JPS58128687A - セラミツク発熱体 - Google Patents
セラミツク発熱体Info
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- JPS58128687A JPS58128687A JP1123982A JP1123982A JPS58128687A JP S58128687 A JPS58128687 A JP S58128687A JP 1123982 A JP1123982 A JP 1123982A JP 1123982 A JP1123982 A JP 1123982A JP S58128687 A JPS58128687 A JP S58128687A
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- molybdenum silicide
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Landscapes
- Resistance Heating (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明社、耐酸化性にすぐれ、スポーリング特性および
高温強度も良好で、電気炉用発熱体やグロープラグ用発
熱体等として用い得る導電性のセラミック発熱体に関す
るものである。
高温強度も良好で、電気炉用発熱体やグロープラグ用発
熱体等として用い得る導電性のセラミック発熱体に関す
るものである。
従来より発熱体としては、金属の場合にはニッケルーク
ロム合金、鉄−クロム−アル之ニウム合金等の耐熱合金
が使用され、セラミックの場合には炭化珪素、珪化モリ
ブデン等が使用されている。
ロム合金、鉄−クロム−アル之ニウム合金等の耐熱合金
が使用され、セラミックの場合には炭化珪素、珪化モリ
ブデン等が使用されている。
しかしながら金属発熱体の場合KFi使用温度は100
0〜1100℃程度が限界であ抄、それ以上の高温では
酸化腐食、溶断などが生じて使用不可能である0炭化珪
素(StO)の場合は1600℃、珪化モリブデン(m
os5)の場合は1800°C程度まで使用可能なもの
の、炭化珪素は比抵抗が極めて高いので小型化に間融が
あり、珪化モリブデンは1300℃以上で軟化が始まり
、高温強度、ス+N−IJング特性の面で問題があり、
例えば自動車のグロープラグ等の要求仕様を満足するこ
とが゛できなかった。
0〜1100℃程度が限界であ抄、それ以上の高温では
酸化腐食、溶断などが生じて使用不可能である0炭化珪
素(StO)の場合は1600℃、珪化モリブデン(m
os5)の場合は1800°C程度まで使用可能なもの
の、炭化珪素は比抵抗が極めて高いので小型化に間融が
あり、珪化モリブデンは1300℃以上で軟化が始まり
、高温強度、ス+N−IJング特性の面で問題があり、
例えば自動車のグロープラグ等の要求仕様を満足するこ
とが゛できなかった。
本発明は珪化モリブデンの極めてすぐれた耐酸化性を利
用すると同時に高温で軟化する欠点を除去し、かつ熱膨
張係数を低下させスポーリング特性を改善したセラミッ
ク発熱体を提供することを目的とするものである。そし
てこの目的を達成するため本発明は耐酸化性にすぐれた
導電材である珪化モリブデンに11気絶縁材で熱W#膜
係数が小さく、すぐれた耐熱性高1材である窒化珪素(
515M< )を混合し焼結したセラミック発熱体を提
供する。更に具体的には本発明は、70重量96(以下
、単に%とする)以下の窒化珪素、也部珪化モリブデン
の混合物を焼結してなるセラミック発熱体を提供する。
用すると同時に高温で軟化する欠点を除去し、かつ熱膨
張係数を低下させスポーリング特性を改善したセラミッ
ク発熱体を提供することを目的とするものである。そし
てこの目的を達成するため本発明は耐酸化性にすぐれた
導電材である珪化モリブデンに11気絶縁材で熱W#膜
係数が小さく、すぐれた耐熱性高1材である窒化珪素(
515M< )を混合し焼結したセラミック発熱体を提
供する。更に具体的には本発明は、70重量96(以下
、単に%とする)以下の窒化珪素、也部珪化モリブデン
の混合物を焼結してなるセラミック発熱体を提供する。
史に本発明は上記の如く改善された特性を有するととも
に、常圧焼結可能なセラミック発熱体を提供することを
目的とし、7096以下の窒化珪素の他に、10%以下
の酸化アルミニウム< ht*os )、#化アルミニ
ウムと酸化マグネシウム(Mg0)の混合物、酸化アル
