JPS5812875U - Ｌｓｉ試験用プロ−ブ・カ−ド - Google Patents

Ｌｓｉ試験用プロ−ブ・カ−ド

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Publication number
JPS5812875U
JPS5812875U JP10492381U JP10492381U JPS5812875U JP S5812875 U JPS5812875 U JP S5812875U JP 10492381 U JP10492381 U JP 10492381U JP 10492381 U JP10492381 U JP 10492381U JP S5812875 U JPS5812875 U JP S5812875U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
probe card
test probe
lsi test
metal needle
hole
Prior art date
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Pending
Application number
JP10492381U
Other languages
English (en)
Inventor
堀田　正樹
元介 三好
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP10492381U priority Critical patent/JPS5812875U/ja
Publication of JPS5812875U publication Critical patent/JPS5812875U/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図はプローブ・カードによりウェハの測定を行なう
状態を一部破断して示す斜視図、第２図は第１図のプロ
ーブ・カードを示す斜視図、第３図は従来の金属針を拡
大して示す断面図、第４図は本考案の一実施例によるプ
ローブ・カードの金属針を拡大して示す断面図である・
。 １・・・・・・絶縁物基板、２・・・・・・孔、３・・
・・・・プリント・配線、４・・・・・・金属針、５・
・・・・・プローブ・カード、６・・・・・・ウェハ、
７・・・・・・ＬＳＩ素子、８・・・・・・合成樹脂製
チューブ、９・・・・・・銅管、１０・・・・・・導電
性ペースト。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 位置合わせ用の孔を開口した絶縁物基板の表面に、先端
    が前記孔の周縁に集束するようにプリント配線を形成し
    、このプリント配線の先端に夫々金属針を接続したＬＳ
    Ｉ試験用プローブ・カードにおいそ、前記金属針に合成
    樹脂製チューブを被せ、更にその外周に導電性ペースト
    を塗布したことを特徴とするＬＳＩ試験用プローブ・カ
    ード。
JP10492381U 1981-07-15 1981-07-15 Ｌｓｉ試験用プロ−ブ・カ−ド Pending JPS5812875U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10492381U JPS5812875U (ja) 1981-07-15 1981-07-15 Ｌｓｉ試験用プロ−ブ・カ−ド

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10492381U JPS5812875U (ja) 1981-07-15 1981-07-15 Ｌｓｉ試験用プロ−ブ・カ−ド

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS5812875U true JPS5812875U (ja) 1983-01-27

Family

ID=29899481

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP10492381U Pending JPS5812875U (ja) 1981-07-15 1981-07-15 Ｌｓｉ試験用プロ−ブ・カ−ド

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JP (1) JPS5812875U (ja)

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