JPS58137263A - 太陽電池 - Google Patents
太陽電池Info
- Publication number
- JPS58137263A JPS58137263A JP57018225A JP1822582A JPS58137263A JP S58137263 A JPS58137263 A JP S58137263A JP 57018225 A JP57018225 A JP 57018225A JP 1822582 A JP1822582 A JP 1822582A JP S58137263 A JPS58137263 A JP S58137263A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- inp
- impurity concentration
- solar cell
- type inp
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10F—INORGANIC SEMICONDUCTOR DEVICES SENSITIVE TO INFRARED RADIATION, LIGHT, ELECTROMAGNETIC RADIATION OF SHORTER WAVELENGTH OR CORPUSCULAR RADIATION
- H10F10/00—Individual photovoltaic cells, e.g. solar cells
- H10F10/10—Individual photovoltaic cells, e.g. solar cells having potential barriers
- H10F10/14—Photovoltaic cells having only PN homojunction potential barriers
- H10F10/144—Photovoltaic cells having only PN homojunction potential barriers comprising only Group III-V materials, e.g. GaAs,AlGaAs, or InP photovoltaic cells
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
- Y02E10/544—Solar cells from Group III-V materials
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
- Y02E10/547—Monocrystalline silicon PV cells
Landscapes
- Photovoltaic Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、光から電気への変換効率の高い太5陽電池に
関するものである。
関するものである。
太陽電池は、光照射によ□って半導体中に”発生した電
子と正孔の対をpn接合によって分離して外部に起電力
として取り出すものである。従来、との稙素子材料とし
てはシリコンSiが多く用いられていた。Siは資源が
豊富であるなどの特長があるものの、禁制帯幅が/、/
eVであり、波長O,Sμm(エネルギーにして〜コ
、jeV)に極大をもつ太陽光スペクトルを効率よく収
集するためには禁制帯幅が小さい欠点がある。太陽光を
効率よく収集するためには、/、II−/、4 eVの
禁制帯幅を有する半導体材料を使用する゛ことが望まし
い。このような材料としてはGaAs 、 ’InP々
どがある。GaAsには、発生した電子−正孔対が表面
上書結合し電流に寄与しない欠点があるので、通常はム
jGaAsを表面にエピタキシャル成長して用いる。I
nPについてけ、従来、 CdSとのへテロ接合を用
い九太陽電池が研−されていた。レーし、ヘテロ接合の
場合には、表面の半導体の禁制帯幅以上のエネルギーの
光を利用できない。たとえり、 casにおいては、
鎖側帯幅が太陽光スペクトルの極大付近の2.jeVに
あり、短波長側で%に光の収集効率の低い欠点があった
。
子と正孔の対をpn接合によって分離して外部に起電力
として取り出すものである。従来、との稙素子材料とし
てはシリコンSiが多く用いられていた。Siは資源が
豊富であるなどの特長があるものの、禁制帯幅が/、/
eVであり、波長O,Sμm(エネルギーにして〜コ
、jeV)に極大をもつ太陽光スペクトルを効率よく収
集するためには禁制帯幅が小さい欠点がある。太陽光を
効率よく収集するためには、/、II−/、4 eVの
禁制帯幅を有する半導体材料を使用する゛ことが望まし
い。このような材料としてはGaAs 、 ’InP々
どがある。GaAsには、発生した電子−正孔対が表面
上書結合し電流に寄与しない欠点があるので、通常はム
jGaAsを表面にエピタキシャル成長して用いる。I
nPについてけ、従来、 CdSとのへテロ接合を用
い九太陽電池が研−されていた。レーし、ヘテロ接合の
場合には、表面の半導体の禁制帯幅以上のエネルギーの
光を利用できない。たとえり、 casにおいては、
鎖側帯幅が太陽光スペクトルの極大付近の2.jeVに
あり、短波長側で%に光の収集効率の低い欠点があった
。
本発明の目的は、これらの欠点を除去するため、InP
のホモ接合を適切に構成して、太陽光を有効に利用でき
る高効率太陽電池を提供することにある。
のホモ接合を適切に構成して、太陽光を有効に利用でき
