JPS58129341A - ヘリウムリ−ク試験方法 - Google Patents
ヘリウムリ−ク試験方法Info
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- JPS58129341A JPS58129341A JP57011795A JP1179582A JPS58129341A JP S58129341 A JPS58129341 A JP S58129341A JP 57011795 A JP57011795 A JP 57011795A JP 1179582 A JP1179582 A JP 1179582A JP S58129341 A JPS58129341 A JP S58129341A
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- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 37
- 239000001307 helium Substances 0.000 title claims abstract description 36
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 36
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
- G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
- G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
- G01M3/20—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material
- G01M3/202—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material using mass spectrometer detection systems
Landscapes
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
零発＠は、真空加圧法によるヘリウムリーク試験方法に
関する４のである。更に詳しくは、本発明は、長い配管
の途中における微Ｍ部あるいは修理個所等の局部におけ
る漏れの有無を試験できるヘリウムリーク試験方法に閾
するものである。
関する４のである。更に詳しくは、本発明は、長い配管
の途中における微Ｍ部あるいは修理個所等の局部におけ
る漏れの有無を試験できるヘリウムリーク試験方法に閾
するものである。
纂１図〜組６図は、従来のヘリウムリーク試験方法を説
明するための＃ｌ１ｌｔ説明図である。第１−に示すも
のは、真空法と呼ばれている試験方法である。この方法
は、被試験体１を真空排気系配管２を介して真空排気装
置３及びヘリウムリークデテクタ４に結合させ、被試験
体１内部を真空にして外部から吹付管５によｐヘリウム
ガスを吹き付け、被試験体１０内部に漏れてくるヘリウ
ムガスを検出するものである。ここで、Ａは被試験体１
における漏れ個所を示し、こむから漏れ九ヘリウムガス
は矢印に示すようＫｌｌれて、ヘリウムリークデテクタ
４で検出される。このよう表刃法は、被試験体が、内径
数−以下で数冑以上の長い配管のような場合は、真空排
気が非常に困難であ〉、また加圧ガス下での漏れ量より
も常に低い値しか検出し得ないという欠点がある。
明するための＃ｌ１ｌｔ説明図である。第１−に示すも
のは、真空法と呼ばれている試験方法である。この方法
は、被試験体１を真空排気系配管２を介して真空排気装
置３及びヘリウムリークデテクタ４に結合させ、被試験
体１内部を真空にして外部から吹付管５によｐヘリウム
ガスを吹き付け、被試験体１０内部に漏れてくるヘリウ
ムガスを検出するものである。ここで、Ａは被試験体１
における漏れ個所を示し、こむから漏れ九ヘリウムガス
は矢印に示すようＫｌｌれて、ヘリウムリークデテクタ
４で検出される。このよう表刃法は、被試験体が、内径
数−以下で数冑以上の長い配管のような場合は、真空排
気が非常に困難であ〉、また加圧ガス下での漏れ量より