ミニウムと酸化マグネシウムのスピネル(Mg*t s
o 4 )の少くともIIIIllを含み、残部珪化モ
リブデンの混合物を焼結してなるセラミック発熱体を提
供する。
に、常圧焼結可能なセラミック発熱体を提供することを
目的とし、7096以下の窒化珪素の他に、10%以下
の酸化アルミニウム< ht*os )、#化アルミニ
ウムと酸化マグネシウム(Mg0)の混合物、酸化アル
ミニウムと酸化マグネシウムのスピネル(Mg*t s
o 4 )の少くともIIIIllを含み、残部珪化モ
リブデンの混合物を焼結してなるセラミック発熱体を提
供する。
以下、本発明の詳細を実験例に基いて説明する。
第1表に示す各檀高温材料tl−1000℃、15時間
の条件で電気炉中で学化テストを行なった。
の条件で電気炉中で学化テストを行なった。
各材料の重量変化率およびテスト前の初期比抵抗を同表
に示す。試料としては材料粉末をホットプレスにより理
論密度90優以上の密度に焼結させたものを各々同一形
状に切出した試料を用い、重量変化率はテスト終了後に
試料をアセトンで洗浄し171置変化を測定して求めた
。なおNi−0r材料は市販品を用いた。
に示す。試料としては材料粉末をホットプレスにより理
論密度90優以上の密度に焼結させたものを各々同一形
状に切出した試料を用い、重量変化率はテスト終了後に
試料をアセトンで洗浄し171置変化を測定して求めた
。なおNi−0r材料は市販品を用いた。
第1表より、S10とMo51gは耐酸化性が極めて良
好であり、他の材料は可成り酸化されることがわかる。
好であり、他の材料は可成り酸化されることがわかる。
しかしながらSiOは初期比抵抗が非常に高く、これを
用いて発熱体を形成すると大型化するので実用性に劣る
。なお表中、MoB1の重量変化率がiイナスであるの
け、アセトン洗浄中に酸化部分が剥離したことによるも
のと認められる。
用いて発熱体を形成すると大型化するので実用性に劣る
。なお表中、MoB1の重量変化率がiイナスであるの
け、アセトン洗浄中に酸化部分が剥離したことによるも
のと認められる。
第2表にMo1l、 とSi、N4の粉末を&女の割
合で混合し、ホットプレスにより焼結した焼結晶の物性
値を示す。重量変化率は第1表の場合と同様、空気中1
000’C,15時間の条件で酸化テストをした際の重
量変化率であり、抗折強度は1300℃での3点曲げ試
験で試料が破壊もしくは変形したときの荷重を示す。抗
折強度試験は40X3X4鵠に切出した試料をクロスヘ
ッド速度α5■/m i nにして行なった。
合で混合し、ホットプレスにより焼結した焼結晶の物性
値を示す。重量変化率は第1表の場合と同様、空気中1
000’C,15時間の条件で酸化テストをした際の重
量変化率であり、抗折強度は1300℃での3点曲げ試
験で試料が破壊もしくは変形したときの荷重を示す。抗
折強度試験は40X3X4鵠に切出した試料をクロスヘ
ッド速度α5■/m i nにして行なった。
熱膨張係数は室温〜800’Cの平均熱膨張係数である
。試料は圧力1501I910ISQ度1500〜17
oO°Cのホットプレスによね焼結し焼結−度(嵩密麿
/理論密度)90%以上としたものを用いた。
。試料は圧力1501I910ISQ度1500〜17
oO°Cのホットプレスによね焼結し焼結−度(嵩密麿
/理論密度)90%以上としたものを用いた。
第2表に示されるように、酸化による重量変化はいずれ
の試料もMo5txjl独の場合と同様81 、M 、
の混入によってもほとんどないことがわかる。比抵抗は
、811N、単独(Mo81i=O)では完全に絶縁体
であるが、Mo5itの混入により急激に減少し、Mo
81g 30%以上で実用し得る程度まで減少する。高
温抗折強度は81゜M4の混入割合が増加するにつれて
急速に増大し、熱膨張係数は81.M4の混入割合が増
加するKつれて減少し81.N、自体のそれに近づく。
の試料もMo5txjl独の場合と同様81 、M 、
の混入によってもほとんどないことがわかる。比抵抗は
、811N、単独(Mo81i=O)では完全に絶縁体
であるが、Mo5itの混入により急激に減少し、Mo
81g 30%以上で実用し得る程度まで減少する。高
温抗折強度は81゜M4の混入割合が増加するにつれて
急速に増大し、熱膨張係数は81.M4の混入割合が増
加するKつれて減少し81.N、自体のそれに近づく。
このように、Mo81mと81.N4の混合物の焼結体
は、Mo81m単独のものに比し、比抵抗は増加するも
のの実用可能な比抵抗を示すSt。
