JPS58123444A - パタン欠陥検査装置 - Google Patents
パタン欠陥検査装置Info
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- JPS58123444A JPS58123444A JP57005396A JP539682A JPS58123444A JP S58123444 A JPS58123444 A JP S58123444A JP 57005396 A JP57005396 A JP 57005396A JP 539682 A JP539682 A JP 539682A JP S58123444 A JPS58123444 A JP S58123444A
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- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/956—Inspecting patterns on the surface of objects
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
- Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
本発明は、例えば撮像管の受像面などに設けられたスト
ライプ状のパタンに含まれている欠陥を自動的に検出す
る光学式のパタン欠陥検出装置に関するものである。 カラー撮像管の受像面は、通常、第１図に示すように面
板（一般にガラス板）１の上にストライプ状のネサ膜の
ノ母りｙ２がエツチングによって刻みつけられている。 第２図はその断面拡大図であシ、上記のストライプパタ
ン２はカラー３色に対応するＲ、Ｂ、Ｇの各ストライｆ
２’によって構成されている。これらの各ストライプ
の間に第３図に示すような短絡３−８があったり、又は
、いずれかのストライプに第４図に示すような断線３−
２があったシすると画像信号が損われるので、撮像管の
製造に際してストライプ２′の検査は不可欠とされてい
る。 従来、一般に上記のストライプツクタンの検査は専ら顕
微鏡？用いて目視で行われ、多大の時間と労力とを費し
２ていた。 現在、電子技術においてはＩＣ用ウつ八へどを対象とし
て光電的手段による自動検査装置が実用化されているが
、これらは未だバタン全形成されていない素材面の検査
が可能なものであって、ツヤタンを形成された面板の検
査は一般的には困難である。 その理由は、バタン全形成された面板上に検査用の光束
を投射するとパタンによって光が散乱されるので、特別
な場合を除いて欠陥による散乱光と正常なツヤタンによ
る散乱光とを区別できないからである。 本発明は上記の事情に鑑みて為され、撮像管の受像面な
どに形成されているストライプパタンの欠陥を自動的に
検出し得る検査装置を提供することを目的とするもので
ある。 次に、正常なストライプパタンにおける光の散乱、およ
び欠陥部における光の散乱の状態を説明すると共に、上
記両者の散乱状態の相異を利用して欠陥を検出する原理
を略述する。 第５図はストライプ２′の一部を拡大して描き、その上
方からレーザビーム４を照射したとぎ、上記ストライｆ
２’のエツジ２″における散乱の状態を示した概要的な
斜視図であり、４′はレーザ光のスポット、５は散乱光
を表わしている。説明の便宜上、図示のようにストライ
プ２′に平行な方向をＹ方向と定め、これに直角で受像
面に平行な方向をＸ方向と足める。 第６図はＹ軸に垂直な面による断面図に散乱光の指向特
性曲線を付記した図である。散乱光に山と谷とが表われ
ているのは散乱光自身の干渉によるものである。 第７図はＸ軸に垂直な断面における散乱光の指向特性曲
線を示す。第６図に比して真上方向に鋭く集中している
ことがわかる。即ち、散乱光のエネルギーはＹ軸に垂直
な面（第７図のイー４１面）に集中している。 以上の特性から容易に理解されるように、第８図のとと
（短絡欠陥、ａ−１が有る場合、及び第９図のように断
線欠陥３−′！が有る場合には、垂直上方からレーザビ
ーム４を欠陥部に投射すると、正常なストライプからは