も常に低い値しか検出し得ないという欠点がある。
謳２図け、加圧法と呼ばれている試験方法である。この
方法は、被試験体１の内部に管路５を介してヘリウムガ
スを加圧し導入させ、被試験体１の外部にプローブ６を
轟てて、被試験体１から−れ出してくるヘリウムガスを
ヘリウムリークデテフタ４で検出する本のである。この
試験方法は、漏れ出てくるヘリウムガスをすべてプロー
ブ６で補えきれないため、正確な漏れ量を知ることがで
きないという欠点がある。
方法は、被試験体１の内部に管路５を介してヘリウムガ
スを加圧し導入させ、被試験体１の外部にプローブ６を
轟てて、被試験体１から−れ出してくるヘリウムガスを
ヘリウムリークデテフタ４で検出する本のである。この
試験方法は、漏れ出てくるヘリウムガスをすべてプロー
ブ６で補えきれないため、正確な漏れ量を知ることがで
きないという欠点がある。
第６図は、真空加圧法と呼ばれている試験方法である。
この方法は、被試験体１を真空容器７内に値葡し、被試
験体１内部に管ＷＩＩ５からヘリウムガスを加圧、導入
させ、真空容器Ｚ内に漏れ出てくるヘリウムガスをヘリ
ウムリークデテタタ４で検出するものである。この試験
方法は、被試験体１から漏れ出てくるヘリウムガスを確
実にすぺで捕捉できる点で、真空ｔｃあるいは加圧法よ
り正確な試験が行なえる。しかしながら、この方法は、
２つＯ装置が長い配管で結合されていて、その配管の途
中のＷｋＷｌｌＩＩＷＴＫおける漏れ個所を検出しよう
とする場合、巨大な真空容器を必要とし、現実的には不
可能である。
験体１内部に管ＷＩＩ５からヘリウムガスを加圧、導入
させ、真空容器Ｚ内に漏れ出てくるヘリウムガスをヘリ
ウムリークデテタタ４で検出するものである。この試験
方法は、被試験体１から漏れ出てくるヘリウムガスを確
実にすぺで捕捉できる点で、真空ｔｃあるいは加圧法よ
り正確な試験が行なえる。しかしながら、この方法は、
２つＯ装置が長い配管で結合されていて、その配管の途
中のＷｋＷｌｌＩＩＷＴＫおける漏れ個所を検出しよう
とする場合、巨大な真空容器を必要とし、現実的には不
可能である。
ここにおいて、本発明は、複数装置を結ぶ配管の途中に
ある飯欽郁の漏れ個所を検出する場合に有効な真９加圧
法によるヘリウムリーク試験方法を提供しようとするも
のである。
ある飯欽郁の漏れ個所を検出する場合に有効な真９加圧
法によるヘリウムリーク試験方法を提供しようとするも
のである。
本発明に係る試験方法は、試験しようとする配管路のＩ
［Ｉ絖部をＴ製管で覆うとともに、その両端を４＆罠よ
って密閉し、Ｔｆｆｉ管の中央管部を真空排気装置及び
ヘリウムリークデテクタに結合させ、試験しようとする
配管にヘリウムガスを加圧、導入させるようにし要点に
脣黴がある。
［Ｉ絖部をＴ製管で覆うとともに、その両端を４＆罠よ
って密閉し、Ｔｆｆｉ管の中央管部を真空排気装置及び
ヘリウムリークデテクタに結合させ、試験しようとする
配管にヘリウムガスを加圧、導入させるようにし要点に
脣黴がある。
第４図は、本発明に係る試験方法を説明する丸めのｖｓ
ｉｉｔＢ明図である。ζ０図において、１１゜１２は据
付前に個別にヘリウムリーク試験を完了した装置で、こ
れらはそれぞれ配管９１と９２とによって結合される。
ｉｉｔＢ明図である。ζ０図において、１１゜１２は据
付前に個別にヘリウムリーク試験を完了した装置で、こ
れらはそれぞれ配管９１と９２とによって結合される。
ここで、１は配管９１と９２とＯＩＩ絖個所であって、
こｏｌ［Ｉ続個所の漏れ０有鍼會試験する場合を想定し
ている。７は接続個所（被試験個所）１を柵うように設
置したＴＩｌ状の？、８１．８２はこ０ＴＩＮ管７０管
端０密閉丁ゐ栓である。’Ｉ’ｌｌ管７は、加工、除去
が容品な塩化ビニール又はこれに類する有機物質系材料
でＩｇ＃威されたものがｌＩｔしく、配管９１．９２を
接続する前に、あらかじめいずれかの配管に通してお倉
、図示する工うに設置される。また、栓８１．８２は、
耐熱性と穴あけ〃ロエ上、例えばシリコンゴムでＷＩ成
され、これらも配管９１．９２を接続する前に各配管に
通しておき、配管９１．９２を接続完了値に、図示する
ようにＴ型管７０両端に密閉される。ＴＩｉ管７の中央
管部７１は、真空排気系配管２會介して真空排気装置３
に結合されるとと４ Ｋ ％ヘリウムリークデテクタ４
