JPS5814004A - レ−ザビ−ム走査方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、トロリー線の摩耗量測定の場合の如く、測定
点までの距離の変動、偏位がある被測定物の寸法測定に
適したレーザビームの走査方法に関する□ レーザ技術の進展ＶＣ伴い、Ｖ−ザビームを利用して物
体の寸法計測を行う方式が普及しつつある。

公知の如く、レーザビームは直径の小もい平行ビームが
得られるので、良好な計測精度が得られるほか、小出力
のレーザ光源によっても十分大きい放射照度が揚られる
ため屋外側定時外光によるＳＺＮ比劣化が少ない層どの
利点がある。その例として電気鉄道のトロ！Ｊ　−＃阜
耗童の計測について説明する。

第１図（ａ）はトロリー線の一般的な架設状態図で、線
路側傍に適当な間隔で建てられた電柱ｌにブラケット２
などを介して展張δれた吊架線３から、一定間隔に配情
したハンガ４によってトロリー線５が吊架８れており、
これをカテナリ方式とよぶ。

この場合のトロリー線５は第１図（′ｂ）に示す如き断
面形状を有し、図中の下面５′は電車のパンタグラフと
摺動接触する面で、摺面と呼ばれる一電車の走行により
トロリー線５は漸次減耗するので、適時に摺面５′α−
Ｗを測定し、残存する高石りを計算により求めて摩耗の
程度を判断し保守管理を行う。この様なトロＩＪ−５の
寸法計測を書間天空の明るい時でも良好なＳ／Ｎ比で測
定できるレーザビームを用いる装置の発明か既に本出願
人により出願されている。第１図＜Ｃ＞Ｆｉ該発明によ
るトロリー耐摩耗測定装置説明図である。凹面鏡６の焦
点距離２ｆとし、焦点位置にスキャナ７を設け、レーザ
光源８からのレーザビームＩＯ全掃引δぞる。

レーザビームｌＯはミラー９全介して凹面鏡６に傾斜角
Ｑｏで入射され、反射されたレーザビームｔｏ’ｉ平行
走査元となって車輛から垂直上刃に回い、トロリーａ５
に対して直角方向に、後述するトロリー線の偏位範囲に
わたって走査場れる。レーザビーム１０は摺面５　で反
射されて投射時と同一径路を戻って受光器に入り図（ｄ
）に示す時間幅Ｔｗの電気信号に光電１変換芒れる。こ
の時間１−ＴＶは、レーザビームｌＯ′の走査速度が一
定ならば、摺面５の幅Ｗに比例する。

芒てトロリー線５Ｆｉパンタグラフの琴耗ｖｉ−にする
ため、電柱毎に交互に線路方向に直角に、三角波をな丁
ように「偏位」芒ゼて架設してあって、図（Ｃ）中に示
す士Ｄ（通常±３００　ｗｍ　）け偏位の範囲を示す。

またトロリー線５の地上高（正確にはレール面からの高
さ）も標準高Ｈ，に対し±Ｈ（通常±６００　ｍ　）の
範囲に変動する。この様にレーザビーム１０′には、偏
位上Ｄ、高さ変動±Ｈの範囲内にあるトロリー線５會対
象にして、常に垂直、平行、かつ等速度の走査が要求も
れている。なお、レーザビーム１０が上記範囲内で偏差
の小さい適当なビーム径１ｊすることが望ましいが、こ
れはレーザビームの特性により得られるもので、本発明
の対象とけしない。

