugata 2 jikuhenisokuteisochi |
| JPS5313453A (en) * | 1976-07-23 | 1978-02-07 | Chisso Corp | Two point contactless optical displacement measuring apparatus |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0459562B2 (ja) | 1992-09-22 |
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