は、Mo81m単独のものに比し、比抵抗は増加するも
のの実用可能な比抵抗を示すSt。
N、の添加幅は広く、また81.N、の混入により高1
強度が増加し、熱膨張係数も減少してスホ゛−リング特
性も向上するというすぐれた効果を発揮する。混合物に
おけるSi、N、量は70優以下とすべきで、70%を
こえると比抵抗の増大により実用上間層がある。また、
81sN4添加量はたとえ微少でもMo 81m単独よ
りも抗折強度を上げ熱膨張係数を低下せしめてスホ゛−
リング特性を向上せしめるが、これ等の特性を顕著に改
善するにFilo%以上の添加が望ましい。
強度が増加し、熱膨張係数も減少してスホ゛−リング特
性も向上するというすぐれた効果を発揮する。混合物に
おけるSi、N、量は70優以下とすべきで、70%を
こえると比抵抗の増大により実用上間層がある。また、
81sN4添加量はたとえ微少でもMo 81m単独よ
りも抗折強度を上げ熱膨張係数を低下せしめてスホ゛−
リング特性を向上せしめるが、これ等の特性を顕著に改
善するにFilo%以上の添加が望ましい。
次に、上記のようにMo81Bとsl、 M4の混合物
の焼結体はすぐれた特性を示すが、その焼結はホットプ
レスあるいはホットアイソスタティックプレス等の加圧
焼成によらなければ焼成できない。因みに発明者らの実
験では、上記混合物を常圧により焼成した場合、焼結度
はせいぜい70%であった。そこで発明者らは更に実験
研究を行なった結果、上記混合物に更にkl。
の焼結体はすぐれた特性を示すが、その焼結はホットプ
レスあるいはホットアイソスタティックプレス等の加圧
焼成によらなければ焼成できない。因みに発明者らの実
験では、上記混合物を常圧により焼成した場合、焼結度
はせいぜい70%であった。そこで発明者らは更に実験
研究を行なった結果、上記混合物に更にkl。
0” SA l @ OsとMgOの混合物、’IKA
l、O,の少くとも1椙を加えた混合物は常圧焼成でも
高い焼結度が得られることを確認した。
l、O,の少くとも1椙を加えた混合物は常圧焼成でも
高い焼結度が得られることを確認した。
図は実験結果を示すものである。1〜dは常圧焼結で、
・〜hはホットプレスであって、混合物組成はaおよび
・がともに50%Mo55 +50%Si、N、、bお
よびfが45 優uos1=+50 * Si3N4+
5 * AjlOn、0およびgが45%Mo51g
+5 0% Si3N4+ 54(MgO+人l。
・〜hはホットプレスであって、混合物組成はaおよび
・がともに50%Mo55 +50%Si、N、、bお
よびfが45 優uos1=+50 * Si3N4+
5 * AjlOn、0およびgが45%Mo51g
+5 0% Si3N4+ 54(MgO+人l。
0、)、dおよびhが45 %MO3il+5(lf8
1゜N4+5倦MgA!、04である。常圧焼成条件は
N。
1゜N4+5倦MgA!、04である。常圧焼成条件は
N。
中1気圧で1600℃、2時間とし、ホットプレスの条
件は150に9/clll加圧1.1600℃、1時間
とした。
件は150に9/clll加圧1.1600℃、1時間
とした。
&−%−dより知られるように常圧焼結の場合、上記ア
ルミナ系添加物を加えたものはMo5ilと5ilN4
のみのものに比べ極めて良好な焼結度を示す。また、ホ
ットプレスの場合で4上E添加物を加え゛たものは焼結
度が向トする。第3表はMgAl*Om k加えた場合
の酸化による重量変化率と抗折強度を示す。
ルミナ系添加物を加えたものはMo5ilと5ilN4
のみのものに比べ極めて良好な焼結度を示す。また、ホ
ットプレスの場合で4上E添加物を加え゛たものは焼結
度が向トする。第3表はMgAl*Om k加えた場合
の酸化による重量変化率と抗折強度を示す。
第 3 表
第2表の場合と同様、良好な結果が得られた。
なお、上記アルミナ系添加物の添加量は1096以下で
よく、それをこえると却って高温強度等の特性が低下す
る。アルミナ系添加物の添加量はたとえ微少でもそれな
りの焼結性向りを示すが、3優以上添加することが望ま
しい。
よく、それをこえると却って高温強度等の特性が低下す
る。アルミナ系添加物の添加量はたとえ微少でもそれな
りの焼結性向りを示すが、3優以上添加することが望ま
しい。
以上説明したように、本発明の発熱体は珪化モリブデン
に所定割合の窒化珪素を混合し1これを焼結してなる焼
結体であって、耐酸化性にすぐれ、高1強度も良好であ
り、熱膨張係数も小さくスポーリング特性も良好である
。また、珪化モリブデンおよび窒化珪素に、更に酸化ア