発生しない方向、すなわちＹ軸に垂直な面外の方向に散
乱光６，６′が発生する。 この現象は９明者らが実験的にも確認している。 なお、以上は反射方向の散乱について述べたが面板１が
透明体の場合は透過方向の散乱についても同様の現象が
確認されている。 上記の現象を利用してストライプの欠陥を検出するには
第８図、第９図の欠陥による散乱光６゜６′ヲ表わした
矢印の延長線上に受光器全般けることにより理論的には
可能であるが、実用上次記のような技術的問題がある。 Ｌ 第１０図（Ａｌは前述の原理を利用してストライプ
欠陥全検出する方法を模式的に示したもので、ストライ
プパタン２の面上のハ、二の２点に欠顛がある場合、ス
トライｆ／４′ターン２を構成している各ストライプ２
′に直角な方向、即ちＸ軸方向にレーザー光のスデツ）
？走査し、その散乱光全斜方向から受光レンズ７で集光
して光電変換器８の受光面に結像させる。ただし、上記
の斜方向とは、ストライブ／４’ターン２を設けた面板
の、走査線上に立てた垂線よりもストライｆ２’に近づ
（方向に傾いた線に沿ってとの意である。なおこのよう
に斜方向に受光方向を定める理由は、投光されたレーザ
ビームが直接受光器に入らないようにするためである。 第１０図（Ｂｌに光電変換器８の出力カーブを示す。 横軸は時間軸である。走査スポットが欠陥ハ、二を通過
する際、光電変換器８はピーク出力し→、に）を発生す
るので欠陥の存在全検知し得る。 しかし、上述のようにして欠陥を検出するには走査方向
Ｘ′ヲ前述のＸ軸（ストライプに直交する軸）に正１−
＜合わさねばならない。もし第１１ ｆＡ１図に示すよ
うに角θだけ狂っていると、正常なストライプによる散
乱光の一部が検出されて第１１図Ｂに示すような光電変
換器出力が発生して欠陥の検出を妨げる。このため前述
の原理全利用したストライブ欠陥検出を実用化するには
、レーザービームの走査方向Ｘ′ヲストライプ２′と厳
密に直角方向ならしめるγこめの、簡便かつ高精度な手
段が必要となる。 ｂ、前述の原理による欠陥検出全実用化するためのもう
一つの技術的課題は、第１０図（、Ａ］のごとくレーザ
ービームのスポットをＸ軸に沿って走査する場合、その
検出開始点及び検出終了点であるホ。 への２点を正確に検知しなければならないことである。 上記の虚ホと虚へとの間の検出区間が狭い方に狂うとス
トライプ・母ターン２の周辺付近の欠陥を見落とすし、
又この検出区間が広い方に狂うとストライプパターン２
の区域外の無害の傷なトラストライプ欠陥と誤認するか
らである。 本発明は、レーザービームの走査方向を厳密にストライ
ｆ ２’と直角方向に規制するため、レーデ光の走査Ｓ
Ｘ／上に１個の方向検出用受光器、走査線Ｘ′と正、
負の角度をなす方向に各１個の方向検出用受光器、上記
計３個の方向検出用受光器を設けるとともに、ストライ
プパタンの走査方向に関ｌ−て／４’タンの両側に各１
個の８２．７幅検出用受光器を設け、かつ、ストライプ
欠陥によって生じる散乱′ｙｆＳ検出用の受光レンズ及
び光電変換器よりなる受光系を、受像面に垂直な方向よ
シもストライプの方向に傾けて設けることを特徴とする
。 次に本発明の一実施例を第１２図乃至第１４図について
説明する。 第１２図に示すごとく、走査線Ｘ′の延長線上に方向検
出用の受光器Ａ１９−１を設ける。そして上記の走査、
ｉｉ ｘ／よりも図示上方、下方に６角θの方向にそれ
ぞれ方向検出用の受光器Ａ２９−２および同Ａａ９−ａ
ｔ”設ける。図示のＱは走査線上の１点である。 そして第１３図に示すように、ストライプパタン２の走
査方向に関して両側にそれぞれバタン幅検出用の受光器
Ａ９、及び同受光器Ｂｌ（ｌ設ける。 ただし、本実施例においては上記の受光器Ａ９を前述の
方向検出用受光器Ａ、ｋｌで兼用する。 第１４図は本実施例を模式的に示した立面図である。本
例において面板１は透明なガラス素材によって構成され
たものＴあシ、レーザービーム４を振動ミラー１３で反
射させて角度掃引し、走査レンズ１４で面板１上に集光
させて走査するように構成する。 内示
ライプ状のパタンに含まれている欠陥を自動的に検出す
る光学式のパタン欠陥検出装置に関するものである。 カラー撮像管の受像面は、通常、第１図に示すように面
