JPS58141138A - Ｘ線立体像観察装置 - Google Patents
Ｘ線立体像観察装置Info
- Publication number
- JPS58141138A JPS58141138A JP57024895A JP2489582A JPS58141138A JP S58141138 A JPS58141138 A JP S58141138A JP 57024895 A JP57024895 A JP 57024895A JP 2489582 A JP2489582 A JP 2489582A JP S58141138 A JPS58141138 A JP S58141138A
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- Pending
Links
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 5
- 241000255925 Diptera Species 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 230000015654 memory Effects 0.000 description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 239000002023 wood Substances 0.000 description 2
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- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
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Landscapes
- Apparatus For Radiation Diagnosis (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は比較的小さな被写体を立体的に観察するための
Ｘ線立体像観察装置に関する。
Ｘ線立体像観察装置に関する。
半導体集積回路尋の内部構造たとえばボンディングワイ
ヤのような構成喪章の状態を非破譲検査するには、この
被写体を撮像管とかＸ−フィルムに極めて近い位置に設
置してＸｌｆｊｍ影を行い、撮影像を観察する方法が採
られている。被写体を撮像管等に近付けるのはＸ線発生
源であるｘｍ’を焦点が縦横それぞれ数分の／Ｍ程直の
大きさの面を持つものであることから生じる撮影像のは
けを防ぐためである。
ヤのような構成喪章の状態を非破譲検査するには、この
被写体を撮像管とかＸ−フィルムに極めて近い位置に設
置してＸｌｆｊｍ影を行い、撮影像を観察する方法が採
られている。被写体を撮像管等に近付けるのはＸ線発生
源であるｘｍ’を焦点が縦横それぞれ数分の／Ｍ程直の
大きさの面を持つものであることから生じる撮影像のは
けを防ぐためである。
このように被写体設置位置か限定される結果、撮影管に
よ＃）憚影する場合は只１つの熾渾管でしか撮影できず
、立体視に必要な一つの異なる角度からの映像を得るこ
とかできない。したがって諏像管を用いた立体像観察装
置は実現困難である。
よ＃）憚影する場合は只１つの熾渾管でしか撮影できず
、立体視に必要な一つの異なる角度からの映像を得るこ
とかできない。したがって諏像管を用いた立体像観察装
置は実現困難である。
そこで立体視を行うには、被写体をλつの異なる角度か
ら各別に撮影した写真フィルムを立体視鏡等によって立
体観察する方法か採られる。
ら各別に撮影した写真フィルムを立体視鏡等によって立
体観察する方法か採られる。
しかしながら、この方法はフィルムを使用することによ
る不具合たとえば現像処理のための時間が必要等の峻点
がある。
る不具合たとえば現像処理のための時間が必要等の峻点
がある。
本発明は上述の点に鑑みてなされたもので、λつの異な
る角度から各別に被写体を撮影した映鳶情報をそれぞれ
記憶装置に配憶し、この肥寥映詠情報を一台の映像再生
器に同時再生して立体視光字系装置により同時観察する
ことＫより立体観察し得るＸ線立体像観察装置を構成し
たものである。
る角度から各別に被写体を撮影した映鳶情報をそれぞれ
記憶装置に配憶し、この肥寥映詠情報を一台の映像再生
器に同時再生して立体視光字系装置により同時観察する
ことＫより立体観察し得るＸ線立体像観察装置を構成し
たものである。
以下添付図面を参照して本発明の詳細な説明する。
ｇ／図は本発明の一実施例の構成を示したもので、゛屹
