JPS6314372Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は電子顕微鏡等においてターボ分子ポン
プ或いはクライオポンプを使用した排気系に関す
る。

ターボ分子ポンプ（以下分子ポンプと略記す
る）或いはクライオポンプを用いて電子顕微鏡等
を排気することが行なわれているが、分子ポンプ
は高速回転機構を有しており、又クライオポンプ
は高速駆動されるピストンを有しているため、こ
れらポンプを使用する場合これらポンプからの振
動が電子顕微鏡に伝達しないようにその取り付け
には種々の工夫がなされている。その中でもポン
プをベローズを介して架台に固定された主排気管
に吊り下げるようにしたものは、コンパクトに装
置をまとめられるため実用的である。

第１図はこのような従来の排気系を説明するた
めのもので、１は透過型電子顕微鏡の鏡体で、該
鏡体は架台２に取付けられている。該架台２は除
振用バネ３を備えた４本の支柱４ａ，４ｂ，４
ｃ，４ｄ（４ｃ及び４ｄは図示せず）によつて床
５上に載置されている。６は前記鏡体１の後方に
おかれ、且つ該鏡体の各室に副排気管７ａ，７
ｂ，７ｃを介して連通された主排気管で、該主排
気管６は前記架台２に取付けられており、又該主
排気管６の下端６ａは架台２の下面から突出して
いる。８は分子ポンプで、該分子ポンプはその吸
入口９側が例えばステンレス製のベローズ１０を
介して前記主排気管６の下端６ａに接続されてい
る。この場合分子ポンプ８の下端は床５から浮か
されている。つまり、分子ポンプはベローズ１０
を介して主排気管６に吊り下げるようにして支持
されている。又該分子ポンプ８の排出口１１には
図示しないがパイプを介して油回転ポンプが接続
されている。１２はゴム或いはプラスチツク等の
弾性体より成る保護部材である。

このような排気系において、鏡体内を排気した
際に、背圧により分子ポンプ８が上方に吸引さ
れ、その結果ベローズ１０は圧縮される向きの力
を受けるが、この際に保護部材１２はポンプ８よ
りの振動を吸収すると共にベローズ１０に逆向き
の力を与えて、ベローズ１０が大幅に圧縮される
ことを阻止する。従つてベローズ１０が圧縮され
ることはないので、ポンプの振動が大きく電子顕
微鏡に伝わるという事態が回避できる。

しかしながら、上述した如き従来装置において
は、分子ポンプ８からの振動、とりわけ音波が上
記保護部材１２を介して排気管側に伝わり、電子
顕微鏡等における像質の向上を阻む一因となつて
いた。

本案はこのような従来の欠点を解決するためな
されたもので、鏡体と、該鏡体内に接続された排
気管と、ベローズを介して該排気管に接続され前
記鏡体内を真空排気するためのターボ分子ポンプ
或いはクライオポンプと、真空排気された際に前
記ベローズが圧縮されることを防ぐため排気管と
ポンプ本体との間に挿入された弾性体とよりなる
装置において、前記弾性体を介して前記ポンプ側
から前記排気管に伝達される音波を反射するため
前記弾性体の中間に該弾性体より密度の大きい材
質より成る部材又は層が備えられていることを特
徴としており、以下図面に基づき本案の実施例を
詳述するが、第１図と同一の構成要素に対しては
同一番号を付し説明を省略するものもある。

本案の一実施例の要部を示す第２図において、
ゴムより成る筒状の保護部材は従来と異なり１３
ａ，１３ｂと２つの保護部材に分けられており、
その間に保護部材の材質より密度の大きな材質例
えば鉄等より成る中間体１４が両保護部材１３
ａ，１３ｂに接着されて介在している。この中間
体１４はその環状の内面においてベローズ１０に
も一体的に接続されている。

このような構成においては、保護部材１２の材
質であるゴムの密度に対して、中間体１４の材質
である鉄の密度は極めて大きいため、音波伝導に
対する中間体１４のインピーダンスは保護部材の
インピーダンスに比して極めて大きくなる。従つ
て、分子ポンプ８より発生して保護部材１３ａに
伝導した音波は保護部材１３ａと中間体１４の境
界面で反射される率が大きくなり、排気管６側に
は殆んど伝導されなくなる。

第３図は、本案の他の実施例を示すもので、こ
の実施例においては筒状の保護部材１３ａの径を
保護部材１３ｂの径より太くし、合わせてベロー
ズ１０を２つのベローズ１０ａ，１０ｂに分け、
ベローズ１０ａの径をベローズ１０ｂの径より大
きくしてある。

このようにすれば、保護部材１３ａ、中間体１
４、保護部材１３ｂを順次介して音波が伝導する
には、中間体１４と両保護部材１３ａ，１３ｂと
が接触する２つの境界において音波が直角に曲が
らなければならないため、更に排気管側へ伝導さ
れる音波の割り合いを減らすことができる。

尚、上述した実施例においてはポンプとして分
子ポンプを使用する場合について説明したが、本
案はクライオポンプを用いる場合についても同様
に適用できる。

又、上述した実施例においては中間体を一段だ
け設けたが、段数を増やすことにより更に効果を
高めることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来例を示すための図、第２図は本案
の一実施例を示すための図、第３図は本案の他の
実施例を示すための図である。 １：鏡体、２：架台、３：バネ、４ａ，４ｂ：
支柱、５：床、６：主排気管、８：分子ポンプ、
１０：ベローズ、１２，１３ａ，１３ｂ：保護部
材、１４：中間体。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 鏡体と、該鏡体内に接続された排気管と、ベロ
   ーズを介して該排気管に接続され前記鏡体内を真
   空排気するためのターボ分子ポンプ或いはクライ
   オポンプと、真空排気された際に前記ベローズが
   圧縮されることを防ぐため排気管とポンプ本体と
   の間に挿入された弾性体とよりなる装置におい
   て、前記弾性体を介して前記ポンプ側から前記排
   気管に伝達される音波を反射するため前記弾性体
   の中間に該弾性体より密度の大きい材質より成る
   部材又は層が備えられていることを特徴とする電
   子顕微鏡等における排気系。