板（一般にガラス板）１の上にストライプ状のネサ膜の
ノ母りｙ２がエツチングによって刻みつけられている。 第２図はその断面拡大図であシ、上記のストライプパタ
ン２はカラー３色に対応するＲ、Ｂ、Ｇの各ストライｆ
２’によって構成されている。これらの各ストライプ
の間に第３図に示すような短絡３−８があったり、又は
、いずれかのストライプに第４図に示すような断線３−
２があったシすると画像信号が損われるので、撮像管の
製造に際してストライプ２′の検査は不可欠とされてい
る。 従来、一般に上記のストライプツクタンの検査は専ら顕
微鏡？用いて目視で行われ、多大の時間と労力とを費し
２ていた。 現在、電子技術においてはＩＣ用ウつ八へどを対象とし
て光電的手段による自動検査装置が実用化されているが
、これらは未だバタン全形成されていない素材面の検査
が可能なものであって、ツヤタンを形成された面板の検
査は一般的には困難である。 その理由は、バタン全形成された面板上に検査用の光束
を投射するとパタンによって光が散乱されるので、特別
な場合を除いて欠陥による散乱光と正常なツヤタンによ
る散乱光とを区別できないからである。 本発明は上記の事情に鑑みて為され、撮像管の受像面な
どに形成されているストライプパタンの欠陥を自動的に
検出し得る検査装置を提供することを目的とするもので
ある。 次に、正常なストライプパタンにおける光の散乱、およ
び欠陥部における光の散乱の状態を説明すると共に、上
記両者の散乱状態の相異を利用して欠陥を検出する原理
を略述する。 第５図はストライプ２′の一部を拡大して描き、その上
方からレーザビーム４を照射したとぎ、上記ストライｆ
２’のエツジ２″における散乱の状態を示した概要的な
斜視図であり、４′はレーザ光のスポット、５は散乱光
を表わしている。説明の便宜上、図示のようにストライ
プ２′に平行な方向をＹ方向と定め、これに直角で受像
面に平行な方向をＸ方向と足める。 第６図はＹ軸に垂直な面による断面図に散乱光の指向特
性曲線を付記した図である。散乱光に山と谷とが表われ
ているのは散乱光自身の干渉によるものである。 第７図はＸ軸に垂直な断面における散乱光の指向特性曲
線を示す。第６図に比して真上方向に鋭く集中している
ことがわかる。即ち、散乱光のエネルギーはＹ軸に垂直
な面（第７図のイー４１面）に集中している。 以上の特性から容易に理解されるように、第８図のとと
（短絡欠陥、ａ−１が有る場合、及び第９図のように断
線欠陥３−′！が有る場合には、垂直上方からレーザビ
ーム４を欠陥部に投射すると、正常なストライプからは
発生しない方向、すなわちＹ軸に垂直な面外の方向に散
乱光６，６′が発生する。 この現象は９明者らが実験的にも確認している。 なお、以上は反射方向の散乱について述べたが面板１が
透明体の場合は透過方向の散乱についても同様の現象が
確認されている。 上記の現象を利用してストライプの欠陥を検出するには
第８図、第９図の欠陥による散乱光６゜６′ヲ表わした
矢印の延長線上に受光器全般けることにより理論的には
可能であるが、実用上次記のような技術的問題がある。 Ｌ 第１０図（Ａｌは前述の原理を利用してストライプ
欠陥全検出する方法を模式的に示したもので、ストライ
プパタン２の面上のハ、二の２点に欠顛がある場合、ス
トライｆ／４′ターン２を構成している各ストライプ２
′に直角な方向、即ちＸ軸方向にレーザー光のスデツ）
？走査し、その散乱光全斜方向から受光レンズ７で集光
して光電変換器８の受光面に結像させる。ただし、上記
の斜方向とは、ストライブ／４’ターン２を設けた面板
の、走査線上に立てた垂線よりもストライｆ２’に近づ
（方向に傾いた線に沿ってとの意である。なおこのよう
に斜方向に受光方向を定める理由は、投光されたレーザ
ビームが直接受光器に入らないようにするためである。 第１０図（Ｂｌに光電変換器８の出力カーブを示す。 横軸は時間軸である。走査スポットが欠陥ハ、二を通過
する際、光電変換器８はピーク出力し→、に）を発生す
るので欠陥の存在全検知し得る。 しかし、上述のようにして欠陥を検出するには走査方向
Ｘ′ヲ前述のＸ軸（ストライプに直交する軸）に正１−
＜合わさねばならない。もし第１１ ｆＡ１図に示すよ