る高効率太陽電池を提供することにある。
本発明でけ、禁制帯幅が約1.ダeVであ?不太陽電池
として適当な材料であるInP結晶を用い、その電気的
および光学的性質を十分に勘案して高効率太陽電池を実
現する。
として適当な材料であるInP結晶を用い、その電気的
および光学的性質を十分に勘案して高効率太陽電池を実
現する。
すなわち、本発明は、InP基板上に低不純物濃度の第
−導電種の工nP @および高不純物濃度の第二導電個
のlnP W tエピタキシャル成長により付着させて
ホモ接合を形成した太陽電池において、前記第−導電型
のInP層の膜厚をO,Sμm以下とし、および前記第
二導電量のInP層を、コx lo 15cva−5以
下の不純物濃度で膜厚を1μm以上として、キャリヤを
収集できる深さと、光を大部分吸収する深さとを略★等
しくなしたことを特徴とするものである。
−導電種の工nP @および高不純物濃度の第二導電個
のlnP W tエピタキシャル成長により付着させて
ホモ接合を形成した太陽電池において、前記第−導電型
のInP層の膜厚をO,Sμm以下とし、および前記第
二導電量のInP層を、コx lo 15cva−5以
下の不純物濃度で膜厚を1μm以上として、キャリヤを
収集できる深さと、光を大部分吸収する深さとを略★等
しくなしたことを特徴とするものである。
以下、図面により本発明の詳細な説明する。
第1図は本発明太陽電池の構成の一例を示し、ここでl
はP 1IiInP基板であや、この基板l上に、低不
純物濃度のp型InP層コおよび高不純物濃度のn中型
InPMIFJをこの順序でエピタキシャル成長 −
により付着させ、以てInPからなるn +pのホモ接
合を形成する。ここで、1層3の膜厚をO,5μm以下
とし、p層コを、コX 1015C1l−’以下の不純
物濃度で膜厚を1μm以下とすることにより、キャリヤ
を収集できる深さと、光を大部分吸収する深さとを略々
等しくする。更に、n+層3上に収集型4に4Iを配設
し、n+層3および収集電極ダ全体を反射防止膜jで櫨
う。
はP 1IiInP基板であや、この基板l上に、低不
純物濃度のp型InP層コおよび高不純物濃度のn中型
InPMIFJをこの順序でエピタキシャル成長 −
により付着させ、以てInPからなるn +pのホモ接
合を形成する。ここで、1層3の膜厚をO,5μm以下
とし、p層コを、コX 1015C1l−’以下の不純
物濃度で膜厚を1μm以下とすることにより、キャリヤ
を収集できる深さと、光を大部分吸収する深さとを略々
等しくする。更に、n+層3上に収集型4に4Iを配設
し、n+層3および収集電極ダ全体を反射防止膜jで櫨
う。
ここでは、便宜上、p型基板l上に順次にエピタキシャ
ル成長されたp層コおよびn+階3の構成について説明
するが、導電型を逆にして、n型基板上にn層およびp
+層を形成してもよく、その場合にも以下に述べるのと
同様の結果が得られる。
ル成長されたp層コおよびn+階3の構成について説明
するが、導電型を逆にして、n型基板上にn層およびp
+層を形成してもよく、その場合にも以下に述べるのと
同様の結果が得られる。
本発明太陽電池のエネルギーバンド図を第2図に示す。
本発明太陽電池においてけ、太陽光の収集効率を大きく
するために、以下のような条件を設ける。
するために、以下のような条件を設ける。
InPは直接遷移型の半導体であるため、吸収係数がエ
ネルギーギャップ付近まで大きいので、光を十分に吸収
する膜厚はコ〜3μmで十分である。
ネルギーギャップ付近まで大きいので、光を十分に吸収
する膜厚はコ〜3μmで十分である。
InP結晶の特長としては、表面再結合速度が10”〜
10’ cm/ !IelOと小さいこと、および少数
キャリヤの拡散長が0.3−/fi飄程度と小さいこと
が挙げられる。
10’ cm/ !IelOと小さいこと、および少数
キャリヤの拡散長が0.3−/fi飄程度と小さいこと
が挙げられる。
まず、表面On+層3について述べる。n+層3は、太
陽電池の直列抵抗を減少させるために7016〜10
C■ のキャリヤ製置を必要とする。また、InPで
は、表面再結合が小さいためs GaAs太陽電池で用
いられるムjGaA8のようなヘテロ窓層は不要であり
、短波長側の光まで入射させることができる。
陽電池の直列抵抗を減少させるために7016〜10
C■ のキャリヤ製置を必要とする。また、InPで
は、表面再結合が小さいためs GaAs太陽電池で用
いられるムjGaA8のようなヘテロ窓層は不要であり
、短波長側の光まで入射させることができる。
InP IICおいては、短波長側では吸収係数が大き
いため、光は表面近傍で吸収されてキャリヤが発生する
。表面再結合によるキャリヤの消失は小さいが、少数キ
ャリヤの拡散長が/J%さいためpn接合に到達する前
に再結合して電流に寄与しなくなることがある。このよ
うな無効成分を減少する丸めに、1層3の膜厚を薄くす
ることを検討した。
いため、光は表面近傍で吸収されてキャリヤが発生する
。表面再結合によるキャリヤの消失は小さいが、少数キ
ャリヤの拡散長が/J%さいためpn接合に到達する前
に再結合して電流に寄与しなくなることがある。このよ
うな無効成分を減少する丸めに、1層3の膜厚を薄くす
ることを検討した。
第3図に、n+層3の厚さを変えた場合の収集効率の波
長依存性を示す。第3図かられかるように、n+層3の
膜厚を0.2μrtrlで薄くすると特に短波長側での
収集効率が増加する。しかし、直列抵抗の増加および薄