第２図（ａ）は地下鉄におけるトロリー線支持方式の一
例を示す斜視図で、図（ｂ）は要部断面図である。

前記軟式カテナリ架線に対し本例は剛体架線と呼ばれ地
下鉄トンネルの天井に一定高石で架台１１が固着芒れ、
これに押え具１２、ボルト１３によりトロリー線１４が
固定されている。この場合はトロリー線１４の高石は一
定であるが、偏位はカテナリ式の場合同様±Ｄが与えら
れている。剛体架線方式トロリー線の摩耗量測定には、
第２図（ｂ）右側に示す如く水平、平行かつ等速走査の
レーザビームｌｏ’２側方から投光してトロリー線１４
の側面の点ｒ、ｅによる散乱光を検出し、走査速度から
ｒ８の寸法を計測する装置が本発明と同時に本出願人に
より出願ちれている。第２図（Ｃ）はこれを示し、レー
ザ光源８よりのレーザビーム１０はスキャナ７で掃引さ
れ、凹面鏡６により反射ちれて平行かつ水平なレーザビ
ーム１０′となる。ここでスキャナ７は凹面鏡６の中心
Ｏから焦点距離ｆに等しい距離に置かれている。凹面鏡
６の入射ビームの中心線１０　　と反射ビームの中心線
１０　　とけ角度Ω０をなしており、この角証Ω０は第
１図（Ｃ）における傾斜角Ω０とほぼ同一の性格のもの
である。しかし、第１図（０）の場合は、スキャナ７と
凹面鏡６０間の光路中に童かれた平面ミラー９が反射レ
ーザビーム１０’の光路を妨害しないように、傾斜角Ω
０が設けられているのであるが、第２図（Ｃ）の場合は
スキャナ７をトロリー線１４を含む水平面内に設けるこ
とは物理的に不可能なので、スキャナ７０位ｆｌ’ｋ）
ロリー線１４より下方に下げるとともに、凹面鏡６への
入射ビームの中心線１０“と反射ビームの中心線ｌＯと
の間に角度００を設けたのである。

上記２例に限らず一般的に、凹面鏡に傾斜角を以て元ビ
ームが入射する場合、凹面鏡のどの部位を使用するかに
よって２万式に分れる。丁なわち第３図（ａ）に示す方
式では、凹面鏡６′の中心０全通る中心軸Ｏ２上に設け
られたスキャナ７より凹面鏡６′の周辺部に元ビームが
傾斜角Ω０で入射ちれており、いわば軸外し傾斜入射方
式である。これに対し第３図（ｂ）に示す方式では、凹
面鏡６″の中心０を通る中心軸０２の外に設けられたス
キャナ７より、該中心０に対して傾斜角　Ｏ／２で入射
δれ、反射ビームと角度Ωｏｆな丁もので、いわば軸中
心傾斜入射方式である。なお、この場合　図（Ｃ）に示
すように、中心軸Ｏ２を　０７２だけ傾斜姑ぞて、反射
ビーム全対象物に対して垂直方向とすることが行なわれ
る。

実際の装置には上記２方式のいずれかが利用ちれている
のが笑悄であるが、レーザビームの走査速度の観点から
見て両者に優劣があるか否か従来明確ではなかった。更
に、一般的に、凹面鏡に対して走査ビーム全傾斜角をつ
けて入射δぞる場合のレーザビーム走査の等速性に関し
て、凹面鏡の曲面として放物面と球面のいずれが一層適
しているかについても従来明確ではなかった。

第４図は放物鏡６　の二次元断面會示し、焦点Ｆから放
射された光線の反射光ｄ丁べてＸ軸に平行となることに
公知の基本事項である。しかしＦからの放射光線の方向
が一定の角速度ぶて変化している時でも、Ｘ軸に平行に
なった反射光線１５がｙ軸上全掃引する速度が一定でな
いことは、放物鏡面のｙ軸に対する傾斜が中心Ｏから隔
たる程大きくなることから丁ぐわかる。第３図（ａ）、
（ｂ）に示す様な斜入射の場合は一層複雑となって簡単
にはわからないが、凹面鏡の種類、傾斜角Ω。、走査角
θにより様相が変ることは明らかであり、理論的解析に
より許容範囲内で近似的に等速と認め得る条件を見出し
、これに基いた走査光学系を構成することが必要かつ有
利と考えられる。

本発明の目的は、凹面鏡として高精度に製作可能な放物
鏡または球面鏡を用いた場合に、傾斜角や走査角の大き
さに対応して、それぞれの場合に適する凹面鏡の種類を
特定し、例示したトロリー線摩耗量測定などに応用して
実用上十分な精度の結果が祷られる走査速度の一様性に
優れたレーザビーム走査方法を提供することにある。