うに角θだけ狂っていると、正常なストライプによる散
乱光の一部が検出されて第１１図Ｂに示すような光電変
換器出力が発生して欠陥の検出を妨げる。このため前述
の原理全利用したストライブ欠陥検出を実用化するには
、レーザービームの走査方向Ｘ′ヲストライプ２′と厳
密に直角方向ならしめるγこめの、簡便かつ高精度な手
段が必要となる。 ｂ、前述の原理による欠陥検出全実用化するためのもう
一つの技術的課題は、第１０図（、Ａ］のごとくレーザ
ービームのスポットをＸ軸に沿って走査する場合、その
検出開始点及び検出終了点であるホ。 への２点を正確に検知しなければならないことである。 上記の虚ホと虚へとの間の検出区間が狭い方に狂うとス
トライプ・母ターン２の周辺付近の欠陥を見落とすし、
又この検出区間が広い方に狂うとストライプパターン２
の区域外の無害の傷なトラストライプ欠陥と誤認するか
らである。 本発明は、レーザービームの走査方向を厳密にストライ
ｆ ２’と直角方向に規制するため、レーデ光の走査Ｓ
Ｘ／上に１個の方向検出用受光器、走査線Ｘ′と正、
負の角度をなす方向に各１個の方向検出用受光器、上記
計３個の方向検出用受光器を設けるとともに、ストライ
プパタンの走査方向に関ｌ−て／４’タンの両側に各１
個の８２．７幅検出用受光器を設け、かつ、ストライプ
欠陥によって生じる散乱′ｙｆＳ検出用の受光レンズ及
び光電変換器よりなる受光系を、受像面に垂直な方向よ
シもストライプの方向に傾けて設けることを特徴とする
。 次に本発明の一実施例を第１２図乃至第１４図について
説明する。 第１２図に示すごとく、走査線Ｘ′の延長線上に方向検
出用の受光器Ａ１９−１を設ける。そして上記の走査、
ｉｉ ｘ／よりも図示上方、下方に６角θの方向にそれ
ぞれ方向検出用の受光器Ａ２９−２および同Ａａ９−ａ
ｔ”設ける。図示のＱは走査線上の１点である。 そして第１３図に示すように、ストライプパタン２の走
査方向に関して両側にそれぞれバタン幅検出用の受光器
Ａ９、及び同受光器Ｂｌ（ｌ設ける。 ただし、本実施例においては上記の受光器Ａ９を前述の
方向検出用受光器Ａ、ｋｌで兼用する。 第１４図は本実施例を模式的に示した立面図である。本
例において面板１は透明なガラス素材によって構成され
たものＴあシ、レーザービーム４を振動ミラー１３で反
射させて角度掃引し、走査レンズ１４で面板１上に集光
させて走査するように構成する。 内示
【、ていないがストライプパターンは面板］σ）下
面に形成してあり、レーザー光は面板１を透過ｌ、てス
トライプパターンを照射し２、散乱を受ける。散乱光６
を検出するため、受光レンズ７と光電子増倍管１５とに
よって受光系２５ｔ−構成し、上記の受光系乙の光軸２
６ヲ面板】に垂直な方向よりもストライプ方向（本図に
おいて紙面に垂直な方向）に若干傾げて該受光系２５ヲ
面板１の下方に固定する。これにより面板１を透過した
レーデ光が直接受光系乙に入力することが防止される。 本図において１０は前述の受光器Ｂ、９は受光器Ａ、
、 Ａ２．ＡＳである。 第１５図は第１３因のとと（設けた）臂タン幅検出用受
光器Ｂ１０、及び受光器Ａ９に表われる受光信号を、横
軸に時間をとって示しである。 走査スポットがＸ方向に移動して走査開始点ホ會通過す
る時ｄ、 ｔホにおいて受光器ＢＩＯに受光信号ＣＢ）
が表われる。上記の受光信号ＣＢ）はストライブ／４’
タン２のピッチに従って儂動し、走査点がホ會遠ざかる
に従って減衰する。 ン幅検出用受光器Ａ９に振動する信号〔Ａ〕が表われ、
走査点が点へに接近するにつれて撮幅が増し、走査点が
点へを通過する時点ｔへて信号（Ａ）は消失する。上記
の信号ＣＢ） 、 （Ａ）を次のように処理して、走査
開始時点ｔオから走査終了時点１．までの間のダート信
号Ｇを発生させる。 第１６図に示すごとく受光信号〔Ａ〕およびＣＢ）’を
整形回路１】によシスレショルドレペル８ｆ越える信号
のみＡルス整形して次段のカウンタ１２によって計数す
る。上記のカウンタ１２に予め数ｎ’を記憶させておき
、パルス数がＵに達したときノ４’ルスを出力させる。 これにより、ツクタン幅検出用受光器Ｂ １０は第１５
図に示すｔフ時点で・やルスＰオを、同受光器Ａ９は１