源ｌにスイッチ８Ｗｌを介して切換接続されるλつのＸ
線管コ 、２′からのＸ線が被写体３に与えられ偉葎管
参によつて映像信号が出力される。
源ｌにスイッチ８Ｗｌを介して切換接続されるλつのＸ
線管コ 、２′からのＸ線が被写体３に与えられ偉葎管
参によつて映像信号が出力される。
この映像信号はアナログディジタル変換器ｊによってテ
ィジタル信号に変換され、スイッチ８Ｗｇを介してメモ
リＭ１、Ｍ２ Ｋ与えられる。このスイッチｓｗ２はＸ
線管コ、λ′を切換えるスイッチＳＷ工と連動するもの
であシ、共に図示実線位置同士、破線位置同士が対応し
ている。し友がってＸ線管−によるＸ線映像はメモリＭ
１に、またＸ線管−′によるｘ巌峡稼はメモリーにそれ
ぞれ記憶される。Ｘ線−１２′は角度差θを以て第１の
角度および第λの角度から被写体３にＸ線を照射するも
のでめシ、したがってメモリＭ１％鳩の記憶映像情報は
第１および第コの角度によるＸ線映像に関するものであ
る。
ィジタル信号に変換され、スイッチ８Ｗｇを介してメモ
リＭ１、Ｍ２ Ｋ与えられる。このスイッチｓｗ２はＸ
線管コ、λ′を切換えるスイッチＳＷ工と連動するもの
であシ、共に図示実線位置同士、破線位置同士が対応し
ている。し友がってＸ線管−によるＸ線映像はメモリＭ
１に、またＸ線管−′によるｘ巌峡稼はメモリーにそれ
ぞれ記憶される。Ｘ線−１２′は角度差θを以て第１の
角度および第λの角度から被写体３にＸ線を照射するも
のでめシ、したがってメモリＭ１％鳩の記憶映像情報は
第１および第コの角度によるＸ線映像に関するものであ
る。
メモリＭｌｓ Ｍ２に記憶された映像情報はそれぞｊ’
Ｌディジタルアナログ変換器ｔ１７によりアナログ映像
信号に復原された上で映像再生器たとえばＣＲＴ装置ｒ
１２に与えられ各画面に映像が形成される。映像再生器
ｒにはＸ線管−による挟置が、同りにはＸ線管−′によ
る映像が同時に形成される。
Ｌディジタルアナログ変換器ｔ１７によりアナログ映像
信号に復原された上で映像再生器たとえばＣＲＴ装置ｒ
１２に与えられ各画面に映像が形成される。映像再生器
ｒにはＸ線管−による挟置が、同りにはＸ線管−′によ
る映像が同時に形成される。
介して観察者が左、右の眼で同時かつ各別に観察すると
、両映像再生器ｊ１り上の映像は１つの映倫でしかも立
体像として観察される。これによりＩＣ等の寸法の小さ
な構造物の内ｓｍ造が立体的に観察できる。
、両映像再生器ｊ１り上の映像は１つの映倫でしかも立
体像として観察される。これによりＩＣ等の寸法の小さ
な構造物の内ｓｍ造が立体的に観察できる。
この装置において、撮像管−による璋影および映像再生
器ｊ、りによる映像再生の各動作は走査信号発生器／θ
からの走査信号に基いて行ゎｔＬ、また燻影した映像情
報のメモ！、ｌ ＭＬ 、％への記憶２よびその読出は
走査信号アドレス変換器／／のアドレスイぎ号に基いて
行われる。走査信号アドレス変換！／／は走査信号発生
器１０からの走査信号をアドレス４ｇ号に変換するもの
であるから、撮影動作とそのｉ己憶および記憶映像情報
の読出しとその映像化は同期して行われる。
器ｊ、りによる映像再生の各動作は走査信号発生器／θ
からの走査信号に基いて行ゎｔＬ、また燻影した映像情
報のメモ！、ｌ ＭＬ 、％への記憶２よびその読出は
走査信号アドレス変換器／／のアドレスイぎ号に基いて
行われる。走査信号アドレス変換！／／は走査信号発生
器１０からの走査信号をアドレス４ｇ号に変換するもの
であるから、撮影動作とそのｉ己憶および記憶映像情報
の読出しとその映像化は同期して行われる。
第一図は本発明における他の燻影法を示したもので、１
つのＸ線管により被写体３の一つの角度につき煉影を行
うものである。この場合は、Ｘ線の方向を一定としてお
き被写体を３．３′の２つの姿勢をとらせる。このＪ、
！’は角度差θを有しＸ線との相対関係においては第１
図の場合と同様である。このようにＸ線と被写体との関
係を選ぶＫは、上記以外の方法として被写体を固定して
おき、Ｘ線管を第１図における−の位置からλ′の位置
へ移！４！７させてもよい。
つのＸ線管により被写体３の一つの角度につき煉影を行
うものである。この場合は、Ｘ線の方向を一定としてお
き被写体を３．３′の２つの姿勢をとらせる。このＪ、
！’は角度差θを有しＸ線との相対関係においては第１
図の場合と同様である。このようにＸ線と被写体との関
係を選ぶＫは、上記以外の方法として被写体を固定して
おき、Ｘ線管を第１図における−の位置からλ′の位置
へ移！４！７させてもよい。
このように撮影時におけるＸ線管と被写体との位置関係
は種々遇び得るが、被写体とｍ像管とは至近距離に置く