第５図は第３図（ａ）に示した軸外し方式解析のための
座標系を示し、原点Ｏは凹面鏡６の中心Ｏと一致し、こ
の中心全通る垂線’（Ｈ２軸とする。２軸上のＺ　＝　
ｆの点ａにスキャナが置かれ、レーザビームｌＯの振動
面とＸ７平面との交線が直ＭｂＣである。ただし点すけ
走査角θ＝０における点、点Ｃは任意の走査角θに対す
る点である。レーザビームｔｏｌｉ凹面儒６と交わる点
’ｋＱ、点Ｑで反射芒れたレーザビーム１０′が像面（
Ｚ＝ｆ）と交わる点’Ｉｐとしたときの座標ｘＰケ求め
る。ここで立体解析のため第５図中の６角を次の如くよ
ぶ、／ｂａＣ＝θ（走査角）、／ｂａＯ＝ΩＯ（傾斜角
）、ｌ　Ｏａ　Ｏ：Ω、ｆｂｏｃ＝θ′。各角間には次
の式が成立する。

□′　＝−θ／Ｓ石Ω。、−〇＝Ｗシｏ　　ｆｔａｎ”
　　ｅワ；３Ω０・・・・（１） 放物鏡軸外し方式の場合： 円筒座標（ｒ、θ′、２）を用いて点Ｑのｒ座標ｒ、（
以後点ＱのｒＱの如く略称）ＦｉｒＱ＝　２　ｆ　＋、
ａｎ９’　、、ｎｕ１９’ｐ＝ｃｏｔΩ十Ｆ７Ｔ了〒−
・−・（２）ここで角ψ、は点Ｑにおける放物線りの切
線（ｒ方向）かＸ７面とな下角（以後単に切線角と略称
）である。次に点ＰＯｒｐは、この場合はｒｃｔと等　
９− しいが、後述する球面鏡の場合と対比するために以下に
一応形式を示しておく。

ｒ　−ｒ　＋（ｆ−２，）唾（Ω−２ｔｐ　、　）　・
＝　・・（３）Ｑ ここでζは曲線ｈ（放物線）の式及び（２）式よりｚＱ
＝　ｒＱ”　／４　ｆ＝　ｆｔａｎ”　９’ｐ−−ｆ４
）よって求めるＸｐは次式により得られる。

ＸＰ＝ｒｐｓｌｎθ’　　　　　　　　　　、　　−・
・（５１以上の式ｆ１）〜（５）により走査角θ、傾斜
角Ωｏｋ与を一定と丁れば、その１ま走査速度の偏差を
示すものである。

ここでｘ　ｐ　（のＦｉ走査角θにおけるＸｐの値、Ｘ
Ｐ（１）はθ＝１°の時の値であり、τけＸｐ（１）を
是準とした直線からの偏差下なわち歪率を表わ丁。球面
鏡軸外し方式の場合 球面鏡の刀根式として次の近似式を用いる。円筒座校系
で この場合、点Ｑの切線角ψ８け、放物鏡のψ、の値によ
り 確ψ８＝−ψ　（１＋　−：ａｎ″ψ、　）　　　　　
−−−・（８）２ と表わ嘔れる。また点Ｑの座標として近似的に式（２）
のｒ、ｆ用いて、点Ｐの座標は（球面鏡として添字ｌを
付して） ｒＰ１＝　ｒＱ十（ｆ−ｚ、）−（Ω−２ｔｐ　、　）
　　・・・・−（９）により計算するものとする。ただ
し２０はＺ、、＝ｆＬａｎ”９）Ｐ（１＋　　ｔａｎ”
９’ｐ）　　　　　”・・”（ＩＩ）によるものである
。求めるｘＰＩけ式（５）と同形式のｘＰＩ　　＝　ｒ
ＰＩ　　”　θ　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　　　　・−−−−・（１１）である。

次に第６図（ａ）、（ｂ）は第３図（ｂ）Ｋ示した軸中
心方式解析のための座標系を示し、スキャナ７のおかれ
る点ａ′は原点Ｏから距離ｆの位置にある。ａ′からＸ
７平面への垂線の足ｔＯ′とし、これを新座標系（ｘ、
ｙ、ｚ）の原点とする。この系の円筒座標は（ｒ′、θ
′、２）である。新旧座標変換式は次式である。

Ｘ＝　Ｘ　、　　Ｙ　＝ｙ−１−ｆＢ石Ωｏ　　ｔ　　
ｚ＝　ｚ　　　　　　　　　”’　”’０２ｒ”　　＝
　（ｒ’）　２−２　　ｆｓｌｎＱｏ　　−Ｙ−ｆ　２
ｓ石２　θ　　　　・・９００．０３なお図（ａ）にお
ける角θ”は、角θのＸ２面への投影角で両者の関係は
−θ“＝―θ／ｃｏｓ　Ｑ　ｏ　　　　・・・・・（ｌ
Φで表わされる。