．時点でｉＪ？ルスｐ、？、それぞれ発生１５する。 走査速度は一定であるから、第２回目以後の走査におい
てはｔＪ時点Ａ？ルス信号Ｐオを用い公知技術によって
ｔ７時点でダート信号Ｇｔ−スタートさせること、及び
ｔ、時点でダート信号Ｇ’ｔ−ストップ（第１２図参照
）ストライプパタン２を形成された面板金、水平面内で
回動するステージ（図示せず）に載置する。上記のステ
ージを回動させると、３個の方向検出用受光器Ａ１９−
１．同Ａ２ ９−、、 ｌ 及びＡｌ ’ｌＬｇの出
力は上記の回動に伴ってそれぞれ変化する。上記のステ
ージ（図示せず）の回動角と、３種類の受光信号（Ａ、
） 、（Ａｔ） 、（Ａｓ）との関係ヲ第１７図に示す
。ストライプパターン２のストライプの方向が走査線Ｘ
′の直角方向に正しく揃ったとき（第１７図の横軸上の
Ｏの点）において〔Ａ、〕が最大になり（Ａｓ） 、（
Ａｓ）は零若しくは微小になるのでこの信号（Ａｌ）
、（Ａｔ） 、（＾〕を処理してストライプパタン２の
方向が走査線Ｘ′と直交するように前記のステージを回
転制御することは公知の技術を用いて容易に可能である
。 上述のように構成した本発明に、係るノ母タン欠陥検食
装置を用いてストライプパタンの検査を行なうブロック
図の一例を第１８図に示す。 受光器Ａ１９−ｔ ＋ Ａｉ ９−ｔ 、 Ａ８ ９
−８の出力信号を角度信号回路１６に入力し、これらの
出力信号により正又は負の角度信号を作成する。詳Ｉ、
７＜は、３個の信号を比較してストライプツヤタンの角
度の狂いを検出し、狂い方向を表わす正又は負の角度信
号を作成してマイクロコンピュータ１７に入力させる。 マイクロコンピュータ１７は上記の角度信号を回転制卸
信号に変換してドライバ１８を介１−てモータ１９に指
令し、面板全載置したステージ金回転させてストライプ
ツヤタンの方向を走査線の方向と直交させるように自動
調整が行われる。 受光器Ａｌ ９−１の出力信号と受光器ＢＩＯの出力
信号とをそれぞれ整形回路１１ 、 ｌｌ’ｉ介してカ
ウンタ１２ 、１２’に入力させ、第１５図、第１６図
について説明したようにしてマイクロコンピュータ１７
においてダート信号を作成し、次に述べる欠陥検出信号
の処理に用いる。 以上のように準備した後、予め定めたプログラムニ従っ
てマイクロコンピュータ１７が制御回路加を介してドラ
イバ２１ 、２２に指令を与え、レーザ投射光のＸ方向
、Ｙ方向の走査を行わせる。 上記のようにして走査されたレーザ投射光のスポットが
、ストライプノやターンの欠陥個所を通過すると光電子
増倍管１５に散乱光が入射する。上記光電子増倍管１５
の検出信号をプリアンプ２３を経て信号処理部勢に入力
させる。 上記の信号処理部２４は、公知技術を用いて欠陥信号の
波高値による欠陥程度の概略区分などの前処理を施した
後マイクロコンピュータ１７に入力させる。これによね
、マイクロコンピュータ１７はストライプパターンを構
成１．ているストライプの欠陥を検出することができる
。 以上説明したように、本発明は、ストライプの方向と直
角方向にレーザ光を走査する手段を設け、走査方向に関
して前記／４’タンの一方の側に、上記の走査線の延長
線上に１個の方向検出用受光器を設けるとともに、上記
の延長線を挟んで対向する位置に２個の方向検出用受光
器全般け、かつ、上記の走査方向に関してパタンの両側
に各１個のノ９タン幅検出用受光器を設け、上記と別体
にストライプの欠陥によって生じるレーザ光の散乱光検
出用受光レンズ及び光電変換器よりなる受光系を設げて
、上記の受光系の光軸を前記の／ＩＰタン面に垂直な方
向よりもストライプの方向に近づけるように傾けること
によシ、ストライプパタンの欠陥を自動的に検出するこ
とができる。
面に形成してあり、レーザー光は面板１を透過ｌ、てス
トライプパターンを照射し２、散乱を受ける。散乱光６
を検出するため、受光レンズ７と光電子増倍管１５とに
よって受光系２５ｔ−構成し、上記の受光系乙の光軸２
６ヲ面板】に垂直な方向よりもストライプ方向（本図に
おいて紙面に垂直な方向）に若干傾げて該受光系２５ヲ
面板１の下方に固定する。これにより面板１を透過した
レーデ光が直接受光系乙に入力することが防止される。 本図において１０は前述の受光器Ｂ、９は受光器Ａ、