ことが必要である。
は種々遇び得るが、被写体とｍ像管とは至近距離に置く
ことが必要である。
第３図はこの被写体とｍ家督との位ｆを説明するための
図である。上記至近距離とはこの菖３図における被写体
Ｅと撤家督弘の熾像面Ｃとの距ｍｌＦｍより近い距離を
意味し、図示の位置関係から次のように表わすことかで
きる。
図である。上記至近距離とはこの菖３図における被写体
Ｅと撤家督弘の熾像面Ｃとの距ｍｌＦｍより近い距離を
意味し、図示の位置関係から次のように表わすことかで
きる。
Ｆｘ ： Ｆｍ＝ Ｄｘ ： ＤｍただしＦｍ＝
被写体・撮偉面間距瞭 Ｆｘ＝Ｘ線管・達像面間距− 〇ｍ＝被写体寸法 Ｄｘ＝Ｘ線管焦点寸法 すなわち、被写体Ｅの木彫Ａによる像が悌像面上に投影
されるためには上記Ｆｍより近い至近距離が要件となり
、それ以上であると半影Ｂによる像しか投影されず、所
望の分解能が得られない。
被写体・撮偉面間距瞭 Ｆｘ＝Ｘ線管・達像面間距− 〇ｍ＝被写体寸法 Ｄｘ＝Ｘ線管焦点寸法 すなわち、被写体Ｅの木彫Ａによる像が悌像面上に投影
されるためには上記Ｆｍより近い至近距離が要件となり
、それ以上であると半影Ｂによる像しか投影されず、所
望の分解能が得られない。
例えばＩＣの場合、ボンディングワイヤは数１０μｍ１
代表値で３０μｍであυ、一方Ｘ線管焦点の大きさは小
さくてもＳＯＯμｍ程度であるからｍＪ（ｃｍ） となり至近距離は３ｃｘ以内の距離となる。
代表値で３０μｍであυ、一方Ｘ線管焦点の大きさは小
さくてもＳＯＯμｍ程度であるからｍＪ（ｃｍ） となり至近距離は３ｃｘ以内の距離となる。
そして本発明では、被写体を撮像管に殆んど密部させて
おシ、木彫ムを多く半影Ｂを少なくできるため高分解能
が得られる。
おシ、木彫ムを多く半影Ｂを少なくできるため高分解能
が得られる。
第１図は本発明に使用し得る立体視光学系の他の構成例
を示したもので、いわゆる偏光法と呼ばれるものである
。これは映像再生器ｔ１２の映像を偏光板Ｕ’、Ｖ’を
介して取出しノ・−７ξラー１５により合成し偏光メガ
ネＵＳｖによりて左、右峡像を左、右の眼で見ることに
よシ立体視を行う。
を示したもので、いわゆる偏光法と呼ばれるものである
。これは映像再生器ｔ１２の映像を偏光板Ｕ’、Ｖ’を
介して取出しノ・−７ξラー１５により合成し偏光メガ
ネＵＳｖによりて左、右峡像を左、右の眼で見ることに
よシ立体視を行う。
本発明は上述のように、被写体に２つの異なる角度から
Ｘ線を照射して被写体至近距離に置いた撮像管によりλ
つのＸ線映像を取出し、この映倫情報を記憶装置に記憶
装置に記憶した上で同時再生し立体視光学系によって観
察するようにしたため、小さな被写体の内部構造を簡単
に立体的な観察検査を行うことができる。
Ｘ線を照射して被写体至近距離に置いた撮像管によりλ
つのＸ線映像を取出し、この映倫情報を記憶装置に記憶
装置に記憶した上で同時再生し立体視光学系によって観
察するようにしたため、小さな被写体の内部構造を簡単
に立体的な観察検査を行うことができる。
第１図は本発明の一実施例の構成を示すプロッす説明図
、第３図は本発明による撮影条件の説明図、第μ図は本
発明に用い得るもう１つの立体視光学系の説明図である
。 −９−′・・・Ｘ線管、 ｊ・・・被写体、 ざ、り・
・・吠儂再生器、 ｌコ、 ／３ 、 ／４４川ミラー
、 １５川ハーフミラ−０ Ａ・・・木彫、 Ｂ・・・半影、 Ｃ・・・煉像面、
Ｄｍ・・・被写体寸法、Ｄｘ・・・Ｘ線管焦点寸法、Ｆ
ｍ・・・被写体・連像面間距離、Ｆｘ・・・Ｘｌｌ１Ｉ
管焦点→ｉ面間距離、 Ｅ・・・被写体、 Ｍ・・・メ
モリ、 Ｔ・・・ｘＨ管焦点。 出願人代理人 猪 股 清
、第３図は本発明による撮影条件の説明図、第μ図は本
発明に用い得るもう１つの立体視光学系の説明図である
。 −９−′・・・Ｘ線管、 ｊ・・・被写体、 ざ、り・
・・吠儂再生器、 ｌコ、 ／３ 、 ／４４川ミラー
、 １５川ハーフミラ−０ Ａ・・・木彫、 Ｂ・・・半影、 Ｃ・・・煉像面、
Ｄｍ・・・被写体寸法、Ｄｘ・・・Ｘ線管焦点寸法、Ｆ
ｍ・・・被写体・連像面間距離、Ｆｘ・・・Ｘｌｌ１Ｉ
管焦点→ｉ面間距離、 Ｅ・・・被写体、 Ｍ・・・メ
モリ、 Ｔ・・・ｘＨ管焦点。 出願人代理人 猪 股 清
Claims (1)
- 被写体にＸ線を照射するＸ線発生源と、前記被写体の至
近距離内に配され蚊被写体の２つの角匿各々についての
Ｘ＠映儂を取出す撮像管と、この撮像管からの２つのＸ
線映儂情報を各別に記憶する記憶装置と、この記憶装置
からの２つの映像情報を各別に再生する２つの映像再生
器と、これら映像再生器の各映倫を同時観察する立体視