放物鏡軸中心方式の場合： 反射点Ｒの高’ａｚＲｔ−旧座標ｒＲと式０１により新
座標ｒに変換する。

ｚＲ”　”Ｒ／４　ｆ　＝−（（ｒ、’　）”−２ｒ−
Ωｏ＊　Ｙ−ｆｌＷＱｏ　）ｆ ・・・・・・０り 一方第６図（１））により新座標系におけるｚＲＦｉ次
式％式％ 弐四、００を装置し、更に次式 ｙ　＝　ｒ焦θ　　　　　　　　　　　　　・・・・・
・（１７）金柑いて整理し、次のｒ′に関する二次方程
式が得られる。

これより ｒ’、＝ｆ　Ｂ±ｆ　１ｒ［扁−町、Ｑ１点Ｈの直交座
標ｘＲ，ＹＲは次式で与えられる。

Ｘ＝ｒ　画θ、ＹＲ−ｒＢ邸θ　　　　　・・・・・・
翰Ｒ 像面（ｚ＝ｆ）上における点ＳのＸ座ｍ１ｒ求める際、
差当りｙ座権は不要なので点８０１７面への投影全零え
次式が得られる。

ｘａ”ｘａ＝ｘ、Ｒ＋（’−２Ｒ）ｍ（θ“−２ψ、り
・・・・・・なり ここで角ψ、ｘＦｉ点Ｒにおける放物面のＸ軸方向の切
粉角であって次式により定まる。

球面鏡軸中心方式の場合： 反射点Ｒのへ、は近似的に放物鏡の場合の０１式による
。ｇＪ線角ψ８ｘは球面上の点ＲにおけるＸ方向の幼で
、球面の方程式（７）　ｔ−ｘについて偏値分して次式
を得る。

ここでｒＲσｒ′Ｒを求めたのち、変換式ｏ１．０７）
により計算され、これよりＸＲも計算できる。この−ψ
６Ｘヲ用いて点８のＸ座標は（球面鏡として添字１を付
して） ”ｓ＞＝ｘｙ＋＋（ｆＺＢｌ）ｍ（θ“−２ψ８ｘ）　
　”””ｅｓにより計算する。ただしｚＲｌは球面鏡に
対する次式を用いるものである。

この切線角ψ、は点Ｒにおける放物面のｒ方向の切線角
でめるっ 以上の如くして第５図における点Ｐ、第６図（ａ）にお
ける点ＳのＸ座標を計算する式が放物鏡および球面鏡に
対して誘導ちれた。丁なわち放物鏡の場合の点ＦＢ！　
　　　　　　・・・−・式（５）〃　　点８；Ｘ８　　
　　　・・・・・・式ぐη球面鏡の場合の点ＰＢＸ　　
　　　　　・・・・・・式Ｃ１η１ 〃　　点ｓ；ｘ８．　　　　　・・・・・・式（ハ）の
諸式である。

第７図（ａ）は走査角θを１２°一定とし、傾斜角Ωθ
を変化芒ぜｔｃＭＬ合、上記各式によね各Ｘ値を計算し
、その結果から式（６）により歪率τ（４）全算定した
曲線群全示す。その特徴を抽出すると■）　軸外しの場
合（曲線■、■）放物鏡、球面鏡ともに傾斜角Ω０変化
の影響が少なくほぼ一定である。ただし放物鏡と球面ψ
に符号を異にし、前者は正、後者は負で、絶対値は後者
が前記の約１／２である。

■）　軸中心の場合（曲線■、■）、傾斜角Ω０＝Ｏで
は当然軸外しの場合と一致した値となり、Ω０の増加と
ともに両者共に下降する。丁なわち放物腕の曲線（すで
はΩ０の増加とともにτの値は減少し、τ中２３°で零
線全通過する。２０°≧００≧２５°（図中矢印Ａ部分
）では１゛τ１＜ｏ、ｉ％となっている。球面鏡の曲線
■はΩ０の増加とともにτの絶対１面は増加し特性は劣
化する。上記τ対”ｏ％性から、Ω０の値により適当す
る凹面鏡の種類（使用方式も含めて）が異なり、常に最
適な種類はないことがわかった。