、 Ａ２．ＡＳである。 第１５図は第１３因のとと（設けた）臂タン幅検出用受
光器Ｂ１０、及び受光器Ａ９に表われる受光信号を、横
軸に時間をとって示しである。 走査スポットがＸ方向に移動して走査開始点ホ會通過す
る時ｄ、 ｔホにおいて受光器ＢＩＯに受光信号ＣＢ）
が表われる。上記の受光信号ＣＢ）はストライブ／４’
タン２のピッチに従って儂動し、走査点がホ會遠ざかる
に従って減衰する。 ン幅検出用受光器Ａ９に振動する信号〔Ａ〕が表われ、
走査点が点へに接近するにつれて撮幅が増し、走査点が
点へを通過する時点ｔへて信号（Ａ）は消失する。上記
の信号ＣＢ） 、 （Ａ）を次のように処理して、走査
開始時点ｔオから走査終了時点１．までの間のダート信
号Ｇを発生させる。 第１６図に示すごとく受光信号〔Ａ〕およびＣＢ）’を
整形回路１】によシスレショルドレペル８ｆ越える信号
のみＡルス整形して次段のカウンタ１２によって計数す
る。上記のカウンタ１２に予め数ｎ’を記憶させておき
、パルス数がＵに達したときノ４’ルスを出力させる。 これにより、ツクタン幅検出用受光器Ｂ １０は第１５
図に示すｔフ時点で・やルスＰオを、同受光器Ａ９は１
．時点でｉＪ？ルスｐ、？、それぞれ発生１５する。 走査速度は一定であるから、第２回目以後の走査におい
てはｔＪ時点Ａ？ルス信号Ｐオを用い公知技術によって
ｔ７時点でダート信号Ｇｔ−スタートさせること、及び
ｔ、時点でダート信号Ｇ’ｔ−ストップ（第１２図参照
）ストライプパタン２を形成された面板金、水平面内で
回動するステージ（図示せず）に載置する。上記のステ
ージを回動させると、３個の方向検出用受光器Ａ１９−
１．同Ａ２ ９−、、 ｌ 及びＡｌ ’ｌＬｇの出
力は上記の回動に伴ってそれぞれ変化する。上記のステ
ージ（図示せず）の回動角と、３種類の受光信号（Ａ、
） 、（Ａｔ） 、（Ａｓ）との関係ヲ第１７図に示す
。ストライプパターン２のストライプの方向が走査線Ｘ
′の直角方向に正しく揃ったとき（第１７図の横軸上の
Ｏの点）において〔Ａ、〕が最大になり（Ａｓ） 、（
Ａｓ）は零若しくは微小になるのでこの信号（Ａｌ）
、（Ａｔ） 、（＾〕を処理してストライプパタン２の
方向が走査線Ｘ′と直交するように前記のステージを回
転制御することは公知の技術を用いて容易に可能である
。 上述のように構成した本発明に、係るノ母タン欠陥検食
装置を用いてストライプパタンの検査を行なうブロック
図の一例を第１８図に示す。 受光器Ａ１９−ｔ ＋ Ａｉ ９−ｔ 、 Ａ８ ９
−８の出力信号を角度信号回路１６に入力し、これらの
出力信号により正又は負の角度信号を作成する。詳Ｉ、
７＜は、３個の信号を比較してストライプツヤタンの角
度の狂いを検出し、狂い方向を表わす正又は負の角度信
号を作成してマイクロコンピュータ１７に入力させる。 マイクロコンピュータ１７は上記の角度信号を回転制卸
信号に変換してドライバ１８を介１−てモータ１９に指
令し、面板全載置したステージ金回転させてストライプ
ツヤタンの方向を走査線の方向と直交させるように自動
調整が行われる。 受光器Ａｌ ９−１の出力信号と受光器ＢＩＯの出力
信号とをそれぞれ整形回路１１ 、 ｌｌ’ｉ介してカ
ウンタ１２ 、１２’に入力させ、第１５図、第１６図
について説明したようにしてマイクロコンピュータ１７
においてダート信号を作成し、次に述べる欠陥検出信号
の処理に用いる。 以上のように準備した後、予め定めたプログラムニ従っ
てマイクロコンピュータ１７が制御回路加を介してドラ
イバ２１ 、２２に指令を与え、レーザ投射光のＸ方向
、Ｙ方向の走査を行わせる。 上記のようにして走査されたレーザ投射光のスポットが
、ストライプノやターンの欠陥個所を通過すると光電子
増倍管１５に散乱光が入射する。上記光電子増倍管１５
の検出信号をプリアンプ２３を経て信号処理部勢に入力
させる。 上記の信号処理部２４は、公知技術を用いて欠陥信号の
波高値による欠陥程度の概略区分などの前処理を施した
後マイクロコンピュータ１７に入力させる。これによね
、マイクロコンピュータ１７はストライプパターンを構
成１．ているストライプの欠陥を検出することができる
