JPS58120554U - 電子顕微鏡等における排気系 - Google Patents
電子顕微鏡等における排気系Info
- Publication number
- JPS58120554U JPS58120554U JP1787782U JP1787782U JPS58120554U JP S58120554 U JPS58120554 U JP S58120554U JP 1787782 U JP1787782 U JP 1787782U JP 1787782 U JP1787782 U JP 1787782U JP S58120554 U JPS58120554 U JP S58120554U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- exhaust pipe
- pump
- elastic body
- exhaust system
- electron microscopes
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
- Vibration Prevention Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来例を示すための図、第２図は本案の一実施
例を示すための図、第３図は本案の他の実施例を示すた
めの図である。 、１：鏡体、２：架台、３：ハネ、４ａ、 ４ｂ：支
柱、５：床、６：主排気管、８：分子ポンプ、１０：べ
口二ズ、１２． １３ａ、 １３ｂ：保護部材、１４
：中間体。
例を示すための図、第３図は本案の他の実施例を示すた
めの図である。 、１：鏡体、２：架台、３：ハネ、４ａ、 ４ｂ：支
柱、５：床、６：主排気管、８：分子ポンプ、１０：べ
口二ズ、１２． １３ａ、 １３ｂ：保護部材、１４
：中間体。
Claims (1)
- 鏡体と、該鏡体内に接続された排気管と、ベローズを介
して該排気管に接続され前記鏡体内を真空排気するため
のターボ分子ポンプ或いはクライオポンプと、真空排気
された際に前記ベローズが圧縮されることを防ぐため排
気管とポンプ本体との間に挿入された弾性体とよりなる
装置において、前記弾性体を介して前記ポンプ側から前
記排気管゛に伝達される音波を反射するため前記弾性体
の中間に該弾性体より密度の大きい材質より成る部材又
は層が備えられていることを特徴とする電子顕微鏡等に
おける排気系。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1787782U JPS58120554U (ja) | 1982-02-10 | 1982-02-10 | 電子顕微鏡等における排気系 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1787782U JPS58120554U (ja) | 1982-02-10 | 1982-02-10 | 電子顕微鏡等における排気系 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58120554U true JPS58120554U (ja) | 1983-08-17 |
| JPS6314372Y2 JPS6314372Y2 (ja) | 1988-04-22 |
Family
ID=30030154
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1787782U Granted JPS58120554U (ja) | 1982-02-10 | 1982-02-10 | 電子顕微鏡等における排気系 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58120554U (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06342759A (ja) * | 1991-06-07 | 1994-12-13 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 反応性気体充填方法 |
| JP2003049771A (ja) * | 2001-08-03 | 2003-02-21 | Boc Edwards Technologies Ltd | 真空ポンプの接続構造及び真空ポンプ |
| JP2016018621A (ja) * | 2014-07-07 | 2016-02-01 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置 |
-
1982
- 1982-02-10 JP JP1787782U patent/JPS58120554U/ja active Granted
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06342759A (ja) * | 1991-06-07 | 1994-12-13 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 反応性気体充填方法 |
| JP2003049771A (ja) * | 2001-08-03 | 2003-02-21 | Boc Edwards Technologies Ltd | 真空ポンプの接続構造及び真空ポンプ |
| JP2016018621A (ja) * | 2014-07-07 | 2016-02-01 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6314372Y2 (ja) | 1988-04-22 |
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