に結合している。
こｏｌ［Ｉ続個所の漏れ０有鍼會試験する場合を想定し
ている。７は接続個所（被試験個所）１を柵うように設
置したＴＩｌ状の？、８１．８２はこ０ＴＩＮ管７０管
端０密閉丁ゐ栓である。’Ｉ’ｌｌ管７は、加工、除去
が容品な塩化ビニール又はこれに類する有機物質系材料
でＩｇ＃威されたものがｌＩｔしく、配管９１．９２を
接続する前に、あらかじめいずれかの配管に通してお倉
、図示する工うに設置される。また、栓８１．８２は、
耐熱性と穴あけ〃ロエ上、例えばシリコンゴムでＷＩ成
され、これらも配管９１．９２を接続する前に各配管に
通しておき、配管９１．９２を接続完了値に、図示する
ようにＴ型管７０両端に密閉される。ＴＩｉ管７の中央
管部７１は、真空排気系配管２會介して真空排気装置３
に結合されるとと４ Ｋ ％ヘリウムリークデテクタ４
に結合している。
ｔた、配管９１．接続個所１及び配管９２には、配管５
憫から装置１１の内部を通って、ヘリウムガスが所定圧
力（例えば数十気圧）で加圧、導入されている。
憫から装置１１の内部を通って、ヘリウムガスが所定圧
力（例えば数十気圧）で加圧、導入されている。
このように構成された試験装置によれば、接続個所１に
おいて漏れ個所Ａが存在するものとすれば、配管９１．
＠絖個所１．配管９２を通るヘリウムガスの−ＷＡＦｉ
、この漏れ個所人から矢印に示すように真空排気装置６
によって引かれ、ＴＮＮ１３中央管Ｍ７１．配管２を通
ってヘリウムリークナテクタ４に入り、正確に検出され
る。これに↓って、接続個所１の漏れの肩無、漏れ量を
確実にかつ正確に知ることができる。なお、試験完了後
には、Ｔ製管７．栓８１．８２は配管９１．９２から切
開除去される。
おいて漏れ個所Ａが存在するものとすれば、配管９１．
＠絖個所１．配管９２を通るヘリウムガスの−ＷＡＦｉ
、この漏れ個所人から矢印に示すように真空排気装置６
によって引かれ、ＴＮＮ１３中央管Ｍ７１．配管２を通
ってヘリウムリークナテクタ４に入り、正確に検出され
る。これに↓って、接続個所１の漏れの肩無、漏れ量を
確実にかつ正確に知ることができる。なお、試験完了後
には、Ｔ製管７．栓８１．８２は配管９１．９２から切
開除去される。
本発明に係る試験方法によって、内径２−９外径４■、
長さ６０爾の配管と、他の装置から導出している同寸法
の配管を溶ｌｌ！接続し、そＯ接続個所の、数十気圧の
ヘリウムカス内圧下での漏れ量測定、内径１．４■、外
径Ａ２ｍ、長さがそれぞれ２ｗ＋と３０ｍの配管をチュ
ーブ継手で接続し、この接続個所の数十気圧のヘリウム
ガス内圧下での漏れ量測定をそれぞれ実施したところ、
いずれも良好な結果が得られた。
長さ６０爾の配管と、他の装置から導出している同寸法
の配管を溶ｌｌ！接続し、そＯ接続個所の、数十気圧の
ヘリウムカス内圧下での漏れ量測定、内径１．４■、外
径Ａ２ｍ、長さがそれぞれ２ｗ＋と３０ｍの配管をチュ
ーブ継手で接続し、この接続個所の数十気圧のヘリウム
ガス内圧下での漏れ量測定をそれぞれ実施したところ、
いずれも良好な結果が得られた。
以上説明したように、本発明に係る試験方法に工れば、
配管路の途中にある接続個所の漏れを検出する場合に肴
に有効である。
配管路の途中にある接続個所の漏れを検出する場合に肴
に有効である。
第１図〜第３図は従来の試験方法を説明するための構成
説明図、第４９ｃｌは本発明に係る試験方法を説明する
ための構成説明図である。 １・・被試験体、２・・・真空排気系配管、５・・・真
空排気装置、４・・・ヘリウムリークデテクタ、７・・
・Ｔ製管、７１・・・中央管部、８１．８２・・・栓、
９１゜９２・・配管。 代理人 弁理士 佐 藤 正 年
説明図、第４９ｃｌは本発明に係る試験方法を説明する
ための構成説明図である。 １・・被試験体、２・・・真空排気系配管、５・・・真
空排気装置、４・・・ヘリウムリークデテクタ、７・・
・Ｔ製管、７１・・・中央管部、８１．８２・・・栓、
９１゜９２・・配管。 代理人 弁理士 佐 藤 正 年
Claims (1)
- （１） 試験しようとする配管路の１［Ｉ絖個所をＴ
渥管で嶺うとともにその両端ｔａによってｌ！Ｈし、前
記Ｔｌｌ管の中央管Ｓを真空排気装置及びヘリウムリー
クデテクタに結合させ、前記試験しょうとする配管Ｉｌ