。 以上説明したように、本発明は、ストライプの方向と直
角方向にレーザ光を走査する手段を設け、走査方向に関
して前記／４’タンの一方の側に、上記の走査線の延長
線上に１個の方向検出用受光器を設けるとともに、上記
の延長線を挟んで対向する位置に２個の方向検出用受光
器全般け、かつ、上記の走査方向に関してパタンの両側
に各１個のノ９タン幅検出用受光器を設け、上記と別体
にストライプの欠陥によって生じるレーザ光の散乱光検
出用受光レンズ及び光電変換器よりなる受光系を設げて
、上記の受光系の光軸を前記の／ＩＰタン面に垂直な方
向よりもストライプの方向に近づけるように傾けること
によシ、ストライプパタンの欠陥を自動的に検出するこ
とができる。
第１図はストライプツヤタンの平面図、第２図は上記ス
トライプパタンの断面拡大図、第３図はストライプの短
絡欠陥の拡大平面図、第４図はストライプの断線欠陥の
拡大平面図、第５図はストライプによるレーザ光の散乱
状態を描いた斜視図、第６図及び第７図は正常なストラ
イプの散乱特性を示す図表、第８図はストライプの短絡
欠陥における散乱状態を示す斜視図、第９図はストライ
プの断線欠陥における散乱状態を示す斜視図、第１０図
（Ａｌは散乱光の検出用部材の配置を示す模式図、第１
０図（Ｂｌは第１０図徨）における検出波形の一例を示
す図表、第１１図（Ａｌはストライプノ’Ｌ？タンの方
向が狂っている状態を示す模式図、第１１図（Ｂｌは上
記の状態における検出波形の一例を示す図表、第１２図
は本発明の一実施例における方向検出用受光器の配置説
明図、第１３図は同じくノぞタン幅検出用受光器の配置
説明図、第１４図は本発明の一実施例における構成部材
の配置を模式的に示した立面図、第１５図は本発明の一
実施例におけるｉ４タン幅検出用受元器の出力波形の一
例を示す図表、第１６図は上記の出力波の処理の説明図
、ｗｃ１７図は本発明の一実施例におけるパタン幅検出
用受光器の出力波形の一例を示す図表、第１８図は本発
明の一実施例における作動ブロック図である。 １・・・面板、２・・・ストライプノぐタン、２′・・
・ストライプ、２“・・・ストライプエツジ、３−１・
・・ストライプの難路欠陥、３−２・・・ストライプの
断線欠陥、４・・・レーザービーム、４′・・・スポラ
）、５．６・・・散乱光、７・・・受光レンズ、８・・
・光電変換器、９−１・・・受光器Ａｌ５９−２ ・・
・受光器Ａ２．９−Ｉ＋・・・受光器編、１０・・・受
ｆ６Ｂ、１１・・・整形回路、１２・・・カウンタ、１
３・・・振動□ ミラー、１４・・・走査レンズ、１５・・・光電子増倍
管、δ・・・受光系、あ・・・同元軸。 特許出願人 日立電子エンジニアリング株式会社代理
人弁理士 秋 本 正 実 部１１１ 第２図 第３図第４図 第８図、 第９Ｆ！！Ａ Ｔへ Ｔへ
トライプパタンの断面拡大図、第３図はストライプの短
絡欠陥の拡大平面図、第４図はストライプの断線欠陥の
拡大平面図、第５図はストライプによるレーザ光の散乱
状態を描いた斜視図、第６図及び第７図は正常なストラ
イプの散乱特性を示す図表、第８図はストライプの短絡
欠陥における散乱状態を示す斜視図、第９図はストライ
プの断線欠陥における散乱状態を示す斜視図、第１０図
（Ａｌは散乱光の検出用部材の配置を示す模式図、第１
０図（Ｂｌは第１０図徨）における検出波形の一例を示
す図表、第１１図（Ａｌはストライプノ’Ｌ？タンの方
向が狂っている状態を示す模式図、第１１図（Ｂｌは上
記の状態における検出波形の一例を示す図表、第１２図
は本発明の一実施例における方向検出用受光器の配置説
明図、第１３図は同じくノぞタン幅検出用受光器の配置
説明図、第１４図は本発明の一実施例における構成部材
の配置を模式的に示した立面図、第１５図は本発明の一
実施例におけるｉ４タン幅検出用受元器の出力波形の一
例を示す図表、第１６図は上記の出力波の処理の説明図
、ｗｃ１７図は本発明の一実施例におけるパタン幅検出
用受光器の出力波形の一例を示す図表、第１８図は本発
明の一実施例における作動ブロック図である。 １・・・面板、２・・・ストライプノぐタン、２′・・
・ストライプ、２“・・・ストライプエツジ、３−１・
・・ストライプの難路欠陥、３−２・・・ストライプの