第７図（ｂ）は傾斜角Ωｏｆパラメータにした歪率τと
走査角θの間の特性曲線群を示し、θが小さい範囲たと
えばθ〈８°では、放物鏡軸列しくΩ０＝ｏ’〜２０°
）でτ（０，１５％を、また球面鏡の軸外しくΩｏ＝０
０〜２０°）、軸中心（Ωｏ　＝　０゜〜５°）ではと
もに、τ＜Ｏ，ＯＳ％を示しており、いずれも片壁的良
好である。もしΩθキ５ｕ、θ≦８°でτ〈０．ｌ蟹が
要求されるときけ球面鏡の軸外し又は軸中心方式が適当
である。なお第７図（ａ）、（ｂ）の曲線群は丁べて焦
点距離ｆに無関係で任意のｆに適用できる。

第７図（ａ）の矢印Ａ部分ではτの値を極めて小さくす
ることができ、これに対する図（ｂ）では、放物鏡軸中
心の場合、ΩＧ中２３°と丁れば、θ≦２０゜において
τキ０％である。傾斜角ｉＪｏが自由に選定できる場合
は、この様な特性を積極的に利用してΩθ中２３°にす
ることにより、極めて良好か走査等速性が得られる。

以上第７図（ａ）、（ｂ）に示した特性から、やや一般
的に、凹面鏡の種類と、軸外し又は軸中心方式の別につ
いて下記の如く特定できる。これが本発明によるレーザ
ビーム走査方法の特徴である。

１）　Ω。≦１５°の場合は球面鏡による軸外し■がよ
い。ただしΩ０≦５°の場合は球面鏡による軸外し■、
軸中心■のいずれでもよい。この場合θ≦８°に丁れば
τ≦０．１％にできる。

１ｉ）１５°〈Ω０≦２０°とする場合は、放物鏡の軸
中心■、球面鏡の軸外し■がほぼ同勢で優劣はない。他
の場合■、■は良好でない。

１ｉｉ）　　２０°〈Ωｏ〈２５°とする場合は放物鏡
の軸中心■が良好である。この場合θ°〈θ〈２０°に
わたってτキ０％となる。

は無視してよい。

第８図は、本発明を第１図（Ｃ）で説明したカテナリ方
式トロＩＪ−ｉｊ１粍測定装置に適用し、トロリー線摺
面５′の幅Ｗを測定する実施例を示す。図中、スキャナ
７から凹面鏡６までの光路長は凹面鏡６の無産距離に等
しくとり、レーザビーム１０′の平行条件金満た丁、こ
の場合、車幅内における部品配置の便宜上、スキャナ７
と凹面鏡６の光路中に補助平面ミラー９．１６’ｉ設け
である。補助ミラー９の凹面鏡６からの高δｋｄ約１ｍ
にとられており、このため傾斜角Ωｏｋ約５°として補
助ミラー９がレーザビーム１０′の光路を妨げることは
ない。丁なわち本例は傾斜角Ω０が比較的小石い実施例
である。そこで、この場合は前述の所論１）の００≦５
°の例で、球面鏡の軸中心方式とする。

この場合走査角は、ｆ＝３，０００ｍ＋、Ｄ＝３００咽
としてθ中６°であり、歪率τに０．０５％以下にでき
る。

第９図（ａ）、（１））、（Ｃ）　ｔｊ本発明を第２図
（Ｑ）に示した剛体架線の場合のトロリー線犀耗測定装
置に適用した実施例を示し、０は平面図、（ｂ）は側面
図、（Ｃ）はビーム走査方向説明図である。この場合は
既述の如くスキャナ７とトロリー線１４を同じ高石に設
けることは困難なので、スキャナ７の位ｆｌ？！−下げ
、図（１））に示す様に凹面鏡６への入射ビームｌＯと
反射ビーム１０’のな下角を垂直面内でΩ０“とじ、同
時に図（ａ）に示すよう罠、水平面内で入射ビーム１０
と反射ビーム１０’のな下角を００とする。これらの角
Ω、／、Ω０“が合成ちれて既述の傾斜角Ω０となる。