層作製の■しさをも考慮すると、n+層3の膜厚として
は0.3μm以下程度が実用的である。
長依存性を示す。第3図かられかるように、n+層3の
膜厚を0.2μrtrlで薄くすると特に短波長側での
収集効率が増加する。しかし、直列抵抗の増加および薄
層作製の■しさをも考慮すると、n+層3の膜厚として
は0.3μm以下程度が実用的である。
次にpH2について述べる。n+層3を高キャリヤ濃度
としている丸め、キャリヤ空乏層はほとんどp層λ中に
できる。pnホモ接合を用いるときには、ヘテロ接合の
場合に問題となる界面再結合は生じないので、空乏層中
で発生したキャリヤは有効に電流に寄与する。
としている丸め、キャリヤ空乏層はほとんどp層λ中に
できる。pnホモ接合を用いるときには、ヘテロ接合の
場合に問題となる界面再結合は生じないので、空乏層中
で発生したキャリヤは有効に電流に寄与する。
ここで、空乏層幅は、不純物濃度を下げると大きくなり
、/Q C1l+ では約□J μ!11 、10
cvm では約へ3μmとなる。光吸収に必要な
InPの厚さ、は高々2〜3μmであるから、pyIj
I2中における空乏層幅を1μm近くにすることにより
、n 層3の厚さおよびpjllJで電界のない領域で
の少数キャリヤ拡散長のNILを含めて、キャリヤを収
集できる膜厚と光吸収をする膜厚とは、はぼ同じとなる
0 本発明の一実施例として、公知の液相エピタキシャル法
によ染作製し九p聾基板l上のpnホモ接合太陽電池の
収集効率の波長依存性を第参図に示す。ここでは、9層
2の不純物濃度を2.0X101sc+++−’、n+
層3の不純物濃度を/、OX 1119cm−” トL
九。第4!図からも明らかなように、本発明によれば、
勉波長側からバンド・ギャップ付近まで平坦な特性が得
られる。この実施例において%njlJが薄いことに起
因して直列抵抗が増加する点を補う丸め、フォトリソグ
ラフィー技術によりn層30表面の収集電&参を細く密
に配置した。また、太陽電池表面にはSiOを用いた反
射防止#jを設けて反射防止を行なり九。本発明ではs
pn接合を形成する2層およびn層層(を九はn層お
よびp+層)の不純物濃度、厚さなどをInPの物質定
数に対応して決めることによ抄、吸収された太−光電を
極めて効率よく光電流に変換することかで亀る。
、/Q C1l+ では約□J μ!11 、10
cvm では約へ3μmとなる。光吸収に必要な
InPの厚さ、は高々2〜3μmであるから、pyIj
I2中における空乏層幅を1μm近くにすることにより
、n 層3の厚さおよびpjllJで電界のない領域で
の少数キャリヤ拡散長のNILを含めて、キャリヤを収
集できる膜厚と光吸収をする膜厚とは、はぼ同じとなる
0 本発明の一実施例として、公知の液相エピタキシャル法
によ染作製し九p聾基板l上のpnホモ接合太陽電池の
収集効率の波長依存性を第参図に示す。ここでは、9層
2の不純物濃度を2.0X101sc+++−’、n+
層3の不純物濃度を/、OX 1119cm−” トL
九。第4!図からも明らかなように、本発明によれば、
勉波長側からバンド・ギャップ付近まで平坦な特性が得
られる。この実施例において%njlJが薄いことに起
因して直列抵抗が増加する点を補う丸め、フォトリソグ
ラフィー技術によりn層30表面の収集電&参を細く密
に配置した。また、太陽電池表面にはSiOを用いた反
射防止#jを設けて反射防止を行なり九。本発明ではs
pn接合を形成する2層およびn層層(を九はn層お
よびp+層)の不純物濃度、厚さなどをInPの物質定
数に対応して決めることによ抄、吸収された太−光電を
極めて効率よく光電流に変換することかで亀る。
以上説明しえように、本発明によれは、InPを用いて
、容易に良質の膜を作製できるpnホモ接合太陽電池に
おいて高効率化を達成できるため、太陽光を有効に利用
できる。特に、本発明の高効率太陽電池は、設置場所が
極めて限定されている宇宙空間などで使用するのに有効
である。
、容易に良質の膜を作製できるpnホモ接合太陽電池に
おいて高効率化を達成できるため、太陽光を有効に利用
できる。特に、本発明の高効率太陽電池は、設置場所が
極めて限定されている宇宙空間などで使用するのに有効
である。
第1図は本発明太陽電池の一例を示す断面図。
第2図は本発明太陽電池のエネルギーバンド図、第3図
はn層層の厚さを変えた場合の収集効率の波長依存性を
示す特性曲線図、第参図は本発明太陽電池の一実施例に
おける収集効率の波長依存性を示す特性曲線図である。 l・・・p型InP基板、 コ・・・p型InP層、
3・・・n型InP層、 参・・・収集電極、!・
・・反射防止膜。 特許出願人 日本電信電話公社 第3図 慎長(p m ) 第4図 波長・”(Aim) 手続補正音c方式) 昭和39年383日 特許庁長官 島 1)春 璽 殿 1、事件の表示 曽顧litフー11Ju号 2、Jl@の鳴称 太−電池 3、補正をする者 事件との関係 曹鈴出願人 (4n)日本電信電llI会社 6、補正の対象 iim 2
はn層層の厚さを変えた場合の収集効率の波長依存性を
示す特性曲線図、第参図は本発明太陽電池の一実施例に
おける収集効率の波長依存性を示す特性曲線図である。 l・・・p型InP基板、 コ・・・p型InP層、
3・・・n型InP層、 参・・・収集電極、!・
・・反射防止膜。 特許出願人 日本電信電話公社 第3図 慎長(p m ) 第4図 波長・”(Aim) 手続補正音c方式) 昭和39年383日 特許庁長官 島 1)春 璽 殿 1、事件の表示 曽顧litフー11Ju号 2、Jl@の鳴称 太−電池 3、補正をする者 事件との関係 曹鈴出願人 (4n)日本電信電llI会社 6、補正の対象 iim 2