光学系装置とをそなえたＸ線立体像観察装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57024895A JPS58141138A (ja) | 1982-02-18 | 1982-02-18 | Ｘ線立体像観察装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57024895A JPS58141138A (ja) | 1982-02-18 | 1982-02-18 | Ｘ線立体像観察装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58141138A true JPS58141138A (ja) | 1983-08-22 |
Family
ID=12150915
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57024895A Pending JPS58141138A (ja) | 1982-02-18 | 1982-02-18 | Ｘ線立体像観察装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58141138A (ja) |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5115418A (ja) * | 1974-07-29 | 1976-02-06 | Shigumaa Denki Kogyo Kk | Gogakugakushukiniokeru hetsudookurisochi |
| JPS5585181A (en) * | 1978-12-21 | 1980-06-26 | Toshiba Corp | Cubic x-ray television unit |
| JPS56119589A (en) * | 1980-02-26 | 1981-09-19 | Hitachi Medical Corp | Flicker preventing circuit of intermittent x-ray television |
| JPS56136530A (en) * | 1980-03-31 | 1981-10-24 | Tokyo Shibaura Electric Co | Three dimentional observing apparatus of x-ray fluoroscopic image |
| JPS5793042A (en) * | 1980-11-29 | 1982-06-09 | Tokyo Shibaura Electric Co | Three dimensional x-ray photographing apparatus |
-
1982
- 1982-02-18 JP JP57024895A patent/JPS58141138A/ja active Pending
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5115418A (ja) * | 1974-07-29 | 1976-02-06 | Shigumaa Denki Kogyo Kk | Gogakugakushukiniokeru hetsudookurisochi |
| JPS5585181A (en) * | 1978-12-21 | 1980-06-26 | Toshiba Corp | Cubic x-ray television unit |
| JPS56119589A (en) * | 1980-02-26 | 1981-09-19 | Hitachi Medical Corp | Flicker preventing circuit of intermittent x-ray television |
| JPS56136530A (en) * | 1980-03-31 | 1981-10-24 | Tokyo Shibaura Electric Co | Three dimentional observing apparatus of x-ray fluoroscopic image |
| JPS5793042A (en) * | 1980-11-29 | 1982-06-09 | Tokyo Shibaura Electric Co | Three dimensional x-ray photographing apparatus |
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