続個所に所定圧力のヘリウムガスを導入させ、前記ヘリ
ウムリークデテクタによって前記接続個所の漏れの有無
、漏れ量を知るようにしたヘリウムリーク試験方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57011795A JPS58129341A (ja) | 1982-01-29 | 1982-01-29 | ヘリウムリ−ク試験方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57011795A JPS58129341A (ja) | 1982-01-29 | 1982-01-29 | ヘリウムリ−ク試験方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58129341A true JPS58129341A (ja) | 1983-08-02 |
Family
ID=11787826
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57011795A Pending JPS58129341A (ja) | 1982-01-29 | 1982-01-29 | ヘリウムリ−ク試験方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58129341A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6217627A (ja) * | 1985-07-16 | 1987-01-26 | Ulvac Corp | 漏れ検出器の信号伝送方法 |
| FR2688307A1 (fr) * | 1992-03-04 | 1993-09-10 | Aerospatiale | Procede de detection et de quantification globale de fuites sur au moins une jonction d'une capacite. |
| JP2002267564A (ja) * | 2001-03-09 | 2002-09-18 | Yamaha Fine Technologies Co Ltd | ワークの漏れ検査装置 |
| JP2003035622A (ja) * | 2001-07-19 | 2003-02-07 | Yamaha Fine Technologies Co Ltd | ワークの漏れ検査装置、漏れ検査装置用チャンバおよび漏れ検査方法 |
| JP2008057707A (ja) * | 2006-08-31 | 2008-03-13 | Honda Motor Co Ltd | ブレーキ装置 |
| CN102564709A (zh) * | 2010-12-10 | 2012-07-11 | 中国航空工业集团公司第六三一研究所 | 一种密封结构零件的检漏方法 |
| CN104729809A (zh) * | 2015-03-13 | 2015-06-24 | 安徽皖仪科技股份有限公司 | 一种加速器的氦质谱检漏方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4989591A (ja) * | 1972-12-26 | 1974-08-27 | ||
| JPS5642122A (en) * | 1979-09-14 | 1981-04-20 | Sumitomo Electric Ind Ltd | Testing method for airtightness of metallic sheath joint for duct line in-air cable |
-
1982
- 1982-01-29 JP JP57011795A patent/JPS58129341A/ja active Pending
Patent Citations (2)
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| JPS4989591A (ja) * | 1972-12-26 | 1974-08-27 | ||
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