Claims (1)
- InP基板上に低不純物濃度の第一導電型のInP層お
よび高不純物濃度の第二導電型のInP層をエピタキシ
ャル成長により付着させてホモ接合を形成した太陽電池
において、前記第一導電型のInP鳩の展厚をO,Sμ
m以下とし、および前記第二導電型のInP層を、2
”X ’10”Ct*−’以下の不純物濃tで展犀を7
μm以上として、キャリヤを収集できる深さと、光を大
部分吸収する深さとを略々等しくなしたことを特徴とす
る太陽電池。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57018225A JPS58137263A (ja) | 1982-02-09 | 1982-02-09 | 太陽電池 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57018225A JPS58137263A (ja) | 1982-02-09 | 1982-02-09 | 太陽電池 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58137263A true JPS58137263A (ja) | 1983-08-15 |
| JPS6249754B2 JPS6249754B2 (ja) | 1987-10-21 |
Family
ID=11965702
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57018225A Granted JPS58137263A (ja) | 1982-02-09 | 1982-02-09 | 太陽電池 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58137263A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6022381A (ja) * | 1983-07-18 | 1985-02-04 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 太陽電池 |
| JPS6089982A (ja) * | 1983-10-24 | 1985-05-20 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 太陽電池 |
| US4591654A (en) * | 1983-07-18 | 1986-05-27 | Nippon Telegraph And Telephone Public Corporation | Solar cells based on indium phosphide |
| JPH01175269A (ja) * | 1987-12-29 | 1989-07-11 | Nippon Mining Co Ltd | 太陽電池 |
| JPH01307277A (ja) * | 1988-06-04 | 1989-12-12 | Nippon Mining Co Ltd | 太陽電池の製造方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5110783A (ja) * | 1974-07-17 | 1976-01-28 | Hitachi Ltd |
-
1982
- 1982-02-09 JP JP57018225A patent/JPS58137263A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5110783A (ja) * | 1974-07-17 | 1976-01-28 | Hitachi Ltd |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6022381A (ja) * | 1983-07-18 | 1985-02-04 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 太陽電池 |
| US4591654A (en) * | 1983-07-18 | 1986-05-27 | Nippon Telegraph And Telephone Public Corporation | Solar cells based on indium phosphide |
| JPS6089982A (ja) * | 1983-10-24 | 1985-05-20 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 太陽電池 |
| JPH01175269A (ja) * | 1987-12-29 | 1989-07-11 | Nippon Mining Co Ltd | 太陽電池 |
| JPH01307277A (ja) * | 1988-06-04 | 1989-12-12 | Nippon Mining Co Ltd | 太陽電池の製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6249754B2 (ja) | 1987-10-21 |
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