JPS58140445U - 静電容量型圧力検出器 - Google Patents

静電容量型圧力検出器

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JPS58140445U
JPS58140445U JP3714082U JP3714082U JPS58140445U JP S58140445 U JPS58140445 U JP S58140445U JP 3714082 U JP3714082 U JP 3714082U JP 3714082 U JP3714082 U JP 3714082U JP S58140445 U JPS58140445 U JP S58140445U
Authority
JP
Japan
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flat diaphragm
capacitive pressure
center portion
pressure detector
pressure sensor
Prior art date
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Granted
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JP3714082U
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JPS6326745Y2 (ja
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昭男 古瀬
古瀬　智之
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Cosmo Instruments Co Ltd
Original Assignee
Cosmo Instruments Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来の静電容量型圧力検出器の断面図、第２図
は本考案の実施の一例の静電容量型圧力検出器を示す断
面図、第３図、第４図はそれぞれ本考案の他の実施例を
示す断面図である。 １０・・・検出器ボデー、１１・・・・・・圧力導入室
、１２・・・フラットダイヤフラム、１６・・・・・・
電極板、１７・・・・・・スペーサー。 第３図 第４図　′

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 圧力導入室の一面をフラットダイヤフラムをもって構成
    し、該フラットダイヤフラムの表裏のいずれかの面とこ
    れに対向して設けた電極板との対向面にそれぞれ電極を
    備え、前記フラットダイヤフラノ。撓みによる両電極間
    の静電容量変化を検出するようにしてなる静電容量型圧
    力検出器において、前記フラットダイヤフラムの中心部
    分を検出器ポデーに支持させるとともにそのフラットダ
    イヤフラムの中心部分にスペーサーを介して前記電極板
    の中心部分を固定したことを特徴としてなる静電容量型
    圧力検出器。
JP3714082U 1982-03-18 1982-03-18 静電容量型圧力検出器 Granted JPS58140445U (ja)

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JP3714082U JPS58140445U (ja) 1982-03-18 1982-03-18 静電容量型圧力検出器

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JP3714082U JPS58140445U (ja) 1982-03-18 1982-03-18 静電容量型圧力検出器

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Publication Number Publication Date
JPS58140445U true JPS58140445U (ja) 1983-09-21
JPS6326745Y2 JPS6326745Y2 (ja) 1988-07-20

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ID=30048538

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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5627630A (en) * 1979-08-16 1981-03-18 Matsushita Electric Ind Co Ltd Pressure sensitive element

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5627630A (en) * 1979-08-16 1981-03-18 Matsushita Electric Ind Co Ltd Pressure sensitive element

Also Published As

Publication number Publication date
JPS6326745Y2 (ja) 1988-07-20

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