断線欠陥、４・・・レーザービーム、４′・・・スポラ
）、５．６・・・散乱光、７・・・受光レンズ、８・・
・光電変換器、９−１・・・受光器Ａｌ５９−２ ・・
・受光器Ａ２．９−Ｉ＋・・・受光器編、１０・・・受
ｆ６Ｂ、１１・・・整形回路、１２・・・カウンタ、１
３・・・振動□ ミラー、１４・・・走査レンズ、１５・・・光電子増倍
管、δ・・・受光系、あ・・・同元軸。 特許出願人 日立電子エンジニアリング株式会社代理
人弁理士 秋 本 正 実 部１１１ 第２図 第３図第４図 第８図、 第９Ｆ！！Ａ Ｔへ Ｔへ
Claims (1)
- ストライプよ！ｌｌなるノやタンにレーザ光を照射して
該ストライプの欠陥を検出する検査装置であって、該ス
トライプの方向と直角方向にレーザ光を走査する手段を
設け、走査方向に関して前記ノＪ？タンの一方の側、か
つ上記の走査線の延長線上に１個の方向検出用受光器を
設けるとともに、上記の延長線を挟んで対向する位置に
２個の方向検出用受光器を設け、かつ、上記の走査方向
に関してパタンの両側に各１個のノ４タン幅検出用受光
器を設け、さらにストライプの欠陥によって生じるレー
ザー光の散乱光検出用受光レンズ及び光電変換器よりな
る受光系を設けて、上記の受光系の光軸を前記のパタン
の面に垂直な方向よりもストライプの方向に近づけるよ
うに傾けたことを特徴とするパタン欠陥検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57005396A JPS58123444A (ja) | 1982-01-19 | 1982-01-19 | パタン欠陥検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57005396A JPS58123444A (ja) | 1982-01-19 | 1982-01-19 | パタン欠陥検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58123444A true JPS58123444A (ja) | 1983-07-22 |
Family
ID=11609986
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57005396A Pending JPS58123444A (ja) | 1982-01-19 | 1982-01-19 | パタン欠陥検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58123444A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7088945B2 (en) | 2000-09-28 | 2006-08-08 | Ricoh Company, Ltd. | Toner supply unit and image forming apparatus |
| US7110704B2 (en) | 2001-01-31 | 2006-09-19 | Ricoh Company, Ltd. | Toner container and image forming apparatus using the same |
-
1982
- 1982-01-19 JP JP57005396A patent/JPS58123444A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7088945B2 (en) | 2000-09-28 | 2006-08-08 | Ricoh Company, Ltd. | Toner supply unit and image forming apparatus |
| US7110704B2 (en) | 2001-01-31 | 2006-09-19 | Ricoh Company, Ltd. | Toner container and image forming apparatus using the same |
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