ルミニウム、酸化アルミニウムと酸化マグネシウムの混
合物、およびこれ等のスピネルの少くとも1楠を所定割
合で添加しこれを焼結してなるセラミック発熱体は焼結
性にすぐれ、たとえ常圧焼結による場合でも極めて高い
焼結度を示詐 す。常圧焼結では褒雑形状の製品も賑佐可能であり、か
つ低コストとなる。
に所定割合の窒化珪素を混合し1これを焼結してなる焼
結体であって、耐酸化性にすぐれ、高1強度も良好であ
り、熱膨張係数も小さくスポーリング特性も良好である
。また、珪化モリブデンおよび窒化珪素に、更に酸化ア
ルミニウム、酸化アルミニウムと酸化マグネシウムの混
合物、およびこれ等のスピネルの少くとも1楠を所定割
合で添加しこれを焼結してなるセラミック発熱体は焼結
性にすぐれ、たとえ常圧焼結による場合でも極めて高い
焼結度を示詐 す。常圧焼結では褒雑形状の製品も賑佐可能であり、か
つ低コストとなる。
図は本発明品および比較品の常圧焼結およびホントプレ
スによる焼結度を示す図である。 \;じ/
スによる焼結度を示す図である。 \;じ/
Claims (1)
- (1)70重量%以下の窒化珪素、残部珪化モリブデン
の混合物を焼結してなる導電性セラミック発熱体 (z)qoyitt*%以下の窒化珪素、10重量%以
下の酸化アル文ニウム、酸化アルミニウムと酸化マグネ
シウムの混合物、酸化アル文ニウムと酸化マグネシウム
のスピネルの少くとも一榔、残部珪化モリブデンの混合
物を焼結してなる導電性セラミック発熱体。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1123982A JPS58128687A (ja) | 1982-01-27 | 1982-01-27 | セラミツク発熱体 |
| US06/460,651 US4486651A (en) | 1982-01-27 | 1983-01-24 | Ceramic heater |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1123982A JPS58128687A (ja) | 1982-01-27 | 1982-01-27 | セラミツク発熱体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58128687A true JPS58128687A (ja) | 1983-08-01 |
Family
ID=11772376
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1123982A Pending JPS58128687A (ja) | 1982-01-27 | 1982-01-27 | セラミツク発熱体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58128687A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59219887A (ja) * | 1983-05-27 | 1984-12-11 | 株式会社デンソー | セラミツクヒ−タ |
| JPS6086787A (ja) * | 1983-10-17 | 1985-05-16 | 株式会社デンソー | セラミツクヒ−タ |
| JPS60216484A (ja) * | 1984-04-09 | 1985-10-29 | 株式会社日本自動車部品総合研究所 | セラミツクヒ−タ |
| JPS61210998A (ja) * | 1985-03-15 | 1986-09-19 | 日本碍子株式会社 | 廃棄物の連続溶融装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB902381A (en) * | 1958-04-29 | 1962-08-01 | Union Carbide Corp | Improvements in and relating to refractory articles |
| JPS5864268A (ja) * | 1981-10-12 | 1983-04-16 | 住友電気工業株式会社 | 窒化けい素焼結体およびその製造方法 |
-
1982
- 1982-01-27 JP JP1123982A patent/JPS58128687A/ja active Pending
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