この場合はスキャナ７の位置の制約から傾斜角Ω０の値
を小ちくとることは困難で、前述の所論１１１）の場合
と考えられ、傾斜角Ω。？］１−２０’くΩ。〈２５°
の範囲内にとり、放物鏡の軸中心方式とする。これによ
り歪率τを小さくでき、寸法計測誤差を極めて小さくす
ることができる。なおこの場合は水平、垂直面内で入射
ビーム１０が傾斜するので、レーザビーム１０′の走査
方向は図（０）に示す様に垂直方向ではなく多少傾斜す
ることはδけられない。しかしこのために寸法計測誤差
が生ずることはない。

以上説明したように本発明によれば、凹面鏡からの反射
ビームによる平行走査糸において、凹面＠が放物鏡か球
面鏡かの種類別、光路設定が軸外しか、または軸中ノし
かの方式別に、凹面鏡に対する入射ビームの傾斜角Ω０
と走査角θに対する走査速度の歪率が明確に把握されて
、傾斜角ΩＧの範囲に応じて、適切な凹面鏡の種類、光
路設定方式が特定され、元ビームの平行等速走査全必要
とする各種計測装置が十分な測定精度で容易に実現でき
るようになる。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）はカテナリ方式トロリー線説明図、第１図
中）は同トロリー線の断面図、第１図（Ｃ）は従来のト
ロリー線摩耗測定装置例説明図、第１図（（１）は同装
置例により得られる信号説明図、第２図（ａ）は剛体架
線方式トロリー線の斜視図、第２図中）はその要部断面
および摩耗量測定法説明図、第２図（Ｑ）はｒ！４１１
体トロリー摩耗量測定装置説明図、第３図（ａ）は凹面
鏡の軸外し方式光路図、第３図（ｂ）、（Ｃ）は軸中心
方式光路図、第４図は放物鏡による平行走査原理図、第
５図は軸外し方式解析用座標系図、第６図（ａ）は軸中
心方式解析用座標系図、同図（ｂ）はその補助説明図、
第７図（ａ）は走査角１２°における傾斜角と歪率の関
係會示す特性曲線図、第７図（１））は傾斜角をパラメ
ータにして走査角と歪率の関係を示す特性曲線図、第８
図は本発明のカテナリ方式トロリー線摩耗測定装置への
実施例図、第９Ｎ−、（ｂ）、（Ｑ）は本発明の剛体架
線方式トロリー線摩耗測定装置への実施例説明図である
。 ５．１４・・・トロリー線、６．６　・６　・・凹面鏡
、６　・・・放物鏡、７・・スキャナ、８　・レーザ光
源、９．１６・・・補助ミラー、１Ｏ１ｔｏ’　　・レ
ーザビーム、θ・・・走査角、Ω０・・・傾斜角、Ｑ、
、Ｒ・・・凹面鏡の反射点、ｐ、ｓ・・・像面上のビー
ム（中心）点、ｈ、　ｈ’・・・反射面ケな丁曲縁、ｆ
・・凹面鏡の焦点距離。 代理人　弁理士　縣　　武　雄 第　　５　　図 Ｚ −２４＝

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 放物面または球面を用いた凹面鏡の焦点位置に設けたス
   キャナにより定角速度で掃引されるレーザビームを、こ
   の凹面−の中心を通る中心軸に対し所定角Ω０傾斜させ
   て該中心軸を外′ｎ、７を鏡面に入射させる軸外し方式
   、又は、前記凹面鏡の中心から伸点距離だけ離れ、かつ
   前記中心軸上にない位置に設けたスキャナにより定角速
   度で掃引芒れるレーザビームを、前記中心軸に対し所定
   角Ｑｏ／２傾斜６ぜて前記中心を含む鏡面に該中心を通
   るように入射させる軸中心方式によって、この凹面鏡か
   ら反射場れた平行性ビーム金剛いるレーザビーム走査方
   法において。 （ａ）　　傾斜角ΩＧか（）０〈Ω０≦５°のときは、
   球面鏡の軸中心方式または軸外し方式 （１））　　傾斜角Ｑｏが５°〈Ω０≦１５°のときは
   、球面鏡の軸外し方式 （０）　　傾斜角Ω０か１５°〈Ω０≦２０°のときは
   、放物鏡の軸中心方式または球面鏡の軸外し方式（ａ）
   　　傾斜角Ω０が２０°〈Ω≦２５°のときけ、放物鏡
   の軸中心方式 による反射ビームを用いることに％徴とするレーザビー
   ム走査方法。